KR102427972B1 - Jig for measuring height - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 테이블면의 높이 측정을 안정적으로 실시하는 것을 목적으로 한다.
판형의 피가공물을 유지면에 의해 유지하는 척 테이블을 지지면에 의해 지지할 수 있는 회전 가능한 테이블 베이스와, 가공 공구를 장착할 수 있는 휠 마운트가 선단에 고정된 스핀들을 구비하는 가공 장치에 있어서, 상기 휠 마운트에 고정한 접촉식 게이지를 상기 가공 공구의 회전 궤도를 따라 주사시켜 상기 유지면 또는 상기 지지면의 높이를 측정할 때에 이용되는 높이 측정용 지그로서, 복수의 개구부가 형성된 플레이트와, 상기 플레이트로부터 돌출되는 복수의 위치 결정부를 구비하고, 상기 위치 결정부는, 상기 플레이트를 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치되는 기능을 가지며, 상기 개구부는, 상기 미리 정해진 위치에 상기 플레이트가 위치되었을 때에 상기 유지면 또는 상기 지지면의 측정 대상 영역을 노출시키도록 상기 회전 궤도를 따라 형성된다.An object of this invention is to perform height measurement of a table surface stably.
A machining apparatus comprising: a rotatable table base capable of supporting a chuck table holding a plate-shaped workpiece by a holding surface by a support surface; and a spindle fixed to a tip end of a wheel mount capable of mounting a machining tool , A height measuring jig used to measure the height of the holding surface or the supporting surface by scanning the contact gauge fixed to the wheel mount along the rotational trajectory of the machining tool, comprising: a plate having a plurality of openings; a plurality of positioning portions protruding from the plate, wherein the positioning portions have a function of positioning the plate at a predetermined position with respect to the chuck table or the table base, wherein the opening includes the plate at the predetermined position is formed along the rotation trajectory to expose a measurement target area of the holding surface or the support surface when positioned.

Description

높이 측정용 지그{JIG FOR MEASURING HEIGHT}Jig for height measurement

본 발명은, 테이블면의 미리 정해진 위치에서 상기 테이블면의 높이를 측정할 때에 이용되는 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig used for measuring the height of the table surface at a predetermined position on the table surface.

실리콘이나 갈륨비소, 사파이어, 유리 등으로 이루어진 판형의 피가공물로부터 디바이스를 포함하는 디바이스 칩을 형성하는 공정에서는, 상기 피가공물을 연삭하는 연삭 장치나 상기 피가공물을 연마하는 연마 장치 등의 각종 가공 장치가 사용된다. 상기 가공 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛을 구비하고, 상기 척 테이블 상에 유지된 상기 피가공물을 상기 가공 유닛으로 가공한다.In the step of forming a device chip including a device from a plate-shaped workpiece made of silicon, gallium arsenide, sapphire, glass, or the like, various processing apparatuses such as a grinding device for grinding the workpiece and a polishing device for grinding the workpiece is used The processing apparatus includes a chuck table for holding a workpiece and a processing unit for processing the workpiece, and the processing unit processes the workpiece held on the chuck table.

상기 척 테이블은, 테이블 베이스에 의해 지지된다. 상기 테이블 베이스의 상면은 평탄한 지지면으로 되어 있고, 상기 지지면 상에 척 테이블이 고정된다. 피가공물은, 상기 테이블 베이스의 지지면 상에 고정된 척 테이블 상에 유지된 상태로 상기 가공 유닛에 의해 가공된다.The chuck table is supported by a table base. The upper surface of the table base is a flat support surface, and the chuck table is fixed on the support surface. The workpiece is processed by the processing unit while being held on the chuck table fixed on the support surface of the table base.

상기 가공 유닛은, 상기 연직 방향에 대략 평행한 스핀들과, 상기 스핀들의 하단에 배치된 휠 마운트와, 상기 휠 마운트의 하면에 장착된 가공 공구를 구비한다. 상기 가공 공구는, 예컨대, 하면에 연삭 지석을 구비하는 연삭 휠이나 하면에 연마 패드를 구비하는 연마 휠 등이다.The machining unit includes a spindle substantially parallel to the vertical direction, a wheel mount disposed at a lower end of the spindle, and a machining tool mounted on a lower surface of the wheel mount. The machining tool is, for example, a grinding wheel having a grinding wheel on its lower surface, a grinding wheel having a polishing pad on its lower surface, or the like.

피가공물의 가공시에는, 상기 스핀들을 회전시켜 상기 가공 공구를 회전시킴과 더불어 상기 척 테이블을 회전시키고, 상기 가공 유닛을 연직 방향 아래쪽으로 이동시킨다. 상기 가공 공구에 장착된 상기 연삭 지석 또는 연마 패드가 해당 피가공물에 접촉하면, 상기 피가공물이 가공된다.When machining a workpiece, the spindle is rotated to rotate the machining tool, the chuck table is rotated, and the machining unit is moved vertically downward. When the grinding wheel or the polishing pad mounted on the machining tool comes into contact with the workpiece, the workpiece is machined.

피가공물의 보다 적절한 가공을 실현하기 위해서, 테이블 베이스, 척 테이블 및 가공 유닛에는 여러 가지 개선이 이루어지고 있다. 예컨대, 연삭 장치에 있어서는, 상기 피가공물이 균일한 두께가 되도록 연삭하기 위해서, 매우 작은 구배의 측면을 갖는 원추의 상기 측면의 형상을 유지면의 형상으로 한 척 테이블이 사용된다(특허문헌 1 참조).In order to realize more appropriate processing of the workpiece, various improvements have been made to the table base, the chuck table, and the processing unit. For example, in a grinding apparatus, in order to grind the workpiece to a uniform thickness, a chuck table is used in which the shape of the side surface of a cone having a very small gradient is used as the shape of the holding surface (see Patent Document 1). ).

또한, 가공을 시작할 때에 테이블 베이스, 척 테이블 및 가공 유닛이 미리 정해진 위치 관계로 되어 있지 않으면, 가공에 편차가 생기는 경우가 있다. 그 때문에, 가공 장치에서는 피가공물을 적절하게 가공할 수 있도록, 테이블 베이스, 척 테이블 및 가공 유닛의 위치나 기울기 등이 미리 조정된다.In addition, if the table base, the chuck table, and the machining unit are not in a predetermined positional relationship when machining is started, there is a case where the machining is deviated. Therefore, in the processing apparatus, the positions, inclinations, and the like of the table base, the chuck table, and the processing unit are adjusted in advance so that the workpiece can be properly processed.

상기 조정에서는, 예컨대, 테이블 베이스의 지지면의 복수 지점에서 높이를 측정하여 상기 지지면의 기울기를 확인한다. 또한, 테이블 베이스의 지지면 상에 척 테이블을 고정하고, 상기 척 테이블의 유지면의 복수 지점에서 높이를 측정하여 상기 유지면의 기울기를 확인한다.In the adjustment, for example, the inclination of the support surface is checked by measuring the height at a plurality of points on the support surface of the table base. In addition, the chuck table is fixed on the support surface of the table base, and the height of the holding surface of the chuck table is measured at a plurality of points to check the inclination of the holding surface.

상기 지지면이나 상기 유지면 등의 테이블면의 높이 측정은, 상기 가공 유닛의 휠 마운트에 장착되는 접촉식 게이지를 사용하여 실시된다. 예컨대, 가공 공구가 장착되기 전의 휠 마운트에 상기 접촉식 게이지를 장착하고, 스핀들을 회전시킴으로써 상기 접촉식 게이지의 하단의 게이지 헤드를 측정 대상이 되는 상기 테이블면의 미리 정해진 지점에 접촉시킨다. 그렇게 하면, 가공에 있어서의 가공 공구의 회전 궤도를 따라 상기 게이지 헤드를 상기 테이블면에 접촉시켜 상기 테이블면의 높이를 측정할 수 있다(특허문헌 2 참조).The height measurement of the table surface, such as the support surface or the holding surface, is performed using a contact gauge mounted on a wheel mount of the machining unit. For example, the contact gauge is mounted on a wheel mount before the machining tool is mounted, and the gauge head at the lower end of the contact gauge is brought into contact with a predetermined point on the table surface to be measured by rotating the spindle. By doing so, the gauge head can be brought into contact with the table surface along the rotational trajectory of the machining tool in processing, and the height of the table surface can be measured (refer to Patent Document 2).

