KR102339496B1 - 전기 특성 측정 장치 - Google Patents

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요시토시 아카자와
히로아키 무라카미
겐타로 이노우에
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가부시키가이샤 호리바 어드밴스트 테크노
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Abstract

본 발명은, 절연성이 높은 액체 시료의 비저항 등의 전기 특성을 OP 앰프(연산 증폭기; operational amplifier)를 이용하여 측정 가능하게 하고, 감전의 위험성을 저감하는 것이다. 본 발명은, 액체 시료의 수용 공간(S)을 형성하는 한 쌍의 전극(21, 22)과, 한 쌍의 전극(21, 22)에 전압을 인가하기 위한 전원 회로(31) 및 액체 시료의 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 측정하기 위한 검출 회로(32)를 갖는 회로 본체부(3)와, 한 쌍의 전극(21, 22) 및 회로 본체부(3)를 접속하는 2개의 접속 도선(41, 42)과, 2개의 접속 도선(41, 42)을 피복하면서, 공통 단자(common terminal)에 접속되는 피복 도체(5), 또는, 상기 전원 회로(31)의 고전압측의 배선(312)에 설치된 감전 방지용 저항(313)을 구비하고, 검출 회로(32)가, 한 쌍의 전극(21, 22) 사이에 흐르는 전류를 검출하는 것이며, 검출 회로(32)에 의해 검출된 전류로부터 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 연산하도록 구성되어 있다.

Description

전기 특성 측정 장치{APPARATUS FOR MEASURING ELECTRICAL CHARACTERISTICS}
본 발명은, 액체 시료의 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 측정하는 전기 특성 측정 장치에 관한 것이다.
종래, 절연성을 갖는 액체 시료의 비저항을 측정하는 것으로는, 특허문헌 1에 나타나는 것이 고려되고 있다. 이 비저항 측정 장치는, 외부 전극 및 내부 전극에 교류 전압을 인가하여, 외부 전극과 내부 전극 사이에 위치하는 액체 시료의 비저항을 측정하는 것이다.
그러나, 절연성을 갖는 액체 시료의 비저항을 측정하기 위해서는, 외부 전극 및 내부 전극에 고전압을 인가해야 한다. 양전극에 인가하는 전압은, 외부 전극 및 내부 전극의 간격이 크면 클수록 고전압으로 된다. 그렇게 하면, 감전의 위험성이 높아진다. 여기서, 외부 전극과 내부 전극의 간격을 작게 하는 것도 고려될 수 있지만, 외부로부터의 진동에 의한 측정 오차의 영향을 받기가 쉬워진다.
또한, 종래의 비저항 측정 장치에서는, 예를 들면 도 5에 나타낸 바와 같이, OP 앰프(연산 증폭기; operational amplifier)를 이용하여 한 쌍의 전극 사이에 생기는 전압을 검출하는 것에 의해서 비저항을 연산하도록 구성되어 있다. 그러나, 외부 전극에 고전압을 인가하는 구성에서는, 도 5의 (A)의 회로 구성에서는, OP 앰프의 동작 전압의 범위로만 한 쌍의 전극에 전압을 걸 수 밖에 없고, 저항이 높은 경우에는 흐르는 전류가 작아서 측정이 곤란하게 되고, 또한, 도 5의 (B)의 회로 구성에서는, OP 앰프의 비반전입력단자(非反轉入力端子)로의 입력 전압이 커져서, 어느 쪽의 경우에도 OP 앰프를 사용할 수 없다.
