KR102351253B1 - Modular in-line system for cleaning process - Google Patents

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KR102351253B1
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Abstract

본 발명은 복수의 피검사물을 수용하는 트레이가 이송부에 의해 운반되면서 세척이 실시되는 클리닝 시스템에 있어서, 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제1 이송부를 포함하여, 이온화된 공기를 내부에서 발생시켜 상기 제1 이송부 측으로 분사시키는 1차 클리닝 모듈, 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제2 이송부를 포함하여, 일정한 주파수의 진동을 상기 제2 이송부 측으로 전달하는 2차 클리닝 모듈 및 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제3 이송부를 포함하여, 일정한 압력의 유체를 상기 제3 이송부 측으로 분사시키는 3차 클리닝 모듈을 포함하여 이루어지되, 상기 복수의 클리닝 모듈은 평면상의 동일한 위치에서 각각 다른 위상 값을 갖는 위치에 배치되어 상호 적층되는 구조로 이루어지고, 상기 복수의 클리닝 모듈 각각의 상기 이송부의 진행 방향에 따른 전방 및 후방 측에는 피검사물을 적재하는 상기 트레이를 상승 및 하강시키는 엘리베이터를 더 포함하여, 상기 엘리베이터에 배치되는 상기 트레이의 상승 및 하강에 의해 상기 복수의 클리닝 모듈 중 하나의 모듈로 피검사물을 투입시키는 것을 특징으로 하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템이다.The present invention is a cleaning system in which a tray accommodating a plurality of objects to be inspected is transported by a transport unit and washed, including a first transport unit that transports the tray toward the front or rear to generate ionized air inside A secondary cleaning module including a primary cleaning module for spraying to the first transfer unit, a second transfer unit for transferring the tray toward the front or rear, and a secondary cleaning module for transmitting vibrations of a constant frequency to the second transfer unit, and toward the front or rear It comprises a third transfer unit for transferring the tray, and a tertiary cleaning module for spraying a fluid of a constant pressure toward the third transfer unit, wherein the plurality of cleaning modules have different phase values at the same position on a plane. It is disposed in a position and has a structure to be stacked on top of each other, and further comprising an elevator for raising and lowering the tray for loading the object to be inspected on the front and rear sides along the moving direction of the transfer unit of each of the plurality of cleaning modules, the elevator A cleaning process modular inline system, characterized in that the inspection object is put into one of the plurality of cleaning modules by raising and lowering the tray disposed in the .

Description

클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템{Modular in-line system for cleaning process}Modular in-line system for cleaning process

본 발명은 캐리어에 투입되는 피검사물에 클리닝 공정을 수행하는 시스템에 관한 거으로, 더욱 상세하게는 에어 세척, 초음파 세척 및 유체 노즐 분사 세척을 수행하는 복수의 모듈이 배치되는 평면상의 공간을 최소화하여 설치 공간에 대한 제약이 경감되는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a system for performing a cleaning process on an object to be inspected put into a carrier, and more particularly, by minimizing the space on a plane in which a plurality of modules for performing air cleaning, ultrasonic cleaning, and fluid nozzle spray cleaning are disposed. It relates to a modularized in-line system for cleaning processes in which restrictions on installation space are reduced.

하나의 이송 라인 내에서 제조하는 시스템을 통상적으로 인라인 시스템(In-line system)이라고 통칭하며, 상기 인라인 시스템은 제조 공정의 전자동화가 실현됨에 따라 관리 인력을 최소화할 수 있다는 장점이 있다. 양질의 제품을 생산하기 위하여, 제조 시스템 내에서의 클리닝 모듈의 중요성이 대두되고 있으며, 복수의 문헌에서 상기 세정, 세척과 관련된 장치 및 시스템이 기재되고 있다.A system for manufacturing within one transfer line is commonly referred to as an in-line system, and the in-line system has an advantage in that management personnel can be minimized as full automation of the manufacturing process is realized. In order to produce high-quality products, the importance of a cleaning module in a manufacturing system is emerging, and a plurality of documents have described cleaning and cleaning-related devices and systems.

국내등록특허공보 제10-1951731호 및 제10-0639402호는 에어를 사용하여 건식으로 피검사물을 세척하는 장치에 대하여 기재하였다. 습도에 취약한 피검사물을 제조하는 시스템 내에서 채택할 수 있음에 따라, 최종적으로 제조되는 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Korean Patent Publication Nos. 10-1951731 and 10-0639402 have described a device for washing an object to be inspected in a dry manner using air. As it can be adopted in a system for manufacturing an object to be inspected that is vulnerable to humidity, the reliability of the finally manufactured product can be improved.

