KR102437631B1 - 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치 - Google Patents

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KR102437631B1 KR1020220061744A KR20220061744A KR102437631B1 KR 102437631 B1 KR102437631 B1 KR 102437631B1 KR 1020220061744 A KR1020220061744 A KR 1020220061744A KR 20220061744 A KR20220061744 A KR 20220061744A KR 102437631 B1 KR102437631 B1 KR 102437631B1
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Abstract

본 발명은 필요시 적정량의 잉크를 빠르고 쉽게 보충할 수 있고, 설정된 값에 따라 잉크를 자동으로 공급(보충)할 수 있는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치에 관한 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치는, 소정 크기를 가지는 본체; 상기 본체의 위쪽에 설치되면서 내부에 소량의 액상 잉크가 저장되는 저장탱크; 상기 저장탱크의 외측면을 감싸면서 소정 온도로 저장탱크를 가열하는 가열탱크; 상기 저장탱크의 위쪽에 위치되면서 상기 저장탱크에 저장된 잉크를 교반하는 교반장치; 상기 본체의 위쪽에 수직으로 소정 길이를 가지도록 설치되어 상기 교반장치를 수직 방향으로 승강 동작시키는 승강장치; 상기 저장탱크의 내부로 잉크가 공급되도록 유로를 전환하거나 또는 상기 저장탱크 내부의 잉크가 인쇄장치로 공급되도록 유로를 전환하는 밸브유닛; 상기 가열탱크, 상기 교반장치, 상기 승강장치 및 상기 밸브유닛의 동작을 제어하는 컨트롤러를 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 인쇄장치의 구동횟수를 카운트하여 미리 설정된 시간동안 또는 미리 설정된 유량의 잉크가 상기 저장탱크에서 상기 인쇄장치에 공급하도록 자동 제어하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치{Automatic Ink Supply Device for Semiconductor Substrate Printing}
본 발명은 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정 중에 기판(BGA, PCB) 인쇄용 또는 마킹용 잉크를 자동으로 공급하는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정 중에는 기판을 인쇄하거나 또는 문자 및 기호를 새기기 위한 인쇄장치가 구비되고, 이러한 인쇄장치에는 잉크를 공급하기 위한 잉크 공급장치가 구비된다.
이러한 잉크 공급장치의 예로는 등록특허공보 제0235753호의 반도체패키지를 제조하는 마킹시스템용 마킹헤드의 잉크 균일도포장치(이하 '특허문헌'이라 한다)가 개시되어 있다.
상기 특허문헌은 반도체패키지 자재의 패키지에 UV인쇄마킹하는 마킹시스템의 인쇄도포부에 UV 잉크가 도포된 피드롤러, 상기 피드롤러의 일측에 설치된 회전구, 상기 피드롤러의 수평이동시 접촉되어 상하 이동되고 회전구의 접촉에 의해 회전되는 테이블에 의해 피드롤러에 도포된 잉크를 균일하게 유지시킬 수 있게 한 잉크균일도포수단을 포함하는 것으로 이루어진다.
상기와 같이 종래에는 반도체 제조공정용 잉크균일도포수단 등을 통해 충전된 잉크를 균일하게 도포하여 인쇄하고 있으나, 이러한 잉크균일도포수단 등에 잉크를 공급하는 잉크저장탱크의 잔량을 확인하여 작업자가 수작업으로 잉크를 보충해야 하는 번거로움이 있다.
또한, 잉크저장탱크에 잉크가 보충될 때에는 잉크를 소정 시간 교반하여 굳은 잉크 덩어리가 없도록 하고, 이와 동시에 교반 과정에서 발생된 기포가 제거된 다음 보충되어야 하는데, 이러한 교반 및 탈포 작업에 상당한 시간이 소요되기 때문에 잉크를 보충하는 데에 많은 시간이 소요되는 문제가 있다.
