KR102656261B1 - Flap push valve - Google Patents
Flap push valve Download PDFInfo
- Publication number
- KR102656261B1 KR102656261B1 KR1020210148303A KR20210148303A KR102656261B1 KR 102656261 B1 KR102656261 B1 KR 102656261B1 KR 1020210148303 A KR1020210148303 A KR 1020210148303A KR 20210148303 A KR20210148303 A KR 20210148303A KR 102656261 B1 KR102656261 B1 KR 102656261B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- opening
- support block
- closing
- sealing plate
- cylinder
- Prior art date
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 58
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007726 management method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/46—Attachment of sealing rings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
밸브의 개폐시 구동되는 기계적인 요소를 최소화 한 본 발명에 따른 플램 푸쉬 밸브는 상기 개구부의 외측에 배치되는 지지 블럭, 상기 개구부를 향하는 상기 지지 블럭의 일측면에 배치되는 밀폐 판, 상기 지지 블럭을 상기 개구부로부터 회전 구동시켜 상기 개구부를 개폐하는 개폐 구동부, 상기 지지 블럭에 지지되고 상기 밀폐 판에 연결되어 상기 지지 블럭으로부터 상기 밀폐 판을 직선 구동시키는 밀폐 실린더 및 상기 밀폐 실린더에 연결되어 상기 실링 플레이트의 왕복 구동에 필요한 유압을 형성하는 유압 형성부를 포함하므로, 밸브의 개폐시 구동되는 기계적인 요소들을 최소화하여 기계적인 요소들이 구동함에 따라 이물질이 발생되는 것을 미연에 방지하여 생산되는 제품의 품질을 향상시킬 뿐만 아니라, 장비의 제조 비용의 절감, 장비의 제조, 유지, 관리, 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. The flam push valve according to the present invention, which minimizes mechanical elements driven when opening and closing the valve, includes a support block disposed outside the opening, a sealing plate disposed on one side of the support block facing the opening, and the support block. An opening and closing drive unit that opens and closes the opening by rotating from the opening, a sealing cylinder supported by the support block and connected to the sealing plate to linearly drive the sealing plate from the support block, and a sealing plate connected to the sealing cylinder. Since it includes a hydraulic forming part that forms the hydraulic pressure necessary for reciprocating operation, it minimizes the mechanical elements that are driven when opening and closing the valve, preventing the generation of foreign substances as the mechanical elements operate, thereby improving the quality of the product produced. In addition, there is an effect of reducing the manufacturing cost of equipment and reducing the manufacturing, maintenance, management, and repair costs of equipment.
Description
본 발명은 플랩 푸쉬 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체, 디스플레이 기판 등을 제조하는 공정 장비에 설치되는 플랩 푸쉬 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a flap push valve, and more specifically, to a flap push valve installed in process equipment for manufacturing semiconductors, display substrates, etc.
디스플레이나 반도체 기판을 제조할 때에 각종 공정을 격리하거나, 진공챔버와 진공펌프 사이에 배치하여 진공챔버의 압력을 조정하기 위해서는 게이트 밸브가 사용된다. 게이트 밸브는 열, 가스, 플라즈마 등이 부가된 진공을 격리하는 것 이외에도, 진공을 파괴하지 않고 대기와 격리하는 밀봉성이 요구됩니다.When manufacturing a display or semiconductor substrate, a gate valve is used to isolate various processes or to adjust the pressure of the vacuum chamber by placing it between the vacuum chamber and the vacuum pump. In addition to isolating a vacuum containing heat, gas, plasma, etc., gate valves also require sealing properties to isolate the vacuum from the atmosphere without destroying it.
이러한 게이트 밸브에 대해서는 '대한민국 등록특허 제1764685호;밸브커버를 구비한 플랩 전환밸브' 등에 의해 개시된 바 있다. Such a gate valve has been disclosed by 'Korean Patent No. 1764685; Flap switching valve with valve cover'.
상기 등록특허에 의해 개시된 플랩 전환밸브는 밸브 하우징에 개구부가 형성되고, 상기 개구부의 개폐하는 밸브 밀폐 빔을 포함한다. 이때, 밸브 밀폐 빔을 이용하여 개구부를 밀폐시키기 위해서, 밸브 밀폐 빔의 길이방향으로 나란하게 배치되는 샤프트, 샤프트의 회전력을 밸브 밀폐 빔에 전달하기 위한 복수의 아암, 복수의 암을 서로 연결하는 복수의 아암 축 등을 부가적으로 포함하고 있다.The flap switching valve disclosed by the registered patent has an opening formed in the valve housing and includes a valve sealing beam that opens and closes the opening. At this time, in order to seal the opening using the valve sealing beam, a shaft arranged in parallel in the longitudinal direction of the valve sealing beam, a plurality of arms for transmitting the rotational force of the shaft to the valve sealing beam, and a plurality of arms connecting the plurality of arms to each other. It additionally includes an arm axis, etc.