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-222986호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2007-222986 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2013-141725호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 2013-141725

휠 마운트에 장착된 접촉식 게이지에 의한 테이블면의 높이 측정은, 예컨대, 상기 테이블면의 중앙부와, 상기 중앙부를 지나는 상기 가공 공구의 회전 궤도 상의 상기 테이블면의 단부 2지점의, 모두 3점에서 실시된다. 상기 측정은, 상기 가공 유닛을 구비하는 가공 장치의 사용 개시시나 메인터넌스시, 척 테이블의 교환시 등에 실시된다. 가공 장치의 사용을 시작한 후에 상기 테이블면의 기울기가 변화된 경우에 변화가 생긴 것을 정확하게 검출하기 위해서, 측정 타이밍에 상관없이 항상 동일한 3점에서 측정이 실시되는 것이 바람직하다.The height measurement of the table surface by means of a contact gauge mounted on a wheel mount is measured at, for example, three points: the central portion of the table surface and the two ends of the table surface on the rotational trajectory of the machining tool passing through the central portion. is carried out The measurement is performed at the time of starting use of the machining apparatus including the machining unit, at the time of maintenance, at the time of replacement of the chuck table, and the like. In order to accurately detect that a change has occurred when the inclination of the table surface is changed after starting to use the processing device, it is preferable that the measurement is always performed at the same three points irrespective of the measurement timing.

그러나, 측정 타이밍에 따라서는 측정을 실시하는 작업자가 동일 인물이 된다고는 할 수 없고, 또한, 테이블면에는 상기 3점을 나타내는 안표 등은 형성되어 있지 않기 때문에, 측정이 매회 동일 지점에서 실시된다고는 할 수 없다.However, depending on the measurement timing, it cannot be said that the operator performing the measurement is the same person, and since there are no marks or the like indicating the above three points on the table surface, the measurement is performed at the same point every time. Can not.

또한, 상기 테이블 베이스의 상기 지지면에는, 척 테이블의 유지면에 부압을 전달하기 위한 경로가 되는 홈이 마련되어 있다. 그 때문에, 상기 접촉식 게이지를 이동시킬 때에 상기 게이지 헤드가 상기 홈에 떨어져서 높이의 변화가 커지고, 접촉식 게이지의 측정 데이터의 안정성이 악화되는 경우가 있다. 또한, 상기 지지면에는, 상기 홈 이외에도 나사 구멍 등의 요철 형상이 마련되는 경우가 있고, 상기 게이지 헤드가 상기 요철 형상에 충돌하여 상기 게이지 헤드가 손상될 우려가 있다.Further, a groove serving as a path for transmitting a negative pressure to the holding surface of the chuck table is provided in the support surface of the table base. Therefore, when the contact gauge is moved, the gauge head may fall into the groove, resulting in a large change in height, thereby deteriorating the stability of the measurement data of the contact gauge. In addition, the support surface may be provided with concavo-convex shapes such as screw holes in addition to the grooves, and the gauge head may collide with the concave-convex shape to damage the gauge head.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 측정 대상이 되는 테이블면의 미리 정해진 위치에 접촉식 게이지의 게이지 헤드를 위치시켜, 상기 테이블면의 높이 측정을 안정적으로 실시할 수 있는 측정용 지그를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and its purpose is to position the gauge head of the contact type gauge at a predetermined position on the table surface to be measured, so as to stably measure the height of the table surface. It is to provide a jig for measuring that can be used.

본 발명의 일 양태에 따르면, 판형의 피가공물을 유지면에 의해 유지하는 척 테이블을 지지면에 의해 지지할 수 있는 회전 가능한 테이블 베이스와, 피가공물을 연삭 또는 연마하는 가공 공구를 장착할 수 있는 휠 마운트가 선단에 고정된 스핀들을 구비하는 가공 장치에 있어서, 상기 휠 마운트에 고정된 접촉식 게이지를 상기 가공 공구의 회전 궤도를 따라 주사시켜 상기 유지면 또는 상기 지지면의 높이를 측정할 때에 이용되는 높이 측정용 지그로서, 상기 유지면 또는 상기 지지면을 덮고, 복수의 개구부가 형성된 플레이트와, 상기 플레이트로부터 돌출되는 볼록형의 복수의 위치 결정부를 구비하고, 상기 위치 결정부는, 상기 플레이트를 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치시키는 기능을 가지며, 상기 개구부는, 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 상기 미리 정해진 위치에 상기 플레이트가 위치되었을 때에 상기 유지면 또는 상기 지지면의 일부를 노출시키도록 상기 회전 궤도를 따라 형성되고, 상기 개구부는, 상기 접촉식 게이지가 상기 개구부를 통하여 상기 유지면 또는 상기 지지면의 상기 일부에 접촉 가능한 크기인 것을 특징으로 하는 높이 측정용 지그가 제공된다.According to an aspect of the present invention, a rotatable table base capable of supporting a chuck table holding a plate-shaped workpiece by a holding surface by a support surface, and a machining tool for grinding or polishing the workpiece can be mounted In the machining apparatus having a spindle fixed to the tip of the wheel mount, the contact gauge fixed to the wheel mount is scanned along the rotation trajectory of the machining tool to measure the height of the holding surface or the support surface A height measuring jig that covers the holding surface or the support surface, the plate having a plurality of openings formed therein, and a plurality of convex positioning parts protruding from the plate, wherein the positioning part holds the plate by the chuck has a function of positioning in a predetermined position relative to a table or the table base, wherein the opening is a portion of the holding surface or the support surface when the plate is positioned in the predetermined position relative to the chuck table or the table base. is formed along the rotational trajectory to expose do.

또한, 복수의 환형 오목부가 동심원형으로 형성된 상기 지지면을 갖는 상기 테이블 베이스의 상기 지지면의 높이를 측정할 때에 이용되는 본 발명의 일 양태에 따른 높이 측정용 지그로서, 상기 플레이트는, 상기 환형 오목부를 덮음으로써 측정기의 접촉식 게이지가 상기 환형 오목부에 낙하하는 것을 방지하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 높이 측정용 지그도 또한 본 발명의 일 양태이다.In addition, as a height measuring jig according to an aspect of the present invention used when measuring the height of the support surface of the table base having the support surface formed in a plurality of annular recesses concentrically, the plate comprises: A jig for measuring height characterized in that it has a function of preventing the contact gauge of the measuring instrument from falling into the annular concave portion by covering the concave portion is also an aspect of the present invention.

또한, 본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 복수의 위치 결정부는, 상기 플레이트의 한쪽 면에 형성된 복수의 제1 위치 결정부와, 상기 플레이트의 다른 쪽 면에 형성된 복수의 제2 위치 결정부를 포함하고, 상기 복수의 제1 위치 결정부의 각각은 상기 플레이트의 상기 한쪽 면이 상기 유지면에 접하도록 상기 플레이트가 상기 척 테이블에 대한 미리 정해진 위치에 위치되었을 때에 상기 척 테이블의 측면에 접촉하여 상기 플레이트의 상기 척 테이블에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 가지며, 상기 복수의 제2 위치 결정부의 각각은 상기 플레이트의 상기 다른 쪽 면이 상기 지지면에 접하도록 상기 플레이트가 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치되었을 때에 상기 지지면에 형성된 오목부에 삽입되어 상기 플레이트의 상기 테이블 베이스에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 가져도 좋다.Further, in one aspect of the present invention, the plurality of positioning parts includes a plurality of first positioning parts formed on one side of the plate and a plurality of second positioning parts formed on the other side of the plate, , each of the plurality of first positioning portions is in contact with a side surface of the chuck table when the plate is positioned at a predetermined position relative to the chuck table such that the one side of the plate is in contact with the holding surface, so that the has a function of suppressing a change in a positional relationship with respect to the chuck table, wherein each of the plurality of second positioning portions is configured such that the plate is in a predetermined position relative to the table base such that the other surface of the plate is in contact with the support surface. It may be inserted into the recess formed in the said support surface when it is positioned in position, and may have a function of suppressing the change of the positional relationship of the said plate with respect to the said table base.

본 발명의 일 양태에 따른 높이 측정용 지그는, 상기 테이블면을 덮는 플레이트와, 상기 플레이트로부터 돌출되는 볼록형의 복수의 위치 결정부를 구비하고, 상기 테이블면 상의 미리 정해진 위치에 놓여져 사용된다. 상기 높이 측정용 지그는, 상기 위치 결정부가 형성된 면을 아래쪽으로 향하게 한 상태에서 상기 테이블면 상에 놓여진다.A height measuring jig according to an aspect of the present invention is provided with a plate covering the table surface, and a plurality of convex positioning portions protruding from the plate, and is used while being placed at a predetermined position on the table surface. The height measuring jig is placed on the table surface in a state in which the surface on which the positioning portion is formed faces downward.