따라서 필요시 적정량의 잉크를 빠르고 쉽게 보충할 수 있고, 설정된 값에 따라 잉크를 자동으로 공급(보충)할 수 있는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치의 개발이 요구된다.
KR 10-0226107 B1 (1999. 07. 24.) KR 10-0235753 B1 (1999. 09. 28.) KR 10-0237658 B1 (1999. 10. 09.) KR 20-0164694 Y1 (1999. 10. 09.)
본 발명은 상기와 같은 종래의 반도체 제조공정용 잉크 공급장치가 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 필요시 적정량의 잉크를 빠르고 쉽게 보충할 수 있고, 설정된 값에 따라 잉크를 자동으로 공급(보충)할 수 있는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치를 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치는, 소정 크기를 가지는 본체; 상기 본체의 위쪽에 설치되면서 내부에 소량의 액상 잉크가 저장되는 저장탱크; 상기 저장탱크의 외측면을 감싸면서 소정 온도로 저장탱크를 가열하는 가열탱크; 상기 저장탱크의 위쪽에 위치되면서 상기 저장탱크에 저장된 잉크를 교반하는 교반장치; 상기 본체의 위쪽에 수직으로 소정 길이를 가지도록 설치되어 상기 교반장치를 수직 방향으로 승강 동작시키는 승강장치; 상기 저장탱크의 내부로 잉크가 공급되도록 유로를 전환하거나 또는 상기 저장탱크 내부의 잉크가 인쇄장치로 공급되도록 유로를 전환하는 밸브유닛; 상기 가열탱크, 상기 교반장치, 상기 승강장치 및 상기 밸브유닛의 동작을 제어하는 컨트롤러를 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 인쇄장치의 구동횟수를 카운트하여 미리 설정된 시간동안 또는 미리 설정된 유량의 잉크가 상기 저장탱크에서 상기 인쇄장치에 공급하도록 자동 제어하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 본체의 상면과 상기 가열탱크의 저면 사이에 상기 저장탱크와 가열탱크의 중량을 감지하는 로드셀이 설치되고, 상기 컨트롤러는, 상기 로드셀을 통해 감지되는 중량 정보에 기초하여 상기 저장탱크에 저장된 잉크의 잔량을 검출하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 저장탱크는 소정 간격 이격되어 설치되는 제1, 2 탱크로 이루어지고, 상기 컨트롤러는, 상기 제1 탱크로부터 잉크 공급이 진행되면, 상기 제2 탱크에서 교반 및 탈포 작업이 진행되도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
이에 더해 본 발명의 상기 컨트롤러는 상기 제1 탱크의 잉크 잔량이 미리 설정된 기준치 이하가 되면, 상기 제2 탱크 내의 잉크가 상기 제1 탱크에 보충되도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
그리고 본 발명의 상기 컨트롤러는 세척 모드로 동작시, 상기 밸브유닛을 통해 유로를 전환하여 상기 저장탱크의 유체가 상기 밸브유닛을 경유하여 순환되면서 관로와 밸브가 세척되도록 제어하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 저장탱크가 제1, 2 탱크로 이루어져 잉크가 교대로 교반 및 탈포되고, 이에 의해 잉크가 인쇄장치로 연속 공급될 수 있으며, 인쇄장치의 동작횟수에 맞추어 미리 설정된 소정량의 잉크가 자동 공급되므로 잉크를 수동으로 공급하는 것에 비해 상대적으로 잉크 공급에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치의 예를 보인 사시도.
도 2는 도 1의 정면도.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 교반장치의 예를 보인 도면.
도 5는 도 1의 측면도.
도 6은 도 1의 평면도.
도 7은 본 발명에 따른 컨트롤러의 제어화면 예를 보인 도면.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 첨부도면에 따라 상세하게 설명한다.
본 발명은 필요시 적정량의 잉크를 빠르고 쉽게 보충할 수 있고, 설정된 값에 따라 잉크를 자동으로 공급(보충)할 수 있는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치를 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 발명은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본체(10), 저장탱크(20), 가열탱크(30), 교반장치(40), 승강장치(50), 밸브유닛(60) 및 컨트롤러(70)를 포함한다.