그러나 세척 효율 또는 피검사물의 특성상, 습식 세척이 필요한 경우가 발생할 수 있다. 즉, 피검사물에 건식 세척과 습식 세척을 모두 수행하기 위해서는 각각의 시스템을 필요로 하며, 피검사물의 상호 이동을 위한 관리 인력 또는 설계 변경이 불가피하다. 따라서, 클리닝 공정의 효율 하락 및 설계 변경에 따른 설치공간에 대한 제약이 발생할 수 있다.However, due to the cleaning efficiency or the characteristics of the object to be inspected, there may be cases in which wet cleaning is required. That is, each system is required to perform both dry cleaning and wet cleaning of the object to be inspected, and management personnel or design changes for mutual movement of the object are unavoidable. Accordingly, there may be restrictions on the installation space due to a decrease in the efficiency of the cleaning process and a design change.

국내등록특허공보 제10-1951731호 "카메라모듈 에어세정장치" (2019. 02. 19.)Domestic Patent Publication No. 10-1951731 "Camera module air cleaning device" (2019.02.19.) 국내등록특허공보 제10-0639402호 "레이저를 이용한 이미지센서의 건식 세정 방법 및 세정장치" (2006. 10. 20.)Domestic Patent Publication No. 10-0639402 "Laser-using image sensor dry cleaning method and cleaning device" (2006. 10. 20.)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 궁극적으로는 시스템이 설치되는 공간에 대한 제약을 최소화함과 동시에 관리 인력을 절감하여 공정의 효율성을 극대화할 수 있는 클리닝 공정 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and ultimately to provide a cleaning process system that can maximize the efficiency of the process by minimizing the restrictions on the space where the system is installed and reducing management personnel at the same time. There is a purpose.

본 발명은 복수의 피검사물을 수용하는 트레이가 이송부에 의해 운반되면서 세척이 실시되는 클리닝 시스템에 있어서, 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제1 이송부를 포함하여, 이온화된 공기를 내부에서 발생시켜 상기 제1 이송부 측으로 분사시키는 1차 클리닝 모듈, 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제2 이송부를 포함하여, 일정한 주파수의 진동을 상기 제2 이송부 측으로 전달하는 2차 클리닝 모듈 및 전방 또는 후방을 향하여 트레이를 이송시키는 제3 이송부를 포함하여, 일정한 압력의 유체를 상기 제3 이송부 측으로 분사시키는 3차 클리닝 모듈을 포함하여 이루어지되, 상기 복수의 클리닝 모듈은 평면상의 동일한 위치에서 각각 다른 위상 값을 갖는 위치에 배치되어 상호 적층되는 구조로 이루어지고, 상기 복수의 클리닝 모듈 각각의 상기 이송부의 진행 방향에 따른 전방 및 후방 측에는 피검사물을 적재하는 상기 트레이를 상승 및 하강시키는 엘리베이터를 더 포함하여, 상기 엘리베이터에 배치되는 상기 트레이의 상승 및 하강에 의해 상기 복수의 클리닝 모듈 중 하나의 모듈로 피검사물을 투입시키는 것을 특징으로 한다.The present invention is a cleaning system in which a tray accommodating a plurality of objects to be inspected is transported by a transport unit and washed, including a first transport unit that transports the tray toward the front or rear to generate ionized air inside A secondary cleaning module including a primary cleaning module for spraying to the first transfer unit, a second transfer unit for transferring the tray toward the front or rear, and a secondary cleaning module for transmitting vibrations of a constant frequency to the second transfer unit, and toward the front or rear It comprises a third transfer unit for transferring the tray, and a tertiary cleaning module for spraying a fluid of a constant pressure toward the third transfer unit, wherein the plurality of cleaning modules have different phase values at the same position on a plane. It is disposed in a position and has a structure to be stacked on top of each other, and further comprising an elevator for raising and lowering the tray for loading the object to be inspected on the front and rear sides along the moving direction of the transfer unit of each of the plurality of cleaning modules, the elevator It is characterized in that the inspection object is put into one of the plurality of cleaning modules by the raising and lowering of the tray disposed in the .

또한 상기 엘리베이터는 최초에 상기 복수의 클리닝 모듈 측으로 트레이를 투입하는 제1 엘리베이터 및 클리닝 공정이 완료된 트레이를 시스템 외부로 배출하는 제2 엘리베이터를 포함하여 이루어진다.In addition, the elevator comprises a first elevator that initially puts trays into the plurality of cleaning modules and a second elevator that discharges the trays on which the cleaning process is completed to the outside of the system.

