KR102396219B1 - 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키도록 구성된다.

Description

캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법 {APPARATUS FOR CLAMPING CARRIER FILM AND OPERATING METHOD THEREOF}

본 발명은 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 필름의 손상을 방지하고 고정 및 해제가 용이한 구조의 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 소자 제조 기술에 의하여 제조된 반도체 칩에 의하여 다양한 종류의 전자 제품들의 성능이 크게 향상되고 전자 제품의 사이즈는 크게 감소되고 있다.

이 중 적층 세라믹 커패시터(Multi Layer Ceramic Condencer : 반도체소자)는 전기를 축적하거나 전류를 안정시키기 위하여 사용되는 커패시터(축전지)의 한 종류로서, 그 크기가 작고 정전용량이 커서 최근 휴대전화, MP3 플레이어, PMP 등 휴대용 전자기기에 널리 사용되고 있다. 특히 스마트 폰에는 한 대당 약 1,000~2,000개 이상 사용되고 있고, 점점 스마트해지는 자동차에도 MLCC의 사용이 10,000~20,000여 개에 달할 정도로 그 활용도가 높다.

이러한 반도체소자는 세라믹 시트와 내부 금속 전극을 수십 내지 수백 층 교대로 적층한 후 외부전극을 연결함으로써 완성되며, 그 크기는 1mm 이하부터 수십 mm까지 다양하여 점차 소형화 추세로 진행되고 있다. 반도체소자에 사용되는 세라믹 시트는 지지체 상에 세라믹 슬러리가 균일하게 도포된 후 소성하여 형성되고, 기계적 강도, 치수 안정성, 내열성, 가격경쟁력 등이 우수한 2축 연신 폴리에스테르 필름이 기재로 사용되며, 그 일면에 고분자 실리콘 피막 도공(塗工)된 이형필름 형태로 사용되고 있다.

상기 반도체소자의 제작 공정 중 하나의 예로서 반도체나 전자부품 등의 제조에서 웨이퍼 레벨의 제조 후 다이싱을 하여 부품을 핸들링하거나 다음 공정으로 진행될 때 이용되는 캐리어 필름 확장 공정에서 확장과 확장 후에 캐리어 필름의 클램핑이 필요하다.

도 1은 종래의 클램프 장치의 모식도이다.

도 1을 참조하면 캐리어 필름(10)을 지지링(20)에 공급하고 가압링(30)이 상방으로부터 하강하여 상기 캐리어 필름(10)을 클램핑하도록 구성되어 있다.

그러나 이러한 종래의 클램프 장치는 캐리어 필름의 클램핑시에 지지링(20)과 가압링(30) 사이의 간격 조절이 어려워 손상 또는 절단이 발생하는 경우가 많거나 클램핑이 제대로 이루어지지 않아 공정 효율성 및 품질을 저하시키는 문제가 된다.

대한민국 등록특허출원 제 10-1095512 호

본 발명의 일 실시 예는 상기 종래 기술의 문제점을 극복하기 위하여 캐리어 필름의 손상이나 절단 없이 클램핑이 이루어져 공정 효율성을 향상시키고 품질을 향상시킬 수 있는 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법을 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시킬 수 있다.

상기 내측링의 내측링 외측면은 수직 방향을 기준으로 하광상협 형태로 경사진 구조일 수 있다.

상기 내측링 외측면은 상기 탄성체의 형상에 대응되는 형상일 수 있다.

상기 내측링 외측면에는 오목부가 형성될 수 있다.

상기 외측링은 상부에서 하방향으로 이동하여 상기 외측링에 구비되어 있는 상기 탄성체와 상기 내측링 외측면이 밀착하여 상기 캐리어 필름을 고정할 수 있다.

상기 탄성체의 탄성체 외측면은 수직 방향을 기준으로 상광하협 형태로 경사진 구조일 수 있다.

상기 탄성체의 탄성체 외측면에는 돌기부가 형성될 수 있다.

상기 돌기부는 복수개가 이격 형성될 수 있다.

상기 오목부와 상기 돌기부가 결합하여 상기 캐리어 필름을 고정할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 크기가 다른 복수개의 이형 돌기부가 이격 형성될 수 있다.

상기 이형 돌기부는 하측에 위치하는 하측 이형 돌기부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 돌기부의 크기보다 큰 구조일 수 있다.

상기 내측링 외측면에는 이형 오목부가 형성되어 있고, 상기 이형 오목부는 하측에 위치하는 하측 이형 오목부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 오목부의 크기보다 큰 구조일 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 반구 형상의 복수개가 이격되어 위치할 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 구 형상의 복수개가 이격 형성될 수 있다.

