KR102439228B1 - Door open-and-close device - Google Patents
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Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims description 4
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
- E05D3/00—Hinges with pins
- E05D3/06—Hinges with pins with two or more pins
- E05D3/12—Hinges with pins with two or more pins with two parallel pins and one arm
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
- E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
- E05F15/60—Power-operated mechanisms for wings using electrical actuators
- E05F15/603—Power-operated mechanisms for wings using electrical actuators using rotary electromotors
- E05F15/611—Power-operated mechanisms for wings using electrical actuators using rotary electromotors for swinging wings
- E05F15/616—Power-operated mechanisms for wings using electrical actuators using rotary electromotors for swinging wings operated by push-pull mechanisms
- E05F15/622—Power-operated mechanisms for wings using electrical actuators using rotary electromotors for swinging wings operated by push-pull mechanisms using screw-and-nut mechanisms
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
- E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
- E05F15/70—Power-operated mechanisms for wings with automatic actuation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/60—Suspension or transmission members; Accessories therefor
- E05Y2201/622—Suspension or transmission members elements
- E05Y2201/686—Rods, links
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/60—Suspension or transmission members; Accessories therefor
- E05Y2201/622—Suspension or transmission members elements
- E05Y2201/696—Screw mechanisms
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/60—Suspension or transmission members; Accessories therefor
- E05Y2201/622—Suspension or transmission members elements
- E05Y2201/71—Toothed gearing
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2600/00—Mounting or coupling arrangements for elements provided for in this subclass
- E05Y2600/60—Mounting or coupling members; Accessories therefor
- E05Y2600/626—Plates or brackets
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- E05Y2900/60—
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 리드의 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 챔버의 개방측을 리드(lid)로 자동 개폐 조작하는 설비로써, 챔버의 일측에 구비된 채 리드의 타측에 힌지 연결되어 리드의 타측을 개폐 지지하는 개폐조작부, 및 챔버의 일측과 리드의 일측에 힌지 연결되어 리드의 일측을 개폐 지지하는 보조개폐안내부를 통해, 리드가 안정적으로 개폐 작동 안내하고 챔버의 개방측에 대한 밀봉력을 증대하기 위한 리드의 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lid opening/closing device, and more particularly, as a facility for automatically opening and closing the opening side of a chamber with a lid, provided on one side of the chamber and hinged to the other side of the lid to close the other side of the lid Through the opening/closing operation part for supporting opening and closing, and the auxiliary opening/closing guide part hingedly connected to one side of the chamber and one side of the lid to open and close the one side of the lid, the lid is stably guiding the opening and closing operation and increasing the sealing force on the opening side of the chamber It relates to the opening and closing device of the lead for
일반적으로, 반도체 소자와 디스플레이 OLED의 제조를 위해서는 증착, 사진, 식각, 애칭, 그리고 세정 등 다양한 공정이 요구되며, 많은 공정이 챔버(chamber) 내에서 이루어지고 있다.In general, various processes such as deposition, photography, etching, etching, and cleaning are required for manufacturing a semiconductor device and a display OLED, and many processes are performed in a chamber.
반도체와 디스플레이 제조용 챔버에는 그 용도에 따라 다양한 종류가 있지만, 최근 그 사용빈도가 점점 증가하고 있는 종류는 플라즈마를 이용한 증착 또는 식각을 수행하는 플라즈마 챔버이다.Although there are various types of chambers for semiconductor and display manufacturing according to their uses, the type of which the frequency of use is increasing recently is a plasma chamber that performs deposition or etching using plasma.
또한, 반도체와 디스플레이 제조 공정 동안 내부 압력 및 외부 압력의 상호 관계를 적절히 유지하면서 공정 챔버 내에서 웨이퍼 상에 원하는 공정을 수행한다. 외부 압력은 반도체 제조 장비를 둘러싸는 대기압으로부터 온다. 그리고 내부 압력은 반도체 제조 장비 내 공정 챔버 주변에 인위적으로 조절된 진공으로부터 온다.In addition, a desired process is performed on a wafer in a process chamber while properly maintaining the correlation between internal and external pressures during semiconductor and display manufacturing processes. The external pressure comes from the atmospheric pressure surrounding the semiconductor manufacturing equipment. And the internal pressure comes from an artificially regulated vacuum around the process chamber in the semiconductor manufacturing equipment.
반도체 제조 설비는, 내부 압력을 유지하기 위해 일반적으로 로드락 챔버 및 트랜스퍼 챔버를 마련하고 있다. 로드락 챔버 및 트랜스퍼 챔버는 반도체 제조 공정이 진행되는 동안 공정 챔버를 보호하기 위해 내부 압력으로 유지된다.A semiconductor manufacturing facility is generally provided with a load lock chamber and a transfer chamber to maintain internal pressure. The load lock chamber and transfer chamber are maintained at internal pressure to protect the process chamber during the semiconductor manufacturing process.
여기서 공정 챔버와 로드락 챔버 및 트랜스퍼 챔버에는 각 챔버 간에 웨이퍼가 왕래할 수 있도록 웨이퍼 이동 통로가 마련되고, 웨이퍼 이동 통로를 공정에 따라 밀폐시켜 각 챔버의 내부 압력이 유지되도록 하는 도어장치를 포함한다.Here, the process chamber, the load lock chamber, and the transfer chamber are provided with a wafer movement passage so that wafers can move between the chambers, and include a door device for sealing the wafer movement passage according to the process to maintain the internal pressure of each chamber. .
관련기술로는 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0082211호(발명의 명칭: 기판 처리 장치에서 사용되는 처리 챔버의 커버)가 개시된 바 있다.As a related art, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2008-0082211 (Title of the Invention: Cover of a processing chamber used in a substrate processing apparatus) has been disclosed.
상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.The above technical configuration is a background for helping understanding of the present invention, and does not mean a conventional technique widely known in the technical field to which the present invention pertains.
