KR102352030B1 - 밸브 장치 및 밸브 제어 장치 - Google Patents

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Abstract

온도 변화에 의해 생기는 수지 부재의 열팽창에 따르는 개도 변화나 유량 변동을 억제하기 위해서, 액추에이터(3)에 구동 전압을 인가하여 밸브체(2)를 변위시키는 밸브 장치(100)로서, 밸브체(2)의 위치를 검출하는 위치 센서(7)와, 위치 센서(7)의 검출 위치에 근거하여 구동 전압을 조정하는 전압 조정부(44)와, 밸브체(2)의 온도를 검출하는 온도 센서(8)를 구비하며, 밸브체(2)의 착좌면(2X)은, 수지 부재(21)에 의해 형성되어 있고, 전압 조정부(44)는, 온도 센서(8)의 검출 온도에 따라 구동 전압의 설정값을 변경한다.

Description

밸브 장치 및 밸브 제어 장치{Valve device and valve control device}
본 발명은, 밸브체를 액추에이터에 의해 변위시키는 밸브 장치, 및, 액추에이터에 인가하는 구동 전압을 제어하는 밸브 제어 장치에 관한 것이다.
밸브 장치로서는, 밸브 시트(seat)에 대해서 접리(接離) 가능하게 마련된 밸브체와, 상기 밸브체를 변위시키는 예를 들면 피에조 소자 등의 액추에이터를 구비하며, 상기 액추에이터에 인가하는 구동 전압을 제어하는 것에 의해서 밸브 개도(開度)를 제어하는 것이 있다.
근래에는, 밸브 장치의 폐지성(閉止性)을 개선할 수 있도록, 밸브체의 착좌면(着座面)에 수지(樹脂) 부재를 마련한 구성의 것이 있으며, 고온 환경하에서 이 구성에서는 수지 부재가 밸브 시트측으로 팽창하여 유량의 저하가 커지기 쉽다(도 4 참조). 도 5에, 밸브체의 착좌면에 수지 부재를 마련한 구성에서, 밸브체의 주변 온도를 25℃→60℃→25℃로 변화시킨 경우의 유량 변화를 나타낸다. 또, 도 5에는, 4종류의 밸브를 시험한 결과를 나타내고 있다. 이 도 5로부터, 25℃에서는 유량의 변동은 작고, 재현성 좋게 유량이 얻어지고 있는 것을 알 수 있다. 또, 액추에이터인 피에조 소자로의 인가 전압은 100V이며, 밸브로의 유체의 공급 게이지압은 50kPa이다. 이 도 5로부터 알 수 있는 바와 같이, 25℃ 환경하와 동일한 구동 전압을 인가해도 60℃ 환경하에서는 유량이 저하해 버린다고 하는 현상이 확인되었다.
여기서, 종래의 밸브 장치에서는, 액추에이터에 인가하는 구동 전압의 조작 범위의 상한값은 고정되어 있는 경우가 많다. 이 조작 범위의 상한값은, 사용 가능 온도 범위 내(예를 들면 25℃~60℃)에서 풀 스케일(full scale) 유량을 흘리기 위해, 기준 온도(예를 들면 25℃) 환경하에서의 풀 스케일 유량을 흘리기 위한 구동 전압에 대해서, 개체차 등을 허용하는 여유분(마진)을 더한 값으로 하고 있다. 또, 풀 스케일 유량은, 밸브 장치를 조립한 매스 플로우 컨트롤러를 생각한 경우에, 그 구성으로 흘릴 수 있는 최대 유량값이며, 밸브 장치의 풀 오픈시에 흘릴 수 있는 유량 보다도 적은 유량이다.
이 조작 범위의 상한값으로서, 위에서 설명한 고온(예를 들면 60℃) 환경하에서 사용하는 경우에 생기는 밸브체의 열팽창을 허용하는 마진을 더한 값으로서, 일률적으로 그 상한값으로 하는 것이 고려되어진다.
