KR101531632B1 - Gate valve structure for vacuum system - Google Patents

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KR101531632B1
KR101531632B1 KR1020140021591A KR20140021591A KR101531632B1 KR 101531632 B1 KR101531632 B1 KR 101531632B1 KR 1020140021591 A KR1020140021591 A KR 1020140021591A KR 20140021591 A KR20140021591 A KR 20140021591A KR 101531632 B1 KR101531632 B1 KR 101531632B1
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chamber
main door
door
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rotation
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김양선
김민우
김진오
한진석
위정
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주식회사 아스타
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Abstract

The present invention relates to a gate valve structure for a vacuum system which may simplify the structure of a gate valve, and minimizes a space occupied by the gate valve; thereby achieving miniaturization of a vacuum system. According to the present invention, the gate valve structure of a vacuum system comprises: a blocking wall which is positioned between a first chamber and a second chamber to spatially separate the first chamber and the second chamber from each other; an opening which is included on one side of the blocking wall to spatially connect the first chamber with the second chamber, and allows a specimen to be transferred to the first chamber and the second chamber; and a door device selectively opening and closing the opening. The door device comprises: a main door which is rotated in respective to a hinge shaft to open and close the opening; a vertical cylinder moving vertically; and a rotation mediator included in the main door and the vertical cylinder to convert a vertical movement force of the vertical cylinder into a rotational force of the hinge shaft of the main door.

Description

진공시스템의 게이트 밸브 구조{Gate valve structure for vacuum system}[0001] The present invention relates to a gate valve structure for a vacuum system,

본 발명은 진공시스템의 게이트 밸브 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 게이트 밸브의 구조를 간략화하고 게이트 밸브가 차지하는 공간을 최소화함으로써 진공시스템의 소형화를 가능하게 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve structure of a vacuum system, and more particularly, to a gate valve structure of a vacuum system capable of miniaturizing a vacuum system by simplifying the structure of the gate valve and minimizing the space occupied by the gate valve.

반도체 제조장치, 주사전자현미경(SEM)과 같은 진공검사장비, 질량분석기 등에는 진공 상태로 유지되는 공간이 요구된다. 예를 들어, 반도체 제조시 증착, 이온주입 등의 공정은 진공 상태에서 진행되며, 진공으로 유지되는 프로세스 챔버(process chamber)가 반도체 제조장치에 구비된다. Vacuum inspection equipment such as a semiconductor manufacturing apparatus, a scanning electron microscope (SEM), a mass spectrometer, and the like require a space to be maintained in a vacuum state. For example, in a semiconductor manufacturing process, processes such as deposition and ion implantation proceed in a vacuum state, and a process chamber in which a vacuum is maintained is provided in a semiconductor manufacturing apparatus.

프로세스 챔버에서 단위 공정이 진행되기 위해서는 프로세스 챔버로 시편을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 과정이 필요하다. 이에, 반도체 제조장치, 진공검사장비, 질량분석기 등에는 프로세스 챔버 이외에 로드락 챔버(load-lock chamber)가 구비되며, 로드락 챔버를 통해 시편을 프로세스 챔버로 로딩하거나 프로세스 챔버에서 로드락 챔버로 시편을 언로딩할 수 있다(한국등록특허 제1184596호 참조). 로드락 챔버는 시편의 로딩 또는 언로딩시 프로세스 챔버의 진공 상태를 유지시키기 위한 것으로서, 시편의 로딩 또는 언로딩시 로드락 챔버 역시 진공 상태를 이룬다. For the unit process to proceed in the process chamber, it is necessary to load or unload the specimen to the process chamber. Therefore, in a semiconductor manufacturing apparatus, a vacuum inspection apparatus, a mass spectrometer, etc., a load-lock chamber is provided in addition to the process chamber, and a load lock chamber is used to load the test sample into the process chamber through the load lock chamber, Can be unloaded (see Korean Patent No. 1184596). The load lock chamber is for maintaining the vacuum of the process chamber when loading or unloading the specimen, and the load lock chamber is also in a vacuum state when loading or unloading the specimen.

도 1을 참고하면, 프로세스 챔버(110)와 로드락 챔버(120) 사이에서의 시편 이송 및 프로세스 챔버(110) 내의 진공 유지를 위해 프로세스 챔버(110)와 로드락 챔버(120) 사이에는 게이트 밸브(140)가 구비된다. 게이트 밸브(140)는 선택적으로 개폐되며, 게이트 밸브(140)를 통해 시편의 이동이 가능하게 된다. 참고로, 시편 이송을 위해 별도의 트랜스퍼 챔버(130)가 더 구비될 수도 있으며, 이 경우 프로세스 챔버(110)와 트랜스퍼 챔버(130) 사이에도 게이트 밸브(140)가 구비된다. 1, there is a gap between the process chamber 110 and the load lock chamber 120 for transferring a specimen between the process chamber 110 and the load lock chamber 120 and for maintaining a vacuum in the process chamber 110. [ (140). The gate valve 140 is selectively opened and closed, and the specimen can be moved through the gate valve 140. In this case, a gate valve 140 is also provided between the process chamber 110 and the transfer chamber 130.

