KR102347409B1 - Inkjet Printer - Google Patents

Inkjet Printer Download PDF

Info

Publication number
KR102347409B1
KR102347409B1 KR1020150073606A KR20150073606A KR102347409B1 KR 102347409 B1 KR102347409 B1 KR 102347409B1 KR 1020150073606 A KR1020150073606 A KR 1020150073606A KR 20150073606 A KR20150073606 A KR 20150073606A KR 102347409 B1 KR102347409 B1 KR 102347409B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
unit
printing
processing unit
chemical
Prior art date
Application number
KR1020150073606A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160139186A (en
Inventor
이준석
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020150073606A priority Critical patent/KR102347409B1/en
Publication of KR20160139186A publication Critical patent/KR20160139186A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102347409B1 publication Critical patent/KR102347409B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

인쇄 장치는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 도포하기 위한 공정을 수행할 때 상기 약액을 도포하기 이전에 상기 기판을 대상으로 전처리를 수행하도록 구비되는 전처리부; 상기 전처리부로부터 상기 전처리가 이루어진 상기 기판을 전달받아 상기 잉크젯 방식으로 상기 기판 상에 상기 약액을 도포하는 공정을 수행하도록 구비되는 인쇄부; 및 상기 인쇄부로부터 상기 약액이 도포된 기판을 전달받아 상기 약액이 도포된 기판을 대상으로 후처리를 수행하도록 구비되는 후처리부를 포함하고, 상기 전처리부에서의 상기 기판은 롤러 방식으로 이송되고, 상기 인쇄부에서의 상기 기판은 플로팅 방식으로 이송되고, 상기 전처리부 및 상기 인쇄부는 동일 평면 상에 인-라인으로 배치되도록 구비될 수 있다.The printing apparatus includes: a pre-processing unit provided to perform pre-treatment on the substrate prior to applying the chemical when performing a process for applying the chemical on the substrate in an inkjet method; a printing unit provided to receive the substrate on which the pre-treatment has been performed from the pre-processing unit and perform a process of applying the chemical onto the substrate in the inkjet method; and a post-processing unit provided to receive the substrate to which the chemical is applied from the printing unit and to perform post-processing on the substrate to which the chemical is applied, wherein the substrate in the pre-processing unit is transferred in a roller manner, The substrate in the printing unit may be transferred in a floating manner, and the pre-processing unit and the printing unit may be arranged in-line on the same plane.

Description

인쇄 장치{Inkjet Printer}printing device {Inkjet Printer}

본 발명은 인쇄 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 도포하기 위한 인쇄부를 포함하는 인쇄 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a printing apparatus, and more particularly, to a printing apparatus including a printing unit for applying a chemical to a substrate by an inkjet method.

최근, 종이 등의 프린트 매체에 잉크를 사용하여 인쇄를 행할 경우, 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 인쇄부로 구비하는 인쇄 장치를 사용하고 있다.Recently, when printing is performed using ink on a print medium such as paper, when forming an alignment film or applying UV ink on a substrate (transparent substrate) for manufacturing in a liquid crystal display device, etc., or in an organic EL display device, etc. In the case of applying a color filter on a substrate for manufacturing, a printing apparatus having an inkjet head as a printing unit is used.

그리고 상기 인쇄 장치는 상기 인쇄부와 더불어 전처리부 및 후처리부 등을 포함할 수 있다. 상기 전처리부에서는 상기 인쇄를 위한 기판을 대상으로 세정 및 건조를 수행하고, 상기 후처리부에서는 기판 상에 도포된 약액의 경화를 수행한다. 이에, 상기 인쇄 장치는 상기 전처리부, 상기 인쇄부 및 상기 후처리부의 순서로 배치되도록 구비될 수 있다. 아울러, 상기 전처리부로부터 상기 인쇄부로 상기 기판의 이송은 주로 로봇암을 이용한다.Also, the printing apparatus may include a pre-processing unit and a post-processing unit in addition to the printing unit. The pre-processing unit performs cleaning and drying of the substrate for printing, and the post-processing unit cures the chemical applied on the substrate. Accordingly, the printing apparatus may be arranged to be disposed in the order of the pre-processing unit, the printing unit, and the post-processing unit. In addition, the transfer of the substrate from the pre-processing unit to the printing unit mainly uses a robot arm.

