KR102396254B1

KR102396254B1 - Display panel floating stage

Info

Publication number: KR102396254B1
Application number: KR1020210158173A
Authority: KR
Inventors: 황희진
Original assignee: 황희진
Priority date: 2021-11-17
Filing date: 2021-11-17
Publication date: 2022-05-09
Also published as: CN117615980A; WO2023090657A1

Abstract

The present invention relates to a display panel floating stage. The display panel floating stage includes: a top plate having a plurality of air supply holes and vacuum holes formed alternately for a display panel to stably float; a plurality of overlapped pressure keeping plates with a plurality of pressure keeping holes formed thereon to be connected to each of the air supple holes and each of the vacuum holes such that air supply pressure injected from the air supply holes of the top plate and vacuum pressure suctioned from the vacuum holes can be kept constant; a first bottom plate fixed to the bottom of the pressure keeping plates to supply vacuum pressure to each of the vacuum holes; a second bottom plate fixed to the bottom of the first bottom plate to supply air supply pressure to each of the air supply holes; and a plurality of manifolds fixed to the bottom of the second bottom plate, wherein a vacuum supply channel connected to the first bottom plate and an air supply channel connected to the second bottom plate are formed in parallel with each other. Therefore, the present invention is capable of enabling a display panel to stably float without producing wobbles.

Description

Display panel floating stage {DISPLAY PANEL FLOATING STAGE}

본 발명은 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a display panel floating stage, and more particularly, the vacuum pressure and air supply pressure do not change even in a portion with resistance and a portion without resistance of the floating display panel to stably float the display panel without shaking, It relates to a display panel floating stage in which only supply air pressure is sprayed without vacuum pressure on both sides of the display panel in which sagging occurs, thereby stably maintaining the flatness of the display panel.

일반적으로, TV, 모니터, 휴대폰 등에 사용되는 평판 표시 장치의 구성을 보면, 투명한 글래스 패널 위에 격자 패턴이 형성되어 있고, 그 뒤에는 백라이트가 있으며, 이들 사이에는 액정이 있고, 글래스 패널 앞에는 칼라 필터가 배치된다.In general, looking at the configuration of flat panel displays used in TVs, monitors, mobile phones, etc., a grid pattern is formed on a transparent glass panel, a backlight is located behind them, a liquid crystal is placed between them, and a color filter is disposed in front of the glass panel. do.

상기 격자 패턴에 인가된 전기신호에 의해 액정은 특정 위치의 빛을 차단하거나 통과 시킬 수 있으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘LCD’라 한다. 액정 대신 유기물을 사용하기도 하는데 이 유기물은 전기신호를 받으면 자체 발광하므로 백라이트는 필요가 없으며, 이러한 방식의 디스플레이 장치를‘OLED’라고 한다.By the electric signal applied to the grid pattern, the liquid crystal can block or pass light at a specific position, and a display device in this way is called 'LCD'. In some cases, organic materials are used instead of liquid crystals, and since these organic materials emit light by themselves when they receive an electrical signal, there is no need for a backlight.

위와 같은 평판표시장치(FPD)가 만들어지기까지는 많은 공정을 거치게 되는데 이 과정에서 글래스 패널은 반복적으로 이동과 검사가 이루어 진다. 글래스 패널을 이동하는 방법은 공정 특성에 따라 다른 데 단순이동(Transfer)에는 롤러(Roller)나 인덱스(Index) 혹은 로봇 팔을 이용하기도 하지만, 검사공정에서는 정밀반송이 요구되므로 비접촉으로 반송을 하는 것이 일반적이며, 비접촉식 반송장치에는 공압 및 부상 스테이지가 포함된다.A lot of processes go through until the flat panel display device (FPD) is manufactured, and in this process, the glass panel is repeatedly moved and inspected. The method of moving the glass panel differs depending on the process characteristics. For simple transfer, a roller, index, or robot arm is used. However, since precise transfer is required in the inspection process, non-contact transfer is recommended. Common, non-contact conveying devices include pneumatic and floating stages.

상기 부상 스테이지가 갖추어야 할 몇 가지 특성을 보면, 적정한 압력이 있는 상태에서 가능한 소량의 공기가 일정하게 흘러나와야 하고 흘러나온 공기는 막힘 없이 흡기가 이루어져야 한다.Looking at some characteristics that the levitation stage should have, a small amount of air as small as possible should flow out constantly under an appropriate pressure, and the flowed air should be inhaled without clogging.

근래 들어 디스플레이의 크기가 커지면서 해당 정밀도 또한 높아지면서 이에 따라 패널의 이송 정밀도 또한 높은 수준을 요구 받고 있다.In recent years, as the size of the display increases, the corresponding precision also increases, and accordingly, the panel transport precision is also required to be high.

글래스 패널이 이동할 때 흔들리게 되면 카메라로 들어오는 영상이 좋지 않아서 결함검사 품질을 떨어뜨리게 된다.If the glass panel shakes when moving, the image coming into the camera is not good and the quality of defect inspection is reduced.

즉, 글래스 패널의 상하 떨림이 발생할 경우 피사체인 글래스 패널이 렌즈의 초점을 벗어나므로 만족스러운 검사 이미지를 얻을 수 없어 검사 능력을 저하시키는 원인이 된다.That is, when the vertical shaking of the glass panel occurs, the subject glass panel deviates from the focus of the lens, and thus a satisfactory inspection image cannot be obtained, which deteriorates inspection ability.

여기서 글래스 패널이 이동할 때 상하의 떨림정도와 가장 밀접하게 연관 된 것이 부상 스테이지이다. 부상 스테이지를 통해서 나오는 공기 량이 일정하지 않거나 공기의 흐름이 원활하지 않으면 글래스 패널을 흔들리게 된다.Here, when the glass panel moves, it is the levitation stage that is most closely related to the degree of shaking up and down. If the amount of air coming out through the flotation stage is not constant or if the air flow is not smooth, the glass panel will shake.