한편, 종래의 게이트 밸브(140) 구조를 살펴보면, 도 2에 도시한 바와 같이 도어가 수직 상하 이동하여 게이트를 개폐하는 수직 개폐형 구조를 이룬다. 이와 같은 수직 개폐형 게이트 밸브 구조는 도어(141)가 게이트 밸브(140) 내부 공간에 위치함에 따라, 게이트 밸브가 일정 두께 이상으로 설계될 수 밖에 없어 진공시스템을 소형화하는데 한계로 작용한다. 또한, 수직 개폐형으로 설계함으로 인해 장치적 복잡성이 뒤따른다. 이와 함께, 종래의 게이트 밸브 구조의 경우, 공압 부품을 사용함으로 인해 설치 장소에 제약이 있다는 단점이 있다.
As shown in FIG. 2, the conventional gate valve 140 has a vertical opening / closing structure in which the door moves vertically up and down to open and close the gate. As the door 141 is positioned in the inner space of the gate valve 140, the gate valve structure of the vertical opening-closing type limits the size of the vacuum system because the gate valve can not be designed more than a predetermined thickness. Also, the device design complexity is followed by the vertical open-type design. In addition, in the case of the conventional gate valve structure, there is a disadvantage that the installation place is limited due to the use of a pneumatic component.

한국등록특허 제1184596호Korean Patent No. 1184596

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 게이트 밸브의 구조를 간략화하고 게이트 밸브가 차지하는 공간을 최소화함으로써 진공시스템의 소형화를 가능하게 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a gate valve structure of a vacuum system which can miniaturize a vacuum system by simplifying the structure of a gate valve and minimizing a space occupied by the gate valve have.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공시스템의 게이트 밸브 구조는 제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에 구비되어, 제 1 챔버와 제 2 챔버의 공간을 분리하는 차단벽과, 상기 차단벽의 일측에 구비되어 상기 제 1 챔버와 제 2 챔버의 공간을 연결시키며, 제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에서의 시편 이송을 가능하게 하는 개구부 및 상기 개구부를 선택적으로 개방, 차단하는 도어장치를 포함하여 이루어지며, 상기 도어장치는, 힌지축을 중심으로 회전되어 상기 개구부를 개방, 차단하는 메인도어와, 수직 상하 이동되는 수직 실린더와, 상기 메인도어와 수직 실린더 사이에 구비되어, 상기 수직 실린더의 수직 이동력을 메인도어 힌지축의 회전력으로 변환시키는 회전매개체를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a gate valve structure for a vacuum system, comprising: a blocking wall provided between a first chamber and a second chamber for separating a space between a first chamber and a second chamber; And an opening for connecting the first chamber and the second chamber to each other and allowing transfer of the specimen between the first chamber and the second chamber and a door device for selectively opening and closing the opening, Wherein the door device comprises: a main door rotated about a hinge axis to open and shut the opening; a vertical cylinder vertically moved up and down; and a vertical door disposed between the main door and the vertical cylinder, And a rotating medium for converting the force into a rotational force of the main door hinge shaft.

상기 회전매개체는 회전매개부재를 구비하며, 상기 회전매개부재의 일단은 상기 수직 실린더와 연결되고, 상기 회전매개부재의 다른 일단은 상기 메인도어 상에 안착, 고정되며, 상기 회전매개부재의 일측에 상기 회전매개부재를 메인도어의 길이 방향으로 관통하는 회전핀 가이드홈이 구비되고, 상기 회전핀 가이드홈 내에 회전핀이 구비된다. Wherein the rotary medium has a rotary intermediate member, one end of the rotary intermediate member is connected to the vertical cylinder, the other end of the rotary intermediate member is seated and fixed on the main door, A rotation pin guide groove is formed to penetrate the rotation intermediate member in the longitudinal direction of the main door, and a rotation pin is provided in the rotation pin guide groove.

상기 수직 실린더가 상부로 이동하게 되면, 상기 수직 실린더의 상향 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈 내의 회전핀에 인가되고, 상기 회전핀은 인가된 상향 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈 내에서 전진 이동하게 되며, 회전핀의 회전핀 가이드홈 내에서의 전진 이동력은 메인도어 힌지축의 회전력으로 변환되어 상기 메인도어가 제 2 챔버 방향으로 회전할 수 있다. When the vertical cylinder moves upward, the upward vertical movement force of the vertical cylinder is applied to the rotary pin in the rotary pin guide groove, and the rotary pin is advanced in the rotary pin guide groove by the applied upward vertical movement force And the forward movement force of the rotation pin in the rotation pin guide groove is converted into the rotational force of the main door hinge shaft so that the main door can rotate in the second chamber direction.

