KR102402040B1 - 전자 장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

전자 장치는 제1 방향을 따라 연장된 제1 가장자리를 포함하는 제1 센서 패턴, 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 센서 패턴, 제1 센서 패턴에 연결된 제1 연결 패턴, 제2 센서 패턴에 연결되고 제1 연결 패턴과 다른 층상에 배치된 제2 연결 패턴, 및 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 제2 센서 패턴으로부터 이격된 제1 경계 패턴을 포함하고, 제1 경계 패턴은 제1 가장자리와 평면상에서 중첩한다.

Description

전자 장치 및 이의 제조방법{ELECTRONIC APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 전자 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 생산성이 향상된 전자 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
전자 장치는 전기적 신호를 인가 받아 활성화된다. 전자 장치는 외부에서 인가되는 다양한 형태의 입력을 감지하는 터치 패널을 포함할 수 있다. 터치 패널은 단독으로 사용되거나 영상을 표시하는 표시 장치 등에 적용되어 사용자의 편의성을 향상시킬 수 있다.
전자 장치는 전기적 신호에 의해 활성화 되도록 다양한 전극 패턴들을 포함할 수 있다. 전극 패턴들이 활성화된 영역은 정보가 표시되거나 외부로부터 인가되는 터치에 반응한다.
전자 장치는 소정의 검사 단계를 거치면서 불량 여부를 판별한다. 검사 단계에서 불량으로 판별되더라도, 소정의 리페어 공정을 통해 출하 가능한 정도의 품질을 가진 제품으로 회복될 수 있다. 리페어 공정을 통한 회복 비율이 증가될수록 전자 장치의 생산성은 향상될 수 있다.
따라서, 본 발명은 리페어 공정을 용이하게 하고, 공정 시간을 단축하여 생산성이 향상될 수 있는 전자 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 제1 방향을 따라 연장된 제1 가장자리를 포함하는 제1 센서 패턴, 상기 제1 방향을 따라 연장되고 상기 제1 가장자리와 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 마주하는 제2 가장자리를 포함하고, 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 센서 패턴, 상기 제1 센서 패턴에 연결된 제1 연결 패턴, 상기 제2 센서 패턴에 연결되고 상기 제1 연결 패턴과 다른 층상에 배치된 제2 연결 패턴, 및 상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제2 센서 패턴으로부터 이격된 제1 경계 패턴을 포함하고, 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴 각각은 복수의 개구부들을 정의하는 복수의 메쉬선들을 포함하고, 상기 제1 가장자리는 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 일부를 포함하고, 상기 제2 가장자리는 상기 제2 센서 패턴의 메쉬선들 중 일부를 포함하고, 상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 가장자리와 평면상에서 중첩한다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 동일한 층 상에 배치될 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 개구부들 중 상기 가장자리에 배치되어 상기 제2 가장자리를 향해 일 측이 오픈된 개구부와 평면상에서 중첩할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 평면상에서 중첩하는 메쉬선과 접촉할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 상이한 층 상에 배치되어 상기 제1 센서 패턴으로부터 단면상에서 이격되고 평면상에서 중첩할 수 있다.
상기 제1 센서 패턴, 상기 제2 센서 패턴, 및 상기 제1 연결 패턴은 동일한 층 상에 배치되고, 상기 경계 패턴은 상기 제2 연결 패턴과 동일한 층 상에 배치될 수 있다.
상기 메쉬선들은 상기 제1 방향을 따라 연장된 복수의 제1 메쉬선들 및 상기 제2 방향을 따라 연장되고 상기 제1 메쉬선들과 교차하는 제2 메쉬선들을 포함하고, 상기 제1 가장자리는 상기 제1 방향을 따라 연장된 라인부 및 상기 라인부와 연결되고 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배치된 복수의 돌출부들을 포함하고, 상기 라인부는 상기 제1 메쉬선들 중 하나이고, 상기 돌출부들은 상기 라인부와 교차하는 제2 메쉬선들 중 상기 라인부로부터 상기 제2 가장자리를 향해 돌출된 부분들일 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 돌출부들 중 인접하는 두 개의 돌출부들 사이에 배치될 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 라인부와 평면상에서 중첩할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 돌출부들 중 적어도 어느 하나와 평면상에서 중첩할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 라인부와 상기 돌출부들이 교차하는 영역들 중 적어도 어느 하나와 평면상에서 중첩할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 상기 제2 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 경계 패턴을 더 포함하고, 상기 제2 경계 패턴은 상기 제2 가장자리와 평면상에서 중첩할 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 복수로 제공되어 상기 제1 가장 자리를 따라 배열되고, 상기 제2 경계 패턴은 복수로 제공되어 상기 제2 가장 자리를 따라 배열될 수 있다.
상기 제1 경계 패턴들과 상기 제2 경계 패턴들은 서로 마주하지 않도록 교번하여 배열될 수 있다.
상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 경계 패턴의 상기 제1 방향에서 측정되는 너비가 상기 제2 센서 패턴을 향하는 방향을 따라 감소하는 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴으로부터 절연되어 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴 사이에 배치된 더미 패턴을 더 포함하고, 상기 제1 경계 패턴은 상기 더미 패턴으로부터 이격될 수 있다.
상기 제1 센서 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 적어도 일부를 단절하여 상기 개구부들 중 적어도 하나의 개구부의 일 측을 오픈시키는 단절부들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 복수의 발광 영역들에 배치된 복수의 유기발광소자들을 포함하는 표시 패널을 더 포함하고, 상기 발광 영역들은 상기 개구부들과 평면상에서 중첩할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 복수의 발광 영역들을 포함하는 표시 패널, 및 서로 절연된 제1 연결 패턴 및 제2 연결 패턴, 상기 제1 연결 패턴에 연결된 제1 센서 패턴, 상기 제2 연결 패턴에 연결된 제2 센서 패턴, 및 각각이 상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하는 복수의 경계 패턴들을 포함하고, 상기 제1 센서 패턴 및 제2 센서 패턴 각각은 각각 일체로 연결된 복수의 메쉬선들을 포함하고, 상기 경계 패턴들은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 적어도 일부와 평면상에서 중첩하고, 상기 제2 센서 패턴의 메쉬선들로부터 이격될 수 있다.
상기 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들과 동일 층 상에 배치될 수 있다.
상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 상기 경계 패턴과 중첩하는 부분은 상기 경계 패턴과 적층되어 배치될 수 있다.
상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들과 상기 경계 패턴은 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 상이한 층 상에 배치되어 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들로부터 단면상에서 이격될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치 제조 방법은 서로 절연된 제1 연결 패턴 및 제2 연결 패턴, 상기 제1 연결 패턴에 연결된 제1 센서 패턴, 상기 제2 연결 패턴에 연결되고 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 센서 패턴, 상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제2 센서 패턴으로부터 이격된 제1 경계 패턴을 포함하는 초기 전자 패널을 제공하는 단계, 상기 초기 전자 패널에 불량 패턴이 존재하는지 여부를 검사하는 단계, 상기 불량 패턴이 리페어 필요 패턴인지 여부를 판단하여 리페어 여부를 결정하는 단계, 및 상기 초기 전자 패널로부터 상기 리페어 필요 패턴이 제거된 전자 장치를 제공하는 단계를 포함하고, 상기 리페어 필요 패턴은 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고, 상기 리페어 필요 패턴인지 여부는 상기 불량 패턴이 상기 제1 경계 패턴에 인접한지 여부로 판단한다.
상기 불량 패턴은 도전성 물질을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치 제조 방법은 상기 불량 패턴이 상기 리페어 필요 패턴으로 판단되면, 상기 불량 패턴을 리페어하는 단계를 더 포함하고, 상기 불량 패턴을 리페어하는 단계는 상기 리페어 필요 패턴을 상기 제1 센서 패턴과 중첩하는 부분 및 상기 제2 센서 패턴과 중첩하는 부분으로 분리할 수 있다.
상기 불량 패턴을 리페어하는 단계는 상기 제2 센서 패턴과 상기 제1 경계 패턴 사이를 따라 연장된 가상의 커팅 라인을 따라 상기 리페어 필요 패턴을 커팅할 수 있다.
본 발명에 따르면, 센서 패턴들 사이의 구별이 어려운 전자 장치에 있어서, 별도의 공정 추가 없이도 불량 패턴이 리페어 공정이 필요한 패턴인지 여부를 용이하게 판별할 수 있다. 이에 따라, 불량 패턴들에 대해 선별적으로 리페어 공정을 진행할 수 있어, 공정이 단순화되고 리페어 공정 비용이 절감될 수 있다. 이에 따라, 전자 장치의 생산성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도이다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치를 간략히 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 전자 장치의 일부 영역을 도시한 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 일부 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 6a는 도 5에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 자른 단면도이다.
도 6b는 도 5에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 자른 단면도이다.
도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 평면도이다.
도 7b는 도 7a에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'을 따라 자른 단면도이다.
도 7c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일 부분을 도시한 평면도들이다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴들의 형상들을 도시한 평면도이다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부들을 도시한 평면도들이다.
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부들을 도시한 평면도들이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정을 도시한 순서도이다.
도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정의 일부 단계를 간략히 도시한 평면도들이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정의 일부 단계를 간략히 도시한 평면도들이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도이다. 전자 장치(EA)는 전기적 신호를 인가 받아 활성화된다. 전자 장치(EA)는 인가된 전기적 신호에 따라 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 평면으로 정의되는 표시면(IS)을 활성화시킨다. 표시면(IS)은 평면상에서 액티브 영역(AA) 및 주변 영역(NAA)으로 구분될 수 있다.
액티브 영역(AA)은 전기적 신호가 공급되면 전기적으로 활성화되는 영역일 수 있다. 액티브 영역(AA)은 전자 장치(EA)의 용도에 따라 다양한 기능을 갖도록 활성화될 수 있다.
