KR102415814B1 - 기판 적재 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 적재 장치는 기판의 가장자리 부분에 대응하는 구조를 갖도록 구비되는 수평 구조물, 상기 수평 구조물이 적어도 2층으로 이루어지게 상기 수평 구조물을 수직 방향으로 지지하도록 구비되는 수직 구조물, 및 상기 수평 구조물에 상기 기판의 적재될 때 상기 기판의 가장자리 부분에만 부분적으로 면접하여 지지할 수 있도록 상기 수평 구조물로부터 돌출되게 구비되는 돌출핀을 포함하고, 상기 기판을 적어도 2층으로 적재하는 적재부; 및 상기 적재부에 상기 기판이 수평하게 적재됨에 따라 상기 기판의 하중으로 인하여 상기 수평 구조물이 아래로 처지는 것을 방지하도록 상기 적재부 바깥쪽으로 상기 수평 구조물을 당기도록 구비되는 당김부를 포함할 수 있다.

Description

기판 적재 장치{Apparatus for loading a substrate}
본 발명은 기판 적재 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 수평 방향으로 기판을 적어도 2층으로 적재할 수 있는 기판 적재 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 소자 등의 제조시 재료로 이용되는 기판은 보통 유리 재질로 이루어져서, 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖고 있기 때문에 취급에 있어서 각별한 주의가 요구된다. 특히, 최근의 대면적에 부응해야 하는 기판의 경우에는 그 면적이 넓기 때문에 이송에 있어 보다 각별한 주의가 요구된다. 이에, 상기 기판은 적재 장치에 다층 구조로 적재 보관된 후, 후속 공정으로 이송될 수 있다.
상기 적재 장치는 주로 상기 기판을 수평 방향으로 그리고 다층으로 적재하도록 구비될 수 있다. 또한, 상기 적재 장치는 로봇암, 블레이드 등과 같은 이송 부재의 움직임에 방해를 주지 않기 위하여 상기 기판의 가장자리 부분을 지지하여 적재하도록 구비될 수 있다. 그러나 상기 적재 장치를 사용함에 있어 상기 기판의 가장자리 부분을 지지하여 적재할 경우에는 상기 기판의 하중으로 인하여 상기 기판이 아래로 처지는 상황이 발생할 수 있다.
본 발명은 목적은 기판을 다층으로 적재할 때 기판을 지지 적재하는 부재가 아래로 처지는 것을 방지하기 위한 기판 적재 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치는 기판의 가장자리 부분에 대응하는 구조를 갖도록 구비되는 수평 구조물, 상기 수평 구조물이 적어도 2층으로 이루어지게 상기 수평 구조물을 수직 방향으로 지지하도록 구비되는 수직 구조물, 및 상기 수평 구조물에 상기 기판의 적재될 때 상기 기판의 가장자리 부분에만 부분적으로 면접하여 지지할 수 있도록 상기 수평 구조물로부터 돌출되게 구비되는 돌출핀을 포함하고, 상기 기판을 적어도 2층으로 적재하는 적재부; 및 상기 적재부에 상기 기판이 수평하게 적재됨에 따라 상기 기판의 하중으로 인하여 상기 수평 구조물이 아래로 처지는 것을 방지하도록 상기 적재부 바깥쪽으로 상기 수평 구조물을 당기도록 구비되는 당김부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에서, 상기 기판은 사각형 구조로 이루어지고, 상기 수평 구조물은 상기 기판의 가장자리 부분에 대응하는 사각 테두리 구조로 이루어질 때, 상기 당김부는 상기 사각 테두리 4군데 각각에서 상기 사각 테두리 양측 바깥쪽으로 당기는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에서, 상기 당김부는 상기 수평 구조물에 연결되는 와이어(wire) 및 상기 와이어를 당기는 힘을 제공하는 힘 제공부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에서, 상기 와이어는 상기 수평 구조물의 내부에 내장되도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에서, 상기 와이어는 상기 수평 구조물의 외부를 감싸는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에서, 상기 당김부는 상기 돌출핀까지 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 기판 적재 장치는 수평 구조물을 적재부 바깥쪽으로 당길 수 있는 당김부를 포함함으로써 상기 적재부에 상기 기판이 수평하게 적재되어도 상기 수평 구조물이 아래로 처지지 않기 때문에 상기 기판을 보다 안전하게 적재할 수 있다.