복수의 상기 위치 결정부는, 상기 플레이트가 상기 테이블면 상의 적절한 위치에 위치되어 있지 않은 경우에 어느 하나의 상기 위치 결정부가 상기 테이블면에 닿는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 상기 위치 결정부가 상기 테이블면에 닿지 않는 위치에 상기 플레이트를 위치시킴으로써, 상기 플레이트가 미리 정해진 위치에 위치된다. 즉, 복수의 상기 위치 결정부는, 상기 플레이트를 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치시키는 기능을 구비한다.The plurality of positioning portions is arranged at a position where any one of the positioning portions abuts against the table surface when the plate is not positioned at an appropriate position on the table surface. Therefore, by positioning the plate at a position where the positioning portion does not touch the table surface, the plate is positioned at a predetermined position. That is, the plurality of positioning units have a function of positioning the plate at predetermined positions with respect to the chuck table or the table base.

상기 플레이트에는, 복수의 개구부가 형성되어 있고, 상기 플레이트가 척 테이블 또는 테이블 베이스 상의 미리 정해진 위치에 위치되었을 때, 상기 개구부에 의해 상기 테이블면의 특정 일부가 노출된다. 상기 테이블면의 높이를 측정할 때에는, 접촉식 게이지의 게이지 헤드를 상기 개구부에 의해 노출된 상기 일부에 접촉시켜, 상기 일부의 높이를 측정한다.A plurality of openings are formed in the plate, and when the plate is positioned at a predetermined position on a chuck table or a table base, a specific part of the table surface is exposed by the openings. When measuring the height of the table surface, the gauge head of the contact type gauge is brought into contact with the part exposed by the opening to measure the height of the part.

상기 높이 측정용 지그를 사용하면, 상기 테이블면의 높이를 측정할 때마다 매회 동일한 상기 특정 일부가 상기 개구부에 의해 노출된다. 그 때문에, 측정 타이밍이나 측정자에 의하지 않고 테이블면의 동일한 부분을 안정적으로 측정할 수 있다.When the jig for measuring the height is used, the same specific part is exposed by the opening every time the height of the table surface is measured. Therefore, the same part of a table surface can be measured stably irrespective of a measurement timing or a person measuring.

따라서, 본 발명의 일 양태에 따르면, 측정 대상이 되는 테이블면의 미리 정해진 위치에 접촉식 게이지의 게이지 헤드를 위치시켜, 상기 테이블면의 높이 측정을 안정적으로 실시할 수 있는 측정용 지그가 제공된다.Therefore, according to one aspect of the present invention, by positioning the gauge head of the contact-type gauge at a predetermined position on the table surface to be measured, there is provided a measuring jig capable of stably measuring the height of the table surface. .

도 1은 연삭 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 연삭 유닛에 의한 피가공물의 연삭 가공을 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 연삭 유닛에 의한 피가공물의 연삭 가공을 모식적으로 나타낸 부분 단면도이다.
도 4의 (A)는 접촉식 게이지가 장착된 휠 마운트를 모식적으로 나타낸 부분 단면도이고, 도 4의 (B)는 높이 측정용 지그의 제1 면측을 모식적으로 나타낸 사시도이며, 도 4의 (C)는 높이 측정용 지그의 제2 면측을 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 5의 (A)는 척 테이블 및 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 5의 (B)는 척 테이블 상에 위치된 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이며, 도 5의 (C)는 테이블 베이스 및 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 5의 (D)는 테이블 베이스 상에 위치된 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 6은 높이 측정용 지그가 위치된 척 테이블의 유지면의 높이를 접촉식 게이지에 의해 측정하는 모습을 모식적으로 나타낸 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the perspective view which showed typically a grinding apparatus.
[ Fig. 2] Fig. 2 is a perspective view schematically showing the grinding processing of the workpiece by the grinding unit.
Fig. 3 is a partial cross-sectional view schematically showing the grinding processing of the workpiece by the grinding unit.
Figure 4 (A) is a partial cross-sectional view schematically showing a wheel mount equipped with a contact gauge, Figure 4 (B) is a perspective view schematically showing the first surface side of the jig for height measurement, (C) is the perspective view which showed typically the 2nd surface side of the jig for height measurement.
Figure 5 (A) is a perspective view schematically showing a chuck table and a jig for measuring the height, Figure 5 (B) is a perspective view schematically showing a jig for measuring the height positioned on the chuck table, (C) is a perspective view schematically showing the table base and the jig for measuring the height, and (D) of FIG. 5 is a perspective view schematically showing the jig for measuring the height positioned on the table base.
6 is a perspective view schematically illustrating a state in which the height of the holding surface of the chuck table in which the height measuring jig is positioned is measured by a contact type gauge.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 따른 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그는, 연삭 장치나 연마 장치 등의 가공 장치에 있어서, 상기 가공 장치가 구비하는 척 테이블의 유지면 또는 상기 가공 장치가 구비하는 테이블 베이스의 지지면 등의 테이블면의 높이를 측정할 때에 사용된다. 도 1은 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그가 사용되는 가공 장치의 일례로서 연삭 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION With reference to an accompanying drawing, embodiment which concerns on one aspect of this invention is described. The jig for height measurement which concerns on this embodiment, in processing apparatuses, such as a grinding apparatus and a grinding|polishing apparatus, WHEREIN: Table surfaces, such as the holding surface of the chuck table with which the said processing apparatus is equipped, or the support surface of the table base with which the said processing apparatus is equipped. used to measure the height of BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows typically a grinding apparatus as an example of the processing apparatus in which the jig for height measurement which concerns on this embodiment is used.

연삭 장치(2)의 장치 베이스(4)의 상면에는, 개구(4a)가 마련되어 있다. 상기 개구(4a) 내에는, 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블(6)과, 상기 척 테이블(6)을 지지하는 테이블 베이스(6b)가 상면에 놓이는 X축 이동 테이블(8)이 구비되어 있다. 상기 X축 이동 테이블(8)은, 도시하지 않은 X축 방향 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동 가능하다. 상기 X축 이동 테이블(8)은, X축 방향 이동 기구에 의해 피가공물이 착탈되는 반입출 영역(10)과, 상기 피가공물이 연삭 가공되는 가공 영역(12)에 위치된다.An opening 4a is provided on the upper surface of the apparatus base 4 of the grinding apparatus 2 . In the opening 4a, a chuck table 6 for sucking and holding a workpiece, and an X-axis movement table 8 on which a table base 6b for supporting the chuck table 6 is placed are provided. . The X-axis movement table 8 is movable in the X-axis direction by an X-axis direction movement mechanism (not shown). The X-axis movement table 8 is located in the loading/unloading area 10 where the workpiece is attached and detached by the X-axis direction movement mechanism, and the processing area 12 in which the workpiece is ground.

상기 테이블 베이스(6b)의 상면은, 상기 척 테이블(8)이 놓여지는 지지면(6c)(도 5의 (C) 참조)이 된다. 상기 테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)에는, 예컨대, 동심원형으로 배열된 복수의 홈(환형 오목부)(6d)(도 3 및 도 5의 (C) 참조)이 형성되어 있다. 상기 테이블 베이스(6b)는, 일단이 상기 홈(6d)으로 통하고 타단이 흡인원(36)(도 3 참조)에 접속된 흡인로(6f)(도 3 참조)를 내부에 구비한다.The upper surface of the table base 6b serves as a support surface 6c (see Fig. 5C) on which the chuck table 8 is placed. A plurality of grooves (annular recesses) 6d (refer to FIGS. 3 and 5C ) are formed in a support surface 6c of the table base 6b, for example, arranged concentrically. The table base 6b has therein a suction path 6f (refer to FIG. 3) having one end connected to the groove 6d and the other end connected to a suction source 36 (refer to FIG. 3).

상기 테이블 베이스(6b) 상에는 척 테이블(6)이 놓여진다. 상기 척 테이블(6)의 상면은, 피가공물이 놓여지는 유지면(6a)이 된다. 척 테이블(6)의 상부에는 다공질 부재가 배치되어 있다. 상기 척 테이블(6)의 상기 다공질 부재의 아래쪽에는, 상기 척 테이블(6)의 바닥면으로 통하는 통기구가 형성되어 있다. 상기 테이블 베이스(6b) 상에 척 테이블(6)이 놓여지면, 상기 통기구는, 상기 테이블 베이스(6b)의 상기 홈(6d) 및 흡인로(6f)를 지나 상기 흡인원(36)으로 연통된다.A chuck table 6 is placed on the table base 6b. The upper surface of the chuck table 6 serves as a holding surface 6a on which the workpiece is placed. A porous member is disposed above the chuck table 6 . A ventilation hole is formed below the porous member of the chuck table 6 , which leads to the bottom surface of the chuck table 6 . When the chuck table 6 is placed on the table base 6b, the ventilation port communicates with the suction source 36 through the groove 6d and the suction path 6f of the table base 6b. .