상기 메인도어가 제 2 챔버의 천정 방향에 위치된 상태에서, 상기 수직 실린더가 하부로 이동하게 되면, 상기 수직 실린더의 하향 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈 내의 회전핀에 인가되고, 상기 회전핀은 인가된 하향 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈 내에서 후진 이동하게 되며, 회전핀의 회전핀 가이드홈 내에서의 후진 이동력은 힌지축의 회전력으로 변환되어 상기 메인도어가 개구부 방향으로 회전할 수 있다. When the main door is positioned in the ceiling direction of the second chamber, when the vertical cylinder moves downward, downward vertical movement force of the vertical cylinder is applied to the rotation pin in the rotation pin guide groove, The backward movement force of the rotation pin in the rotation pin guide groove is converted into the rotational force of the hinge shaft so that the main door can rotate in the direction of the opening have.

상기 메인도어의 후면 상에 보조도어가 더 구비되며, 상기 보조도어는 상기 메인도어와 보조 힌지축을 매개로 연결되고, 상기 메인도어와 보조도어는 이격되어 배치되며, 상기 메인도어와 보조도어 사이의 공간에서 상기 보조 힌지축의 회전에 의해 상기 보조도어의 독립적인 이동이 가능하다. The auxiliary door is further provided on a rear surface of the main door. The auxiliary door is connected to the main door via an auxiliary hinge shaft. The main door and the auxiliary door are spaced apart from each other. It is possible to independently move the auxiliary door by rotating the auxiliary hinge shaft in the space.

상기 메인도어의 양단에 힌지축이 구비되며, 상기 힌지축은 차단벽의 일측에 구비된 고정브라켓에 거치되며, 상기 힌지축을 중심으로 상기 메인도어의 회전이 가능하다.
A hinge shaft is provided at both ends of the main door. The hinge shaft is mounted on a fixing bracket provided on one side of the blocking wall, and the main door can be rotated about the hinge shaft.

본 발명에 따른 진공시스템의 게이트 밸브 구조는 다음과 같은 효과가 있다. The gate valve structure of the vacuum system according to the present invention has the following effects.

로드락 챔버 또는 트랜스퍼 챔버의 공간을 활용하여 도어가 챔버 내부 공간으로 회전, 이동되는 형태로 개방되도록 하고, 도어의 회전은 실린더에 의해 가능하도록 함으로써 게이트 밸브가 차지하는 공간을 최소화하여 진공시스템의 소형화를 기할 수 있다. By utilizing the space of the load lock chamber or the transfer chamber, the door can be opened and rotated into the space inside the chamber, and the door can be rotated by the cylinder, thereby minimizing the space occupied by the gate valve. You can.

이와 함께, 메인도어와 결합되는 보조도어를 일정 거리만큼 독립적인 이동이 가능하도록 설계하여 도어의 밀착력을 강화시킴으로써 안정적인 진공 설정이 가능하게 된다.
In addition, the auxiliary door coupled with the main door is designed to be movable independently by a certain distance, thereby enhancing the adhesion of the door, thereby enabling stable vacuum setting.

도 1은 종래 기술에 따른 진공시스템의 구성도.
도 2는 종래 기술에 따른 진공시스템의 게이트 밸브 구조를 나타낸 참고도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 구조를 포함한 진공시스템을 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 구조를 나타낸 확대 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 구조를 나타낸 분리 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어장치의 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어장치의 분리 사시도.
도 8a 내지 도 8c는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 도어장치의 동작을 나타낸 것으로서, 도 8a는 도어장치가 개구부에 밀착된 상태, 도 8b는 도어장치가 45도 회전된 상태, 도 8c는 도어장치가 제 2 챔버의 천정 방향으로 이동된 상태를 나타낸 것.1 is a configuration diagram of a vacuum system according to the prior art;
2 is a reference view showing a gate valve structure of a vacuum system according to the prior art.
3 is a perspective view of a vacuum system including a gate valve structure according to one embodiment of the present invention.
4 is an enlarged perspective view of a gate valve structure according to an embodiment of the present invention;
5 is an exploded perspective view of a gate valve structure according to an embodiment of the present invention;
6 is a perspective view of a door apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 7 is an exploded perspective view of a door device according to an embodiment of the present invention; FIG.
8A to 8C illustrate the operation of the door device according to an embodiment of the present invention. FIG. 8A shows a state in which the door device is in close contact with the opening, FIG. 8B shows a state in which the door device is rotated 45 degrees, Wherein the door device is moved in the direction of the ceiling of the second chamber.