일본 특허 공보 제3769119호
여기서 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 절연성이 높은 액체 시료의 비저항 등의 전기 특성을 OP 앰프를 이용하여 측정 가능하게 하고, 감전의 위험성을 저감하는 것을 그 주요 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 전기 특성 측정 장치는, 액체 시료와 접촉하는 한 쌍의 전극과, 상기 한 쌍의 전극에 전압을 인가하기 위한 전원 회로 및 상기 한 쌍의 전극 사이에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로를 갖는 회로 본체부와, 상기 한 쌍의 전극 및 상기 회로 본체부를 접속하는 2개의 접속 도선과, 상기 2개의 접속 도선을 피복하면서 공통 단자(common terminal)에 접속되는 피복 도체, 또는, 상기 전원 회로의 고전압측의 배선에 설치되어서, 감전되는 경우에 인체에 흐르는 전류치를 3 A 이하로 하는 감전 방지용 저항을 구비하고, 상기 검출 회로에 의해 검출된 전류로부터 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 연산하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 피복 도체를 갖는 전기 특성 측정 장치는, 한 쌍의 전극 및 회로 본체부를 접속하는 2개의 접속 도선이 피복 도체에 의해서 피복되므로, 절연성이 높은 액체 시료를 측정할 때 한 쌍의 전극에 고전압을 인가하는 경우에도 감전의 위험성을 저감할 수 있다. 또한, 피복 도체가 공통 단자에 접속되어 있으므로, 검출 회로에 의해 검출되는 노이즈를 저감할 수 있고, 액체 시료의 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 나타내는 신호를 용이하게 추출할 수 있고, 액체 시료의 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 접속 도선에 형성되는 부유 용량의 충전 전류와, 검출 회로에서 검출되는 전류를 분리할 수 있으므로, 부유 용량의 충전 전류가 정상 상태로 되는 것을 기다리지 않고, 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 측정할 수 있다. 그리고, 검출 회로가, 한 쌍의 전극 사이에 흐르는 전류를 검출하도록 구성되어 있으므로, 검출 회로를 구성하는 OP 앰프에 입력되는 전압을 작게 할 수 있고, 종래의 OP 앰프를 무리 없이 사용할 수 있다.
상기 감전 방지용 저항을 갖는 전기 특성 측정 장치는, 절연성이 높은 액체 시료를 측정할 때 한 쌍의 전극에 고전압을 인가하는 경우에도, 상기 감전 방지용 저항에 의해 인체에 흐르는 전류를 3 A 이하로 제한할 수 있어서, 감전의 위험성을 저감할 수 있다.
피복 도체를 설치하는 양태로는, 상기 피복 도체가 상기 2개의 접속 도선 각각에 서로 독립적으로 설치되는 것이 바람직하다. 이 경우 염가의 이중의 동축 케이블을 사용할 수 있어서, 고가의 고절연 케이블을 사용하지 않으면서도 감전의 위험성을 회피하면서 노이즈를 저감할 수 있다.
상기 전원 회로에 있어서, 고전압 전원과 상기 접속 도선에 접속되는 외부 단자 사이의 배선이 공중 배선으로 되는 것이 바람직하다. 이 경우 고전압 전원과 외부 단자 사이가 공중 배선되므로, 회로 본체부를 구성하는 배선 기판의 절연을 확실히 확보할 수 있다.
검출 회로에서 검출되는 전류와 중첩되는 노이즈를 저감하기 위해서는, 상기 한 쌍의 전극이, 원통 형상을 이루는 외부 전극과, 상기 외부 전극의 내부에 배치된 원기둥 형상을 이루는 내부 전극으로 이루어지고, 상기 외부 전극에 상기 전원 회로의 고전압이 인가되면서, 전극 사이에 흐르는 전류가 상기 내부 전극으로부터 상기 검출 회로에 검출되도록 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 절연성이 높은 액체 시료의 비저항 등의 전기 특성을 OP 앰프를 이용하여 측정 가능하게 하고, 감전의 위험성을 저감할 수 있다. 특히, 절연성이 높은 액체 시료의 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 안전하게 측정할 수 있다.
도 1은 제 1 실시형태의 전기 특성 측정 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 제 1 실시형태의 검출 회로를 포함하는 비저항 측정 회로의 구성을 나타낸 것이다.
도 3은 변형 실시형태의 전기 특성 측정 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 4는 제 2 실시형태의 전기 특성 측정 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는 종래 비저항 측정 회로의 구성을 나타낸 것이다.
<제 1 실시형태>
이하에서 본 발명에 따른 전기 특성 측정 장치의 제 1 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
제 1 실시형태의 전기 특성 측정 장치(100)는, 예를 들면 웨이퍼 지지대 등에 온도 조정 기구에 이용되는 불소계 액체 등의 액체의 열화를 검지하기 위해서 상기 액체 시료의 비저항(전기 저항률)을 연속 측정하는 비저항 측정 장치이다. 또한, 이 비저항 측정 장치(100)의 측정 대상인 액체 시료에는, 윤활유, 윤활용 액상 유기 매체, 방청유(rust-preventing oil), 방전 가공유, 액압 작동 매체액, 식용유 등의 오일류, 열 매체액, 열 처리액, 바니시·안료·농약 등 희석용 탄화수소계 용매, 세정용 탄화수소계 용매, 유동성을 갖는 구리스류 등이 포함된다.