예를 들어, 액티브 영역(AA)은 외부에서 인가되는 입력을 감지하는 센싱 영역(sensing area)일 수 있다. 도 1에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA)는 액티브 영역(AA)에 인가되는 외부 입력(TC)을 감지할 수 있다. 이 점에서 전자 장치(EA)는 입력 장치로서 기능할 수 있다.
외부 입력(TC)은 사용자의 손으로 예시적으로 도시되었으나, 외부에서 인가되는 입력은 다양한 형태로 제공될 수 있다. 예를 들어, 입력은 사용자의 손 등 신체의 일부가 접촉 또는 인접하는 터치는 물론, 힘, 압력, 또는 광 등 다양한 형태를 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
또는, 예를 들어, 액티브 영역(AA)은 소정의 정보를 표시하는 표시 영역(display area)일 수 있다. 전자 장치(EA)는 액티브 영역(AA)에 영상(IM)을 표시하고 사용자는 영상을 통해 정보를 습득할 수 있다. 이 점에서, 전자 장치(EA)는 출력 장치로 기능할 수 있다.
주변 영역(NAA)은 액티브 영역(AA)에 인접한다. 주변 영역(NAA)은 전기적 신호가 인가되더라도 외부에 영상을 표시하거나 외부 입력을 감지하는 기능을 제공하지 않는다.
주변 영역(NAA)은 외부로부터 인가되는 신호를 액티브 영역(AA)에 제공하기 위한 신호 라인들이나, 액티브 영역(AA)을 구동시키기 위한 구동 소자들이 배치된 영역일 수 있다. 주변 영역(NAA)은 액티브 영역(AA)의 일 측에 인접할 수 있다.
본 실시예에서, 주변 영역(NAA)은 액티브 영역(AA)을 에워싸는 프레임 형상으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시된 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA)에 있어서 주변 영역(NAA)은 생략될 수도 있다. 주변 영역(NAA)은 다양한 형상을 가진 것으로 정의될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 1에서는 전자 장치(EA)가 터치 스크린 장치인 경우를 예시적으로 도시하였다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 전자 장치(EA)에서 표시 기능은 생략될 수도 있다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 단면도들이다. 도 2a 내지 도 2f는 제2 방향(DR2)과 제3 방향(DR3)이 정의하는 단면을 도시하였다. 도 2a 내지 도 2f는 전자 장치(EA)를 구성하는 기능성 패널 및/또는 기능성 유닛들의 적층관계를 설명하기 위해 단순하게 도시되었다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA)는 표시 패널, 입력감지유닛, 반사방지유닛, 및 윈도우유닛을 포함할 수 있다. 표시 패널, 입력감지유닛, 반사방지유닛, 및 윈도우유닛 중 적어도 일부의 구성들은 연속공정에 의해 형성되거나, 적어도 일부의 구성들은 접착부재를 통해 서로 결합될 수 있다. 도 2a 내지 2f에는 접착부재로써 감압접착필름(PSA, Pressure Sensitive Adhesive film)이 예시적으로 도시되었다. 이하에서 설명되는 접착부재는 통상의 접착제 또는 점착제를 포함할 수 있고 특별히 제한되지 않는다. 본 발명의 일 실시예에서 반사방지유닛 및 광학 제어유닛은 다른 구성으로 대체되거나 생략될 수 있다.
도 2a 내지 2f에 있어서, 입력감지유닛, 반사방지유닛, 광학 제어유닛 및 윈도우유닛 중 다른 구성과 연속공정을 통해 형성된 해당 구성은 "층"으로 표현된다. 입력감지유닛, 반사방지유닛, 광학 제어유닛 및 윈도우유닛 중 다른 구성과 접착부재를 통해 결합된 구성은 "패널"로 표현된다. 패널은 베이스면을 제공하는 베이스층, 예컨대 합성수지 필름, 복합재료 필름, 유리 기판 등을 포함하지만, "층"은 상기 베이스층이 생략될 수 있다. 다시 말해, "층"으로 표현되는 상기 유닛들은 다른 유닛이 제공하는 베이스면 상에 배치된다.
입력감지유닛, 반사방지유닛, 및 윈도우유닛은 베이스층의 유/무에 따라 입력 감지 패널(ISP), 반사방지패널(RPP), 윈도우패널(WP) 또는 입력 감지 층(ISL), 반사 방지 층(RPL), 윈도우 층(WL)으로 지칭될 수 있다.
도 2a에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA1)는 표시 패널(DP), 입력 감지 층(ISL), 반사방지패널(RPP), 윈도우패널(WP), 및 보호부재(PF)를 포함할 수 있다. 입력 감지 층(ISL)은 표시 패널(DP)에 직접 배치된다. 본 명세서에서 "B1의 구성이 A1의 구성 상에 직접 배치된다"는 것은 A1의 구성과 B1의 구성 사이에 별도의 접착부재가 배치되지 않는 것을 의미한다. B1 구성은 A1 구성이 형성된 이후에 A1 구성이 제공하는 베이스면 상에 연속공정을 통해 형성된다.
입력 감지 층(ISL)과 반사방지패널(RPP) 사이, 반사방지패널(RPP)과 윈도우패널(WP) 사이, 및 표시 패널(DP)과 보호부재(PF) 사이 각각에 감압접착필름(PSA)이 배치된다.
표시 패널(DP)은 영상(IM: 도 1 참조)을 표시하고, 입력 감지 층(ISL)은 외부 입력(TC: 도 1 참조)의 좌표정보를 획득한다. 보호부재(PF)는 표시 패널(DP)을 지지하고, 외부의 충격으로부터 표시 패널(DP)을 보호한다.
보호부재(PF)은 플라스틱 필름을 베이스층으로써 포함할 수 있다. 보호부재(PF)는 열가소성 수지, 예컨대, 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리에틸렌(PE, polyethyelene), 폴리비닐클로라이드(PVC, polyvinylchloride), 폴리프로필렌(PP, polypropylene), 폴리스티렌(PS, polystyrene), 폴리아크릴로니트릴(PAN, polyacrylonitrile), 스틸렌-아크릴로니트릴 코폴리머(SAN, styrene-acrylonitrile copolymer), 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌(ABS, acrylonitrile-butadiene-styrene), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA, polymethyl methacrylate) 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하는 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 특히, 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate)는 내열성이 매우 우수하고 피로강도, 전기적 특성 등이 우수하며 온도와 습도의 영향을 덜 받는다.
보호부재(PF)를 구성하는 물질은 플라스틱 수지들에 제한되지 않고, 유/무기 복합재료를 포함할 수 있다. 보호부재(PF)은 다공성 유기층 및 유기층의 기공들에 충전된 무기물을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 표시 패널(DP)은 유기발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널일 수 있다. 유기발광 표시 패널의 발광층은 유기발광물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷, 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기발광 표시 패널로 설명된다.
반사방지패널(RPP)은 윈도우패널(WP)의 상측으로부터 입사되는 자연광(또는 태양광)의 반사율을 감소시킨다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반사방지패널(RPP)은 위상 지연자(retarder) 및 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상 지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, λ/2 위상 지연자 및/또는 λ/4 위상 지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상 지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다. 위상 지연자(retarder) 및 편광자(polarizer) 자체 또는 보호필름이 반사방지패널(RPP)의 베이스층으로 정의될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반사방지패널(RPP)은 컬러필터들을 포함할 수 있다. 컬러필터들은 소정의 배열을 갖는다. 표시 패널(DP)에 포함된 화소들의 발광컬러들을 고려하여 컬러필터들의 배열이 결정될 수 있다. 반사방지패널(RPP)은 컬러필터들에 인접한 블랙매트릭스를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 윈도우패널(WP)은 베이스층(WP-BS) 및 차광 패턴(WP-BZ)을 포함한다. 베이스층(WP-BS)은 유리 기판 및/또는 합성수지 필름 등을 포함할 수 있다. 베이스층(WP-BS)은 단층으로 제한되지 않는다. 베이스층(WP-BS)은 접착부재로 결합된 2 이상의 필름들을 포함할 수 있다.
차광 패턴(WP-BZ)은 베이스층(WP-BS)에 일부적으로 중첩한다. 차광 패턴(WP-BZ)은 베이스층(WP-BS)의 배면에 배치되어 전자 장치(EA)의 베젤영역 즉, 주변 영역(NAA, 도 1 참조)을 정의할 수 있다.
차광 패턴(WP-BZ)은 유색의 유기막으로써 예컨대, 코팅 방식으로 형성될 수 있다. 별도로 도시하지는 않았으나, 윈도우패널(WP)은 베이스층(WP-BS)의 전면에 배치된 기능성 코팅층을 더 포함할 수 있다. 기능성 코팅층은 지문 방지층, 반사 방지 층, 및 하드 코팅층 등을 포함할 수 있다.
도 2b 내지 도 2f에 있어서, 윈도우패널(WP) 및 윈도우 층(WL)은 베이스층(WP-BS) 및 차광 패턴(WP-BZ)의 구분 없이 간략히 도시되었다.
도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA2, EA3)는 보호부재(PF), 표시 패널(DP), 입력 감지 패널(ISP), 반사방지패널(RPP), 및 윈도우패널(WP)을 포함할 수 있다. 입력 감지 패널(ISP)과 반사방지패널(RPP)의 적층 순서는 변경될 수 있다.
도 2d에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA4)는 보호부재(PF), 표시 패널(DP), 입력 감지 층(ISL), 반사 방지 층(RPL), 및 윈도우 층(WL)을 포함할 수 있다. 전자 장치(EA4)로부터 접착부재들이 생략되고, 표시 패널(DP)에 제공하는 베이스면 상에 입력 감지 층(ISL), 반사 방지 층(RPL), 및 윈도우 층(WL)이 연속공정으로 형성될 수 있다. 입력 감지 층(ISL)과 반사 방지 층(RPL)의 적층 순서는 변경될 수 있다.