따라서 본 발명의 기판 적재 장치를 사용할 경우 적재가 이루어지는 기판을 보다 안전하게 적재함으로써 상기 기판을 재료로 포함하는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 적재 장치에 구비되는 수평 구조물 및 당김부를 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 2 및 도 3은 도 1의 기판 적재 장치에 구비되는 수평 구조물 및 당김부를 설명하기 위한 도면들이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 대면적 유리 기판 등과 같은 기판(11)을 대상으로 박막 형성 공정, 패턴 형성 공정, 세정 공정, 건조 공정 등과 같은 단위 공정들을 반복적으로 수행함에 있어 상기 단위 공정들 사이에서 대기 중에 있는 상기 기판(11)을 적재할 때 사용될 수 있다.
그리고 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 기판(11)을 재료로 사용하는 평판 디스플레이 소자 등의 제조 라인에서 차지하는 면적을 축소시킬 수 있도록 상기 기판(11)을 다단으로 적재하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 기판(11) 각각을 수평 방향으로 적어도 2층으로 적재할 수 있도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 적재부(12), 당김부(21) 등을 포함할 수 있다.
상기 적재부(12)는 수평 구조물(13), 수직 구조물(17), 돌출핀(15) 등으로 이루어질 수 있다.
상기 수평 구조물(13)은 상기 기판(11)을 적재할 때 상기 기판(11)을 지지할 수 있는 것으로써, 상기 기판(11)의 가장자리 부분에 대응하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 수평 구조물(13)은 상기 기판(11)의 가장자리 부분을 지지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
여기서, 상기 수평 구조물(13)을 상기 기판(11)의 가장자리 부분만을 지지하는 구조를 갖도록 구비하는 것은 상기 적재부(12)에 상기 기판(11)을 적재하거나 또는 상기 적재부(12)로부터 상기 기판(11)을 빼내올 때 사용되는 로봇암, 블레이드 등과 같은 부재들의 움직임을 방해하기 않기 위함이다.
만약, 상기 수평 구조물(13)의 구조를 상기 기판(11)의 중심 부분을 지지할 수 있는 구조로 변경할 경우에는 상기 로봇암, 블레이드 등과 같은 부재들의 움직임에 대한 경로를 변경하는 등과 같은 다른 문제를 발생시킬 수 있다. 따라서 언급한 바와 같이, 본 발명에서의 기판 적재 장치(100)는 상기 수평 구조물(13)을 상기 기판(11)의 가장자리 부분만을 지지하는 구조로 구비하는 것이다.
상기 기판(11)이 평판 디스플레이 소자 등에 적용될 경우 상기 기판(11)은 사각형 구조로 이루어질 수 있다. 이에, 상기 수평 구조물(13)은 상기 기판(11)의 가장자리 부분에 대응하는 사각 테두리 구조를 갖도록 이루어질 수 있다. 즉, 상기 수평 구조물(13)의 사각 테두리에 상기 기판(11)의 가장자리 부분이 지지됨에 의해 상기 기판(11)이 상기 수평 구조물(13)에 적재될 수 있는 것이다.
상기 수직 구조물(17)은 상기 수평 구조물(13)을 수직 방향으로 지지하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 수직 구조물(17)은 상기 수평 구조물(13)이 적어도 2층의 다층으로 이루어지는 구조를 갖도록 상기 수평 구조물(13)을 수직 방향으로 지지하도록 구비될 수 있는 것이다. 이때, 상기 수직 구조물(17)은 상기 수평 구조물(13)의 가장자리 부분을 지지하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 수평 구조물(13)이 언급한 바와 같이 사각 테두리 구조를 가질 경우 상기 수직 구조물(17)은 상기 수평 구조물(13)의 사각 테두리의 모서리 부분을 지지하도록 구비될 수 있는 것이다.