본체(10)는 소정 길이를 가지는 프레임을 통해 사각 또는 직사각형 박스 모양으로 이루어지고, 이러한 본체(10)의 전후면에는 개폐 가능한 도어(도면부호 없음)가 설치되며, 본체(10)의 내부에는 잉크공급펌프, 진공펌프 및 냉각팬 등의 구성이 수용될 수 있다.
저장탱크(20)는 본체(10)의 위쪽에 설치되면서 내부에 소정량의 액상 잉크가 저장되는 구성이다.
이러한 저장탱크(20)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 내부에 저장된 액상 잉크를 인쇄장치(도시하지 않음)에 교대로 공급하거나 또는 잉크의 교반 및 탈포 작업을 따로 수행하기 위해 제1, 2 탱크(21, 22)로 구성될 수 있다.
이때 제1 탱크(21)는 인쇄장치로 잉크가 공급되도록 유로가 연결되고, 제2 탱크(22)는 제1 탱크(21)의 내부로 잉크가 보충되도록 유로가 연결될 수 있으며, 이 경우 제1 탱크(21)에 저장된 잉크가 인쇄장치로 공급되는 동안 제2 탱크(22)에 저장된 잉크는 교반 및 탈포 작업이 진행되도록 제어될 수 있다.
또 다르게는 제1, 2 탱크(21, 22)가 인쇄장치로 잉크가 공급되도록 유로가 연결되고, 제1 탱크(21)의 잉크가 인쇄장치로 공급될 때에는 제2 탱크(22)에서 교반 및 탈포 작업이 진행되며, 제2 탱크(22)의 잉크가 인쇄장치로 공급될 때에는 제1 탱크(21)에서 교반 및 탈포 작업이 진행되도록 제어될 수 있다.
가열탱크(30)는 본체(10)의 위쪽에 저장탱크(20)의 위치에 대응되도록 설치되고, 상면이 개방되어 내부에 저장탱크(20)가 수용되며, 히터 등을 통해 저장탱크(20)를 가열하는 구성이다.
이러한 가열탱크(30)는 도 3에 도시된 바와 같이 소정 지름을 가지는 원통 모양의 제1, 2 히트탱크(31, 32)와, 상기 제1, 2 히트탱크(31, 32)의 저면을 지지하는 소정 크기의 지지판(33)과, 상기 본체(10)의 상면과 상기 지지판(33)이 소정 간격 이격되도록 탄성 지지하는 복수 개의 탄성지지체(34)를 포함한다.
상기와 같은 구성을 통해 제1, 2 탱크(21, 22) 내부의 잉크 양이 증가되면, 증가되는 잉크의 중량에 맞추어 제1, 2 히트탱크(31, 32)를 지지하는 지지판(33)이 소정 높이로 하향되게 되고, 이와 반대로 제1, 2 탱크(21, 22) 내부의 잉크 양이 감소되면, 탄성지지체(34)의 탄성 복원력에 의해 지지판(33)과 함께 제1, 2 히트탱크(31, 32)가 상승되게 된다.
이를 통해 본체(10)의 상면과 지지판(33) 사이에 소정 크기의 로드셀(80)이 설치되고, 지지판(33)에 의해 로드셀(80)이 가압되는 압력을 측정하는 것으로 제1, 2 탱크(21, 22)에 저장된 잉크의 잔량을 검출할 수 있게 된다.
이를 위해 초기 설정시 제1, 2 탱크(21, 22)에 잉크가 채워지지 않은 빈 상태에서 로드셀(80)의 압력이 측정되고, 이렇게 측정된 제1 압력값이 잉크 잔량 0%으로 설정된다.
그런 다음, 사용자에 의해 제1, 2 탱크(21, 22)의 내부에 목표로 하는 수위에 도달할 때까지 잉크가 채워진후 로드셀(80)의 압력이 측정되고, 이렇게 측정된 제2 압력값이 잉크 잔량 100%로 설정된다.