도 1은 종래의 인쇄 장치에서 인쇄부에 구비되는 스테이지를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a stage provided in a printing unit in a conventional printing apparatus.

도 1을 참조하면, 언급한 인쇄부에 구비되는 스테이지(13)를 나타내는 것으로써, 상기 스테이지(13)의 기판(10)이 놓여 지는 일면에 오목부(15)가 형성된다. 그리고 상기 오목부(15)는 언급한 바와 같이 상기 인쇄부로 상기 기판(10)을 이송할 때 이용되는 로봇암이 삽입되는 부분이다.Referring to FIG. 1 , as a representation of the stage 13 provided in the aforementioned printing unit, a concave portion 15 is formed on one surface on which the substrate 10 of the stage 13 is placed. And, as mentioned above, the concave part 15 is a part into which a robot arm used when transferring the substrate 10 to the printing part is inserted.

여기서, 상기 오목부(15)를 갖는 스테이지(13) 상에 대면적을 갖는 기판(10)이 놓여질 경우 상기 오목부(15)에 위치하는 기판(10)은 도 1의 A에서와 같이 아래로 처지는 현상이 발생할 수 있고, 그 결과 상기 기판(10) 상에 도포되는 약액의 전체 균일도가 틀어지는 상황이 발생할 수 있다.Here, when the substrate 10 having a large area is placed on the stage 13 having the concave portion 15 , the substrate 10 positioned in the concave portion 15 is moved downward as in FIG. 1A . Sagging may occur, and as a result, the overall uniformity of the chemical applied on the substrate 10 may be distorted.

본 발명은 기판 상에 도포되는 약액의 균일도의 향상을 도모할 수 있을 뿐만 아니라 기판의 이송 경로를 보다 간소화시킬 수 있는 인쇄 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a printing apparatus capable of improving the uniformity of a chemical applied on a substrate and further simplifying a transfer path of the substrate.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 도포하기 위한 공정을 수행할 때 상기 약액을 도포하기 이전에 상기 기판을 대상으로 전처리를 수행하도록 구비되는 전처리부; 상기 전처리부로부터 상기 전처리가 이루어진 상기 기판을 전달받아 상기 잉크젯 방식으로 상기 기판 상에 상기 약액을 도포하는 공정을 수행하도록 구비되는 인쇄부; 및 상기 인쇄부로부터 상기 약액이 도포된 기판을 전달받아 상기 약액이 도포된 기판을 대상으로 후처리를 수행하도록 구비되는 후처리부를 포함하고, 상기 전처리부에서의 상기 기판은 롤러 방식으로 이송되고, 상기 인쇄부에서의 상기 기판은 플로팅(floating) 방식으로 이송되고, 상기 전처리부 및 상기 인쇄부는 동일 평면 상에 인-라인(in-line)으로 배치되도록 구비될 수 있다.A printing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above-mentioned object performs a pretreatment on the substrate before applying the chemical when performing a process for applying the chemical on the substrate in an inkjet method. a pre-processing unit provided; a printing unit provided to receive the substrate on which the pre-treatment has been performed from the pre-processing unit and perform a process of applying the chemical onto the substrate in the inkjet method; and a post-processing unit provided to receive the substrate to which the chemical is applied from the printing unit and to perform post-processing on the substrate to which the chemical is applied, wherein the substrate in the pre-processing unit is transferred in a roller manner, The substrate in the printing unit may be transferred in a floating manner, and the pre-processing unit and the printing unit may be provided to be disposed in-line on the same plane.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 전처리부는 상기 기판을 세정하는 세정부 및 상기 세정이 이루어진 기판을 건조시키는 건조부를 포함할 수 있다.In the printing apparatus according to an embodiment of the present invention, the pre-processing unit may include a cleaning unit for cleaning the substrate and a drying unit for drying the cleaned substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 후처리부는 상기 기판 상에 도포된 약액을 경화시키는 경화부일 수 있다.In the printing apparatus according to an embodiment of the present invention, the post-processing unit may be a curing unit for curing the chemical applied on the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 인쇄부로부터 상기 후처리부로 상기 기판의 이송은 로봇암에 의해 이루어질 수 있다.In the printing apparatus according to an embodiment of the present invention, the transfer of the substrate from the printing unit to the post-processing unit may be performed by a robot arm.