기존 반도체 제조설비용 도어장치는 큰 하중의 도어를 크레인 등을 이용하여 인양하는 방식으로 개방하여야 함으로써, 챔버 내부의 압력 유지가 어려울 뿐만 아니라, 개방된 상태를 안정되게 유지할 수 없는 문제점이 있다.Existing door apparatus for semiconductor manufacturing equipment has a problem in that it is difficult to maintain the pressure inside the chamber as well as stably maintaining the open state because the door of a large load must be opened by using a crane or the like to be opened.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve it.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 챔버의 개방측을 리드(lid)로 자동 개폐 조작하는 설비로써, 챔버의 일측에 구비된 채 리드의 타측에 힌지 연결되어 리드의 타측을 개폐 지지하는 개폐조작부, 및 챔버의 일측과 리드의 일측에 힌지 연결되어 리드의 일측을 개폐 지지하는 보조개폐안내부를 통해, 리드가 안정적으로 개폐 작동 안내하고, 챔버의 개방측에 대한 밀봉력을 증대하기 위해, 개폐조작부와 보조개폐안내부를 리드의 형상에 맞게 구비하는 리드의 개폐장치 리드의 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to improve the above problems, and is a facility for automatically opening and closing the open side of the chamber with a lid. Through the opening/closing operation part that supports opening and closing, and the auxiliary opening/closing guide part hingedly connected to one side of the chamber and one side of the lid to open and close one side of the lid, the lid stably guides the opening and closing operation, and the sealing force on the opening side of the chamber is increased To this end, an object of the present invention is to provide a lid opening and closing device having an opening and closing operation unit and an auxiliary opening and closing guide unit according to the shape of the lid.
본 발명에 따른 리드의 개폐장치는: 챔버의 개방된 일측에 힌지 연결된 채 상기 챔버의 개방측을 개폐하는 리드에 힌지 연결되어 상기 챔버에 대해 상기 리드의 개폐를 작동 안내하고, 하나 이상 구비되는 개폐조작부; 상기 개폐조작부의 일측을 회동 안내하기 위해, 구동력을 전달하는 개폐구동부; 및 상기 챔버의 일측에 힌지 연결된 채 상기 리드의 일측에 힌지 연결되어, 상기 리드의 개폐 동작에 연동되며 회동되는 상기 리드를 지지하는 하나 이상의 보조개폐안내부를 포함한다.The lid opening/closing device according to the present invention is hingedly connected to an open side of the chamber while being hinged to a lid for opening and closing the open side of the chamber to guide the opening and closing of the lid with respect to the chamber, and at least one opening/closing device provided control panel; an opening/closing driving unit that transmits a driving force to guide one side of the opening/closing manipulation unit to rotate; and one or more auxiliary opening/closing guides which are hingedly connected to one side of the lid while being hinged to one side of the chamber and support the lid rotated while being linked to the opening/closing operation of the lid.
상기 리드는 보강을 위해 상측면의 적어도 일측 가장자리와 타측 가장자리를 제외한 상측면에 호 형상의 보강부재를 형성하고, 상기 개폐조작부는 타측이 상기 보강부재의 타측 가장자리에 힌지 연결되는 것을 특징으로 한다.The lead forms an arc-shaped reinforcing member on the upper side excluding at least one edge and the other edge of the upper side for reinforcement, and the opening/closing operation part is hinged to the other edge of the reinforcing member.
상기 챔버는 일측에 메인서포터를 구비하고, 상기 개폐조작부의 일측은 상기 메인서포터에 힌지 연결되는 것을 특징으로 한다.The chamber has a main supporter on one side, and one side of the opening/closing operation part is hingedly connected to the main supporter.
상기 챔버는 일측에 제 1서브서포터를 구비하고, 상기 리드는 상기 제 1서브서포터에 일대일 대응되도록 일측에 제 2서브서포터를 구비하며, 상기 보조개폐안내부는 대응되는 상기 제 1서브서포터와 상기 제 2서브서포터에 지지되는 것을 특징으로 한다.The chamber has a first sub-supporter on one side, and the lid has a second sub-supporter on one side so as to correspond one-to-one to the first sub-supporter, and the auxiliary opening/closing guide part corresponds to the first sub-supporter and the second sub-supporter. It is characterized in that it is supported by 2 sub-supporters.
상기 개폐조작부는, 상기 챔버의 일측에 구비되는 메인일측힌지브라켓; 상기 메인일측힌지브라켓에 힌지 연결되어, 상기 리드가 개폐되는 궤적을 따라 회동 안내되는 하우징; 상기 하우징에 축 방향으로 출입 가능하게 구비되고, 상기 리드의 개폐에 의해 자연적으로 축 방향 이동되거나 또는 강제로 축 방향 이동되며 상기 리드의 개폐를 안내하는 샤프트; 및 축 방향을 따라 상기 샤프트의 타측을 연결하고, 상기 리드에 고정되는 메인타측힌지브라켓을 포함한다.The opening/closing operation unit may include a main one-side hinge bracket provided on one side of the chamber; a housing hingedly connected to the main one-side hinge bracket and rotatably guided along the trajectory of opening and closing the lid; a shaft provided in the housing so as to be able to enter and exit the housing in the axial direction, the shaft is moved in the axial direction naturally or is forcibly moved in the axial direction by opening and closing the lead, and guides the opening and closing of the lead; and a main other side hinge bracket that connects the other side of the shaft along the axial direction and is fixed to the lead.
상기 개폐조작부는, 축 방향을 따라 상기 샤프트의 타측을 힌지 연결하는 제 1힌지핀; 일측이 상기 제 1힌지핀에 링크 연결되고, 1개 또는 복수 개가 구비되는 링크암; 상기 링크암의 타측에 링크 연결되고, 상기 메인타측힌지브라켓에 힌지 연결되는 제 2힌지핀을 포함한다.The opening/closing operation unit may include: a first hinge pin for hinge-connecting the other side of the shaft along an axial direction; a link arm having one side linked to the first hinge pin and provided with one or a plurality of link arms; and a second hinge pin that is linked to the other side of the link arm and is hingedly connected to the other side of the main hinge bracket.