본 발명에 있어서, '진공시스템'이라 함은 진공 상태로 유지되는 공간을 포함하는 장치를 일컬으며, 진공 상태로 유지되는 공간은 프로세스 챔버(process chamber), 로드락 챔버(load-lock chamber), 트랜스퍼 챔버(transfer chamber) 등이 해당된다. 본 발명은 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이 또는 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버 사이에 구비되는 게이트 밸브의 구조를 간략화함과 함께 게이트 밸브가 차지하는 공간을 최소화하여 진공시스템의 소형화를 기할 수 있는 기술을 제시한다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 진공시스템의 게이트 밸브 구조를 상세히 설명하기로 한다. In the present invention, the term 'vacuum system' refers to a device including a space maintained in a vacuum state, and a space maintained in a vacuum state includes a process chamber, a load-lock chamber, Transfer chambers and the like. The present invention simplifies the structure of a gate valve provided between a process chamber and a load lock chamber, or between a process chamber and a transfer chamber, and minimizes a space occupied by the gate valve, thereby reducing the size of a vacuum system. Hereinafter, a gate valve structure of a vacuum system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3을 참고하면, 프로세스 챔버(10)와 로드락 챔버(20)가 구비되며, 상기 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 구조가 구비된다. 상기 로드락 챔버는 트랜스퍼 챔버로 대체될 수 있으며, 이에 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이 또는 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버 사이에 게이트 밸브가 구비되는 구조이다. 상기 프로세스 챔버는 시편을 대상으로 반도체 단위공정, 검사공정 등의 특정 공정을 진행하는 공간이며, 상기 로드락 챔버는 상기 프로세스 챔버로 시편을 로딩하거나 프로세스 챔버에서 공정이 완료된 시편을 언로딩하는 공간이다. 또한, 상기 트랜스퍼 챔버는 시편을 이송하는 트랜스퍼 이송로봇이 장착되는 공간을 일컫는다. 이하에서는 설명의 편의상, 상기 프로세스 챔버를 제 1 챔버(10)라 하고, 상기 로드락 챔버 또는 트랜스퍼 챔버를 제 2 챔버(20)로 칭하기로 한다. 도 3에 있어서, 도면부호 11은 시편 홀더, 도면부호 12는 시편 스테이지를 의미한다. Referring to FIG. 3, a process chamber 10 and a load lock chamber 20 are provided, and a gate valve structure according to an embodiment of the present invention is provided between the process chamber and the load lock chamber. The load lock chamber may be replaced with a transfer chamber, and a gate valve is provided between the process chamber and the load lock chamber or between the process chamber and the transfer chamber. The process chamber is a space in which a specimen is subjected to a specific process such as a semiconductor unit process or an inspection process, and the load lock chamber is a space for loading a specimen into the process chamber or unloading a specimen completed in the process chamber . In addition, the transfer chamber refers to a space in which the transfer transfer robot for transferring the specimen is mounted. Hereinafter, for convenience of explanation, the process chamber will be referred to as a first chamber 10, and the load lock chamber or transfer chamber will be referred to as a second chamber 20. In Fig. 3, reference numeral 11 denotes a specimen holder, and 12 denotes a specimen stage.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 챔버(10)와 제 2 챔버(20) 사이에는 차단벽(30)이 구비되며, 상기 차단벽(30)을 기준으로 제 1 챔버(10)와 제 2 챔버(20)의 공간이 구분된다. 상기 차단벽(30)의 일측에는 개구부(31)가 구비되며, 상기 개구부(31)를 통해 제 1 챔버(10)와 제 2 챔버(20) 사이에서의 시편 이송이 가능하게 된다. 즉, 상기 개구부(31)를 통해 시편의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading) 과정이 진행된다. 4 and 5, a blocking wall 30 is provided between the first chamber 10 and the second chamber 20, and the first chamber 10 And the space of the second chamber 20 are distinguished from each other. One side of the blocking wall 30 is provided with an opening 31 through which the specimen can be transferred between the first chamber 10 and the second chamber 20. That is, loading and unloading of the specimen are performed through the opening 31.

상기 차단벽(30)의 일측 정확히는, 제 2 챔버(20)측 차단벽(30)의 일측에는 도어장치가 구비된다. 상기 도어장치는 상기 차단벽(30)의 개구부(31)를 선택적으로 개방, 차단하는 역할을 한다. 구체적으로, 상기 도어장치는 차단벽(30)의 개구부(31)와 제 2 챔버(20)의 천정 사이에서 힌지축(311)을 중심으로 회전 운동을 하며, 이를 통해 상기 차단벽(30)의 개구부(31)를 차단하거나 개방하는 역할을 한다. 즉, 상기 도어장치는 힌지축(311)의 회전에 따라 차단벽(30)의 개구부(31)에 밀착되는 형태를 이루거나, 제 2 챔버(20)의 천정에 밀착되는 형태를 이룰 수 있다. 상기 도어장치의 회전 운동은 다음의 구성을 통해 가능하다. One side of the blocking wall 30 is provided with a door device on one side of the blocking wall 30 on the side of the second chamber 20. The door device selectively opens and closes the opening 31 of the blocking wall 30. Specifically, the door device rotates about the hinge axis 311 between the opening 31 of the blocking wall 30 and the ceiling of the second chamber 20, And serves to cut off or open the opening 31. That is, the door device may be in the form of being closely attached to the opening 31 of the blocking wall 30 according to the rotation of the hinge shaft 311, or may be in close contact with the ceiling of the second chamber 20. The rotational motion of the door device is possible through the following configuration.