이와 같이, 상기 수직 구조물(17)에 의해 상기 수평 구조물(13)이 적어도 2층의 다층 구조를 갖도록 이루어짐으로써 상기 수평 구조물(13)과 상기 수직 구조물(17)을 포함하는 상기 적재부(12)는 상기 기판(11)을 적어도 2층으로 적층할 수 있는 것이다. 즉, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 기판(11)을 적어도 2층으로 적재할 수 있는 것으로써, 상기 기판(11)은 수평 방향으로 배치됨과 아울러 수직 방향으로 적재되는 구조를 가질 수 있다.
상기 돌출핀(15)은 상기 수평 구조물(13)로부터 돌출되도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 수평 구조물(13)이 언급한 바와 같이 사각 테두리 구조를 가질 경우 상기 돌출핀(15)은 상기 수평 구조물(13)의 사각 테두리를 따라 돌출되도록 구비될 수 있는 것으로써, 상기 수평 구조물(13)의 사각 테두리 각각에 임의의 개수만큼 돌출되도록 구비될 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 기판(11)이 상기 수평 구조물(13)에 상기 기판(11)이 적재될 때 상기 돌출핀(15)이 상기 기판(11)의 가장자리 부분에만 부분적으로 면접하여 지지함으로써 상기 기판(11)이 안정적으로 적재될 수 있는 것이다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 수평 구조물(13), 상기 수직 구조물(17), 및 상기 돌출핀(15)을 포함하는 상기 적재부(12)를 구비함으로써 상기 기판(11)을 적어도 2층으로 적재할 수 있다.
본 발명의 기판 적재 장치(100)에서 상기 당김부(21)는 상기 수평 구조물(13)을 상기 적재부(12) 바깥쪽(화살표 방향)으로 당길 수 있도록 구비될 수 있다.
여기서, 상기 당김부(21)가 상기 수평 구조물(13)을 상기 적재부(12) 바깥쪽으로 당길 수 있도록 구비되는 것은 상기 적재부(12)에 상기 기판(11)이 수평하게 적재됨에 따라 상기 기판(11)의 하중으로 인하여 상기 수평 구조물(13)이 아래로 처지는 것을 방지하기 위함이다. 그리고 상기 당김부(21)에 의해 상기 수평 구조물(13)이 아래로 처지지 않고 수평 상태를 유지함으로써 상기 수평 구조물(13)에 적재되는 상기 기판(11) 또한 아래로 처지는 상황을 어느 정도 방지할 수 있는 것이다.
특히, 본 발명의 기판 적재 장치(100)의 경우에는 언급한 바와 같이 상기 적재부(12)에 상기 기판(11)을 적재하거나 또는 상기 적재부(12)로부터 상기 기판(11)을 빼내올 때 사용되는 로봇암, 블레이드 등과 같은 부재들의 움직임을 방해하지 않도록 상기 수평 구조물(13)이 상기 기판(11)의 가장자리 부분만을 지지하는 구조로 구비되기 때문에 상기 당김부(21)를 구비하여 상기 수평 구조물(13)을 상기 적재부(12) 바깥쪽으로 당겨서 상기 수평 구조물(13)이 아래로 처지는 것을 방지하는 것이다. 다시 말해, 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 수평 구조물(13)이 상기 기판(11)의 중심 부분을 지지할 수 있는 구조가 아니기 때문에 상기 당김부(21)를 구비하여 상기 수평 구조물(13) 및 상기 기판(11)이 아래로 처지는 것을 보상하는 구조를 만드는 것이다.
상기 당김부(21)는 와이어(wire)(23) 및 힘 제공부(25)를 포함할 수 있다. 상기 와이어(23)는 상기 수평 구조물(13)에 연결될 수 있고, 상기 힘 제공부(25)는 상기 와이어(23)를 당길 수 있는 힘을 제공할 수 있다. 여기서, 상기 힘 제공부(25)는 상기 와이어(23)를 상기 적재부(12) 바깥쪽으로 당길 수 있도록 구비될 수 있다.