상기 개폐구동부는, 구동모터의 구동력을 전달받아 회전되는 기어모듈; 상기 하우징에 축 삽입되고, 상기 기어모듈로부터 회전력을 전달받아 원주방향으로 일방향과 타방향으로 회전되며, 외측 둘레면에 외측나사산을 형성한 로터리로드; 및 상기 샤프트의 일측에 고정되고, 내측면에 내측나사산을 형성하여 상기 외측나사산과 기어 결합됨으로써 상기 로터리로드의 회전 방향에 따라 상기 샤프트의 축 방향 이동을 안내하는 조인트를 포함한다.The opening/closing driving unit may include a gear module which is rotated by receiving a driving force of a driving motor; a rotary rod which is inserted into the housing and rotated in one direction and the other in a circumferential direction by receiving rotational force from the gear module, and having an outer thread formed on an outer circumferential surface; and a joint fixed to one side of the shaft and guiding the axial movement of the shaft according to the rotational direction of the rotary rod by forming an inner thread on the inner surface and gear-coupled with the outer thread.
상기 로터리로드는 상기 하우징의 내측에서, 베어링에 의해 상기 하우징에 지지되는 것을 특징으로 한다.The rotary rod is supported on the housing by a bearing on the inside of the housing.
상기 보조개폐안내부는, 상기 챔버의 일측에 구비되는 고정블록; 상기 고정블록에 대응되도록 상기 리드의 일측 가장자리에 구비되어 상기 리드와 함께 호 궤적을 따라 이동되고, 대응되는 상기 고정블록 방향으로 개방되는 슬라이드홈을 형성하는 이동블록; 및 일측이 상기 고정블록에 힌지 연결되고, 타측이 상기 슬라이드홈에 축 삽입되어, 상기 리드와 상기 이동블록이 이동시, 축 방향으로 이동되며 상기 리드를 지지하는 지지빔을 포함한다.The auxiliary opening/closing guide unit may include: a fixed block provided on one side of the chamber; a moving block provided on one edge of the lead so as to correspond to the fixed block, moving along an arc trajectory together with the lead, and forming a slide groove that is opened in the direction of the corresponding fixed block; and a support beam having one side hinge-connected to the fixed block, and the other side being axially inserted into the slide groove, moving in an axial direction when the lead and the moving block are moved, and supporting the lead.
상기 지지빔은 제 1스토퍼를 구비하고, 상기 이동블록은 상기 지지빔이 축 삽입되는 거리를 제한하기 위해 상기 제 1스토퍼에 대응되도록 제 2스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 한다.The support beam may include a first stopper, and the moving block may include a second stopper to correspond to the first stopper in order to limit a distance through which the support beam is axially inserted.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 리드의 개폐장치는 종래 기술과 달리 챔버의 개방측을 리드(lid)로 자동 개폐 조작하는 설비로써, 챔버의 일측에 구비된 채 리드의 타측에 힌지 연결되어 리드의 타측을 개폐 지지하는 개폐조작부, 및 챔버의 일측과 리드의 일측에 힌지 연결되어 리드의 일측을 개폐 지지하는 보조개폐안내부를 통해, 리드가 안정적으로 개폐 작동 안내할 수 있고, 챔버의 개방측에 대한 밀봉력을 증대할 수 있다.As described above, the lid opening and closing device according to the present invention is a facility that automatically opens and closes the opening side of the chamber with a lid, unlike the prior art. Through the opening/closing operation part for opening and closing the other side of the lid and the auxiliary opening/closing guide part hingedly connected to one side of the chamber and one side of the lid to open and close the one side of the lid, the lid can stably guide the opening and closing operation, and the opening side of the chamber It is possible to increase the sealing force for
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 닫힘 상태를 보인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 열림 상태를 보인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 요부 확대 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 요부 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치 중 개폐구동부를 보인 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 개폐조작부의 종단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 보조개폐안내부의 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 보조개폐안내부의 종단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 작동 상태를 보인 측단면도이다.1 is a perspective view showing a closed state of a lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing an open state of the opening and closing device of the lid according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged perspective view of a main part of an opening/closing device for a lid according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of a main part of an opening/closing device for a lid according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing an opening/closing driving part of the lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
6 is a longitudinal cross-sectional view of an opening/closing operation unit of a lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view of an auxiliary opening/closing guide of a lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
8 is a longitudinal cross-sectional view of an auxiliary opening/closing guide of a lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
9 is a side cross-sectional view showing the operating state of the opening and closing device of the lid according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 리드의 개폐장치의 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, an embodiment of a lid opening and closing device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, the terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to intentions or customs of users and operators. Therefore, definitions of these terms should be made based on the content throughout this specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 닫힘 상태를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 열림 상태를 보인 사시도이다.1 is a perspective view showing a closed state of the lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an open state of the lid opening and closing device according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 요부 확대 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 요부 분해 사시도이다.Figure 3 is an enlarged perspective view of the main part of the opening and closing device for the lid according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an exploded perspective view of the main part of the opening and closing device for the lid according to the embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치 중 개폐구동부를 보인 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 개폐조작부의 종단면도이다.5 is a perspective view showing an opening/closing driving part of the lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a longitudinal cross-sectional view of the opening/closing operation part of the lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 보조개폐안내부의 분해 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 보조개폐안내부의 종단면도이다.7 is an exploded perspective view of an auxiliary opening/closing guide of a lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view of an auxiliary opening/closing guide unit of the lid opening/closing device according to an embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 리드의 개폐장치의 작동 상태를 보인 측단면도이다.9 is a side cross-sectional view showing the operating state of the opening and closing device of the lid according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 리드(20)의 개폐장치(100)는 개폐조작부(200), 개폐구동부(300) 및 보조개폐안내부(400)를 포함한다.1 to 9 , the opening/
특히, 본 발명에 따른 개폐장치(100)는 리드(lid,20)를 호 궤적을 따라 회동시키며 챔버(10)의 개방측을 개폐하는 역할을 한다.In particular, the opening and
이때, 챔버(10)는 반도체용 진공챔버, 고압용 가스챔버 등 다양하게 적용 가능하다.In this case, the
개폐조작부(200)는 일측이 개방된 챔버(10)의 일측에 힌지 연결된 채 챔버(10)를 개폐하는 리드(20)에 힌지 연결되어, 리드(20)를 개폐 작동한다. 개폐조작부(200)는 리드(20)의 크기(하중)이나 챔버(10) 내부에서 작용하는 내압에 대한 설정 가압력에 따라 하나 이상 구비된다.The opening/
물론, 리드(20)는 다양한 재질로 적용 가능하다.Of course, the
특히, 개폐조작부(200)는 챔버(10)의 개방측의 일측 가장자리 또는 챔버(10)의 둘레면과, 리드(20)의 타측에 각각 힌지 연결된다.In particular, the opening/
그리고, 개폐구동부(300)는 챔버(10)에 힌지 연결된 개폐조작부(200)의 일측에 회동을 위한 구동력을 전달한다. In addition, the opening/
아울러, 보조개폐안내부(400)는 챔버(10)의 일측에 힌지 연결된 채 리드(20)의 일측에 힌지 연결되어, 리드(20)의 개폐 동작에 연동되며 회동되는 리드(20)를 지지한다. 이때, 보조개폐안내부(400)는 리드(20)의 크기(하중)이나 챔버(10) 내부에서 작용하는 내압에 대한 설정 가압력에 따라 하나 이상 구비된다. In addition, the auxiliary opening/
리드(20)는 챔버(10)의 내압에 견디면서 변형을 방지하도록, 보강을 위해 상측면의 적어도 일측 가장자리와 타측 가장자리를 제외한 상측면에 호 형상의 보강부재(22)를 돌출 형성한다. 편의상, 보강부재(22)는 리드(20)의 상측면의 가장자리 전체를 제외한 내측에 돌출 형성되고, 일측 가장자리에서 타측 가장자리 방향을 따라 호 형상으로 형성되는 것으로 도시한다. 이때, 리드(20)는 하측면을 다양하게 형성할 수 있다.The
한편, 개폐조작부(200)는 타측이 보강부재(22)의 타측 가장자리에 힌지 연결되어 리드(20)의 타측 가장자리를 직접적으로 들어 올리는 힘이 작용된다.On the other hand, the other side of the opening and
이때, 보강부재(22)는 축 방향을 따라 중앙 부위가 가장 높은 호 형상으로 이루어짐에 따라, 개폐조작부(200)는 작동시 호 형상인 보강부재(22)로부터 간섭이 방지되어야 한다.At this time, since the reinforcing
이를 위해, 챔버(10)는 개방측인 일측 가장자리 또는 둘레면에 메인서포터(12)를 구비한다. 메인서포터(12)는 보강부재(22)의 높이보다 더 높게 구비된다. 이때, 메인서포터(12)는 다양한 형상으로 변형 가능하고, 하나 이상인 개폐조작부(200)에 일대일 대응되게 구비될 수 있다.To this end, the
그리고, 개폐조작부(200)는 일측이 메인서포터(12)에 힌지 연결된다. 그래서, 개폐조작부(200)는 작동시 보강부재(22)와 간섭이 발생되지 않게 된다.In addition, one side of the opening/
아울러, 챔버(10)는 개방측인 일측 가장자리 또는 둘레면에 제 1서브서포터(14)를 구비한다. 제 1서브서포터(14)는 보강부재(22)의 높이보다 높게 형성될 수도 있고, 보강부재(22)의 높이보다 낮거나 유사하게 구비될 수도 있다. 제 1서브서포터(14)는 다양한 형상으로 변형 가능하고, 하나 이상인 보조개폐안내부(400)에 일대일 대응되게 구비된다. In addition, the
또한, 리드(20)는 제 1서브서포터(14)에 일대일 대응되도록 일측에 제 2서브서포터(24)를 구비한다. 제 2서브서포터(24)는 다양한 형상으로 변형 가능하다.In addition, the
특히, 메인서포터(12)와 제 1서브서포터(14)는 챔버(10)에 일체로 구비될 수도 있고, 챔버(10)에 분리 가능하게 결합될 수도 있다. 아울러, 제 2서브서포터(24)는 리드(20)에 일체로 구비될 수도 있고, 리드(20)에 분리 가능하게 결합될 수도 있다.In particular, the
그리고, 보조개폐안내부(400)는 대응되는 제 1서브서포터(14)와 제 2서브서포터(24)에 지지된 채 개폐되는 리드(20)의 일측 가장자리를 지지한다.In addition, the auxiliary opening/
이로써, 개폐조작부(200)가 일측이 메인서포터(12)에 힌지 연결되고, 보조개폐안내부(400)가 일측이 제 1서브서포터(14)에 힌지 연결됨에 따라, 리드(20)는 둔각을 이룬 채 챔버(10)의 개방측을 개방할 수 있다.As a result, one side of the opening/
한편, 개폐조작부(200)는 메인일측힌지브라켓(210), 하우징(220), 샤프트(230) 및 메인타측힌지브라켓(270)을 포함한다.Meanwhile, the opening/
메인일측힌지브라켓(210)은 챔버(10)의 일측에 구비된다. 특히, 메인일측힌지브라켓(210)은 메인서포터(12) 각각에 분리 가능하게 결합되어 고정된다.The main one-
그리고, 하우징(220)은 메인일측힌지브라켓(210)에 힌지 연결된다. 즉, 하우징(220)은 축 방향을 따라 타측으로 개방되게 형성되고, 일측이 메인힌지핀(212)에 의해 메인일측힌지브라켓(210)에 힌지 가능하게 연결된다. 이때, 하우징(220)은 축 방향을 따라 일측이 직접적 또는 간접적으로 메인일측힌지브라켓(210)에 힌지 연결된다.In addition, the
아울러, 하우징(220)은 리드(20)가 개폐되는 궤적을 따라, 메인힌지핀(212)을 기준으로 회동 안내된다.In addition, the
즉, 샤프트(230)는 하우징(220)에 축 방향으로 출입 가능하게 구비된다. 그리고, 샤프트(230)는 축 방향을 따라 타측이 리드(20)의 타측에 힌지 연결된다.That is, the
그래서, 샤프트(230)는 리드(20)의 개폐에 의해 하우징(220)에 축 삽입된 채 자연적으로 축 방향 이동되거나, 또는 하우징(220)에 축 삽입된 채 강제로 축 방향 이동되며 리드(20)의 개폐를 안내한다.Thus, the
그리고, 메인타측힌지브라켓(270)은 축 방향을 따라 샤프트(230)의 타측을 연결하고, 리드(20)에 고정된다.In addition, the main other
따라서, 하우징(220)과 샤프트(230)는 메인힌지핀(212)을 기준으로 되는 양방향 회동되며, 리드(20)의 개폐 작동을 안내한다.Accordingly, the
특히, 하우징(220)과 샤프트(230)는 축 방향으로 일직선상에 배치되고, 리드(20)를 눌러 챔버(10)의 개방측을 밀봉한다.In particular, the
이때, 리드(20)는 챔버(10)를 향해 수직 방향으로 가압될 경우 밀봉력이 극대화되지만, 하우징(220)과 샤프트(230)는 축 방향이 리드(20)의 상측면 또는 보강부재(22)의 접선 방향에 대해 경사진 방향으로 누르는 힘이 작용한다.At this time, when the
이로써, 샤프트(230)는 리드(20)를 누르는 힘이 좀 더 수직에 가깝게 작용하는 것이 바람직하다.Accordingly, the
이를 위해, 개폐조작부(200)는 제 1힌지핀(240), 링크암(250) 및 제 2힌지핀(260)을 포함한다.To this end, the opening/
제 1힌지핀(240)은 축 방향을 따라 샤프트(230)의 타측을 힌지 연결한다.The
그리고, 링크암(250)은 일측이 제 1힌지핀(240)에 링크 연결된다. 특히, 링크암(250)은 1개 또는 나란한 복수 개가 구비될 수 있다. In addition, one side of the
아울러, 제 2힌지핀(260)은 축 방향을 따라 링크암(250)의 타측에 링크 연결되고, 메인타측힌지브라켓(270)에 힌지 연결된다. In addition, the
즉, 링크암(250)은 축 방향을 따라 일측이 제 1힌지핀(240)에 링크 연결되고, 타측이 제 2힌지핀(260)에 링크 연결된다. 이때, 샤프트(230)는 호 형상인 보강부재(22)의 상측에 위치함에 따라, 리드(20)가 챔버(10)의 개방측을 닫은 상태일 경우, 링크암(250)은 하향 경사진 상태를 유지하여 리드(20)를 집중 가압하도록 안내한다.That is, one side of the
즉, 리드(20)가 닫힘 상태일 경우, 링크암(250)은 축 방향이 샤프트(230)의 축 방향에 대해 하향 경사져 닫힘에 대한 가압력을 증가한다.That is, when the
한편, 개폐구동부(300)는 기어모듈(310), 로터리로드(rotary rod,320) 및 조인트(330)를 포함한다.Meanwhile, the opening/