상기 흡인원(36)을 작동시키면, 상기 유지면(6a) 상에 놓여진 피가공물에 부압이 작용하여, 상기 피가공물은 척 테이블(6)에 흡인 유지된다. 또한, 상기 척 테이블(6)이 놓이는 상기 테이블 베이스(6b)는, 상기 유지면(6a)에 수직인 축 주위로 회전할 수 있다.When the suction source 36 is operated, a negative pressure is applied to the workpiece placed on the holding surface 6a, and the workpiece is held by the chuck table 6 by suction. Further, the table base 6b on which the chuck table 6 rests can be rotated about an axis perpendicular to the holding surface 6a.

상기 가공 영역(12)의 위쪽에는, 상기 피가공물을 연삭 가공하는 연삭 유닛(가공 유닛)(14)이 배치된다. 장치 베이스(4)의 후방측에는 지지부(16)가 세워져 있고, 이 지지부(16)에 의해 연삭 유닛(14)이 지지되어 있다. 지지부(16)의 전면에는, Z축 방향으로 신장되는 한 쌍의 Z축 가이드 레일(18)이 마련되고, 각각의 Z축 가이드 레일(18)에는, Z축 이동 플레이트(20)가 슬라이드 가능하게 부착되어 있다.Above the machining region 12 , a grinding unit (machining unit) 14 for grinding the workpiece is disposed. On the rear side of the apparatus base 4, a support portion 16 is erected, and the grinding unit 14 is supported by the support portion 16 . A pair of Z-axis guide rails 18 extending in the Z-axis direction are provided on the front surface of the support 16, and on each Z-axis guide rail 18, a Z-axis moving plate 20 is slidable. is attached.

Z축 이동 플레이트(20)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 이 너트부에는, Z축 가이드 레일(18)에 평행한 Z축 볼나사(22)가 나사 결합되어 있다. Z축 볼나사(22)의 일단부에는, Z축 펄스 모터(24)가 연결되어 있다. Z축 펄스 모터(24)로 Z축 볼나사(22)를 회전시키면, Z축 이동 플레이트(20)는, Z축 가이드 레일(18)을 따라 Z축 방향으로 이동한다.A nut part (not shown) is provided on the back side (rear side) of the Z-axis moving plate 20, and the Z-axis ball screw 22 parallel to the Z-axis guide rail 18 is provided in this nut part. are screwed together. A Z-axis pulse motor 24 is connected to one end of the Z-axis ball screw 22 . When the Z-axis ball screw 22 is rotated by the Z-axis pulse motor 24 , the Z-axis moving plate 20 moves along the Z-axis guide rail 18 in the Z-axis direction.

Z축 이동 플레이트(20)의 전면측 하부에는, 피가공물의 연삭 가공을 실시하는 연삭 유닛(14)이 고정되어 있다. Z축 이동 플레이트(20)를 Z축 방향으로 이동시키면, 연삭 유닛(14)은 Z축 방향(가공 이송 방향)으로 이동할 수 있다.A grinding unit 14 for performing grinding processing of a workpiece is fixed to a lower portion on the front side of the Z-axis moving plate 20 . When the Z-axis moving plate 20 is moved in the Z-axis direction, the grinding unit 14 can move in the Z-axis direction (machining feed direction).

연삭 유닛(14)은, 기단측에 연결된 모터에 의해 회전하는 스핀들(28)을 갖는다. 상기 모터는 스핀들 하우징(26) 내에 구비되어 있다. 상기 스핀들(28)의 선단측에는 휠 마운트(28a)가 배치되어 있고, 상기 휠 마운트(28a)의 하면에는, 상기 스핀들(28)의 회전에 따라 회전하는 연삭 휠(가공 공구)(30)이 장착된다. 상기 연삭 휠(30)의 하면에는, 연삭 지석(32)이 구비되어 있다.The grinding unit 14 has a spindle 28 which is rotated by a motor connected to the proximal end. The motor is provided in the spindle housing 26 . A wheel mount 28a is disposed on the tip side of the spindle 28, and a grinding wheel (processing tool) 30 that rotates according to the rotation of the spindle 28 is mounted on the lower surface of the wheel mount 28a. do. A grinding wheel 32 is provided on the lower surface of the grinding wheel 30 .

연삭 유닛(14)에 대해서 더욱 상세히 설명한다. 도 2는 연삭 유닛(14)에 의한 피가공물의 연삭 가공을 모식적으로 나타낸 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 척 테이블(6)의 유지면(6a) 상에 흡인 유지된 피가공물(7)을 연삭 가공할 때, 상기 척 테이블(6)이 놓이는 상기 테이블 베이스(6b)를 회전시킴과 더불어, 상기 연삭 휠(30)을 회전시키면서 연삭 휠(30)을 하강시킨다. 그렇게 하면, 피가공물(1)의 피연삭면에 상기 연삭 지석(32)이 대어져, 상기 피가공물(7)이 연삭 가공된다.The grinding unit 14 will be described in more detail. 2 : is the perspective view which showed typically the grinding process of a to-be-processed object by the grinding unit 14. As shown in FIG. As shown in Fig. 2, when grinding the workpiece 7 sucked and held on the holding surface 6a of the chuck table 6, the table base 6b on which the chuck table 6 is placed is removed. In addition to rotating, the grinding wheel 30 is lowered while rotating the grinding wheel 30 . Then, the grinding wheel 32 is applied to the grinding target surface of the workpiece 1, and the workpiece 7 is ground.

도 3은 연삭 유닛에 의한 피가공물의 연삭 가공을 모식적으로 나타낸 부분 단면도이다. 도 3에는 휠 마운트(28a) 및 연삭 휠(30)의 일부의 단면과, 테이블 베이스(6b) 및 척 테이블(6)의 단면이 도시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 휠 마운트(28a)에는, 상기 연삭 휠(가공 공구)(30)을 상기 휠 마운트(28a)에 장착하기 위해 사용되는 고정구(34)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(34a)이 형성되어 있다.Fig. 3 is a partial cross-sectional view schematically showing the grinding processing of the workpiece by the grinding unit. 3 shows a cross section of the wheel mount 28a and a part of the grinding wheel 30 , and a cross section of the table base 6b and the chuck table 6 . As shown in Fig. 3, the wheel mount 28a has an insertion hole through which a fixture 34 used for mounting the grinding wheel (machine tool) 30 to the wheel mount 28a is inserted. 34a) is formed.

예컨대, 상기 고정구(34)의 선단에는 나사산이 형성되어 있고, 상기 연삭 휠(30)의 상면에는, 내벽에 나사홈을 구비하는 복수의 구멍(30a)이 상기 삽입 관통 구멍(34a)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 상기 삽입 관통 구멍(34a)에 삽입 관통된 상기 고정구(34)가 상기 연삭 휠(30)의 상기 구멍(30a)에 단단히 조여짐으로써 상기 연삭 휠(30)은 상기 휠 마운트(28a)에 장착된다.For example, a screw thread is formed at the tip of the fixture 34 , and on the upper surface of the grinding wheel 30 , a plurality of holes 30a having threaded grooves on the inner wall are provided corresponding to the insertion holes 34a. formed in position. The grinding wheel 30 is mounted to the wheel mount 28a by firmly screwing the fixture 34 inserted through the insertion hole 34a into the hole 30a of the grinding wheel 30 . .

예컨대, 상기 연삭 휠(30)을 상기 휠 마운트(28a)에 장착하는 동안에, 상기 척 테이블(6)의 상기 유지면(6a)이 상기 연삭 지석(32)의 연삭면에 대하여 평행해지도록, 테이블 베이스(6b), 척 테이블(6) 및 연삭 유닛(14)의 위치나 기울기 등이 미리 조정된다.For example, while the grinding wheel 30 is mounted on the wheel mount 28a, the holding surface 6a of the chuck table 6 is parallel to the grinding surface of the grinding wheel 32, the table The positions, inclinations, etc. of the base 6b, the chuck table 6, and the grinding unit 14 are adjusted in advance.

상기 조정에서는, 예컨대, 상기 테이블 베이스(6b)의 상기 지지면(6c)의 복수 지점에서 높이를 측정하여 상기 지지면(6c)의 기울기를 확인한다. 또한, 상기 테이블 베이스(6b)의 상기 지지면(6c) 상에 상기 척 테이블(6)을 고정하고, 상기 척 테이블(6)의 상기 유지면(6a)의 복수 지점에서 높이를 측정하여 상기 유지면(6a)의 기울기를 확인한다. 상기 연삭 유닛(14)의 휠 마운트(28a)에 장착된 접촉식 게이지를 사용하여 상기 지지면(6c)이나 상기 유지면(6a) 등의 테이블면의 높이 측정을 실시한다.In the adjustment, for example, the inclination of the support surface 6c is confirmed by measuring the heights at a plurality of points of the support surface 6c of the table base 6b. In addition, the chuck table 6 is fixed on the support surface 6c of the table base 6b, and heights are measured at a plurality of points of the holding surface 6a of the chuck table 6 to maintain the holding surface. Check the inclination of the surface (6a). The height of the table surface such as the support surface 6c or the holding surface 6a is measured using a contact gauge mounted on the wheel mount 28a of the grinding unit 14 .

