KR102413110B1 - 가요성 기판 수평 습식공정 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가요성 기판 수평 습식공정 방법에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 습식공정 설비에 쓰이는 가요성 기판 수평 습식공정 방법을 말하며, 아크면을 만들 수 있는 지그를 이용해 가요성 평면기판을 고정시켜서 해당 가요성 평면기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시키며, 이렇게 형성된 아크형상 가요성 기판 및 아크면을 만들 수 있는 지그를 수송장치에 올려 두고 이것을 수평방식으로 액체분사 작업 구역까지 이송시킨 후, 액체분사장치를 통해 아크형상 가요성 기판에 액체를 분사시키게 되면, 중력의 작용으로 인해 분사된 액체가 아크형상 가요성 기판의 중앙 아크면부로부터 제1측변 및 제2측변을 향하여 흘러내리게 되고, 이를 통해 습식 공정 과정에서 가용성 기판과 수송장치 혹은 운행장치 사이의 접촉을 최소한으로 감소시킬 수 있게 되며 그 결과 접촉으로 인한 긁힘 발생을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 액체가 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제도 감소시킬 수 있게 된다.
Description
본 발명은 가요성 기판 수평 습식공정 방법에 관한 것으로서, 특히 아크형상 가요성 기판을 형성하여 수평 상태로 습식공정 설비로 운송하여 습식공정을 진행하는 기술 영역에 관한 것이다.
화학 습식공정 중, 가요성 기판은 약액 작용을 통하여 제조하고자 하는 전자회로 도안을 형성하게 되며, 현재 사용되고 있는 습식공정은 가요성 기판을 평면 기판 방식으로 운송한 후, 기판 하측의 롤러가 기판과 접촉하여 기판을 전진시키는 방식을 사용하고 있다. 그러므로 기판은 각각의 롤러를 모두 접촉하게 되며 이로 인해 기판이 롤러에 의해 긁히는 문제가 발생하고, 또한 기판의 이물질들이 롤러에 묻으며 다음 작업할 기판까지 오염시키는 문제가 발생하여 기판 불량률이 높아지고 제품 품질 관리까지 어려운 상황이 발생하고 있다. 또한 평편 기판 방식으로 작업하면 약액이 가요성 기판 상의 여러 군데에 남아 있게 되며 특히 중간 부분에서 액체고임(웅덩이) 문제가 쉽게 발생하여 약액이 균일하게 도포되지 않게 되며, 더 나아가 제조 과정에서 제품 품질 관리가 어려워지고 불량률이 높아지게 문제가 발생한다.
본 발명의 주요 목적은 가요성 평면기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시킨 후 습식공정 설비 내로 진입시키는 방법을 제공하는 데 있으며, 이를 통해 습식공정 과정 중 가요성 기판이 접촉으로 인한 손상이나 긁힘이 발생하는 것을 방지하거나 감소시킬 수 있으며, 전체적인 사용 면적 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.
본 발명의 또 다른 하나의 목적은 가요성 평면기판을 아키형상으로 형성하는 방법을 제공하는 데 있으며, 이를 통해 습식공정 과정 중에서 분사된 약액이 중력의 영향을 받아 신속하게 아크형상 가요성 기판의 좌우 양측으로 흐르게 함으로써 균일하게 아크형상 가요성 기판 표면에 도포될 수 있기 때문에 일부 액체가 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제도 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 가요성 기판 수평 습식공정 방법은 습식공정 설비에 응용 사용되며, 그중 습식공정 설비는 수송장치 및 수송장치 상하측에 설치된 액체분사장치를 포함하고 있다. 가요성 기판 수평 습식공정 방법은 가요성 평면기판 제공 및 아크면 제작이 가능한 지그 제공을 포함한다. 아크면 제작이 가능한 지그로 가요성 평면기판을 고정시킨 후 가요성 평면기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시키며, 아크형상 가요성 기판은 제1측변, 중앙 아크면부 및 제1측변과 서로 대응되는 제2측변을 포함하고 있다. 제1측변과 제2측변이 서로 인접하여 마주보고 있는 변은 제1아크변과 제2아크변이 형성된다. 중앙 아크면부의 중심선이 가장 높은 만곡 위치가 되며, 이 지점에서 제1측변 및 제2측변을 향하여 고도가 점점 낮아지게 되면서 제1측변 및 제2측변이 가장 낮은 위치가 된다. 아크형상 가요성 기판 및 아크면 제작이 가능한 지그를 수송장치에 놓고, 수송장치를 통해 수평으로 액체분사장치의 작업 구역까지 수송한다. 액체분사장치가 약액을 아크형상 가요성 기판에 분사하면 중력의 작용으로 약액이 아크형상 가요성 기판의 중앙 아크면부에서 제1측변 및 제2측변을 향해 흘러내리게 된다.