이후, 제1, 2 압력값의 차이는 백분율로 환산되어 후술되는 컨트롤러(70)를 통해 제1, 2 탱크(21, 22)의 잔량이 백분율로 출력되고, 그 결과 로드셀(80)에서 측정되는 압력값의 실시간 변화량에 따라 제1, 2 탱크(21, 22)에 저장된 잉크의 잔량을 확인할 수 있게 된다.
교반장치(40)는 저장탱크(20A) 내부의 잉크를 교반하여 응고되는 것을 방지하고, 탈포하여 잉크에 기포가 잔존하지 않도록 하는 구성이다.
이러한 교반장치(40)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 후술되는 승강장치(50)를 통해 수직으로 승강 동작되는 소정 크기의 설치판(41)과, 상기 설치판(41)의 위쪽에 설치되는 교반모터(42)와, 상기 설치판(41)의 아래쪽에 소정 간격 이격되어 설치되면서 저장탱크(20)의 개방된 상면을 커버하는 소정 지름의 커버판(43)과, 일단이 상기 교반모터(42)의 회전축에 연결되면서 타단이 상기 커버판(43)을 관통하여 소정 길이를 가지는 교반축(44)과, 상기 설치판(41)의 위쪽에 설치되면서 상기 교반모터(42)의 속도를 제어하는 속도제어기(45)와, 일단이 상기 커버판(43)을 관통하여 소정 길이 상향 돌출되면서 타단이 상기 제1, 2 탱크(21, 22) 내부로 바닥 쪽에 근접되도록 소정 길이를 가지는 연결배관(46) 및 일단이 상기 커버판(43)을 관통하여 소정 길이 상향 돌출되면서 타단이 소정 지름을 가지는 반원모양으로 밴딩되는 배기관(47)을 포함한다.
이때 연결배관(46)상에는 제1, 2 탱크(21, 22)의 내부로 잉크가 공급되거나 또는 내부의 잉크가 외부로 배출되도록 펌프(도시하지 않음)가 연결되고, 배기관(47)상에는 진공펌프(도시하지 않음)가 연결되어 제1, 2 탱크(21, 22) 내부의 공기가 외부로 배출되도록 구성될 수 있다.
그리고 연결배관(46)과 배기관(47)의 일단(커버판(43)을 관통하여 위쪽으로 돌출되는 단)에는 밸브(도면부호 없음)가 설치되고, 이를 통해 연결배관(46)과 배기관(47)의 유로가 선택적으로 개폐되도록 구성된다.
승강장치(50)는 교반장치(40)를 수직으로 승강 동작시켜 제1, 2 탱크(21, 22)의 상면에 커버판(43)을 밀착시켜 커버하거나 또는 제1, 2 탱크(21, 22)의 상면을 개방하기 위한 구성이다.
이러한 승강장치(50)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본체(10)의 상부 일측에 위치되면서 수직 방향으로 소정 길이를 가지는 가이드레일(51)과, 상기 가이드레일(51)의 일측에 위치되면서 교반장치(40)의 설치판(41)을 승강 동작시키는 실린더유닛(52)을 포함한다.
이때 가이드레일(51)에는 소정 크기의 이송블록(51A)이 설치되고, 상기 이송블록(51A)에 설치판(41)이 결합되며, 실린더유닛(52)의 로드(52A)가 이송블록(51A)에 조립되어 실린더유닛(52)의 로드(52A)가 인입출 동작되는 것에 의해 이송블록(51)이 상하로 승강 동작되고, 이에 의해 설치판(41)이 이송블록(51)을 따라 승강 동작되도록 구성될 수 있다.
밸브유닛(60)은 저장탱크(20) 내부로 잉크를 공급하거나 또는 저장탱크(20) 내부의 잉크를 인쇄장치로 공급하기 위해 유로를 전환하는 구성이다.