대부분의 공정이 진공 분위기에서 이루어지는 반도체, 디스플레이 기판 등을 제조하는 공정 환경을 고려하면, 상술한 바와 같은 많은 기계적인 요소들이 구동하면서 이물질이 발생할 수 있다. 이와 같이 진공 분위기의 공정 환경에서 발생되는 이물질은 반도체, 디스플레이 기판 등과 같은 제품의 생산 품질을 저하시키는 문제점으로 작용한다. Considering the process environment for manufacturing semiconductors, display substrates, etc., where most processes are performed in a vacuum atmosphere, foreign substances may be generated while many mechanical elements as described above are operating. In this way, foreign substances generated in a vacuum process environment act as a problem that reduces the production quality of products such as semiconductors and display substrates.
본 발명의 목적은 밸브의 개폐시 구동되는 기계적인 요소를 최소화 한 플랩 푸쉬 밸브를 제공하기 위한 것이다.The purpose of the present invention is to provide a flap push valve that minimizes mechanical elements driven when opening and closing the valve.
챔버의 일 측벽에 형성된 개구부를 개폐하는 본 발명에 따른 플랩 푸쉬 밸브는 상기 개구부의 외측에 배치되는 지지 블럭, 상기 개구부를 향하는 상기 지지 블럭의 일 측면에 배치되는 밀폐 판, 상기 지지 블럭을 상기 개구부로부터 회전 구동시켜 상기 개구부를 개폐하는 개폐 구동부, 상기 지지 블럭에 지지되고 상기 밀폐 판에 연결되어 상기 지지 블럭으로부터 상기 밀폐 판을 직선 구동시키는 밀폐 실린더 및 상기 밀폐 실린더에 연결되어 상기 밀폐 판의 왕복 구동에 필요한 유압을 형성하는 유압 형성부를 포함할 수 있다. The flap push valve according to the present invention, which opens and closes an opening formed on one side wall of a chamber, includes a support block disposed outside the opening, a sealing plate disposed on one side of the support block facing the opening, and a support block disposed on the opening. An opening/closing drive unit that opens and closes the opening by rotating it from the support block, a sealing cylinder supported by the support block and connected to the sealing plate to linearly drive the sealing plate from the support block, and a reciprocating drive of the sealing plate connected to the sealing cylinder. It may include a hydraulic forming part that forms the necessary hydraulic pressure.
상기 개폐 구동부는 상기 밀폐 판의 개폐를 위한 동력을 제공하는 개폐 실린더, 상기 개폐 실린더의 직선 운동을 회전 운동으로 전환하는 링크절 및 상기 링크절과 상기 지지 블럭에 연결되어 상기 지지 블럭이 회전 구동되도록 하는 개폐 축을 포함할 수 있다.The opening and closing drive unit includes an opening and closing cylinder that provides power for opening and closing the sealing plate, a link section that converts the linear motion of the opening and closing cylinder into rotational movement, and the link section and the support block are connected to the support block to rotate. It may include an opening and closing axis.
상기 플랩 푸쉬 밸브는 상기 지지 블럭과 상기 개폐 축을 연결하여 상기 개폐 축이 상기 지지 블럭에 연결되도록 하는 연결 블럭을 더 포함할 수 있다. The flap push valve may further include a connection block that connects the support block and the opening/closing shaft to connect the opening/closing shaft to the support block.
상기 유압 형성부는 상기 개폐 축의 길이 방향으로 상기 개폐 축을 관통하는 제1유로, 상기 제1유로에 연통되고 상기 연결 블럭을 관통하여 상기 지지 블럭을 향해 개방되는 제2유로 및 상기 제2유로에 연통되고 상기 지지블럭을 관통하여 상기 밀폐 실린더 내부로 개방되는 제3유로를 포함할 수 있다. The hydraulic forming part has a first flow path penetrating the opening and closing axis in the longitudinal direction of the opening and closing axis, a second flow path that communicates with the first flow path and penetrates the connection block and opens toward the support block, and a second flow path that communicates with the second flow path, It may include a third flow path that penetrates the support block and opens into the sealed cylinder.