구체적으로 비저항 측정 장치(100)는, 2 전극 방식의 것이며, 도 1에 나타나는 바와 같이, 액체 시료와 접촉하는 한 쌍의 전극(21, 22)과, 한 쌍의 전극(21, 22)에 전압을 인가하기 위한 전원 회로(31) 및 액체 시료의 비저항을 측정하기 위한 검출 회로(32)를 갖는 회로 본체부(3)와, 한 쌍의 전극(21, 22) 및 회로 본체부(3)를 접속하는 2개의 접속 도선(41, 42)을 구비하고 있다.
한 쌍의 전극(21, 22)은, 원통 형상을 이루는 외부 전극(21)의 내부에 원기둥 형상을 이루는 내부 전극(22)을 배치하여, 외부 전극(21)의 내주면과 내부 전극(22)의 외주면 사이에 셀 공간(S)이 형성된 것이다. 즉, 본 실시 형태의 한 쌍의 전극(21, 22)은, 측정 셀을 구성하는 것이다. 그 외, 평판 형상을 이루는 전극(21) 및 평판 형상을 이루는 전극(22)을 대향 배치하여 구성된 것이라도 좋다. 이 한 쌍의 전극(21, 22)은, 액체 시료를 저장하는 저장 용기(200)의 예를 들면 측벽에 삽입되어서, 상기 저장 용기(200)내의 액체 시료와 접촉하도록 상기 저장 용기(200)에 장착된다.
회로 본체부(3)는, 전원 회로(31) 및 검출 회로(32) 등을 배선 기판(301)상에 형성하여 구성된 것이다. 이 회로 본체부(3)는, 접속 도선(41, 42)을 접속하기 위한 외부 단자(3a, 3b)를 가지고 있다. 또한, 회로 본체부(3)는, 케이스(302)에 수용되고, 상기 케이스(302)에 외부 단자(3a, 3b)가 설치되어 있다.
그리고, 전원 회로(31)의 고전압 전원(311)과 외부 단자(3a) 사이의 배선(312)은 공중(空中) 배선으로 되어 있다. 이와 같이 고전압측의 배선(312)이 공중 배선으로 되어 있으므로, 후술하는 OP 앰프(32a)의 반전 입력 단자에 접속되는 배선 등과의 사이에서 절연성을 확보할 수 있고, OP 앰프(32a)에 의해 검출되는 노이즈를 저감할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 고전압 전원(311)은, 액체 시료의 전기 분해를 고려할 필요가 없기 때문에, 직류 전원(예를 들면 500 V)을 이용하고 있다. 또한, 직류 전원을 이용하는 경우에도, 정기적으로 직류 전원을 0 V로 하는 것이 바람직하다. 이 때, 후술하는 검출 회로(32)의 제로 출력을 확인하거나, 또한, 회로에 모인 전하를 방전시키거나 할 수 있다.
검출 회로(32)는, 외부 전극(21)과 내부 전극(22) 사이에 흐르는 전류를 검출하는 것에 의해서, 액체 시료의 비저항을 측정하는 것이다.
구체적으로 이 검출 회로(32)는, 도 1에 나타나는 바와 같이, 외부 전극(21)과 내부 전극(22) 사이에 흐르는 전류를 검출하기 위하여, OP 앰프(32a)를 이용하여 구성된 것이며, OP 앰프(32a)의 반전 입력 단자는 외부 단자(3b)와 배선에 의해서 접속된다. 또한, OP 앰프(32a)의 비반전 입력 단자는 공통 단자에 접속된다. 또한, OP 앰프(32a)의 비반전 입력 단자는 접지되어 있어도 좋다. 또한, OP 앰프(32a)의 반전 입력 단자와 출력측 사이에는, OP 앰프(32a)에 대해 병렬로 검출용 저항(32b)이 접속된다. 이러한 구성에 의해서, OP 앰프(32a)로부터 외부 전극(21)과 내부 전극(22) 사이에 흐르는 전류에 대응한 출력 전압(Vout)이 출력된다. 검출 회로(32)는 상기 OP 앰프(32a)로부터의 출력 전압을 이용하여 오일의 비저항(R2)을 연산하는 비저항 연산부(32c)를 갖는다. 비저항 연산부(32c)에 의한 비저항(R2)의 연산식은 R2 = R1×V1/Vout 이다. 여기서, V1는 외부 전극(21) 및 내부 전극(22)에 인가되는 직류 전압이며, R1는 검출용 저항(32b)의 저항치다.