상기 도어장치(300)는 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 메인도어(310)와 보조도어(320)를 구비한다. 상기 메인도어(310)와 보조도어(320)는 모두 상기 개구부(31)를 덮을 수 있는 면적을 갖으며, 상기 보조도어(320)는 메인도어(310)의 후면 상에 일체형의 형태로 구비된다. 또한, 차단벽(30)의 개구부(31)를 차단하는 경우, 상기 보조도어(320)는 개구부(31)의 둘레에 구비된 실링부재(32)와 밀착되는 형태를 이룬다. The door device 300 includes a main door 310 and an auxiliary door 320, as shown in FIGS. The main door 310 and the auxiliary door 320 both have an area capable of covering the opening 31 and the auxiliary door 320 is integrally formed on the rear surface of the main door 310 . When the opening 31 of the blocking wall 30 is blocked, the auxiliary door 320 is in close contact with the sealing member 32 provided around the opening 31.

상기 메인도어(310)와 보조도어(320)의 회전을 위해, 상기 메인도어(310)의 양단에는 힌지축(311)이 구비되며, 상기 힌지축(311)은 차단벽(30)의 일측에 구비된 고정브라켓(312)에 거치된다. 이에 따라, 상기 힌지축(311)을 중심으로 상기 메인도어(310)의 회전이 가능하며, 상기 메인도어(310)와 보조도어(320)가 일체형의 형태로 결합되어 있음에 따라 상기 메인도어(310)의 회전시 상기 보조도어(320) 역시 회전하게 된다. A hinge shaft 311 is provided at both ends of the main door 310 for rotating the main door 310 and the auxiliary door 320. The hinge shaft 311 is provided at one side of the blocking wall 30 And is mounted on the fixed bracket 312 provided. The main door 310 is rotatable around the hinge shaft 311 and the main door 310 and the auxiliary door 320 are integrally coupled to each other. The auxiliary door 320 is also rotated.

한편, 상기 메인도어(310)에 회전력을 부여하기 위해, 수직 실린더(330) 및 회전매개체(340)가 구비된다. 상기 회전매개체(340)는 상기 메인도어(310)의 일측에 구비되며, 상기 수직 실린더(330)는 상기 회전매개체(340)의 상단에 고정된다. 상기 수직 실린더(330)는 수직 방향으로 상하 이동되며, 상기 회전매개체(340)는 상기 수직 실린더(330)의 수직 이동력을 수평 이동력으로 변환시켜 상기 메인도어(310)의 힌지축(311)을 중심으로 한 회전을 가능하게 한다. 여기서, 상기 수직 실린더(330)의 상하 이동은 구동모터 등의 별도의 구동수단에 의해 가능하다. In order to impart rotational force to the main door 310, a vertical cylinder 330 and a rotating medium 340 are provided. The rotating medium 340 is provided on one side of the main door 310 and the vertical cylinder 330 is fixed to the upper end of the rotating medium 340. The vertical cylinder 330 is moved up and down in the vertical direction and the rotary medium 340 converts the vertical movement force of the vertical cylinder 330 into a horizontal movement force so that the hinge shaft 311 of the main door 310 is rotated, As shown in FIG. Here, the vertical cylinder 330 can be moved up and down by a separate driving means such as a driving motor.

상기 회전매개체(340)는 세부적으로, 일정 형상을 갖는 회전매개부재(341)를 구비한다. 상기 회전매개부재(341)의 일단은 상기 수직 실린더(330)와 연결되고, 상기 회전매개부재(341)의 다른 일단은 상기 메인도어(310)에 연결된다. 상기 회전매개부재(341)의 일측에는 회전핀 가이드홈(342)이 구비되며, 상기 회전핀 가이드홈(342) 내에는 회전핀(343)이 구비된다. 상기 회전핀 가이드홈(342)은 상기 회전매개부재(341)를 메인도어(310)의 길이 방향으로 관통하는 형태로 형성되며, 이에 따라 상기 회전핀 가이드홈(342) 내의 회전핀(343) 역시 메인도어(310)의 길이 방향으로 배치된다. 한편, 상기 회전핀 가이드홈(342)은 일정 폭과 길이를 갖는 장홀 형태를 이루며, 상기 회전핀(343)은 수직 실린더(330)의 수직 이동에 따라 상기 회전핀 가이드홈(342) 내에서 선택적으로 이동된다. 또한, 상기 회전핀(343)은 소정의 브라켓(344)을 통해 상기 메인도어(310)에 고정될 수 있다. The rotatable medium 340 has, in detail, a rotation mediator 341 having a predetermined shape. One end of the rotation intermediate member 341 is connected to the vertical cylinder 330 and the other end of the rotation intermediate member 341 is connected to the main door 310. A rotation pin guide groove 342 is formed at one side of the rotation intermediate member 341 and a rotation pin 343 is provided in the rotation pin guide groove 342. The rotation pin guide groove 342 is formed to penetrate the rotation intermediate member 341 in the longitudinal direction of the main door 310 so that the rotation pin 343 in the rotation pin guide groove 342 And is arranged in the longitudinal direction of the main door 310. The rotation pin guide groove 342 has an elongated hole shape having a predetermined width and length and the rotation pin 343 is selectively inserted into the rotation pin guide groove 342 in accordance with vertical movement of the vertical cylinder 330. [ . The rotation pin 343 may be fixed to the main door 310 through a predetermined bracket 344.