이러한 밸브유닛(60)은 후술되는 컨트롤러(70)에 의해 자동으로 개폐 동작되는 자동밸브로 구성되거나 또는 사용자에 의해 수동으로 유로를 전환하는 수동밸브로 구성될 수 있다.
그리고 밸브유닛(60)을 통해 제1, 2 탱크(21, 22)의 내부로 유로가 순환되도록 구성될 수 있고, 이를 통해 제1, 2 탱크(21, 22)의 내부에 세척액이 공급된 상태에서 배관 내부를 세척하는 세척 작업이 진행될 수 있다.
컨트롤러(70)는 가열탱크(30), 교반장치(40), 승강장치(50) 및 밸브유닛(60)의 동작을 제어하는 구성이다.
이러한 컨트롤러(70)에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 전원 공급스위치(도면부호 없음), 전원 차단스위치(도면부호 없음) 및 비상 정지스위치(도면부호 없음)가 각각 구비되고, 가열탱크(30), 교반장치(40), 승강장치(50) 및 밸브유닛(60)의 동작을 나타내는 디스플레이가 설치된다.
이때 디스플레이는 터치스크린으로 구성되고, 이를 통해 사용자의 터치 조작에 의해 원하는 모드가 선택되게 된다.
이러한 본 발명의 컨트롤러(70)의 디스플레이는 크게 자동운전화면, 세척화면, INPUT, OUTPUT 및 알람정지 버튼을 포함하고, 이중 자동운전화면에는 도 7에 도시된 바와 같이 잉크의 자동 또는 수동 공급을 변경하는 운전선택부(71)와 제1, 2 탱크의 잔량표시부(72), 잉크의 토출횟수를 카운트하는 토출 카운터부(73) 및 잉크의 토출 압력을 설정하는 압력설정부(74)를 포함한다.
이러한 자동운전화면에서 사용자가 자동운전을 선택하면, 인쇄장치의 구동횟수(노즐을 통해 잉크가 토출되는 횟수)를 카운트하여 미리 설정된 시간동안 또는 미리 설정된 유량(압력)의 잉크가 저장탱크(20)에서 인쇄장치로 자동 공급되고, 제1, 2 탱크(21, 22)의 잉크 잔량에 따라 자동으로 잉크가 보충되어 교반 및 탈포 작업이 진행되게 된다.
그리고 제1 탱크(21)의 잉크 잔량이 미리 설정된 기준치 이하가 되면, 제2 탱크(22) 내의 잉크가 제1 탱크(21)에 보충되고, 이후 제2 탱크(22)의 내부로 외부 잉크가 보충되게 되면서 제1 탱크(21)에서는 교반 및 탈포가 완료된 안정적인 상태의 잉크가 인쇄장치 쪽으로 연속하여 공급되게 되고, 제2 탱크(22)에서는 외부에서 잉크가 보충되어 교반 및 탈포 작업이 반복적으로 진행되게 된다.
또 다르게는 제1, 2 탱크(21, 22)에 저장된 잉크가 교대로 교반 및 탈포 작업이 진행되고, 이에 의해 제1, 2 탱크(21, 22) 내부의 잉크가 인쇄장치로 교대로 연속하여 공급될 수 있다.
그 결과 인쇄장치에 연속적으로 잉크가 공급되게 되고, 이에 의해 잉크 부족으로 인한 인쇄불량 및 인쇄장치의 가동정지 등의 문제가 방지되어 인쇄장치의 가동률이 향상되게 된다.
그리고 세척화면에는 도 7에 도시된 바와 같이 세척동작을 자동 및 반자동으로 선택하는 세척모드선택부(75)와, 세척액의 토출시간, 압력, 잔액압력, 세척횟수 등의 정보를 출력하는 정보출력부(76)를 포함한다.
이를 통해 세척모드로 동작시, 밸브유닛(60)을 통해 유로가 전환되어 저장탱크(20)의 유체가 밸브유닛(60)을 경유하여 순환되면서 관로와 밸브가 세척되게 된다.
