KR102343636B1

KR102343636B1 - Apparatus for treating substrate

Info

Publication number: KR102343636B1
Application number: KR1020140180309A
Authority: KR
Inventors: 박희종
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2014-12-15
Filing date: 2014-12-15
Publication date: 2021-12-28
Also published as: KR20160072545A

Abstract

본 발명은 기판을 액 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛, 그리고 상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 처리액을 회수하는 처리 용기를 포함하되, 상기 처리 용기는 상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 내부에 처리 공간을 가지는 외측컵, 상기 처리 공간에 위치되며, 상기 처리 공간의 분위기가 배기되는 배기구를 가지는 배기관, 그리고 상기 배기구에 유입되는 처리액을 차단하는 차단 부재를 포함한다. 처리액에 배기구에 유입되는 것을 방지할 수 있다.The present invention provides an apparatus for liquid processing a substrate. A substrate processing apparatus includes a substrate support unit supporting a substrate, a liquid supply unit supplying a processing liquid on a substrate supported by the substrate support unit, and a processing container surrounding the substrate support unit and recovering the processing liquid, The processing vessel surrounds the substrate support unit and blocks an outer cup having a processing space therein, an exhaust pipe positioned in the processing space and having an exhaust port through which an atmosphere of the processing space is exhausted, and a processing liquid flowing into the exhaust port and a blocking member. It is possible to prevent the treatment liquid from flowing into the exhaust port.

Description

Substrate processing apparatus

본 발명은 기판을 액 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for liquid processing a substrate.

반도체 소자 및 평판표시패널의 제조 공정은 사진, 식각, 애싱, 박막 증착, 그리고 세정 공정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들 중 사진은 도포, 노광, 그리고 현상 단계를 순차적으로 수행하며, 각 공정이 진행되기 전후에서 기판 세정 공정이 수행된다.In the manufacturing process of semiconductor devices and flat panel display panels, various processes such as photography, etching, ashing, thin film deposition, and cleaning processes are performed. Among these processes, photo coating, exposure, and development are sequentially performed, and a substrate cleaning process is performed before and after each process.

특히 사진 공정에는 도포 단계와 노광 단계 사이에는 기판의 비처리면을 세정 처리하는 단계가 수행된다. 도 1은 세정 단계를 수행하는 일반적인 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 일부 영역을 확대해 보여주는 절단 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치는 기판 지지 유닛(2), 노즐(4), 그리고 처리 용기(6)를 포함한다. 기판(W)은 기판 지지 유닛(2)에 의해 지지되고, 노즐(4)은 기판(W) 상에 처리액을 공급한다. 처리 용기(6)는 기판 지지 유닛(2)을 감싸는 컵 형상을 가진다. 처리 용기(6)에는 그 내부 공간과 통하는 배출관(7) 및 배기관(8)이 연결된다. 기판(W)에 사용된 처리액은 배출관(7)에 의해 회수 처리되고, 내부 분위기는 배기관(8)에 의해 배기 처리된다. In particular, in the photographic process, a step of cleaning the untreated surface of the substrate is performed between the application step and the exposure step. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a general substrate processing apparatus performing a cleaning step, and FIG. 2 is an enlarged cut-away perspective view of a partial region of the substrate processing apparatus of FIG. 1 . 1 and 2 , the substrate processing apparatus includes a substrate supporting unit 2 , a nozzle 4 , and a processing vessel 6 . The substrate W is supported by the substrate support unit 2 , and the nozzle 4 supplies a processing liquid on the substrate W. The processing vessel 6 has a cup shape surrounding the substrate support unit 2 . A discharge pipe 7 and an exhaust pipe 8 communicating with the internal space are connected to the processing vessel 6 . The treatment liquid used for the substrate W is recovered by the discharge pipe 7 , and the internal atmosphere is exhausted through the exhaust pipe 8 .

그러나 처리액은 회수되는 중에 비산되거나, 처리 용기(6)의 내부에 형성된 와류에 의해 그 일부가 배기관(8)에 유입된다. 이에 따라 배기관(8) 및 이에 연결된 장치가 오염될 수 있다However, the treatment liquid is scattered while being recovered, or a part thereof is introduced into the exhaust pipe 8 by the vortex formed inside the treatment vessel 6 . Accordingly, the exhaust pipe 8 and devices connected thereto may be contaminated.

본 발명은 분위기를 배기하는 배기관에 처리액이 유입되는 것을 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of preventing a treatment liquid from flowing into an exhaust pipe for exhausting an atmosphere.

본 발명의 실시예는 기판을 액 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛, 그리고 상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 처리액을 회수하는 처리 용기를 포함하되, 상기 처리 용기는 상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 내부에 처리 공간을 가지는 외측컵, 상기 처리 공간에 위치되며, 상기 처리 공간의 분위기가 배기되는 배기구를 가지는 배기관, 그리고 상기 배기구에 유입되는 처리액을 차단하는 차단 부재를 포함한다. An embodiment of the present invention provides an apparatus for liquid processing a substrate. A substrate processing apparatus includes a substrate support unit supporting a substrate, a liquid supply unit supplying a processing liquid on a substrate supported by the substrate support unit, and a processing container surrounding the substrate support unit and recovering the processing liquid, The processing vessel surrounds the substrate support unit and blocks an outer cup having a processing space therein, an exhaust pipe positioned in the processing space and having an exhaust port through which an atmosphere of the processing space is exhausted, and a processing liquid flowing into the exhaust port and a blocking member.

상기 차단 부재는 배기관의 일단에 설치되며, 상기 배기구가 향하는 방향으로 상기 배기구를 바라볼 때 상기 배기구의 일부에 중첩되게 제공될 수 있다. 상기 기판 지지 유닛은 기판을 지지하는 지지판 및 상기 지지판의 저면에 결합되며, 회전 가능한 구동축을 포함하되, 상부에서 바라볼 때 상기 차단 부재는 상기 지지판의 측단에서 상기 배기관의 중심축을 향하는 방향으로 상기 배기관의 일단으로부터 연장될 수 있다. 상기 차단 부재는 상기 배기관의 일단으로부터 상향 경사진 방향으로 연장될 수 있다. 상기 차단 부재의 상면은 라운드지도록 제공될 수 있다. 상기 처리 용기는 상기 처리 공간을 내측 공간 및 외측 공간으로 구획하는 내측컵을 더 포함하되, 상기 배기관은 상기 내측 공간에 위치될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 상기 배기관은 상기 지지판과 중첩되게 위치될 수 있다. 상기 처리 용기는 상기 외측 공간에 대응되는 상기 외측컵의 영역에 연결되며, 상기 처리 공간에 회수되는 처리액을 회수하는 회수라인을 더 포함하되, 상기 내측컵의 하단은 상기 외측컵의 바닥면으로부터 이격되게 위치될 수 있다. 상기 배기관은 복수 개로 제공되며, 상기 구동축의 둘레를 감싸도록 배열될 수 있다. The blocking member is installed at one end of the exhaust pipe, and may be provided to overlap a portion of the exhaust port when the exhaust port is viewed in a direction toward the exhaust port. The substrate support unit includes a support plate for supporting the substrate and a lower surface of the support plate, and includes a rotatable driving shaft, wherein when viewed from above, the blocking member is a side end of the support plate toward the central axis of the exhaust pipe. It can be extended from one end of The blocking member may extend in an upwardly inclined direction from one end of the exhaust pipe. An upper surface of the blocking member may be provided to be rounded. The processing vessel may further include an inner cup dividing the processing space into an inner space and an outer space, wherein the exhaust pipe may be located in the inner space. When viewed from above, the exhaust pipe may be positioned to overlap the support plate. The processing container further includes a recovery line connected to a region of the outer cup corresponding to the outer space and for recovering the treatment liquid recovered in the treatment space, wherein the lower end of the inner cup is disposed from a bottom surface of the outer cup. may be spaced apart. The exhaust pipe may be provided in plurality, and may be arranged to surround the circumference of the driving shaft.

본 발명의 실시예에 의하면, 배기구가 제공되는 배기관에는 차단 부재가 제공된다. 이에 따라 처리액에 배기구에 유입되는 것을 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an exhaust pipe provided with an exhaust port is provided with a blocking member. Accordingly, it is possible to prevent the treatment liquid from flowing into the exhaust port.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 차단 부재는 배기관으로부터 상향 경사지도록 연장되게 제공된다. 이로 인해 배기관에 유입되는 처리액을 배기관의 외측으로 안내할 수 있다.Further, according to an embodiment of the present invention, the blocking member is provided to extend upwardly from the exhaust pipe. Accordingly, the treatment liquid flowing into the exhaust pipe may be guided to the outside of the exhaust pipe.

도 1은 일반적인 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 일부 영역을 확대해 보여주는 절단 사시도이다.
도 3은 기판 처리 설비를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3의 설비를 A-A 방향에서 바라본 단면도이다.
도 5는 도 3의 설비를 B-B 방향에서 바라본 단면도이다.
도 6은 도 3의 설비를 C-C 방향에서 바라본 단면도이다.
도 7은 도 2의 세정 챔버의 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 6의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 8의 차단 부재를 확대해 보여주는 절단 사시도이다.1 is a cross-sectional view showing a general substrate processing apparatus.
FIG. 2 is an enlarged cut-away perspective view of a partial region of the substrate processing apparatus of FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view showing a substrate processing facility.
4 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 3 viewed from the direction AA.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 3 viewed from the BB direction.
6 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 3 viewed from the CC direction.
7 is a plan view illustrating a substrate processing apparatus of the cleaning chamber of FIG. 2 .
8 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 6 .
9 is an enlarged cut-away perspective view of the blocking member of FIG. 8 .

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 설비는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 아래에서는 기판으로 기판(W)이 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.The equipment of this embodiment may be used to perform a photolithography process on a substrate such as a semiconductor wafer or a flat panel display panel. In particular, the equipment of this embodiment may be connected to an exposure apparatus and used to perform a coating process and a developing process on a substrate. Hereinafter, a case in which the substrate W is used as the substrate will be described as an example.

이하 도 3 내지 도 9를 통해 본 발명의 기판 처리 설비를 설명한다.Hereinafter, a substrate processing facility of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 9 .

도 3은 기판 처리 설비를 보여주는 단면도이고, 도 4는 도 3의 설비를 A-A 방향에서 바라본 단면도이며, 도 5는 도 3의 설비를 B-B 방향에서 바라본 단면도이고, 도 6은 도 3의 설비를 C-C 방향에서 바라본 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing the substrate processing facility, FIG. 4 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 3 viewed from the AA direction, FIG. 5 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 3 viewed from the BB direction, and FIG. 6 is the facility of FIG. 3 CC It is a cross-sectional view viewed from the direction.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)을 포함한다. 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다. 3 to 6 , the substrate processing facility 1 includes a load port 100 , an index module 200 , a first buffer module 300 , a coating and developing module 400 , and a second buffer module 500 . ), a pre-exposure processing module 600 , and an interface module 700 . Load port 100, index module 200, first buffer module 300, coating and developing module 400, second buffer module 500, pre-exposure processing module 600, and interface module 700 are sequentially arranged in a line in one direction.

이하, 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)이 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 칭하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(12)과 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 칭하고, 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14)과 각각 수직한 방향을 제 3 방향(16)이라 칭한다. Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, and the interface module ( A direction in which 700 is arranged is referred to as a first direction 12 , a direction perpendicular to the first direction 12 when viewed from above is referred to as a second direction 14 , and the first direction 12 and the second direction A direction each perpendicular to the direction 14 is referred to as a third direction 16 .