또한 상기 복수의 클리닝 모듈이 피검사물에 가하는 클리닝 공정 순서를 연산하는 처리부를 포함하여 이루어져, 상기 처리부에서 연산한 데이터를 기반으로 트레이의 위상을 결정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the plurality of cleaning modules comprises a processing unit for calculating a cleaning process sequence applied to the object to be inspected, characterized in that the tray phase is determined based on the data calculated by the processing unit.

또한 상기 각각의 클리닝 모듈은 피검사물에 가하는 클리닝 공정에 대한 정보를 저장하는 ID 저장부를 더 포함하여, 상기 ID 저장부에 저장된 정보를 상기 엘리베이터로 전달하고, 상기 엘리베이터는 상기 각각의 클리닝 모듈로부터 전달받은 식별 신호 및 현재 결합된 위상을 판단하여 상기 처리부로 송신하고, 상기 처리부에서 연산한 데이터를 수신하는 제1 통신부를 포함한다.In addition, each of the cleaning modules further includes an ID storage unit for storing information about a cleaning process applied to the object to be inspected, and transmits the information stored in the ID storage unit to the elevator, and the elevator is transmitted from each cleaning module and a first communication unit configured to determine the received identification signal and the current combined phase, transmit it to the processing unit, and receive data calculated by the processing unit.

또한 피검사물에 부착된 이물질을 진공흡착하는 피커를 포함하는 4차 클리닝 모듈을 더 포함한다.In addition, it further includes a fourth cleaning module including a picker for vacuum adsorbing foreign substances attached to the object to be inspected.

또한 상기 4차 클리닝 모듈은 피검사물에 부착된 이물질에 대한 촬상 이미지를 획득하는 비전카메라를 더 포함한다.In addition, the fourth cleaning module further includes a vision camera for acquiring a captured image of a foreign material attached to the object to be inspected.

본 발명으로 인하여, 클리닝 시스템의 설치 공간에 따른 제약을 최소화함에 따라서 협소한 공장 내에도 시스템 배치가 가능하다는 효과를 얻을 수 있다.Due to the present invention, it is possible to obtain the effect that the system arrangement is possible even in a narrow factory by minimizing the restrictions according to the installation space of the cleaning system.

또한 시스템이 차지하는 공간이 최소화됨에 따라, 클리닝 공정을 관리하는 인력을 타 공정으로 이전 배치할 수 있어 공정의 효율도 향상시킬 수 있다.In addition, as the space occupied by the system is minimized, the manpower managing the cleaning process can be transferred to another process, thereby improving process efficiency.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템을 도시한 예시도다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템의 공정 과정을 도시한 예시도다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템의 공정 연산 과정을 도시한 예시도다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템을 도시한 예시도다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템을 도시한 예시도다.
도 6은 본 발명의 따른 4차 클리닝 모듈을 도시한 예시도다.1 is an exemplary diagram illustrating a cleaning process modular in-line system according to an embodiment of the present invention.
2 is an exemplary diagram illustrating a process process of a cleaning process modular inline system according to an embodiment of the present invention.
3 is an exemplary diagram illustrating a process calculation process of a cleaning process modularization inline system according to an embodiment of the present invention.
4 is an exemplary diagram illustrating a cleaning process modularization inline system according to another embodiment of the present invention.
5 is an exemplary diagram illustrating a cleaning process modularization inline system according to another embodiment of the present invention.
6 is an exemplary view illustrating a fourth cleaning module according to the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to their ordinary or dictionary meanings, and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical spirit of the present invention, so various equivalents that can be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be variations and examples.

이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항, 즉, 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.Hereinafter, prior to the description with reference to the drawings, it is not shown or specifically described for the known configuration that is not necessary to reveal the gist of the present invention, that is, a known configuration that can be obviously added by those skilled in the art. make it clear that you didn't

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템을 도시한 예시도다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예는 피검사물에 클리닝 공정을 수행하는 복수의 클리닝 모듈 및 복수의 상기 클리닝 모듈과 결합되는 복수의 엘리베이터를 포함하여 이루어진다.1 is an exemplary diagram illustrating a cleaning process modular in-line system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1 , an embodiment of the present invention includes a plurality of cleaning modules for performing a cleaning process on an object to be inspected, and a plurality of elevators coupled to the plurality of cleaning modules.

복수의 상기 클리닝 모듈은 이온화된 공기를 피검사물에 분사하여 클리닝을 수행하는 1차 클리닝 모듈(110), 일정한 주파수의 진동을 피검사물에 전달하여 클리닝을 수행하는 2차 클리닝 모듈(120) 및 일정한 압력의 유체를 피검사물에 분사하여 클리닝을 수행하는 3차 클리닝 모듈(130)을 포함하여 이루어질 수 있다.A plurality of the cleaning modules include a primary cleaning module 110 that performs cleaning by spraying ionized air onto an object to be inspected, a secondary cleaning module 120 that performs cleaning by transmitting vibrations of a constant frequency to the object to be inspected, and a constant It may include a tertiary cleaning module 130 that performs cleaning by spraying a fluid under pressure to the object to be inspected.