그렇지만, 조작 범위의 상한값이 고온(예를 들면 60℃) 환경하의 열팽창을 허용하는 값인 경우, 상온(예를 들면 25℃) 환경하에서 풀 스케일 유량으로 제어하면, 과도 응답에 의해 오버슛량(overshoot量)도 커져 버려, 응답성이 나빠져 버린다(도 6 참조). 또, 상온에서의 유량 제어에서 제어 정밀도(분해능)가 나빠져 버린다고 하는 문제가 있다.
특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2008－196596호 공보
그래서 본 발명은, 상기 문제점을 해결할 수 있도록 이루어진 것이며, 온도 변화에 의해 생기는 수지 부재의 열팽창에 따른 개도 변화나 유량 변동을 억제하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉 본 발명에 관한 밸브 장치는, 액추에이터에 구동 전압을 인가하여 밸브체를 변위시키는 밸브 장치로서, 상기 밸브체의 위치를 검출하는 위치 센서와, 상기 위치 센서의 검출 위치에 근거하여 상기 구동 전압을 조정하는 전압 조정부와, 상기 밸브체 또는 상기 밸브체 주변의 온도를 검출하는 온도 센서를 구비하며, 상기 밸브체의 착좌면(着座面)은, 수지(樹脂) 부재에 의해 형성되어 있고, 상기 전압 조정부는, 상기 온도 센서의 검출 온도에 따라 상기 구동 전압의 설정값을 변경하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 관한 밸브 제어 장치는, 착좌면이 수지 부재에 의해 형성된 밸브체를 구동하는 액추에이터의 구동 전압을 제어하는 밸브 제어 장치로서, 상기 밸브체의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득하는 위치 정보 취득부와, 상기 위치 정보 취득부가 취득한 검출 위치에 근거하여 상기 구동 전압을 조정하는 전압 조정부와, 상기 밸브체 또는 상기 밸브체 주변의 온도를 나타내는 온도 정보를 취득하는 온도 정보 취득부를 구비하며, 상기 전압 조정부는, 상기 온도 정보 취득부가 취득한 온도 정보에 따라 상기 구동 전압의 설정값을 변경하는 것을 특징으로 한다.
이들 밸브 장치 및 밸브 제어 장치라면, 위치 센서의 검출 위치에 근거하여 구동 전압을 조정하는 전압 조정부가, 온도 센서의 검출 온도에 따라 액추에이터에 인가하는 구동 전압의 설정값을 변경하고 있으므로, 각 온도에 대응한 설정값이 되어, 응답성 및 제어 정밀도의 악화를 막을 수 있다. 따라서, 온도 변화에 의해 생기는 수지 부재의 열팽창에 따른 유량 변동을 억제할 수 있다. 또, 전압 조정부는, 위치 센서의 검출 위치에 근거하여 구동 전압을 조정하는 것이며, 유량 센서의 유량을 이용하여 유량 제어하는 경우에 비해 응답성을 좋게 할 수 있다.
또, 밸브 장치의 상류측 또는 하류측에 마련한 유량 센서에 의해 유량을 검출하고, 상기 검출 유량이 목표값이 되도록 밸브 장치의 개도를 제어하는 경우에는, 이하의 문제가 있다. 즉, 밸브체의 크리프(creep) 현상, 또는, 밸브체의 경시(經時) 변화 등에 의해, 밸브체가 밸브 시트로부터 이간하여 유체가 흐르기 시작하는 위치(흐름 시작 위치)는 밸브의 구동 횟수에 따라 변화하기 때문에, 구동 전압에 대해서 얻어지는 유량은 구동 횟수에 의해서 변화하게 된다. 이 때문에, 유량 센서의 유량을 이용하여 유량 제어하면 응답성이 나빠져 버린다.
구체적으로 상기 전압 조정부는, 상기 구동 전압을 소정의 조작 범위 내에서 조정하는 것이며, 상기 온도 센서의 검출 온도에 따라 상기 조작 범위의 상한값을 변경하는 것이 바람직하다.
수지 부재의 팽창량 또는 그것에 따르는 개도 저하량을 파악해 둠으로써, 그 영향을 정밀도 좋게 보정하기 위해서는, 상기 온도에서의 상기 수지 부재의 팽창량 또는 그것에 따르는 개도 저하량을 나타내는 팽창 관련 정보를 저장하는 팽창 관련 정보 저장부를 더 구비하며, 상기 전압 조정부는, 상기 검출 온도 및 상기 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 상기 수지 부재의 팽창량 또는 상기 개도 저하량에 근거하여, 상기 조작 범위의 상한값을 변경하는 것이 바람직하다.