본 발명인 가요성 기판 수평 습식공정 방법은 습식 공정 과정에서 가용성 기판과 수송장치 혹은 운행장치 사이의 접촉을 최소한으로 감소시킬 수 있게 되며 그 결과 접촉으로 인한 긁힘 발생을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 액체가 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제도 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 순서를 나타낸 흐름도
도 2는 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 형성하는 사시도
도 3은 본 발명을 습식공정 설비에 응용하는 구조를 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 압력 저항 위치 고정을 하는 것을 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 아크형상 가요성 기판에 에칭을 하는 것을 나타낸 사시도
도 6은 본 발명을 습식공정 설비에 응용하는 또 다른 하나의 구조를 나타낸 사시도
도 7은 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 압력 저항 위치 고정을 하는 것을 나타낸 사시도
도 8는 본 발명의 아크형상 가요성 기판에 에칭을 하는 것을 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 형성하는 사시도
도 3은 본 발명을 습식공정 설비에 응용하는 구조를 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 압력 저항 위치 고정을 하는 것을 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 아크형상 가요성 기판에 에칭을 하는 것을 나타낸 사시도
도 6은 본 발명을 습식공정 설비에 응용하는 또 다른 하나의 구조를 나타낸 사시도
도 7은 본 발명의 아크형상 가요성 기판을 압력 저항 위치 고정을 하는 것을 나타낸 사시도
도 8는 본 발명의 아크형상 가요성 기판에 에칭을 하는 것을 나타낸 사시도
본 발명의 목적, 효과 및 구조적 특징을 더욱 명확하게 설명하기 위해, 비교적 우수한 실시예와 도면을 예로 들어 설명하면 다음과 같으며, 본 발명의 신청 범위는 이에 국한되지는 않는다.
도 1, 도 2 및 도 3의 내용을 참조해 보면, 가요성 기판 수평 습식공정 방법은 습식공정 설비(1)에 응용 사용되며, 그중 습식공정 설비(1)는 수송장치(11) 및 수송장치(11) 상하측에 설치된 액체분사장치(12)를 포함하고 있다. 순서 S10의 경우, 가요성 평면기판(2)을 제공한다. 순서S11의 경우 아크면 제작이 가능한 지그(3)를 제공한다. 순서S12의 경우 아크면 제작이 가능한 지그(3)로 가요성 평면기판(2)을 고정하고 가요성 평면기판(2)이 아크형상 가요성 기판(4)으로 형성될 수 있게한다. 그중 아크형상 가요성 기판(4)은 제1측변(41), 중앙 아크면부(42), 제1측변(41)과 서로 대응되는 제2측변(43)을 포함하고 있다. 제1측변(41)과 제2측변(43)이 서로 인접하여 마주보고 있는 변은 제1아크변(44)과 제2아크변(45)이 형성된다. 중앙 아크면부(42)의 중심선(421)이 최고 만곡 위치가 되며, 이 지점에서 제1측변(41) 및 제2측변(43)을 향하여 고도가 점점 낮아지게 되면서 제1측변(41) 및 제2측변(43)이 가장 낮은 위치가 된다. 다시 순서S13의 경우 아크형상 가요성 기판(4) 및 아크면 제작이 가능한 지그(3)를 수송장치(11)에 놓고, 수송장치(11)를 통해 수평으로 액체분사장치(12)의 작업 구역까지 수송한다.