도 4의 (A)는 상기 접촉식 게이지(38)가 장착된 휠 마운트(28a)를 모식적으로 나타낸 부분 단면도이다. 도 4의 (A)에 도시된 바와 같이, 상기 접촉식 게이지(38)의 상부는, 상기 휠 마운트(28a)의 삽입 관통 구멍(34a)에 삽입 가능한 크기로 형성되어 있다. 예컨대, 상기 삽입 관통 공멍(34a)의 내벽에 나사홈이 형성되어 있는 경우, 상기 접촉식 게이지(38)의 상기 상부에 나사산을 형성하면, 상기 상부를 상기 삽입 관통 구멍(34a)에 단단히 조임으로써 상기 접촉식 게이지(38)를 상기 휠 마운트(28a)에 장착할 수 있다.4A is a partial cross-sectional view schematically showing the wheel mount 28a to which the contact gauge 38 is mounted. As shown in FIG. 4A , the upper portion of the contact type gauge 38 is formed in a size that can be inserted into the insertion hole 34a of the wheel mount 28a. For example, when a threaded groove is formed in the inner wall of the insertion hole 34a, if a thread is formed in the upper portion of the contact gauge 38, the upper portion is firmly tightened to the insertion hole 34a. The contact gauge 38 may be mounted on the wheel mount 28a.

상기 접촉식 게이지(38)의 하단에는, 높이의 측정 대상이 되는 상기 테이블면에 접촉하는 게이지 헤드(38a)가 배치되어 있고, 상기 게이지 헤드(38a)를 상기 테이블면에 접촉시키면 상기 테이블면의 높이를 측정할 수 있다. 상기 접촉식 게이지(38)에는 지시부(38b)가 마련되어 있고, 측정 결과는 상기 지시부(38b)에 의해 표시된다.At the lower end of the contact-type gauge 38, a gauge head 38a is disposed in contact with the table surface to be measured in height, and when the gauge head 38a is brought into contact with the table surface, the table surface height can be measured. The contact gauge 38 is provided with an indicator 38b, and the measurement result is displayed by the indicator 38b.

상기 접촉식 게이지(38)는, 예컨대, 연삭 휠(30)이 장착되기 전의 휠 마운트(28a)에 장착되고, 상기 스핀들(28)을 회전시킴으로써, 상기 게이지 헤드(38a)를 측정 대상이 되는 상기 테이블면의 미리 정해진 지점에 접촉시킨다. 상기 스핀들(28)을 회전시키면 가공에 있어서의 연삭 지석(32)의 궤도를 따라 상기 게이지 헤드(38a)를 상기 테이블면에 접촉시켜 측정할 수 있다.The contact gauge 38 is, for example, mounted on a wheel mount 28a before the grinding wheel 30 is mounted, and by rotating the spindle 28, the gauge head 38a is measured. It is brought into contact with a predetermined point on the table surface. When the spindle 28 is rotated, measurement can be performed by bringing the gauge head 38a into contact with the table surface along the trajectory of the grinding wheel 32 during machining.

상기 접촉식 게이지(38)에 의한 테이블면의 높이 측정은, 예컨대, 상기 테이블면의 중앙부와, 상기 중앙부를 지나는 상기 연삭 지석(32)의 회전 궤도 상의 상기 테이블면의 단부 2지점의, 모두 3점에서 실시된다. 상기 측정은, 상기 연삭 장치(2)의 사용 개시시나 메인터넌스시, 척 테이블(6)의 교환시 등에 실시된다. 상기 연삭 장치(2)의 사용을 시작한 후에 상기 테이블면의 기울기에 변화가 생긴 경우에 상기 변화가 생긴 것을 정확히 검출하기 위해서, 측정 타이밍에 상관없이 항상 동일한 3점에서 측정이 실시되는 것이 바람직하다.The height measurement of the table surface by the contact gauge 38 is, for example, all 3 of the central portion of the table surface and two ends of the table surface on the rotational trajectory of the grinding wheel 32 passing through the central portion. carried out at the point. The measurement is performed at the time of starting use of the grinding device 2 , at the time of maintenance, at the time of replacing the chuck table 6 , and the like. In order to accurately detect the occurrence of a change in the inclination of the table surface after starting use of the grinding device 2, it is preferable that the measurement is always performed at the same three points regardless of the measurement timing.

그러나, 측정 타이밍에 따라서는 측정을 동일 인물이 실시한다고는 할 수 없고, 또한, 테이블면에는 상기 3점을 나타내는 안표 등은 형성되지 않기 때문에, 측정을 매회 동일 지점에서 실시할 수 있다고는 할 수 없다.However, depending on the timing of the measurement, it cannot be said that the measurement is performed by the same person, and since the marks indicating the above three points are not formed on the table surface, it cannot be said that the measurement can be performed at the same point every time. none.

또한, 상기 테이블 베이스(6b)의 상기 지지면(6c)에는 홈(6d)이 마련되어 있다. 그 때문에, 상기 접촉식 게이지(38)를 이동시킬 때에 상기 게이지 헤드(38a)가 상기 홈(6d)에 떨어져서 높이가 크게 변화되어 버려, 측정 데이터의 안정성이 악화되는 경우가 있다.Further, a groove 6d is provided in the support surface 6c of the table base 6b. Therefore, when the contact gauge 38 is moved, the gauge head 38a falls into the groove 6d and the height changes greatly, which may deteriorate the stability of the measurement data.

또한, 상기 지지면(6c)에는, 상기 홈(6d) 이외에도, 예컨대, 테이블 베이스(6b)를 X축 이동 테이블(8) 상에 고정하는 나사용 나사 구멍이나, 척 테이블(6)을 테이블 베이스(6b)에 고정하는 나사용 나사 구멍 등의 요철 형상이 마련된다. 상기 지지면(6c)에 상기 요철 형상이 마련되면, 상기 게이지 헤드(38a)가 상기 요철 형상에 충돌하여 상기 게이지 헤드(38a)가 손상될 우려가 있다. 그래서, 상기 측정시에 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그를 사용한다.Further, in the support surface 6c, in addition to the groove 6d, for example, a screw hole for fixing the table base 6b on the X-axis movement table 8, and a chuck table 6 are attached to the table base. Concave-convex shapes, such as a screw hole for screws fixed to (6b), are provided. When the concave-convex shape is provided on the support surface 6c, the gauge head 38a may collide with the concave-convex shape, thereby damaging the gauge head 38a. Therefore, at the time of the said measurement, the jig for height measurement which concerns on this embodiment is used.

다음에, 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그에 대해서 설명한다. 도 4의 (B)는 높이 측정용 지그(1)의 제1 면(1a) 측을 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 4의 (C)는 높이 측정용 지그(1)의 제2 면(1b) 측을 모식적으로 나타낸 사시도이다. 상기 높이 측정용 지그(1)는, 테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)이나, 척 테이블(6)의 유지면(6a)을 덮는 크기의 대략 원판형의 플레이트(5c)를 갖는다. 상기 플레이트(5c)에는, 복수의 개구부(3)가 형성되어 있다.Next, the jig for height measurement which concerns on this embodiment is demonstrated. Figure 4 (B) is a perspective view schematically showing the first surface (1a) side of the height measurement jig (1), Figure 4 (C) is the second surface (1b) of the height measurement jig (1) ) is a perspective view schematically showing the side. The jig 1 for measuring the height has a plate 5c in the shape of a substantially disk of a size that covers the support surface 6c of the table base 6b and the holding surface 6a of the chuck table 6 . A plurality of openings 3 are formed in the plate 5c.

상기 높이 측정용 지그(1)의 제1 면(1a) 측에는, 상기 플레이트(5c)로부터 돌출되는 볼록형의 복수의 제1 위치 결정부(5a)가 형성되어 있다. 또한, 상기 높이 측정용 지그(1)의 제2 면(1b) 측에는, 상기 플레이트(5c)로부터 돌출되는 볼록형의 복수의 제2 위치 결정부(5b)가 형성되어 있다.A plurality of convex first positioning portions 5a protruding from the plate 5c are formed on the side of the first surface 1a of the jig 1 for height measurement. Further, on the side of the second surface 1b of the jig 1 for height measurement, a plurality of convex second positioning portions 5b protruding from the plate 5c are formed.