또한 복수의 상기 클리닝 모듈 각각에는 길이 방향을 따라 전진 및 후진을 수행하여 피검사물을 운반하는 이송부가 내부에 배치된다.In addition, each of the plurality of cleaning modules by performing forward and backward in the longitudinal direction to transport the object to be inspected is disposed therein.

각각 상이한 클리닝 공정을 수행하는 복수의 상기 클리닝 모듈은 도 1에 도시된 것과 같이 평면상으로 동일한 위치에서 수직 방향으로 높이 값이 상이한 위상에 배치되는 구조에서 복수의 상기 엘리베이터와 결합된다. 상기한 구조로 이루어짐에 따라, 설치 공간에 따른 제약을 최소화하여 협소한 공장 내에도 시스템 배치가 가능하다.As shown in FIG. 1 , the plurality of cleaning modules each performing different cleaning processes are coupled to a plurality of elevators in a structure in which they are disposed at different height values in the vertical direction at the same position on a plane. As the structure is configured as described above, it is possible to arrange the system even in a narrow factory by minimizing the restrictions according to the installation space.

복수의 상기 엘리베이터는 복수의 상기 클리닝 모듈 내부에 배치되는 상기 각각의 이송부로 피검사물이 적재된 트레이를 배출하는 플레이트가 배치된다. 상기 플레이트는 높이 방향에 따라 승강 및 하강이 이루어짐에 따라, 상기 각각의 클리닝 모듈로 피검사물을 투입시킨다.In the plurality of elevators, a plate for discharging a tray on which an object to be inspected is loaded is disposed to each of the transfer units disposed inside the plurality of cleaning modules. As the plate is raised and lowered along the height direction, the inspection object is put into each of the cleaning modules.

복수의 상기 클리닝 모듈의 길이 방향 양단부에는 복수의 상기 엘리베이터로 데이터를 전달하는 모듈 포트(101)가 형성될 수 있고, 복수의 상기 엘리베이터는 상기 모듈 포트(101)와 대향되어 결합되는 위치에 엘리베이터 포트(201)가 형성될 수 있다. 복수의 상기 클리닝 모듈은 상기 모듈 포트(101) 및 엘리베이터 포트(201)를 통하여 피검사물에 수행하는 클리닝 공정과 관련된 데이터를 전달한다. 복수의 상기 엘리베이터는 각각의 상기 클리닝 모듈에서 전달받은 공정 관련 데이터 및 결합된 위상을 기반으로 상기 플레이트의 위상이 결정된다.At both ends in the longitudinal direction of the plurality of cleaning modules, a module port 101 for transferring data to a plurality of the elevators may be formed, and the plurality of elevators are opposite to the module port 101 and coupled to the elevator port. 201 may be formed. A plurality of the cleaning modules transmit data related to the cleaning process performed on the object to be inspected through the module port 101 and the elevator port 201 . In the plurality of elevators, the phase of the plate is determined based on the combined phase and process-related data received from each of the cleaning modules.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템의 공정 과정을 도시한 예시도다. 도 2에 도시된 본 발명의 일실시예는 최저 위상을 갖는 지점에서 높이 방향을 따라 상승함에 따라, 순차적으로 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130)이 배치되는 구조다.2 is an exemplary diagram illustrating a process process of a cleaning process modular inline system according to an embodiment of the present invention. According to an embodiment of the present invention shown in FIG. 2, as it rises along the height direction from the point having the lowest phase, the primary cleaning module 110, the secondary cleaning module 120, and the tertiary cleaning module 130 sequentially ) is the structure in which it is arranged.

복수의 클리닝 모듈은 내부에서 길이 방향을 따라 피검사물을 운반하는 이송부가 배치된다. 즉, 1차 클리닝 모듈(110)에서 피검사물을 운반하는 제1 이송부(110), 2차 클리닝 모듈(120)에서 피검사물을 운반하는 제2 이송부(120) 및 3차 클리닝 모듈(130)에서 피검사물을 운반하는 제3 이송부(130)가 각각의 클리닝 모듈 내부에 배치된다.In the plurality of cleaning modules, a transfer unit for transporting an object to be inspected is disposed in the longitudinal direction. That is, in the first transfer unit 110 for transporting the object to be inspected from the primary cleaning module 110 , the second transfer unit 120 for transporting the object to be inspected from the secondary cleaning module 120 , and the tertiary cleaning module 130 . A third transfer unit 130 for transporting an object to be inspected is disposed inside each cleaning module.