이와 같은 도어장치의 구조 하에, 상기 수직 실린더(330)가 상부로 이동하게 되면(도 8a 참조), 해당 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈(342) 내의 회전핀(343)에 인가되고, 상기 회전핀(343)은 인가된 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈(342) 내에서 전진 이동하게 된다(도 8b 참조). 이 때, 메인도어(310)가 힌지축(311)을 매개로 고정브라켓(312)에 고정되어 있음으로 인해, 회전핀(343)의 전진 이동력은 힌지축(311)의 회전력으로 변환되며, 이에 따라 메인도어(310)가 회전하게 된다. 즉, 수직 실린더(330)의 상향 수직이동력은 회전핀(343)의 전진 이동력으로 변환되고, 회전핀(343)의 전진 이동력은 힌지축(311)의 시계방향으로의 회전력으로 변환되어, 메인도어(310)의 제 2 챔버(20) 천정 방향으로의 회전이 가능하게 된다(도 8c 참조). 8A), the vertical movement force is applied to the rotation pin 343 in the rotation pin guide groove 342, and when the vertical cylinder 330 is moved upward The rotary pin 343 is moved forward in the rotary pin guide groove 342 by the applied vertical movement force (see Fig. 8B). Since the main door 310 is fixed to the fixing bracket 312 via the hinge shaft 311, the forward movement force of the rotation pin 343 is converted by the rotational force of the hinge shaft 311, Thus, the main door 310 rotates. That is, the upward vertical power of the vertical cylinder 330 is converted into the forward movement force of the rotation pin 343, and the forward movement force of the rotation pin 343 is converted into the rotational force of the hinge shaft 311 in the clockwise direction , The main door 310 can be rotated in the ceiling direction of the second chamber 20 (see FIG. 8C).

반대의 동작을 살펴보면 다음과 같다. 메인도어(310) 및 보조도어(320)가 제 2 챔버(20)의 천정 방향에 위치된 상태에서(도 8c 참조), 상기 수직 실린더(330)가 하부로 이동하게 되면, 해당 하향 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈(342) 내의 회전핀(343)에 인가되고, 상기 회전핀(343)은 인가된 하향 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈(342) 내에서 후진 이동하게 되며(도 8b 참조), 회전핀(343)의 후진 이동력은 힌지축(311)의 회전력으로 변환되어 메인도어(310)의 개구부(31) 방향으로의 회전이 가능하게 된다(도 8a 참조). 한편, 상기 수직 실린더(330)의 상하 이동은 구동모터 등의 별도의 구동수단에 의해 가능하다. The opposite operation is as follows. When the main door 310 and the auxiliary door 320 are positioned in the ceiling direction of the second chamber 20 (see FIG. 8C), when the vertical cylinder 330 moves downward, the downward vertical movement force Is applied to the rotation pin 343 in the rotation pin guide groove 342 and the rotation pin 343 is moved backward in the rotation pin guide groove 342 by the applied downward vertical movement force The backward movement force of the rotation pin 343 is converted by the rotational force of the hinge shaft 311 so that the rotation of the main door 310 in the direction of the opening 31 becomes possible (see FIG. 8A). Meanwhile, the up-and-down movement of the vertical cylinder 330 can be performed by a separate driving means such as a driving motor.

이상 설명한 바와 같이, 수직 실린더(330)의 수직 이동력이 회전핀(343)의 회전핀 가이드홈(342) 내에서의 수평 이동력으로 변환되는 과정, 회전핀(343)의 수평 이동력이 메인도어(310) 힌지축(311)의 회전력으로 변환되는 과정을 통해 메인도어(310)의 개폐 동작이 가능함을 알 수 있다. The vertical movement force of the vertical cylinder 330 is converted into the horizontal movement force in the rotation pin guide groove 342 of the rotation pin 343, It can be seen that the main door 310 can be opened and closed through the process of converting the rotational force of the hinge shaft 311 of the door 310.