위치 센서를 이용한 유량 제어에서, 수지 부재의 열팽창을 바람직하게 보정하기 위해서는, 상기 전압 조정부는, 상기 온도 센서의 검출 온도 및 상기 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 상기 수지 부재의 팽창량 또는 상기 개도 저하량과 상기 위치 센서의 검출 위치에 근거하여, 상기 구동 전압을 조정하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 전압 조정부가 온도 센서의 검출 온도에 따라 액추에이터에 인가하는 구동 전압의 조작 범위의 상한값을 변경하고 있으므로, 온도 변화에 의해 생기는 밸브체의 열팽창에 따르는 개도 변화나 유량 변동을 억제할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태의 밸브 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 실시 형태의 밸브 제어 장치의 기능 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 25℃, 40℃, 60℃에서의 구동 전압의 상한값 및 유량 변화를 나타내는 모식도이다.
도 4는 종래의 밸브체에 마련된 수지 부재의 열팽창의 모습을 나타내는 모식도이다.
도 5는 종래의 밸브 장치에서의 온도 변화에 따르는 유량 변화를 나타내는 그래프이다.
도 6은 종래의 고온 환경화의 열팽창을 허용하는 상한값으로 한 경우의 오버 슛을 나타내는 모식도이다.
이하에 본 발명에 관한 밸브 장치의 일 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태의 밸브 장치(100)는, 예를 들면 반도체 제조 프로세스에 이용되는 것이며, 유로를 흐르는 유량을 제어하는 매스 플로우 컨트롤러를 구성하는 것이다.
구체적으로 이 밸브 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 유로(R)를 흐르는 유체의 유량을 제어하는 것이며, 밸브 시트(20)에 대해서 접리(接離) 가능하게 마련된 밸브체(2)와, 상기 밸브체(2)를 밸브 시트(20)에 대해서 변위시키는 액추에이터(3)와, 상기 액추에이터(3)에 인가하는 구동 전압을 제어하는 제어 기기(4)를 구비하고 있다.
또, 본 실시 형태에서는, 상기 유로(R)는, 블록체(10)의 내부에 형성되어 있고, 상기 유로(R)는, 그 도중에서 블록체(10)의 일면(一面)에 개구하고 있다. 이 개구에 의해 유로(R)가 상류측 유로(R1) 및 하류측 유로(R2)로 분단(分斷)되어 있고, 상기 개구에 밸브 시트(20)가 형성되어 있다. 그리고, 이 개구 및 밸브 시트(20)를 폐색(閉塞)하도록 밸브 장치(100)가 장착된다.
밸브체(2)는, 블록체(10)에 장착되는 본체부(5)에 다이어프램(6)을 매개로 하여 일체적으로 마련되어 있다. 밸브체(2)의 착좌면(2X)은, 수지 부재(21)에 의해 형성되어 있다. 이 수지 부재(21)는, 밸브체(2)의 본체에 형성된 오목부(2M)에 마련되어 있다.
또, 본체부(5)의 내부 공간에는, 밸브 시트(20)에 대한 밸브체(2)의 상대 위치를 검출하는 위치 센서(7)가 마련되어 있다. 이 위치 센서(7)는, 본체부(5) 등의 정지(靜止)측에 마련되어 있고, 밸브체(2) 또는 밸브체(2)와 함께 이동하는 부재와의 상대 거리를 검출한다. 본 실시 형태의 위치 센서(7)는, 와전류(渦電流) 센서이며, 밸브체(2)와 함께 이동하는 도전성을 가지는 타겟(9)와의 거리를 측정한다
액추에이터(3)는, 상기 밸브체(2)를 구동하여 밸브 개도, 즉 밸브 시트(20)와 밸브체(2)와의 이간 거리를 설정하는 것이다. 이 액추에이터(3)는, 예를 들면, 피에조 소자를 복수매 적층하여 형성되는 피에조스택(piezostack)으로서, 인가되는 구동 전압에 의해서 변위가 제어되는 것이다. 본 실시 형태에서는, 액추에이터(3)에 구동 전압을 인가하는 것에 의해서, 액추에이터(3)가 신장하여 밸브체(2)가 밸브 시트(20)로부터 이간하는 구성(노멀 클로우즈(normal close) 타입)으로 하고 있다. 또, 밸브체(2)가 밸브 시트(20)로부터 이간하는 것에 의해서, 상류측 유로(R1) 및 하류측 유로(R2)가 연통한다.
제어 기기(4)는, 위치 센서(7)로부터의 위치 정보(위치 검출 신호)를 취득하여, 밸브체(2)의 위치 제어를 행하며, 밸브 개도를 제어하는 것이다. 또, 제어 기기(4)는, CPU, 메모리, 입출력 인터페이스 등을 구비한 소위 컴퓨터이다.
그리고, 제어 기기(4)는, 메모리에 저장되어 있는 제어 프로그램이 실행되어 각 부가 협동하는 것에 의해, 도 3에 나타내는 바와 같이, 적어도 온도 정보 취득부(41), 위치 정보 취득부(42), 팽창 관련 정보 저장부(43), 전압 조정부(44)로서의 기능을 발휘한다.
온도 정보 취득부(41)는, 밸브체(2) 또는 밸브체(2) 주변의 온도를 검출하는 온도 센서(8)의 검출 온도를 나타내는 온도 정보(온도 검출 신호)를 취득하는 것이다.
또, 밸브체(2) 주변의 온도란, 밸브체(2)(구체적으로는 수지 부재(21))와 실질적으로 동일한 온도가 되는 부분의 온도이다. 예를 들면, 수지 부재(21) 근방의 블록체(10) 또는 본체부(5)의 온도, 유로(R)를 흐르는 유체의 온도, 블록체(10)에서 유체의 온도와 실질적으로 동일한 온도가 되는 부분의 온도이다. 또, 도 1에서는, 온도 센서(8)는, 유체의 온도를 검출하는 위치에 마련되어 있다.
위치 정보 취득부(42)는, 위치 센서(7)로부터 그 밸브체 위치를 나타내는 위치 정보(위치 검출 신호)를 취득하는 것이다.
팽창 관련 정보 저장부(43)는, 각 온도에서의 수지 부재(21)의 팽창량 또는 그것에 따르는 개도 저하량을 나타내는 팽창 관련 정보를 저장하는 것이다. 또, 팽창 관련 정보는, 밸브 장치(100)마다 구하여져 미리 입력되어 있다.
수지 부재(21)의 팽창량은, 예를 들면 상온(예를 들면 25℃)의 수지 부재(21)의 상태를 기준으로 한 각 온도의 수지 부재(21)의 팽창량이다. 또, 개도 저하량은, 각 온도의 수지 부재(21)의 팽창량에 의해 생기는 각 온도의 밸브 개도의 저하량이다.
전압 조정부(44)는, 밸브체(2)를 위치 제어할 수 있도록 액추에이터(3)에 인가하는 구동 전압을 소정의 조작 범위 내에서 조정하는 것이다. 본 실시 형태의 전압 조정부(44)는, 온도 센서(8)의 검출 온도에 따라 조작 범위의 상한값을 변경하는 것이다.
구체적으로 전압 조정부(44)는, 온도 센서(8)의 검출 온도 및 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 수지 부재(21)의 팽창량 또는 개도 저하량에 근거하여, 조작 범위의 상한값을 변경한다.
예를 들면, 밸브체(2) 또는 밸브체(2) 주변의 온도가 25℃, 40℃, 60℃ 각각에서의 구동 전압의 조작 범위의 상한값은, 도 3에 나타내는 바와 같이 된다. 도 3에서는, 3개의 설정 온도(25℃, 40℃, 60℃)로 단계적으로 조작 범위의 상한값을 변경하는 경우를 나타내고 있지만, 연속적으로 조작 범위의 상한값을 변경하도록 해도 좋다.
단계적으로 조작 범위의 상한값을 변경하는 경우에서, 25℃에서의 조작 범위의 상한값은, 25℃ 환경하에서의 풀 스케일 유량을 흘리기 위한 구동 전압에 대해서, 예를 들면 수지 부재(21)가 30℃에서의 열팽창 등을 허용하는 마진을 더한 값으로 할 수 있다. 또, 40℃에서의 조작 범위의 상한값은, 40℃ 환경하에서의 풀 스케일 유량을 흘리기 위한 구동 전압에 대해서, 예를 들면 수지 부재(21)가 50℃에서의 열팽창 등을 허용하는 마진을 더한 값으로 할 수 있다. 게다가, 60℃에서의 조작 범위의 상한값은, 60℃ 환경하에서의 풀 스케일 유량을 흘리기 위한 구동 전압에 대해서, 예를 들면 수지 부재(21)가 65℃에서의 열팽창 등을 허용하는 마진을 더한 값으로 할 수 있다.
이 경우, 온도 센서(8)의 검출 온도가 소정의 설정 온도(예를 들면 25℃) 이상으로서, 상기 소정의 설정 온도의 상한값의 마진에 포함되는 최대 온도(예를 들면 30℃) 이하의 경우에, 전압 조정부(44)는, 상기 소정의 설정 온도(25℃)에서의 조작 범위의 상한값에 근거하여 구동 전압을 조정한다. 한편, 상기 검출 온도가 소정의 설정 온도에 포함되는 최대 온도(예를 들면 30℃) 보다도 큰 경우에, 전압 조정부(44)는, 상기 소정의 설정 온도(25℃) 다음으로 고온인 설정 온도(40℃)에서의 조작 범위의 상한값으로 변경하여, 변경 후의 조작 범위의 상한값에 근거하여 구동 전압을 조정한다.
게다가, 전압 조정부(44)는, 온도 센서(8)의 검출 온도 및 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 수지 부재(21)의 팽창량 또는 개도 저하량과 위치 센서(7)의 검출 위치에 근거하여 구동 전압을 조정한다. 이와 같이 전압 조정부(44)가 액추에이터(3)에 인가하는 구동 전압을 조정하는 것에 의해서, 수지 부재(21)의 열팽창에 의한 밸브 개도의 저하를 보정하여 유량 제어할 수 있다.
이와 같이 구성한 밸브 장치(100)에 의하면, 전압 조정부(44)가 온도 센서(8)의 검출 온도에 따라 액추에이터(3)에 인가하는 구동 전압의 조작 범위의 상한값을 변경하고 있으므로, 각 온도에 대응한 조작 범위의 상한값이 되고, 응답성 및 제어 정밀도의 악화를 막을 수 있다. 따라서, 온도 변화에 의해 생기는 수지 부재(21)의 열팽창에 따른 개도 변화나 유량 변동을 억제할 수 있다.
또, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 밸브 장치(100)가 장착되는 블록체(10)에 밸브 시트(20)가 마련되는 구성을 설명했지만, 밸브 장치(100)가 밸브 시트를 가지는 구성이라도 괜찮다. 구체적으로는 밸브 장치(100)가, 상기 실시 형태의 구성에 더하여 내부 유로 및 밸브 시트가 형성된 유로 형성 부재(상기 실시 형태의 블록체에 상당)를 가지고 있다.
또, 상기 실시 형태에서는, 위치 센서의 검출 위치를 이용하여 유량을 피드백 제어하는 것이었지만, 위치 센서의 검출 위치에 더하여 유량 센서의 검출 유량을 이용하여 유량을 피드백 제어하는 것이라도 좋다.
예를 들면, 위치 센서(7)로서는, 상기 실시 형태의 와전류 센서에 한정되지 않고, 정전 용량 센서라도 좋고, 광 간섭 센서 등의 광학 센서라도 좋으며, 액추에이터의 구동 전압을 검지하여 위치 정보를 취득하는 것이라도 괜찮다.
게다가, 밸브체의 온도와 상기 온도에 대한 조작 범위의 상한값을 대응지은 온도-상한값 정보를 메모리에 저장해 두고, 온도 센서의 검출 온도와 상기 온도-상한값 정보에 근거하여 조작 범위의 상한값을 변경하도록 해도 좋다.
게다가, 상기 실시 형태에서는, 전압 조정부는, 온도 센서의 검출 온도에 따라 구동 전압의 조작 범위의 상한값을 변경하는 것이었지만, 조작 범위에서의 그 외의 설정값을 변경하는 것이라도 괜찮다. 예를 들면, 온도 센서의 검출 온도에 따라 풀 스케일 유량을 흘리기 위한 구동 전압을 변경하는 것이라도 좋다.
상기 실시 형태에서는, 노멀 클로우즈 타입(구동 전압을 인가하지 않는 상태에서 밸브가 닫혀져 있음)의 것이었지만, 노멀 오픈 타입(구동 전압을 인가하고 싶은 상태에서 밸브가 열려져 있음) 것이라도 동일한 효과를 나타낸다.
상기 실시 형태의 밸브 장치는 유체의 유량을 제어하는 유량 제어 밸브이었지만, 유체의 압력을 제어하는 압력 제어 밸브로 해도 좋다.
상기 실형태의 밸브 장치를 반도체 제조 프로세스 이외에도 이용할 수 있다.
그 외, 본 발명은 상기 각 실시 형태에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.
100 - 밸브 장치 2 - 밸브체
2X - 착좌면 21 - 수지 부재
3 - 액추에이터 4 - 밸브 제어 장치(제어 기기)
41 - 온도 정보 취득부 42 - 위치 정보 취득부
43 - 팽창 관련 정보 저장부 44 - 전압 조정부
7 - 위치 센서 8 - 온도 센서

Claims (5)

  1. 액추에이터에 구동 전압을 인가하여 밸브체를 변위시키는 밸브 장치이며, 상기 밸브체의 착좌면(着座面)은 수지(樹脂) 부재에 의해 형성되어 있는 것으로서,
    상기 밸브체의 위치를 검출하는 위치 센서와,
    상기 위치 센서의 검출 위치에 근거하여 상기 구동 전압을 조정하는 전압 조정부와,
    상기 밸브체 또는 상기 밸브체 주변의 온도를 검출하는 온도 센서와,
    각 온도에서의 상기 수지 부재의 팽창량 또는 그것에 따른 개도(開度) 저하량을 나타내는 팽창 관련 정보를 저장하는 팽창 관련 정보 저장부를 구비하며,
    상기 전압 조정부는, 상기 온도 센서의 검출 온도에 따라 상기 구동 전압의 설정값을 변경하도록 구성되어 있고,
    상기 전압 조정부는, 상기 구동 전압을 소정의 조작 범위 내에서 조정하는 것이고, 상기 검출 온도 및 상기 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 상기 수지 부재의 팽창량 또는 상기 개도 저하량에 근거하여, 상기 조작 범위의 상한값을 변경하는 밸브 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전압 조정부는, 상기 검출 온도 및 상기 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 상기 수지 부재의 팽창량 또는 상기 개도 저하량과 상기 위치 센서의 검출 위치에 근거하여, 상기 구동 전압을 조정하는 밸브 장치.
  3. 착좌면이 수지 부재에 의해 형성된 밸브체를 구동하는 액추에이터의 구동 전압을 제어하는 밸브 제어 장치로서,
    상기 밸브체의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득하는 위치 정보 취득부와,
    상기 위치 정보 취득부가 취득한 검출 위치에 근거하여 상기 구동 전압을 조정하는 전압 조정부와,
    상기 밸브체 또는 상기 밸브체 주변의 온도를 나타내는 온도 정보를 취득하는 온도 정보 취득부와,
    각 온도에서의 상기 수지 부재의 팽창량 또는 그것에 따른 개도(開度) 저하량을 나타내는 팽창 관련 정보를 저장하는 팽창 관련 정보 저장부를 구비하며,
    상기 전압 조정부는, 상기 온도 정보 취득부가 취득한 온도 정보에 따라 상기 구동 전압의 설정값을 변경하도록 구성되어 있고,
    상기 전압 조정부는, 상기 구동 전압을 소정의 조작 범위 내에서 조정하는 것이고, 상기 온도 정보 취득부가 취득한 상기 온도 정보 및 상기 팽창 관련 정보로부터 구하여지는 상기 수지 부재의 팽창량 또는 상기 개도 저하량에 근거하여, 상기 조작 범위의 상한값을 변경하는 밸브 제어 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
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