그중 액체분사장치(12)에는 복수 개의 노즐(121) 배열 설치되고, 노즐(121)의 배열 방향과 수송장치(11)의 수송방향은 수직형상으로 구성되며, 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41), 제2측변(43)은 수송장치(11)의 수송방향과 수평으로 설치되어 아크형상 가요성 기판(4)이 수평 세로방향으로 수송장치(11)로 수송된다. 다시 도 4에 나타난 바와 같이, 수송장치(11) 상측에는 압력저항장치(5)가 설치되고, 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41), 제2측변(43)은 수송장치(11)의 수송방향과 수평으로 설치되어 아크형상 가요성 기판(4)이 수평 세로방향으로 수송장치(11)로 수송되며, 아크형상 가요성 기판(4)이 작업 구역을 통과할 때, 압력저항장치(5)가 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41) 표면과 제2측변(43) 표면에 동시에 압력 저항을 발생시키게 된다. 이를 더욱 상세하게 설명해 보면, 수송장치(11) 상측의 압력저항장치(5)는 수송장치(11)의 수송방향을 향해 복수 개의 압력저항바퀴세트(51)가 간격을 두고 설치되며, 각 압력저항바퀴세트(51)는 제1압력저항바퀴(511)와 제2압력저항바퀴(512)로 형성되며, 아크형상 가요성 기판(4)이 작업 구역을 통과할 때, 제1압력저항바퀴(511)가 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41) 표면에 압력 저항을 발생시키게 되고, 제2압력저항바퀴(512)가 아크형상 가요성 기판(4)의 제2측변(43)에 압력 저항을 발생시키게 된다. 도 5의 내용을 참조해 보면, 액체분사장치(12)의 노즐(121)은 아크형상으로 배열되며 각 노즐(121)에서 아크형상 가요성 기판(4)까지 분사하는 거리는 서로 동일하다. 마지막으로 순서S14의 경우 액체분사장치(12)의 노즐(121)은 아크형상 가요성 기판(4)에 수직으로 약액을 분사하게 되며, 중력의 작용으로 인해 분사된 약액이 아크형상 가요성 기판(4)의 중앙 아크면부(42)에서 제1측변(41) 및 제2측변(43)을 향해 흘러내리게 된다. 그 결과 약액이 아크형상 가요성 기판(4) 상에 균일하게 도포될 수 있게 된다. 특히 중앙 아크면부(42)도 중력의 작용을 받게 되어 도포된 약액이 가장 높은 만곡 지점인 중앙 아크면부(42)의 중심선(421)에서 점차 높이가 낮아지며 가장 낮은 1측변(41) 및 제2측변(43)으로 신속하게 흘러내리게 된다. 그 결과 아크형상 가요성 기판(4) 표면에 균일하게 약액을 도포할 수 있게 되며 또한 약액이 아크형상 가요성 기판(4)의 일부 구역에 머무르지 않게 되어 효과적으로 액체고임(웅덩이) 문제도 해결할 수 있게 된다. 또한 제1압력저항바퀴(511)는 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41)의 가장 낮은 위치에서 압력 저항을 발생시키고, 제2압력저항바퀴(512)는 아크형상 가요성 기판(4)의 제2측변(43)의 가장 낮은 위치에서 압력 저항을 발생시키기 때문에 약액이 제1측변(41) 및 제2측변(43)의 가장 낮은 위치를 향해 빠른속도로 흘러내릴 수 있게 된다.
상술한 아크형상 가요성 기판(4)은 수송장치(11)를 통해 수평으로 액체분사장치(12)의 작업구역의 수송 방향까지 수송되는 것 외에도 도 6의 내용을 더 참조해보면, 액체분사장치(12)에는 복수 개의 노즐(12)이 배열 설치되고, 노즐(121)의 배열 방향과 수송장치(11)의 수송방향은 수직형상으로 구성되며,
아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41), 제2측변(43)은 수송장치(11)의 수송방향과 수직으로 설치되어 아크형상 가요성 기판(4)이 수평 가로방향으로 수송장치(11)로 수송된다. 다시 도 7에 나타난 바와 같이, 수송장치(11) 상측에는 압력저항장치(5)가 설치되고, 아크형상 가요성 기판(4)의 제1측변(41), 제2측변(43)은 수송장치(11)의 수송방향과 수직으로 설치되어 아크형상 가요성 기판(4)이 수평 가로방향으로 수송장치(11)로 수송되며, 아크형상 가요성 기판(4)이 작업구역을 통과할 때, 압력저항장치(5)가 아크형상 가요성 기판(4)의 제1아크변(44) 표면과 제2아크변(45) 표면에 동시에 압력 저항을 발생시키게 된다. 이를 더욱 상세히 설명해 보면, 압력저항장치(5)에는 수송장치(11)의 수송 방향으로 탄력을 갖추고 상하 위치 이동이 가능한 복수 개의 압력저항바퀴세트(51)가 간격을 두고 설치되며, 각 압력저항바퀴세트(51)는 제1압력저항바퀴(511)와 제2압력저항바퀴(512)를 포함하고 있다. 