척 테이블(6)의 유지면(6a)의 높이를 측정할 때에는, 도 5의 (A) 및 도 5의 (B)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 면(1b) 측을 아래쪽으로 향하게 하여, 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 유지면(6a) 상에 놓는다. 도 5의 (A)는 척 테이블 및 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 5의 (B)는 척 테이블 상에 위치된 높이 측정용 지그를 모식적으로 나타낸 사시도이다.When measuring the height of the holding surface 6a of the chuck table 6, as shown in FIGS. 5A and 5B, the second surface 1b side is directed downward. , Place the height measuring jig (1) on the holding surface (6a). Fig. 5 (A) is a perspective view schematically showing a chuck table and a jig for measuring height, and Fig. 5 (B) is a perspective view schematically showing a jig for measuring a height positioned on the chuck table.

상기 제2 면(1b) 측에 형성된 복수의 상기 제2 위치 결정부(5b)는, 상기 유지면(6a)의 외경보다 약간 큰 직경의 원(도시하지 않음)의 원주 상에 나란히 배치된다. 특히, 상기 복수의 상기 제2 위치 결정부(5b)의 각각은, 척 테이블(6)의 유지면(6a)을 외주측으로부터 둘러쌀 수 있는 위치에 배치된다. 그렇게 하면, 플레이트(5c)가 상기 유지면(6a) 상의 적절한 위치에 위치되어 있지 않은 경우에 어느 하나의 상기 제2 위치 결정부(5b)가 상기 유지면(6a)에 닿는다.The plurality of second positioning portions 5b formed on the side of the second surface 1b are arranged side by side on the circumference of a circle (not shown) having a diameter slightly larger than the outer diameter of the holding surface 6a. In particular, each of the plurality of second positioning portions 5b is disposed at a position that can surround the holding surface 6a of the chuck table 6 from the outer peripheral side. By doing so, either of the second positioning portions 5b abuts against the holding surface 6a when the plate 5c is not positioned at an appropriate position on the holding surface 6a.

상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 유지면(6a) 상에 놓을 때에는 상기 복수의 제2 위치 결정부(5b)가 상기 유지면(6a)에 닿지 않고 상기 제2 면(1b)이 상기 유지면(6a)에 접하는 위치에 상기 플레이트(5c)를 위치시키도록 놓는다. 그렇게 하면, 상기 높이 측정용 지그(1)는 상기 유지면(6a) 상의 미리 정해진 위치에 위치된다. 즉, 복수의 상기 제2 위치 결정부(5b)는, 상기 플레이트(5c)를 상기 척 테이블(6)에 대한 미리 정해진 위치에 위치시키는 기능을 구비한다.When the height measuring jig 1 is placed on the holding surface 6a, the plurality of second positioning portions 5b do not touch the holding surface 6a, and the second surface 1b is positioned on the holding surface 6a. The plate 5c is placed so as to be in contact with the surface 6a. Then, the height measuring jig 1 is positioned at a predetermined position on the holding surface 6a. That is, the plurality of second positioning portions 5b have a function of positioning the plate 5c at a predetermined position with respect to the chuck table 6 .

또한, 이와 같이 상기 유지면(6a) 상에 놓여진 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 유지면(6a)에 평행한 면내 중 어느 한 방향으로 이동시키려고 해도, 상기 제2 위치 결정부(5b)가 상기 척 테이블(6)에 접촉하기 때문에 이동이 방해된다. 즉, 제2 위치 결정부(5b)는, 상기 플레이트(5)의 상기 척 테이블(6)에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 구비한다.Moreover, even if it is going to move the said height measuring jig 1 placed on the said holding surface 6a in this way in any one direction in the plane parallel to the said holding surface 6a, the said 2nd positioning part 5b is in contact with the chuck table 6, so movement is hindered. That is, the second positioning unit 5b has a function of suppressing a change in the positional relationship of the plate 5 with respect to the chuck table 6 .

복수의 상기 개구부(3)는, 예컨대, 상기 플레이트(5c)의 중앙부와, 상기 플레이트(5c)의 외주부 2지점의, 모두 3지점에 상기 연삭 휠(가공 공구)(30)의 회전 궤도를 따라 나란히 형성된다. 그 때문에, 접촉식 게이지(38)가 장착된 휠 마운트(28a)를 상기 높이 측정용 지그(1)의 위쪽에 위치시켜, 스핀들(28)을 회전시켜 상기 휠 마운트(28a)를 궤도(38c)(도 6 참조)를 따라 회전시키면, 게이지 헤드(38a)를 상기 개구부(3)에 삽입할 수 있다.The plurality of openings 3 are, for example, at three points of the central portion of the plate 5c and two points of the outer periphery of the plate 5c along the rotational trajectory of the grinding wheel (machine tool) 30 . formed side by side Therefore, the wheel mount 28a equipped with the contact gauge 38 is positioned above the jig 1 for measuring the height, and the spindle 28 is rotated to move the wheel mount 28a to the track 38c. (See FIG. 6 ), the gauge head 38a can be inserted into the opening 3 .

도 5의 (B)에 도시된 바와 같이, 상기 유지면(6a) 상의 미리 정해진 위치에 높이 측정용 지그(1)를 위치시켰을 때, 상기 개구부(3)에 의해 상기 유지면(6a)의 미리 정해진 지점이 노출된다. 상기 유지면(6a)의 높이를 측정할 때에 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 유지면(6a) 상의 미리 정해진 위치에 위치시키면, 상기 개구부(3)에 의해 높이의 측정 지점을 규정할 수 있다. 그 때문에, 상기 높이 측정용 지그(1)를 사용하면 상기 유지면(6a)의 측정을 매회 동일한 지점에서 실시할 수 있어, 높이의 측정을 안정적으로 실시할 수 있다.As shown in FIG. 5B, when the jig 1 for height measurement is positioned at a predetermined position on the holding surface 6a, the holding surface 6a is previously moved by the opening 3 A fixed point is exposed. When measuring the height of the holding surface (6a), if the height measuring jig (1) is positioned at a predetermined position on the holding surface (6a), the measurement point of the height can be defined by the opening (3) have. Therefore, when the said jig|tool 1 for height measurement is used, the measurement of the said holding surface 6a can be performed at the same point every time, and the measurement of height can be performed stably.

또한, 상기 테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)의 높이를 측정할 때에는, 도 5의 (C) 및 도 5의 (D)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 면(1a) 측을 아래쪽으로 향하게 하여, 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 지지면(6c) 상에 놓는다. 도 5의 (C)는 테이블 베이스(6b) 및 높이 측정용 지그(1)를 모식적으로 나타낸 사시도이고, 도 5의 (D)는 테이블 베이스(6b) 상에 위치된 높이 측정용 지그(1)를 모식적으로 나타낸 사시도이다.In addition, when measuring the height of the support surface 6c of the table base 6b, as shown in FIGS. 5 (C) and 5 (D), the first surface (1a) side downward and place the jig 1 for measuring the height on the support surface 6c. Figure 5 (C) is a perspective view schematically showing the table base (6b) and the height measurement jig (1), Figure 5 (D) is a height measurement jig (1) located on the table base (6b) ) is a schematic perspective view.

상기 제1 면(1a) 측에 형성된 복수의 상기 제1 위치 결정부(5a)는, 상기 지지면(6c)에 형성된 홈(환형 오목부)(6d)이나 오목부(6e)의 위치에 맞춰 배치된다. 상기 복수의 제1 위치 결정부(5a)를 상기 홈(6d)이나 오목부(6e)에 삽입시켜 상기 제1 면(1a)을 상기 지지면(6c)에 접촉시키도록 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 지지면(6c) 상에 놓으면, 상기 높이 측정용 지그(1)가 상기 지지면(6c) 상의 미리 정해진 위치에 위치된다. 따라서, 상기 복수의 상기 제1 위치 결정부(5a)는, 상기 플레이트(5c)를 미리 정해진 위치에 위치시키는 기능을 구비한다.The plurality of first positioning portions 5a formed on the side of the first surface 1a are aligned with the positions of the grooves (annular recesses) 6d and recesses 6e formed in the support surface 6c. are placed The height measuring jig ( When 1) is placed on the support surface 6c, the height measuring jig 1 is positioned at a predetermined position on the support surface 6c. Accordingly, the plurality of first positioning portions 5a have a function of positioning the plate 5c at a predetermined position.

또한, 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 지지면(6c)에 평행한 면내 중 어느 한 방향으로 이동시키려고 해도, 상기 제1 위치 결정부(5a)가 상기 홈(6d)이나 오목부(6e)의 벽면에 접촉하기 때문에 이동이 방해된다. 즉, 상기 복수의 제1 위치 결정부(5a)는, 상기 플레이트(5c)의 상기 테이블 베이스(6b)에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 구비한다.Further, even if the height measuring jig 1 is to be moved in either direction in a plane parallel to the support surface 6c, the first positioning portion 5a is not moved by the groove 6d or the recess 6e. ), so movement is hindered. That is, the plurality of first positioning portions 5a have a function of suppressing a change in the positional relationship of the plate 5c with respect to the table base 6b.