그리고, 본 실시 형태의 비저항 측정 장치(100)는, 2개의 접속 도선(41, 42)을 피복하면서 공통 단자에 접속되는 피복 도체(5)를 구비한다. 여기서, 한 쪽의 접속 도선(41)은 외부 단자(3a)와 내부 전극(22)을 접속하는 것이며, 다른 쪽의 접속 도선(42)은 외부 단자(3b)와 외부 전극(21)을 접속하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 고전압이 내부 전극(22)에 인가되도록 구성한다. 이것은, 외부 전극(21)이 접지된 도전성을 갖는 저장 용기(200)에 직접(절연체를 개재하지 않고) 장착되는 구성으로 하고 있기 때문이다.
이 피복 도체(5)는, 2개의 접속 도선(41, 42) 각각에 서로 독립적으로 설치되어 있다. 즉, 피복 도체(5)는, 한 쪽의 접속 도선(41)의 주위를 피복하면서 공통 단자에 접속되는 제 1 피복 도체(51)와, 상기 제 1 피복 도체(51)와는 별도로 설치되고, 다른 쪽의 접속 도선(42)의 주위를 피복하면서 공통 단자에 접속되는 제 2 피복 도체(52)를 갖는다. 즉, 제 1 피복 도체(51)의 내부에는, 한 쪽의 접속 도선(41)이 수용되고 다른 쪽의 접속 도선(42)은 수용되지 않는다. 또한, 제 2 피복 도체(52)의 내부에는, 다른 쪽의 접속 도선(42)이 수용되고 한 쪽의 접속 도선(41)은 수용되지 않는다. 또한, 각 피복 도체(51, 52)에 접속되는 공통 단자은 회로 본체부(3)에 설치된다. 각 피복 도체(51, 52)는 접지되어 있어도 좋다. 또한, 다른 쪽의 접속 도선(42) 및 제 2 피복 도체(52)를 공통 단자에 접속하여 서로 등전위가 되도록 구성하고, 다른 쪽의 접속 도선(42)과 제 2 피복 도체(52) 사이에서 전류의 왕래가 발생하지 않도록 구성한다.
구체적인 구성으로서, 한 쪽의 접속 도선(41)과 제 1 피복 도체(51)에는 이들 사이에 절연성을 갖는 수지가 구비되고, 제 1 피복 도체(51)의 주위에도 절연성을 갖는 수지가 구비된 동축 케이블에 의해 구성된다. 또한, 다른 쪽의 접속 도선(42)과 제 2 피복 도체(52)에는 이들 사이에 절연성을 갖는 수지가 구비되고, 제 2 피복 도체(52)의 주위에도 절연성을 갖는 수지가 구비된 동축 케이블에 의해 구성된다. 즉, 한 쌍의 전극(21, 22)과 회로 본체부(3)는 2개의 동축 케이블에 의해 접속된다. 또한, 제 1 피복 도체(51)의 주위에 구비되는 수지와 제 2 피복 도체(52)의 주위에 구비되는 수지를 공통화하여, 1개의 케이블 구성으로 해도 좋다.
이와 같이 구성된 비저항 측정 장치(100)에 의하면, 한 쌍의 전극(21, 22) 및 회로 본체부(3)를 접속하는 2개의 접속 도선(41, 42)이, 피복 도체(51, 52)에 의해서 피복되어 있으므로, 절연성이 높은 액체 시료를 측정할 때에, 한 쌍의 전극(21, 22)에 고전압을 인가하는 경우에도, 감전의 위험성을 저감할 수 있다. 또한, 검출 회로(32)가, 한 쌍의 전극(21, 22) 사이에 흐르는 전류를 검출하도록 구성되어 있으므로, 검출 회로(32)를 구성하는 OP 앰프(32a)에 입력되는 전압을 작게 할 수 있고, OP 앰프(32a)를 이용하여 절연성이 높은 액체 시료의 비저항을 측정할 수 있다. 또한, 피복 도체(51, 52)가 공통 단자에 접속되어 있으므로, 검출 회로(32)에 의해 검출되는 노이즈를 저감할 수 있고, 액체 시료의 비저항을 나타내는 신호의 추출을 용이하게 할 수 있고, 액체 시료의 비저항의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 그리고, 접속 도선(41)에 형성되는 부유 용량의 충전 전류와, 검출 회로(32)에서 검출되는 전류를 분리할 수 있으므로, 부유 용량의 충전 전류가 정상 상태로 되는 것을 기다리지 않고, 비저항을 측정할 수 있다.