기판(W)은 카세트(20) 내에 수납된 상태로 이동된다. 이때 카세트(20)는 외부로부터 밀폐될 수 있는 구조를 가진다. 예컨대, 카세트(20)로는 전방에 도어를 가지는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod; FOUP)가 사용될 수 있다. The substrate W is moved while being accommodated in the cassette 20 . At this time, the cassette 20 has a structure that can be sealed from the outside. For example, as the cassette 20, a Front Open Unified Pod (FOUP) having a door at the front may be used.

이하에서는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, and the interface module ( 700) will be described in detail.

로드 포트(100)는 기판들(W)이 수납된 카세트(20)가 놓여지는 재치대(120)를 가진다. 재치대(120)는 복수개가 제공되며, 재치대들(200)은 제 2 방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에서는 4개의 재치대(120)가 제공되었다. The load port 100 has a mounting table 120 on which the cassette 20 in which the substrates W are accommodated is placed. A plurality of mounting tables 120 are provided, and the mounting tables 200 are arranged in a line along the second direction 14 . In FIG. 1, four mounting tables 120 were provided.

인덱스 모듈(200)은 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인 카세트(20)와 제 1 버퍼 모듈(300) 간에 기판(W)을 이송한다. 인덱스 모듈(200)은 프레임(210), 인덱스 로봇(220), 그리고 가이드 레일(230)을 가진다. 프레임(210)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(100)와 제 1 버퍼 모듈(300) 사이에 배치된다. 인덱스 모듈(200)의 프레임(210)은 후술하는 제 1 버퍼 모듈(300)의 프레임(310)보다 낮은 높이로 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(220)과 가이드 레일(230)은 프레임(210) 내에 배치된다. 인덱스 로봇(220)은 기판(W)을 직접 핸들링하는 핸드(221)가 제 1 방향(12), 제 2 방향(14), 제 3 방향(16)으로 이동 가능하고 회전될 수 있도록 4축 구동이 가능한 구조를 가진다. 인덱스 로봇(220)은 핸드(221), 아암(222), 지지대(223), 그리고 받침대(224)를 가진다. 핸드(221)는 아암(222)에 고정 설치된다. 아암(222)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 지지대(223)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 아암(222)은 지지대(223)를 따라 이동 가능하도록 지지대(223)에 결합된다. 지지대(223)는 받침대(224)에 고정결합된다. 가이드 레일(230)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)을 따라 배치되도록 제공된다. 받침대(224)는 가이드 레일(230)을 따라 직선 이동 가능하도록 가이드 레일(230)에 결합된다. 또한, 도시되지는 않았지만, 프레임(210)에는 카세트(20)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다.The index module 200 transfers the substrate W between the cassette 20 placed on the mounting table 120 of the load port 100 and the first buffer module 300 . The index module 200 includes a frame 210 , an index robot 220 , and a guide rail 230 . The frame 210 is provided in the shape of a substantially hollow rectangular parallelepiped, and is disposed between the load port 100 and the first buffer module 300 . The frame 210 of the index module 200 may be provided at a lower height than the frame 310 of the first buffer module 300 to be described later. The index robot 220 and the guide rail 230 are disposed in the frame 210 . The index robot 220 is a 4-axis drive so that the hand 221 that directly handles the substrate W can be moved and rotated in the first direction 12 , the second direction 14 , and the third direction 16 . It has this possible structure. The index robot 220 has a hand 221 , an arm 222 , a support 223 , and a pedestal 224 . The hand 221 is fixedly installed on the arm 222 . The arm 222 is provided in a telescoping structure and a rotatable structure. The support 223 is disposed along the third direction 16 in its longitudinal direction. The arm 222 is coupled to the support 223 to be movable along the support 223 . The support 223 is fixedly coupled to the support 224 . The guide rail 230 is provided so that its longitudinal direction is disposed along the second direction 14 . The pedestal 224 is coupled to the guide rail 230 so as to be linearly movable along the guide rail 230 . Also, although not shown, a door opener for opening and closing the door of the cassette 20 is further provided in the frame 210 .

제 1 버퍼 모듈(300)은 프레임(310), 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)을 가진다. 프레임(310)은 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 인덱스 모듈(200)과 도포 및 현상 모듈(400) 사이에 배치된다. 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)은 프레임(310) 내에 위치된다. 냉각 챔버(350), 제 2 버퍼(330), 그리고 제 1 버퍼(320)는 순차적으로 아래에서부터 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 제 1 버퍼(320)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 도포 모듈(401)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 현상 모듈(402)과 대응되는 높이에 위치된다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼(320)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 위치된다. The first buffer module 300 includes a frame 310 , a first buffer 320 , a second buffer 330 , a cooling chamber 350 , and a first buffer robot 360 . The frame 310 is provided in the shape of a rectangular parallelepiped with an empty interior, and is disposed between the index module 200 and the application and development module 400 . The first buffer 320 , the second buffer 330 , the cooling chamber 350 , and the first buffer robot 360 are positioned in the frame 310 . The cooling chamber 350 , the second buffer 330 , and the first buffer 320 are sequentially disposed along the third direction 16 from the bottom. The first buffer 320 is positioned at a height corresponding to the application module 401 of the coating and developing module 400 to be described later, and the second buffer 330 and the cooling chamber 350 are provided in the coating and developing module (to be described later) ( It is located at a height corresponding to the developing module 402 of the 400). The first buffer robot 360 is positioned to be spaced apart from the second buffer 330 , the cooling chamber 350 , and the first buffer 320 by a predetermined distance in the second direction 14 .

제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330)는 각각 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 버퍼(330)는 하우징(331)과 복수의 지지대들(332)을 가진다. 지지대들(332)은 하우징(331) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(332)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(331)은 인덱스 로봇(220), 제 1 버퍼 로봇(360), 그리고 후술하는 현상 모듈(402)의 현상부 로봇(482)이 하우징(331) 내 지지대(332)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향, 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향, 그리고 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 1 버퍼(320)는 제 2 버퍼(330)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 1 버퍼(320)의 하우징(321)에는 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향 및 후술하는 도포 모듈(401)에 위치된 도포부 로봇(432)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수와 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 일 예에 의하면, 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수보다 많을 수 있다. The first buffer 320 and the second buffer 330 temporarily store the plurality of substrates W, respectively. The second buffer 330 has a housing 331 and a plurality of supports 332 . The supports 332 are disposed in the housing 331 and are provided to be spaced apart from each other along the third direction 16 . One substrate W is placed on each support 332 . In the housing 331 , the index robot 220 , the first buffer robot 360 , and the developing unit robot 482 of the developing module 402 to be described later apply the substrate W to the support 332 in the housing 331 . An opening (not shown) is provided in a direction in which the index robot 220 is provided, a direction in which the first buffer robot 360 is provided, and a direction in which the developing unit robot 482 is provided so as to be carried in or taken out. The first buffer 320 has a structure substantially similar to that of the second buffer 330 . However, the housing 321 of the first buffer 320 has an opening in the direction in which the first buffer robot 360 is provided and in the direction in which the applicator robot 432 positioned in the application module 401 is provided, which will be described later. The number of supports 322 provided in the first buffer 320 and the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be the same or different. According to an example, the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be greater than the number of supports 322 provided in the first buffer 320 .

제 1 버퍼 로봇(360)은 제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330) 간에 기판(W)을 이송시킨다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 핸드(361), 아암(362), 그리고 지지대(363)를 가진다. 핸드(361)는 아암(362)에 고정 설치된다. 아암(362)은 신축 가능한 구조로 제공되어, 핸드(361)가 제 2 방향(14)을 따라 이동 가능하도록 한다. 아암(362)은 지지대(363)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(363)에 결합된다. 지지대(363)는 제 2 버퍼(330)에 대응되는 위치부터 제 1 버퍼(320)에 대응되는 위치까지 연장된 길이를 가진다. 지지대(363)는 이보다 위 또는 아래 방향으로 더 길게 제공될 수 있다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 단순히 핸드(361)가 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)을 따른 2축 구동만 되도록 제공될 수 있다. The first buffer robot 360 transfers the substrate W between the first buffer 320 and the second buffer 330 . The first buffer robot 360 has a hand 361 , an arm 362 , and a support 363 . The hand 361 is fixedly installed on the arm 362 . The arm 362 is provided in a telescoping structure such that the hand 361 is movable along the second direction 14 . The arm 362 is coupled to the support 363 so as to be linearly movable in the third direction 16 along the support 363 . The support 363 has a length extending from a position corresponding to the second buffer 330 to a position corresponding to the first buffer 320 . The support 363 may be provided longer than this in the upward or downward direction. The first buffer robot 360 may simply be provided such that the hand 361 is only biaxially driven along the second direction 14 and the third direction 16 .

냉각 챔버(350)는 각각 기판(W)을 냉각한다. 냉각 챔버(350)는 하우징(351)과 냉각 플레이트(352)를 가진다. 냉각 플레이트(352)는 기판(W)이 놓이는 상면 및 기판(W)을 냉각하는 냉각 수단(353)을 가진다. 냉각 수단(353)으로는 냉각수에 의한 냉각이나 열전 소자를 이용한 냉각 등 다양한 방식이 사용될 수 있다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 기판(W)을 냉각 플레이트(352) 상에 위치시키는 리프트 핀 어셈블리(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 하우징(351)은 인덱스 로봇(220) 및 후술하는 현상 모듈(402)에 제공된 현상부 로봇(482)이 냉각 플레이트(352)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향 및 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 상술한 개구를 개폐하는 도어들(도시되지 않음)이 제공될 수 있다. The cooling chamber 350 cools the substrate W, respectively. The cooling chamber 350 has a housing 351 and a cooling plate 352 . The cooling plate 352 has an upper surface on which the substrate W is placed and cooling means 353 for cooling the substrate W. As the cooling means 353, various methods such as cooling by cooling water or cooling using a thermoelectric element may be used. Also, a lift pin assembly (not shown) for positioning the substrate W on the cooling plate 352 may be provided in the cooling chamber 350 . The housing 351 includes the index robot 220 and the index robot 220 so that the developing unit robot 482 provided in the developing module 402 to be described later can load or unload the substrate W into or out of the cooling plate 352 . The provided direction and the developing unit robot 482 have an opening (not shown) in the provided direction. In addition, doors (not shown) for opening and closing the above-described opening may be provided in the cooling chamber 350 .

도포 및 현상 모듈(400)은 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정 및 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 도포 및 현상 모듈(400)은 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 도포 및 현상 모듈(400)은 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)을 가진다. 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 모듈(401)은 현상 모듈(402)의 상부에 위치된다.The coating and developing module 400 performs a process of applying a photoresist on the substrate W before the exposure process and a process of developing the substrate W after the exposure process. The application and development module 400 generally has a rectangular parallelepiped shape. The application and development module 400 includes an application module 401 and a development module 402 . The application module 401 and the developing module 402 are arranged to be partitioned between each other in layers. According to an example, the application module 401 is located above the developing module 402 .

도포 모듈(401)은 기판(W)에 대해 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정 및 레지스트 도포 공정 전후에 기판(W)에 대해 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 도포 모듈(401)은 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)를 가진다. 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 레지스트 도포 챔버(410)와 베이크 챔버(420)는 반송 챔버(430)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 레지스트 도포 챔버(410)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 레지스트 도포 챔버(410)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(420)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(420)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(420)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.The application module 401 includes a process of applying a photoresist such as a photoresist to the substrate W and a heat treatment process such as heating and cooling on the substrate W before and after the resist application process. The application module 401 has a resist application chamber 410 , a bake chamber 420 , and a transfer chamber 430 . The resist application chamber 410 , the bake chamber 420 , and the transfer chamber 430 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the resist coating chamber 410 and the bake chamber 420 are spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 430 interposed therebetween. A plurality of resist coating chambers 410 are provided, and a plurality of resist coating chambers are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six resist application chambers 410 are provided is shown. A plurality of bake chambers 420 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six bake chambers 420 are provided is shown. However, alternatively, a larger number of the bake chambers 420 may be provided.