상기 1차 클리닝 모듈(110)은 이온화된 공기를 피검사물에 분사하는 이오나이저 블로워(112) 및 내부 공간에 발생하는 분진을 흡인하는 석션기(113)가 배치될 수 있다. 상기 이오나이저 블로워(112) 및 석션기(113)는 상기 1차 클리닝 모듈(110)의 상부 및 하부에 모두 배치될 수 있다.The primary cleaning module 110 may include an ionizer blower 112 that sprays ionized air to the object to be inspected, and a suction device 113 that sucks dust generated in the internal space. The ionizer blower 112 and the suction unit 113 may be disposed both above and below the primary cleaning module 110 .

상기 2차 클리닝 모듈(120)은 피검사물에 진동을 부여하는 복수의 초음파 발생기를 포함한다. 상기 복수의 초음파 발생기는 피검사물을 적재하는 트레이(1) 또는 트레이(1)를 운반하는 상기 제2 이송부(120)와 결합되는 구조로 이루어질 수 있다. 복수의 상기 초음파 발생기는 상대적으로 낮은 주파수의 진동을 피검사물에 부여하는 제1 초음파 발생기(122) 및 상대적으로 높은 주파수의 진동을 피검사물에 부여하는 제2 초음파 발생기(123)를 포함하여 이루어진다.The secondary cleaning module 120 includes a plurality of ultrasonic generators for applying vibration to the object to be inspected. The plurality of ultrasonic generators may have a structure coupled to a tray 1 for loading an object to be inspected or the second transfer unit 120 for transporting the tray 1 . The plurality of ultrasonic generators includes a first ultrasonic generator 122 that applies vibration of a relatively low frequency to the object to be inspected, and a second ultrasonic generator 123 that applies vibration of a relatively high frequency to the object to be inspected.

상기 3차 클리닝 모듈(130)은 일정한 압력의 유체를 피검사물에 분사하는 복수의 노즐(132) 및 상기 복수의 노즐(132)에서 분사된 유체를 건조시키기 위하여 고온의 공기를 피검사물에 분사하는 건조기(133)를 포함하여 이루어진다. 이 때, 상기 3차 클리닝 모듈(130)은 상기 복수의 노즐(132)이 배치되는 내부 공간과 상기 건조기(133)가 배치되는 내부 공간을 구분 구획하는 별도의 차단 도어(134)가 더 포함되는 구조로 이루어질 수 있다.The tertiary cleaning module 130 sprays a plurality of nozzles 132 for spraying a fluid of a constant pressure to the object to be inspected and high-temperature air to dry the fluid sprayed from the plurality of nozzles 132 to the object to be inspected. A dryer 133 is included. At this time, the tertiary cleaning module 130 further includes a separate blocking door 134 that separates and partitions the inner space in which the plurality of nozzles 132 are disposed and the inner space in which the dryer 133 is disposed. structure can be made.

상기 제1 엘리베이터는 최초로 상기 1차 클리닝 모듈(110)로 피검사물이 적재된 트레이(1)를 투입시키는 제1 플레이트(211)가 내부에서 승강 및 하강을 수행하고, 상기 제2 엘리베이터는 상기 3차 클리닝 모듈(130)에서 클리닝 공정이 최종적으로 완료된 트레이(1)를 시스템 외부로 배출시키는 제2 플레이트(221)가 내부에서 승강 및 하강을 수행한다. 이 때, 상기 제2 플레이트(221)에는 트레이(1)를 상하반전시키는 플리핑 시스템이 추가적으로 결합될 수 있다.In the first elevator, the first plate 211 for putting the tray 1 loaded with the inspection object into the primary cleaning module 110 for the first time performs lifting and lowering inside, and the second elevator is the third The second plate 221 for discharging the tray 1 on which the cleaning process is finally completed in the car cleaning module 130 to the outside of the system performs lifting and lowering inside. In this case, a flipping system for vertically inverting the tray 1 may be additionally coupled to the second plate 221 .