기어모듈(310)은 기어조립체로 이루어져, 구동모터(312)의 구동력을 전달받아 회전된다. 이때, 기어모듈(310)은 베벨기어, 외접기어, 헬리컬기어, 감속기어 등 다양하게 적용 가능하다. 특히, 구동모터(312)는 기어모듈(310)의 기어들을 보호하기 위해 구비되는 기어박스(314)에 고정될 수 있다.The
아울러, 로터리로드(320)는 하우징(220)에 축 삽입되고, 기어모듈(310)로부터 회전력을 전달받아 원주방향으로 일방향과 타방향으로 회전된다. 이때, 로터리로드(320)가 기어모듈(310)과 연결되는 바, 로터리로드(320)는 축 방향을 따라 일측이 기어박스(314)에 감싸여진 채 회전 가능하도록 지지된다. 이로써, 하우징(220)은 축 방향을 따라 일측이 기어박스(314)에 일체 또는 분리 가능하게 연결될 수 있다.In addition, the
특히, 로터리로드(320)는 외측면에 축 방향을 따라 전체 또는 일부에 외측나사산(322)을 형성한다.In particular, the
그리고, 조인트(330)는 축 방향을 따라 샤프트(230)의 일측에 고정되고, 내측면에 내측나사산(332)을 형성한다. 그래서, 로터리로드(320)가 조인트(330)에 축 삽입되며, 외측나사산(322)과 내측나사산(332)이 기어 결합된다. 따라서, 로터리로드(320)의 회전 방향에 따라, 샤프트(230)의 축 방향으로 후진되며 열림 방향으로 리드(20)의 타측을 당기고, 전진되며 닫힘 방향으로 리드(20)를 밀게 된다.And, the joint 330 is fixed to one side of the
이때, 샤프트(230)는 메인타측힌지브라켓(270)에 연결됨에 따라 원주 방향으로 회전되는 것이 방지된다.At this time, the
물론, 조인트(340)는 다양한 형상으로 적용 가능하고, 다양한 방식으로 샤프트(230)에 고정 연결된다.Of course, the joint 340 is applicable to various shapes, and is fixedly connected to the
특히, 조인트(330)는 최초에 하우징(220)의 내부로 용이하게 삽입되고, 하우징(220)의 타측으로 완전히 이탈되는 것이 방지되어야 한다.In particular, the joint 330 is easily inserted into the
이를 위해, 하우징(220)은 타측에 캡(350)을 개폐 가능하게 구비된다. 이때, 샤프트(230)는 캡(350)에 축 삽입된 채 직선 왕복 이동된다.To this end, the
아울러, 로터리로드(320)가 하우징(220)의 내부에서 원주 방향으로 안정적으로 회전 가능하도록, 로터리로드(320)는 둘레면에 베어링(340)이 구비되고, 베어링(340)은 하우징(220)의 내측면에 접한다. 그래서, 베어링(340)은 하우징(220)의 내부에서 로터리로드(320)가 회전시 흔들림이 방지되도록 지지한다. In addition, so that the
한편, 보조개폐안내부(400)는 고정블록(410), 이동블록(420), 및 지지빔(430)을 포함한다.Meanwhile, the auxiliary opening/
고정블록(410)은 챔버(10)의 개방측의 일측 가장자리 또는 일측 둘레면에 고정되게 구비된다. 이때, 고정블록(410)은 제 1서브서포터(14)에 일대일 대응되게 구비될 수 있다. 고정블록(410)은 제 1서브서포터(14) 자체일 수도 있고, 제 1서브서포터(14)에 분리 가능하게 결합될 수도 있다.The fixing
그리고, 이동블록(420)은 고정블록(410)에 대응되도록 리드(20)의 일측 가장자리에 구비되어 리드(20)와 함께 호 궤적을 따라 이동된다.Then, the moving
이동블록(420)은 제 2서브서포터(24)에 일대일 대응되게 구비될 수 있다. 아울러, 이동블록(420)은 제 2서브서포터(24) 자체일 수도 있고, 제 2서브서포터(24)에 분리 가능하게 결합될 수도 있다.The moving
아울러, 이동블록(420)은 대응되는 고정블록(410) 방향으로 개방되는 슬라이드홈(422)을 형성한다. 이때, 슬라이드홈(422)은 대응되는 고정블록(410)을 향하는 이동블록(420)의 일측으로만 개방될 수도 있고, 이동블록(420)의 일측과 양쪽 측면 방향으로 개방될 수도 있다.In addition, the moving block 420 forms a
또한, 지지빔(430)은 축 방향을 따라 일측이 고정블록(410)에 힌지 연결되고, 타측이 슬라이드홈(422)에 축 삽입된다. 즉, 지지빔(430)은 축 방향을 따라 일측이 피벗핀(436)에 의해 고정블록(410)에 힌지 연결됨에 따라 리드(20)의 개폐 방향을 따라 회동된다. 그리고, 지지빔(430)은 축 방향을 따라 타측이 이동블록(420)의 슬라이드홈(422)에 삽입되어 개방되는 리드(20)의 일측을 들어 올리는 역할을 한다. 이로써, 리드(20)는 개방시 안정적으로 지지된다.In addition, one side of the
이때, 리드(20)와 이동블록(420)이 리드(20)의 개폐 방향을 따라 이동시, 지지빔(430)은 축 방향으로 이동되며 리드(20)를 지지한다.At this time, when the
그래서, 개폐구동부(300)가 작동되며, 리드(20)가 챔버(10)의 개방측을 개방시, 리드(20)는 타측에 하나 이상 구비되는 메인타측힌지브라켓(270)이 개폐구동부(300) 각각에 연결되어 지지되고, 일측에 하나 이상 구비되는 이동블록(420)이 지지빔(430) 각각에 연결되어 지지된다. So, the opening/
특히, 링크암(250)이 리드(20)의 타측에 위치한 메인타측힌지브라켓(270)을 들어 올리는 시점과, 지지빔(430)이 리드(20)의 일측에 위치한 이동블록(420)을 들어 올리는 시점이 상이하다. 이 경우, 리드(20)가 개방되는 방향으로 회동시 흔들림이 발생될 수 있다.In particular, the
이를 방지하기 위해, 메인타측힌지브라켓(270)은 슬롯홀(272)을 형성하여 원형인 제 2힌지핀(260)을 축 삽입하고, 샤프트(230)와 링크암(250) 중 적어도 어느 하나는 타측 단부나 가장자리에 정홀(232)을 형성하여 원형인 제 1힌지핀(240)을 축 삽입한다. 이에 따라, 샤프트(230)가 메인힌지핀(212)을 기준으로 회동시, 제 2힌지핀(260)은 슬롯홀(272) 내부에서 움직임 영역이 소정 확대되도록 한다.To prevent this, the main other
이때, 슬롯홀(272)의 장직경은 샤프트(230)의 타측 단부의 이동 궤적을 따라 호 또는 직선 형상으로 이루어진다. At this time, the long diameter of the
이에 따라, 리드(20)가 챔버(10)의 개방측을 덮고 있을 경우, 제 2힌지핀(260)은 슬롯홀(272)의 하측에 위치한다. 그리고, 리드(20)의 개방을 위해, 샤프트(230)가 링크암(250)을 들어 올리는(상향) 초기에, 제 2힌지핀(260)은 슬롯홀(272)의 상측으로 이동한다. 이 후, 리드(20)는 개방 방향으로 회동된다. 이에 연동되어, 지지빔(430)의 일측이 서서히 상부 방향으로 이동하게 된다.Accordingly, when the
반대로, 리드(20)가 챔버(10)의 개방측을 닫는 방향으로 작동시, 샤프트(230)가 링크암(250)을 하향 회동시키는 초기에, 제 2힌지핀(260)은 슬롯홀(272)의 하측으로 이동한다. 이 후, 리드(20)는 닫힘 방향으로 회동된다. 이에 연동되어, 지지빔(430)의 일측이 서서히 하부 방향으로 서서히 이동하게 된다.Conversely, when the
그래서, 리드(20)는 일측 가장자리가 타측 가장자리의 회동 궤적에 따라 이동 시점을 달리하며 대응하게 된다.Thus, the