상기 지지 블럭과 상기 밀폐 판은 장방형의 함체로 이루어지며, 상기 개폐 구동부, 상기 밀폐 실린더 및 상기 연결 블럭은 각각 한쌍으로 마련되어 상기 지지 블럭의 길이 방향의 양 끝단부에 각각 배치될 수 있다. The support block and the sealing plate are made of a rectangular box, and the opening/closing drive unit, the sealing cylinder, and the connection block are each provided in a pair and can be respectively disposed at both ends of the support block in the longitudinal direction.
사기 플랩 푸쉬 밸브는 상기 한쌍의 밀폐 실린더의 사이에 배치되어 상기 밀폐 판의 직선 운동을 가이드하는 가이드를 더 포함할 수 있다. The flap push valve may further include a guide disposed between the pair of sealing cylinders to guide the linear movement of the sealing plate.
본 발명에 따른 플랩 푸쉬 밸브는 밸브의 개폐시 구동되는 기계적인 요소들을 최소화하여 기계적인 요소들이 구동함에 따라 이물질이 발생되는 것을 미연에 방지하여 생산되는 제품의 품질을 향상시키는 효과가 있다.The flap push valve according to the present invention has the effect of improving the quality of products produced by minimizing the mechanical elements that are driven when opening and closing the valve, thereby preventing the generation of foreign substances as the mechanical elements are driven.
또한 본 발명에 따른 플랩 푸쉬 밸브는 불필요한 기계적인 요소들을 간소화하여 장비의 제조 비용의 절감, 장비의 제조, 유지, 관리, 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, the flap push valve according to the present invention has the effect of reducing the manufacturing cost of equipment and reducing the manufacturing, maintenance, management, and repair costs of equipment by simplifying unnecessary mechanical elements.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브의 설치 상태를 간략하게 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브를 타나낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 밸푸쉬브의 유압 형성부의 유로를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 개방한 상태를 나타낸 작동도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 폐쇄한 상태를 나타낸 작동도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 밀폐한 상태를 나타낸 작동도이다.Figure 1 is a cross-sectional view briefly showing the installation state of the flap push valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a flap push valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view showing a flap push valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view schematically showing the flow path of the hydraulic forming part of the flap valve pusher according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is an operational diagram showing the flap push valve according to an embodiment of the present invention in a state in which the opening of the chamber is opened.
Figure 6 is an operational diagram showing a state in which the flap push valve according to an embodiment of the present invention closes the opening of the chamber.
Figure 7 is an operational diagram showing a state in which the flap push valve according to an embodiment of the present invention closes the opening of the chamber.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Terms or words used in this specification and claims should not be construed as limited to their common or dictionary meanings, and the inventor may appropriately define the concept of terms in order to explain his or her invention in the best way. It must be interpreted with meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it is. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one embodiment of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention, so there may be various equivalents and modifications that can replace them. You must understand that it exists.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a flap push valve according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브의 설치 상태를 간략하게 나타낸 단면도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브를 타나낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.Figure 1 is a cross-sectional view briefly showing the installation state of the flap push valve according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the flap push valve according to an embodiment of the present invention, and Figure 3 is a schematic diagram of the installation state of the flap push valve according to an embodiment of the present invention. This is an exploded perspective view showing a flap push valve according to an embodiment.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브(100, 이하, '플랩 푸쉬 밸브'라 함.)는 반도체, 디스플레이 기판 등을 제조하는 로드락 챔버, 프로세스 챔버 등과 같은 챔버(10)의 외측에 설치될 수 있다. 플랩 푸쉬 밸브(100)은 기판의 반입 또는 반출을 위해 챔버(10)의 일 측벽에 형성된 개구부(11)을 개폐하는 데 사용될 수 있다. 1 to 3, the flap push valve 100 (hereinafter referred to as 'flap push valve') according to an embodiment of the present invention is used in a load lock chamber, a process chamber, etc. for manufacturing semiconductors, display substrates, etc. It can be installed outside the same chamber 10. The flap push valve 100 may be used to open and close the opening 11 formed on one side wall of the chamber 10 for loading or unloading a substrate.