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템의 공정 연산 과정을 도시한 예시도다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예는 복수의 상기 클리닝 모듈 및 복수의 상기 엘리베이터와 연동되어 전반적인 클리인 공정을 연산하고 처리하는 별도의 처리부(300)가 추가적으로 포함되는 시스템으로 이루어질 수 있다.3 is an exemplary diagram illustrating a process calculation process of a cleaning process modularization inline system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3 , an embodiment of the present invention consists of a system in which a separate processing unit 300 is additionally included for calculating and processing the overall clean process in conjunction with the plurality of cleaning modules and the plurality of elevators. can

복수의 상기 클리닝 모듈은 각각의 클리닝 공정에 대한 데이터를 저장하는 ID 저장부(102), 내부에 배치되는 이송부의 작동 여부 및 피검사물의 이송 방향을 제어하는 이송 제어부(103) 및 내부에 배치되는 클리닝 구성의 작동을 제어하는 세척 제어부(104)를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 ID 저장부(102)에 저장되는 데이터는 도 1에 도시된 상기 모듈 포트 및 엘리베이터 포트에 결합 구조에 의해 상기 엘리베이터로 전달된다. The plurality of cleaning modules includes an ID storage unit 102 that stores data for each cleaning process, a transfer control unit 103 that controls whether the transfer unit is operated and the direction of transfer of the object to be inspected, and is disposed therein. A cleaning control 104 that controls operation of the cleaning configuration may be included. The data stored in the ID storage unit 102 is transmitted to the elevator by a coupling structure to the module port and the elevator port shown in FIG. 1 .

복수의 상기 엘리베이터는 상기 ID 저장부(102)에서 전달받은 데이터를 기반으로 각각의 상기 클리닝 모듈의 위치를 판단하는 위치 판단부(202), 내부에 배치되는 플레이트의 위상을 제어하는 승강 제어부(203) 및 상기 처리부(300)와 연동되어 데이터를 송수신하는 제1 통신부(204)를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 위치 판단부(202)에서 1차적으로 연산되는 복수의 상기 클리닝 모듈의 결합 위치 정보를 상기 제1 통신부(204)를 통하여 상기 처리부(300)로 송신한다.In the plurality of elevators, a position determination unit 202 for determining the position of each cleaning module based on the data received from the ID storage unit 102, and an elevation control unit 203 for controlling the phase of a plate disposed therein ) and a first communication unit 204 that transmits and receives data in conjunction with the processing unit 300 . The combined position information of the plurality of cleaning modules, which is primarily calculated by the position determination unit 202 , is transmitted to the processing unit 300 through the first communication unit 204 .

상기 처리부(300)는 복수의 상기 엘리베이터와 연동되어 데이터를 송수신하는 제2 통신부(301) 및 전반적인 클리닝 공정을 연산하는 공정 연산부(302)를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 제2 통신부(301)에서 수신한 데이터를 기반으로 연산된 클리닝 공정에 의해 상기 공정 연산부(302)는 상기 이송 제어부(103), 세척 제어부(104) 및 승강 제어부(203)에 하달되는 명령에 대한 데이터를 상기 제2 통신부(302)로 전달한다.The processing unit 300 may include a second communication unit 301 that transmits and receives data by interworking with the plurality of elevators, and a process operation unit 302 that calculates the overall cleaning process. By the cleaning process calculated based on the data received from the second communication unit 301, the process operation unit 302 responds to commands received from the transfer control unit 103, the washing control unit 104, and the lifting control unit 203. data is transmitted to the second communication unit 302 .

상기한 구성이 포함되는 구조로 이루어짐에 따라, 도 4에 도시된 것처럼 관리자가 다양한 결합 구조로 가변시킬 수 있다. 즉, 설치되는 공간에 맞추어 가변시킬 수 있음에 따라, 시스템이 차지하는 공간을 최소화함과 동시에 클리닝 공정을 관리하는 인력을 타공정을 이전 배치할 수 있어 공정의 효율도 향상시킬 수 있다.As the structure includes the above-described configuration, as shown in FIG. 4 , the administrator may change the structure into various coupling structures. That is, since it can be varied according to the space in which it is installed, the space occupied by the system can be minimized and, at the same time, the manpower who manages the cleaning process can be transferred to another process, thereby improving the efficiency of the process.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템을 도시한 예시도며, 도 6은 본 발명에 따른 4차 클리닝 모듈을 도시한 예시도다. 본 발명의 다른 실시예는 상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130)에서 수행하는 공정과 상이한 방식의 클리닝 공정을 수행하는 4차 클리닝 모듈(140)이 더 포함되는 구조로 이루어진다.5 is an exemplary diagram illustrating a modular inline system for a cleaning process according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an exemplary diagram illustrating a fourth cleaning module according to the present invention. In another embodiment of the present invention, the fourth cleaning module 140 performs a cleaning process different from the process performed by the first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 , and the third cleaning module 130 . ) is further included in the structure.