또한, 리드(20)가 닫힘 방향으로 이동시, 지지빔(430)이 리드(20)의 일측을 견고하게 지지하여 급격한 하향 이동을 방지함이 바람직하다.In addition, when the
이때, 지지빔(430)은 단부가 이동블록(420)의 슬라이드홈(422)의 내측면에 접하면서 가압할 경우, 이동블록(420)이 파손될 수 있다.At this time, when the end of the
그래서, 지지빔(430)은 둘레면에 제 1스토퍼(434)를 구비하고, 이동블록(420)은 지지빔(430)이 축 삽입되는 거리를 제한하기 위해 제 1스토퍼(434)에 대응되도록 제 2스토퍼(424)를 구비한다. 즉, 리드(20)가 챔버(10)의 개방측을 완전히 닫기 직전에, 제 1스토퍼(434)가 대응되는 제 2스토퍼(424)에 서서히 접함으로써, 리드(20)는 일측이 챔버(10)의 개방측을 급격히 닫는 것을 방지한다. 물론, 제 1스토퍼(434)와 제 2스토퍼(424)는 다양한 형상으로 변형 가능하다.So, the
아울러, 지지빔(430)은 슬라이드홈(422)의 내측 바닥면과 접촉된 상태로 회동됨에 따라, 지지빔(430)은 슬라이드홈(422)의 내부 바닥면과 접하는 부위에 구면(438)을 형성할 수 있다. 구면(438)이 슬라이드홈(422)의 내부 바닥면에 구름 접촉함으로써, 지지빔(430)이 이동블록(420)과의 마찰 저항이 감소된다. 이때, 슬라이드홈(422)은 지지빔(430)의 구면(438)에 대응되도록 곡면홈을 함몰 형성할 수 있다.In addition, as the
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those of ordinary skill in the art to which various modifications and equivalent other embodiments are possible. will understand Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the following claims.
10: 챔버 12: 메인서포터
14: 제 1서브서포터 20: 리드(lid)
22: 보강부재 24: 제 2서브서포터
100: 개폐장치 200: 개폐조작부
210: 메인일측힌지브라켓 212: 메인힌지핀
220: 하우징 230: 샤프트
240: 제 1힌지핀 250: 링크암
260: 제 2힌지핀 270: 메인타측힌지브라켓
300: 개폐구동부 310: 기어모듈
312: 구동모터 314: 기어박스
320: 로터리로드 330: 조인트
340: 베어링 400: 보조개폐안내부
410: 고정블록 420: 이동블록
422: 슬라이드홈 424: 제 2스토퍼
430: 지지빔 436: 피벗핀
434: 제 1스토퍼 438: 구면
10: chamber 12: main supporter
14: first sub supporter 20: lead (lid)
22: reinforcing member 24: second sub supporter
100: opening and closing device 200: opening and closing control unit
210: main hinge bracket 212: main hinge pin
220: housing 230: shaft
240: first hinge pin 250: link arm
260: second hinge pin 270: main other side hinge bracket
300: opening/closing driving unit 310: gear module
312: drive motor 314: gearbox
320: rotary rod 330: joint
340: bearing 400: auxiliary opening and closing guide part
410: fixed block 420: moving block
422: slide groove 424: second stopper
430: support beam 436: pivot pin
434: first stopper 438: spherical
Claims (10)
상기 개폐조작부의 일측을 회동 안내하기 위해, 구동력을 전달하는 개폐구동부; 및
상기 챔버의 일측에 힌지 연결된 채 상기 리드의 일측에 힌지 연결되어, 상기 리드의 개폐 동작에 연동되며 회동되는 상기 리드를 지지하는 하나 이상의 보조개폐안내부를 포함하고,
상기 보조개폐안내부는, 상기 챔버의 일측에 구비되는 고정블록;
상기 고정블록에 대응되도록 상기 리드의 일측 가장자리에 구비되어 상기 리드와 함께 호 궤적을 따라 이동되고, 대응되는 상기 고정블록 방향으로 개방되는 슬라이드홈을 형성하는 이동블록; 및
일측이 상기 고정블록에 힌지 연결되고, 타측이 상기 슬라이드홈에 축 삽입되어, 상기 리드와 상기 이동블록이 이동시, 축 방향으로 이동되며 상기 리드를 지지하는 지지빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
an opening/closing operation unit which is hingedly connected to a lid for opening and closing the open side of the chamber while hingedly connected to one open side of the chamber to guide the opening and closing of the lid with respect to the chamber;
an opening/closing driving unit that transmits a driving force to guide one side of the opening/closing manipulation unit to rotate; and
At least one auxiliary opening/closing guide part hingedly connected to one side of the lid while being hingedly connected to one side of the chamber, interlocking with the opening/closing operation of the lid and supporting the rotating lid,
The auxiliary opening/closing guide unit may include: a fixed block provided on one side of the chamber;
a moving block provided on one edge of the lead so as to correspond to the fixed block, moving along an arc trajectory together with the lead, and forming a slide groove that is opened in the direction of the corresponding fixed block; and
One side is hinged to the fixed block, the other side is shaft-inserted into the slide groove, and when the lead and the movable block are moved, the lead and the movable block are moved in the axial direction and include a support beam for supporting the lead. opening and closing device.