반송 챔버(430)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(430) 내에는 도포부 로봇(432)과 가이드 레일(433)이 위치된다. 반송 챔버(430)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 도포부 로봇(432)은 베이크 챔버들(420), 레지스트 도포 챔버들(400), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320), 그리고 후술하는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(520) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(433)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(433)은 도포부 로봇(432)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 도포부 로봇(432)은 핸드(434), 아암(435), 지지대(436), 그리고 받침대(437)를 가진다. 핸드(434)는 아암(435)에 고정 설치된다. 아암(435)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(434)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(436)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(435)은 지지대(436)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(436)에 결합된다. 지지대(436)는 받침대(437)에 고정 결합되고, 받침대(437)는 가이드 레일(433)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(433)에 결합된다.The transfer chamber 430 is positioned in parallel with the first buffer 320 of the first buffer module 300 in the first direction 12 . An applicator robot 432 and a guide rail 433 are positioned in the transfer chamber 430 . The transfer chamber 430 has a generally rectangular shape. The applicator robot 432 includes the bake chambers 420 , the resist application chambers 400 , the first buffer 320 of the first buffer module 300 , and the first of the second buffer module 500 to be described later. The substrate W is transferred between the cooling chambers 520 . The guide rail 433 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The guide rail 433 guides the applicator robot 432 to move linearly in the first direction 12 . The applicator robot 432 has a hand 434 , an arm 435 , a support 436 , and a pedestal 437 . The hand 434 is fixedly installed on the arm 435 . The arm 435 is provided in a telescoping structure so that the hand 434 is movable in the horizontal direction. The support 436 is provided such that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16 . Arm 435 is coupled to support 436 so as to be movable linearly in third direction 16 along support 436 . The support 436 is fixedly coupled to the pedestal 437 , and the pedestal 437 is coupled to the guide rail 433 to be movable along the guide rail 433 .

레지스트 도포 챔버들(410)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 레지스트 도포 챔버(410)에서 사용되는 포토 레지스트의 종류는 서로 상이할 수 있다. 일 예로서 포토 레지스트로는 화학 증폭형 레지스트(chemical amplification resist)가 사용될 수 있다. 레지스트 도포 챔버(410)는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포한다. 레지스트 도포 챔버(410)는 하우징(411), 지지 플레이트(412), 그리고 노즐(413)을 가진다. 하우징(411)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(412)는 하우징(411) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(412)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(413)은 지지 플레이트(412)에 놓인 기판(W) 상으로 포토 레지스트를 공급한다. 노즐(413)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 포토 레지스트를 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(413)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(413)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 추가적으로 레지스트 도포 챔버(410)에는 포토 레지스트가 도포된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(414)이 더 제공될 수 있다. The resist application chambers 410 all have the same structure. However, the types of photoresists used in each resist application chamber 410 may be different from each other. As an example, a chemical amplification resist may be used as the photoresist. The resist coating chamber 410 applies photoresist on the substrate W. The resist application chamber 410 has a housing 411 , a support plate 412 , and a nozzle 413 . The housing 411 has a cup shape with an open top. The support plate 412 is positioned in the housing 411 and supports the substrate W. The support plate 412 is provided rotatably. The nozzle 413 supplies the photoresist onto the substrate W placed on the support plate 412 . The nozzle 413 may have a circular tubular shape, and may supply a photoresist to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 413 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 413 may be provided as a slit. In addition, a nozzle 414 for supplying a cleaning solution such as deionized water to clean the surface of the substrate W on which the photoresist is applied may be further provided in the resist coating chamber 410 .

베이크 챔버(420)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(420)은 포토 레지스트를 도포하기 전에 기판(W)을 소정의 온도로 가열하여 기판(W) 표면의 유기물이나 수분을 제거하는 프리 베이크(prebake) 공정이나 포토레지스트를 기판(W) 상에 도포한 후에 행하는 소프트 베이크(soft bake) 공정 등을 수행하고, 각각의 가열 공정 이후에 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. The bake chamber 420 heat-treats the substrate W. For example, the bake chambers 420 heat the substrate W to a predetermined temperature before applying the photoresist to remove organic matter or moisture from the surface of the substrate W or apply the photoresist to the substrate ( A soft bake process, etc. performed after coating on W) is performed, and a cooling process of cooling the substrate W is performed after each heating process.

베이크 챔버(420)는 냉각 플레이트(422) 및 가열 플레이트(421)를 포함한다. 냉각 플레이트(422)는 가열 플레이트(421)에 의해 가열 처리된 기판(W)을 냉각 처리한다. 냉각 플레이트(422)는 원형의 판 형상으로 제공된다. 냉각 플레이트(422)의 내부에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단이 제공된다. 예컨대, 냉각 플레이트(422)는 가열된 기판(W)을 상온으로 냉각시킬 수 있다.The bake chamber 420 includes a cooling plate 422 and a heating plate 421 . The cooling plate 422 cools the substrate W that has been heat-treated by the heating plate 421 . The cooling plate 422 is provided in a circular plate shape. A cooling means such as cooling water or a thermoelectric element is provided inside the cooling plate 422 . For example, the cooling plate 422 may cool the heated substrate W to room temperature.

현상 모듈(402)은 기판(W) 상에 패턴을 얻기 위해 현상액을 공급하여 포토 레지스트의 일부를 제거하는 현상 공정, 및 현상 공정 전후에 기판(W)에 대해 수행되는 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 현상모듈(402)은 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)를 가진다. 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 현상 챔버(460)와 베이크 챔버(470)는 반송 챔버(480)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 현상 챔버(460)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 현상 챔버(460)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(470)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(470)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(470)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.The developing module 402 includes a developing process for removing a part of the photoresist by supplying a developer solution to obtain a pattern on the substrate W, and a heat treatment process such as heating and cooling performed on the substrate W before and after the developing process. includes The developing module 402 includes a developing chamber 460 , a bake chamber 470 , and a transfer chamber 480 . The development chamber 460 , the bake chamber 470 , and the transfer chamber 480 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the development chamber 460 and the bake chamber 470 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 480 interposed therebetween. A plurality of development chambers 460 are provided, and a plurality of development chambers 460 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six developing chambers 460 are provided is shown. A plurality of bake chambers 470 are provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . In the drawing, an example in which six bake chambers 470 are provided is shown. However, alternatively, a larger number of bake chambers 470 may be provided.

반송 챔버(480)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(480) 내에는 현상부 로봇(482)과 가이드 레일(483)이 위치된다. 반송 챔버(480)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 현상부 로봇(482)은 베이크 챔버들(470), 현상 챔버들(460), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350), 그리고 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(483)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(483)은 현상부 로봇(482)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 현상부 로봇(482)은 핸드(484), 아암(485), 지지대(486), 그리고 받침대(487)를 가진다. 핸드(484)는 아암(485)에 고정 설치된다. 아암(485)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(484)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(486)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(485)은 지지대(486)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(486)에 결합된다. 지지대(486)는 받침대(487)에 고정 결합된다. 받침대(487)는 가이드 레일(483)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(483)에 결합된다.The transfer chamber 480 is positioned in parallel with the second buffer 330 of the first buffer module 300 in the first direction 12 . A developing unit robot 482 and a guide rail 483 are positioned in the transfer chamber 480 . The transfer chamber 480 has a generally rectangular shape. The developing unit robot 482 includes the bake chambers 470 , the developing chambers 460 , the second buffer 330 and the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 , and the second buffer module 500 . The substrate W is transferred between the second cooling chambers 540 of the The guide rail 483 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The guide rail 483 guides the developing unit robot 482 to move linearly in the first direction 12 . The developing unit robot 482 has a hand 484 , an arm 485 , a support 486 , and a pedestal 487 . The hand 484 is fixedly installed on the arm 485 . The arm 485 is provided in a telescoping structure so that the hand 484 is movable in the horizontal direction. The support 486 is provided such that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16 . Arm 485 is coupled to support 486 to be linearly movable in third direction 16 along support 486 . The support 486 is fixedly coupled to the support 487 . The pedestal 487 is coupled to the guide rail 483 so as to be movable along the guide rail 483 .

현상 챔버들(460)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 현상 챔버(460)에서 사용되는 현상액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 현상 챔버(460)는 기판(W) 상의 포토 레지스트 중 광이 조사된 영역을 제거한다. 이때, 보호막 중 광이 조사된 영역도 같이 제거된다. 선택적으로 사용되는 포토 레지스트의 종류에 따라 포토 레지스트 및 보호막의 영역들 중 광이 조사되지 않은 영역만이 제거될 수 있다. The development chambers 460 all have the same structure. However, the type of developer used in each of the developing chambers 460 may be different from each other. The developing chamber 460 removes a region irradiated with light from the photoresist on the substrate W. At this time, the region irradiated with light among the protective film is also removed. Only a region to which light is not irradiated among regions of the photoresist and the passivation layer may be removed according to the type of the selectively used photoresist.

현상 챔버(460)는 하우징(461), 지지 플레이트(462), 그리고 노즐(463)을 가진다. 하우징(461)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(462)는 하우징(461) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(462)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(463)은 지지 플레이트(462)에 놓인 기판(W) 상으로 현상액을 공급한다. 노즐(463)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 현상액 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(463)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(463)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 현상 챔버(460)에는 추가적으로 현상액이 공급된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(464)이 더 제공될 수 있다. The developing chamber 460 has a housing 461 , a support plate 462 , and a nozzle 463 . The housing 461 has a cup shape with an open top. The support plate 462 is positioned in the housing 461 and supports the substrate W. The support plate 462 is provided rotatably. The nozzle 463 supplies the developer onto the substrate W placed on the support plate 462 . The nozzle 463 has a circular tubular shape, and may supply a developer to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 463 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 463 may be provided as a slit. In addition, a nozzle 464 for supplying a cleaning solution such as deionized water to clean the surface of the substrate W to which the developer is additionally supplied may be further provided in the developing chamber 460 .

현상모듈(402)의 베이크 챔버(470)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(470)은 현상 공정이 수행되기 전에 기판(W)을 가열하는 포스트 베이크 공정 및 현상 공정이 수행된 후에 기판(W)을 가열하는 하드 베이크 공정 및 각각의 베이크 공정 이후에 가열된 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(470)는 냉각 플레이트(471) 또는 가열 플레이트(472)를 가진다. 냉각 플레이트(471)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(473)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(472)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(474)이 제공된다. 냉각 플레이트(471)와 가열 플레이트(472)는 하나의 베이크 챔버(470) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(470)들 중 일부는 냉각 플레이트(471)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(472)만을 구비할 수 있다. 현상 모듈(402)의 베이크 챔버(470)는 도포 모듈(401)의 베이크 챔버와 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The bake chamber 470 of the developing module 402 heat-treats the substrate W. For example, in the bake chambers 470 , a post-bake process of heating the substrate W before the development process is performed, a hard bake process of heating the substrate W after the development process is performed, and heating after each bake process A cooling process of cooling the processed substrate W is performed. The bake chamber 470 has a cooling plate 471 or a heating plate 472 . The cooling plate 471 is provided with cooling means 473 such as cooling water or a thermoelectric element. Alternatively, the heating plate 472 is provided with heating means 474 such as a heating wire or thermoelectric element. The cooling plate 471 and the heating plate 472 may be respectively provided in one bake chamber 470 . Optionally, some of the bake chambers 470 may include only a cooling plate 471 , and some may include only a heating plate 472 . Since the bake chamber 470 of the developing module 402 has the same configuration as the bake chamber of the application module 401, a detailed description thereof will be omitted.