상기 4차 클리닝 모듈(140)도 다른 복수의 클리닝 모듈과 유사한 구조로, 상기 모듈 포트가 길이 방향 양단부에 형성되는 구조로 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 4차 클리닝 모듈(140)도 복수의 상기 엘리베이터의 높이 방향에 따른 결합 위상에 대하여 제한되지 않음에 따라, 다양한 결합 구조로 이루어질 수 있다.The fourth cleaning module 140 may also have a structure similar to that of a plurality of other cleaning modules, and may have a structure in which the module ports are formed at both ends in the longitudinal direction. Accordingly, as the fourth cleaning module 140 is not limited with respect to the coupling phase along the height direction of the plurality of elevators, various coupling structures may be formed.

도 6과 같이, 상기 4차 클리닝 모듈(140)은 피검사물에 부착된 더스트를 제거하는 클리닝 모듈로, 피검사물에 부착된 더스트에 대한 영상 정보를 확보하는 비전카메라(143) 및 내부에 진공압이 형성되어 더스트를 흡인하는 하나 이상의 피커(142)를 포함하여 이루어질 수 있다.As shown in FIG. 6 , the fourth cleaning module 140 is a cleaning module that removes dust attached to an object to be inspected, and includes a vision camera 143 that secures image information on the dust attached to the object and a vacuum pressure therein. This may be formed to include one or more pickers 142 for sucking dust.

지금까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 살펴보았다.So far, with respect to the present invention, the preferred embodiment has been looked at.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시예에 관련된 것이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형된 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings relate to one most preferred embodiment of the present invention, and do not represent all of the technical spirit of the present invention, so various equivalents and modifications that can be substituted for them are It should be understood that there may be examples.

따라서 본 발명은 제시되는 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위에 기재된 기술사상의 균등한 범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능한 실시예가 있을 수 있다.Therefore, the present invention is not limited to the presented embodiments, and within the equivalent scope of the technical spirit of the present invention and the technical spirit described in the claims to be described below by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. There may be embodiments in which various modifications and changes are possible.

1 : 트레이
100 : 클리닝 모듈
101 : 모듈 포트 102 : ID 저장부
103 : 이송 제어부 104 : 세척 제어부
110 : 1차 클리닝 모듈 111 : 제1 이송부
112 : 이오나이저 블로워 113 : 석션기
120 : 2차 클리닝 모듈 121 : 제2 이송부
122 : 제1 초음파 발생기 123 : 제2 초음파 발생기
130 : 3차 크리닝 모듈 131 : 제3 이송부
132 : 노즐 133 : 건조기
140 : 4차 클리닝 모듈 141 : 제4 이송부
142 : 피커 143 : 비전카메라
200 : 엘리베이터
201 : 엘리베이터 포트 202 : 위치 판단부
203 : 승강 제어부 204 : 제1 통신부
210 : 제1 엘리베이터 211 : 제1 플레이트
220 : 제2 엘리베이터 221 : 제2 플레이트
300 : 처리부
310 : 제2 통신부 320 : 공정 연산부1: tray
100: cleaning module
101: module port 102: ID storage unit
103: transfer control unit 104: washing control unit
110: first cleaning module 111: first transfer unit
112: ionizer blower 113: suction unit
120: secondary cleaning module 121: second transfer unit
122: first ultrasonic generator 123: second ultrasonic generator
130: tertiary cleaning module 131: third transfer unit
132: nozzle 133: dryer
140: fourth cleaning module 141: fourth transfer unit
142: picker 143: vision camera
200: elevator
201: elevator port 202: position determination unit
203: elevating control unit 204: first communication unit
210: first elevator 211: first plate
220: second elevator 221: second plate
300: processing unit
310: second communication unit 320: process operation unit

Claims (6)