그 이유는 부상 스테이지와 글래스 패널 사이의 압력 및 체적 변화로 볼 수 있다.The reason can be seen as the pressure and volume change between the flotation stage and the glass panel.

따라서 부상 스테이지에서는 적정한 압력을 유지하면서 공기 량을 최소화하고, 공기가 잘 빠져 나가도록 하는 것이 가장 중요하다.Therefore, it is most important to minimize the amount of air while maintaining an appropriate pressure in the flotation stage and to allow the air to escape well.

전술한 적정압력이라는 것은 글래스 패널이 부상 스테이지에 접촉하지 않을 정도의 저항력을 갖는 압력이다. 압력이 낮으면 이송 정밀도는 좋아지지만 부상 스테이지와 접촉될 가능성이 높고, 압력이 높으면 접촉 가능성은 낮아지나 부상 안정성이 떨어 진다.The above-described appropriate pressure is a pressure having a resistive force such that the glass panel does not contact the levitation stage. When the pressure is low, the conveying precision is improved, but the possibility of contact with the levitation stage is high.

또한 압력이 너무 높으면 설계에 따라서는 장기적으로 부상 스테이지의 변형을 가져오기도 한다. 그러므로 글래스 패널과 검사 정밀도 그리고 공정을 잘 분석하여 적정한 압력을 유지하는 것이 중요하다.In addition, if the pressure is too high, depending on the design, it may cause deformation of the levitation stage in the long term. Therefore, it is important to maintain an appropriate pressure by analyzing the glass panel, inspection precision, and process well.

또한, 적정압력이 되었다 하더라도 공기유량이 많으면 공기 분출 시 난기류의 영향이 커지면서 글래스 패널이 흔들릴 수 있다. 또한 많은 공기가 빨리 빠져 나가지 못함에 따라 부분적으로 공기 정체가 발생하여 글래스 패널과 부상 스테이지의 간격 변화를 가져오게 된다. 이러한 현상 또한 부상의 안정성을 떨어뜨리게 되므로 좋은 검사 이미지 획득이 어렵다.In addition, even at an appropriate pressure, if the air flow rate is large, the influence of turbulence during air blowing increases and the glass panel may shake. Also, as much air cannot escape quickly, partial air stagnation occurs, resulting in a change in the gap between the glass panel and the levitation stage. This phenomenon also reduces the stability of the injury, so it is difficult to obtain a good examination image.

공기 흐름을 작게 하려면 저항체가 필요하다. 상기 저항체는 압력이 형성되게 하고 공기 량을 조절하는 기능을 동시 하게 된다. 따라서 저항체는 부상 스테이지에서 가장 중요한 기술적 요소라고 할 수 있다.A resistor is needed to reduce the airflow. The resistor serves to create a pressure and control the amount of air at the same time. Therefore, it can be said that the resistor is the most important technical element in the levitation stage.

나아가, 적정한 압력이 형성되었고 공기 유량이 작다 하더라도 흡기가 안되면 글래스 패널을 안정적으로 반송시키기 어렵다.Furthermore, even if an appropriate pressure is formed and the air flow rate is small, it is difficult to stably convey the glass panel if there is no intake air.

부상 스테이지를 설계함에 있어서 일반적으로 무시되는 부분이 바로 흡기 부분이다. 흡기는 저항체 못지 않게 중요하다.The part that is generally neglected in designing the levitation stage is the intake part. Intake is as important as the resistor.

아무리 소량의 공기가 나온다고 하더라도 시간이 지나면 부상 스테이지 위에 누적 된다. 흡기가 안되면 글래스 패널은 우산 모양으로 휘어진 체 이동하게 되므로 고품질의 검가 이미지 획득이 어렵게 된다. 그러므로 부상 스테이지 바닥에서 흘러 나오는 공기를 빠른 시간에 흡기 할 수 있는 유로의 확보는 필수적이다.No matter how little air is released, it will accumulate on the injury stage over time. If there is no air intake, the glass panel moves in an umbrella shape, making it difficult to obtain a high-quality sword image. Therefore, it is essential to secure a flow path that can quickly inhale the air flowing from the bottom of the flotation stage.

대한민국 등록특허 제10-1517992호Republic of Korea Patent Registration No. 10-1517992

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제1목적은, 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.The present invention has been devised in view of the above problems, and the first object of the present invention is that the vacuum pressure and the air supply pressure do not change even in the portion with and without resistance of the floating display panel, so that the display panel can be moved without shaking. An object of the present invention is to provide a display panel floating stage that can be stably floated.

본 발명의 제2목적은, 압력유지플레이트에 형성된 압력유지홀을 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 내경이 작은 통로로 분리 구성하되, 상기 통로는 압력유지실에 편심되게 연통시킴으로써, 압력유지실 내에서 발생되는 와류 또는 체적 증가에 따른 급기압과 진공압을 일정하게 유지될 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.A second object of the present invention is to separate the pressure holding hole formed in the pressure holding plate into a pressure holding chamber and a passage having an inner diameter smaller than that of the pressure holding chamber, wherein the passage eccentrically communicates with the pressure holding chamber, so that the pressure holding chamber An object of the present invention is to provide a display panel floating stage so that the supply air pressure and vacuum pressure according to the vortex or volume increase generated within the display panel can be constantly maintained.