여기서, 개구부(11)은 챔버(10)의 내부로 기판을 반입 또는 반출하기 위해 챔버(10)의 일 측벽에 형성된다. 일반적으로, 개구부(11)을 개폐하는 밸브는 챔버(10)의 일 측벽에 밸브 하우징(101)을 마련하고, 밸브 하우징(101)에는 개구부(11)과 연통되는 연통구(미도시)가 형성된다. 하지만, 밸브 하우징(101)을 제외한 나머지 밸브의 구성 요소를 챔버(10)의 일 측벽에 직접 설치한다 하더라도 개구부(11)을 개폐하는 밸브의 기본적인 기능을 수행할 수 있다. Here, the opening 11 is formed on one side wall of the chamber 10 to load or unload the substrate into the chamber 10. Generally, the valve that opens and closes the opening 11 is provided with a valve housing 101 on one side wall of the chamber 10, and a communication port (not shown) communicating with the opening 11 is formed in the valve housing 101. do. However, even if the remaining valve components, excluding the valve housing 101, are directly installed on one side wall of the chamber 10, the basic function of the valve for opening and closing the opening 11 can be performed.
따라서 이하의 설명에서는 챔버(10)의 개구부(11)을 개폐하는 밸브의 기본적인 기능에 기초하여, 챔버(10)의 일 측벽에 설치되는 실시예를 기준으로 설명하도록 하며, 이하에서 설명되는 실시예를 본 발명의 권리범위를 한정하는 것으로 이해해서는 아니될 것이다.Therefore, the following description will be based on an embodiment installed on one side wall of the chamber 10, based on the basic function of the valve that opens and closes the opening 11 of the chamber 10, and the embodiment described below will be described below. should not be understood as limiting the scope of the present invention.
계속해서, 플랩 푸쉬 밸브(100)은 지지 블럭(110), 밀폐 판(130), 밀폐 실린더(150), 개폐 구동부(170) 및 유압 형성부(190)을 포함할 수 있다. Subsequently, the flap push valve 100 may include a support block 110, a sealing plate 130, a sealing cylinder 150, an opening/closing drive unit 170, and a hydraulic forming unit 190.
지지 블럭(110)은 장방형의 함체로 마련된다. 지지 블럭(110)은 개구부(11)의 외측에 배치된다. The support block 110 is provided as a rectangular enclosure. The support block 110 is disposed outside the opening 11.
밀폐 판(130)은 개구부(11)보다 큰 면적을 가지는 장방형의 함체로 마련된다. 밀폐 판(130)은 개구부(11)을 향하는 지지 블럭(110)의 일 측면에 배치된다. 물론, 개구부(11)을 향하는 밀폐 판(130)의 일 측면에는 챔버(10)의 일 측벽과 밀폐 판(130) 사이의 기밀을 유지하기 위한 실링(131)이 배치된다.The sealing plate 130 is provided as a rectangular enclosure with a larger area than the opening 11. The sealing plate 130 is disposed on one side of the support block 110 facing the opening 11. Of course, a seal 131 is disposed on one side of the sealing plate 130 facing the opening 11 to maintain airtightness between one side wall of the chamber 10 and the sealing plate 130.
밀폐 실린더(150)은 지지 블럭(110)에 지지된다. 지지 블럭(110)에는 밀폐 실린더(150)을 지지하기 위한 지지홈(111)이 형성된다. 밀폐 실린더(150)의 피스톤은 밀폐 판(130)에 연결된다. 밀폐 실린더(150)은 지지 블럭(110)부터 밀폐 판(130)을 직선 구동시킨다. 밀폐 실린더(150)에 의한 밀폐 판(130)의 직선 구동에 대해서는 유압 형성부(190)의 설명과 함께 좀 더 상세하게 후술하기로 한다.The sealed cylinder 150 is supported on the support block 110. A support groove 111 is formed in the support block 110 to support the sealed cylinder 150. The piston of the sealing cylinder 150 is connected to the sealing plate 130. The sealing cylinder 150 drives the sealing plate 130 in a straight line from the support block 110. The linear driving of the sealing plate 130 by the sealing cylinder 150 will be described in more detail later along with a description of the hydraulic forming unit 190.