복수의 피검사물을 수용하는 트레이(1)가 이송부에 의해 운반되면서 세척이 실시되는 클리닝 시스템에 있어서,
전방 또는 후방을 향하여 트레이(1)를 이송시키는 제1 이송부(111)를 포함하여, 이온화된 공기를 내부에서 발생시켜 상기 제1 이송부(111) 측으로 분사시키는 1차 클리닝 모듈(110);
전방 또는 후방을 향하여 트레이(1)를 이송시키는 제2 이송부(121)를 포함하여, 일정한 주파수의 진동을 상기 제2 이송부(121) 측으로 전달하는 2차 클리닝 모듈(120); 및
전방 또는 후방을 향하여 트레이(1)를 이송시키는 제3 이송부(131)를 포함하여, 일정한 압력의 유체를 상기 제3 이송부(131) 측으로 분사시키는 3차 클리닝 모듈(130);
을 포함하여 이루어지되,
상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130)은
평면상의 동일한 위치에서 각각 다른 위상 값을 갖는 위치에 배치되어 상호 적층되는 구조로 이루어지고,
상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130) 각각의 상기 이송부의 진행 방향에 따른 전방 및 후방 측에는
피검사물을 적재하는 상기 트레이(1)를 상승 및 하강시키는 엘리베이터(200);를 더 포함하여,
상기 엘리베이터(200)에 배치되는 상기 트레이(1)의 상승 및 하강에 의해 상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130) 중 하나의 모듈로 피검사물을 투입시키는 것을 특징으로 하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.
In the cleaning system in which washing is performed while the tray (1) for accommodating a plurality of inspection objects is transported by a transfer unit,
A primary cleaning module 110 including a first transfer unit 111 for transferring the tray 1 toward the front or rear, generating ionized air from the inside and spraying it toward the first transfer unit 111;
A secondary cleaning module 120 including a second transfer unit 121 for transferring the tray 1 toward the front or rear, and transmitting vibration of a constant frequency to the second transfer unit 121 side; and
a tertiary cleaning module 130 including a third transfer unit 131 for transferring the tray 1 toward the front or rear, and spraying a fluid at a constant pressure toward the third transfer unit 131;
is made, including
The first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 , and the third cleaning module 130 are
It is arranged in the same position on the plane at positions having different phase values, and has a structure in which they are stacked on top of each other,
The first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 , and the third cleaning module 130 respectively have front and rear sides along the traveling direction of the transfer unit.
Elevator 200 for raising and lowering the tray 1 for loading the object to be inspected; further including,
One of the first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 , and the third cleaning module 130 by the raising and lowering of the tray 1 disposed in the elevator 200 . Cleaning process modularization inline system, characterized in that input.
 제1항에 있어서,
상기 엘리베이터(200)는
최초에 상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130) 측으로 트레이(1)를 투입하는 제1 엘리베이터(210) 및
클리닝 공정이 완료된 트레이(1)를 시스템 외부로 배출하는 제2 엘리베이터(220)를 포함하여 이루어지는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.
According to claim 1,
The elevator 200 is
A first elevator 210 that initially puts the tray 1 toward the first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 and the third cleaning module 130 , and
A cleaning process modular inline system comprising a second elevator 220 for discharging the tray 1 on which the cleaning process is completed to the outside of the system.
 제1항에 있어서
상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130)이 피검사물에 가하는 클리닝 공정 순서를 연산하는 처리부(300)를 포함하여 이루어져,
상기 처리부(300)에서 연산한 데이터를 기반으로 트레이(1)의 위상을 결정하는 것을 특징으로 하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.
2. The method of claim 1
The first cleaning module 110, the second cleaning module 120, and the third cleaning module 130 include a processing unit 300 for calculating the cleaning process sequence applied to the object to be inspected,
A modular inline system for cleaning process, characterized in that the phase of the tray (1) is determined based on the data calculated by the processing unit (300).
 제3항에 있어서,
상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130) 각각은
피검사물에 가하는 클리닝 공정에 대한 정보를 저장하는 ID 저장부(102)를 더 포함하여, 상기 ID 저장부(102)에 저장된 정보를 상기 엘리베이터(200)로 전달하고,
상기 엘리베이터(200)는
상기 1차 클리닝 모듈(110), 2차 클리닝 모듈(120) 및 3차 클리닝 모듈(130) 각각으로부터 전달받은 식별 신호 및 현재 결합된 위상을 판단하여 상기 처리부(300)로 송신하고, 상기 처리부(300)에서 연산한 데이터를 수신하는 승강 통신부를 포함하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.
4. The method of claim 3,
Each of the first cleaning module 110 , the second cleaning module 120 , and the third cleaning module 130 is
Further comprising an ID storage unit 102 for storing information on the cleaning process applied to the object to be inspected, the information stored in the ID storage unit 102 is transferred to the elevator 200,
The elevator 200 is
The first cleaning module 110, the second cleaning module 120, and the tertiary cleaning module 130 respectively determine the combined phase and the identification signal, and transmit it to the processing unit 300, the processing unit ( 300), a cleaning process modularization inline system including a lift communication unit for receiving the data calculated in the above.
 제1항에 있어서,
피검사물에 부착된 이물질을 진공흡착하는 피커(142)를 포함하는 4차 클리닝 모듈(140)을 더 포함하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.
According to claim 1,
The cleaning process modularized inline system further comprising a fourth cleaning module 140 including a picker 142 for vacuum adsorbing foreign substances attached to the object to be inspected.
 제5항에 있어서,
상기 4차 클리닝 모듈(140)은
피검사물에 부착된 이물질에 대한 촬상 이미지를 획득하는 비전카메라(143)를 더 포함하는 클리닝 공정 모듈화 인라인 시스템.6. The method of claim 5,
The fourth cleaning module 140 is
The cleaning process modularization inline system further comprising a vision camera 143 for acquiring a captured image of a foreign material attached to the object to be inspected.
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