언급한 본 발명에 따르면, 본 발명의 인쇄 장치는 전처리부에서의 기판의 이송은 롤러 방식으로 이루어지고, 인쇄부에서의 기판의 이송은 플로팅 방식으로 이루어지도록 구비됨과 아울러 전처리부 및 인쇄부가 동일 평면 상에 인-라인으로 배치되도록 구비될 수 있다.According to the above-mentioned present invention, in the printing apparatus of the present invention, the transfer of the substrate in the pre-processing unit is performed by a roller method, and the transfer of the substrate in the printing unit is provided in a floating manner, and the pre-processing unit and the printing unit are on the same plane It may be provided to be disposed in-line on the .

이에, 로봇암을 이용하여 기판을 이송할 때와는 달리 본 발명에서의 인쇄부에서는 기판이 아래로 처지는 부분을 없앨 수 있기 때문에 기판 상에 도포되는 약액의 균일도를 향상시킬 수 있고, 그 결과 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, unlike when transferring the substrate using a robot arm, in the printing unit in the present invention, the drooping portion of the substrate can be eliminated, so that the uniformity of the chemical solution applied on the substrate can be improved, and as a result, the process An improvement in reliability can be expected.

아울러 언급한 바와 같이 본 발명에서의 인쇄 장치는 전처리부와 인쇄부 사이를 인-라인을 배치되도록 구비할 수 있기 때문에 기판의 이송 경로를 보다 간소화시킬 수 있고, 그 결과 인쇄 공정에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.In addition, as mentioned above, since the printing apparatus in the present invention may be provided to be disposed in-line between the pre-processing unit and the printing unit, it is possible to further simplify the transport path of the substrate, and as a result, the productivity according to the printing process is improved can be expected

또한 본 발명의 인쇄 장치는 전처리부와 인쇄부 사이에 구비되는 로봇암을 생략할 수 있기 때문에 인쇄 장치 자체를 보다 간단한 구조로 제조할 수 있다.In addition, since the printing apparatus of the present invention can omit the robot arm provided between the pre-processing unit and the printing unit, the printing apparatus itself can be manufactured with a simpler structure.

도 1은 종래의 인쇄 장치에서 인쇄부에 구비되는 스테이지를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다.1 is a view showing a stage provided in a printing unit in a conventional printing apparatus.
2 is a configuration diagram schematically showing a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention may have various changes and may have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like components. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다.2 is a configuration diagram schematically showing a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 인쇄 장치(200)는 전처리부(21), 인쇄부(27), 후처리부(29) 등으로 이루어질 수 있다. 그리고 본 발명의 인쇄 장치(200)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(20) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(20) 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the printing apparatus 200 of the present invention may include a pre-processing unit 21 , a printing unit 27 , and a post-processing unit 29 . And the printing apparatus 200 of the present invention is formed on a substrate 20 for manufacturing a liquid crystal display device, etc., by forming an alignment layer or applying UV ink, or on a substrate 20 for manufacturing an organic EL display device, etc. It can be used to apply color filters.

상기 전처리부(21)는 잉크젯 방식으로 기판(20) 상에 약액(22)을 도포하기 위한 공정을 수행할 때 상기 약액(22)을 도포하기 이전에 상기 기판(20)을 대상으로 전처리를 수행하도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서의 상기 전처리부(21)는 상기 기판(20)을 세정하는 세정부(23) 및 상기 기판(20)을 건조시키는 건조부(25)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 전처리부(21)는 상기 세정부(23) 및 상기 건조부(25)의 순서로 배치되게 구비될 수 있다.The pretreatment unit 21 performs pretreatment on the substrate 20 before applying the chemical solution 22 when performing a process for applying the chemical solution 22 on the substrate 20 in an inkjet method. can be provided to do so. Accordingly, the pre-processing unit 21 in the present invention may include a cleaning unit 23 for cleaning the substrate 20 and a drying unit 25 for drying the substrate 20 . In this case, the pre-processing unit 21 may be provided to be disposed in the order of the washing unit 23 and the drying unit 25 .