제 2 버퍼 모듈(500)은 도포 및 현상 모듈(400)과 노광 전후 처리 모듈(600) 사이에 기판(W)이 운반되는 통로로서 제공된다. 또한, 제 2 버퍼 모듈(500)은 기판(W)에 대해 냉각 공정이나 에지 노광 공정 등과 같은 소정의 공정을 수행한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 프레임(510), 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)을 가진다. 프레임(510)은 직육면체의 형상을 가진다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)은 프레임(510) 내에 위치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에 대응하는 높이에 배치된다. 제 2 냉각 챔버(540)는 현상 모듈(402)에 대응하는 높이에 배치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 제 2 냉각 챔버(540)는 순차적으로 제 3 방향(16)을 따라 일렬로 배치된다. 상부에서 바라볼 때 버퍼(520)은 도포 모듈(401)의 반송 챔버(430)와 제 1 방향(12)을 따라 배치된다. 에지 노광 챔버(550)는 버퍼(520) 또는 제 1 냉각 챔버(530)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 배치된다. The second buffer module 500 is provided as a passage through which the substrate W is transported between the application and development module 400 and the pre-exposure processing module 600 . Also, the second buffer module 500 performs a predetermined process, such as a cooling process or an edge exposure process, on the substrate W. The second buffer module 500 includes a frame 510 , a buffer 520 , a first cooling chamber 530 , a second cooling chamber 540 , an edge exposure chamber 550 , and a second buffer robot 560 . have The frame 510 has a rectangular parallelepiped shape. The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , the second cooling chamber 540 , the edge exposure chamber 550 , and the second buffer robot 560 are positioned in the frame 510 . The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the edge exposure chamber 550 are disposed at a height corresponding to the application module 401 . The second cooling chamber 540 is disposed at a height corresponding to the developing module 402 . The buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the second cooling chamber 540 are sequentially arranged in a line along the third direction 16 . When viewed from the top, the buffer 520 is disposed along the transfer chamber 430 and the first direction 12 of the application module 401 . The edge exposure chamber 550 is disposed to be spaced apart from the buffer 520 or the first cooling chamber 530 by a predetermined distance in the second direction 14 .

제 2 버퍼 로봇(560)은 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550) 간에 기판(W)을 운반한다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 에지 노광 챔버(550)와 버퍼(520) 사이에 위치된다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 제 1 버퍼 로봇(360)과 유사한 구조로 제공될 수 있다. 제 1 냉각 챔버(530)와 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 후속 공정을 수행한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판(W)을 냉각한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 냉각 챔버(350)과 유사한 구조를 가진다. 에지 노광 챔버(550)는 제 1 냉각 챔버(530)에서 냉각 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 그 가장자리를 노광한다. 버퍼(520)는 에지 노광 챔버(550)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 후술하는 전처리 모듈(601)로 운반되기 전에 기판(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 냉각 챔버(540)는 후술하는 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 현상 모듈(402)로 운반되기 전에 기판들(W)을 냉각한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 현상 모듈(402)와 대응되는 높이에 추가된 버퍼를 더 가질 수 있다. 이 경우, 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)은 추가된 버퍼에 일시적으로 보관된 후 현상 모듈(402)로 운반될 수 있다.The second buffer robot 560 transfers the substrate W between the buffer 520 , the first cooling chamber 530 , and the edge exposure chamber 550 . The second buffer robot 560 is positioned between the edge exposure chamber 550 and the buffer 520 . The second buffer robot 560 may be provided in a structure similar to that of the first buffer robot 360 . The first cooling chamber 530 and the edge exposure chamber 550 perform a subsequent process on the substrates W on which the process is performed in the application module 401 . The first cooling chamber 530 cools the substrate W on which the process is performed in the application module 401 . The first cooling chamber 530 has a structure similar to that of the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 . The edge exposure chamber 550 exposes edges of the substrates W on which the cooling process has been performed in the first cooling chamber 530 . The buffer 520 temporarily stores the substrates W before the substrates W, which have been processed in the edge exposure chamber 550 , are transferred to the pre-processing module 601 , which will be described later. The second cooling chamber 540 cools the substrates W, which have been processed in the post-processing module 602 to be described later, before being transferred to the developing module 402 . The second buffer module 500 may further include a buffer added to a height corresponding to that of the developing module 402 . In this case, the substrates W that have been processed in the post-processing module 602 may be temporarily stored in the added buffer and then transferred to the developing module 402 .

노광 전후 처리 모듈(600)은, 노광 장치(900)가 액침 노광 공정을 수행하는 경우, 액침 노광시에 기판(W)에 도포된 포토레지스트 막을 보호하는 보호막을 도포하는 공정을 처리할 수 있다. 또한, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 이후에 기판(W)을 세정하는 공정을 수행할 수 있다. 또한, 화학증폭형 레지스트를 사용하여 도포 공정이 수행된 경우, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 후 베이크 공정을 처리할 수 있다. When the exposure apparatus 900 performs an immersion exposure process, the pre-exposure processing module 600 may process a process of applying a protective film protecting the photoresist film applied to the substrate W during immersion exposure. In addition, the pre-exposure processing module 600 may perform a process of cleaning the substrate W after exposure. In addition, when the coating process is performed using the chemically amplified resist, the pre-exposure processing module 600 may perform a post-exposure bake process.

노광 전후 처리 모듈(600)은 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)을 가진다. 전처리 모듈(601)은 노광 공정 수행 전에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행하고, 후처리 모듈(602)은 노광 공정 이후에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행한다. 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 전처리 모듈(601)은 후처리 모듈(602)의 상부에 위치된다. 전처리 모듈(601)은 도포 모듈(401)과 동일한 높이로 제공된다. 후처리 모듈(602)은 현상 모듈(402)과 동일한 높이로 제공된다. The pre-exposure processing module 600 includes a pre-processing module 601 and a post-processing module 602 . The pre-processing module 601 performs a process of treating the substrate W before performing the exposure process, and the post-processing module 602 performs a process of treating the substrate W after the exposure process. The pre-processing module 601 and the post-processing module 602 are arranged to be partitioned between each other in layers. According to an example, the pre-processing module 601 is located above the post-processing module 602 . The pretreatment module 601 is provided at the same height as the application module 401 . The post-processing module 602 is provided at the same height as the developing module 402 .

전처리 모듈(601)은 보호막 도포 챔버(610), 베이크 챔버(620), 그리고 반송 챔버(630)를 가진다. 보호막 도포 챔버(610), 반송 챔버(630), 그리고 베이크 챔버(620)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 보호막 도포 챔버(610)와 베이크 챔버(620)는 반송 챔버(630)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 보호막 도포 챔버(610)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 보호막 도포 챔버(610)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 베이크 챔버(620)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 베이크 챔버(620)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The pre-processing module 601 has a protective film application chamber 610 , a bake chamber 620 , and a transfer chamber 630 . The passivation layer application chamber 610 , the transfer chamber 630 , and the bake chamber 620 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the passivation layer application chamber 610 and the bake chamber 620 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 630 interposed therebetween. A plurality of passivation film application chambers 610 are provided and are arranged along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of passivation film application chambers 610 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . A plurality of bake chambers 620 are provided and are arranged along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of bake chambers 620 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 .

반송 챔버(630)는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(530)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(630) 내에는 전처리 로봇(632)이 위치된다. 반송 챔버(630)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 전처리 로봇(632)은 보호막 도포 챔버들(610), 베이크 챔버들(620), 제 2 버퍼 모듈(500)의 버퍼(520), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 1 버퍼(720) 간에 기판(W)을 이송한다. 전처리 로봇(632)은 핸드(633), 아암(634), 그리고 지지대(635)를 가진다. 핸드(633)는 아암(634)에 고정 설치된다. 아암(634)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 아암(634)은 지지대(635)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(635)에 결합된다. The transfer chamber 630 is positioned in parallel with the first cooling chamber 530 of the second buffer module 500 in the first direction 12 . A pre-processing robot 632 is located in the transfer chamber 630 . The transfer chamber 630 has a generally square or rectangular shape. The pre-processing robot 632 is installed between the protective film application chambers 610 , the bake chambers 620 , the buffer 520 of the second buffer module 500 , and the first buffer 720 of the interface module 700 to be described later. The substrate W is transferred. The pretreatment robot 632 has a hand 633 , an arm 634 , and a support 635 . The hand 633 is fixedly installed on the arm 634 . The arm 634 is provided in a telescoping structure and a rotatable structure. The arm 634 is coupled to the support 635 so as to be linearly movable in the third direction 16 along the support 635 .

보호막 도포 챔버(610)는 액침 노광 시에 레지스트 막을 보호하는 보호막을 기판(W) 상에 도포한다. 보호막 도포 챔버(610)는 하우징(611), 지지 플레이트(612), 그리고 노즐(613)을 가진다. 하우징(611)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(612)는 하우징(611) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(612)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(613)은 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W) 상으로 보호막 형성을 위한 보호액을 공급한다. 노즐(613)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 보호액을 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(613)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(613)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 이 경우, 지지 플레이트(612)는 고정된 상태로 제공될 수 있다. 보호액은 발포성 재료를 포함한다. 보호액은 포토 레지스터 및 물과의 친화력이 낮은 재료가 사용될 수 있다. 예컨대, 보호액은 불소계의 용제를 포함할 수 있다. 보호막 도포 챔버(610)는 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 보호액을 공급한다. The passivation film application chamber 610 applies a passivation film for protecting the resist film on the substrate W during immersion exposure. The protective film application chamber 610 has a housing 611 , a support plate 612 , and a nozzle 613 . The housing 611 has a cup shape with an open top. The support plate 612 is positioned in the housing 611 and supports the substrate W. The support plate 612 is provided rotatably. The nozzle 613 supplies a protective liquid for forming a protective film on the substrate W placed on the support plate 612 . The nozzle 613 has a circular tubular shape, and may supply the protective liquid to the center of the substrate W. Optionally, the nozzle 613 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the outlet of the nozzle 613 may be provided as a slit. In this case, the support plate 612 may be provided in a fixed state. The protective liquid comprises a foaming material. As the protective liquid, a material having a low affinity for photoresist and water may be used. For example, the protective liquid may contain a fluorine-based solvent. The protective film application chamber 610 supplies the protective liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 612 .

베이크 챔버(620)는 보호막이 도포된 기판(W)을 열처리한다. 베이크 챔버(620)는 냉각 플레이트(621) 또는 가열 플레이트(622)를 가진다. 냉각 플레이트(621)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(623)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(622)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(624)이 제공된다. 가열 플레이트(622)와 냉각 플레이트(621)는 하나의 베이크 챔버(620) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버들(620) 중 일부는 가열 플레이트(622) 만을 구비하고, 다른 일부는 냉각 플레이트(621) 만을 구비할 수 있다. The bake chamber 620 heat-treats the substrate W on which the protective film is applied. The bake chamber 620 has a cooling plate 621 or a heating plate 622 . The cooling plate 621 is provided with cooling means 623 such as cooling water or a thermoelectric element. Alternatively, the heating plate 622 is provided with heating means 624 such as a heating wire or thermoelectric element. The heating plate 622 and the cooling plate 621 may be provided in one bake chamber 620 , respectively. Optionally, some of the bake chambers 620 may include only a heating plate 622 , and some may include only a cooling plate 621 .