한편, 개폐 구동부(170)은 지지 블럭(110)을 회전 구동시켜 밀폐 판(130)이 개구부(11)을 개폐하도록 하기 위한 것으로, 개폐 실린더(171), 링크절(173) 및 개폐 축(175)를 포함한다. 개폐 실린더(171)은 밀폐 판(130)의 개폐를 위한 동력을 제공한다. 물론, 챔버(10)의 일 측벽에는 개폐 실린더(171)을 지지하기 위한 브라켓(177)이 설치된다. 링크절(173)의 일단부는 힌지핀에 의해 개폐 실린더(171) 피스톤의 말단부로부터 회전 가능하게 연결된다. 링크절(173)의 타단부는 개폐 축(175)의 일단부에 체결된다. 이러한 링크절(173)은 개폐 실린더(171)의 직선 운동을 회전 운동으로 전환하여 개폐 축(175)가 회전 구동되도록 한다. 개폐 축(175)의 타단부는 지지 블럭(110)에 연결될 수 있다. 이와 같이 개폐 축(175)가 회전 구동됨에 따라 지지 블럭(110)이 회전 구동되며, 밀폐 판(130)은 개구부(11)을 개폐할 수 있다.On the other hand, the opening and closing drive unit 170 is for rotating the support block 110 to allow the sealing plate 130 to open and close the opening 11, and includes an opening and closing cylinder 171, a link section 173 and an opening and closing shaft 175. ) includes. The opening and closing cylinder 171 provides power for opening and closing the sealing plate 130. Of course, a bracket 177 is installed on one side wall of the chamber 10 to support the opening and closing cylinder 171. One end of the link section 173 is rotatably connected to the distal end of the piston of the opening and closing cylinder 171 by a hinge pin. The other end of the link section 173 is fastened to one end of the opening and closing shaft 175. This link section 173 converts the linear motion of the opening and closing cylinder 171 into rotational movement so that the opening and closing shaft 175 is rotated. The other end of the opening and closing shaft 175 may be connected to the support block 110. In this way, as the opening and closing shaft 175 is driven to rotate, the support block 110 is driven to rotate, and the sealing plate 130 can open and close the opening 11.
여기서, 개폐 축(175)와 지지 블럭(110)을 연결하기 위해 지지 블럭(110)의 길이 방향의 끝단부에는 연결 블럭(180)이 배치될 수 있다. 연결 블럭(180)은 개폐 축(175)를 지지 블럭(110)을 연결하기 위한 조립의 편의를 제공할 뿐만 아니라, 유지·보수·관리의 편의를 제공한다. 물론, 브라켓(177)과 연결 블럭(180)의 사이에는 개폐 축(175)의 회전 운동을 지지하기 위한 베어링(179)이 설치될 수 있다. Here, in order to connect the opening/closing shaft 175 and the support block 110, a connection block 180 may be disposed at the longitudinal end of the support block 110. The connection block 180 not only provides convenience of assembly for connecting the opening and closing shaft 175 to the support block 110, but also provides convenience of maintenance, repair, and management. Of course, a bearing 179 may be installed between the bracket 177 and the connection block 180 to support the rotational movement of the opening and closing shaft 175.
또한, 개폐 축(175)의 정밀한 회전 반경을 지지 블럭(110)로 전달하고, 개폐 축(175)를 견고하게 결합하기 위하여 개폐 축(175)의 타단부는 그 일부가 블럭 형태로 형성될 수 있다. In addition, in order to transmit the precise rotation radius of the opening and closing shaft 175 to the support block 110 and to firmly couple the opening and closing shaft 175, a portion of the other end of the opening and closing shaft 175 may be formed in a block shape. there is.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브의 유압 형성부의 유로를 개략적으로 나타낸 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view schematically showing the flow path of the hydraulic forming part of the flap push valve according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 유압 형성부(190)은 밀폐 실린더(150)의 가동에 필요한 밀폐 실린더(150) 내부의 압력을 형성하기 위한 것으로, 복수의 유로를 포함할 수 있다. 복수의 유로는 제1유로(191), 제2유로(192) 및 제3유로(193)로 구분할 수 있다. 제1유로(191)은 개폐 축(175)를 길이 방향으로 관통한다. 제2유로(192)는 제1유로(191)에 연통되고 연결 블럭(180)을 관통하여 지지 블럭(110)을 향해 개방된다. 제3유로(193)은 제2유로(192)에 연통되고 지지 블럭(110)을 관통하여 지지홈(111)으로 개방된다. 지지홈(111)으로 개방된 제3유로(193)은 밀폐 실린더(150)의 내부와 연통된다. 이와 같이 제1유로(191), 제2유로(192) 및 제3유로(193)은 밀폐 실린더(150)에 연통되어 밀폐 실린더(150) 내부의 압력을 조절할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 4, the hydraulic forming unit 190 is used to create pressure inside the sealed cylinder 150 necessary for operation of the sealed cylinder 150, and may include a plurality of flow paths. The plurality of flow paths can be divided into a first flow path 191, a second flow path 192, and a third flow path 193. The first passage 191 passes through the opening/closing axis 175 in the longitudinal direction. The second flow path 192 is in communication with the first flow path 191 and opens toward the support block 110 through the connection block 180. The third passage 193 communicates with the second passage 192 and opens through the support block 110 into the support groove 111. The third passage 193 opened through the support groove 111 communicates with the inside of the sealed cylinder 150. In this way, the first flow path 191, the second flow path 192, and the third flow path 193 are in communication with the sealed cylinder 150 to control the pressure inside the sealed cylinder 150.