한편, 제 1 챔버(10)는 제 2 챔버(20)에 대비하여 상대적으로 고진공 상태를 유지하여, 메인도어(310)가 차단벽(30)의 개구부(31)를 차단하는 경우 제 1 챔버(10)와 제 2 챔버(20)의 압력차에 의해 밀폐가 강화되는데, 제 1 챔버(10)와 제 2 챔버(20)가 모두 높은 진공 상태를 이룰 경우 메인도어(310)의 밀착력이 저하되어 개구부(31)를 통해 설정된 진공이 해제될 가능성이 있다. The first chamber 10 maintains a relatively high vacuum state relative to the second chamber 20 so that when the main door 310 blocks the opening 31 of the blocking wall 30, 10 and the second chamber 20. When the first chamber 10 and the second chamber 20 are both in a high vacuum state, the adhesion of the main door 310 is deteriorated There is a possibility that the vacuum set through the opening 31 is released.

이를 방지하기 위해, 상기 보조도어(320)가 완벽한 밀폐를 보조하는 역할을 한다. 상기 보조도어(320)는 상기 메인도어(310)와 보조 힌지축(321)을 매개로 연결되며, 상기 메인도어(310)와 보조도어(320)는 일정 간격 이격된 상태로 구비된다. 따라서, 메인도어(310)와 보조도어(320) 사이의 거리에 해당되는 만큼 보조 힌지축(321)의 회전이 가능하다. 정리하면, 상기 보조도어(320)는 보조 힌지축(321)을 매개로 상기 메인도어(310)와 일체형으로 연결되어 메인도어(310)의 회전 운동시 함께 회전되나, 메인도어(310)와 보조도어(320) 사이의 거리에서는 보조도어(320)의 독립적인 이동(회전)이 가능하다. In order to prevent this, the auxiliary door 320 assists perfect sealing. The auxiliary door 320 is connected to the main door 310 via an auxiliary hinge shaft 321. The main door 310 and the auxiliary door 320 are spaced apart from each other by a predetermined distance. Accordingly, the auxiliary hinge shaft 321 can be rotated by a distance corresponding to the distance between the main door 310 and the auxiliary door 320. The auxiliary door 320 is integrally connected to the main door 310 via the auxiliary hinge shaft 321 and is rotated together with the main door 310 while rotating. Independent movement (rotation) of the auxiliary door 320 is possible at the distance between the doors 320.

메인도어(310)와 보조도어(320) 사이에서의 보조도어(320)의 독립적인 이동을 부여한 이유는 개구부(31)의 밀폐를 강화하기 위함이다. 개구부(31)의 차단을 위해 메인도어(310)가 개구부(31)를 향하여 이동하면, 보조도어(320)의 상단부가 개구부(31) 둘레에 구비된 실링부재(32)와 밀착하게 되고 메인도어(310)의 계속적인 이동에 따라 보조도어(320)의 하단부가 실링부재(32)와 밀착하게 되는데, 이 때 보조도어(320)의 독립적인 이동에 의해 보조도어(320)와 실링부재(32)의 긴밀한 밀착이 가능하게 된다.
The reason why the auxiliary door 320 is independently moved between the main door 310 and the auxiliary door 320 is to enhance the sealing of the opening 31. The upper end of the auxiliary door 320 comes into close contact with the sealing member 32 provided around the opening 31 when the main door 310 moves toward the opening 31 to block the opening 31, The lower end of the auxiliary door 320 is brought into close contact with the sealing member 32 in accordance with the continuous movement of the auxiliary door 320. The auxiliary door 320 and the sealing member 32 Can be closely adhered to each other.

10 : 제 1 챔버 11 : 시편 홀더
12 : 시편 스테이지 20 : 제 2 챔버
30 : 차단벽 31 : 개구부
32 : 실링부재
310 : 메인도어 311 : 힌지축
312 : 고정브라켓 320 : 보조도어
321 : 보조 힌지축 330 : 수직 실린더
340 : 회전매개체 341 : 회전매개부재
342 : 회전핀 가이드홈 343 : 회전핀10: first chamber 11: specimen holder
12: Specimen stage 20: Second chamber
30: blocking wall 31: opening
32: sealing member
310: main door 311: hinge shaft
312: fixing bracket 320: auxiliary door
321: auxiliary hinge shaft 330: vertical cylinder
340: rotating medium 341: rotating medium member
342: rotation pin guide groove 343: rotation pin

Claims (6)