또한, 각 접속 도선(41, 42) 각각에, 공통 단자에 접속되는 피복 도체(51, 52)를 설치하는 구성으로 되어 있으므로, 염가의 1개의 심선(心線)과 1개의 시일(seal) 도선으로부터 이루어진 2중의 동축 케이블을 사용할 수 있고, 고가의 고절연 케이블을 사용하는 일 없이, 감전의 위험성을 회피하면서, 노이즈를 저감할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 제 1 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 제 1 실시형태에서는, 2개의 접속 도선 각각에 피복 도체(51, 52)를 설치한 2개의 동축 케이블을 이용하여 구성하고 있지만, 도 3에 나타나는 바와 같이, 3개의 3중 동축 케이블에 의해 구성해도 좋다. 구체적으로는, 고전압측의 접속 도선(41)을, 저전압측의 접속 도선(42)으로 피복하면서, 상기 저전압측의 접속 도선(42)의 주위를 공통 단자에 접속된 피복 도체(5)로 피복하는 것을 생각할 수 있다. 이 경우, 2개의 접속 도선(41, 42) 사이에서 전류 리크(current leak)가 생길 가능성이 있기 때문에, 2개의 접속 도선(41, 42) 사이에 절연성이 높은 수지가 필요 등의 이유에서, 상기 실시형태에 비하여 고가로 되지만, 감전의 위험성을 저감하면서, 검출 회로에 의해 검출되는 노이즈를 저감할 수 있다. 또한, 배선을 간소화할 수 있다.
또한, 감전의 위험성을 저감하면서, 검출 회로에 의해 검출되는 노이즈를 저감하여 측정 정밀도를 향상시킨다는 목적에서 보면, 전기 특성 측정 장치는, 액체 시료와 접촉하는 한 쌍의 전극과, 상기 한 쌍의 전극에 전압을 인가하기 위한 전원 회로 및 상기 한 쌍의 전극 사이에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로를 갖는 회로 본체부와, 상기 한 쌍의 전극 및 상기 회로 본체부를 접속하는 2개의 접속 도선과, 상기 2개의 접속 도선을 피복하면서, 공통 단자에 접속되는 피복 도체를 구비한 것이면 좋다.
<제 2 실시형태>
다음에 본 발명에 관한 전기 특성 측정 장치의 제 2 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 상기 제 1 실시형태와 동일 또는 대응하는 부재에는 동일한 부호를 이용한다.
제 2 실시형태의 전기 특성 측정 장치(100)는, 도 4에 나타나는 바와 같이, 상기 제 1 실시형태와는 달리, 상기 전원 회로(31)의 고전압측의 배선(312)에 감전 방지용 저항(313)이 설치되어 있다. 이 감전 방지용 저항(313)은, 예를 들면 인체가 케이스(302)에 설치된 외부 단자(3a, 3b)와 접촉했을 경우에 상기 인체에 흐르는 전류를 제한하는 전류 제한 저항(예를 들면 수 MΩ)이다. 구체적으로는, 감전되는 경우에, 인체에 흐르는 전류치를 3 A 이하로 제한하는 저항이며, 바람직하게는, 50 mA 이하로 제한하는 저항이며, 보다 바람직하게는 10 mA 이하로 제한하는 저항이다. 또한, 감전 방지용 저항(313)의 저항치는, 상기 인체에 흐르는 전류치 및 직류 전원(311)의 직류 전압치를 파라미터로 하여 정해진다.