아크형상 가요성 기판(4)이 작업 구역을 통과할 때, 제1압력저항바퀴(511)는 아크형상 가요성 기판(4)의 제1아크변(44)의 곡면 각도에 의거하여 탄력적으로 상하 위치 이동을 하게 되며 더 나아가 가요성 기판(4)의 제1아크변(44)에 압력 저항을 발생시키게 된다. 이와 동일한 이치로 제2압력저항바퀴(512)는 아크형상 가요성 기판(4)의 제2아크변(45)의 곡면 각도에 의거하여 탄력적으로 상하 위치 이동을 하게 되며 더 나아가 가요성 기판(4)의 제2아크변(45)에 압력 저항을 발생시키게 된다. 도 8의 내용을 함께 참조해 보면, 액체분사장치(12)의 노즐(121)은 직선 형태로 배열되고 각 노즐(121)에서 아크형상 가요성 기판(4)까지 분사하는 거리는 서로 동일하다. 액체분사장치(12)의 노즐(121)은 아크형상 가요성 기판(4)에 수직으로 약액을 분사하게 되며, 중력의 작용으로 인해 분사된 약액이 아크형상 가요성 기판(4)의 가장 높은 아크면 위치에서 가장 낮은 아크면 위치까지 빠른 속도로 흘러내리게 되며 이를 통해 아크형상 가요성 기판(4)의 액체고임(웅덩이) 발생 문제도 감소시킬 수 있게 된다.
본 발명은 아크형상 가요성 기판(4) 및 지그(3)를 수송장치(11) 상에 설치되는 방향에만 국한되는 것이 아니라 가요성 평면기판(2)을 수송장치(11)의 수송입구까지 수송하기 전에 아크면 제작이 가능한 지그(3)를 통해 가요성 평면기판(2)을 아크형상 가요성 기판(4)으로 형성하고 수송장치(11)에서 액체분사장치(12)의 작업 구역 내에서 습식공정 작업을 진행하는 것 역시 본 발명의 보호 범주에 속한다.
상술한 내용은 또한 본 발명의 구체적인 실시예로 결코 이에 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다. 본 발명의 신청범위 내에서 가한 어떠한 첨가나 수정도 본 발명의 범위에 속함을 밝혀둔다.
S10, S11, S12, S13, S14: 순서
1: 습식공정 설비 11: 수송장치
12: 액체분사장치 121: 노즐
2: 가요성 평면기판 3: 지그
4: 아크형상 가요성 기판 41: 제1측변
42: 중앙 아크면부 421: 중심선
43: 제2측변 44: 제1아크변
45: 제2아크변 5: 압력저항장치
51: 압력저항바퀴세트 511: 제1압력저항바퀴
512: 제2압력저항바퀴
1: 습식공정 설비 11: 수송장치
12: 액체분사장치 121: 노즐
2: 가요성 평면기판 3: 지그
4: 아크형상 가요성 기판 41: 제1측변
42: 중앙 아크면부 421: 중심선
43: 제2측변 44: 제1아크변
45: 제2아크변 5: 압력저항장치
51: 압력저항바퀴세트 511: 제1압력저항바퀴
512: 제2압력저항바퀴
Claims (9)
- 가요성 기판 수평 습식공정 방법으로 가요성 기판 수평 습식공정 방법은 습식공정 설비에 응용 사용되며, 그중 습식공정 설비는 수송장치 및 수송장치 상하측에 설치된 액체분사장치를 포함하고 있고, 가요성 기판 수평 습식공정 방법은,
가요성 평면기판을 제공하며;
아크 형상의 몸체로 이루어져서 가요성 평면기판을 몸체 상면에 밀착시켜 아크형상 가요성 기판으로 형성시킬 수 있도록 한 지그를 가요성 평면 기판과 1 대 1로 제공하며;
아크 형상의 몸체로 이루어진 상기 지그 상면에 가요성 평면기판을 밀착된 형태로 고정시켜 가요성 평면기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시키며, 아크형상 가요성 기판은 제1측변, 중앙 아크면부 및 제1측변과 서로 대응되는 제2측변을 포함하며, 제1측변과 제2측변이 서로 인접하여 마주보고 있는 변은 제1아크변과 제2아크변으로 형성되며, 중앙 아크면부의 중심선이 가장 높은 만곡 위치가 되며, 이 지점에서 제1측변 및 제2측변을 향하여 고도가 점점 낮아지게 되면서 제1측변 및 제2측변이 가장 낮은 위치가 되며;
아크형상 가요성 기판 및 아크면 제작이 가능한 지그를 수송장치에 놓고, 수송장치를 통해 수평으로 액체분사장치의 작업 구역까지 수송하며;
액체분사장치가 약액을 아크형상 가요성 기판에 분사하여 중력의 작용으로 약액이 아크형상 가요성 기판의 중앙 아크면부에서 제1측변 및 제2측변을 향해 흘러내리도록 하며;
상기 액체분사장치에는 복수 개의 노즐이 배열 설치되고, 노즐의 배열 방향과 수송장치의 수송방향은 수직형상으로 구성되며, 아크형상 가요성 기판의 제1측변, 제2측변은 수송장치의 수송방향과 수평으로 설치되어 아크형상 가요성 기판이 수평 세로방향으로 수송장치로 수송되며,