도 5의 (D)에 도시된 바와 같이, 상기 지지면(6c) 상의 미리 정해진 위치에 높이 측정용 지그(1)를 위치시켰을 때, 상기 개구부(3)에 의해 상기 지지면(6c)의 미리 정해진 지점이 노출된다. 상기 지지면(6c)의 높이를 측정할 때에 상기 높이 측정용 지그(1)를 상기 지지면(6c) 상의 미리 정해진 위치에 위치시키면, 상기 개구부(3)에 의해 높이의 측정 지점을 규정할 수 있다. 그 때문에, 상기 높이 측정용 지그(1)를 사용하면 상기 지지면(6c)의 측정을 매회 동일한 지점에서 실시할 수 있어, 상기 높이의 측정을 안정적으로 실시할 수 있다.As shown in FIG. 5(D), when the jig 1 for height measurement is positioned at a predetermined position on the support surface 6c, the support surface 6c is previously moved by the opening 3 A fixed point is exposed. When measuring the height of the support surface 6c, if the height measuring jig 1 is positioned at a predetermined position on the support surface 6c, a measurement point of the height can be defined by the opening 3 have. Therefore, if the said jig 1 for height measurement is used, the measurement of the said support surface 6c can be performed at the same point every time, and the measurement of the said height can be performed stably.

또한, 상기 테이블 베이스(6b)의 상기 지지면(6c)에 형성된 홈(6d)이나 오목부(6e) 등은 플레이트(5c)에 의해 덮인다. 그 때문에, 스핀들(28)을 회전시켜 휠 마운트(28a)에 장착된 상기 접촉식 게이지(38)를 이동시킬 때, 게이지 헤드(38a)는 홈(6d)이나 오목부(6e) 등에는 떨어지지 않고 상기 플레이트(5c) 상에서 이동한다. 따라서, 게이지 헤드(38a)의 높이의 변화가 작기 때문에, 상기 접촉식 게이지(38)에 의한 측정을 안정적으로 실시할 수 있다. 또한, 상기 플레이트(5c)의 두께는, 예컨대, 상기 홈(6d)이나 오목부(6e)의 깊이보다 작다.Further, the grooves 6d and recesses 6e formed in the support surface 6c of the table base 6b are covered by the plate 5c. Therefore, when rotating the spindle 28 to move the contact-type gauge 38 mounted on the wheel mount 28a, the gauge head 38a does not fall into the groove 6d, recess 6e, or the like. It moves on the plate 5c. Therefore, since the change in the height of the gauge head 38a is small, the measurement by the contact gauge 38 can be stably performed. Further, the thickness of the plate 5c is, for example, smaller than the depth of the groove 6d or the recess 6e.

여기서, 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그(1)를 사용하여 상기 척 테이블(6)의 유지면(6a)의 미리 정해진 위치에서 실시하는 높이의 측정에 대해서 도 6을 이용하여 설명한다. 도 6은 높이 측정용 지그(1)가 위치된 척 테이블(6)의 유지면(6a)의 높이를 접촉식 게이지(38)에 의해 측정하는 모습을 모식적으로 나타낸 사시도이다.Here, the measurement of the height performed at the predetermined position of the holding surface 6a of the said chuck table 6 using the jig 1 for height measurement which concerns on this embodiment is demonstrated using FIG. 6 is a perspective view schematically illustrating a state in which the height of the holding surface 6a of the chuck table 6 in which the height measuring jig 1 is positioned is measured by the contact gauge 38 .

우선, 도 6에 도시된 바와 같이, 연삭 장치(2)의 연삭 유닛(14)의 휠 마운트(28a)의 삽입 관통 구멍(34a)에 접촉식 게이지(38)를 장착한다. 또한, 상기 높이 측정용 지그(1)의 제2 면(1b) 측을 아래쪽으로 향하게 하여, 제2 위치 결정부(5b)가 상기 유지면(6a)에 닿지 않도록 상기 유지면(6a) 상에 상기 높이 측정용 지그(1)를 놓는다. 그렇게 하면, 척 테이블(6)의 유지면(6a) 상의 미리 정해진 위치에 상기 높이 측정용 지그(1)가 위치되고, 유지면(6a)의 미리 정해진 피측정 지점이 개구부(3)에 의해 노출된다.First, as shown in FIG. 6 , a contact gauge 38 is mounted in the insertion hole 34a of the wheel mount 28a of the grinding unit 14 of the grinding apparatus 2 . In addition, the second surface 1b side of the jig 1 for height measurement is directed downward so that the second positioning part 5b does not touch the holding surface 6a on the holding surface 6a. Place the jig (1) for measuring the height. Then, the height measurement jig 1 is positioned at a predetermined position on the holding surface 6a of the chuck table 6 , and the predetermined measurement target point of the holding surface 6a is exposed by the opening 3 . do.

다음에, 스핀들(28)을 회전시켜 최초의 개구부(3)에 게이지 헤드(38a)를 삽입하여 상기 유지면(6a)에 접촉시키면, 상기 유지면(6a)의 높이가 측정되어 상기 지시부(38b)에 측정 결과가 표시된다.Next, when the spindle 28 is rotated and the gauge head 38a is inserted into the first opening 3 and brought into contact with the holding surface 6a, the height of the holding surface 6a is measured and the indicating part 38b ), the measurement result is displayed.

지시부(38b)에 표시된 측정 결과를 판독하여 기록한 후, 상기 스핀들(28)을 회전시켜, 상기 게이지 헤드(38a)를 궤도(38c)를 따라 차례로 개구부(3)에 삽입하고, 마찬가지로 지시부(38b)에 표시된 측정 결과를 판독하여 기록한다. 유지면(6a) 중 개구부(3)에 의해 노출된 모든 지점에서 높이를 측정하면, 상기 측정 결과로부터 상기 유지면(6a)의 기울기를 산출할 수 있다.After reading and recording the measurement results displayed on the indication portion 38b, the spindle 28 is rotated to insert the gauge head 38a into the opening 3 sequentially along the track 38c, similarly to the indicating portion 38b Read and record the measurement results indicated in . When heights are measured at all points exposed by the opening 3 among the holding surfaces 6a, the inclination of the holding surfaces 6a can be calculated from the measurement results.

테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)의 미리 정해진 지점에서 높이의 측정을 실시할 때에는, 상기 높이 측정용 지그(1)의 제1 면(1a)을 아래쪽으로 향하게 하여, 상기 지지면(6c) 상의 미리 정해진 위치에 상기 높이 측정용 지그(1)를 위치시키고, 마찬가지로 개구부(3)에 의해 노출된 지점에서 측정을 실시한다.When measuring the height at a predetermined point on the support surface 6c of the table base 6b, with the first surface 1a of the jig 1 for height measurement facing downward, the support surface 6c ) Position the height measurement jig (1) at a predetermined position on the top, and similarly, the measurement is carried out at the point exposed by the opening (3).

또한, 높이의 측정 결과, 상기 유지면(6a) 또는 상기 지지면(6c)이 미리 정해진 방향으로부터 기울어져 있는 것이 검출된 경우, 예컨대, 상기 유지면(6a) 또는 상기 지지면(6c)이 미리 정해진 방향을 향하도록 척 테이블(6) 또는 테이블 베이스(6b)의 기울기를 조정한다. 또는, 미리 정해진 방향을 향한 상기 유지면(6a) 또는 상기 지지면(6c)을 형성하도록 상기 유지면(6a) 또는 상기 지지면(6c)의 연삭 가공 또는 연마 가공을 실시한다.In addition, when it is detected that the holding surface 6a or the supporting surface 6c is inclined from a predetermined direction as a result of the measurement of the height, for example, the holding surface 6a or the supporting surface 6c is set in advance. The inclination of the chuck table 6 or the table base 6b is adjusted so as to face a predetermined direction. Alternatively, grinding or polishing of the holding surface 6a or the supporting surface 6c is performed so as to form the holding surface 6a or the supporting surface 6c facing a predetermined direction.

이상으로 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 높이 측정용 지그(1)를 사용하면, 측정 대상이 되는 테이블면의 미리 정해진 위치에 접촉식 게이지(38)의 게이지 헤드(38a)를 위치시킬 수 있기 때문에, 상기 테이블면의 높이 측정을 안정적으로 실시할 수 있다.As described above, if the height measurement jig 1 according to the present embodiment is used, the gauge head 38a of the contact gauge 38 can be positioned at a predetermined position on the table surface to be measured. For this reason, the height measurement of the said table surface can be performed stably.