또한, 본 실시 형태의 비저항 측정 장치(100)에서는, 한 쪽의 접속 도선(41)은, 외부 단자(3a)와 외부 전극(21)을 접속하는 것이며, 다른 쪽의 접속 도선(42)은, 외부 단자(3b)와 내부 전극(22)을 접속하는 것이다. 본 실시 형태에서는, 외부 전극(21)에 고전압이 인가되도록 구성된다. 이것에 의해서, 외부 전극(21)과 내부 전극(22) 사이에 흐르는 전류를 내부 전극(22)으로부터 취출하여 검출 회로(32)의 OP 앰프(32a)에 입력되는 구성이 된다. 이 때, 내부 전극(22)은 외부 전극(21)에 수용되므로, 저장 용기(200) 등의 주위 부재와 직접 접촉하지 않는 구성으로 되기 때문에, 상기 전류와 중첩하는 노이즈를 저감할 수 있고, 액체 시료의 비저항의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이와 같이 구성한 비저항 측정 장치(100)에 의하면, 절연성이 높은 액체 시료를 측정할 때에 한 쌍의 전극에 고전압을 인가하는 경우에도, 상기 감전 방지용 저항(313)에 의해 인체에 흐르는 전류를 제한할 수 있고, 감전의 위험성을 저감할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 제 2 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 제 2 실시형태에 있어서, 상기 제 1 실시형태와 동일하게, 2개의 접속 도선(41, 42)을 피복하면서, 공통 단자에 접속되는 피복 도체를 구비하는 구성으로 해도 좋다. 이 구성이라면, 감전의 위험성을 한층 더 저감할 수 있다.
또한, 노이즈 제거의 관점에서 보면, 2개의 접속 도선(41, 42) 중에서, 접속 도선(42)을 피복 도체에 의해서 피복해 두면 좋다. 이러한 구성이라면, 감전 방지용 저항에 의해서 감전을 방지하면서, 피복 도체에 의해서 노이즈를 제거할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태의 전기 특성 측정 장치는, 비저항을 측정하는 것이었지만, 그 외, 비저항과 관련된 물리량으로서, 예를 들면 도전율을 측정하는 것이라도 좋다.
그 외, 본 발명은 상기 각 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.
100: 비저항 측정 장치(전기 특성 측정 장치)
21, 22: 한 쌍의 전극
S: 수용 공간
3: 회로 본체부
3a, 3b: 외부 단자
31: 전원 회로
311: 고전압 전원
312: 고전압측의 배선
313: 감전 방지용 저항
32: 검출 회로
41, 42: 접속 도선
5: 피복 도체

Claims (4)

  1. 절연성을 가지는 액체 시료와 접촉하는 한 쌍의 전극과,
    상기 한 쌍의 전극에 직류 전압을 인가하기 위한 고전압 전원을 구비하는 전원 회로 및 상기 한 쌍의 전극 사이에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로를 갖는 회로 본체부와,
    상기 한 쌍의 전극 및 상기 회로 본체부를 접속하는 2개의 접속 도선과,
    상기 2개의 접속 도선을 피복하면서 공통 단자(common terminal)에 접속되는 피복 도체, 또는, 상기 전원 회로의 고전압측의 배선에 설치되고, 감전되는 경우에 인체에 흐르는 전류치를 3 A 이하로 하는 감전 방지용 저항을 구비하고,
    상기 검출 회로에 의해 검출된 전류로부터 비저항 또는 비저항과 관련된 물리량을 연산하도록 구성되고,
    상기 전원 회로 및 상기 검출 회로는 공통의 케이스 내에 수용되어 있고,
    상기 전원 회로에 있어서, 상기 고전압 전원과, 상기 케이스에 설치되고 상기 접속 도선에 접속되는 외부 단자와의 사이의 배선이 공중(空中) 배선으로 되어 있는 전기 특성 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 피복 도체가, 상기 2개의 접속 도선 각각에 서로 독립적으로 설치되어 있는 전기 특성 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 전극이, 원통 형상을 이루는 외부 전극과, 상기 외부 전극의 내부에 배치된 원기둥 형상을 이루는 내부 전극으로 이루어지고,
    상기 외부 전극에 상기 전원 회로의 고전압이 인가되면서, 전극 사이에 흐르는 전류가 상기 내부 전극으로부터 상기 검출 회로에 검출되도록 구성된 전기 특성 측정 장치.
  4. 삭제
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