후처리 모듈(602)은 세정 챔버(660), 노광 후 베이크 챔버(670), 그리고 반송 챔버(680)를 가진다. 세정 챔버(660), 반송 챔버(680), 그리고 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 세정 챔버(660)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 반송 챔버(680)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 세정 챔버(660)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 세정 챔버(660)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The post-processing module 602 has a cleaning chamber 660 , a post-exposure bake chamber 670 , and a transfer chamber 680 . The cleaning chamber 660 , the transfer chamber 680 , and the post-exposure bake chamber 670 are sequentially disposed along the second direction 14 . Accordingly, the cleaning chamber 660 and the post-exposure bake chamber 670 are positioned to be spaced apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 680 interposed therebetween. A plurality of cleaning chambers 660 may be provided and may be disposed along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of cleaning chambers 660 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 . A plurality of post-exposure bake chambers 670 may be provided, and may be disposed along the third direction 16 to form a layer on each other. Optionally, a plurality of post-exposure bake chambers 670 may be provided in each of the first direction 12 and the third direction 16 .

반송 챔버(680)는 상부에서 바라볼 때 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(680)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 반송 챔버(680) 내에는 후처리 로봇(682)이 위치된다. 후처리 로봇(682)은 세정 챔버들(660), 노광 후 베이크 챔버들(670), 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 2 버퍼(730) 간에 기판(W)을 운반한다. 후처리 모듈(602)에 제공된 후처리 로봇(682)은 전처리 모듈(601)에 제공된 전처리 로봇(632)과 동일한 구조로 제공될 수 있다. The transfer chamber 680 is positioned in parallel with the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 in the first direction 12 when viewed from above. The transfer chamber 680 has a generally square or rectangular shape. A post-processing robot 682 is located within the transfer chamber 680 . The post-processing robot 682 includes the cleaning chambers 660 , the post-exposure bake chambers 670 , the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 , and the second of the interface module 700 to be described later. The substrate W is transferred between the buffers 730 . The post-processing robot 682 provided in the post-processing module 602 may be provided in the same structure as the pre-processing robot 632 provided in the pre-processing module 601 .

세정 챔버(660)는 노광 공정 이후에 기판(W)을 세정한다. 세정 챔버(660)는 하우징(661), 지지 플레이트(662), 그리고 노즐(663)을 가진다. 하우징(661)는 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(662)는 하우징(661) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(662)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(663)은 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W) 상으로 세정액을 공급한다. 세정액으로는 탈이온수와 같은 물이 사용될 수 있다. 세정 챔버(660)는 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 세정액을 공급한다. 선택적으로 기판(W)이 회전되는 동안 노즐(663)은 기판(W)의 중심 영역에서 가장자리 영역까지 직선 이동 또는 회전 이동할 수 있다. The cleaning chamber 660 cleans the substrate W after the exposure process. The cleaning chamber 660 has a housing 661 , a support plate 662 , and a nozzle 663 . The housing 661 has a cup shape with an open top. The support plate 662 is positioned in the housing 661 and supports the substrate W. The support plate 662 is provided rotatably. The nozzle 663 supplies a cleaning solution onto the substrate W placed on the support plate 662 . As the cleaning solution, water such as deionized water may be used. The cleaning chamber 660 supplies the cleaning liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 662 . Optionally, while the substrate W is rotated, the nozzle 663 may move linearly or rotationally from the center region of the substrate W to the edge region.

노광 후 베이크 챔버(670)는 원자외선을 이용하여 노광 공정이 수행된 기판(W)을 가열한다. 노광 후 베이크 공정은 기판(W)을 가열하여 노광에 의해 포토 레지스트에 생성된 산(acid)을 증폭시켜 포토 레지스트의 성질 변화를 완성시킨다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 가열 플레이트(672)를 가진다. 가열 플레이트(672)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(674)이 제공된다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 그 내부에 냉각 플레이트(671)를 더 구비할 수 있다. 냉각 플레이트(671)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(673)이 제공된다. 또한, 선택적으로 냉각 플레이트(671)만을 가진 베이크 챔버가 더 제공될 수 있다. After exposure, the bake chamber 670 heats the substrate W on which the exposure process has been performed using deep ultraviolet rays. In the post-exposure bake process, the substrate W is heated to amplify the acid generated in the photoresist by exposure to complete the change in the properties of the photoresist. Post exposure bake chamber 670 has heating plate 672 . The heating plate 672 is provided with heating means 674 such as a hot wire or thermoelectric element. The post-exposure bake chamber 670 may further include a cooling plate 671 therein. The cooling plate 671 is provided with cooling means 673 such as cooling water or a thermoelectric element. In addition, optionally, a bake chamber having only the cooling plate 671 may be further provided.

상술한 바와 같이 노광 전후 처리 모듈(600)에서 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 완전히 분리되도록 제공된다. 또한, 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(680)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 보호막 도포 챔버(610)와 세정 챔버(660)는 서로 동일한 크기로 제공되어 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 베이크 챔버(620)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다.As described above, in the pre-exposure processing module 600 , the pre-processing module 601 and the post-processing module 602 are provided to be completely separated from each other. In addition, the transfer chamber 630 of the pre-processing module 601 and the transfer chamber 680 of the post-processing module 602 may be provided to have the same size, so that they completely overlap each other when viewed from the top. In addition, the passivation layer application chamber 610 and the cleaning chamber 660 may be provided to have the same size and to completely overlap each other when viewed from above. Also, the bake chamber 620 and the post-exposure bake chamber 670 may have the same size and may be provided to completely overlap each other when viewed from the top.

인터페이스 모듈(700)은 노광 전후 처리 모듈(600) 및 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 이송한다. 인터페이스 모듈(700)은 프레임(710), 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 인터페이스 로봇(740), 그리고 세정 챔버(800)를 가진다. 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 인터페이스 로봇(740), 그리고 세정 챔버(800)은 프레임(710) 내에 위치된다. 제 1 버퍼(720)와 제 2 버퍼(730)는 서로 간에 일정거리 이격되며, 서로 적층되도록 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 제 2 버퍼(730)보다 높게 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)에 대응되는 높이에 배치된다. 상부에서 바라볼 때 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되게 위치된다. The interface module 700 transfers the substrate W between the pre-exposure processing module 600 and the exposure apparatus 900 . The interface module 700 includes a frame 710 , a first buffer 720 , a second buffer 730 , an interface robot 740 , and a cleaning chamber 800 . The first buffer 720 , the second buffer 730 , the interface robot 740 , and the cleaning chamber 800 are positioned in the frame 710 . The first buffer 720 and the second buffer 730 are spaced apart from each other by a predetermined distance, and are arranged to be stacked on each other. The first buffer 720 is disposed higher than the second buffer 730 . The first buffer 720 is positioned at a height corresponding to the pre-processing module 601 , and the second buffer 730 is positioned at a height corresponding to the post-processing module 602 . When viewed from the top, the first buffer 720 is arranged in a line along the first direction 12 with the transfer chamber 630 of the pre-processing module 601 , and the second buffer 730 is the post-processing module 602 . The transfer chamber 630 and the first direction 12 are positioned to be arranged in a line.

인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720) 및 제 2 버퍼(730)에 대해 제 2 방향(14)으로 이격되게 위치된다. 인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 세정 챔버(800), 그리고 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 운반한다. 인터페이스 로봇(740)은 제 2 버퍼 로봇(560)과 대체로 유사한 구조를 가진다.The interface robot 740 is positioned to be spaced apart in the second direction 14 with respect to the first buffer 720 and the second buffer 730 . The interface robot 740 transfers the substrate W between the first buffer 720 , the second buffer 730 , the cleaning chamber 800 , and the exposure apparatus 900 . The interface robot 740 has a structure substantially similar to that of the second buffer robot 560 .

제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 노광 장치(900)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 그리고 제 2 버퍼(730)는 노광 장치(900)에서 공정이 완료된 기판(W)들이 후처리 모듈(602)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 제 1 버퍼(720)는 하우징(721)과 복수의 지지대들(722)을 가진다. 지지대들(722)은 하우징(721) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(722)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(721)은 인터페이스 로봇(740) 및 전처리 로봇(632)이 하우징(721) 내로 지지대(722)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 전처리 로봇(632)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 2 버퍼(730)는 제 1 버퍼(720)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 2 버퍼(730)의 하우징(4531)에는 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 후처리 로봇(682)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 인터페이스 모듈에는 기판에 대해 소정의 공정을 수행하는 챔버의 제공 없이 상술한 바와 같이 버퍼들 및 로봇만 제공될 수 있다.The first buffer 720 temporarily stores the substrates W, which have been processed in the pre-processing module 601 , before they are moved to the exposure apparatus 900 . In addition, the second buffer 730 temporarily stores the substrates W that have been processed in the exposure apparatus 900 before they are moved to the post-processing module 602 . The first buffer 720 has a housing 721 and a plurality of supports 722 . The supports 722 are disposed within the housing 721 and are provided to be spaced apart from each other along the third direction 16 . One substrate W is placed on each support 722 . The housing 721 includes the interface robot 740 and the pre-processing robot 632 in the direction and pre-processing robot ( 632 has an opening (not shown) in the direction provided. The second buffer 730 has a structure substantially similar to that of the first buffer 720 . However, the housing 4531 of the second buffer 730 has an opening (not shown) in the direction in which the interface robot 740 is provided and the direction in which the post-processing robot 682 is provided. As described above, only the buffers and the robot may be provided in the interface module without providing a chamber for performing a predetermined process on the substrate.

세정 챔버(800)는 제 1 버퍼(720)와 마주보는 위치에 배치된다. 세정 챔버(800)는 노광 장치(900)로 이동되기 전에 기판들(W)을 세정 처리한다. 세정 챔버(800)는 감광액이 도포된 기판(W)의 처리면에 반대편인 비처리면을 세정 처리하는 기판 처리 장치(800)로 제공된다.The cleaning chamber 800 is disposed at a position facing the first buffer 720 . The cleaning chamber 800 cleans the substrates W before moving to the exposure apparatus 900 . The cleaning chamber 800 is provided as a substrate processing apparatus 800 for cleaning the unprocessed surface opposite to the processing surface of the substrate W on which the photoresist is applied.

도 7은 도 2의 세정 챔버의 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이고, 도 8은 도 6의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 세정 챔버(800)는 기판 지지 유닛(810), 반전 유닛(840), 액 공급 유닛(860), 처리 용기(820), 그리고 승강 유닛(830)을 포함한다.7 is a plan view illustrating the substrate processing apparatus of the cleaning chamber of FIG. 2 , and FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 6 . 7 and 8 , the cleaning chamber 800 includes a substrate support unit 810 , an inversion unit 840 , a liquid supply unit 860 , a processing vessel 820 , and an elevation unit 830 . .

기판 지지 유닛(810)은 기판(W)을 지지하고, 기판(W)을 회전시킨다. 기판 지지 유닛(810)은 지지판(812)을 가진다. 지지판(812)의 상면에는 기판(W)을 지지하는 핀 부재들(811a,811b)이 결합된다. 지지 핀들(811a)은 기판(W)의 하면을 지지하고, 척킹 핀들(811b)은 기판(W)의 측면을 지지한다. 지지판(812)은 구동 부재에 의해 회전된다. 구동 부재는 지지판(812)의 하면에 결합되는 구동 축(814)과, 구동 축(814)에 구동력을 제공하는 구동기(816)를 포함한다. 구동기(816)는 구동 축(814)에 회전력을 제공하는 모터일 수 있으며, 선택적으로 구동 축(814)을 상하 방향으로 직선 이동시키는 구동력을 제공할 수도 있다. 구동기(816)는 프레임(818)에 의해 지지된다. 선택적으로, 지지 핀들(811a,811b)은 척킹 핀들(811b) 또는 지지 핀들(811a)으로만 기판(W)을 지지할 수 있다.The substrate support unit 810 supports the substrate W and rotates the substrate W. The substrate support unit 810 has a support plate 812 . Pin members 811a and 811b supporting the substrate W are coupled to the upper surface of the support plate 812 . The support pins 811a support the lower surface of the substrate W, and the chucking pins 811b support the side surfaces of the substrate W. The support plate 812 is rotated by a driving member. The driving member includes a driving shaft 814 coupled to a lower surface of the support plate 812 , and a driver 816 providing a driving force to the driving shaft 814 . The driver 816 may be a motor that provides a rotational force to the driving shaft 814 , and may optionally provide a driving force for linearly moving the driving shaft 814 in the vertical direction. The driver 816 is supported by a frame 818 . Optionally, the support pins 811a and 811b may support the substrate W only with the chucking pins 811b or the support pins 811a.