또한, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기 실시형태에 따른 높이 측정용 지그(1)에서는, 제1 면(1a) 측에 복수의 제1 위치 결정부(5a)를 배치하고, 제2 면(1b) 측에 복수의 제2 위치 결정부(5b)를 배치하는 경우에 대해서 설명하였지만, 본 발명의 일 양태는 이것에 한정되지 않는다.In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, It can be implemented with various changes. For example, in the jig 1 for height measurement which concerns on the said embodiment, the some 1st positioning part 5a is arrange|positioned on the 1st surface 1a side, and the some 2nd of 2nd surface 1b side is arrange|positioned. Although the case where the positioning part 5b is arrange|positioned was demonstrated, one aspect of this invention is not limited to this.

상기 실시형태에 따른 높이 측정용 지그(1)는, 테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)의 높이 측정과, 척 테이블(6)의 유지면(6a)의 높이 측정의 어느 측정에 있어서나 사용할 수 있지만, 본 발명의 일 양태는 이것에 한정되지 않는다.The jig 1 for height measurement according to the above embodiment is used in any measurement of the height measurement of the support surface 6c of the table base 6b and the height measurement of the holding surface 6a of the chuck table 6 . may be used, but one aspect of the present invention is not limited thereto.

예컨대, 제1 면(1a) 측에 복수의 제1 위치 결정부(5a)를 배치하는 한편, 제2 면(1b) 측에 제2 위치 결정부(5b)를 배치하지 않아도 좋다. 또는, 제2 면(1b) 측에 복수의 제2 위치 결정부(5b)를 배치하는 한편, 제1 면(1a) 측에 제1 위치 결정부(5a)를 배치하지 않아도 좋다. 이들의 경우, 테이블 베이스(6b)의 지지면(6c)의 높이 측정과, 척 테이블(6)의 유지면(6a)의 높이 측정의 어느 한쪽에만 사용할 수 있는 높이 측정용 지그(1)가 된다.For example, while arranging the plurality of first positioning portions 5a on the first surface 1a side, it is not necessary to arrange the second positioning portions 5b on the second surface 1b side. Alternatively, while arranging the plurality of second positioning portions 5b on the side of the second surface 1b, it is not necessary to arrange the first positioning portions 5a on the side of the first surface 1a. In these cases, it becomes the height measurement jig 1 which can be used only for either the height measurement of the support surface 6c of the table base 6b and the height measurement of the holding surface 6a of the chuck table 6 .

그 밖에, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the structure, method, etc. which concern on the said embodiment can be implemented by changing suitably, unless it deviates from the scope of the objective of this invention.

2 : 연삭 장치 4 : 장치 베이스
4a : 개구 6 : 척 테이블
6a : 유지면 6b : 테이블 베이스
6c : 지지면 6d : 홈
6e : 오목부 6f : 흡인로
8 : X축 이동 테이블 10 : 반입출 영역
12 : 가공 영역 14 : 연삭 유닛
16 : 지지부 18 : Z축 가이드 레일
20 : Z축 이동 플레이트 22 : Z축 볼나사
24 : Z축 펄스 모터 26 : 스핀들 하우징
28 : 스핀들 28a : 휠 마운트
30 : 연삭 휠 30a : 구멍
32 : 연삭 지석 34 : 고정구
34a : 삽입 관통 구멍 36 : 흡인원
38 : 접촉식 게이지 38a : 게이지 헤드
38b : 지시부 38c : 궤도
1 : 높이 측정용 지그 1a, 1b : 면
3 : 개구부 5a, 5b : 위치 결정부
5c : 플레이트 7 : 피가공물2: grinding device 4: device base
4a: opening 6: chuck table
6a: holding surface 6b: table base
6c: support surface 6d: groove
6e: concave portion 6f: suction path
8: X-axis movement table 10: Import/export area
12: machining area 14: grinding unit
16: support 18: Z-axis guide rail
20: Z-axis moving plate 22: Z-axis ball screw
24: Z-axis pulse motor 26: spindle housing
28: spindle 28a: wheel mount
30: grinding wheel 30a: hole
32: grinding wheel 34: fixture
34a: insertion hole 36: suction source
38: contact gauge 38a: gauge head
38b: indicator 38c: orbit
1: jig for height measurement 1a, 1b: surface
3: opening 5a, 5b: positioning part
5c: plate 7: work piece

Claims (3)

판형의 피가공물을 유지면에 의해 유지하는 척 테이블을 지지면에 의해 지지할 수 있는 회전 가능한 테이블 베이스와, 피가공물을 연삭 또는 연마하는 가공 공구를 장착할 수 있는 휠 마운트가 선단에 고정된 스핀들을 구비하는 가공 장치에 있어서, 상기 휠 마운트에 고정한 접촉식 게이지를 상기 가공 공구의 회전 궤도를 따라 주사시켜 상기 유지면 또는 상기 지지면의 높이를 측정할 때에 이용되는 높이 측정용 지그로서,
상기 유지면 또는 상기 지지면을 덮고, 복수의 개구부가 형성된 플레이트와,
상기 플레이트로부터 돌출되는 볼록형의 복수의 위치 결정부를 구비하고,
상기 위치 결정부는, 상기 플레이트를 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치시키는 기능을 가지며,
상기 개구부는, 상기 척 테이블 또는 상기 테이블 베이스에 대한 상기 미리 정해진 위치에 상기 플레이트가 위치되었을 때에 상기 유지면 또는 상기 지지면의 측정 대상 영역을 노출시키도록 상기 회전 궤도를 따라 형성되고,
상기 개구부는, 상기 접촉식 게이지가 상기 개구부를 통하여 상기 측정 대상 영역에 접촉할 수 있는 크기인 것을 특징으로 하는 높이 측정용 지그.A spindle with a rotatable table base capable of supporting the chuck table holding the plate-shaped workpiece by the support surface by the support surface, and a wheel mount that can mount a machining tool for grinding or grinding the workpiece, fixed to the tip end of the spindle In a machining apparatus comprising
a plate covering the holding surface or the supporting surface and having a plurality of openings formed therein;
and a plurality of convex positioning portions protruding from the plate;
The positioning unit has a function of positioning the plate at a predetermined position relative to the chuck table or the table base,
The opening is formed along the rotation trajectory to expose a measurement target area of the holding surface or the support surface when the plate is positioned at the predetermined position with respect to the chuck table or the table base,
The opening is a height measuring jig, characterized in that the contact-type gauge has a size that can contact the measurement target area through the opening. 제1항에 있어서, 복수의 환형 오목부가 동심원형으로 형성된 상기 지지면을 갖는 상기 테이블 베이스의 상기 지지면의 높이를 측정할 때에 이용되는 높이 측정용 지그로서,
상기 플레이트는, 상기 환형 오목부를 덮음으로써 측정기의 접촉식 게이지가 상기 환형 오목부에 낙하하는 것을 방지하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 높이 측정용 지그.The jig for measuring a height according to claim 1, wherein a plurality of annular recesses are used when measuring the height of the support surface of the table base having the support surface formed concentrically,
The plate has a function of preventing the contact-type gauge of the measuring instrument from falling into the annular recessed part by covering the annular recessed part. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 위치 결정부는, 상기 플레이트의 한쪽 면에 형성된 복수의 제1 위치 결정부와, 상기 플레이트의 다른 쪽 면에 형성된 복수의 제2 위치 결정부를 포함하고,
상기 복수의 제1 위치 결정부의 각각은, 상기 플레이트의 상기 한쪽 면이 상기 유지면에 접하도록 상기 플레이트가 상기 척 테이블에 대한 미리 정해진 위치에 위치되었을 때에 상기 척 테이블의 측면에 접촉하여 상기 플레이트의 상기 척 테이블에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 가지며,
상기 복수의 제2 위치 결정부의 각각은, 상기 플레이트의 상기 다른 쪽 면이 상기 지지면에 접하도록 상기 플레이트가 상기 테이블 베이스에 대한 미리 정해진 위치에 위치되었을 때에 상기 지지면에 형성된 오목부에 삽입되어 상기 플레이트의 상기 테이블 베이스에 대한 위치 관계의 변화를 억제하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 높이 측정용 지그.The method according to claim 1 or 2, wherein the plurality of positioning parts includes a plurality of first positioning parts formed on one side of the plate and a plurality of second positioning parts formed on the other side of the plate, ,
Each of the plurality of first positioning portions abuts against a side surface of the chuck table when the plate is positioned at a predetermined position relative to the chuck table such that the one side of the plate abuts on the holding surface, so that the plate It has a function of suppressing a change in the positional relationship with respect to the chuck table,
Each of the plurality of second positioning portions is inserted into a recess formed in the support surface when the plate is positioned at a predetermined position relative to the table base such that the other side of the plate abuts the support surface, A jig for measuring height, characterized in that it has a function of suppressing a change in the positional relationship of the plate with respect to the table base.
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