상기 액체분사장치의 노즐은 아크형상으로 배열되어 각 노즐에서 아크형상 가요성 기판까지 분사하는 거리가 서로 동일한 것을 특징으로 하는 가요성 기판 수평 습식공정 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 수송장치 상측에는 압력저항장치가 설치되고, 아크형상 가요성 기판의 제1측변, 제2측변은 수송장치의 수송방향과 수평으로 설치되어 아크형상 가요성 기판이 수평 세로방향으로 수송장치로 수송되며, 아크형상 가요성 기판이 작업 구역을 통과할 때, 압력저항장치가 아크형상 가요성 기판의 제1측변 표면과 제2측변 표면에 동시에 압력 저항을 발생시키게 되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 수평 습식공정 방법. - 제6항에 있어서,
상기 수송장치 상측의 압력저항장치는 수송장치의 수송방향을 향해 복수 개의 압력저항바퀴세트가 간격을 두고 설치되며, 각 압력저항바퀴세트는 제1압력저항바퀴와 제2압력저항바퀴로 형성되며, 아크형상 가요성 기판이 작업 구역을 통과할 때, 제1압력저항바퀴가 아크형상 가요성 기판의 제1측변 표면에 압력 저항을 발생시키게 되고, 제2압력저항바퀴가 아크형상 가요성 기판의 제2측변에 압력 저항을 발생시키게 되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 수평 습식공정 방법. - 제1항에 있어서,
상기 수송장치 상측에는 압력저항장치가 설치되고, 아크형상 가요성 기판의 제1측변, 제2측변은 수송장치의 수송방향과 수직으로 설치되어 아크형상 가요성 기판이 수평 가로방향으로 수송장치로 수송되며, 아크형상 가요성 기판이 작업 구역을 통과할 때, 압력저항장치가 아크형상 가요성 기판의 제1아크변 표면과 제2아크변 표면에 동시에 압력 저항을 발생시키게 되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 수평 습식공정 방법. - 제8항에 있어서,
상기 압력저항장치에는 수송장치의 수송 방향으로 탄력을 갖추고 상하 위치 이동이 가능한 복수 개의 압력저항바퀴세트가 간격을 두고 설치되며, 각 압력저항바퀴세트는 제1압력저항바퀴와 제2압력저항바퀴를 포함하고 있으며, 아크형상 가요성 기판이 작업 구역을 통과할 때, 제1압력저항바퀴는 아크형상 가요성 기판의 제1아크변 표면에 압력 저항을 발생시키게 되고, 제2압력저항바퀴는 아크형상 가요성 기판의 제2아크변 표면에 압력 저항을 발생시키게 되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 수평 습식공정 방법.
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| Country | Link |
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| KR (1) | KR102413110B1 (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002009041A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-01-11 | Nec Kagoshima Ltd | ウェット処理装置 |
| JP2006222117A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Tokyo Kakoki Kk | 基板材の搬送装置 |
| JP2009141321A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 基板移送装置 |
-
2020
- 2020-07-28 KR KR1020200093741A patent/KR102413110B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002009041A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-01-11 | Nec Kagoshima Ltd | ウェット処理装置 |
| JP2006222117A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Tokyo Kakoki Kk | 基板材の搬送装置 |
| JP2009141321A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 基板移送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20220014103A (ko) | 2022-02-04 |
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