한편, INPUT버튼과 OUTPUT버튼은 각각 잉크의 공급 및 배출을 제어하는 버튼이고, 알람정지 버튼은 잉크의 잔량 부족 등에 따른 경고 알람을 정지시키는 버튼이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 저장탱크가 제1, 2 탱크로 이루어져 잉크가 교대로 교반 및 탈포되고, 이에 의해 잉크가 인쇄장치로 연속 공급될 수 있으며, 인쇄장치의 동작횟수에 맞추어 미리 설정된 소정량의 잉크가 자동 공급되므로 잉크를 수동으로 공급하는 것에 비해 상대적으로 잉크 공급에 소요되는 시간이 단축된다.
위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 발명에 따른 하나의 실시예로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 발명의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 통상의 기술자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.
10: 본체 20: 저장탱크
21: 제1 탱크 22: 제2 탱크
30: 가열탱크 31: 제1 히트탱크
32: 제2 히트탱크 33: 지지판
34: 탄성지지체 40: 교반장치
41: 설치판 42: 교반모터
43: 커버판 44: 교반축
45: 속도제어기 46: 연결배관
47: 배기관 50: 승강장치
51: 가이드레일 51A: 이송블록
52: 실린더유닛 52A: 로드
60: 밸브유닛 70: 컨트롤러
71: 운전선택부 72: 잔량표시부
73: 토출 카운터부 74: 압력설정부
75: 세척모드선택부 76: 정보출력부
80: 로드셀

Claims (5)

  1. 소정 크기를 가지는 본체(10);
    상기 본체(10)의 위쪽에 설치되면서 내부에 소량의 액상 잉크가 저장되는 저장탱크(20);
    상기 저장탱크(20)의 외측면을 감싸면서 소정 온도로 저장탱크(20)를 가열하는 가열탱크(30);
    상기 저장탱크(20)의 위쪽에 위치되면서 상기 저장탱크(20)에 저장된 잉크를 교반하는 교반장치(40);
    상기 본체(10)의 위쪽에 수직으로 소정 길이를 가지도록 설치되어 상기 교반장치(40)를 수직 방향으로 승강 동작시키는 승강장치(50);
    상기 저장탱크(20)의 내부로 잉크가 공급되도록 유로를 전환하거나 또는 상기 저장탱크(20) 내부의 잉크가 인쇄장치로 공급되도록 유로를 전환하는 밸브유닛(60);
    상기 가열탱크(30), 상기 교반장치(40), 상기 승강장치(50) 및 상기 밸브유닛(60)의 동작을 제어하는 컨트롤러(70);
    를 포함하고,
    상기 컨트롤러(70)는,
    상기 인쇄장치의 구동횟수를 카운트하여 미리 설정된 시간동안 또는 미리 설정된 유량의 잉크가 상기 저장탱크(20)에서 상기 인쇄장치에 공급하도록 자동 제어하며,
    상기 저장탱크(20)는,
    소정 간격 이격되어 설치되는 제1, 2 탱크(21, 22)로 이루어지고,
    상기 컨트롤러(70)는,
    상기 제1 탱크(21)로부터 잉크 공급이 진행되면, 상기 제2 탱크(22)에서 교반 및 탈포 작업이 진행되도록 제어하며,
    상기 컨트롤러(70)는,
    상기 제1 탱크(21)의 잉크 잔량이 미리 설정된 기준치 이하가 되면, 상기 제2 탱크(22) 내의 잉크가 상기 제1 탱크(21)에 보충되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체(10)의 상면과 상기 가열탱크(30)의 저면 사이에는,
    상기 저장탱크(20)와 상기 가열탱크(30)의 중량을 감지하는 로드셀(80)이 설치되고,
    상기 컨트롤러(70)는,
    상기 로드셀(80)을 통해 감지되는 중량 정보에 기초하여 상기 저장탱크(20)에 저장된 잉크의 잔량을 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 잉크 자동공급장치.
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