반전 유닛(840)은 기판 지지 유닛(810)에 로딩되는 기판(W)의 패턴 면이 아래 방향을 향하도록 기판(W)를 반전시킨다. 기판(W)의 패턴 면에는 포토레지스트, 그리고 액침 노광 공정시 포토레지스트를 보호하기 위한 보호막이 도포되어 있다. 이하에서는, 기판(W)의 패턴 면을 제 1 면이라 하고, 패턴 면의 반대 면을 제 2 면이라 한다.The inversion unit 840 inverts the substrate W so that the pattern surface of the substrate W loaded on the substrate support unit 810 faces downward. A photoresist and a protective film for protecting the photoresist during an immersion exposure process are coated on the pattern surface of the substrate W. Hereinafter, the patterned surface of the substrate W is referred to as a first surface, and a surface opposite to the patterned surface is referred to as a second surface.

반전 유닛(840)은 홀딩부(842), 반전부(844), 승강부(846), 그리고 이동부(848)를 포함한다. 홀딩부(842)는 반전시킬 기판(W)을 로딩한다. 반전부(844)는 홀딩부(842)를 180도 회전시킨다. 승강부(846)는 반전부(844)를 상하 방향으로 이동시킨다. 반전부(844)로는 모터와 같은 구동 장치가 사용될 수 있다. 승강부(846)로는 실린더 또는 리니어 모터, 모터를 이용한 리드스크류와 같은 직선 구동 장치가 사용될 수 있다. 이동부(848)는 브라켓(848-1), 가이드 레일(848-2), 그리고 구동기(미도시)를 가진다. 가이드 레일(848-2)은 처리 용기(820)의 일측에 길게 일직선으로 연장된다. 가이드 레일(848-2)에는 이를 따라 이동 가능하도록 브라켓(848-1)이 결합되고, 브라켓(848-1)에는 승강부(846)가 고정 결합된다. 구동기는 브라켓(848-1)을 직선 이동시키는 구동력을 제공한다. 브라켓(848-1)의 직선 이동은 모터와 스크류를 가지는 어셈블리에 의해 이루어질 수 있다. 선택적으로 브라켓(848-1)의 직선 이동은 벨트와 풀리, 그리고 모터를 가진 어셈블리에 의해 이루어질 수 있다. 선택적으로 브라켓(848-1)의 직선 이동은 리니어 모터에 의해 이루어질 수 있다.The inversion unit 840 includes a holding unit 842 , an inversion unit 844 , a lifting unit 846 , and a moving unit 848 . The holding part 842 loads the substrate W to be inverted. The inversion part 844 rotates the holding part 842 180 degrees. The lifting unit 846 moves the inverting unit 844 in the vertical direction. A driving device such as a motor may be used as the inverting unit 844 . As the lifting unit 846, a linear driving device such as a cylinder, a linear motor, or a lead screw using a motor may be used. The moving part 848 has a bracket 848-1, a guide rail 848-2, and a driver (not shown). The guide rail 848 - 2 extends in a straight line to one side of the processing vessel 820 . A bracket 848-1 is coupled to the guide rail 848-2 so as to be movable along the guide rail 848-2, and a lifting unit 846 is fixedly coupled to the bracket 848-1. The actuator provides a driving force for linearly moving the bracket 848-1. The linear movement of the bracket 848-1 may be made by an assembly having a motor and a screw. Optionally, the linear movement of the bracket 848-1 may be made by an assembly having a belt, a pulley, and a motor. Optionally, the linear movement of the bracket 848-1 may be made by a linear motor.

액 공급 유닛(860)은 기판(W)의 제 2 면, 즉 기판(W)의 패턴 면의 반대 면에 처리액을 분사한다. 예컨대, 처리액은 린스액일 수 있다. 린스액으로는 순수가 사용될 수 있다. 액 공급 유닛(860)은 처리 용기(820)의 일측에 배치된다. 액 공급 유닛(860)은 노즐(861), 지지 바(862), 구동축(863), 그리고 구동기(864)를 가진다. 노즐(861)은 지지 바(862)의 일 끝단에 고정 결합된다. 지지 바(862)의 다른 끝단에는 구동기(864)에 의해 회전 및 승하강되는 구동축(863)이 고정 결합된다. 노즐(861)은 린스액 공급라인(865)에 의해 린스액 공급원(866)에 연결되고, 린스액 공급 라인(865) 상에는 린스액의 흐름을 개폐하는 밸브(867)가 배치된다. 기판(W)의 제 2 면에 분사되는 린스액은 제 2 면 상의 파티클을 제거한다. 기판(W)의 제 2 면은 노광 장치(900)에서의 노광 공정 진행시 기판(W)가 지지되는 면이다. 기판(W)의 제 2 면에 파티클이 존재하면 파티클은 노광 공정에서 디포커스(Defocus) 현상을 유발할 수 있기 때문에, 이를 방지하기 위해 제 2 면의 파티클은 제거되어야 한다. The liquid supply unit 860 sprays the processing liquid on the second surface of the substrate W, that is, the surface opposite to the pattern surface of the substrate W. For example, the treatment liquid may be a rinse liquid. Pure water may be used as the rinse solution. The liquid supply unit 860 is disposed on one side of the processing container 820 . The liquid supply unit 860 includes a nozzle 861 , a support bar 862 , a drive shaft 863 , and a driver 864 . The nozzle 861 is fixedly coupled to one end of the support bar 862 . At the other end of the support bar 862, a driving shaft 863 that is rotated and elevated by a driver 864 is fixedly coupled. The nozzle 861 is connected to the rinse solution supply line 866 through a rinse solution supply line 865 , and a valve 867 for opening and closing the flow of the rinse solution is disposed on the rinse solution supply line 865 . The rinse liquid sprayed on the second surface of the substrate W removes particles on the second surface. The second surface of the substrate W is a surface on which the substrate W is supported during an exposure process in the exposure apparatus 900 . If particles are present on the second surface of the substrate W, the particles may cause a defocus phenomenon in the exposure process. In order to prevent this, the particles on the second surface must be removed.

처리 용기(820)는 상부가 개방되고, 내부에 기판(W)이 처리되는 처리 공간(822)을 가진다. 처리 용기(820)는 공정에 사용된 처리액을 회수하고, 처리 공간(822)의 분위기를 배기한다. 처리 용기(820)는 외측컵(870), 내측컵(880), 연결링(826), 배기관(892), 그리고 차단 부재(894)를 포함한다. 외측컵(870)은 기판 지지 유닛(810)을 감싸며, 내부에 처리 공간(822)을 가진다. 외측컵(870)은 상부가 개방된 컵 형상으로 제공된다. 외측컵(870)은 바닥벽(872), 측벽(874), 그리고 경사벽(876)을 가진다. 바닥벽(872)은 중공을 가지는 원형의 판 형상으로 제공된다. 바닥벽(872)의 중공에는 구동 축(814) 또는 구동기(816)가 삽입될 수 있다. 바닥벽(872)에는 배출관(828)이 연결된다. 배출관(828)은 바닥벽(872)으로부터 아래 방향으로 연장된다. 배출관(828)은 처리 공간(822)에 유입된 처리액을 회수한다. 측벽(874)은 기판 지지 유닛(810)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 측벽(874)은 바닥벽(872)의 측단으로부터 수직한 방향으로 연장된다. 측벽(874)은 바닥벽(872)으로부터 위로 연장된다. 경사벽(876)은 측벽(874)의 상단으로부터 연장되는 환형의 링 형상을 가진다. 경사벽(876)은 기판 지지 유닛(810)의 중심축에 가까워질수록 상향 경사진 방향을 향하도록 측벽(874)으로부터 연장된다. The processing vessel 820 has an open top and has a processing space 822 in which the substrate W is processed. The processing container 820 recovers the processing liquid used in the process and exhausts the atmosphere of the processing space 822 . The processing vessel 820 includes an outer cup 870 , an inner cup 880 , a connecting ring 826 , an exhaust pipe 892 , and a blocking member 894 . The outer cup 870 surrounds the substrate support unit 810 and has a processing space 822 therein. The outer cup 870 is provided in a cup shape with an open top. The outer cup 870 has a bottom wall 872 , a side wall 874 , and an inclined wall 876 . The bottom wall 872 is provided in the shape of a circular plate having a hollow. A drive shaft 814 or an actuator 816 may be inserted into the hollow of the bottom wall 872 . A discharge pipe 828 is connected to the bottom wall 872 . A discharge pipe 828 extends downwardly from the bottom wall 872 . The discharge pipe 828 recovers the processing liquid flowing into the processing space 822 . The sidewall 874 is provided in an annular ring shape surrounding the substrate support unit 810 . The side wall 874 extends in a direction perpendicular to the side end of the bottom wall 872 . Sidewall 874 extends upwardly from bottom wall 872 . The inclined wall 876 has an annular ring shape extending from the top of the side wall 874 . The inclined wall 876 extends from the side wall 874 toward an upwardly inclined direction as it approaches the central axis of the substrate support unit 810 .

내측컵(880)은 처리 공간(822)에서 기판 지지 유닛(810)을 감싸도록 제공된다. 내측컵(880)은 내벽(882) 및 안내벽(884)을 가진다. 내벽(882)은 외측컵(870)의 측벽(874)보다 작은 직경을 가지는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내벽(882)의 하단은 측벽(874)의 하단보다 높게 위치된다. 따라서 내벽(882)의 하단은 바닥벽(872)에 이격되게 위치된다. 내벽(882)은 처리 공간(822)을 내측 공간(822a) 및 외측 공간(822b)으로 구획한다. 여기서 내측 공간(822a)은 내벽(882)의 내측 영역으로, 내벽(882)과 기판 지지 유닛(810) 간에 사이 공간으로 정의된다. 외측 공간(822b)은 내벽(882)의 외측 영역으로, 내벽(882)과 외측컵(870)의 측벽(874) 간에 사이 공간으로 정의된다. 상부에서 바라볼 때 내벽(882)은 지지판(812)의 측단과 일치하거나, 지지판(812)의 외측에 위치될 수 있다. 선택적으로, 내벽(882)은 상하 방향으로 지지판(812)에 중첩되게 위치될 수 있다. 일 예에 의하면, 상부에서 바라볼 때 배출관(828)은 외측 공간(822b)에 중첩되게 위치될 수 있다. 안내벽(884)은 측벽(874)의 상단으로부터 연장되는 환형의 링 형상으로 제공된다. 안내벽(884)은 기판 지지 유닛(810)의 중심축과 멀어질수록 측벽(874)으로부터 하향 경사진 방향을 향하게 제공된다.The inner cup 880 is provided to surround the substrate support unit 810 in the processing space 822 . The inner cup 880 has an inner wall 882 and a guide wall 884 . The inner wall 882 is provided in the shape of an annular ring having a smaller diameter than the side wall 874 of the outer cup 870 . The lower end of the inner wall 882 is positioned higher than the lower end of the side wall 874 . Accordingly, the lower end of the inner wall 882 is positioned to be spaced apart from the bottom wall 872 . The inner wall 882 divides the processing space 822 into an inner space 822a and an outer space 822b. Here, the inner space 822a is an inner region of the inner wall 882 , and is defined as a space between the inner wall 882 and the substrate support unit 810 . The outer space 822b is an outer region of the inner wall 882 , and is defined as a space between the inner wall 882 and the side wall 874 of the outer cup 870 . When viewed from the top, the inner wall 882 may coincide with the side end of the support plate 812 or may be located outside the support plate 812 . Optionally, the inner wall 882 may be positioned to overlap the support plate 812 in the vertical direction. According to an example, when viewed from the top, the discharge pipe 828 may be positioned to overlap the outer space 822b. The guide wall 884 is provided in the shape of an annular ring extending from the top of the side wall 874 . The guide wall 884 is provided in a direction inclined downward from the side wall 874 as it moves away from the central axis of the substrate support unit 810 .