한편, 지지 블럭(110)과 밀폐 판(130)이 장방형의 함체로 이루어짐에 따라, 개폐 구동부(170), 밀폐 실린더(150), 연결 블럭(180) 및 유압 형성부(190)은 밀폐 판(130)이 균일한 압력으로 개구부(11)을 폐쇄하고, 개구부(11)의 밀폐 상태를 견고하게 유지할 수 있도록 각각 한쌍으로 마련되어 지지 블럭(110)의 좌, 우에 각각 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 한쌍의 밀폐 실린더(150)에 의해 지지 블럭(110)부터 직선 구동되는 밀폐 판(130)의 중앙부에는 밀폐 판(130)의 직선 구동을 가이드하기 위한 실린더 형태의 가이드(151)가 설치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, as the support block 110 and the sealing plate 130 are made of a rectangular enclosure, the opening and closing drive unit 170, the sealing cylinder 150, the connection block 180, and the hydraulic forming part 190 are formed by the sealing plate ( It is preferable that 130) be provided in pairs and disposed on the left and right sides of the support block 110, respectively, so that the opening 11 can be closed with uniform pressure and the opening 11 can be firmly maintained. In addition, a cylinder-shaped guide 151 is installed at the center of the sealing plate 130, which is driven linearly from the support block 110 by a pair of sealing cylinders 150, to guide the linear drive of the sealing plate 130. It is desirable.
이와 같이 플랩 푸쉬 밸브(100)는 챔버(10)의 개구부(11)를 개폐하기 위한 구성요소가 최소화될 뿐만 아니라, 챔버(10)의 개구부(11)를 개폐하기 위해 구동되는 기계적인 구성 요소들이 모두 개구부(11)의 양 측방에 배치되므로, 기판의 이송 경로에 이물질이 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있다.In this way, the flap push valve 100 not only has minimal components for opening and closing the opening 11 of the chamber 10, but also includes mechanical components that are driven to open and close the opening 11 of the chamber 10. Since they are all disposed on both sides of the opening 11, it is possible to prevent foreign substances from being generated in the substrate transfer path.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 플립 푸쉬 밸브의 작용에 대해 설명하도록 한다. Hereinafter, the operation of the flip push valve according to an embodiment of the present invention will be described.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 개방한 상태를 나타낸 작동도이다.Figure 5 is an operational diagram showing the flap push valve according to an embodiment of the present invention in a state in which the opening of the chamber is opened.
도 5를 참조하면, 개구부(11)을 개방시, 개폐 실린더(171)은 피스톤을 전진시킨다. 링크절(173)은 개폐 실린더(171)의 직선 운동을 회전 운동으로 전환시키고, 개폐 축(175)는 대략 90°의 회전 각도로 회전한다. Referring to Figure 5, when opening the opening 11, the opening/closing cylinder 171 advances the piston. The link section 173 converts the linear motion of the opening and closing cylinder 171 into a rotational movement, and the opening and closing shaft 175 rotates at a rotation angle of approximately 90°.
이와 같이 개폐 축(175)의 회전에 따라 지지 블럭(110)과 밀폐 판(130)이 회전 구동되어 개구부(11)이 개방될 수 있다.In this way, as the opening/closing shaft 175 rotates, the support block 110 and the sealing plate 130 are rotated so that the opening 11 can be opened.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 폐쇄한 상태를 나타낸 작동도이다.Figure 6 is an operational diagram showing a state in which the flap push valve according to an embodiment of the present invention closes the opening of the chamber.
도 6을 참조하면, 개방된 개구부(11)의 폐쇄시, 개폐 실린더(171)은 피스톤을 후진시킨다. 링크절(173)은 개폐 실린더(171)의 직선 운동을 회전 운동으로 전환시키고, 개폐 축(175)는 대략 90°의 회전 각도로 회전한다.Referring to Figure 6, when the open opening 11 is closed, the opening/closing cylinder 171 moves the piston backwards. The link section 173 converts the linear motion of the opening and closing cylinder 171 into a rotational movement, and the opening and closing shaft 175 rotates at a rotation angle of approximately 90°.
이와 같이 개폐 축(175)의 회전에 따라 지지 블럭(110)과 밀폐 판(130)이 회전 구동되어 개구부(11)이 폐쇄될 수 있다.In this way, as the opening/closing shaft 175 rotates, the support block 110 and the sealing plate 130 are rotated so that the opening 11 can be closed.