상기 와이어(23)는 도 2에서와 같이 상기 수평 구조물(13)의 내부에 내장되도록 구비되거나, 또는 도 3에서와 같이 상기 수평 구조물(13)의 외부를 감싸는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 당김부(21)는 상기 돌출핀(15)까지 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 당김부(21)는 상기 수평 구조물(13) 및 상기 돌출핀(15)을 감싸는 구조로 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 다시 말해, 상기 당김부(21)에서 상기 와이어(23)가 상기 수평 구조물(13) 및 상기 돌출핀(15)을 감싸는 구조로 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 상기 수평 구조물(13) 및 상기 돌출핀(15)의 내부에 내장되도록 구비되거나, 상기 수평 구조물(13) 및 상기 돌출핀(15)의 외부를 감싸는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 당김부(21)를 구비하여 상기 적재부(12), 특히 상기 수평 구조물(13)을 상기 적재부(12)의 바깥쪽으로 당김으로써 상기 수평 구조물(13)이 아래로 처지는 상황을 방지할 수 있고, 아울러 상기 수평 구조물(13)에 적재되는 상기 기판(11)이 아래로 처지는 상황까지도 방지할 수 있다.
따라서 본 발명의 기판 적재 장치(100)는 상기 수평 구조물(13)을 상기 적재부(12) 바깥쪽으로 당길 수 있는 상기 당김부(21)를 포함함으로써 상기 적재부(21)에 상기 기판(11)이 수평하게 적재되어도 상기 수평 구조물(13)이 아래로 처지지 않기 때문에 상기 기판(11)을 보다 안전하게 적재할 수 있다.
본 발명의 기판 적재 장치를 사용할 경우 적재가 이루어지는 기판을 보다 안전하게 적재함으로써 상기 기판을 재료로 포함하는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 제품 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 기판 12 : 적재부
13 : 수평 구조물 15 : 돌출핀
17 : 수직 구조물 21 : 당김부
23 : 와이어 25 : 힘 제공부
100 : 기판 처리 장치

Claims (7)

  1. 기판의 가장자리 부분에 대응하는 구조를 갖도록 구비되는 수평 구조물, 상기 수평 구조물이 적어도 2층으로 이루어지게 상기 수평 구조물을 수직 방향으로 지지하도록 구비되는 수직 구조물, 및 상기 수평 구조물에 상기 기판의 적재될 때 상기 기판의 가장자리 부분에만 부분적으로 면접하여 지지할 수 있도록 상기 수평 구조물로부터 돌출되게 구비되는 돌출핀을 포함하고, 상기 기판을 적어도 2층으로 적재하는 적재부; 및
    상기 적재부에 상기 기판이 수평하게 적재됨에 따라 상기 기판의 하중으로 인하여 상기 수평 구조물이 아래로 처지는 것을 방지하도록 상기 적재부 바깥쪽으로 상기 수평 구조물을 당기도록 구비되는 당김부를 포함하되,
    상기 기판은 사각형 구조로 이루어지고, 상기 수평 구조물은 상기 기판의 가장자리 부분에 대응하는 사각 테두리 구조로 이루어질 때, 상기 당김부는 상기 사각 테두리 4군데 각각에서 상기 사각 테두리 양측 바깥쪽으로 당기는 구조를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서, 상기 당김부는 상기 수평 구조물에 연결되는 와이어(wire) 및 상기 와이어를 당기는 힘을 제공하는 힘 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 와이어는 상기 수평 구조물의 내부에 내장되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
  5. 제3 항에 있어서, 상기 와이어는 상기 수평 구조물의 외부를 감싸는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 당김부는 상기 돌출핀까지 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 수직 구조물은 상기 수평 구조물의 사각 테두리의 모서리 부분을 지지하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치.
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