연결링(826)은 내측컵(880)과 외측컵(870)을 서로 연결시킨다. 연결링(826)은 외측 공간(822b)에 위치되는 환형의 링 형상으로 제공된다. 연결링(826)은 내측컵(880)의 내벽(882) 하단으로부터 외측컵(870)의 측벽(874)까지 연장되게 제공된다. 연결링(826)에는 상면 및 저면을 관통하는 관통홀(826a)이 형성된다. 관통홀(826a)은 복수 개로 제공되며, 연결링(826)의 원주 방향을 따라 배열된다. 따라서 외측 공간(822b)에 유입된 처리액은 관통홀(826a)을 통해 외측컵(870)의 바닥벽(872)으로 회수될 수 있다.The connecting ring 826 connects the inner cup 880 and the outer cup 870 to each other. The connecting ring 826 is provided in the shape of an annular ring positioned in the outer space 822b. The connecting ring 826 is provided to extend from the lower end of the inner wall 882 of the inner cup 880 to the side wall 874 of the outer cup 870 . The connection ring 826 has through-holes 826a penetrating through the upper and lower surfaces. A plurality of through-holes 826a are provided, and are arranged along the circumferential direction of the connecting ring 826 . Accordingly, the treatment liquid introduced into the outer space 822b may be recovered to the bottom wall 872 of the outer cup 870 through the through hole 826a.

배기관(892)은 처리 공간(822)의 분위기를 배기한다. 배기관(892)은 내측 공간(822a)에 위치된다. 배기관(892)은 배기관(892)은 그 길이 방향이 상하 방향을 향하는 원형의 관 형상으로 제공된다. 상부에서 바라볼 때 배기관(892)은 지지판(812)과 중첩되게 위치된다. 배기관(892)에는 배기구가 형성되며, 배기구는 상부 방향을 향하도록 제공된다. 배기관(892)은 외측컵(870)의 바닥벽(872)에 연결된다. 배기관(892)은 그 상단은 바닥벽(872)에 비해 높게 제공된다. 따라서 배기관(892)은 바닥벽(872)을 관통하게 위치된다. 배기관(892)에는 펌프와 같은 배기 부재(미도시)가 연결되어 처리 공간(822)에 음압을 제공할 수 있다.The exhaust pipe 892 exhausts the atmosphere of the processing space 822 . The exhaust pipe 892 is located in the inner space 822a. The exhaust pipe 892 is provided in the shape of a circular tube in which the longitudinal direction of the exhaust pipe 892 faces up and down. When viewed from the top, the exhaust pipe 892 is positioned to overlap the support plate 812 . An exhaust port is formed in the exhaust pipe 892, and the exhaust port is provided to face upward. The exhaust pipe 892 is connected to the bottom wall 872 of the outer cup 870 . The exhaust pipe 892 is provided with an upper end higher than the bottom wall 872 . Accordingly, the exhaust pipe 892 is positioned to pass through the bottom wall 872 . An exhaust member (not shown) such as a pump may be connected to the exhaust pipe 892 to provide negative pressure to the processing space 822 .

차단 부재(894)는 배기구에 처리액이 유입되는 것을 차단한다. 차단 부재(894)는 복수 개로 제공되며, 각각은 구동축의 둘레를 감싸도록 배열된다. 선택적으로 차단 부재(894)는 1 개로 제공될 수 있다. 도 9는 도 8의 차단 부재를 확대해 보여주는 절단 사시도이다. 도 9를 참조하면, 배기구가 향하는 방향으로 배기구를 바라볼 때 차단 부재(894)는 배기구의 일부와 중첩되게 위치된다. 차단 부재(894)는 배기관(892)의 상단으로부터 연장되게 제공된다. 상부에서 바라볼 때 차단 부재(894)는 지지판(812)의 측단에서 배기관(892)의 중심축을 향하는 방향으로 배기관(892)의 상단으로부터 상향 경사지게 연장된다. 따라서 처리액의 일부가 내측 공간(822a)에 유입될지라도, 처리액은 차단 부재(894)에 의해 바닥벽(872)으로 흘러 내릴 수 있다. 차단 부재(894)는 배기관(892)의 상단에 대응되는 형상에서 일부가 절단된 형상을 가진다. 일 예에 의하면, 차단 부재(894)의 상면은 라운드지도록 제공될 수 있다. 차단 부재(894)는 반구에서 일부가 절단된 형상으로 제공될 수 있다. 이와 달리 차단 부재(894)는 원형에서 일부가 절단된 판 형상으로 제공될 수 있다.The blocking member 894 blocks the introduction of the treatment liquid into the exhaust port. A plurality of blocking members 894 are provided, each of which is arranged to surround the circumference of the driving shaft. Optionally, one blocking member 894 may be provided. 9 is an enlarged cut-away perspective view of the blocking member of FIG. 8 . Referring to FIG. 9 , the blocking member 894 is positioned to overlap a portion of the exhaust port when looking at the exhaust port in the direction the exhaust port faces. A blocking member 894 is provided to extend from an upper end of the exhaust pipe 892 . When viewed from the top, the blocking member 894 extends obliquely upward from the upper end of the exhaust pipe 892 in a direction from the side end of the support plate 812 toward the central axis of the exhaust pipe 892 . Accordingly, even if a portion of the treatment liquid flows into the inner space 822a , the treatment liquid may flow down to the bottom wall 872 by the blocking member 894 . The blocking member 894 has a shape in which a portion is cut from a shape corresponding to the upper end of the exhaust pipe 892 . According to an example, the upper surface of the blocking member 894 may be provided to be rounded. The blocking member 894 may be provided in a shape cut off in a hemisphere. Alternatively, the blocking member 894 may be provided in the shape of a plate in which a part is cut from a circle.

승강 유닛(830)은 처리 용기(820)와 기판 지지 유닛(810) 간의 상대 높이를 조절한다. 승강 유닛(830)은 처리 용기(820)를 상하 방향으로 이동시킨다. 승강 유닛(830)은 브라켓(832), 이동 축(834), 그리고 구동기(836)를 가진다. 브라켓(832)은 처리 용기(820)의 외벽에 고정 설치되고, 브라켓(832)에는 구동기(836)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동 축(834)이 고정 결합된다. 기판(W)이 기판 지지 유닛(810)에 놓이거나, 기판 지지 유닛(810)으로부터 들어올릴 때 기판 지지 유닛(810)이 처리 용기(820)의 상부로 돌출되도록 처리 용기(820)는 하강한다. The elevation unit 830 adjusts a relative height between the processing vessel 820 and the substrate support unit 810 . The lifting unit 830 moves the processing container 820 up and down. The lifting unit 830 has a bracket 832 , a moving shaft 834 , and an actuator 836 . The bracket 832 is fixedly installed on the outer wall of the processing vessel 820 , and a moving shaft 834 , which is moved vertically by a driver 836 , is fixedly coupled to the bracket 832 . When the substrate W is placed on or lifted from the substrate supporting unit 810 , the processing vessel 820 lowers so that the substrate supporting unit 810 protrudes above the processing vessel 820 . .

다음에는 상술한 기판 처리 설비(1)를 이용하여 공정을 수행하는 일 예를 설명한다.Next, an example of performing the process using the above-described substrate processing facility 1 will be described.

기판들(W)이 수납된 카세트(20)는 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인다. 도어 오프너에 의해 카세트(20)의 도어가 개방된다. 인덱스 로봇(220)은 카세트(20)로부터 기판(W)을 꺼내어 제 2 버퍼(330)로 운반한다. The cassette 20 in which the substrates W are accommodated is placed on the mounting table 120 of the load port 100 . The door of the cassette 20 is opened by the door opener. The index robot 220 takes out the substrate W from the cassette 20 and transfers it to the second buffer 330 .

제 1 버퍼 로봇(360)은 제 2 버퍼(330)에 보관된 기판(W)을 제 1 버퍼(320)로 운반한다. 도포부 로봇(432)은 제 1 버퍼(320)로부터 기판(W)을 꺼내어 도포 모듈(401)의 베이크 챔버(420)로 운반한다. 베이크 챔버(420)는 프리 베이크 및 냉각 공정을 순차적으로 수행한다. 도포부 로봇(432)은 베이크 챔버(420)로부터 기판(W)을 꺼내어 레지스트 도포 챔버(410)로 운반한다. 레지스트 도포 챔버(410)는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포한다. 이후 기판(W) 상에 포토 레지스트가 도포되면, 도포부 로봇(432)은 기판(W)을 레지스트 도포 챔버(410)로부터 베이크 챔버(420)로 운반한다. 베이크 챔버(420)는 기판(W)에 대해 소프트 베이크 공정을 수행한다. The first buffer robot 360 transfers the substrate W stored in the second buffer 330 to the first buffer 320 . The applicator robot 432 takes out the substrate W from the first buffer 320 and transports it to the bake chamber 420 of the applicator module 401 . The bake chamber 420 sequentially performs pre-baking and cooling processes. The applicator robot 432 takes out the substrate W from the bake chamber 420 and transports it to the resist coating chamber 410 . The resist coating chamber 410 applies photoresist on the substrate W. After that, when a photoresist is applied on the substrate W, the applicator robot 432 transfers the substrate W from the resist application chamber 410 to the bake chamber 420 . The bake chamber 420 performs a soft bake process on the substrate W.

도포부 로봇(432)은 베이크 챔버(420)에서 기판(W)을 꺼내어 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(530)로 운반한다. 제 1 냉각 챔버(530)에서 기판(W)에 대해 냉각 공정이 수행된다. 제 1 냉각 챔버(530)에서 공정이 수행된 기판(W)은 제 2 버퍼 로봇(560)에 의해 에지 노광 챔버(550)로 운반된다. 에지 노광 챔버(550)는 기판(W)의 가장자리 영역을 노광하는 공정을 수행한다. 에지 노광 챔버(550)에서 공정이 완료된 기판(W)은 제 2 버퍼 로봇(560)에 의해 버퍼(520)로 운반된다.The applicator robot 432 removes the substrate W from the bake chamber 420 and transports it to the first cooling chamber 530 of the second buffer module 500 . A cooling process is performed on the substrate W in the first cooling chamber 530 . The substrate W, which has been processed in the first cooling chamber 530 , is transferred to the edge exposure chamber 550 by the second buffer robot 560 . The edge exposure chamber 550 performs a process of exposing an edge region of the substrate W. The substrate W that has been processed in the edge exposure chamber 550 is transferred to the buffer 520 by the second buffer robot 560 .

전처리 로봇(632)은 버퍼(520)로부터 기판(W)을 꺼내어 전처리 모듈(601)의 보호막 도포 챔버(610)로 운반한다. 보호막 도포 챔버(610)는 기판(W) 상에 보호막을 도포한다. 이후 전처리 로봇(632)은 기판(W)을 보호막 도포 챔버(610)로부터 베이크 챔버(620)로 운반한다. 베이크 챔버(620)는 기판(W)에 대해 가열 및 냉각 등과 같은 열처리를 수행한다. The pre-processing robot 632 takes out the substrate W from the buffer 520 and transports it to the protective film application chamber 610 of the pre-processing module 601 . The passivation film application chamber 610 applies a passivation film on the substrate W. Thereafter, the pre-processing robot 632 transfers the substrate W from the passivation film application chamber 610 to the bake chamber 620 . The bake chamber 620 performs heat treatment such as heating and cooling on the substrate W.