이와 같이 밀폐 판(130)이 개구부(11)을 폐쇄하는 위치에 배치된다 하더라도, 밀폐 판(130)을 챔버(10)의 일 측벽에 압착하여 개구부(11)을 완전 밀폐 시켜야 한다. Even if the sealing plate 130 is placed in a position to close the opening 11, the sealing plate 130 must be pressed against one side wall of the chamber 10 to completely seal the opening 11.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랩 푸쉬 밸브가 챔버의 개구부를 밀폐한 상태를 나타낸 작동도이다.Figure 7 is an operational diagram showing a state in which the flap push valve closes the opening of the chamber according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 제1유로(191), 제2유로(192) 및 제3유로(193)을 통해 유압이 공급된다. 밀폐 실린더(150)은 피스톤을 전진시키며, 피스톤이 전진됨에 따라 밀폐 판(130)은 챔버(10)의 일측벽을 향해 밀착될 수 있다.Referring to FIG. 7, hydraulic pressure is supplied through the first flow path 191, the second flow path 192, and the third flow path 193. The sealing cylinder 150 advances the piston, and as the piston advances, the sealing plate 130 may come into close contact with one side wall of the chamber 10.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플립 푸쉬 밸브는 챔버의 개구부를 개폐하기 위한 구성요소를 최소화하고, 유압에 의해 챔버의 개구부를 밀폐 시킬 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 플립 푸쉬 밸브는 진공 분위기의 공정 환경에서 이물질이 발생되는 것을 미연에 방지하여 생산되는 제품의 품질을 향상시킬 뿐만 아니라, 제조 비용의 절감, 장비의 제조, 유지, 관리, 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. As described above, the flip push valve according to the present invention minimizes the components for opening and closing the opening of the chamber and can seal the opening of the chamber by hydraulic pressure. Therefore, the flip push valve according to the present invention not only improves the quality of products produced by preventing foreign substances from being generated in a vacuum process environment, but also reduces manufacturing costs and equipment manufacturing, maintenance, management, and repair costs. There is an effect of saving.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters stated in the claims, and those skilled in the art can improve and change the technical idea of the present invention into various forms. Accordingly, such improvements and changes will fall within the scope of protection of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.
10 : 챔버 11 : 개구부
100 : 플랩 푸쉬 밸브 110 : 지지 블럭
130 : 밀폐 판 150 : 밀폐 실린더
170 : 개폐 구동부 190 : 유압 형성부 10: chamber 11: opening
100: flap push valve 110: support block
130: sealed plate 150: sealed cylinder
170: opening and closing driving part 190: hydraulic forming part
Claims (6)
상기 개구부의 외측에 배치되는 지지 블럭;
상기 개구부를 향하는 상기 지지 블럭의 일 측면에 배치되는 밀폐 판;
상기 밀폐 판의 개폐를 위한 동력을 제공하는 개폐 실린더;
상기 개폐 실린더의 직선 운동을 회전 운동으로 전환하는 링크절;
상기 링크절과 상기 지지 블럭에 연결되어 상기 지지 블럭이 회전 구동되도록 하는 개폐 축;
상기 지지 블럭에 지지되고 상기 밀폐 판에 연결되어 상기 지지 블럭으로부터 상기 밀폐 판을 직선 구동시키는 밀폐 실린더;
상기 지지 블럭과 상기 개폐 축을 연결하여 상기 개폐 축이 상기 지지 블럭에 연결되도록 하는 연결 블럭;
상기 개폐 축의 길이 방향으로 상기 개폐 축을 관통하는 제1유로;
상기 제1유로에 연통되고 상기 연결 블럭을 관통하여 상기 지지 블럭을 향해 개방되는 제2유로;및
상기 제2유로에 연통되고 상기 지지 블럭을 관통하여 상기 밀폐 실린더 내부로 개방되는 제3유로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랩 푸쉬 밸브.
In the flap push valve that opens and closes the opening formed on one side wall of the chamber,
a support block disposed outside the opening;
a sealing plate disposed on one side of the support block facing the opening;
An opening and closing cylinder that provides power to open and close the sealing plate;
A link section that converts the linear motion of the opening and closing cylinder into rotational motion;
An opening and closing shaft connected to the link section and the support block to rotate the support block;
a sealing cylinder supported on the support block and connected to the sealing plate to linearly drive the sealing plate from the support block;
a connection block connecting the support block and the opening and closing shaft so that the opening and closing shaft is connected to the support block;
a first passage passing through the opening and closing axis in the longitudinal direction of the opening and closing axis;
a second passage communicating with the first passage and penetrating the connection block and opening toward the support block; and
A flap push valve comprising a third flow path that communicates with the second flow path and penetrates the support block to open into the sealed cylinder.