본 발명의 제3목적은, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지를 제공하는데 있다.A third object of the present invention is to provide a display panel floating stage that allows only supply air pressure to be sprayed without vacuum pressure on both sides of the display panel where sagging occurs, thereby stably maintaining the flatness of the display panel.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관한 것으로, 이를 위해 디스플레이 패널을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀과 진공홀이 교번되게 다수 형성되는 탑플레이트;와, 상기 탑플레이트의 급기홀에서 분사되는 급기압과, 진공홀에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀과 진공홀에 상통되는 다수의 압력유지홀이 형성된 상태로 다수 중첩된 압력유지플레이트;와, 상기 각 진공홀로 진공압을 공급하기 위해 상기 압력유지플레이트의 저면에 고정되는 제1바텀플레이트;와, 상기 각 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되는 제2바텀플레이트; 및 상기 제2바텀플레이트의 저면에 고정되고, 상기 제1바텀플레이트와 연통되는 진공공급로와, 상기 제2바텀플레이트와 연통되는 급기공급로가 병렬로 나란히 형성되는 다수의 매니폴드;를 포함하여 이루어지되, 상기 압력유지홀은 하부에 형성되는 압력유지실과, 상기 압력유지실의 상부에 편심되게 연통되는 통로로 이루어지고, 상기 통로는 상기 압력유지실 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되고, 상기 각 압력유지플레이트의 압력유지홀에 형성된 통로는 중첩된 압력유지플레이트의 통로와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 것을 특징으로 한다.According to the characteristics for achieving the above object, the first invention relates to a display panel floating stage, for this purpose, a tower in which a plurality of air supply holes and a plurality of vacuum holes are alternately formed in order to stably float the display panel. Plate; and a plurality of pressure holding holes common to each of the air supply holes and the vacuum holes are formed so that the air supply pressure sprayed from the air supply hole of the top plate and the vacuum pressure suctioned from the vacuum hole are kept constant. An overlapping pressure maintaining plate; and a first bottom plate fixed to a lower surface of the pressure maintaining plate to supply vacuum pressure to each vacuum hole; and a first bottom plate to supply air supply pressure to each air supply hole. a second bottom plate fixed to the bottom; and a plurality of manifolds fixed to the bottom surface of the second bottom plate and formed in parallel with a vacuum supply path communicating with the first bottom plate and a supply air supply path communicating with the second bottom plate However, the pressure holding hole is composed of a pressure holding chamber formed in the lower portion, and a passage eccentrically communicating with the upper portion of the pressure holding chamber, the passage is formed with a relatively smaller inner diameter than the pressure holding chamber, each of the The passage formed in the pressure retaining hole of the pressure retaining plate is characterized in that it is formed eccentrically to the left or right so that the passage and the eccentric position of the overlapping pressure retaining plate can be arranged in a zigzag manner.

제2발명은, 제1발명에서, 상기 제1바텀플레이트는 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로와, 상기 각 진공로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 진공홀과 상통되는 제1분기로가 형성되는 것을 특징으로 한다.In the second invention, in the first invention, the first bottom plate is a vacuum furnace formed in parallel with a predetermined interval, and a plurality of branches in a tree shape on both sides in the longitudinal direction of each vacuum furnace to communicate with the vacuum hole It is characterized in that a branch path is formed.

제3발명은, 제1발명에서, 상기 제2바텀플레이트는 상기 급기홀로 급기압을 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트의 저면에 고정되되, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로와, 상기 각 급기로의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되어 상기 급기홀과 상통되는 제2분기로가 형성되는 것을 특징으로 한다.In the third invention, in the first invention, the second bottom plate is fixed to the lower surface of the first bottom plate in order to supply air pressure to the air supply hole, and a supply passage formed in parallel at a predetermined interval; It is characterized in that a plurality of branches are branched in a tree shape on both sides in the longitudinal direction of the furnace to form a second branch passage communicating with the air supply hole.

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제6발명은, 제1발명에서, 상기 각 압력유지플레이트 중 어느 하나는 진공홀과 연통되는 압력유지홀의 형태가 통로 없이 단일 압력유지실로만 구성되는 것을 특징으로 한다.The sixth invention, in the first invention, is characterized in that any one of the pressure retaining plates is composed of only a single pressure retaining chamber without a passage in the form of a pressure retaining hole communicating with the vacuum hole.

제7발명은, 제1발명에서, 상기 탑플레이트는 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀 없이 급기홀만이 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 한다.In the seventh invention, in the first invention, the top plate is characterized in that only the air supply holes are arranged at regular intervals without vacuum holes along the side lateral sides of the first row.

본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지에 따르면, 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the display panel floating stage of the present invention, there is an effect that the display panel can be stably floated without shaking because the vacuum pressure and the air supply pressure do not change even in a portion with resistance and a portion without resistance of the floating display panel.

또한 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect of stably maintaining the flatness of the display panel by allowing only supply pressure to be sprayed without vacuum pressure on both sides of the display panel where sagging occurs.

또한 압력유지플레이트에 형성된 압력유지홀을 압력유지실과, 상기 압력유지실 보다 내경이 작은 통로로 분리 구성하되, 상기 통로는 압력유지실에 편심되게 연통시킴으로써, 압력유지실 내에서 발생되는 와류 또는 체적 증가에 따른 급기압과 진공압을 일정하게 유지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the pressure holding hole formed in the pressure holding plate is separated into a pressure holding chamber and a passage having an inner diameter smaller than that of the pressure holding chamber, and the passage is eccentrically communicated with the pressure holding chamber, thereby generating a vortex or volume in the pressure holding chamber. There is an effect of maintaining constant supply air pressure and vacuum pressure according to the increase.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도,
도 2는 도 1의 저면 사시도,
도 3은 도 1의 분해사시도,
도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도,
도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도,
도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도,
도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도,
도 10은 다른 실시예의 탑플레이트를 나타내는 사진이다.1 is a perspective view of a display panel floating stage according to the present invention;
Figure 2 is a bottom perspective view of Figure 1;
3 is an exploded perspective view of FIG. 1;
Figure 4 is a cross-sectional view showing the pressure retention plate taken from Figure 3;
5 is a plan view showing the first bottom plate extracted from FIG. 3;
6 is a plan view showing the second bottom plate extracted from FIG. 3;
Fig. 7 is a perspective view showing the manifold taken from Fig. 3;
8 is a projection view showing the bottom of the display panel floating stage according to the present invention;
9 is a cross-sectional view showing a cross section of a display panel floating stage according to the present invention;
10 is a photograph showing a top plate of another embodiment.