제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에 구비되어, 제 1 챔버와 제 2 챔버의 공간을 분리하는 차단벽;
상기 차단벽의 일측에 구비되어 상기 제 1 챔버와 제 2 챔버의 공간을 연결시키며, 제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에서의 시편 이송을 가능하게 하는 개구부; 및
상기 개구부를 선택적으로 개방, 차단하는 도어장치를 포함하여 이루어지며,
상기 도어장치는,
힌지축을 중심으로 회전되어 상기 개구부를 개방, 차단하는 메인도어와,
수직 상하 이동되는 수직 실린더와,
상기 메인도어와 수직 실린더 사이에 구비되어, 상기 수직 실린더의 수직 이동력을 메인도어 힌지축의 회전력으로 변환시키는 회전매개체를 포함하여 구성되며,
상기 메인도어의 후면 상에 보조도어가 더 구비되며,
상기 보조도어는 상기 메인도어와 보조 힌지축을 매개로 연결되고, 상기 메인도어와 보조도어는 이격되어 배치되며,
상기 메인도어와 보조도어 사이의 공간에서 상기 보조 힌지축의 회전에 의해 상기 보조도어의 독립적인 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조.
A blocking wall disposed between the first chamber and the second chamber, the blocking wall separating the spaces of the first chamber and the second chamber;
An opening provided at one side of the blocking wall to connect the space between the first chamber and the second chamber and allow the transfer of the specimen between the first chamber and the second chamber; And
And a door device for selectively opening and closing the opening,
Wherein the door device comprises:
A main door rotated about a hinge axis to open and close the opening,
A vertical cylinder vertically moved up and down,
And a rotating medium provided between the main door and the vertical cylinder for converting a vertical movement force of the vertical cylinder into a rotational force of the main door hinge shaft,
Further comprising an auxiliary door on a rear surface of the main door,
Wherein the auxiliary door is connected to the main door via an auxiliary hinge shaft, the main door and the auxiliary door are disposed apart from each other,
And the auxiliary door can be independently moved by rotation of the auxiliary hinge shaft in a space between the main door and the auxiliary door.
제 1 항에 있어서, 상기 회전매개체는 회전매개부재를 구비하며,
상기 회전매개부재의 일단은 상기 수직 실린더와 연결되고, 상기 회전매개부재의 다른 일단은 상기 메인도어에 연결되며,
상기 회전매개부재의 일측에 상기 회전매개부재를 메인도어의 길이 방향으로 관통하는 회전핀 가이드홈이 구비되고, 상기 회전핀 가이드홈 내에 회전핀이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조.
2. The apparatus according to claim 1, wherein the rotating medium has a rotation-mediating member,
One end of the rotation mediating member is connected to the vertical cylinder, the other end of the rotation mediating member is connected to the main door,
Wherein a rotary pin guide groove is formed in one side of the rotation intermediate member to penetrate the rotary intermediate member in the longitudinal direction of the main door and a rotary pin is provided in the rotary pin guide groove.
제 2 항에 있어서, 상기 수직 실린더가 상부로 이동하게 되면, 상기 수직 실린더의 상향 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈 내의 회전핀에 인가되고, 상기 회전핀은 인가된 상향 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈 내에서 전진 이동하게 되며,
회전핀의 회전핀 가이드홈 내에서의 전진 이동력은 메인도어 힌지축의 회전력으로 변환되어 상기 메인도어가 제 2 챔버 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조.
3. The apparatus of claim 2, wherein when the vertical cylinder moves upward, an upward vertical movement force of the vertical cylinder is applied to the rotation pin in the rotation pin guide groove, and the rotation pin is rotated Moves forward in the pin guide groove,
Wherein a forward movement force of the rotation pin in the rotation pin guide groove is converted into a rotational force of the main door hinge shaft so that the main door rotates in the direction of the second chamber.
제 2 항에 있어서, 상기 메인도어가 제 2 챔버의 천정 방향에 위치된 상태에서, 상기 수직 실린더가 하부로 이동하게 되면, 상기 수직 실린더의 하향 수직 이동력은 상기 회전핀 가이드홈 내의 회전핀에 인가되고, 상기 회전핀은 인가된 하향 수직 이동력에 의해 회전핀 가이드홈 내에서 후진 이동하게 되며,
회전핀의 회전핀 가이드홈 내에서의 후진 이동력은 힌지축의 회전력으로 변환되어 상기 메인도어가 개구부 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조.
3. The apparatus of claim 2, wherein, when the main door is positioned in the ceiling direction of the second chamber, when the vertical cylinder moves downward, downward vertical movement force of the vertical cylinder is transmitted to the rotation pin And the rotary pin is moved backward in the rotary pin guide groove by the applied downward vertical movement force,
And the backward movement force of the rotation pin in the rotation pin guide groove is converted by the rotational force of the hinge shaft so that the main door rotates in the direction of the opening.
삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 메인도어의 양단에 힌지축이 구비되며, 상기 힌지축은 차단벽의 일측에 구비된 고정브라켓에 거치되며, 상기 힌지축을 중심으로 상기 메인도어의 회전이 가능한 것을 특징으로 하는 진공시스템의 게이트 밸브 구조.The hinge device according to claim 1, wherein a hinge shaft is provided at both ends of the main door, the hinge shaft is mounted on a fixing bracket provided on one side of the blocking wall, and the main door is rotatable about the hinge shaft Gate valve structure of vacuum system.
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