상기 외측링에는 상기 탄성체가 위치하는 만입홈이 각각 형성될 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 반도체소자 제조 장치에 있어서 캐리어 필름을 지지하는 내측링 및 상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링을 포함하고, 상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체의 외면은 편평한 면 형상일 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법으로서, 캐리어 필름을 공급하여 내측링으로 지지하는 단계, 외측링이 상기 내측링을 향해 이동하는 단계, 및 상기 외측링에 구비되어 있는 탄성체와 내측링이 밀착하여 상기 캐리어 필름을 고정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 캐리어 필름을 고정하는 단계는 상기 내측링에 형성되어 있는 오목부와 상기 탄성체에 형성되어 있는 돌기부가 결합하여 상기 캐리어 필름을 밀착 고정할 수 있다.

본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 캐리어 필름의 손상이나 절단을 방지하면서 클램핑이 이루어져 공정 효율성 및 품질을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.

도 1은 종래의 클램프 장치의 모식도이다.
도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.
도 7은 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법의 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 실험예이다.

이하 설명하는 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로 이에 의해 본 발명이 한정되지는 않는다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시 예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 연결되어 있거나 접속되어 있다고 언급될 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 한다.

도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.

도 2를 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1000)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키도록 구성되어 있다.

하나의 구체적인 예에서 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)은 수직 방향을 기준으로 하광상협 형태의 경사진 구조로서 상기 내측링 외측면(110)에는 오목부(112)가 형성되어 있고, 이때 상기 내측링 외측면(110)은 상기 탄성체(210)의 외부 형상에 대응되는 형상이 바람직하다.

여기서 상기 외측링(200)은 상부에서 하방향으로 이동하여 상기 외측링(200)에 구비되어 있는 상기 탄성체(210)와 상기 내측링 외측면(110)이 밀착하여 상기 캐리어 필름(10)을 고정하도록 되어 있다.

본 발명에 따르면 상기 탄성체(210)는 수직 방향을 기준으로 상광하협 형태로 경사져 있으며, 상기 탄성체(210)의 탄성체 외측면(211)에는 돌기부(212)가 형성되어 있고, 상기 돌기부(212)는 복수개가 이격 형성되어 있다. 상기 돌기부(212)는 반원, 타원형 또는 다각형 형상일 수 있다.

이러한 구조에 의해 상기 오목부(112)와 상기 돌기부(212)가 상호 대응되는 형상의 결합되는 구조로서 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정하게 된다. 이때 상기 오목부(112)와 상기 돌기부(212)는 각각 복수개가 형성되어 있는 것이 바람직하고, 연속적으로 형성되어 있는 것도 바람직하다.

한편 상기 내측링 외측면(110)과 상기 탄성체 외측면(211)은 수직 단면을 기준으로 경사 각도 α의 범위는 3° 내지 5°가 바람직하다. 상기 경사 각도 범위를 벗어나서 작은 경우에는 상기 캐리어 필름(10)이 손상되거나 절단되고, 상기 경사 각도 α보다 큰 경우에는 상기 캐리어 필름(10)을 장시간 유지하지 못하여 바람직하지 않다.

도 3은 본 발명의 다른 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.

도 3을 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1010)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체(210)의 탄성체 외측면(211)에는 크기가 다른 복수개의 이형 돌기부(213, 214)가 이격 형성되어 있다.

본 발명에 따르면 상기 이형 돌기부(213, 214)는 하측에 위치하는 하측 이형 돌기부(214)의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 돌기부(213)의 크기보다 크고, 이에 대응하여 상기 내측링 외측면(110)에는 이형 오목부(113, 114)가 각각 형성되어 있으며, 상기 이형 오목부(113, 114)는 하측에 위치하는 하측 이형 오목부(114)의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 오목부(113의 크기보다 큰 구조이다. 이는 상기 외측링(200)이 상방으로부터 상기 내측링(100)을 향해 하강하는 경우에 상측 이형 돌기부의 걸림 없이 정위치에 위치하도록 하기 위함이며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.

도 4를 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1020)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시킨다.

여기서 상기 탄성체(210)는 반구 형상의 복수개가 이격되어 위치하고 있고, 상기 내측링(100)에 형성되어 있는 오목부(112)와 각각 결합하게 되며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.

도 5를 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1030)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시킨다.

여기서 상기 외측링(200)의 외측링 외측면(201)에는 상기 탄성체(210)가 위치하는 만입홈(202)이 각각 형성되어 있고, 상기 만입홈(202)에는 구 형상의 복수개의 탄성체(210)가 각각 이격되어 위치하고 있다. 상기 탄성체(210)는 상기 내측링(100)에 형성되어 있는 오목부(112)와 각각 결합하게 되며 다른 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 모식도이다.

도 6을 참조하면 또 다른 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치(1040)는 캐리어 필름(10)을 지지하는 내측링(100) 및 상기 내측링(100)의 내측링 외측면(110)과 결합되어 상기 캐리어 필름(10)을 고정하는 외측링(200)을 포함하고, 상기 외측링(200)에는 탄성체(210)가 구비되어 상기 캐리어 필름(10)을 상기 내측링(100)에 밀착 고정시키되, 상기 탄성체(210)의 외면은 편평한 면 형상이다.

도 7은 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 방법의 흐름도이고, 도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 실험예이다.

도 7 및 도 8을 다른 도면들과 함께 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 캐리어 필름 클램프 장치의 작동 관계 및 작동 방법은 캐리어 필름(10)을 내측링(100)에 공급하여 상기 내측링(100)의 상면과 내측링 외측면(110)에 의해 지지되도록 하고(S110), 상기 외측링(200)이 상기 내측링(100)을 향해 이동된다(S120).

이어서 상기 외측링(200)에 구비되어 있는 상기 탄성체(210)와 상기 내측링(100)이 상호 밀착하여 상기 캐리어 필름(10)을 고정하게 된다(S130).

여기서 상기 캐리어 필름(10)을 고정할 때 상기 내측링(100)에 형성되어 있는 오목부(112)와 상기 탄성체(210)에 형성되어 있는 돌기부(212)가 상호 결합하여 상기 내측링(100)와 상기 외측링(200)의 결합 정확성이 향상되고 상기 캐리어 필름(10)을 밀착 고정하게 된다.

또한 상기 외측링(200)이 상기 내측링(100)에 정확한 위치로 이동하지 못하는 경우가 발생하여도 상기 탄성체(210)에 의해 정위치로 조절되어 상기 캐리어 필름(10)의 유지력이 지속된다.

이러한 작동 방법에 의한 실험예를 나타낸 표를 참조하면 상기 내측링 외측면(110)과 상기 탄성체 외측면(211)은 수직 단면을 기준으로 경사 각도 α의 범위가 3° 내지 5°인 경우에 클램핑 유지시간이 우수한 것을 알 수 있다.

상기 경사 각도 α의 범위가 3°보다 작은 경우에 상기 캐리어 필름(10)의 클램핑 유지시간이 짧고 손상이 발생된다. 또한 α의 범위가 5°보다 크면 상기 캐리어 필름(10)의 클램핑 유지시간이 짧고 유지력이 저하되는 것을 알 수 있는데 이는 경사 각도 α뿐만 아니라 상기 캐리어 필름(10)과 상기 내측링(100) 및 상기 외측링(200) 사이에 작용하는 마찰력에 기인한다.

따라서 본 발명에 따른 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법은 캐리어 필름의 손상이나 절단을 방지하면서 정확한 위치에서 클램핑이 이루어져 공정 효율성 및 품질을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 여러 가지 실시 가능한 예 중에서 당 업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 제시된 실시 예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시 예가 가능함을 밝혀둔다.

10: 캐리어 필름 20: 지지링
30: 가압링 100: 내측링
110: 내측링 외측면 112: 오목부
113: 상측 이형 오목부 114: 하측 이형 오목부
200: 외측링 201: 외측링 외측면
202: 만입홈 210: 탄성체
211: 탄성체 외측면 212: 돌기부
213: 상측 이형 돌기부 214: 하측 이형 돌기부
1000, 1010, 1020, 1030, 1040: 캐리어 필름 클램프 장치

Claims (18)

1. 삭제
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10. 반도체소자 제조공정의 캐리어 필름 클램프 장치에 있어서,
    캐리어 필름을 지지하는 내측링; 및
    상기 내측링의 내측링 외측면과 결합되어 상기 캐리어 필름을 고정하는 외측링;을 포함하고,
    상기 외측링에는 탄성체가 구비되어 상기 캐리어 필름을 상기 내측링에 밀착 고정시키고, 상기 탄성체는 크기가 다른 복수개의 이형 돌기부가 이격 형성되고,
    상기 이형 돌기부는 하측에 위치하는 하측 이형 돌기부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 돌기부의 크기보다 크고,
    상기 내측링 외측면에는 이형 오목부가 형성되어 있고, 상기 이형 오목부는 하측에 위치하는 하측 이형 오목부의 크기가 상측에 위치하는 상측 이형 오목부의 크기보다 크며,
    상기 이형 돌기부 및 상기 이형 오목부는 각각 반구 형상인 것을 특징으로 하는 캐리어 필름 클램프 장치.
    
    
    
    
    
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