상기 인쇄부(27)는 상기 전처리부(21)로부터 상기 전처리가 이루어진 상기 기판(20)을 전달받아 상기 잉크젯 방식으로 상기 기판(20) 상에 상기 약액(22)을 도포하는 공정을 수행하도록 구비될 수 있다.The printing unit 27 is provided to perform a process of applying the chemical solution 22 on the substrate 20 in the inkjet method by receiving the substrate 20 on which the pretreatment has been performed from the preprocessing unit 21 . can be

본 발명의 인쇄 장치(200)에서의 상기 인쇄부(27)는 언급한 바와 같이 잉크젯 방식으로 상기 기판(20) 상에 상기 약액(22)을 도포하는 것으로써, 잉크젯 헤드로 이루어질 수 있다. 이에, 상기 인쇄부(27)는 상기 약액(22)의 도포를 위하여 상기 약액(22)을 토출할 수 있는 복수 개의 노즐들이 구비될 수 있다. 상기 인쇄부(27)에 구비되는 복수 개의 노즐들은 주로 128개 또는 256개일 수 있고, 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 또한, 상기 노즐들에는 상기 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐들을 통하여 상기 기판(20) 상으로 약액(22)이 도포되도록 상기 약액(22)을 토출시킬 수 있는 것이다. 여기서, 상기 노즐들이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐들이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐들로부터 토출되는 약액(22)의 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.As mentioned above, the printing unit 27 in the printing apparatus 200 of the present invention may be formed of an inkjet head by applying the chemical solution 22 on the substrate 20 by an inkjet method. Accordingly, the printing unit 27 may be provided with a plurality of nozzles capable of discharging the chemical solution 22 for application of the chemical solution 22 . The plurality of nozzles provided in the printing unit 27 may be mainly 128 or 256, and may be arranged in a line at intervals of a predetermined pitch. In addition, the nozzles may be provided with a number of piezoelectric elements corresponding to the nozzles, so that the chemical solution 22 is applied onto the substrate 20 through the nozzles by the operation of the piezoelectric elements. The chemical solution 22 can be discharged. Here, when 128 nozzles are provided, 128 piezoelectric elements are also provided, and when 256 nozzles are provided, 256 piezoelectric elements are also provided. In addition, the discharge amount of the chemical liquid 22 discharged from the nozzles may be independently adjusted by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

그리고 본 발명에서는 상기 인쇄부(27)가 잉크젯 헤드로 이루어지는 것에 대하여 설명하고 있지만, 상기 인쇄부(27)는 상기 잉크젯 헤드 이외에 슬릿 코터로도 이루어질 수 있다.Also, although the present invention describes that the printing unit 27 is formed of an inkjet head, the printing unit 27 may be formed of a slit coater in addition to the inkjet head.

상기 후처리부(29)는 상기 인쇄부(27)로부터 상기 약액(2)이 도포된 기판(20)을 전달받아 상기 약액(22)이 도포된 기판(20)을 대상으로 후처리를 수행하도록 구비될 수 있다. 여기서, 상기 후처리부(29)는 상기 기판(20) 상에 도포된 약액(22)을 경화시키는 경화부를 포함할 수 있다.The post-processing unit 29 is provided to receive the substrate 20 to which the chemical solution 2 is applied from the printing unit 27 and to perform post-processing on the substrate 20 to which the chemical solution 22 is applied. can be Here, the post-processing unit 29 may include a curing unit for curing the chemical solution 22 applied on the substrate 20 .

이에, 본 발명의 인쇄 장치(200)는 상기 전처리부(21)에서 상기 기판(20)을 세정 및 건조시키고, 상기 인쇄부(27)에서 상기 기판(20) 상에 약액(22)을 도포시킨 후, 상기 후처리부(29)에서 상기 기판(20) 상에 도포된 약액(22)을 경화시키는 구성을 가질 수 있다.Accordingly, the printing apparatus 200 of the present invention washes and dries the substrate 20 in the pre-processing unit 21 , and applies the chemical 22 on the substrate 20 in the printing unit 27 . Thereafter, the post-processing unit 29 may have a configuration in which the chemical solution 22 applied on the substrate 20 is cured.