이때, 반사 방지 층(RPL)은 액정 코팅타입의 위상 지연자 및 액정 코팅타입의 편광자를 포함할 수 있다. 위상 지연자와 편광자는 한 쪽 방향으로 틸트 각(Tilt Angle)을 가지는 디스코틱 액정층을 포함할 수 있다.
도 2e 및 도 2f에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA5, EA6)는 별도의 반사 방지 층을 포함하지 않을 수 있다. 도 2a 내지 도 2d에 도시된 입력 감지 패널(ISP) 또는 입력 감지 층(ISL)과 달리, 도 2e에 도시된 입력 감지 층(ISL-1)은 반사방지 기능을 갖는 컬러필터를 더 포함할 수 있다. 도 2a 내지 도 2d에 도시된 표시 패널(DP)과 달리, 도 2f에 도시된 표시 패널(DP-1)은 반사방지 기능을 갖는 컬러필터를 더 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치를 간략히 도시한 평면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 전자 장치의 일부 영역을 도시한 단면도이다. 용이한 설명을 위해 도 3 및 도 4에는 전자 장치 중 표시 패널(DP)과 입력 감지 층(ISL)만을 도시하였고, 도 4에는 액티브 영역(AA)의 일부 영역을 도시하였다. 이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
본 실시예에서 입력 감지 층(ISL)은 표시 패널(DP) 상에 배치된 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시된 것이고, 입력 감지 층(ISL)은 표시 패널(DP) 하 측에 배치될 수도 있고, 표시 패널(DP) 내부에 삽입될 수도 있다. 입력 감지 층(ISL)은 다양한 위치에 배치될 수 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 4를 참조하면, 표시 패널(DP)은 베이스 층(BL), 화소 정의막(PDL), 표시 소자(ED), 및 봉지층(EC)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)은 액티브 영역(AA)에 배열된 복수의 발광 영역들(PXA) 및 복수의 비발광 영역들(NPXA)을 포함할 수 있다. 도 4에는 발광 영역들(PXA) 중 두 개의 발광 영역들이 배치된 영역을 도시하였다.
도시되지 않았으나, 베이스 층(BL)은 복수의 절연층들 및 복수의 도전층들을 포함할 수 있다. 복수의 도전층들 및 복수의 절연층들은 표시 소자(ED)에 연결되는 박막 트랜지스터 및 커패시터를 구성할 수 있다.
화소 정의막(PDL)은 베이스 층(BL) 상에 배치된다. 화소 정의막(PDL)에는 소정의 개구부들이 정의된다. 개구부들은 각각 발광 영역들(PXA)을 정의할 수 있다.
표시 소자(ED)는 베이스 층(BL) 상에 배치된다. 표시 소자(ED)는 개구부들 각각과 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 표시 소자(ED)는 베이스 층(BL)을 구성하는 박막 트랜지스터 및 커패시터를 통해 전달된 전기적 신호에 따라 광을 표시하여 영상을 구현한다.
표시 소자(ED)는 다양한 실시예들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 표시 소자(ED)는 전기 영동 소자, 액정 커패시터, 전기 습윤 소자, 또는 유기발광소자일 수 있다. 본 실시예에서, 표시 소자(ED)는 유기발광소자인 실시예를 예시적으로 설명한다.
표시 소자(ED)는 제1 전극(EL1), 발광층(EML), 및 제2 전극(EL2)을 포함한다. 표시 소자(ED)는 제1 전극(EL1) 및 제2 전극(EL2) 사이의 전위차에 따라 발광층(EML)을 활성화시켜 광을 생성할 수 있다. 이에 따라, 발광 영역들(PXA)은 발광층(EML)이 배치된 영역과 대응될 수 있다.
한편, 발광 영역들(PXA)은 서로 상이한 크기를 가질 수 있다. 예를 들어, 발광 영역들(PXA) 각각은 발하는 광의 컬러들에 따라 상이한 크기를 가질 수 있다. 상이한 컬러들마다 이에 적합한 크기의 발광 영역을 제공함으로써, 다양한 컬러들에 대해 균일한 광 효율을 가질 수 있도록 할 수 있다.
봉지층(EC)은 표시 소자(ED)를 커버한다. 봉지층(EC)은 적어도 하나의 무기막 및/또는 유기막을 포함할 수 있다. 봉지층(EC)은 외부로부터 표시 소자(ED)로의 수분 침투를 방지하고 표시 소자(ED)를 보호한다. 또한, 봉지층(EC)은 표시 소자(ED)와 입력 감지 층(ISL) 사이에 배치되어 표시 소자(ED)와 입력 감지 층(ISL)을 전기적으로 분리시키는 역할을 할 수 있다. 한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 봉지층(EC)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판으로 제공될 수도 있으며, 이때, 봉지층(EC)과 표시 소자(ED) 사이에는 비활성 가스가 충진될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 다양한 구조를 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
입력 감지 층(ISL)은 봉지층(EC) 상에 직접 배치될 수 있다. 즉, 입력 감지 층(ISL)은 봉지층(EC) 상면에 증착 또는 패터닝되어 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시된 것이고, 전자 장치(EA)는 입력 감지 층(ISL)과 봉지층(EC) 사이에 개재된 컬러 필터나 버퍼층과 같은 미 도시된 부재를 더 포함할 수도 있다.
도 3을 참조하면, 입력 감지 층(ISL)은 제1 감지 전극(TE1), 제2 감지 전극(TE2), 제1 신호 라인(SL1), 제2 신호 라인(SL21, SL22), 및 패드(PD)를 포함할 수 있다. 도전 패턴들은 제1 감지 전극(TE1), 제2 감지 전극(TE2), 제1 신호 라인(SL1), 제2 신호 라인(SL21, SL22), 및 패드(PD)를 각각 구성한다.
제1 감지 전극(TE1)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된다. 제1 감지 전극(TE1)은 복수로 구비되어 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 제1 감지 전극(TE1)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 복수의 제1 센서 패턴들(SP1) 및 제1 센서 패턴들(SP1) 사이에 배치되어 인접하는 제1 센서 패턴들(SP1)을 연결하는 제1 연결 패턴들(CP1)을 포함한다.
제2 감지 전극(TE2)은 제1 감지 전극(TE1)과 절연되도록 배치될 수 있다. 제2 감지 전극(TE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장된다. 제2 감지 전극(TE2)은 복수로 구비되어 제1 방향(DR1)을 따라 배열될 수 있다. 제2 감지 전극(TE2)은 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 제2 센서 패턴들(SP2) 및 제2 센서 패턴들(SP2) 사이에 배치되어 인접하는 제2 센서 패턴들(SP2)을 연결하는 제2 연결 패턴들(CP2)을 포함한다.
입력 감지 층(ISL)은 제1 감지 전극(TE1)과 제2 감지 전극(TE2) 사이의 상호 정전 용량의 변화를 감지하여 외부 입력(TC: 도 1 참조)를 감지하거나, 제1 감지 전극(TE1)과 제2 감지 전극(TE2) 각각의 자기 정전 용량의 변화를 감지하여 외부 입력(TC)을 감지할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입력 감지 층(ISL)은 다양한 방식으로 외부 입력(TC)을 감지할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제1 신호 라인(SL1)은 제1 감지 전극(TE1)에 연결된다. 제1 신호 라인(SL1)은 주변 영역(NAA)에 배치되어 외부에서 시인되지 않을 수 있다. 제2 신호 라인(SL21, SL22)은 제2 감지 전극(TE2)에 연결된다. 제2 신호 라인(SL21, SL22)은 주변 영역(NAA)에 배치되어 외부에서 시인되지 않을 수 있다.
본 실시예에서, 제2 신호 라인(SL21, SL22)은 상부 신호 라인(SL21) 및 하부 신호 라인(SL22)을 포함할 수 있다. 상부 신호 라인(SL21)은 제2 감지 전극(TE2)의 상측에 연결되고, 하부 신호 라인(SL22)은 제2 감지 전극(TE2)의 하측에 연결된다. 상부 신호 라인(SL21)과 하부 신호 라인(SL22)은 서로 이격된 복수의 패드들(PD21, PD22)에 각각 연결될 수 있다. 이에 따라, 제1 감지 전극(TE1)에 비해 제2 감지 전극(TE2)이 상대적으로 긴 연장 길이를 갖더라도 전 영역에 대해 전기적 신호가 균일하게 인가될 수 있다. 따라서, 입력 감지 층(ISL)은 형상에 구애 받지 않고, 액티브 영역(AA) 전체에 대해 고른 터치 감지 환경을 제공할 수 있다.
다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 감지 전극(TE1)의 양단도 두 개의 신호 라인들과 연결될 수 있고, 제1 감지 전극(TE1) 및 제2 감지 전극(TE2) 각각의 일 단들에만 신호 라인들이 연결될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입력 감지 층(ISL)은 다양한 방식으로 구동될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
패드들(PD)은 제1 패드(PD1) 및 제2 패드(PD21, PD22)를 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 패드들(PD) 각각은 제1 신호 라인(SL1) 또는 제2 신호 라인(SL21, SL22)에 각각 대응되도록 연결되어 제1 감지 전극(TE1) 또는 제2 감지 전극(TE2)에 전기적으로 연결될 수 있다. 외부에서 제공되는 전기적 신호들은 패드들(PD)을 통해 입력 감지 층(ISL)에 제공될 수 있다.
다시 도 4를 참조하면, 입력 감지 층(ISL)은 단면상에서 적층되는 복수의 도전층들 및 복수의 절연층들을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 입력 감지 층(ISL)은 서로 다른 층 상에 배치된 제1 도전층(10), 제2 도전층(20), 제1 절연층(30), 및 제2 절연층(40)을 포함할 수 있다.
제1 도전층(10)은 표시 패널(DP) 상에 배치된다. 제2 도전층(20)은 제1 도전층(10) 상에 배치된다. 제1 감지 전극(TE1), 제2 감지 전극(TE2), 제1 신호 라인(SL1), 제2 신호 라인(SL21, SL22), 및 패드들(PD) 각각은 제1 도전층(10)과 제2 도전층(20) 중 어느 하나에 포함될 수 있다.
제1 도전층(10) 및 제2 도전층(20) 각각은 복수의 도전 패턴들을 포함한다. 도전 패턴들은 상술한 제1 감지 전극(TE1), 제2 감지 전극(TE2), 제1 신호 라인(SL1), 제2 신호 라인(SL21, SL22), 및 패드들(PD)을 포함한다.
제1 도전층(10) 및 제2 도전층(20) 각각을 구성하는 도전 패턴들은 평면상에서 발광 영역들(PXA)과 비 중첩하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 도전층(10) 및 제2 도전층(20)은 불투명한 물질로 형성되거나 넓은 면적을 갖더라도 발광 영역들(PXA)에 표시되는 영상(IM)에 영향을 미치지 않을 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 도전층(10) 및 제2 도전층(20) 각각은 발광 영역들(PXA) 중 적어도 일부와 중첩하도록 배치된 도전 패턴을 포함할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제1 절연층(30)은 제1 도전층(10)과 제2 도전층(20) 사이에 배치된다. 제1 절연층(30)은 제1 도전층(10)과 제2 도전층(20)을 단면상에서 이격 및 분리시킨다. 한편, 제1 도전층(10)과 제2 도전층(20) 중 일부는 제1 절연층(30)을 관통하는 컨택홀(CH)을 통해 전기적으로 접속될 수 있다.
제2 절연층(40)은 제1 절연층(30) 상에 배치된다. 제2 절연층(40)은 제2 도전층(20)을 커버할 수 있다. 제2 절연층(40)은 외부 환경으로부터 제2 도전층(20)을 보호한다.
제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)은 절연성을 가지며 광학적으로 투명할 수 있다. 이에 따라, 발광 영역(PXA)이 제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)에 의해 커버되더라도 발광 영역(PXA)으로부터 생성된 광이 입력 감지 층(ISL) 상부에서 용이하게 시인될 수 있다.
제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)은 적어도 하나의 무기막 및/또는 유기막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)이 주로 유기막을 포함하는 경우 입력 감지 층(ISL)의 연성이 향상될 수 있다. 또는, 예를 들어, 제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)이 주로 무기막을 포함하는 경우 박형의 입력 감지 층(ISL)이 제공할 수 있으며, 내 충격 강도가 향상된 입력 감지 층(ISL)이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 절연층(30) 및 제2 절연층(40)은 다양한 물질을 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 5는 도 3에 도시된 일부 영역을 확대하여 도시한 평면도이다. 도 6a는 도 5에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 자른 단면도이다. 도 6b는 도 5에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 자른 단면도이다. 도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 단면도이다. 용이한 설명을 위해 도 5에는 입력 감지 층(ISL) 중 제1 연결 패턴(CP1) 및 제2 연결 패턴(CP2)이 배치된 영역을 중심으로 하는 일부 영역을 도시하였고, 도전 패턴들만을 도시하였으며, 제1 및 제2 절연층들(30, 40)은 생략하여 도시하였다. 또한, 도 6c에는 용이한 설명을 위해 도 6b와 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 5 내지 도 6c를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 5에 도시된 것과 같이, 제1 연결 패턴(CP1) 및 제2 연결 패턴(CP2)을 중심으로, 복수의 제1 센서 패턴들(SP1)이 제1 방향(DR1)을 따라 서로 이격되어 배치되고, 복수의 제2 센서 패턴들(SP2)이 제2 방향(DR2)을 따라 서로 이격되어 배치된다.
제1 연결 패턴(CP1)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장되어 제1 센서 패턴들(SP1)을 연결하고, 제2 연결 패턴(CP2)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장되어 제2 센서 패턴들(SP2)을 연결한다. 제1 연결 패턴(CP1)과 제2 연결 패턴(CP2)은 서로 다른 층 상에 배치될 수 있다.
본 실시예에서, 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)은 각각 복수의 메쉬선들(MSL)로 구성될 수 있다. 메쉬선들(MSL)은 제4 방향(DR4)으로 연장된 제1 메쉬선(MSL1) 및 제5 방향(DR5)으로 연장되어 제1 메쉬선(MSL1)과 교차하는 제2 메쉬선(MSL2)을 포함한다.
제1 메쉬선(MSL1)과 제2 메쉬선(MSL2)은 동일 층 상에 배치되고 서로 연결되어 복수의 메쉬 개구부들(MSL-OP)을 형성할 수 있다. 메쉬 개구부들(MSL-OP) 각각은 발광 영역(PXA: 도 4 참조)에 중첩할 수 있다. 도 4에 도시된 각 도전 패턴들은 메쉬선들(MSL)에 각각 대응될 수 있다.
도 5 내지 도 6c를 참조하면, 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)은 제2 연결 패턴(CP2) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)은 제1 절연층(30)과 제2 절연층(40) 사이에 배치되고, 제2 연결 패턴(CP2)은 표시 패널(DP)과 제1 절연층(30) 사이에 배치된다.
제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)은 제2 도전층(20)에 포함될 수 있다. 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1) 각각은 메쉬선들(MSL)로 구성될 수 있다. 제1 연결 패턴(CP1)은 제1 센서 패턴들(SP1)과 연결된 일체의 형상을 가질 수 있다.
제2 연결 패턴(CP2)은 제1 도전층(10)에 포함될 수 있다. 제2 연결 패턴(CP2)은 메쉬선들(MSL)로 구성되거나 투명 패턴으로 구성될 수 있다. 제2 연결 패턴(CP2)은 제2 센서 패턴들(SP2)과 다른 층에 배치되어 컨택홀(CH_S)을 통해 연결될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 연결 패턴(CP2)은 제2 센서 패턴들(SP2)과 동일한 층 상에 배치될 수도 있다. 이때, 제1 센서 패턴들(SP1)과 제2 센서 패턴들(SP2)은 서로 상이한 층 상에 배치될 수 있고, 제2 연결 패턴(CP2)은 제2 센서 패턴들(SP2)과 일체로 형성될 수 있다.
제2 연결 패턴(CP2)은 제1 센서 패턴들(SP1) 중 일부와 평면상에서 중첩하도록 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 센서 패턴들(SP1) 중 제2 연결 패턴(CP2)과 중첩하는 일부는 제거될 수도 있다. 이에 따라, 제2 연결 패턴(CP2)과 제1 센서 패턴들(SP1) 사이의 기생 용량 형성에 따라 발생될 수 있는 노이즈(noise)가 저감될 수 있다.
본 실시예에 따른 입력 감지 층(ISL)은 경계 패턴(BP)을 더 포함할 수 있다. 경계 패턴(BP)은 제1 센서 패턴들(SP1)과 평면상에서 중첩할 수 있다. 경계 패턴(BP)은 제1 센서 패턴들(SP1) 중 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치될 수 있다.
제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)는 제1 센서 패턴들(SP1) 각각의 일부를 구성한다. 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)는 제1 센서 패턴들(SP1) 중 제2 센서 패턴들(SP2) 각각에 마주하는 측변들과 대응될 수 있다. 이에 따라, 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)는 제1 센서 패턴들(SP1) 각각의 측변들의 위치에 따라, 제4 방향(DR4)을 따라 연장되거나, 제5 방향(DR5)을 따라 연장될 수 있다.
제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)는 제1 센서 패턴들(SP1)을 구성하는 메쉬선들(MSL) 중 제2 센서 패턴들(SP2)에 인접하는 최 외곽 메쉬선들에 의해 정의되며, 단절된 메쉬부(MSC)를 포함할 수 있다. 단절된 메쉬부(MSC)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)가 연장된 방향을 따라 연장된 라인부(MSC1) 및 라인부(MSC1)에 교차하며 라인부(MSC1)로부터 외곽을 향해 돌출된 복수의 돌출부들(MSC2)을 포함할 수 있다.
라인부(MSC1)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)와 나란한 방향으로 연장된 라인일 수 있다. 라인부(MSC1)는 제1 메쉬선들(MSL1) 중 어느 하나이거나, 제2 메쉬선들(MSL2) 중 어느 하나일 수 있다.
돌출부들(MSC2)은 각각이 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)가 연장된 방향과 교차하는 방향으로 연장되고, 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)가 연장된 방향을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있다. 돌출부들(MSC2) 각각의 일 단들은 라인부(MSC1)와 연결되고, 돌출부들(MSC2) 각각의 타 단들은 인접하는 제2 센서 패턴과 마주할 수 있다. 돌출부들(MSC2)은 제1 메쉬선들(MSL1) 및 제2 메쉬선들(MSL2) 중 라인부(MSC1)와 교차하는 메쉬선들의 부분들로, 라인부(MSC1)로부터 돌출된 끝 단들일 수 있다.
예를 들어, 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)가 제4 방향(DR4)을 따라 연장된 경우, 라인부(MSC1)는 제4 방향(DR4)을 따라 연장된 제1 메쉬선들(MSL1) 중 하나와 대응되고, 돌출부들(MSC2)은 제5 방향(DR5)을 따라 연장된 제2 메쉬선들(MSL2)의 부분들과 대응될 수 있다. 또는, 예를 들어, 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)가 제5 방향(DR5)을 따라 연장된 경우, 라인부(MSC1)는 제5 방향(DR5)을 따라 연장된 제2 메쉬선들(MSL2) 중 하나와 대응되고, 돌출부들(MSC2)은 제4 방향(DR4)을 따라 연장된 제1 메쉬선들(MSL1)의 부분들과 대응될 수 있다.
라인부(MSC1)와 돌출부들(MSC2)은 서로 연결되어 오픈된 개구부들(MSC-OP)을 형성한다. 오픈된 개구부들(MSC-OP)은 인접하는 제2 센서 패턴들(SP2)을 향해 오픈된 형상을 가진다. 오픈된 개구부들(MSC-OP) 각각은 메쉬 개구부들(MSL-OP) 각각을 정의하는 네 개의 메쉬선들 중 하나 이상의 메쉬선이 제거된 형상과 대응될 수 있다.
제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)도 제2 센서 패턴들(SP2)을 구성하는 메쉬선들(MSL) 중 제1 센서 패턴들(SP1)에 인접하는 최 외곽 메쉬선들에 의해 정의되며, 단절된 메쉬부(MSC)를 포함할 수 있다. 단절된 메쉬부(MSC)는 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)가 연장된 방향을 따라 연장된 라인부(MSC1) 및 라인부(MSC1)에 교차하며 라인부(MSC1)로부터 외곽을 향해 돌출된 복수의 돌출부들(MSC2)을 포함할 수 있다. 이하, 용이한 설명을 위해 경계 패턴(BP)이 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치된 것을 기준으로 설명하여 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)를 중심으로 설명하나, 이에 제한되지 않고, 제2 센서 패턴(SP2) 및 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)도 제1 센서 패턴(SP1) 및 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)와 대응되는 구조 및 형상을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
본 실시예에서, 경계 패턴(BP)은 오픈된 개구부들(MSC-OP)에 배치될 수 있다. 이에 따라, 경계 패턴(BP)은 돌출부들(MSC2)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 본 실시예에서, 경계 패턴(BP)은 오픈된 개구부들(MSC-OP) 각각에 배치되며 제1 연결 패턴(CP1) 및 제2 연결 패턴(CP2)이 교차하는 영역에는 배치되지 않는 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 경계 패턴(BP)은 오픈된 개구부들(MSC-OP) 중 일부에만 배치될 수도 있고, 제1 연결 패턴(CP1) 및 제2 연결 패턴(CP2)이 교차하는 영역에도 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 6b를 참조하면, 경계 패턴(BP)은 제2 도전층(20)을 구성할 수 있다. 즉, 경계 패턴(BP)은 제1 절연층(30)과 제2 절연층(40) 사이에 배치되고, 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)과 동일 층 상에 배치될 수 있다. 경계 패턴(BP)은 제1 센서 패턴들(SP1)과 중첩하며, 라인부(MSC1)와 인접하여 배치될 수 있다.
경계 패턴(BP)은 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)과 동일한 물질로 형성될 수 있고, 하나의 마스크를 통해 동시에 패터닝될 수 있다. 이에 따라, 별도의 공정 추가 없이도 경계 패턴(BP)을 용이하게 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴(BP)은 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)과 상이한 물질로 형성될 수도 있고, 별도의 공정을 통해 형성될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 6b에서 경계 패턴(BP)은 라인부(MSC1)와 접촉하여 배치된 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 라인부(MSC1)로부터 소정 간격 이격되어 배치될 수도 있으며, 이때, 경계 패턴(BP)의 제5 방향(DR5)에서의 길이는 감소될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴(BP)의 배치 및 형상은, 경계 패턴(BP)이 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1) 내에 배치된다면 다양하게 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
한편, 도 6c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA-A)에 있어서, 경계 패턴(BP-A)은 제1 도전층(10)을 구성할 수 있다. 즉, 경계 패턴(BP-A)은 표시 패널(DP)과 제1 절연층(30) 사이에 배치되고, 제2 연결 패턴(CP2)과 동일 층 상에 배치될 수 있다. 경계 패턴(BP-A)은 제2 연결 패턴(CP2)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 하나의 마스크를 통해 동시에 패터닝될 수 있다. 이에 따라, 별도의 공정 추가 없이도 경계 패턴(BP-A)을 용이하게 형성할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴(BP-A)은 제2 연결 패턴(CP2)과 상이한 물질로 형성될 수도 있고, 별도의 공정을 통해 형성될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
경계 패턴(BP-A)은 제1 센서 패턴들(SP1)과 평면상에서 중첩하나, 제1 센서 패턴들(SP1)과 다른 층 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 경계 패턴(BP-A)이 도 6a에 도시된 경계 패턴(BP)과 평면상에서 동일 위치에 배치된다고 할 때, 경계 패턴(BP-A)은 라인부(MSC1)와 단면상에서 이격되나 평면상에서 접할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴(BP, BP-A)은 제1 센서 패턴들(SP1)과 평면상에서 중첩하도록 배치된다면 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴(BP, BP-A)은 제2 센서 패턴들(SP2)과 중첩하도록 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)에 배치될 수도 있고, 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)와 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)에 각각 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA, EA-A)은 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치된 경계 패턴(BP, BP-A)을 포함할 수 있다. 경계 패턴(BP, BP-A)은 복수의 메쉬선들(MSL) 내에서, 제1 센서 패턴들(SP1)과 제2 센서 패턴들(SP2) 사이의 경계의 구별을 용이하게 할 수 있다. 이에 따라, 전자 장치(EA, EA-A)의 리페어 공정이 용이하게 진행될 수 있고 불량 제품 발생률이 저감될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 평면도이다. 도 7b는 도 7a에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'을 따라 자른 단면도이다. 도 7c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부를 도시한 단면도이다. 용이한 설명을 위해 도 7a에는 도 5와 대응되는 영역을 도시하였고, 도 7c에는 도 7b와 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 7a 내지 도 7c를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 6c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 도시하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 7a에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-1)는 메쉬선들(MSL) 중 적어도 어느 하나와 평면상에서 중첩하여 배치된 경계 패턴(BP-1)을 포함할 수 있다. 경계 패턴(BP-1)은 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치되어 단절된 메쉬부(MSC) 중 적어도 일부와 평면상에서 중첩한다.
도 7b에 도시된 것과 같이, 경계 패턴(BP-1)은 제2 도전층(20)에 포함될 수 있다. 이에 따라, 경계 패턴(BP-1)의 일부는 제1 센서 패턴들(SP1), 제2 센서 패턴들(SP2), 및 제1 연결 패턴(CP1)과 동일 층 상에 배치된다. 이때, 경계 패턴(BP-1)은 단절된 메쉬부(MSC) 중 라인부(MSC1)와 동일 층 상에 배치되어 라인부(MSC1)의 적어도 일부를 커버할 수 있다. 경계 패턴(BP-1)은 제1 절연층(30) 및 라인부(MSC1)와 접촉할 수 있다.
또는, 도 7c에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA1-A)는 제1 도전층(10)에 포함된 경계 패턴(BP-1A)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 경계 패턴(BP-1A)은 제2 연결 패턴(CP2)과 동일 층 상에 배치된다.
경계 패턴(BP-1A)은 단절된 메쉬부(MSC) 중 라인부(MSC1)와 평면상에서 중첩하나, 라인부(MSC1)와 다릉 층 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 경계 패턴(BP-1A)이 도 7b에 도시된 경계 패턴(BP-1)과 평면상에서 동일 위치에 배치된다고 할 때, 경계 패턴(BP-1A)은 라인부(MSC1)와 단면상에서 이격되어 평면상에서 중첩할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 경계 패턴(BP-1, BP-1A)은 라인부(MSC1)와 평면상에서 중첩함으로써, 메쉬선들(MSL)로부터 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)를 용이하게 시인할 수 있다. 이에 따라, 제2 센서 패턴들(SP2)과 제1 센서 패턴들(SP1) 사이의 경계가 용이하게 구별될 수 있어, 리페어 공정(repair step) 시 공정이 단순화되고 공정 시간이 단축될 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일 부분을 도시한 평면도들이다. 도 8a 및 도 8b 각각에는 용이한 설명을 위해 도 5에 도시된 영역과 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 8a 및 도 8b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 7c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 8a에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-2)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치된 경계 패턴(BP-2)을 포함할 수 있다. 경계 패턴(BP-2)은 단절된 메쉬부(MSC) 중 돌출부들(MSC2) 중 적어도 일부와 평면상에서 중첩할 수 있다. 본 실시예에서, 경계 패턴(BP-2)은 돌출부들(MSC2) 각각과 유사한 형상으로 도시되었다.
또는, 도 8b에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-3)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치된 경계 패턴(BP-3)을 포함할 수 있다. 경계 패턴(BP-3)은 라인부(MSC1) 및 돌출부들(MSC2) 각각과 평면상에서 중첩할 수 있다. 즉, 하나의 경계 패턴(BP-3)은 라인부(MSC1)의 일부 및 돌출부들(MSC2) 중 일부와 동시에 중첩하는 형상을 가질 수 있다.
상술한 바와 같이, 경계 패턴(BP-2, BP-3)은 다양한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들어, 경계 패턴(BP-2, BP-3)은 제1 도전층(10)에 포함되어 단절된 메쉬부(MSC)에 접촉하거나, 제2 도전층(20)에 포함되어 단절된 메쉬부(MSC)로부터 단면상에서 이격될 수 있다. 또는, 경계 패턴(BP-2, BP-3)은 제1 도전층(10) 및 제2 도전층(20)과 다른 층 상에 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 경계 패턴들의 형상들을 도시한 평면도이다. 도 9a 내지 도 9c를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 9a에 도시된 것과 같이, 경계 패턴(BP-C1)은 다각형 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 경계 패턴(BP-C1)은 삼각 형상을 가진 것으로 도시되었다.
또는, 도 9b에 도시된 것과 같이, 경계 패턴(BP-C2)은 곡선을 포함하는 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 경계 패턴(BP-C2)은 원 형상을 가진 것으로 도시되었으나, 경계 패턴(BP-C2)은 타원 형상 또는 곡선과 직선이 결합된 폐곡선 형상을 가질 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
또는 도 9c에 도시된 것과 같이, 경계 패턴(BP-C3)은 일 방향을 따라 연장된 막대 형상을 가질 수 있다. 경계 패턴(BP-C3)은 소정의 길이(LD)와 너비(WD)를 가진 막대 형상을 가질 수 있다. 경계 패턴(BP-C3)의 길이(LD)는 라인부(MSC1: 도 5 참조)의 연장 방향과 나란한 방향에서 정의되고, 경계 패턴(BP-C3)의 너비(WD)는 돌출부들(MSC2) 각각의 연장 방향과 나란한 방향에서 정의될 수 있다. 이때, 하나의 경계 패턴(BP-C3)은 복수의 오픈된 개구부들(MSC-OP: 도 5 참조)에 중첩할 수도 있다. 경계 패턴(BP-C3)과 중첩하는 오픈된 개구부들(MSC-OP)의 수는 경계 패턴(BP-C3)의 길이(LD)에 따라 달라질 수 있다.
경계 패턴(BP-C3)의 너비(WD)는 돌출부들(MSC2) 각각의 길이와 유사하거나 작을 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 경계 패턴(BP-C3)은 인접하는 제2 센서 패턴들(SP2: 도 5 참조)과 중첩하지 않고 제1 센서 패턴들(SP1: 도 5 참조)에만 중첩하는 범위 내에서 다양한 너비(WD)를 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 경계 패턴(BP-C1, BP-C2, BP-C3)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 또한, 하나의 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1: 도 5 참조) 내에서도 서로 상이한 형상을 가진 복수의 경계 패턴들을 포함할 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 제1 센서 패턴들(SP1)과 제2 센서 패턴들(SP2) 사이의 경계가 명확히 구별될 수 있다면, 다양한 형사의 경계 패턴을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부들을 도시한 평면도들이다. 도 10a 및 도 10b에는 용이한 설명을 위해 도 5에 도시된 영역과 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 10a 및 도 10b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 9c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 10a에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-4)는 제1 센서 패턴들(SP1)과 평면상에서 중첩하는 제1 경계 패턴(BP1) 및 제2 센서 패턴들(SP2)과 평면상에서 중첩하는 제2 경계 패턴(BP2)을 동시에 포함할 수 있다.
제1 경계 패턴(BP1)는 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)에 배치될 수 있다. 제1 경계 패턴(BP1)은 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1) 중 오픈된 개구부(MSC-OP)에 배치될 수 있다. 본 실시예에서, 제1 경계 패턴(BP1)은 도 5에 도시된 경계 패턴(BP: 도 5 참조)과 대응될 수 있다.
제2 경계 패턴(BP2)은 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)에 배치될 수 있다. 제2 경계 패턴(BP2)은 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2) 중 오픈된 개구부(MSC-OP)에 배치될 수 있다.
제1 센서 패턴의 가장자리(BA1)와 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)가 서로 마주함에 따라, 제1 경계 패턴(BP1)과 제2 경계 패턴(BP2)은 서로 마주하여 배치될 수 있다. 제1 경계 패턴(BP1)과 제2 경계 패턴(BP2)은 서로 이격되어 배치되며 전기적으로 절연된다.
한편, 도 10b에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-5)에 있어서, 제1 경계 패턴(BP1-1)과 제2 경계 패턴(BP2-1)은 각각 방향성을 가진 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 경계 패턴(BP1-1)과 제2 경계 패턴(BP2-1) 각각은 삼각 형상으로 도시되었다. 제1 경계 패턴(BP1-1)은 삼각 형상의 꼭지점이 제1 센서 패턴들(SP1)의 외측을 향하도록 배치되었다. 제1 경계 패턴(BP1-1)의 형상을 통해 제1 경계 패턴(BP1-1)의 꼭지점이 제1 센서 패턴들(SP1)의 경계를 나타내는 것으로 유추할 수 있다. 이에 따라, 제1 경계 패턴(BP1-1)이 제1 센서 패턴들(SP1)의 경계를 정의하는 것인지 제2 센서 패턴들(SP2)의 경계를 정의하는 것인지 용이하게 판단할 수 있다.
마찬가지로, 제2 경계 패턴(BP2-1)은 삼각 형상의 꼭지점이 제2 센서 패턴들(SP2)의 외측, 즉 제1 센서 패턴들(SP1)을 향하도록 배치되었다. 제2 경계 패턴(BP2-1)의 형상을 통해 제2 경계 패턴(BP2-1)의 꼭지점이 제2 센서 패턴들(SP2)의 경계를 나타내는 것으로 유추할 수 있다. 이에 따라, 제2 경계 패턴(BP2-1)이 제1 센서 패턴들(SP1)의 경계를 정의하는 것인지 제2 센서 패턴들(SP2)의 경계를 정의하는 것인지 용이하게 판단할 수 있다.
한편, 제1 경계 패턴(BP1-1)과 제2 경계 패턴(BP2-1)은 일 방향을 따라 서로 교번하며 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 10b에 도시된 것과 같이, 서로 인접하는 제1 경계 패턴(BP1-1)과 제2 경계 패턴(BP2-1)은 제5 방향(DR5)에서 볼 때 서로 비 중첩하도록 배치될 수 있다. 본 발명에 따르면, 경계 패턴(BP1-1, BP2-1)은 다양한 수로 배열되고 다양한 위치에 배치될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 일부들을 도시한 평면도들이다. 도 11a 및 도 11b에는 용이한 설명을 위해 도 5와 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 11a 및 도 11b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 10b에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 11a에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-6)는 더미 패턴(DMP)을 더 포함할 수 있다. 더미 패턴(DMP)은 제1 센서 패턴들(SP1) 및 제2 센서 패턴들(SP2) 사이에 배치될 수 있다. 더미 패턴(DMP)은 제1 센서 패턴들(SP1) 및 제2 센서 패턴들(SP2) 각각에 대해 전기적으로 절연된다.
더미 패턴(DMP)은 복수의 메쉬선들(MSL)로 구성될 수 있다. 제1 센서 패턴들(SP1)과 더미 패턴(DMP) 사이의 경계 및 제2 센서 패턴들(SP2)과 더미 패턴(DMP) 사이의 경계는 메쉬선들(MSL) 중 일부가 단절되어 형성되므로, 제1 센서 패턴들(SP1), 더미 패턴(DMP), 및 제2 센서 패턴들(SP2) 사이의 구별이 용이하지 않을 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 센서 패턴들(SP1)과 중첩하는 제1 경계 패턴(BP1) 및 제2 센서 패턴들(SP2)과 중첩하는 제2 경계 패턴(BP2)을 통해 제1 센서 패턴들(SP1)과 더미 패턴(DMP) 사이 및 제2 센서 패턴들(SP2)과 더미 패턴(DMP) 사이가 용이하게 구별될 수 있다. 이에 따라, 리페어 공정 시 공정이 단순화되고 공정 시간이 단축될 수 있다.
또한, 도 11b에 도시된 것과 같이, 전자 장치(EA-7)는 메쉬선들(MSL)에 형성된 복수의 단절부들(CC)을 포함할 수 있다. 단절부들(CC)은 제1 단절부들(CC1) 및 제2 단절부들(CC2)을 포함한다.
제1 단절부들(CC1)은 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1)이 정의되도록 단절된 부분일 수 있다. 제1 단절부들(CC1)은 메쉬선들(MSL)을 단절시켜 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1)을 형성한다. 제1 단절부들(CC1)에 의해 분리된 메쉬선들(MSL)의 부분들은 서로 전기적으로 절연될 수 있다. 돌출부들(MSC2)의 끝 단들은 제1 단절부들(CC1)에 의해 정의될 수 있다.
제2 단절부들(CC2)은 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 각각의 내부에 형성될 수 있다. 제2 단절부들(CC2)은 제1 센서 패턴들(SP1)의 내부 또는 제2 센서 패턴들(SP2)의 내부에 형성된다. 제2 단절부들(CC2)에 의해 분리된 메쉬선들(MSL)의 부분들은 서로 전기적으로 절연되지 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA-7)는 제2 단절부들(CC2)를 더 포함함으로써, 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1)의 경계와 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-2) 내부 사이의 반사율 차이를 개선할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(EA-7)는 경계 패턴(BP1-2, BP2-2)을 포함함으로써, 제1 단절부들(CC1)과 제2 단절부들(CC2)을 용이하게 구별할 수 있다. 예를 들어, 경계 패턴(BP1-2, BP2-2)은 제1 센서 패턴의 가장자리(BA1) 또는 제2 센서 패턴의 가장자리(BA2)에 중첩하여 배치되므로, 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 각각의 내부에 형성된 다수의 제2 단절부들(CC2)과는 이격되어 배치될 수 있다. 이에 따라, 단절부들(CC1, CC2) 중 경계를 형성하기 위한 단절부와 시인성 개선을 위한 단절부를 용이하게 구별할 수 있어, 리패어 공정이 용이해지고 공정 시간이 절감되어 생산성이 향상될 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정을 도시한 순서도이다. 도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정의 일부 단계를 간략히 도시한 평면도들이다. 이하, 도 12 내지 도 13c를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 12에 도시된 것과 같이, 전자 장치 제조 공정은 초기 전자 패널 형성 단계(S100), 초기 전자 패널 검사 단계(S200), 리페어 여부 결정 단계(S300), 리페어 단계(S310), 및 전자 장치 제공 단계(S400)를 포함할 수 있다. 도 13a 내지 도 13c에는 용이한 설명을 위해 도 12에 도시된 단계들 중 리페어 여부 결정 단계(S300) 및 리페어 단계(S310)를 예시적으로 도시하였다.
도 12에 도시된 것과 같이, 전자 장치를 제조 하기 위해 우선 초기 전자 패널을 형성(S100)한다. 초기 전자 패널은 적어도 입력 감지 층(ISL: 도 2a 참조)을 포함하거나, 입력 감지 패널(ISP: 도 2b 참조)을 포함할 수 있다. 초기 전자 패널은 검사 단계(S200)를 거치기 전 단계의 전자 장치와 대응될 수 있다.
이후, 도 12에 도시된 것과 같이, 초기 전자 패널을 검사(S200)한다. 초기 전자 패널의 검사 단계(S200)는 초기 전자 패널에 대한 전기적 특성 평가 및 시인성 평가를 포함할 수 있다. 초기 전자 패널의 검사 단계(S200)는 육안이나 현미경을 통해 진행될 수 있으며, 불량 패턴의 존재를 검사한다. 불량 패턴은 상술한 도전층들(10, 20: 도 4 참조)을 구성하는 도전 패턴들을 패터닝하는 과정에서 마스크 오정렬, 과 식각(over-etch), 또는 미 식각(un-etch) 등에 의해 형성되거나, 외부에서 유입된 이물에 의해 형성될 수 있다. 불량 패턴은 설계된 패턴과 상이한 형상의 패턴으로, 전기적 특성을 저하시키거나 시인성을 저하시킬 가능성이 있는 패턴일 수 있다.
도 13a에는 서로 인접하는 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2)의 일부 영역에 존재하는 제1 불량 패턴(DF1)과 제2 불량 패턴(DF2)을 포함하는 초기 전자 패널(EA-I)을 도시하였다. 초기 전자 패널(EA-I)은 제1 및 제2 경계 패턴들(BP1, BP2)의 수를 제외하고, 도 10a에 도시된 전자 장치(EA-4)와 대응될 수 있도록 도시되었다. 제1 불량 패턴(DF1)은 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 모두와 중첩한다. 제1 불량 패턴(DF1)은 제1 센서 패턴(SP1)의 가장자리(BA1) 및 제2 센서 패턴(SP2)의 가장자리(BA2)를 동시에 커버하는 위치에 형성되었다.
제2 불량 패턴(DF2)은 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 중 어느 하나의 센서 패턴에만 중첩한다. 제2 불량 패턴(DF2)은 제1 센서 패턴(SP1) 내에 형성되었다. 이에 따라, 제2 불량 패턴(DF2)은 제2 센서 패턴(SP2)과는 연결되지 않을 수 있다.
이후, 도 12에 도시된 것과 같이, 발견된 불량 패턴(DF1, DF2)의 리페어 여부를 결정(S300)한다. 불량 패턴(DF1, DF2)에 대해 리페어가 필요한 패턴이라 판단되면 리페어 단계(S310)를 거치고, 리페어가 불 필요한 패턴이라 판단되면 완성된 전자 장치로 제공(S400)되어 출하될 수 있다.
도 13b 및 도 13c를 참조하여 구체적으로 살펴보면, 초기 전자 패널(EA-I)은 리페어 단계(S310)를 거쳐 전자 장치(EA-F)로 완성되어 제공될 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 사이에 형성된 정전 용량의 변화를 감지하여 외부 입력을 감지할 수 있다.
제1 불량 패턴(DF1)은 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 모두와 연결되므로, 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2)을 통전시켜 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 사이의 전위차를 상쇄시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 불량 패턴(DF1)은 전자 장치의 전기적 특성을 저하시키는 패턴일 수 있고, 리페어 필요 패턴일 수 있다.
제2 불량 패턴(DF2)은 제1 센서 패턴(SP1)에만 중첩하며 제2 센서 패턴(SP2)과는 연결되지 않는다. 제2 불량 패턴(DF2)에 의해 제2 센서 패턴(SP2)을 구성하는 메쉬선들(MSL)이 서로 연결된다 하더라도, 제2 센서 패턴(SP2) 내에서 동일한 전위를 갖는 결과가 되어 오류라 보기 어렵다. 따라서, 제2 불량 패턴(DF2)이 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 사이의 전기적 특성을 저하시킬 가능성이 낮은 패턴일 수 있다.
한편, 본 실시예에 따르면, 경계 패턴들(BP1, BP2)의 존재를 통해 제1 불량 패턴(DF1)과 제2 불량 패턴(DF2)의 구별이 용이하게 이루어질 수 있다. 메쉬선들(MSL) 중 단절된 부분을 통해 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1, SP2) 사이의 경계가 정의되는 전자 장치에 있어서, 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1, SP2) 사이의 구별이 용이하지 않을 수 있다.
본 발명에 따른 초기 전자 장치는 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1, SP2) 사이의 구별을 용이하게 하는 경계 패턴들(BP1, BP2)을 포함한다. 이에 따라, 불량 패턴들(DF1, DF2)이 존재하는 영역에 경계 패턴들(BP1, BP2)이 존재하는지 여부를 판단하는 것만으로도 불량 패턴들(DF1, DF2)이 리페어가 필요한 패턴인지 여부를 용이하게 판단할 수 있다.
예를 들어, 제1 불량 패턴(DF1)은 경계 패턴들(BP1, BP2)과 인접하여 배치되며, 제1 및 제2 경계 패턴들(BP1, BP2) 모두와 중첩하는 것으로 보아 제1 불량 패턴(DF1)이 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1, SP2) 사이의 경계를 커버하는 패턴임을 용이하게 판단할 수 있다.
이와 달리, 제2 불량 패턴(DF20은 제1 및 제2 경계 패턴들(BP1, BP2)로부터 이격되어 배치되므로, 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1, SP2) 사이의 경계와 중첩하지 않는 패턴임을 알 수 있다. 이에 따라, 별도의 추가 검사 단계가 진행되지 않더라도 전기적 특성 저하를 유발시키는 패턴이 아니라는 판단이 용이하게 이루어질 수 있다.
이에 따라, 도 13b 및 도 13c에 도시된 것과 같이, 전기적 특성을 저하시키는 패턴으로 판별된 제1 불량 패턴(DF1)을 가상의 커팅 라인(CL)을 따라 커팅하여 제1 센서 패턴(SP1)에 중첩하는 제1 부분(DF-R1)과 제2 센서 패턴(SP2)에 중첩하는 제2 부분(DF-R2)으로 분리시킨다. 커팅 라인(CL)은 제1 및 제2 경계 패턴들(BP1, BP2) 사이를 따라 연장되며, 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2) 사이의 경계와 대응될 수 있다. 이때, 제1 불량 패턴(DF1)의 커팅은 레이저(LS) 조사를 통해 이루어질 수 있으나, 나이프(knife)와 같은 물리적 도구에 의해 이루어질 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제1 불량 패턴(DF1)이 제1 및 제2 부분들(DF-R1, DF-R2)로 분리됨으로써, 제1 불량 패턴(DF1)에 의한 제1 센서 패턴(SP1)과 제2 센서 패턴(SP2)의 전기적 연결은 제거될 수 있다. 이에 따라, 전자 장치의 전기적 특성 저하 문제가 방지되어 전자 장치의 제공이 용이하게 이루어질 수 있고, 전자 장치의 생산성이 향상될 수 있으며, 공정 비용이 절감될 수 있다. 또한, 불량 패턴들(DF1, DF2)에 대해 선별적으로 리페어 공정을 진행할 수 있어 리페어 공정 시간이 단축될 수 있고, 공정 비용이 절감될 수 있다.
한편, 제2 불량 패턴(DF2)은 메쉬선들(MSL)이 정의하는 복수의 개구부들(MSL-OP) 중 일부를 커버하므로, 제2 불량 패턴(DF2)이 불 투명할 경우, 개구부들(MSL-OP)을 통해 출사되는 광량 저하에 영향을 미칠 수 있다. 본 실시예에서, 제2 불량 패턴(DF2)은 시인성을 저하시키지 않는 정도의 면적을 가진 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제2 불량 패턴(DF2)이 표시 특성을 저하시키는 정도 이상의 면적을 가진 경우, 제2 불량 패턴(DF2)을 추가로 제거함으로써, 전자 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 제조 공정의 일부 단계를 간략히 도시한 평면도들이다. 도 14a 및 도 14b에는 용이한 설명을 위해 도 12에 도시된 리페어 여부 결정 단계(S300) 및 리페어 단계(S310)와 대응되는 단계를 도시하였으며, 도 13b 및 도 13c와 대응되도록 도시되었다.
한편, 도 14a 및 도 14b에는 경계 패턴들(BP1, BP2)의 수를 제외하고 도 11b에 도시된 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1)을 포함하는 전자 장치(EA-7)와 대응될 수 있는 초기 전자 패널(EA-I1) 예시적으로 도시하였다. 이하, 도 14a 및 도 14b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 13c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 14a 및 도 14b에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 초기 전자 패널(EA-I1)은 제1 불량 패턴(DF3)과 제2 불량 패턴(DF4)을 포함한다. 제1 불량 패턴(DF3)과 제2 불량 패턴(DF4)은 각각 메쉬선들(MSL)에 형성된 복수의 단절부들(CC1, CC2) 중 적어도 일부를 커버한다.
제1 불량 패턴(DF3)은 경계 패턴들(BP1, BP2)과 인접하여 배치되며 경계 패턴들(BP1, BP2)과 중첩하여 배치된다. 이에 따라, 제1 불량 패턴(DF3)은 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP1-2) 사이의 경계에 형성되어 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP1-2) 사이를 연결하는 패턴일 가능성이 있음을 확인할 수 있다.
이에 따라, 제1 불량 패턴(DF3)이 커버하는 단절부들은 적어도 제1 단절부(CC1)를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 본 실시예에서, 제1 불량 패턴(DF3)은 제1 단절부(CC1)와 제2 단절부(CC2)를 커버한다. 리페어 단계(S310)를 통해 제1 불량 패턴(DF3)은 제1 단절부(CC1)를 따라 커팅되어 복수의 부분들(DF-R1, DF-R2)로 분리될 수 있으며, 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 사이의 전기적 특성 저하 문제는 용이하게 개선될 수 있다.
제2 불량 패턴(DF4)은 경계 패턴들(BP1, BP2)과 비 중첩하는 영역에 형성되며, 경계 패턴들(BP1, BP2)로부터 이격된 영역에 형성되었다. 본 발명에 따르면, 경계 패턴들(BP1, BP2)을 통해 제2 불량 패턴(DF4)은 제1 및 제2 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 사이의 전기적 특성 저하에 영향을 미치지 않는 패턴임을 확인할 수 있다. 이에 따라, 제2 불량 패턴(DF4)이 제1 불량 패턴(DF3)에 비해 더 많은 수의 단절부들을 커버하더라도 이들은 모두 제2 단절부(CC2)에 해당되며, 전기적 특성 개선을 위한 목적에서의 리페어는 불 필요한 패턴임을 용이하게 판단할 수 있다.
메쉬선들(MSL)을 포함하는 전자 장치에 있어서, 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 사이의 경계는 단절부들(CC1, CC2)에 의해 정의되므로, 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 사이의 경계를 정의하는 제1 단절부(CC1)와 시인성 개선을 위한 센서 패턴들(SP1-1, SP2-1) 내부의 제2 단절부(CC2) 사이의 구별이 용이하지 않을 수 있다. 본 발명에 따르면, 경계 패턴들(BP1, BP2)을 통해 불량 패턴들(DF3, DF4)이 리페어 필요 패턴인지 여부를 용이하게 판단할 수 있어, 공정이 단순화되고 공정 시간이 절감될 수 있다. 또한, 불량 패턴들(DF3, DF4)이 존재하더라도, 리페어 단계(S310)를 통해 전기적 특성이 개선된 전자 장치(EA-F1)가 제공될 수 있어, 생산성이 향상될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
EA: 전자 장치 SP1: 제1 센서 패턴
SP2: 제2 센서 패턴 CP1: 제1 연결 패턴
CP2: 제2 연결 패턴 BP: 경계 패턴

Claims (30)

  1. 제1 방향을 따라 연장된 제1 가장자리를 포함하는 제1 센서 패턴;
    상기 제1 방향을 따라 연장되고 상기 제1 가장자리와 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 마주하는 제2 가장자리를 포함하고, 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 센서 패턴;
    상기 제1 센서 패턴에 연결된 제1 연결 패턴;
    상기 제2 센서 패턴에 연결되고 상기 제1 연결 패턴과 다른 층상에 배치된 제2 연결 패턴; 및
    상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제2 센서 패턴으로부터 이격된 제1 경계 패턴을 포함하고,
    상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴 각각은 복수의 개구부들을 정의하는 복수의 메쉬선들을 포함하고,
    상기 제1 가장자리는 상기 제1 방향을 따라 연장된 라인부 및 상기 라인부와 연결되고 상기 제1 방향을 따라 이격 배열되고 상기 제2 가장자리를 향해 돌출된 복수의 돌출부들을 포함하고,
    상기 제1 가장자리는 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 일부를 포함하고, 상기 제2 가장자리는 상기 제2 센서 패턴의 메쉬선들 중 일부를 포함하고,
    상기 제1 경계 패턴은 평면상에서 상기 라인부와 중첩하는 전자 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 동일한 층 상에 배치된 전자 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 동일한 물질을 포함하는 전자 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 개구부들 중 상기 가장자리에 배치되어 상기 제2 가장자리를 향해 일 측이 오픈된 개구부와 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 평면상에서 중첩하는 메쉬선과 접촉하는 전자 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 상이한 층 상에 배치되어 상기 제1 센서 패턴으로부터 단면상에서 이격되고 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 센서 패턴, 상기 제2 센서 패턴, 및 상기 제1 연결 패턴은 동일한 층 상에 배치되고,
    상기 경계 패턴은 상기 제2 연결 패턴과 동일한 층 상에 배치되는 전자 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 메쉬선들은 상기 제1 방향을 따라 연장된 복수의 제1 메쉬선들 및 상기 제2 방향을 따라 연장되고 상기 제1 메쉬선들과 교차하는 제2 메쉬선들을 포함하고,
    상기 라인부는 상기 제1 메쉬선들 중 하나이고, 상기 돌출부들은 상기 라인부와 교차하는 제2 메쉬선들 중 상기 라인부로부터 상기 제2 가장자리를 향해 돌출된 부분들인 전자 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 돌출부들 중 인접하는 두 개의 돌출부들 사이에 배치된 전자 장치.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 라인부와 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 돌출부들 중 적어도 어느 하나와 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 라인부와 상기 돌출부들이 교차하는 영역들 중 적어도 어느 하나와 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 경계 패턴을 더 포함하고,
    상기 제2 경계 패턴은 상기 제2 가장자리와 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 복수로 제공되어 상기 제1 가장 자리를 따라 배열되고,
    상기 제2 경계 패턴은 복수로 제공되어 상기 제2 가장 자리를 따라 배열된 전자 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴들과 상기 제2 경계 패턴들은 서로 마주하지 않도록 교번하여 배열되는 전자 장치.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 제1 경계 패턴의 상기 제1 방향에서 측정되는 너비가 상기 제2 센서 패턴을 향하는 방향을 따라 감소하는 형상을 갖는 전자 장치.
  17. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴으로부터 절연되어 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴 사이에 배치된 더미 패턴을 더 포함하고,
    상기 제1 경계 패턴은 상기 더미 패턴으로부터 이격된 전자 장치.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 센서 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 적어도 일부를 단절하여 상기 개구부들 중 적어도 하나의 개구부의 일 측을 오픈시키는 단절부들을 더 포함하는 전자 장치.
  19. 제1 항에 있어서,
    복수의 발광 영역들에 배치된 복수의 유기발광소자들을 포함하는 표시 패널을 더 포함하고,
    상기 발광 영역들은 상기 개구부들과 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  20. 제1 항에 있어서,
    복수의 발광 영역들 각각에 배치된 복수의 퀀텀 닷들 또는 복수의 퀀텀 로드들을 포함하는 표시 패널을 더 포함하고,
    상기 발광 영역들은 상기 개구부들과 평면상에서 중첩하는 전자 장치.
  21. 복수의 발광 영역들을 포함하는 표시 패널; 및
    서로 절연된 제1 연결 패턴 및 제2 연결 패턴, 상기 제1 연결 패턴에 연결되고 제1 방향을 따라 연장된 제1 가장자리를 포함하는 제1 센서 패턴, 상기 제2 연결 패턴에 연결되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 상기 제1 가장자리와 마주하는 제2 가장자리를 포함하는 제2 센서 패턴, 및 각각이 상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하는 복수의 경계 패턴들을 포함하고,
    상기 제1 센서 패턴 및 제2 센서 패턴 각각은 각각 일체로 연결된 복수의 메쉬선들을 포함하고,
    상기 제1 가장자리는 상기 제1 방향을 따라 연장된 라인부 및 상기 라인부와 연결되고 상기 제1 방향을 따라 이격 배열되고 상기 제2 가장자리를 향해 돌출된 복수의 돌출부들을 포함하고,
    상기 경계 패턴들은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 적어도 일부와 평면상에서 중첩하고, 상기 제2 센서 패턴의 메쉬선들로부터 이격되고,
    상기 경계 패턴들 중 적어도 어느 하나는 상기 라인부와 중첩하는 전자 장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들과 동일 층 상에 배치된 전자 장치.
  23. 제22 항에 있어서,
    상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들 중 상기 경계 패턴과 중첩하는 부분은 상기 경계 패턴과 적층되어 배치된 전자 장치.
  24. 제22 항에 있어서,
    상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들과 상기 경계 패턴은 동일한 물질을 포함하는 전자 장치.
  25. 제21 항에 있어서,
    상기 경계 패턴은 상기 제1 센서 패턴과 상이한 층 상에 배치되어 상기 제1 센서 패턴의 메쉬선들로부터 단면상에서 이격된 전자 장치.
  26. 제21 항에 있어서,
    상기 표시 패널은 상기 발광 영역들에 배치된 유기발광소자, 퀀텀 닷, 또는 퀀텀 로드들을 포함하는 전자 장치.
  27. 서로 절연된 제1 연결 패턴 및 제2 연결 패턴, 상기 제1 연결 패턴에 연결된 제1 센서 패턴, 상기 제2 연결 패턴에 연결되고 상기 제1 센서 패턴으로부터 이격된 제2 센서 패턴, 상기 제1 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고 상기 제2 센서 패턴으로부터 이격된 제1 경계 패턴을 포함하는 초기 전자 패널을 제공하는 단계;
    상기 초기 전자 패널에 불량 패턴이 존재하는지 여부를 검사하는 단계;
    상기 불량 패턴이 리페어 필요 패턴인지 여부를 판단하여 리페어 여부를 결정하는 단계; 및
    상기 초기 전자 패널로부터 상기 리페어 필요 패턴이 제거된 전자 장치를 제공하는 단계를 포함하고,
    상기 리페어 필요 패턴은 상기 제1 센서 패턴 및 상기 제2 센서 패턴과 평면상에서 중첩하고,
    상기 리페어 필요 패턴인지 여부는 상기 불량 패턴이 상기 제1 경계 패턴에 인접한지 여부로 판단하는 전자 장치 제조 방법.
  28. 제27 항에 있어서,
    상기 불량 패턴은 도전성 물질을 포함하는 전자 장치 제조 방법.
  29. 제27 항에 있어서,
    상기 불량 패턴이 상기 리페어 필요 패턴으로 판단되면, 상기 불량 패턴을 리페어하는 단계를 더 포함하고,
    상기 불량 패턴을 리페어하는 단계는 상기 리페어 필요 패턴을 상기 제1 센서 패턴과 중첩하는 부분 및 상기 제2 센서 패턴과 중첩하는 부분으로 분리하는 전자 장치 제조 방법.
  30. 제29 항에 있어서,
    상기 불량 패턴을 리페어하는 단계는 상기 제2 센서 패턴과 상기 제1 경계 패턴 사이를 따라 연장된 가상의 커팅 라인을 따라 상기 리페어 필요 패턴을 커팅하는 전자 장치 제조 방법.
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