이하의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.The following objects, other objects, features and advantages of the present invention will be readily understood through the following preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms.

오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed subject matter may be thorough and complete, and that the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art.

여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.The embodiments described and illustrated herein also include complementary embodiments thereof.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, the terms 'comprise' and/or 'comprising' do not exclude the presence or addition of one or more other components.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In describing the specific embodiments below, various specific contents have been prepared to more specifically explain and help the understanding of the invention. However, a reader having enough knowledge in this field to understand the present invention can recognize that it can be used without these various specific details. In some cases, it is mentioned in advance that parts which are commonly known and not largely related to the invention in describing the invention are not described in order to avoid confusion in describing the invention.

이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, it will be described in detail together with the accompanying drawings with respect to the display panel floating stage according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면 사시도이고, 도 3은 도 1의 분해사시도이고, 도 4는 도 3에서 발췌된 압력유지플레이트를 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 3에서 발췌된 제1바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 3에서 발췌된 제2바텀플레이트를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 3에서 발췌된 매니폴드를 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 저면을 나타내는 투영도이며, 도 9는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 부상 스테이지의 단면을 나타내는 단면도이다.Figure 1 is a perspective view of a display panel floating stage according to the present invention, Figure 2 is a bottom perspective view of Figure 1, Figure 3 is an exploded perspective view of Figure 1, Figure 4 is a cross-sectional view showing the pressure retention plate extracted from Figure 3 , Fig. 5 is a plan view showing the first bottom plate extracted from Fig. 3, Fig. 6 is a plan view showing the second bottom plate extracted from Fig. 3, and Fig. 7 is a perspective view showing the manifold extracted from Fig. 3, 8 is a projection view showing the bottom surface of the display panel floating stage according to the present invention, Figure 9 is a cross-sectional view showing a cross section of the display panel floating stage according to the present invention.

도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 부상되는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안정적으로 부상시키는 것은 물론, 처짐이 발생되는 디스플레이 패널 양측 사이드에는 진공압 없이 급기압만이 분사되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 안정적으로 유지할 수 있도록 한 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)에 관한 것이다.As shown in Figures 1 to 9, the present invention does not change the vacuum pressure and air supply pressure even in a portion with resistance and a portion without resistance of the floating display panel, so as to stably float the display panel without shaking, as well as sagging It relates to a display panel floating stage 100 that allows only supply pressure to be sprayed without vacuum pressure to both sides of the generated display panel to stably maintain the flatness of the display panel 200 .

이러한 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 크게 5개 부분으로 구성되는데, 이는 탑플레이트(10)와, 압력유지플레이트(20)와, 제1바텀플레이트(30)와, 제2바텀플레이트(40) 및 매니폴드(50)가 상호 간 일체로 볼팅 결합되어 구성된다.The display panel floating stage 100 of the present invention is largely composed of five parts, which are a top plate 10, a pressure maintaining plate 20, a first bottom plate 30, and a second bottom plate ( 40) and the manifold 50 are integrally bolted to each other and configured.

상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 디스플레이 패널(200)을 안정적으로 부상시키기 위해 다수의 급기홀(11)과 진공홀(12)이 교번되게 다수 형성되는 구조이다.As shown in FIG. 1 , the top plate 10 has a structure in which a plurality of air supply holes 11 and a plurality of vacuum holes 12 are alternately formed to stably float the display panel 200 .

여기서 상기 급기홀(11)과 진공홀(12)은 실시예로 격자구조로 배치되는 구조이지만, 일정한 패턴 형태로도 배치되어 구성될 수 있다.Here, the air supply hole 11 and the vacuum hole 12 are arranged in a grid structure as an embodiment, but may also be arranged in a regular pattern form.

이 때 상기 급기홀(11)에서 발생되는 급기압은 상기 진공홀(12)에 발생되는 진공압 보다 상대적으로 커 디스플레이 패널(200)이 부상될 수 있도록 하는 것이 선행되어야 한다.At this time, the air supply pressure generated in the air supply hole 11 is relatively greater than the vacuum pressure generated in the vacuum hole 12 , so that the display panel 200 can float.

상기 압력유지플레이트(20)는 상기 탑플레이트(10)의 저면에 볼팅 결합에 의해 고정된다.The pressure maintaining plate 20 is fixed to the bottom surface of the top plate 10 by bolting.

이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4와 같이, 탑플레이트(10)의 급기홀(11)에서 분사되는 급기압과, 진공홀(12)에서 흡입되는 진공압이 일정하게 유지할 수 있도록 상기 각 급기홀(11)과 진공홀(12)에 상통되는 다수의 압력유지홀(21)이 형성된 구조이다.As shown in FIG. 4 , the pressure maintaining plate 20 is configured such that the air supply pressure sprayed from the air supply hole 11 of the top plate 10 and the vacuum pressure suctioned from the vacuum hole 12 can be constantly maintained. It has a structure in which a plurality of pressure holding holes 21 that are in common with the air supply hole 11 and the vacuum hole 12 are formed.

상기 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 하부에 형성되는 압력유지실(211)과, 상기 압력유지실(211)의 상부에 편심되게 연통되는 통로(212)로 구성된다. 이 때 상기 통로(212)는 상기 압력유지실(211) 보다 상대적으로 내경이 작게 형성되는 구조이다.The pressure holding hole 21 of the pressure holding plate 20 includes a pressure holding chamber 211 formed at a lower portion and a passage 212 eccentrically communicating with an upper portion of the pressure holding chamber 211 . In this case, the passage 212 has a structure in which the inner diameter is relatively smaller than that of the pressure holding chamber 211 .

상기에서 급기홀(11)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실(211)을 통해 급기되는 공기에 와류를 발생시켜 압력을 낮추는 소위 저항체의 기능을 하게 된다.In the above, the pressure holding hole 21 connected to the air supply hole 11 functions as a so-called resistor for lowering the pressure by generating a vortex in the air supplied through the pressure holding chamber 211 .

그리고 상기 압력유지실(211)에 편심되게 형성된 통로(212)는 압력이 낮아진 공기의 유량을 저감시킬 수 있도록 기능한다.In addition, the passage 212 eccentrically formed in the pressure holding chamber 211 functions to reduce the flow rate of air whose pressure is lowered.

이러한 압력유지실(211)과 통로(212)의 내경 크기는 디스플레이 패널(200)의 크기와 무게에 따라 달리될 수 있다.The size of the inner diameter of the pressure holding chamber 211 and the passage 212 may vary according to the size and weight of the display panel 200 .

또한 상기 진공홀(12)과 연결되는 상기 압력유지홀(21)은 압력유지실을 통해 진공압력이 높아지는 것을 방지할 수 있고, 상기 통로(212)는 흡기량을 급기량 만큼 조절할 수 있게 된다.In addition, the pressure holding hole 21 connected to the vacuum hole 12 can prevent the vacuum pressure from increasing through the pressure holding chamber, and the passage 212 can adjust the intake air amount as much as the supply air amount.

이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 도 4 및 도 9와 같이, 안정적인 급기압과 진공압을 유지하기 위해 적어도 2개 이상 중첩 결합되어 구성되며, 본 발명에서는 3개의 압력유지플레이트(20)가 중첩된 구조이다.As shown in FIGS. 4 and 9, at least two or more of the pressure maintaining plate 20 are overlapped and coupled to maintain stable supply air pressure and vacuum pressure, and in the present invention, three pressure retaining plates 20 overlap. is a structure that has been

이러한 상기 압력유지플레이트(20)는 요구되는 진공압과 급기압에 따라 그 중첩 갯수가 달리될 수 있음은 물론이다.Of course, the number of overlaps of the pressure maintaining plate 20 may vary depending on the required vacuum pressure and air supply pressure.

또한 상기 각 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)에 형성된 통로(212)는 중첩된 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 편심위치가 지그재그로 배치될 수 있도록 좌측 또는 우측으로 편심되게 형성되는 구조이다.In addition, the passage 212 formed in the pressure retaining hole 21 of each pressure retaining plate 20 is left or right so that the passage 212 and the eccentric position of the overlapping pressure retaining plate 20 can be arranged in a zigzag manner. It is an eccentrically formed structure.

따라서 급기홀(11)을 통해 배출되는 공기의 급기량과, 급기압은 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.Accordingly, the air supply amount and the air supply pressure of the air discharged through the air supply hole 11 can be constantly maintained while passing through the pressure maintaining hole 21 in multiple stages.

또한 진공홀(12)을 통해 흡입되는 진공압과 흡기량 역시 압력유지홀(21)을 다단으로 거치면서 일정하게 유지될 수 있게 된다.In addition, the vacuum pressure and the intake air amount sucked through the vacuum hole 12 can also be kept constant while passing through the pressure maintaining hole 21 in multiple stages.

한편 도 4와 같이, 상기 각 압력유지플레이트(20) 중 어느 하나는 진공홀(12)과 연통되는 압력유지홀(21)의 형태가 통로(212) 없이 단일 압력유지실(211)로만 구성될 수 있다. 이러한 구조는 진공압의 저항이 더 크게 발생되는 바, 진공에 의해 흡기되는 공기의 체적을 넓혀 급기량 대비 흡입량의 균형을 맞추기 위함이다.On the other hand, as shown in FIG. 4 , any one of the pressure holding plates 20 has a shape of the pressure holding hole 21 communicating with the vacuum hole 12 is composed of only a single pressure holding chamber 211 without a passage 212 . can This structure is to increase the volume of the air sucked by the vacuum, since the resistance of the vacuum pressure is greater, to balance the suction amount compared to the supplied air amount.

여기서 상기 진공홀(12)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212)는 흡기되는 공기량을 증대시키기 위해 상기 급기홀(11)과 상통되는 압력유지홀(21)의 통로(212) 보다 상대적으로 내경을 크게 형성하여 구성될 수 있다.(도 4에 도시)Here, the passage 212 of the pressure maintaining hole 21 communicating with the vacuum hole 12 is greater than the passage 212 of the pressure maintaining hole 21 communicating with the air supply hole 11 in order to increase the amount of intake air. It can be configured by forming a relatively large inner diameter. (shown in FIG. 4)

때문에 상기 탑플레이트(10)는 디스플레이 패널의 저항이 있는 부위 및 저항이 없는 부위 곳에서도 진공압과 급기압이 변하지 않아 디스플레이 패널(200)을 흔들림 없이 안정적으로 부상시킬 수 있게 된다.Therefore, in the top plate 10 , the vacuum pressure and the air supply pressure do not change even in a portion with resistance and a portion without resistance of the display panel, so that the display panel 200 can be stably floated without shaking.

아울러 상기 탑플레이트(10)의 저면에 배치되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 통로(212)가 상기 급기홀(11) 또는 진공홀(12)에 연결되어 급기 또는 흡입되는 구조이고, 상기 압력유지실(211)은 하부에 중첩된 또는 압력유지플레이트(20)의 통로(212)와 상통되는 구조이다.In addition, the pressure maintaining hole 21 of the pressure maintaining plate 20 disposed on the bottom surface of the top plate 10 is connected to the air supply hole 11 or the vacuum hole 12 through the passage 212 to supply or suck air. structure, and the pressure holding chamber 211 has a structure overlapping the lower portion or communicating with the passage 212 of the pressure holding plate 20 .

또한 최하층에 배치된 압력유지플레이트(20)의 압력유지홀(21)은 제1바텀플레이트(30) 및 제2바텀플레이트(40)와 상통되어 급기를 위한 급기압과, 흡입을 위한 진공압을 각각 개별적으로 공급 받을 수 있도록 구성된다.In addition, the pressure holding hole 21 of the pressure holding plate 20 disposed on the lowermost layer communicates with the first bottom plate 30 and the second bottom plate 40 to supply air pressure for air supply and vacuum pressure for suction. It is configured so that each can be supplied individually.

여기서 상기 제1바텀플레이트(30)는 도 5와 같이, 진공홀(12)로 음압에 의해 공기를 흡입하기 위해 압력유지플레이트(20)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 진공로(31)와, 상기 진공로(31)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제1분기로(311)가 형성되는 구조이다.Here, as shown in FIG. 5 , the first bottom plate 30 is fixed to the bottom surface of the pressure maintaining plate 20 in order to suck air by negative pressure into the vacuum hole 12 , and a vacuum furnace formed in parallel at a predetermined interval. It has a structure in which 31 and the first branch passage 311 branching in a tree shape are formed on both sides of the vacuum furnace 31 in the longitudinal direction.

여기서 상기 각 제1분기로(311)는 진공홀(12)과 상통되는 압력유지플레이트(20)의 압력유지실(211)와 개별적으로 연통되어 통해 공기를 음압에 의해 흡입시킬 수 있도록 구성된다.Here, each of the first branch passages 311 communicates with the pressure retention chamber 211 of the pressure retention plate 20 communicating with the vacuum hole 12 and is configured to allow air to be sucked through by negative pressure.

이러한 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 진공로(31)에는 제1분기로(311)와 별개로 복수의 제1연결로(312)가 형성되는데, 이러한 제1연결로(312)에는 진공압을 공급받기 위한 제1통공(313)이 더 형성된다.In each vacuum furnace 31 of the first bottom plate 30 , a plurality of first connection passages 312 are formed separately from the first branch passage 311 . A first through hole 313 for receiving pneumatic pressure is further formed.

이 때 상기 제1통공(313)은 도 6과 같이, 제2바텀플레이트(40)까지 연장되어 제2바텀플레이트(40)의 간섭없이 흡기를 위한 흡기압을 공급할 수 있도록 이루어진다.At this time, as shown in FIG. 6 , the first through hole 313 is extended to the second bottom plate 40 to supply an intake pressure for intake air without interference of the second bottom plate 40 .

아우러 상기 제2바텀플레이트(40)는 도 6과 같이, 급기홀(11)로 공기를 공급하기 위해 상기 제1바텀플레이트(30)의 저면에 고정되고, 일정간격을 두고 병렬 형성되는 급기로(41)와, 상기 급기로(41)의 길이방향 양측에 트리 형태로 다수 분기되는 제2분기로(411)를 포함하는 구성이다.The second bottom plate 40 is fixed to the lower surface of the first bottom plate 30 in order to supply air to the air supply hole 11, as shown in FIG. 41) and a second branch passage 411 that is branched in a tree shape on both sides of the air supply passage 41 in the longitudinal direction.

여기서 상기 각 제2분기로(411)는 급기홀(11)과 상통되는 압력유지실(211)과 개별적으로 연통되어 급기를 위한 공기가 공급될 수 있도록 구성된다.Here, each of the second branch passages 411 communicates with the pressure holding chamber 211 in communication with the air supply hole 11 and is configured to supply air for air supply.

보다 상세하게는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 급기로(41)에는 제2분기로(411)와 별개로 복수의 제2연결로(412)가 형성되는데, 이러한 제2연결로(412)에는 급기압를 공급받기 위한 제2통공(413)이 더 형성된다.In more detail, in each supply passage 41 of the second bottom plate 40, a plurality of second connection passages 412 are formed separately from the second branch passage 411. These second connection passages 412 ) is further formed with a second through hole 413 for receiving the supply air pressure.

상기 매니폴드(50)는 한개 또는 복수개가 결합될 수 있으며, 도 7과 같이, 상기 제2바텀플레이트(40)의 저면에 고정되고, 제1바텀플레이트(30)의 급기로(41)와, 제2바텀플레이트(40)의 진공로(31)에 개별적으로 연통되는 급기공급로(51)와, 진공공급로(52)가 병렬로 나란히 형성되는 구조이다.One or a plurality of the manifolds 50 may be coupled, and as shown in FIG. 7 , the manifold 50 is fixed to the lower surface of the second bottom plate 40, and the air supply passage 41 of the first bottom plate 30 and, The second bottom plate 40 has a structure in which a supply air supply path 51 that is individually communicated with the vacuum path 31 and a vacuum supply path 52 are formed side by side in parallel.

여기서 도 8과 같이, 상기 급기공급로(51)는 상기 제2바텀플레이트(40)의 각 제2연결로(412)에 형성된 제2통공(413)과 연통시켜 상기 각 급기로(41)로 급기압이 공급되도록 기능한다.Here, as shown in FIG. 8 , the air supply passage 51 communicates with the second through hole 413 formed in each second connection passage 412 of the second bottom plate 40 to each air supply passage 41 . It functions to supply air pressure.

그리고 상기 진공공급로(52)는 상기 제1바텀플레이트(30)의 각 제1연결로(312)에 형성된 제1통공(313)과 연통시켜 상기 각 진공로(31)로 진공압이 공급되도록 기능한다.And the vacuum supply path 52 communicates with the first through holes 313 formed in each first connection path 312 of the first bottom plate 30 to supply vacuum pressure to each vacuum path 31 . function

또한 상기 매니폴드(50)의 저면에는 상기 급기공급로(51)와 상통되는 급기단자홀(511)과, 상기 진공공급로(52)와 상통되는 진공단자홀(521)을 더 포함한다.In addition, the lower surface of the manifold 50 further includes an air supply terminal hole 511 communicating with the air supply passage 51 and a vacuum terminal hole 521 communicating with the vacuum supply passage 52 .

이 때 상기 매니폴드(50)는 상기 진공단자홀(521)과, 급기단자홀(511)에는 진공호스(61)와 급기호스(62)를 연결시키기 위한 소켓블럭(60)이 결합되어 구성될 수 있다.At this time, the manifold 50 has the vacuum terminal hole 521 and the air supply terminal hole 511 has a socket block 60 for connecting the vacuum hose 61 and the air supply hose 62 to be configured. can

한편 본 발병의 디스플레이 패널 부상 스테이지(100)는 처짐이 발생되는 디스플레이 패널(200)의 사이드 양측으로 진공압 없이 급기압만 발생되도록 하여 디스플레이 패널(200)의 평탄도를 유지할 수 있도록 구성된다.On the other hand, the display panel injury stage 100 of the present disease is configured to maintain the flatness of the display panel 200 by generating only supply pressure without vacuum pressure on both sides of the side of the display panel 200 where sagging occurs.

이를 위해 상기 탑플레이트(10)는 도 1과 같이, 사이드 양측 1열 횡대를 따라 진공홀(12) 없이 급기홀(11)만이 일정간격을 두고 배치된다.To this end, as shown in FIG. 1 , in the top plate 10 , only the air supply holes 11 without the vacuum holes 12 are disposed at a predetermined interval along the side first row on both sides.

그리고 상기 제2바텀플레이트(40)의 급기로(41) 중 사이드 양측에 배치된 급기로(41)는 제2분기로(411)가 없는 보조급기로(42)가 상기 각 급기홀(11)과 상통되게 이루어진다.And, as for the supply passages 41 disposed on both sides of the supply passages 41 of the second bottom plate 40, the auxiliary supply passages 42 without the second branch passages 411 are provided in the respective air supply holes 11. is done in accordance with

이러한 상기 제2바텀플레이트(40)의 보조급기로(42)에는 공기를 공급받기 위한 제3통공(421)이 형성될 수 있다.A third through hole 421 for receiving air may be formed in the auxiliary air supply passage 42 of the second bottom plate 40 .

그리고 상기 매니폴드(50)는 2개의 보조급기로(42)에 개별적으로 공기를 공급하는 보조공급로(53)가 더 형성될 수 있다.And the manifold 50 may be further formed with an auxiliary supply passage 53 for supplying air individually to the two auxiliary air supply passages (42).

아울러 상기 매드폴드(60)의 상면 역시 상기 보조공급로(53)와 상통되는 2개의 보조단자홀(531)이 형성되고, 이러한 2개의 보조단자홀(531)에는 각각 단독으로 급기압을 공급할 수 있는 보조소켓블럭(70)이 결합되어 구성된다.In addition, the upper surface of the mad fold 60 is also formed with two auxiliary terminal holes 531 in communication with the auxiliary supply path 53, and each of these two auxiliary terminal holes 531 can supply air pressure independently. The auxiliary socket block 70 is coupled to each other.

이를 통해 상기 탑플레이트(10)의 사이드 양측 1열 횡대에 배치된 급기홀(11)은 개별적으로 별도의 급기압을 제공할 수 있어 디스플레이 패널(200)의 평탄도와 더불어, 디스플레이 패널(200)의 크기에 따라 디스플레이 패널(200)이 직진 이송되게 에어펜스의 기능을 겸할 수 있다.Through this, the air supply holes 11 disposed in the first row on both sides of the top plate 10 can provide separate air supply pressure individually, so that in addition to the flatness of the display panel 200 , the display panel 200 . Depending on the size, the display panel 200 may serve as an air fence to be transported in a straight line.

이상에서와 설명된 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지의 급기와 흡기 경로는 다음과 같다.The supply and intake paths of the display panel floating stage of the present invention described above and described above are as follows.

도8 및 도 9를 참고하면 다음과 같다.8 and 9, as follows.

흡기: 진공탱크(미도시) → 소켓블럭 → 매니폴드(진공단자홀 → 진공공급로) → 제1바텀플레이트(제1연결로→제1통공→제1분기로-진공로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(진공홀)Intake: Vacuum tank (not shown) → Socket block → Manifold (vacuum terminal hole → vacuum supply path) → 1st bottom plate (1st connection path → 1st through hole → 1st branch path - vacuum path) → Pressure retention plate (Pressure holding hole (pressure holding chamber → passage) → Top plate (vacuum hole)

급기: 압축탱크(미도시) → 소켓블럭 → 매니폴드(급기단자홀 → 급기공급로) → 제2바텀플레이트(제2연결로→제2통공→제2분기로-급기로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(급기홀)Supply air: Compression tank (not shown) → Socket block → Manifold (air supply terminal hole → supply air supply path) → 2nd bottom plate (2nd connection path → 2nd through hole → 2nd branch path-supply path) → Pressure retention plate (Pressure holding hole (pressure holding chamber → passage) → Top plate (air supply hole)

탑플레이트의 외각 가장자리 급기: 압축탱크(미도시) → 보조소켓블럭 → 매니폴드(보조단자홀 → 보조공급로) → 제2바텀플레이트(제3통공→보조급기로) → 압력유지플레이트(압력유지홀(압력유지실→통로) → 탑플레이트(급기홀)Air supply to the outer edge of the top plate: Compression tank (not shown) → Auxiliary socket block → Manifold (auxiliary terminal hole → auxiliary supply path) → 2nd bottom plate (3rd hole → auxiliary supply path) → pressure retention plate (pressure maintenance) Hall (pressure chamber → passage) → Top plate (supply hole)

한편, 도 10은 다른 실시예의 탑플레이트를 나타내는 사진이다.Meanwhile, FIG. 10 is a photograph showing a top plate of another embodiment.

도 10과 같이, 상기 탑플레이트(10)의 각 진공홀(12)에는 디스플레이(200)의 진행 방향으로 연장된 그루브(Groove)홈(121)이 더 형성되어 구성될 수 있다.10 , each vacuum hole 12 of the top plate 10 may further include a groove 121 extending in a moving direction of the display 200 .

이러한 상기 각 그루브홈(121)은 디스플레이(200)의 끝에 휘어져 있는 경우, 진공홀(12)의 위치에서 탑플레이트(10) 표면과 마찰에 의해 디스플레이(200) 또는 탑플레이트(10)에 스크레치가 발생할 수도 있으므로, 이를 방지하기 위해 진공압의 형성을 늦추는 기능을 한다.When each of these grooves 121 is bent at the end of the display 200, there is a scratch on the display 200 or the top plate 10 due to friction with the surface of the top plate 10 at the position of the vacuum hole 12. Since it may occur, it functions to delay the formation of vacuum pressure in order to prevent this.

이상에서와 같이, 본 발명의 디스플레이 패널 부상 스테이지에는 용도에 따라 검사기, 물류, 특수 공정장비, coater(약액 도포기), 측장기에도 사용할 수 있다.As described above, the display panel floating stage of the present invention can be used in inspection machines, logistics, special process equipment, coater (chemical liquid applicator), and length measuring machines depending on the use.

또한 본 발명에 사용된 기체는 공기 이외에, 질소도 사용할 수 있고, 이 밖에도 증류수와 같은 액체류도 사용할 수 있다.In addition, nitrogen may be used as the gas used in the present invention, and liquids such as distilled water may also be used.

또한 상기 탑플레이트의 사이드 양측 1열에는 급기홀만이 형성되는 구조이지만, 이 밖에도 진공압을 공급하여 진공홀의 기능을 할 수 있게 기능할 수 있게 구성할 수 있으며, 또한 급기홀에 급기압과 진공압을 선택적으로 공급될 수 있도록 보조소켓에 진공호스와 급기호스를 연결하여 구성할 수 있다.In addition, although only air supply holes are formed in the first row on both sides of the top plate, it can be configured to function as a vacuum hole by supplying vacuum pressure. It can be configured by connecting a vacuum hose and an air supply hose to the auxiliary socket so that pneumatic pressure can be selectively supplied.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all the technical spirit of the present invention, so various equivalents that can be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be variations and examples.

10: 탑플레이트
11: 급기홀 12: 진공홀
121: 그루브홈
20: 압력유지플레이트
21: 압력유지홀 211: 압력유지실
212: 통로
30: 제1바텀플레이트
31: 진공로 311: 제1분기로
312: 제1연결로 313: 제1통공
40: 제2바텀플레이트
41: 급기로 411: 제2분기로
412: 제2연결로 413: 제2통공
42: 보조급기로 421: 제3통공
50: 매니폴드 51: 급기공급로 511: 급기단자홀
52: 진공공급로 521: 진공단자홀
53: 보조공급로 531: 보조단자홀
60: 소켓블럭 61: 진공호스 62: 급기호스
70: 보조소켓블럭
100: 디스플레이 패널 부상 스테이지
200: 디스플레이 패널10: top plate
11: air supply hole 12: vacuum hole
121: groove groove
20: pressure retention plate
21: pressure holding hole 211: pressure holding chamber
212: passage
30: first bottom plate
31: vacuum furnace 311: first branch furnace
312: first connection road 313: first through hole
40: second bottom plate
41: supply air 411: second branch
412: second connection road 413: second through hole
42: auxiliary supply air 421: third hole
50: manifold 51: supply air supply path 511: air supply terminal hole
52: vacuum supply path 521: vacuum terminal hole
53: auxiliary supply path 531: auxiliary terminal hole
60: socket block 61: vacuum hose 62: air supply hose
70: auxiliary socket block
100: display panel floating stage
200: display panel

Claims

a top plate 10 in which a plurality of air supply holes 11 and vacuum holes 12 are alternately formed in order to stably float the display panel 200;
The air supply pressure sprayed from the air supply hole 11 of the top plate 10 and the vacuum pressure suctioned from the vacuum hole 12 are in common with each of the air supply holes 11 and the vacuum hole 12 to keep constant. A plurality of pressure retention plates 20 overlapping in a state in which a plurality of pressure retention holes 21 are formed;
a first bottom plate (30) fixed to a lower surface of the pressure maintaining plate (20) to supply vacuum pressure to each of the vacuum holes (12);
a second bottom plate 40 fixed to a lower surface of the first bottom plate 30 to supply air pressure to each of the air supply holes 11; and
A vacuum supply path 52 fixed to the bottom surface of the second bottom plate 40 and communicating with the first bottom plate 30 , and a supply air supply path 51 communicating with the second bottom plate 40 ) A plurality of manifolds 50 are formed side by side in parallel;
The pressure holding hole 21 is composed of a pressure holding chamber 211 formed in the lower portion, and a passage 212 eccentrically communicating with the upper portion of the pressure holding chamber 211,
The passage 212 is formed to have a relatively smaller inner diameter than the pressure holding chamber 211,
The passage 212 formed in the pressure retaining hole 21 of each pressure retaining plate 20 is eccentric to the left or right so that the eccentric position with the passage 212 of the overlapping pressure retaining plate 20 can be arranged in a zigzag manner. Display panel floating stage, characterized in that formed to be.

According to claim 1,
The first bottom plate 30 has a vacuum furnace 31 formed in parallel at a predetermined interval, and a plurality of branches in a tree shape on both sides in the longitudinal direction of each vacuum furnace 31 to communicate with the vacuum hole 12 . Display panel floating stage, characterized in that the first branch (311) is formed.

According to claim 1,
The second bottom plate 40 is fixed to the lower surface of the first bottom plate 30 in order to supply air pressure to the air supply hole 11, and a supply passage 41 formed in parallel at a predetermined interval; A display panel floating stage, characterized in that a plurality of branches in the form of a tree on both sides in the longitudinal direction of each air supply passage (41) to form a second branch passage (411) in communication with the air supply hole (11).

delete

According to claim 1,
Any one of the pressure holding plates 20 is a display panel, characterized in that the form of the pressure holding hole 21 communicating with the vacuum hole 12 is composed of only a single pressure holding chamber 211 without a passage 212 injury stage.

According to claim 1,
Display panel floating stage, characterized in that each vacuum hole (12) of the top plate (10) is further formed with a groove (Groove) groove (121) extending in the moving direction of the display (200).