상기 리드는 보강을 위해 상측면의 적어도 일측 가장자리와 타측 가장자리를 제외한 상측면에 호 형상의 보강부재를 형성하고,
상기 개폐조작부는 타측이 상기 보강부재의 타측 가장자리에 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
The method of claim 1,
The lead forms an arc-shaped reinforcing member on the upper surface excluding at least one edge and the other edge of the upper surface for reinforcement,
The opening and closing device of the lid, characterized in that the other side of the opening and closing operation part is hingedly connected to the other edge of the reinforcing member.
상기 챔버는 일측에 메인서포터를 구비하고,
상기 개폐조작부의 일측은 상기 메인서포터에 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
The method of claim 1,
The chamber is provided with a main supporter on one side,
One side of the opening/closing operation unit is hingedly connected to the main supporter.
상기 챔버는 일측에 제 1서브서포터를 구비하고,
상기 리드는 상기 제 1서브서포터에 일대일 대응되도록 일측에 제 2서브서포터를 구비하며,
상기 보조개폐안내부는 대응되는 상기 제 1서브서포터와 상기 제 2서브서포터에 지지되는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
4. The method of claim 2 or 3,
The chamber has a first sub-supporter on one side,
The lead has a second sub-supporter on one side so as to correspond one-to-one to the first sub-supporter,
and the auxiliary opening/closing guide part is supported by the corresponding first sub-supporter and the second sub-supporter.
상기 챔버의 일측에 구비되는 메인일측힌지브라켓;
상기 메인일측힌지브라켓에 힌지 연결되어, 상기 리드가 개폐되는 궤적을 따라 회동 안내되는 하우징;
상기 하우징에 축 방향으로 출입 가능하게 구비되고, 상기 리드의 개폐에 의해 자연적으로 축 방향 이동되거나 또는 강제로 축 방향 이동되며 상기 리드의 개폐를 안내하는 샤프트; 및
축 방향을 따라 상기 샤프트의 타측을 연결하고, 상기 리드에 고정되는 메인타측힌지브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the opening/closing operation unit comprises:
a main one-side hinge bracket provided on one side of the chamber;
a housing hingedly connected to the main one-side hinge bracket and rotatably guided along the trajectory of opening and closing the lid;
a shaft provided in the housing so as to be able to enter and exit the housing in the axial direction, the shaft is moved in the axial direction naturally or is forcibly moved in the axial direction by opening and closing the lead, and guides the opening and closing of the lead; and
Connecting the other side of the shaft along the axial direction, the lead opening and closing device characterized in that it comprises a main other side hinge bracket fixed to the lead.
상기 개폐조작부는, 축 방향을 따라 상기 샤프트의 타측을 힌지 연결하는 제 1힌지핀;
일측이 상기 제 1힌지핀에 링크 연결되고, 1개 또는 복수 개가 구비되는 링크암;
상기 링크암의 타측에 링크 연결되고, 상기 메인타측힌지브라켓에 힌지 연결되는 제 2힌지핀을 포함하여,
상기 리드가 닫힘 상태일 경우, 상기 링크암은 축 방향이 상기 샤프트의 축 방향에 대해 하향 경사져 상기 닫힘에 대한 가압력을 증가하는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
6. The method of claim 5,
The opening/closing operation unit may include: a first hinge pin for hinge-connecting the other side of the shaft along an axial direction;
a link arm having one side linked to the first hinge pin and provided with one or a plurality of link arms;
A second hinge pin that is linked to the other side of the link arm and is hingedly connected to the other side of the main hinge bracket,
When the lid is in a closed state, an axial direction of the link arm is inclined downward with respect to the axial direction of the shaft to increase a pressing force for closing.
구동모터의 구동력을 전달받아 회전되는 기어모듈;
상기 하우징에 축 삽입되고, 상기 기어모듈로부터 회전력을 전달받아 원주방향으로 일방향과 타방향으로 회전되며, 외측 둘레면에 외측나사산을 형성한 로터리로드; 및
상기 샤프트의 일측에 고정되고, 내측면에 내측나사산을 형성하여 상기 외측나사산과 기어 결합됨으로써 상기 로터리로드의 회전 방향에 따라 상기 샤프트의 축 방향 이동을 안내하는 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
The method of claim 6, wherein the opening and closing driving unit,
a gear module rotated by receiving the driving force of the driving motor;
a rotary rod which is inserted into the housing and rotated in one direction and the other in a circumferential direction by receiving rotational force from the gear module, and having an outer thread formed on an outer circumferential surface; and
Reed characterized in that it comprises a joint fixed to one side of the shaft and guiding the axial movement of the shaft according to the rotational direction of the rotary rod by forming an inner thread on the inner surface and gear-coupled with the outer thread. opening and closing device.
상기 로터리로드는 상기 하우징의 내측에서, 베어링에 의해 상기 하우징에 지지되는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치.
8. The method of claim 7,
The rotary rod is a lid opening and closing device, characterized in that the housing is supported by a bearing on the inside of the housing.
상기 지지빔은 제 1스토퍼를 구비하고,
상기 이동블록은 상기 지지빔이 축 삽입되는 거리를 제한하기 위해 상기 제 1스토퍼에 대응되도록 제 2스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 리드의 개폐장치. The method of claim 1,
The support beam is provided with a first stopper,
The opening and closing device of the lid, characterized in that the movable block is provided with a second stopper to correspond to the first stopper in order to limit a distance through which the support beam is axially inserted.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220054411A KR102439228B1 (en) | 2022-05-02 | 2022-05-02 | Door open-and-close device |
PCT/KR2023/005552 WO2023214725A1 (en) | 2022-05-02 | 2023-04-24 | Lid opening and closing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220054411A KR102439228B1 (en) | 2022-05-02 | 2022-05-02 | Door open-and-close device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102439228B1 true KR102439228B1 (en) | 2022-09-02 |
Family
ID=83280739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020220054411A KR102439228B1 (en) | 2022-05-02 | 2022-05-02 | Door open-and-close device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102439228B1 (en) |
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