그리고 본 발명의 인쇄 장치(200)에서 상기 전처리부(21)에서의 상기 기판(20)은 롤러 방식으로 이송될 수 있다. 즉, 상기 전처리부(21)에서는 롤러 구동을 이용하여 상기 기판(20)을 이송시키도록 이루어질 수 있는 것이다. 아울러, 상기 인쇄부(27)에서의 상기 기판(20)은 플로팅 방식으로 이송될 수 있다. 이에, 상기 인쇄부(27)에는 상기 기판(20)을 플로팅시키도록 상기 기판(20) 상방을 향하여 기체를 분출하는 부상 스테이지(33)가 구비될 수 있다. 이에, 상기 인쇄부(27)에서의 상기 기판(20)은 상기 부상 스테이지(33)에 의해 상기 기판(20)이 부상된 상태로 파지 부재에 의해 파지되어서 상기 인쇄부(27)를 통과하는 구성을 가질 수 있다.In addition, in the printing apparatus 200 of the present invention, the substrate 20 in the pre-processing unit 21 may be transferred in a roller manner. That is, the pre-processing unit 21 may be configured to transfer the substrate 20 using roller driving. In addition, the substrate 20 in the printing unit 27 may be transferred in a floating manner. Accordingly, the printing unit 27 may be provided with a levitation stage 33 for ejecting gas toward the upper side of the substrate 20 to float the substrate 20 . Accordingly, the substrate 20 in the printing unit 27 is held by a holding member in a state in which the substrate 20 is floated by the floating stage 33 and passes through the printing unit 27 . can have

따라서 본 발명의 인쇄 장치(200)의 경우 상기 인쇄부(27)에서 상기 기판(20)을 플로팅 방식으로 이송시킬 수 있기 때문에 상기 전처리부(21) 및 상기 인쇄부(27)가 동일 평면 상에 배치되도록 구비할 수 있다. 이에, 상기 전처리부(21) 및 상기 인쇄부(27)는 인-라인으로 배치되도록 구비될 수 있는 것이다. 다시 말해, 상기 전처리부(21) 및 상기 인쇄부(27)는 서로 이웃하게 연속적으로 배치되도록 구비될 수 있는 것이다.Therefore, in the case of the printing apparatus 200 of the present invention, since the substrate 20 can be transferred by the printing unit 27 in a floating manner, the pre-processing unit 21 and the printing unit 27 are disposed on the same plane. It can be provided to be placed. Accordingly, the pre-processing unit 21 and the printing unit 27 may be provided to be arranged in-line. In other words, the pre-processing unit 21 and the printing unit 27 may be provided to be continuously arranged adjacent to each other.

그리고 상기 인쇄부(27)에서의 인쇄 공정이 완료된 기판(20)은 상기 후처리부(29)로 이송할 필요가 있다. 이에, 본 발명의 인쇄 장치(200)의 경우에는 상기 인쇄부(27)로부터 상기 후처리부(29)로 상기 기판(20)의 이송을 로봇암(35)을 이용한다.In addition, the substrate 20 on which the printing process in the printing unit 27 has been completed needs to be transferred to the post-processing unit 29 . Accordingly, in the case of the printing apparatus 200 of the present invention, the robot arm 35 is used to transfer the substrate 20 from the printing unit 27 to the post-processing unit 29 .

언급한 바와 같이, 본 발명의 인쇄 장치(200)는 상기 인쇄부(27)에서의 상기 기판(20)의 이송을 플로팅 방식으로 달성할 수 있기 때문에 전처리부(21) 및 인쇄부(27)를 동일 평면 상에 인-라인으로 배치되도록 구비할 수 있다. 아울러 상기 인쇄부(27)에서 상기 기판(20)을 플로팅 방식으로 받들고 있어 상기 기판(20)이 아래로 처지는 부분을 방지할 수 있기 때문에 상기 기판(20) 상에 도포되는 약액(22)의 균일도를 향상시킬 수 있다. 또한, 언급한 바와 같이 상기 전처리부(21)와 인쇄부(27) 사이를 인-라인을 배치되도록 구비할 수 있기 때문에 상기 기판(20)의 이송 경로를 보다 간소화시킬 수 있고, 그리고 상기 전처리부(21)와 상기 인쇄부(27) 사이에 구비되는 로봇암을 생략할 수 있기 때문에 인쇄 장치(200) 자체를 간단화시킬 수 있다. 더불어 상기 인쇄부(27)에서 상기 기판(20)이 접촉하는 부분을 생략할 수 있기 때문에 언급한 접촉으로 인한 정전기의 발생도 없앨 수 있는 것이다.As mentioned, since the printing apparatus 200 of the present invention can achieve the transfer of the substrate 20 in the printing unit 27 in a floating manner, the preprocessing unit 21 and the printing unit 27 are It may be provided to be disposed in-line on the same plane. In addition, since the printing unit 27 supports the substrate 20 in a floating manner, it is possible to prevent a portion in which the substrate 20 sags down, so the uniformity of the chemical solution 22 applied on the substrate 20 . can improve In addition, as mentioned above, since an in-line arrangement may be provided between the pre-processing unit 21 and the printing unit 27, the transport path of the substrate 20 can be further simplified, and the pre-processing unit Since the robot arm provided between the 21 and the printing unit 27 can be omitted, the printing apparatus 200 itself can be simplified. In addition, since the portion in contact with the substrate 20 in the printing unit 27 can be omitted, the generation of static electricity due to the aforementioned contact can also be eliminated.

본 발명의 인쇄 장치는 기판 상에 도포되는 약액의 균일도 향상을 통한 공정 신뢰도의 향상으로부터 제품 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있고, 전처리부 및 인쇄부를 인-라인으로 배치되게 구비하고, 로봇암을 생략할 수 있기 때문에 인쇄 장치의 구조 단순화를 통한 생산성의 향상과 더불어 가격 경쟁력의 향상까지도 기대할 수 있다.The printing apparatus of the present invention can expect even improvement of product reliability from improvement of process reliability through improvement of the uniformity of the chemical applied on the substrate, and has a pre-processing unit and a printing unit arranged in-line, and can omit a robot arm. Therefore, productivity improvement through simplification of the structure of the printing device as well as price competitiveness can be expected.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

10, 20 : 기판 13 : 스테이지
15 : 오목부 21 : 전처리부
22 : 약액 23 : 세정부
25 : 건조부 27 : 인쇄부
29 : 경화부 31 : 롤러
33 : 부상 스테이지 35 : 로봇암
100 : 인쇄 장치10, 20: substrate 13: stage
15: concave part 21: pre-processing part
22: chemical solution 23: cleaning unit
25: drying unit 27: printing unit
29: hardening part 31: roller
33: injury stage 35: robot arm
100: printing device

Claims (4)

슬릿 코터를 사용하는 코팅 방식 또는 잉크젯 헤드를 사용하는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 도포하기 위한 공정을 수행할 때 상기 약액을 도포하기 이전에 상기 기판을 대상으로 전처리를 수행하도록 구비되는 전처리부; 상기 전처리부로부터 상기 전처리가 이루어진 상기 기판을 전달받아 상기 코팅 방식 또는 상기 잉크젯 방식으로 상기 기판 상에 상기 약액을 도포하는 공정을 수행하도록 구비되는 인쇄부; 및 상기 인쇄부로부터 상기 약액이 도포된 기판을 전달받아 상기 약액이 도포된 기판을 대상으로 후처리를 수행하도록 구비되는 후처리부를 포함하고,
상기 전처리부에서의 상기 기판은 롤러 방식으로 이송되고, 상기 인쇄부에서의 상기 기판은 플로팅(floating) 방식으로 이송되고, 상기 전처리부 및 상기 인쇄부는 동일 평면 상에 인-라인(in-line)으로 배치되도록 구비되고, 그리고 상기 인쇄부로부터 상기 후처리부로 상기 기판의 이송은 로봇암에 의해 이루어지되,
상기 인쇄부에서의 플로팅되어 있는 기판을 상기 로봇암을 사용하여 이송시키는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.When performing a process for applying a chemical solution on a substrate by a coating method using a slit coater or an inkjet method using an inkjet head, a pretreatment unit provided to perform a pretreatment on the substrate before applying the chemical solution; a printing unit provided to receive the substrate subjected to the pretreatment from the pretreatment unit and perform a process of applying the chemical solution on the substrate by the coating method or the inkjet method; and a post-processing unit provided to receive the substrate coated with the chemical from the printing unit and perform post-processing on the substrate to which the chemical has been applied,
The substrate in the pre-processing unit is transferred in a roller manner, the substrate in the printing unit is transferred in a floating manner, and the pre-processing unit and the printing unit are in-line on the same plane. Is provided to be disposed as, and the transfer of the substrate from the printing unit to the post-processing unit is made by a robot arm,
A printing apparatus characterized in that the floating substrate in the printing unit is transferred using the robot arm. 제1 항에 있어서, 상기 전처리부는 상기 기판을 세정하는 세정부 및 상기 세정이 이루어진 기판을 건조시키는 건조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.The printing apparatus according to claim 1, wherein the pre-processing unit includes a cleaning unit for cleaning the substrate and a drying unit for drying the cleaned substrate. 제1 항에 있어서, 상기 후처리부는 상기 기판 상에 도포된 약액을 경화시키는 경화부인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.The printing apparatus according to claim 1, wherein the post-processing unit is a curing unit for curing the chemical applied on the substrate. 삭제delete
KR1020150073606A 2015-05-27 2015-05-27 Inkjet Printer KR102347409B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150073606A KR102347409B1 (en) 2015-05-27 2015-05-27 Inkjet Printer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150073606A KR102347409B1 (en) 2015-05-27 2015-05-27 Inkjet Printer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160139186A KR20160139186A (en) 2016-12-07
KR102347409B1 true KR102347409B1 (en) 2022-01-05

Family

ID=57573044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150073606A KR102347409B1 (en) 2015-05-27 2015-05-27 Inkjet Printer

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102347409B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102187198B1 (en) 2019-07-09 2020-12-04 세메스 주식회사 Apparatus and method for printing substrate

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08262734A (en) * 1995-03-27 1996-10-11 Toshiba Corp Resist applying device
TWI462215B (en) * 2010-03-29 2014-11-21 Dainippon Screen Mfg Substrate processing apparatus, changing method and transferring method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160139186A (en) 2016-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2979867B1 (en) Printing apparatus and printing method
US10870137B2 (en) Sheet cleaning device and method
JPWO2017175743A1 (en) Bent base material provided with printing layer and method for producing the same
KR102440568B1 (en) Aligning method of droplet apparatus
CN104834118B (en) Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device
KR102347409B1 (en) Inkjet Printer
KR20140007749A (en) Nozzle cleaning apparatus, coating apparatus, nozzle cleaning method, coating method, and computer storage medium
KR20160124449A (en) Windows Mobile and IT equipment for UV pattern is formed Glass UV Glass and window molding method
KR102440567B1 (en) Apparatus and Method for treating a substrate
KR101032979B1 (en) Printing method of a plastic panel
JP5328873B2 (en) Offset printing device
KR20090127694A (en) Pattern forming apparatus of flat panel display and pattern forming method using it
EP3357693A1 (en) Center drum type gravure printing apparatus, and gravure printing method and method for manufacturing printed article using said apparatus
KR102559882B1 (en) Method and Apparatus for Droplet Formation
KR20200045099A (en) Inkjet Head Unit and Apparatus for Processing Substrate having the same
TWI658624B (en) Coating device and coating method
KR102024615B1 (en) Apparatus for Cleaning Droplet in Inkjet Head and Method for Cleaning Droplet in Inkjet
KR102645261B1 (en) Ultraviolet digital printing method with improved printing efficiency and clarity
JP6196054B2 (en) Pattern transfer system and pattern transfer method
KR20140032842A (en) Apparatus for dispensing photoresist
KR102290623B1 (en) Nozzle Plate for Processing Droplet Formation and Coating Method of Nozzle Plate for Processing Droplet Formation
JP2006159077A (en) Film forming apparatus, film forming method, droplet discharge apparatus and pallet
KR20240041386A (en) Coating method and coating apparatus
JP7493704B2 (en) Printing device and printing method
KR101746262B1 (en) Blanket for printing a metal mesh off set

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right