전처리 로봇(632)은 베이크 챔버(620)에서 기판(W)을 꺼내어 인터페이스 모듈(700)의 제 1 버퍼(720)로 운반한다. 인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720)로부터 세정 챔버(800)의 반전 유닛(840)으로 기판(W)을 운반한다. 반전 유닛(840)은 기판(W)의 제 1 면(패턴 면)이 아래 방향을 향하도록 기판(W)을 반전시킨다. 반전된 기판(W)은 기판 지지 유닛(810) 상에 로딩되고, 로딩된 기판(W)은 핀 부재들(811a, 811b)에 의해 척킹된다.The pre-processing robot 632 removes the substrate W from the bake chamber 620 and transfers it to the first buffer 720 of the interface module 700 . The interface robot 740 transfers the substrate W from the first buffer 720 to the inversion unit 840 of the cleaning chamber 800 . The inversion unit 840 inverts the substrate W such that the first surface (pattern surface) of the substrate W faces downward. The inverted substrate W is loaded on the substrate supporting unit 810 , and the loaded substrate W is chucked by the pin members 811a and 811b.

기판(W)은 기판 지지 유닛(810)에 의해 회전되고, 기판(W)의 제 2 면(비패턴 면)의 중앙 영역에는 처리액이 공급된다. 기판(W) 상에 공급된 처리액은 기판(W)의 원심력에 의해 확산된다. 처리액의 일부는 처리 용기(820)의 외측 공간(822b)으로 회수되고, 다른 일부는 내측 공간(822a)으로 회수된다. 외측 공간(822b)으로 회수된 처리액은 배출관(828)을 통해 회수된다. 내측 공간(822a)으로 회수된 처리액은 차단 부재(894)에 의해 처리 용기(820)의 바닥벽(872)으로 안내되고 배출관(828)으로 회수된다.The substrate W is rotated by the substrate support unit 810 , and a processing liquid is supplied to the central region of the second surface (non-pattern surface) of the substrate W. The processing liquid supplied on the substrate W is diffused by the centrifugal force of the substrate W. A portion of the processing liquid is recovered to the outer space 822b of the processing container 820 , and another portion is recovered to the inner space 822a of the processing container 820 . The processing liquid recovered to the outer space 822b is recovered through the discharge pipe 828 . The processing liquid recovered to the inner space 822a is guided to the bottom wall 872 of the processing container 820 by the blocking member 894 and returned to the discharge pipe 828 .

이후 기판(W)은 인터페 이스 로봇(740)에 의해 세정 챔버(800)로부터 제 1 버퍼(720)로 운반된 후, 제 1 버퍼(720)로부터 노광 장치(900)로 운반된다. 노광 장치(900)는 기판(W)의 제 1 면에 대해 노광 공정, 예를 들어 액침 노광 공정을 수행한다. 노광 장치(900)에서 기판(W)에 대해 노광 공정이 완료되면, 인터페이스 로봇(740)은 노광 장치(900)에서 기판(W)을 제 2 버퍼(730)로 운반한다. Thereafter, the substrate W is transferred from the cleaning chamber 800 to the first buffer 720 by the interface robot 740 and then transferred from the first buffer 720 to the exposure apparatus 900 . The exposure apparatus 900 performs an exposure process, for example, an immersion exposure process, on the first surface of the substrate W. When the exposure process for the substrate W is completed in the exposure apparatus 900 , the interface robot 740 transfers the substrate W from the exposure apparatus 900 to the second buffer 730 .

후처리 로봇(682)은 제 2 버퍼(730)로부터 기판(W)을 꺼내어 후처리 모듈(602)의 세정 챔버(660)로 운반한다. 세정 챔버(660)는 기판(W)의 표면에 세정액을 공급하여 세정 공정을 수행한다. 세정액을 이용한 기판(W)의 세정이 완료되면 후처리 로봇(682)은 곧바로 세정 챔버(660)로부터 기판(W)을 꺼내어 노광 후 베이크 챔버(670)로 기판(W)을 운반한다. 노광 후 베이크 챔버(670)의 가열 플레이트(672)에서 기판(W)의 가열에 의해 기판(W) 상에 부착된 세정액이 제거되고, 이와 동시에 포토 레지스트에 생성된 산(acid)을 증폭시켜 포토 레지스트의 성질 변화가 완성된다. 후처리 로봇(682)은 노광 후 베이크 챔버(670)로부터 기판(W)을 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540)로 운반한다. 제 2 냉각 챔버(540)에서 기판(W)의 냉각이 수행된다.The post-processing robot 682 removes the substrate W from the second buffer 730 and transports it to the cleaning chamber 660 of the post-processing module 602 . The cleaning chamber 660 performs a cleaning process by supplying a cleaning solution to the surface of the substrate W. When the cleaning of the substrate W using the cleaning solution is completed, the post-processing robot 682 immediately takes the substrate W out of the cleaning chamber 660 and transports the substrate W to the bake chamber 670 after exposure. After exposure, the cleaning solution attached to the substrate W is removed by heating the substrate W in the heating plate 672 of the bake chamber 670, and at the same time, the acid generated in the photoresist is amplified to amplify the photoresist. The change in the properties of the resist is completed. The post-processing robot 682 transports the substrate W from the post-exposure bake chamber 670 to the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 . Cooling of the substrate W is performed in the second cooling chamber 540 .

현상부 로봇(482)은 제 2 냉각 챔버(540)로부터 기판(W)을 꺼내어 현상 모듈(402)의 베이크 챔버(470)로 운반한다. 베이크 챔버(470)는 포스트 베이크 및 냉각 공정을 순차적으로 수행한다. 현상부 로봇(482)은 베이크 챔버(470)로부터 기판(W)을 꺼내어 현상 챔버(460)로 운반한다. 현상 챔버(460)는 기판(W) 상에 현상액을 공급하여 현상 공정을 수행한다. 이후 현상부 로봇(482)은 기판(W)을 현상 챔버(460)로부터 베이크 챔버(470)로 운반한다. 베이크 챔버(470)는 기판(W)에 대해 하드 베이크 공정을 수행한다. The developing unit robot 482 takes out the substrate W from the second cooling chamber 540 and transfers it to the bake chamber 470 of the developing module 402 . The bake chamber 470 sequentially performs post-baking and cooling processes. The developing unit robot 482 takes out the substrate W from the bake chamber 470 and transfers it to the developing chamber 460 . The developing chamber 460 supplies a developer onto the substrate W to perform a developing process. Thereafter, the developing unit robot 482 transfers the substrate W from the developing chamber 460 to the bake chamber 470 . The bake chamber 470 performs a hard bake process on the substrate W.

현상부 로봇(482)은 베이크 챔버(470)에서 기판(W)을 꺼내어 제 1 버퍼 모듈(300)의 냉각 챔버(350)로 운반한다. 냉각 챔버(350)는 기판(W)을 냉각하는 공정을 수행한다. 인덱스 로봇(360)은 냉각 챔버(350)부터 기판(W)을 카세트(20)로 운반한다. 이와 달리, 현상부 로봇(482)는 베이크 챔버(470)에서 기판(W)을 꺼내 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)으로 운반하고, 이후 인덱스 로봇(360)에 의해 카세트(20)로 운반될 수 있다.The developing unit robot 482 removes the substrate W from the bake chamber 470 and transports it to the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 . The cooling chamber 350 performs a process of cooling the substrate W. The index robot 360 transfers the substrate W from the cooling chamber 350 to the cassette 20 . On the contrary, the developing unit robot 482 takes the substrate W out of the bake chamber 470 and transports it to the second buffer 330 of the first buffer module 300, and then the cassette (W) by the index robot 360. 20) can be transported.

상술한 실시예에는 차단 부재(894)가 기판(W)을 세정 처리하는 세정 챔버(800)에 제공되는 것으로 설명하였다. 그러나 차단 부재(894)는 레지스트 도포 챔버(410) 및 현상 챔버(460)에 적용 가능하다. 또한 차단 부재(894)는 이에 한정되지 않으며, 기판(W)을 액 처리하고 그 내부 분위기를 배기하는 배기관(892)이 설치되는 장치에 다양하게 적용 가능하다.In the above-described embodiment, it has been described that the blocking member 894 is provided in the cleaning chamber 800 for cleaning the substrate W. However, the blocking member 894 is applicable to the resist application chamber 410 and the developing chamber 460 . In addition, the blocking member 894 is not limited thereto, and may be variously applied to an apparatus in which an exhaust pipe 892 for liquid-treating the substrate W and evacuating an internal atmosphere thereof is installed.

또한 본 실시예에는 차단 부재(894)가 원형에서 일부가 절단된 판 형상 또는 반구에서 일부가 절단된 형상을 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 차단 부재(894)의 형상은 이에 한정되지 않으며, 처리액이 배기관(894)에 유입되는 것을 방지할 수 있다면, 다양하게 변형될 수 있다.In addition, in the present embodiment, it has been described that the blocking member 894 has a plate shape in which a part is cut in a circle or a shape in which a part is cut in a hemisphere. However, the shape of the blocking member 894 is not limited thereto, and as long as it is possible to prevent the processing liquid from flowing into the exhaust pipe 894 , various modifications may be made.

810: 기판 지지 유닛 820: 처리 용기
822a: 내측 공간 822b: 외측 공간
828: 배출관 870: 외측컵
880: 내측컵 892: 배기관
894: 차단 부재810: substrate support unit 820: processing vessel
822a: inner space 822b: outer space
828: discharge pipe 870: outer cup
880: inner cup 892: exhaust pipe
894: blocking member

Claims

a substrate support unit for supporting the substrate;
a liquid supply unit supplying a processing liquid onto the substrate supported by the substrate support unit;
and a processing container that surrounds the substrate support unit and recovers a processing liquid,
The processing vessel,
an outer cup surrounding the substrate support unit and having a processing space therein;
an exhaust pipe positioned in the processing space and having an exhaust port through which an atmosphere of the processing space is exhausted;
and a blocking member blocking the treatment liquid flowing into the exhaust port, wherein the blocking member is installed at one end of the exhaust pipe, the exhaust port is open toward the top, and when viewed from the top, the blocking member is a part of the exhaust port The substrate processing apparatus is opened, and the remaining part of the exhaust port is installed to be covered by the blocking member.

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According to claim 1,
The substrate support unit,
a support plate for supporting the substrate;
It is coupled to the bottom surface of the support plate, including a rotatable drive shaft,
When viewed from above, the blocking member extends from one end of the exhaust pipe in a direction from a side end of the support plate toward a central axis of the exhaust pipe.

4. The method of claim 3,
The blocking member extends in an upwardly inclined direction from one end of the exhaust pipe.

5. The method of claim 4,
The upper surface of the blocking member is provided to be rounded.

According to any one of claims 1, 3 to 5,
The processing vessel,
Further comprising an inner cup dividing the processing space into an inner space and an outer space,
The exhaust pipe is located in the inner space.

7. The method of claim 6,
When viewed from above, the exhaust pipe is positioned to overlap the support plate.

8. The method of claim 7,
The processing vessel,
Further comprising a recovery line connected to the area of the outer cup corresponding to the outer space and for recovering the treatment liquid recovered in the treatment space,
The lower end of the inner cup is a substrate processing apparatus positioned to be spaced apart from the bottom surface of the outer cup.

9. The method of claim 8,
The exhaust pipe is provided in plurality, and is arranged to surround a circumference of the driving shaft.