상기 지지 블럭과 상기 밀폐 판은 장방형의 함체로 이루어지며,
상기 개폐 실린더, 상기 링크절, 상기 개폐 축, 상기 밀폐 실린더 및 상기 연결 블럭은 각각 한쌍으로 마련되어 상기 지지 블럭의 길이 방향의 양 끝단부에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 플랩 푸쉬 밸브.
According to paragraph 1,
The support block and the sealing plate are made of a rectangular enclosure,
A flap push valve, characterized in that the opening and closing cylinder, the link section, the opening and closing shaft, the sealing cylinder and the connecting block are each provided in a pair and disposed at both ends of the support block in the longitudinal direction.
상기 한쌍의 밀폐 실린더의 사이에 배치되어 상기 밀폐 판의 직선 운동을 가이드하는 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플랩 푸쉬 밸브.According to clause 5,
A flap push valve further comprising a guide disposed between the pair of sealing cylinders to guide the linear movement of the sealing plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210148303A KR102656261B1 (en) | 2021-11-01 | 2021-11-01 | Flap push valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210148303A KR102656261B1 (en) | 2021-11-01 | 2021-11-01 | Flap push valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230063251A KR20230063251A (en) | 2023-05-09 |
| KR102656261B1 true KR102656261B1 (en) | 2024-04-16 |
Family
ID=86408869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210148303A KR102656261B1 (en) | 2021-11-01 | 2021-11-01 | Flap push valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102656261B1 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101764685B1 (en) | 2009-10-22 | 2017-08-03 | 배트 홀딩 아게 | Flap transfer valve with valve cover |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101000493B1 (en) * | 2008-02-05 | 2010-12-14 | 주식회사 에스에프에이 | Chemical vapor deposition apparatus |
| KR101376735B1 (en) * | 2012-03-30 | 2014-03-20 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | Gate Valve |
| KR101973560B1 (en) * | 2017-03-16 | 2019-04-30 | 주식회사 태성시스템에프에이 | Swing valve having enhanced sealing performance |
| KR20190060513A (en) * | 2017-11-24 | 2019-06-03 | 주식회사 비지에스 | Gate valve |
-
2021
- 2021-11-01 KR KR1020210148303A patent/KR102656261B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101764685B1 (en) | 2009-10-22 | 2017-08-03 | 배트 홀딩 아게 | Flap transfer valve with valve cover |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20230063251A (en) | 2023-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7575220B2 (en) | Curved slit valve door | |
| CN102900861B (en) | For the substantially airtight valve blocking flow path | |
| KR20080108044A (en) | Vacuum gate valve having a limb element | |
| KR20010025070A (en) | Isolation valves | |
| JP6679594B2 (en) | Door closing the chamber opening in the chamber wall of the vacuum chamber | |
| KR20090007367A (en) | Multi-level load lock chamber, transfer chamber, and robot suitable for interfacing with same | |
| WO2001004522A1 (en) | Throttle gate valve | |
| EP2058566A1 (en) | Valve device | |
| US20060169939A1 (en) | Vacuum processing apparatus | |
| JP2018071642A (en) | Gate valve for vacuum | |
| KR102656261B1 (en) | Flap push valve | |
| JP4225647B2 (en) | Gate valve | |
| US7270311B1 (en) | Pendulum gate valve | |
| US10443741B2 (en) | Blade for vacuum valve | |
| JP2018525581A (en) | Bidirectional gate valve | |
| KR101494307B1 (en) | Vacuum gate valve | |
| CN101532582B (en) | Vacuum processing apparatus, method of controlling vacuum processing apparatus, device manufacturing method | |
| JP4728602B2 (en) | Load lock device for loading a substrate into a vacuum chamber | |
| KR102519677B1 (en) | Slit valve | |
| JP7465514B1 (en) | Gate valve | |
| KR20100110488A (en) | Slot valve | |
| KR20240018924A (en) | Mult motion swing gate valve | |
| KR20010000900A (en) | Automatic Gate Valve in Semiconductor Fabrication Equipments | |
| US20240003452A1 (en) | Sealing blade for slit valve | |
| KR20020085482A (en) | Apparatus for opening and closing of load lock chamber door |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E90F | Notification of reason for final refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |