KR20130086519A - 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템 - Google Patents

일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20130086519A
KR20130086519A KR1020127025844A KR20127025844A KR20130086519A KR 20130086519 A KR20130086519 A KR 20130086519A KR 1020127025844 A KR1020127025844 A KR 1020127025844A KR 20127025844 A KR20127025844 A KR 20127025844A KR 20130086519 A KR20130086519 A KR 20130086519A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
flow meter
mass flow
initial
adjusted
Prior art date
Application number
KR1020127025844A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101847409B1 (ko
Inventor
브이. 알렉세이 스미르노프
아룬 나가라잔
Original Assignee
히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 filed Critical 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
Publication of KR20130086519A publication Critical patent/KR20130086519A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101847409B1 publication Critical patent/KR101847409B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 한 가지 방법으로서는, 질량 유량계 지연시간을 구하고, 질량 유량계 밸브를 기대된 최적 밸브 개방위치 미만인 초기 밸브 개방위치로 설정하는 것을 포함한다. 초기의 소요 유량과 초기 개방 조건을 밸브와 연동되어 있는 제어 시스템에 입력하고, 제어 시스템을 개시한다. 제어 시스템에 대한 밸브 위치 피드백과 유량을 고려하여 제어 시스템을 사용하여 밸브 개방 위치를 조정함으로써 초기의 소요 유량을 얻는다. 한 가지 실시태양에서는, MFC와 제어 시스템의 작동 도중에 밸브 위치와 유량을 기록하는데, 이때의 유량은 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 것을 뜻한다. 제어 시스템 개시 때부터 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 것을 감지하기까지의 시간에 이르는 초기 유동 시간을 결정하고, 초기 유동 시간에서 질량 유량계 지연시간을 뺌으로써 조정된 개시 시간을 얻는다. 조정된 개시 시간에서의 밸브 개방위치를 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치로서 설정한다.

Description

일관된 응답을 제공하는 온-툴(ON-TOOL) 및 온-사이트(ON-SITE) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM OF ON-TOOL AND ON-SITE MFC OPTIMIZATION PROVIDING CONSISTENT RESPONSE}
본 발명은 일반적으로 질량 유량계(mass flow controller; 이하, "MFC"에 관한 것이다. 특히, 한정되는 것은 아니나, 본 발명은 가스 타입 및 운전 조건하에서 질량 유량계를 최적화하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다..
신속응답 모드의 질량 유량계(MFC)가 현재 반도체 및 기타 산업분야에서 많이 사용되고 있다. 이들 산업분야에서의 적용에 있어서는 신속하게 작동하는 MFC 모드를 필요로 할 뿐만 아니라 MFC가 필요로 하는 질량 유량(mass flow rate) 이상의 과도한 유량을 제한할 필요가 있다. 더욱이 MFC 신속응답 모드는 다양한 단계의 MFC 프로세스를 통하여 여러 가지 흐름조건에 대해 일관된 응답을 제공해야할 필요가 있다. 예컨대, 어떤 적용의 경우에 있어서는 MFC가 여러 가지 설정점에 대한 다양한 압력과 다중 가스 적용시의 다중 가스에 대해 신속하고도 정확한 유량을 내도록하는 것이 바람직하다.
현재, 질량 유량계 제작자가 N2 가스를 이용하여 질량 유량계를 보정하고 있다. 따라서 MFC 성능은 현재로서는 N2에 대해서만 보증이 되고 있으며, MFC에 기타 가스를 사용할 경우에는 MFC 성능은 현저히 저하할 수도 있다. 특수한 운전 가스로써 MFC를 보정하는 것은 경비가 많이 소용되기 때문에 불가능하다. 더욱이 수많은 가스에 대해 MFC를 보정하는 것은 가스의 특성으로 인하여 불가능할 수도 있다. 예컨대, 어떤 가스는 유독하거나 극히 인화성이 강하다. 또한 운전 가스의 특성과 유사한 특성을 가지지만 불필요한 가스 특성을 가진 "대용(代用)"가스로써 MFC를 보정하는 것은 가스 타입에 따라서는 불가능할 수도 있거나 효과적이지 못할 경우도 있다.
본 발명에서 제안하고 있는 몇 가지 실시태양에서는 다중 운전 가스를 사용하여, 예컨대, 한정된 것은 아니지만 필요로 하는 다중 유량과 압력 등과 같은 운전 조건하에서 MFC로부터 일관되고 한층 더 최적화한 응답을 제공하고 있다. 한가지 실시태양에 의하면, MFC에 대해 한 번 이상의 보정을 실시함으로써 보다 신속한 응답시간을 확실히 얻도록 하고 있다. 한 번 이상의 보정 도중에 각 프로세스 단계마다 MFC는 소요의 정보를 수집하고, 최적의 세부조정 파라미터, 즉 튜닝 파라미터를 계산하여, 최적의 파라미터를 MFC 메모리에 저장한다. 이어서, 운전 도중에 MFC 작동에 필요로 함과 아울러 MFC 작동에 사용되는 MFC 메모리로부터 최적의 세부조성, 즉 튜닝 파라미터를 검색함으로써 보다 일관되고 정확한 응답을 제공하게 되는 것이다. 한 가지 방법을 신속 응답 MFC 모드에 채용하여 사용한다.
또 한 가지 방법은, MFC 최적화 조작을 실시함으로써, MFC 지연을 감소시키고 오버슈트를 제거하거나 저감하게 되는 초기 조절된 질량 유량계 밸브 시동 위치를 확보하는 것이다. 초기 조절된 질량 유량계 밸브 시동 위치는 특수 가스의 초기 밸브 세팅과 운전 조건을 포함한다. 다중 조절된 질량 유량계 밸브 시동 위치를 적용 프로세스에서의 운전 조건 및/또는 각각의 가스에 대해 MFC에 확보하여 저장할 수도 있다.
또 한 가지 방법은, 제작자로부터 잘량 유량계 지연시간에 관한 정보를 먼저 얻는 것이다. MFC 지연시간은 MFC 프로세스가 개시되는 시간부터 MFC내에서 유체 유동이 시작하는 시간까지의 시간 간격을 포함한다. MFC 지연시간은 MFC의 고유특성이므로 MFC 자체의 여러 인자, 예컨대, 한정된 것은 아니지만, 소프트웨어/펌웨어, 전기부품 및 기계 부품에서의 지연에 따라 달라진다. 이어서 MFC 밸브를 전형적인 초기 밸브 개방위치 미만의 초기 밸브개방 위치에다 설정한다. 예컨대, MFC 밸브를 밀폐위치에다 설정해도 좋다. 이어서 초기의 소요의 유량과 운전 조건을 MFC와 연동해 있는 제어 시스템에 입력한 다음, 제어 시스템을 시동시켜 MFC로부터 받게되는 피드백과 소요의 유량에 따라 밸브를 조절한다.
이러한 보정조작 도중에 밸브의 위치와 MFC를 통과하는 상응한 유량이 MFC 메모리에 기록된다. 유량이 최소 한계치에 달하거나 이를 초과할 경우에는 "초기 유동시간 간격"을 계산하는데, 초기 유동시간 간격은 제어 시스템이 개시되는 시간부터 제어 시스템이 최소 한계치에 도달했음을 검출하는 시간까지, 예컨대 MFC내에서 유동이 시작했음을 검출하는 시간까지이다. 이어서 MFC 지연시간(이것은 제작자로부터 얻을 수도 있음)을 초기 유동시간 간격에서 뺌으로써 조정된 시동 시간을 얻는다. 이어서 조정된 시동 시간에서의 밸브 위치를 기록된 데이터로부터 결정한다. 이 밸브 위치는 운전조건과 가스 시험을 위한 최적 밸브 시동위치로서 설정된다. 다중 운전조건 및/또는 다중 가스를 단일적용에서 사용할 경우에는 각각의 가스/운전조건에 대한 유사한 과정을 이용하여 다중 밸브 시동 위치를 결정할 수도 있다.
도 1은 전형적인 MFC에서의 소요의 유량, 기대 유량 및 실제 유량을 나타낸 그래프
도 2는 전형적인 MFC에서의 유량과 밸브 위치를 시간의 함수로서 나타낸 그래프
도 3A는 디폴트 (제작자) 튜닝[default (parameter) tuning]을 가진 MFC의 여러 가지 유량을 나타낸 그래프
도 3B는 본 발명의 한 가지 실시태양에 따라 최적 튜닝[optimal tuning]을 가진, 도 3A의 MFC의 여러 가지 유량을 나타낸 그래프
도 4A는 여러 가지 밸브 시동 위치에서의 시간동안 MFC 밸브 위치 나타낸 그래프
도 4B는 34% - 46% 밸브 시동 위치에서의 시간동안 MFC 밸브 위치 나타낸 그래프
도 5A는 MFC 흐름을, 도 4A의 여러 MFC 밸브 위치에서의 시간의 함수로서 나타낸 그래프
도 5B는 MFC 흐름을, 도 4B의 34% - 46% MFC 밸브 위치에서의 시간의 함수로서 나타낸 그래프
도 6은 본 발명의 실시태양에 따라 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 방법
도 7은 본 발명의 한 가지 실시태양에 있어서 기록된 유량과 밸브 위치를 나타낸 그래프
도 8은 본 발명의 한 가지 실시태양에 따른 질량 유량계와 제어 시스템을 포함하는 시스템
도 9는 본 발명의 한 가지 실시태양에 따른 한가지 적용예에 있어서 밸브 위치, 유량 및 압력과의 관계를 나타낸 그래프
도 1에 도시한 바와 같이, 도 1은 필요로 하는 유량(10), 즉 설정점 혹은 소요의 유량 설정점과, 기대 질량 유량(20), 즉 기대되는 과도적 유량 및 실제 질량 유량(30), 즉 실제의 과도적 유량과의 사이의 차이를 나타낸 그래프이다. 시간 To에서 소요의 유량 설정값이 MFC에 주어지는데, 예컨대 설정점을 MFC 제어 시스템에 부여할 수 있다. 한정된 것은 아니지만, 신속 응답 MFC 모드를 포함하는 제어 시스템 등과 같은 MFC가 개시되어, 소요의 유량에 응답하여 기타 운전조건 중에서 설정값이 MFC 제어 시스템에 주어지면, 도 1에 나온 바와 같이 제어 시스템은 To에서의 초기 유량으로부터, 기대되는 과도적 유량을 따라 소요의 유량 설정점(10)까지 시간에 따라 유량을 변화시키게 된다. 그러나 MFC를 통과하는 실제의 유량은 기대되는 과도적 유량(20)과는 동일하지는 않으나 실제의 과도적 유량(30)과 유사하게 된다(도 1).
실제의 과도적 유량(30)과 기대되는 과도적 유량(20) 사이의 차이는 최소한 일부가 MFC 지연시간에서 기인하는 것이다. 예컨대, 도 2에 도시한 바와 같이, 시간 To에서 소요의 유량 설정점을 받는 즉시 밸브 개방 그래프(209)에서 알 수 있는 바와 같이 밸브가 개방되기 시작하고, 시간 T1이 되어서 밸브는 특수 개방 위치(Vo)에 도달하면서부터, 유량 그래프(212)에서 알 수 있는 바와 같이 유체는 MFC를 통해 흐르게 된다. 따라서 시간 T1은 밸브 위치(Vo)에 의존하게 된다. 즉, 밸브 위치(Vo)에 도달하면, 즉시에 혹은 거의 즉시에 시간 T1에 이르게 된다. 도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 시간 To에서 설정점(10)이 주어지고 제어 시스템이 개시되는 시간과 시간 T1에서 MFC내에서 흐름이 시작되는 시간 사이에는 지연 시간(25)이 존재하게 된다.
도 3A에 도시한 바와 같이, 도 3A는 디폴트(제작시) 튜닝되어 "신속 응답" 모드로 운전중인 전형적인 MFC에서의 실제 유량을 시간의 함수로서 나타낸 그래프이다. 각기 상이한 세 가지 압력(17 psi, 32 psi, 62 psi)과 네 가지의 각기 상이한 설정점(0-5%, 0-20%, 0-50%, 0-100%)에서 세 가지 가스(N2, SF6, C4F8)에 대하여 유량을 나타낸 것이다. 모든 유량은 설정점과는 관계없이 0-100%에서 정규화(normalization)되어 있다. 설정점의 유량 오버슈트가 어떤 경우에서는 수용된다 하더라도 일관되지 아니한 응답 지연은 수용되지 아니한다. 디폴드 튜닝은 디폴트 밸브 시동 위치를 포함한다. 한 가지 실시태양에 있어서 초기 밸브 개방 위치는, 한정된 것은 아니지만 밸브 시동위치의 10% 감소 등과 같이 디폴트 밸브 시동위치 미만으로 한다. 기타의 시동 위치도 고려할 수 있다.
도 3B는 본 발명에서 설명하는 바와 같은 실시태양을 사용하여 개선된 튜닝을 한 MFC로서 도 3A에서의 MFC에 대한 시간의 함수로서 실제 유량을 나타낸 것이다. 도 3A에서의 일관되지 아니한 응답 지연을 감소시킴으로써 도 3B에서와 같은 응답을 얻기 위해서는, 도 3A에서와 같은 가스와 운전조건 각각에 대해 최적화 프로세스를 수행하여 가스와 운전조건 각각에 대해 최적의 밸브 시동위치를 얻을 필요가 있다. 밸브 시동위치는 한 가지 실시태양에 있어서는 밸브를 MFC 적용 개시때로 설정할 경우에서의 최대 밸브 개방 위치의 백분율로서 정의된다. 이러한 시동위치는 지연시간(25)을 극소화하거나 제거하게 된다. 예컨대, 최적 밸브 시동위치를 이용하여 지연 시간(25)을 감소시키는데, 이 지연 시간(25)은 압전(壓電) 작동(piezoelectric operation), 펌웨어(firmware)/소프트웨어 및 전기/기계 부품으로 인한 MFC내에서만 고유한 지연을 포함한다. 따라서 본 발명의 한 가지 실시태양에는 기타 여러 가지 운전조건 중에서 가스 타입, 압력 및 설정점에 대해 일관된 MFC 응답 지연을 얻도록 하는 방법을 포함하고 있다. 이렇게 하자면, 각 적용에서의 운전조건과 가스 타입에 대해 조정된 시동위치를 결정해야 한다.
도 4A 내지 도 5B에 나온 그래프를 얻자면, 각 적용에 앞서 특정의 시동위치에다 밸브를 설정해 두어야 한다. 이어서 MFC를 이용하여 PID 기반의 폐 루우프 알고리즘(PID-based closed loop algorithm)을 실행하여 요구되는 설정점, 시동위치, 운전조건 및 유량 센서 피드백에 따라 값을 이동시킨다. 도 4A 내지 도 5B는 여러 가지 선택된 시동위치에 대하여 MFC가 어떻게 작동하는가를 나타낸 것이다. MFC 작동 개시시에 밸브의 시동위치가 너무 작으면, 즉, 한정된 것은 아니지만 제로 위치 혹은 밸브 폐쇄위치가 되면, 도 4A 내지 도 5B에서의 설정점(SPo) 및 유량(Fo)에서 알 수 있는 바와 같이 유량이 설정점(410)의 값을 얻는데 소요되는 시간은 대부분의 적용의 경우에서는 받아들일 수 없게 된다. 그러나 시동위치가 너무 크면(즉, 밸브 개방이 너무 크면), MFC를 통과하는 유량은 너무 크지고, 너무 빨라지게 되어, 결국에는 설정점(SP4) 및 유량(F4)에서 알 수 있는 바와 같이 유량은 설정점(410)을 오버슈우팅하게 된다.
도 4A와 도 4B는 단일 가스 및 유사한 운전조건하에서의 여러 가지 밸브 시동 위치에서의 시간경과에 따른 밸브 위치를 나타낸 것이다. 도 4A에서 SPo는 작거나 심지어는 닫힌 밸브 개구를 가진 밸브 시동위치이고, SP1은 밸브 개구가 SPo일 때의 밸브개구보다 큰 경우에서의 밸브 시동위치이며, SP2는 SP2일 때의 밸브 개구가 SP1일 때의 밸브개구보다 큰 경우에서의 밸브 시동위치이다. 마찬가지로 SP3은 밸브 개구가 SP2일 때의 밸브개구보다 큰 경우에서의 밸브 시동위치이고, SP4도 마찬가지로 작동한다. 도 4B는 밸브 시동 위치가 최대 개방 밸브 위치의 34% - 46%인 범위이고 설정점(410)이 최대 유량의 50%일 때의 밸브 위치를 시간의 함수로서 나타낸 것이다.
도 5A는 시동 위치 SPo 내지 SP4에 각각 상응한 유량 F0 내지 F4를 나타낸 것이다. 예컨대, 시동 위치 SPo를 사용할 경우, 유량 F0가 얻어진다. 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 밸브 시동위치 개구가 SPo로부터 SP2로 증가함에 따라 지연시간(525)은 감소한다. 그러나 SP3 이상의 어떤 시동 위치에서는 F3 이상의 유량은 설정점(510)을 오버슈트(540)하게 된다. 따라서 지연 시간(525)을 극소화하고 오버슈트(540)를 제거하는 최적의 시동위치 SPn가 존재하게 된다. 하나의 최적 시동 위치 SPn는 도 4A에서 나온 바와 같이 두 번째 시동 위치 SP2를 포함한다. 그러나 최적 시동 위치 SP2에서는 도 5A에 도시한 바와 같이 유량 F2는 MFC 지연(542)을 나타내게 되는데, 이 지연은 공지로 되어 있는 바와 같이 MFC와 제어 시스템의 기계적 특성 및 전기적 특성에서 기인하는 것이다. 마찬가지로 도 5B는 도 4B에 나온 밸브 시동 위치에 상응한 유량을 나타낸 그래프이다.
도 4A 내지 도 5B에 도시한 바와 같이, 도 4A에서의 밸브 시동 위치 SPo SP2와 도 4B에서의 34% - 46% 범위에 대해 유량 트레이스(flow trace)와 밸브 트레이스(valve trace)는, 이들 트레이스 사이에 실질적으로 유사한 시간 간격을 가진 실질적으로 유사한 파형을 가지고 있다. 예컨대, 도 4B와 도 5B에 있어서, 시간 간격은 약 10ms이다. 더욱이 밸브 시동 위치 42% 이상에서는 MFC 흐름은 제어 시스템이 개시된 시간에서부터 약 30ms의 MFC 지연(542) 후에 개시된다. 이 30ms 자연은 MFC의 제어 시스템, 전자회로, 압전 작동기, 혹은 기타 전기화학적인 부분에서의 지연의 결과이다.
도 4B와 도 5B에 도시한 바와 같이, 시동위치를 증가시키면 유량 슬루 레이트(flow slew rate)가 증가하고, 이때 밸브 시동 위치 약 46%에서 설정점(510)의 오버슈트가 발생한다. 따라서 44% 밸브 시동 위치는, 34% 내지 42% 밸브 시동위치에서는 슬루 레이트를 증가시키고, 46% 밸브 시동 위치의 경우와 같이 오버슈트를 일으키지 않기 때문에, 밸브 시동위치 선택에 있어서 적합한 것으로 판단되기는 하지만, 44% 밸브 시동 위치는 운전 조건하에서의 변화에 극히 민감하다. 따라서 42% 밸브 시동 위치에는 한 가지 실시태양에서 최적의 밸브 시동 위치를 포함한다. 기타 밸브 시동 위치는 가스 및 운전조건에 따라 고려해야할 것이다.
도 6에 나온 것은 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 방법이다. 이 방법은 (691)에서 개시되고, (601)에서는 질량 유량계 지연 시간(542)을 얻는 것을 포함한다. MFC 지연 시간(542)은, 도 4A 내지 도 5B에 나온 바 있고 시험 등의 제작자 측의 튜닝을 거친 MFC에 대해 시험을 수행함으로써 사용자에 의해 얻어지게 된다. 혹은, 사용자가 제작자로부터 MFC 지연 시간(542)을 얻을 수도 있다. MFC 지연 시간(542)은 고정되는데 장치 특성의 하나이다. MFC 지연 시간(542)을 얻고 나면, (611)의 방법에서는 MFC 밸브를 초기 밸브 개방위치에다 설정하는 것을 포함한다. 하나의 MFC 초기 밸브 개방위치에는 기대되는 최적 밸브 개방위치 미만의 밸브 개방위치를 포함한다. 예컨대, 도 4B와 도 5B에서는 밸브를 밸브의 최대 개방위치에 대해 34%의 초기 밸브 개방위치에다 설정할 수도 있다. 밸브의 최대 개방위치에 대해 0%의 초기 밸브 개방위치(즉, 밸브의 폐쇄)도 고려할 수 있다. 밸브를 초기 밸브 개방위치에다 설정하는 것에는 소프트웨어와 펌웨어 중의 한 가지에서 밸브위치를 설정하는 것을 포함한다.
초기 밸브 개방위치가 설정되고 나면, (631)에서 알 수 있는 바와 같이, 전형적인 MFC 프로세스가 개시된다. 예컨대, 필요로 하는 초기 유량과, 한 가지 이상의 초기 운전조건, 즉, 한정된 것은 아니지만 유체 타입과 압력 등은 MFC와 연동되어 있는 제어 시스템에 입력된다. 하나의 제어 시스템을 사용하여 제어 시스템 피드백에 기초해서 밸브 시동위치와 소요의 유량에 따라 밸브 개방위치를 조정한다. 한 가지 방법을 수행하는 도중에, (641)에서는 밸브 위치와 유량이 기록되거나 저장된다. 기타의 실시태양에서는 이 단계를 수행하지 않아도 좋다. (651)에서는, 도 7에 나온 바와 같이 T1에서 유량 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 유량이 감지된다. 예컨대 MFC내에서 흐름이 개시되어 설정점 값(710)의 1%를 가진 유량에 도달하면, 제어 시스템에서 신호를 보낸다. 가스가 MFC내에서 흐르기 시작할 때의 정확한 시간을 얻는 기타 공지의 방법과 마찬가지로 기타의 유량에 상응한 기타의 최소 한계치도 고려할 수 있다. (661)에서는, 초기 유동 시간이 결정된다. 한 가지 방법에서는 초기 유동 시간의 범위는 제어 시스템이 동작을 개시하는 시간부터 설정된 최소한계에 도달하거나 이를 초과하는 유량이 검출되는 시간까지이다. 도 5A에 나온 바와 같이, 오버슈트(540)와 지연(525)을 감소시키는 최적의 밸브 시동위치를 결정하기 위해서는, 질량 유량계 지연시간(542')을 초기 유동 시간에서 뺌으로써 도 7에 나온 바와 같이 조정된 개시 시간(T2)을 얻는다. 일단 조정된 개시 시간(T2)이 얻어지면, 조정된 개시 시간(T2)에 상응한 조정된 밸브 개방위치(V1)가 결정된다. 예컨대, 도 7에 도시한 바와 같이, 조정된 밸브 개방위치에는 최대 밸브 개구도의 42%에 해당하는 개구도를 가진 밸브를 포함한다. 이 조정된 밸브 개방위치는 가스와 운전조건에 대한 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치로서 설정된다. 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치는 어떤 실시태양에서는 최대 밸브 개구도의 25% 내지 50%를 포함하며 다른 실시태양에서는 41% 내지 44%를 포함한다. 도 6의 방법은 (698)에서 종료된다.
각 실시태양에는 단일 적용/프로세스를 위한 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 것을 포함하고 있다. 예컨대, 도 9에 나온 것은 다중 압력과 유량에 대해 몇 가지 단계를 가진 전형적인 MFC 프로세스이다. 따라서 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치는, 제로 유량에서부터 제로가 아닌, 즉 비(非)제로 유량까지의 변화를 포함하는 각 단계에 대해 계산되어야 한다. 도 9의 실시예에는 후속하는 압력 각각에 대하여 후속하는 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치, 즉 17psi일 때 5%, 52psi일 때 100%, 그리고 52psi일 때 20%을 포함한다. 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 방법은 도 7에 나온 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 방법과 동일하다.
한 가지 실시태양에 있어서, 추가적인 밸브 시동위치와 상응한 운전조건 및 가스 타입을 도 8에 나온 바와 같이 메모리(808)에 저장하는 것이다. 이어서 이들 초기 및 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 가스 타입 및 운전조건을 장래에 유사하게 적용하거나, 혹은 이것을 이용하여 외삽법(extrapolation) 또는 내삽법(interpolation)에 의해 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는다.
본 발명의 하나 이상의 실시태양에는 MFC 장애상태(fault condition)의 신호를 보내는 것을 포함한다. 예컨대, 본 발명에서 설명하는 최적화 프로세스가, 이미 수행된 운전조건과 가스 및 MFC 메모리에 데이터가 저장된 것에 대해 새로 실행된다면, 신규의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를, 유사한 조건에 대해 MFC 메모리에 저장되어 있는 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 비교하게 된다. 만일 신규의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치가 이전의 것과 상이하다면, MFC는 MFC 하드웨어 문제 등과 같은 MFC에서의 문제가 발생한 신호를 보내게 된다.
더욱이 어떤 한 가지 방법에는 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 증가시키거나 질량 유량계 밸브 시동위치를 감소시키는 자동 밸브 시동위치 조정 프로세스를 포함한다. 이러한 방법에 있어서, 제어 시스템은 도 9에 나온 바와 마찬가지로 제로 설정점(zero setpoint)으로부터 비(非) 제로 설정점(non-zero setpoint)으로의 각각의 전이에 대하여, 도 7과 유사하게 밸브위치와 유량을 기록(log)한다. 이 데이터는 도 8에 도시한 바와 같이 MFC 메모리(808)에 저장된다. 이어서 MFC는 흐름이 MFC를 통과하고 있는 순간을 감지하는데, 예컨대, 한정된 것은 아니지만, 유량계(807)를 사용하여 흐름을 감지한다. 이 시점에서, 제어 시스템(806) 내의 펌웨어, 소프트웨어 혹은 하드웨어 또는 MFC(875) 내의 기타 위치를 이용하여 MFC 적용이 개시된 시점으로부터 흐름이 전개된 시점까지의 지연 시간을 비교하고, 이 지연시간을, 한정된 것은 아니지만 도 5A에 나온 지연시간(542') 등과 같은 유사한 운전조건에 대한 기지(旣知)의 지연시간에 대해 비교한다. 한 가지 지연시간(542')에는 10ms 내지 30ms의 지연시간을 포함한다. 두 개의 지연시간을 비교하는 즉시, 제어 시스템(806) 혹은 기타 MFC(875)가, 신규의 지연시간이 최초의 지연시간(542')보다 길기 때문에 최초의 지연시간 도중에 개시된 것보다 신규의 지연시간 도중에 흐름이 늦게 개시되었음을 결정하게 되면, 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치는 일정한 양만큼 증가된다. 예컨대, 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치를 한 가지 실시태양의 경우에서는 1% 증가시키는데, 즉, 한정된 것은 아니지만, 도 4B에 나온 시동위치 42%로부터 시동위치 43%로 증가시킨다. 또한, 신규의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치도 결정할 수 있다. 예컨대, 질량 유량계 지연시간(542')을 신규로 얻은 지연시간으로부터 빼면, 그 시간에서의 밸브 위치를 구할 수 있으며, 도 7과 유사하게 그 시간에서의 밸브 위치는 신규의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치가 된다.
흐름이 공지의 MFC 지연시간(542')에서 개시되거나 이에 근접한 시간에서 개시되어 오버슈트가 발생한다면, 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치는 특정한 양만큼 감소하게 되는데, 예컨대, 한정된 것은 아니지만, 1%로 감소하게 된다. 오버슈트가 발생하지 않는다면, 기존의 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치가 유지된다.
도 8에 나온 것은 질량 유량계(875)와 연동되어 있는 제어 시스템(806)과 질량 유량계(875)를 포함하는 시스템(800)의 한 가지 실시태양이다. 압전 작동기(piezoeletric actuator)(874)와 제어밸브 (873)가 도 8에서의 MFC(875)에 포함된 것으로 나타나 있기는 하지만, 도 8에 나온 하나 이상의 기타의 항목은 MFC에 포함될 수도 있다. 예컨대, MFC에는 제어 시스템(806), 메모리(808) 및 유량계(807)를 포함할 수도 있다. 도 8에 도시한 바와 같이, 한정된 것은 아니지만, 가스 타입, 압력, 설정점 등과 같은 입력(877)은 시스템(800)에 입력된다. 디지털-아날로그 변환기(871)는 입력을 아날로그 전압으로 변환하고, 이것을 고전압 회로(877)에 보내서 압전 작동기(874)를 작동시킨다. MFC 지연(542')은, (i) 소프트웨어 및/또는 펌웨어, (ii) 제어 시스템(806), (iii) 입력(872), (iv) 고전압 회로(877), (v) 압전 작동기(874) 및 (vi) 밸브(873) 중에서 한 가지 이상의 지연을 포함할 수도 있다.
더욱이, 도 8의 시스템의 한 가지 실시태양에 있어서, 이 시스템(800)의 사용자가 최적화 모드를 선택할 수도 있다. 최적화 모드를 소프트웨어, 펌웨어, 및/또는 하드웨어로 구성해도 좋고, 제어 시스템(806)에 포함시켜도 좋다. 최적화 모드를 선택하고 나면, MFC(875)를 사용하여, 시스템에 입력된 특수한 운전조건에 대하여 하나 이상의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는다. 최적화 모드는 MFC의 신속 응답 모드에 이용된다. 하나 이상의 조정된 MFC 시동 위치를 얻게 되면, 최적화 모드는 추가로 소요의 MFC 적용을 수행한다.
800: 시스템
806: 제어 시스템
807: 유량계
808: 메모리
871: 디지털-아날로그 변환기
873: 제어 밸브
874: 압전 작동기
875: 질량 유량계(MFC)
877: 고전압 회로

Claims (21)

  1. (가) 질량 유량계 적용개시와 잘량 유량계속으로의 유동 개시 사이의 시간을 포함하는 질량 유량계 지연시간을 얻고,
    (나) 밸브를 초기 밸브 개방 위치에다 설정하고,
    (다) 초기 소요 유량과 초기 운전조건을 밸브와 연동되어 있는 제어 시스템에 입력하고,
    (라) 초기 밸브 개방 위치와 초기 운전조건에 대해 제어 시스템 실행을 개시하며, 상기 제어 시스템을 사용하여 초기의 소요 유량과 제어 시스템 피드백에 따라 밸브 개방 위치를 조정하고,
    (마) 최소한 일부 제어 시스템 실행 도중에 밸브 위치와 유량을 기록하며,
    (바) 최소 한계치에 도달하거나 이를 초과하는 유량을 감지하고,
    (사) 제어 시스템 실행개시 시간에서부터 최소 한계치에 도달하거나 이를 초과하는 것을 감지하는 시간까지의 초기 유동 시간을 결정하고,
    (아) 초기 유동 시간에서 질량 유량계 지연시간을 뺌으로써 조정된 개시 시간을 얻고,
    (자) 조정된 개시 시간에서의 밸브 개방위치를 결정하고,
    (차) 조정된 개시 시간에서의 밸브 개방 위치를 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치로서 설정함으로써, 보다 신속한 유동과 감소된 소요의 유량 오버슈트 중의 최소한 한 가지를 가능하게 하는 것을 포함하는, 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 방법
  2. 청구항 1에 있어서, 초기 밸브 개방위치는 폐쇄된 밸브를 포함하는 방법.
  3. 청구항 1에 있어서, 초기 밸브 개방위치는 최대 밸브 개구도의 10% 이하의 개구도를 가진 밸브를 포함하는 방법.
  4. 청구항 1에 있어서, 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치는 최대 밸브 개구도의 10% 내지 50% 사이의 밸브 개구도를 포함하는 방법.
  5. 청구항 1에 있어서, 초기 밸브 개방위치는 디폴트 밸브 시동 위치보다 최소한 10% 미만의 밸브 개구도를 포함하는 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    (가) 밸브를 하나 이상의 추가적인 초기 밸브 개방위치에다 설정함에 있어서, 하나 이상의 추가적인 초기 밸브 개방위치가 하나 이상의 추가적인 기대된 최적 밸브 개방위치 미만이 되도록 설정하고,
    (나) 하나 이상의 추가적인 소요의 유량과 하나 이상의 추가적인 운전조건을 제어 시스템에 입력하고,
    (다) 하나 이상의 추가적인 밸브 개방 위치와 하나 이상의 추가적인 운전조건에 대하여 하나 이상의 추가적인 제어 시스템의 실행을 개시함에 있어서, 제어 시스템을 사용하여 밸브 개방 위치를 하나 이상의 소요의 유량과 제어 시스템 피드백에 따라 조정하도록 실행을 개시하고,
    (라) 하나 이상의 추가적인 제어 시스템의 실행 중의 최소한 일부가 실행되는 동안에 밸브 위치와 유량을 기록하고,
    (마) 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 한 가지 이상의 추가적인 유량을 감지하고,
    (바) 제어 시스템 개시시간으로부터 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 것을 한 번 이상 감지하기까지의 한 가지 이상의 초기 유동 시간을 결정하고,
    (사) 한 가지 이상의 초기 유동 시간에서 질량 유량계 지연 시간을 뺌으로써 하나 이상의 추가적인 조정된 개시 시간을 얻고,
    (아) 하나 이상의 추가적인 조정된 개시 시간에서의 하나 이상의 추가적인 밸브 개방 위치를 결정하고,
    (자) 하나 이상의 조정된 개시 시간에서의 하나 이상의 추가적인 밸브 개방 위치를 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치로서 설정하는 것을 포함하는 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 것을 추가로 포함하는 방법.
  7. 청구항 6에 있어서, 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 질량 유량계 메모리에 저장하는 것을 추가로 포함하는 방법.
  8. 청구항 6에 있어서, 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 사용하여 추가적인 초기 밸브 개방 위치와 유량과 운전조건에 대한 추가적인 밸브 시동위치를 추가로 결정하는 것을 추가로 포함하는 방법.
  9. 청구항 8에 있어서, 외삽법과 내삽법 중의 최소한 한 가지를 사용하여 추가적인 밸브 시동 위치를 결정하는 방법.
  10. 청구항 6에 있어서, 한 가지 이상의 추가적인 소요의 유량에는 초기의 소요 유량을 포함하고, 한 가지 이상의 추가적인 운전 조건에는 초기의 운전 조건을 포함하는 방법.
  11. 청구항 10에 있어서, 초기의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 한 가지 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 비교하고, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치들 중의 하나의 시동위치와의 사이에 차이가 있으면, 질량 유량계 장애상태의 신호를 보내는 것을 추가로 포함하는 방법.
  12. 청구항 6에 있어서, 하나 이상의 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치가 질량 유량계 적용시의 밸브 시동위치로서 사용되면, 질량 유량계 적용을 개시하는 것을 추가로 포함하는 방법.
  13. 청구항 6에 있어서, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치와 하나 이상의 추가적인 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치가 각각의 가스 타입에 대한 시동위치를 포함하는 방법.
  14. 청구항 1에 있어서, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 제어 시스템 피드백에 근거하여 자동적으로 조정하는 것을 추가로 포함하는 방법.
  15. 청구항 14에 있어서, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치의 자동 조정은, 밸브 개방 위치를 증가시켜 조정된 시동시간을 감소시키는 것과 밸브 개방 위치를 감소시켜 초기의 소요 유량의 오버슈트를 감소시키는 것 중의 한 가지를 포함하는 방법.
  16. 청구항 14에 있어서, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치의 자동 조정은,
    (가) 질량 유량계 신속 응답 모드시에 유량 제로에서부터 비(非) 제로 설정점으로의 유량의 전이 도중에 밸브 위치와 유량을 기록(logging)하고,
    (나) 유동이 개시될 경우,
    (1) 질량 유량계 지연시간보다 늦게 유동이 개시되면, 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 미리 설정된 량만큼 증가시키거나 신규의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻는 것을 감지하고,
    (2) 질량 유량계 지연시간 또는 이에 근접한 시간에서 유동이 개시되면, 유동이 소요의 유량을 오버슈트할 때, 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 미리 설정된 량만큼 감소시키거나, 유동이 소요의 유량을 오버슈트하지 아니할 때, 기존의 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 유지하는 것을 감지하는 것을 포함하는 방법.
  17. (가) 질량 유량계와,
    (나) 상기 질량 유량계와 연동되어 있는 제어 시스템과;
    상기 제어 시스템을 사용하여, (1) 소요의 유량과 제어 시스템 피드백에 따라 밸브 개방 위치를 조정하고, (2) 유량 최소 한계에 도달하거나 이를 초과하는 유량을 감지하며, (3) 제어 시스템 개시 때로부터 최소 한계에 도달했거나 이를 초과했음을 감지하기까지의 초기 유동 시간을 결정하고, (4) 초기 유동 시간에서 질량 유량계 지연시간을 뺌으로써 조정된 시동시간을 얻음으로써 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻으며, 질량 유량계 지연시간은 질량 유량계 적용개시 시간과 질량 유량계 속에서의 유동개시 시간 사이의 시간을 포함하고,
    (다) 조정된 시동시간에서의 밸브 위치를 결정하여, 조정된 시동시간에서의 밸브 위치를 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치로서 설정하는 것을 포함하는 시스템.
  18. 청구항 17에 있어서, 질량 유량계 지연시간은,
    (가) 소프트웨어 지연과 펌웨어 지연 중의 적어도 하나와,
    (나) 고전압 변환기 지연과,
    (다) 압전 작동기 지연과,
    (라) 밸브 응답 지연 중의 적어도 하나를 포함하는 시스템.
  19. 청구항 17에 있어서, 하나 이상의 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동위치를 얻기 위하여 채용되는 선택적인 최적화 모드를 추가로 포함하는 시스템.
  20. 청구항 17에 있어서, 선택적인 신속 응답 모드를 채용하여, 초기 조정된 질량 유량계 밸브 시동 위치를 사용하는 시스템.
  21. 청구항 17에 있어서, 질량 유량계 지연 시간에는 10ms 내지 30ms의 지연 시간을 포함하는 시스템.
KR1020127025844A 2010-04-27 2011-04-25 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템 KR101847409B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/768,583 2010-04-27
US12/768,583 US8321060B2 (en) 2010-04-27 2010-04-27 Method and system of on-tool and on-site MFC optimization providing consistent response
PCT/JP2011/002408 WO2011135826A1 (en) 2010-04-27 2011-04-25 Method and system of on-tool and on-site mfc optimization providing consistent response

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130086519A true KR20130086519A (ko) 2013-08-02
KR101847409B1 KR101847409B1 (ko) 2018-04-10

Family

ID=44816485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127025844A KR101847409B1 (ko) 2010-04-27 2011-04-25 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8321060B2 (ko)
JP (1) JP5799961B2 (ko)
KR (1) KR101847409B1 (ko)
WO (1) WO2011135826A1 (ko)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8131400B2 (en) * 2010-06-10 2012-03-06 Hitachi Metals, Ltd. Adaptive on-tool mass flow controller tuning
JP5868796B2 (ja) * 2012-07-03 2016-02-24 株式会社堀場エステック 圧力制御装置、流量制御装置、及び、圧力制御装置用プログラム、流量制御装置用プログラム
US9004107B2 (en) * 2012-08-21 2015-04-14 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced gas flow rate control
JP6027395B2 (ja) * 2012-10-29 2016-11-16 株式会社堀場エステック 流体制御装置
KR102201641B1 (ko) * 2013-03-14 2021-01-12 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 질량 흐름 제어기의 밸브 페데스탈을 자동으로 자가-조정하기 위한 시스템 및 방법
US10114389B2 (en) * 2013-06-28 2018-10-30 Applied Materials, Inc. Method and system for controlling a flow ratio controller using feedback
US10108205B2 (en) 2013-06-28 2018-10-23 Applied Materials, Inc. Method and system for controlling a flow ratio controller using feed-forward adjustment
KR102155105B1 (ko) * 2014-07-15 2020-09-11 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 유체의 유량을 제어하는 방법, 당해 방법을 실행하는 질량 유량 제어 장치 및 당해 질량 유량 제어 장치를 사용한 질량 유량 제어 시스템
CN104182222A (zh) * 2014-08-18 2014-12-03 苏州赛腾精密电子有限公司 自动化设备通用软件平台
CN104267747B (zh) * 2014-09-18 2016-08-03 金永德实验室设备有限公司 一种流量检测装置及其数值建模方法
CN104676996B (zh) * 2015-03-19 2017-03-08 珠海格力电器股份有限公司 电子膨胀阀初始开度的生成方法及装置
CN106935494B (zh) * 2015-12-31 2019-08-20 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种博世工艺刻蚀硅基片的方法
JP6279675B2 (ja) * 2016-08-17 2018-02-14 株式会社堀場エステック 流体制御装置
EP3428767B1 (en) * 2017-07-11 2019-12-11 Siemens Schweiz AG Control gain automation
US20200348702A1 (en) * 2019-04-30 2020-11-05 Illinois Tool Works Inc. Advanced pressure based mass flow controllers and diagnostics
CN110947279B (zh) * 2019-12-06 2022-03-04 马光俊 一种快速变化工况的控制方法
CN111855179B (zh) * 2020-07-27 2022-09-23 北京七星华创流量计有限公司 流体质量流量控制器的标定方法及标定装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6214201A (ja) * 1985-07-11 1987-01-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 流量制御装置
JPS63104113A (ja) * 1986-10-22 1988-05-09 Kawasaki Heavy Ind Ltd 流体流量制御方法
JPH09171412A (ja) * 1995-12-21 1997-06-30 Konica Corp 弁制御方法及び弁制御装置
JP3666107B2 (ja) * 1996-02-08 2005-06-29 日立金属株式会社 流量制御方法
KR100427563B1 (ko) * 1999-04-16 2004-04-27 가부시키가이샤 후지킨 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치
JP4578607B2 (ja) 2000-02-23 2010-11-10 株式会社堀場エステック マスフローコントローラ
JP3637270B2 (ja) * 2000-07-28 2005-04-13 株式会社堀場エステック マスフローコントローラ
US6439254B1 (en) * 2000-11-30 2002-08-27 Industrial Technology Research Institute Mass flow controller automation method and related system
US6782906B2 (en) * 2000-12-28 2004-08-31 Young-Chul Chang Time based mass flow controller and method for controlling flow rate using it
JP4864280B2 (ja) * 2001-04-24 2012-02-01 ブルックス・インストルメント・エルエルシー 質量流量コントローラのシステムおよび方法
US20020189681A1 (en) * 2001-06-13 2002-12-19 Applied Materials, Inc. Mass flow controller soft start activator
CN1688948B (zh) * 2002-07-19 2010-05-26 布鲁克斯器具有限公司 在质量流动控制器中用于压力补偿的方法和装置
JP4451358B2 (ja) 2005-07-26 2010-04-14 株式会社堀場エステック マスフローコントローラ
JP4788920B2 (ja) * 2006-03-20 2011-10-05 日立金属株式会社 質量流量制御装置、その検定方法及び半導体製造装置
US8386083B2 (en) 2008-06-16 2013-02-26 Mks Instruments, Inc. Systems and methods for updating valve cracking current in mass flow controllers

Also Published As

Publication number Publication date
US20110264281A1 (en) 2011-10-27
US8321060B2 (en) 2012-11-27
WO2011135826A1 (en) 2011-11-03
JP2013525870A (ja) 2013-06-20
JP5799961B2 (ja) 2015-10-28
KR101847409B1 (ko) 2018-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101847409B1 (ko) 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템
US8915262B2 (en) Mass flow controller algorithm with adaptive valve start position
US9898013B2 (en) Mass flow controller for improved performance across fluid types
KR101362601B1 (ko) 유동 모니터링 및 제어 시스템과 그 방법
US11269362B2 (en) Flow rate control method and flow rate control device
US7273063B2 (en) Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller
RU2717634C2 (ru) Способ калибровки позиционера, система управления процессом и компьютерное устройство для регулирования давления для калибровки устройств управления процессом
US20120170639A1 (en) Delay compensation for feedback controllers
EP1058866A2 (en) Valve positioner system
US11216016B2 (en) Flow rate control method and flow rate control device
JP2007200318A (ja) 電空制御ループに対する初期条件が調整可能なリード・ラグ入力フィルタ装置
US20110054702A1 (en) Multi-mode control loop with improved performance for mass flow controller
JP7533489B2 (ja) 寄生流量の補正方法及び補正装置
JP2018096443A (ja) バルブ装置及びバルブ制御装置
EP1441266B1 (en) Valve positioner system
JP7287166B2 (ja) バルブ制御装置および真空バルブ
US11237532B2 (en) Hysteresis compensation control of an actuator
JP7538535B2 (ja) 流量制御装置および流量制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant