KR102331204B1 - Electrical conducting device for electrical testing - Google Patents

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KR102331204B1
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존 윌리엄스
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가오 티엔-싱
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Abstract

An electrically conductive device suitable for connection to a drive module (1) comprising a plurality of contacts (11) for carrying out an electrical test on an element (61) is provided. The electrically conductive device comprises a test unit (2) made of a plurality of substrates and conductive members and including a plurality of parallel rows and a plurality of adjustment terminals (39) mounted on substrates (21), connected to conductive members (22), respectively, and spaced apart from each other. Each of the conductive members (22) extends obliquely and outwardly from a corresponding one of the substrates (21), has a contact terminal (P) suitable for making electrical contact with an element under test (81), and is suitable for electrical connection with one of the contacts. At least one of the adjustment terminals (P) is offset from the corresponding one of the contact terminals (P) of the conductive members (22).

Description

전기 시험용 전기 전도 장치{ELECTRICAL CONDUCTING DEVICE FOR ELECTRICAL TESTING}Electrical conduction device for electrical testing

본 개시는 전기 시험 장치, 특히 전기 시험을 수행하기 위한 전기 전도 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to an electrical test apparatus, in particular an electrically conductive apparatus for performing an electrical test.

도 1을 참조하면, 집적회로, 칩 등과 같은 피시험 전자 컴포넌트(900)를 시험하기 위한 통상의 전기 시험 장치(9)가 도시되어 있다. 통상의 전기 시험 장치(9)는 금속으로 만들어지는 시트 본체(91) 및 시트 본체(91)에 배치되고 일 방향을 따라 등간격으로 서로 이격되게 배열되는 복수의 스프링 프로브(92)들을 포함한다. 스프링 프로브(92)들과 피시험 전자 컴포넌트(900)의 접점들 간의 전기적 접속을 통해 피시험 전자 컴포넌트(900)에 대해 여러 가지 시험들이 수행될 수 있다.Referring to Figure 1, there is shown a typical electrical test apparatus 9 for testing an electronic component under test 900, such as an integrated circuit, chip, or the like. A typical electrical testing apparatus 9 includes a sheet body 91 made of metal and a plurality of spring probes 92 disposed on the sheet body 91 and spaced apart from each other at equal intervals along one direction. Various tests may be performed on the electronic component under test 900 through electrical connection between the spring probes 92 and the contacts of the electronic component under test 900 .

하이엔드 산업이 최근에 신속하게 발달함으로 인해, 피시험 전자 컴포넌트들의 구성 형태들이 더욱 더 정교해지고 복잡해지고 있다. 임의의 인접한 두 개의 스프링 프로브(92)들 사이에 정해지는 거리(D)를 조정하는 것이 가능하지 않기 때문에, 통상의 전기 시험 장치(9)는 접점들의 형상과 분포가 다양한 전자 컴포넌트들을 시험하는데 사용될 수 없다. 그 결과, 특정한 전자 컴포넌트를 위한 전용의 전기 시험 장치를 설계하는 것이 종종 필요한데, 이는 다른 유형들의 전자 컴포넌트들에는 적용되지 못할 수 있어 제조비용의 증가뿐만 아니라 소재의 낭비도 초래할 수 있다.Due to the rapid development of the high-end industry in recent years, the configuration forms of the electronic components under test are becoming more sophisticated and complex. Since it is not possible to adjust the distance D defined between any two adjacent spring probes 92, a conventional electrical testing apparatus 9 can be used to test electronic components having various shapes and distributions of contacts. can't As a result, it is often necessary to design a dedicated electrical test apparatus for a specific electronic component, which may not be applicable to other types of electronic components, which may result in material wastage as well as increase in manufacturing cost.

따라서 본 개시의 목적은 종래 기술의 단점들 중 적어도 하나를 해소할 수 있는 전기 전도 장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present disclosure is to provide an electrically conductive device capable of solving at least one of the disadvantages of the prior art.

본 개시의 하나의 태양에 따르면, 전기 전도 장치가 제공된다. 전기 전도 장치는 피시험 요소에 대한 전기 시험 작업을 수행하기 위해 복수의 접점들을 포함하는 구동 모듈에 연결되기에 적합하다. 전기 전도 장치는 시험 유닛 및 조정 유닛을 포함한다. 시험 유닛은 복수의 기판들 및 전도성 부재들로 이루어지고 평행한 복수의 열들을 포함한다. 기판들 각각은 제1 방향으로 연장하며, 제1 방향으로 서로 반대인 두 개의 단부 표면들 및 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 서로 반대인 두 개의 측부 표면들을 구비한다. 기판들은 제2 방향으로 서로 평행하고 이격되게 배치된다. 기판들 중 임의의 인접한 두 개의 기판들이 그 사이에 장착 공간을 획정한다. 각각의 열의 전도성 부재들은 제1 방향으로 서로 이격된다. 전도성 부재들 각각은 기판들 중 상응하는 기판으로부터 경사지게 그리고 장착 공간으로부터 외측으로 연장하고, 피시험 요소와 전기적으로 접촉하기에 적합한 접촉 단자의 역할을 하는 자유 단부를 구비하고, 구동 모듈의 접점들 중 하나의 접점에 전기적으로 접속되기에 적합하다. 조정 유닛은 전도성 부재들에 연결되며, 기판들에 장착되는 복수의 조정 단자들을 포함하고, 조정 단자들은 각각 상기 전도성 부재에 연결되고 제1 방향으로 서로 이격된다. 조정 단자들 중 적어도 하나의 조정 단자는 제1 방향 및 제2 방향을 가로지르는 제3 방향으로 전도성 부재들의 접촉 단자들 중 상응하는 접촉 단자와 오프셋된다.According to one aspect of the present disclosure, an electrically conductive device is provided. The electrically conductive device is adapted to be connected to a drive module comprising a plurality of contacts for performing an electrical test operation on the element under test. The electrically conductive device includes a test unit and an adjustment unit. The test unit includes a plurality of parallel rows made of a plurality of substrates and conductive members. Each of the substrates extends in a first direction and has two opposite end surfaces in a first direction and two opposite side surfaces in a second direction transverse to the first direction. The substrates are disposed parallel to and spaced apart from each other in the second direction. Any two adjacent ones of the substrates define a mounting space therebetween. The conductive members of each row are spaced apart from each other in the first direction. Each of the conductive members extends obliquely from a corresponding one of the substrates and outwardly from the mounting space, has a free end serving as a contact terminal suitable for making electrical contact with the element under test, and includes one of the contacts of the drive module. It is suitable to be electrically connected to one contact. The adjustment unit is connected to the conductive members and includes a plurality of adjustment terminals mounted to the substrates, the adjustment terminals being respectively connected to the conductive member and spaced apart from each other in the first direction. At least one of the adjustment terminals is offset with a corresponding one of the contact terminals of the conductive members in a third direction transverse to the first direction and the second direction.

본 개시의 다른 피처들과 장점들은 실시예들에 대한 첨부 도면들을 참조한 아래의 상세한 설명에서 명백해질 것이다.
도 1은 기존의 전기 시험 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제1 실시예 및 제1 실시예에 전기적으로 접속되는 구동 모듈을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 3은 제1 실시예를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 4는 전기 전도 장치의 제1 실시예의 평행한 복수의 전도성 부재의 열들을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 도 3의 일부분을 도시하는 측면도이다.
도 6은 피시험 요소에 대한 전기 시험 작업을 수행하기 위한 구동 모듈에 연결된 제1 실시예를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 7은 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제2 실시예를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 8은 도 7의 일부분을 도시하는 측면도이다.
도 9는 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제3 실시예 및 제3 실시예에 전기적으로 접속될 구동 모듈을 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 10은 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제4 실시예를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 11은 제2 실시예가 구동 모듈에 연결된 상태를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 12는 피시험 요소에 대한 전기 시험 작업을 수행하기 위한 구동 모듈에 전기적으로 접속된 제4 실시예를 개략적으로 도시하는 단면도이다.Other features and advantages of the present disclosure will become apparent from the detailed description below with reference to the accompanying drawings of embodiments.
1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional electrical test apparatus.
2 is an exploded perspective view schematically showing the first embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure and a driving module electrically connected to the first embodiment;
Fig. 3 is a side view schematically showing the first embodiment.
Fig. 4 is a plan view schematically showing rows of a plurality of parallel conductive members of the first embodiment of the electrically conductive device;
FIG. 5 is a side view showing a part of FIG. 3 ;
6 is a side view schematically showing a first embodiment connected to a drive module for performing an electrical test operation on an element under test;
7 is a side view schematically illustrating a second embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure.
Fig. 8 is a side view showing a part of Fig. 7;
9 is a side view schematically showing a third embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure and a driving module to be electrically connected to the third embodiment;
10 is a side view schematically showing a fourth embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure.
11 is a side view schematically illustrating a state in which the second embodiment is connected to a driving module.
12 is a cross-sectional view schematically showing a fourth embodiment electrically connected to a drive module for performing an electrical test operation on an element under test;

본 개시를 상세하게 설명하기 전에, 적절하다고 생각되는 경우, 선택적으로 유사한 특성을 가질 수 있는 상응하거나 유사한 요소들을 지시하기 위해 도면 번호들 또는 도면 번호들의 부호들의 끝부분이 도면들에서 반복된다는 것에 유의해야 한다.Before describing the present disclosure in detail, it is noted that, where deemed appropriate, reference numbers or terminating numbers of reference numerals are repeated in the drawings to indicate corresponding or similar elements, which may optionally have similar characteristics. Should be.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 개시에 따른 전기 전도 장치의 제1 실시예가 도시되어 있다. 전기 전도 장치는 피시험 요소에 대해 전기 시험 작업을 수행하기 위한 복수의 접점(11)들을 포함하는 구동 모듈(1)에 연결되기에 적합하다. 전기 전도 장치(1)는 시험 유닛(2) 및 조정 유닛(3)을 포함한다.2 to 4 , a first embodiment of an electrically conductive device according to the present disclosure is shown. The electrically conductive device is suitable for connection to a drive module 1 comprising a plurality of contacts 11 for carrying out an electrical test operation on the element under test. The electrically conductive device 1 comprises a test unit 2 and an adjustment unit 3 .

시험 유닛(2)은 복수의 기판(21)들, 복수의 전도성 부재(22)의 열들, 복수의 전기 커넥터(23)들 및 복수의 전도체 부재(24)들을 포함한다. 시험 유닛(2)의 특정한 구성 형태가 서로 협동하여 시험 회로를 형성하는 기판(21)들, 전도성 부재(22)들, 전기 커넥터(23)들 및 전도체 부재(24)들의 수를 수정하는 것에 의해 피시험 요소의 시험 요건 또는 구성 형태에 따라 달라질 수 있다는 점에 유의해야 한다. 아래의 설명에서는 시험 유닛(2)의 단지 일부 예들만 설명하며, 시험 유닛(2)의 구성 형태는 여기서 설명하는 예들에 한정되지 않는다.The test unit 2 includes a plurality of substrates 21 , a plurality of rows of conductive members 22 , a plurality of electrical connectors 23 and a plurality of conductive members 24 . By modifying the number of substrates 21 , conductive members 22 , electrical connectors 23 , and conductor members 24 in which a specific configuration form of the test unit 2 cooperates with each other to form a test circuit It should be noted that this may vary depending on the test requirements or configuration type of the element under test. In the following description, only some examples of the test unit 2 are described, and the configuration of the test unit 2 is not limited to the examples described herein.

기판(21)들 각각은 제1 방향(X)으로 연장하고, 제1 방향으로 서로 반대인 두 개의 단부 표면(211)들 및 제1 방향(X)을 가로지르는 제2 방향(Y)으로 서로 반대인 두 개의 측부 표면(212)들을 구비한다. 기판(21)들은 제2 방향(Y)으로 서로 평행하고 이격되게 배치되며, 각각 복수의 통공(219)들(단 하나만 도시됨)을 구비한다. 임의의 인접한 두 개의 기판(21)들은 그 사이에 장착 공간(200)을 획정한다. 장착 공간(200)들 각각은 제1 방향(X)으로 서로 반대인 두 개의 단부 부분들을 구비한다. 전기 커넥터(23)들은 각각 장착 공간(200)들의 단부 부분에 장착된다. 전기 커넥터(23)들 각각은 제2 방향(Y)으로 서로 반대인 두 개의 단부 표면들을 구비한다. 전기 커넥터(23)들 중 두 개가 장착된 장착 공간(200)을 획정하는 기판(21)들 중 인접한 두 개에 대해, 전기 커넥터(23)들 중 두 개의 전기 커넥터들의 단부 표면들 중 두 개의 단부 표면은 기판들(21)의 단부 표면(211)들과 제2 방향(Y)으로 동일한 평면 상에 있다. Each of the substrates 21 extends in a first direction X, and has two end surfaces 211 opposite to each other in the first direction and each other in a second direction Y transverse to the first direction X. It has two opposite side surfaces 212 . The substrates 21 are parallel and spaced apart from each other in the second direction Y, and each has a plurality of through holes 219 (only one is shown). Any two adjacent substrates 21 define a mounting space 200 therebetween. Each of the mounting spaces 200 has two end portions opposite to each other in the first direction (X). The electrical connectors 23 are respectively mounted at the end portions of the mounting spaces 200 . Each of the electrical connectors 23 has two opposite end surfaces in the second direction Y. For adjacent two of the substrates 21 defining a mounting space 200 in which two of the electrical connectors 23 are mounted, two ends of the end surfaces of two of the electrical connectors 23 . The surface is on the same plane as the end surfaces 211 of the substrates 21 in the second direction (Y).

각각의 열의 전도성 부재(22)들은 제1 방향(X)으로 서로 이격된다. 전도성 부재(22)들 각각은 기판(21)들 중 상응하는 기판으로부터 경사지게 그리고 장착 공간(200)으로부터 외측으로 연장하고, 구동 모듈(1)의 접점(11)들 중 하나의 접점에 전기적으로 접속하기에 적합하고, 경사지게 그리고 내측으로 연장하는 탄성 부분(221)을 포함하고, 그리고 탄성 부분(221)으로부터 연장하고 피시험 요소(81)(도 6 참조)의 접점(82)들과 전기적으로 접촉하기에 적합한 접촉 단자(P)의 역할을 하는 자유 단부를 구비한다.The conductive members 22 of each row are spaced apart from each other in the first direction (X). Each of the conductive members 22 extends obliquely from a corresponding one of the substrates 21 and outwardly from the mounting space 200 , and is electrically connected to one of the contacts 11 of the driving module 1 . suitable for, comprising an elastic portion 221 extending obliquely and inwardly, and extending from the elastic portion 221 and in electrical contact with the contacts 82 of the element under test 81 (see FIG. 6 ) It has a free end serving as a contact terminal P suitable for

통공(219)들 각각은 기판(21)들 중 상응하는 기판의 중앙에 배치되고 기판(21)들 중 상응하는 기판의 측부 표면(212)들을 통해 연장한다. 전도체 요소(24)들은 통공(219)들에 각각 배치되고 서로 전기적으로 접속된다.Each of the apertures 219 is disposed in the center of a corresponding one of the substrates 21 and extends through the side surfaces 212 of the corresponding one of the substrates 21 . The conductor elements 24 are respectively disposed in the apertures 219 and are electrically connected to each other.

조정 유닛(3)은 전도성 부재(22)들에 연결되고, 복수의 조정 부재(31)들 및 복수의 조정 단자(39)들을 포함한다. 조정 부재(31)들은 전도성 부재(22)들에 각각 그리고 일체로 연결되며, 조정 단자(39)들에 각각 그리고 전기적으로 접속된다. 조정 단자(39)들은 기판(21)들에 장착되고, 각각 전도성 부재(22)들에 연결되고, 제1 방향(X)으로 서로 이격된다. 이 실시예에서, 조정 단자(39)들 각각은 금속으로 만들어지고 반구형으로 구성된다.The adjustment unit 3 is connected to the conductive members 22 and includes a plurality of adjustment members 31 and a plurality of adjustment terminals 39 . The adjustment members 31 are respectively and integrally connected to the conductive members 22 , respectively and electrically connected to the adjustment terminals 39 . The adjustment terminals 39 are mounted on the substrates 21 , are respectively connected to the conductive members 22 , and are spaced apart from each other in the first direction (X). In this embodiment, each of the adjustment terminals 39 is made of metal and has a hemispherical shape.

또한 도 5를 참조하면, 조정 단자(39)들 각각은 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)을 가로지르는 제3 방향(Z)으로 전도성 부재(22)들의 접촉 단자(P)들 중 상응하는 접촉 단자와 오프셋되어 있다. 그 결과, 전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들의 접촉 단자(P)들 간의 거리(L1)가 전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들에 각각 연결된 조정 단자(39)들 중 인접한 두 조정 단자들 간의 거리(L2)와 다르다. Also referring to FIG. 5 , each of the adjustment terminals 39 is connected to the contact terminals P of the conductive members 22 in the third direction Z crossing the first direction X and the second direction Y. is offset with the corresponding contact terminal. As a result, the distance L1 between the contact terminals P of two adjacent ones of the conductive members 22 is equal to the adjacent one of the adjustment terminals 39 connected to the two adjacent ones of the conductive members 22, respectively. It is different from the distance L2 between the two adjustment terminals.

전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들의 접촉 단자(P)들 간의 거리가 예컨대 전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들에 각각 연결된 조정 단자(39)들 중 인접한 두 조정 단자들 간의 거리보다 작게 되도록 조정 부재(31)들의 구성 형태가 수정될 수 있다는 점에 유의하자. 이런 방식으로, 본 개시에 따른 전기 전도 장치가 접점들의 형상과 분포가 다양한 각기 다른 피시험 요소들에 대해 전기 시험을 수행하도록 제공될 수 있다. The distance between the contact terminals P of two adjacent ones of the conductive members 22 is, for example, between the two adjacent ones of the adjustment terminals 39 respectively connected to the two adjacent ones of the conductive members 22 . Note that the configuration of the adjustment members 31 may be modified to be smaller than the distance. In this way, an electrically conductive device according to the present disclosure can be provided to perform an electrical test on different elements under test having various shapes and distributions of contacts.

또한 도 6을 참조하면, 제1 실시예가 피시험 요소(81)에 대해 전기 시험 작업을 수행하는데 사용되는 예에서는, 조정 부재(31)들이 각각 구동 모듈(1)의 접점(11)들에 접촉하고 그리고 시험 유닛(2)의 전도성 부재(22)들이 각각 요소(81)의 접점(82)들에 접촉함으로써 그 사이에 전기적 연결이 이루어지도록 조정 부재(31)들의 절곡 형태가 수정된다. 그러면, 구동 모듈(1)이 본 개시의 전기 전도 장치를 통해 피시험 요소(81)에 대해 전기 시험 작업을 수행하도록 전기를 공급한다.Referring also to FIG. 6 , in the example in which the first embodiment is used to perform an electrical test operation on the element under test 81 , the adjustment members 31 respectively contact the contacts 11 of the driving module 1 . and the bending shape of the adjustment members 31 is modified so that the conductive members 22 of the test unit 2 respectively contact the contacts 82 of the element 81 so that an electrical connection is made therebetween. Then, the driving module 1 supplies electricity to the element under test 81 through the electrically conductive device of the present disclosure to perform an electrical test operation.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제2 실시예가 도시되어 있다. 제1 실시예와 제2 실시예 간의 차이는, 제2 실시예에서는 조정 유닛(3)의 조정 부재(31)들 각각이 제3 방향(Z)을 따라 연장하고 탄성이 있어 스프링 프로브의 역할을 하는 가로 부분(311)을 포함하는데 있다. 조정 단자(39)들은 특정한 힘으로 스와이핑(swiping) 혹은 크림핑(crimping)하는 것에 의해 이동되어 피시험 요소(81)에 대한 소정의 시험 작업을 수행하기 위해 구동 모듈(1)(도 6 참조)에 접촉할 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 실시예와 유사하게, 피시험 요소에 대한 전기 시험 작업을 위한 사용에 부합하도록, 조정 부재(31)들의 구성 형태는 전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들의 접촉 단자(P)들 간의 거리(L1)가 전도성 부재(22)들 중 인접한 두 전도성 부재들에 각각 연결된 조정 단자(39)들 중 인접한 두 조정 단자들 간의 거리(L2)와 다르도록 수정될 수 있다.7 and 8 , a second embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure is shown. The difference between the first embodiment and the second embodiment is that, in the second embodiment, each of the adjusting members 31 of the adjusting unit 3 extends along the third direction Z and has elasticity to serve as a spring probe. It consists in including a transverse portion 311 that is. The adjustment terminals 39 are moved by swiping or crimping with a specific force to perform a predetermined test operation on the element under test 81 by the drive module 1 (see FIG. 6 ). ) can be contacted. As shown in FIG. 8 , similarly to the first embodiment, the configuration of the adjustment members 31 is similar to that of the conductive members 22 adjacent two conductive members 22 so as to be suitable for use for an electrical test operation on the element under test. Correction so that the distance L1 between the contact terminals P of the members is different from the distance L2 between the adjacent two adjusting terminals of the adjusting terminals 39 respectively connected to the two adjacent ones of the conductive members 22 can be

도 9를 참조하면, 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제3 실시예가 도시되어 있다. 제3 실시예는 제1 실시예와 유사하며, 제1 실시예와 제3 실시예 간의 차이는, 제3 실시예에서는 조정 유닛(3)이 복수의 연결 요소(32)들 및 어댑터 플레이트(33)를 더 포함하는데 있다.Referring to FIG. 9 , a third embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure is shown. The third embodiment is similar to the first embodiment, and the difference between the first embodiment and the third embodiment is that in the third embodiment, the adjustment unit 3 has a plurality of connecting elements 32 and an adapter plate 33 . ) is further included.

연결 요소(32)들은 각각 그리고 일체로 전도성 부재(22)들에 연결된다. 어댑터 플레이트(33)는 구동 모듈(1)에 연결되기에 적합하고 어댑터 플레이트를 관통하여 형성되는 복수의 구멍(33)들을 구비한다. 이 실시예에서, 조정 단자(39)들 각각은 어댑터 플레이트(33)의 측부 표면 상에 고정되게 배치되어, 구멍(331)들 중 상응하는 구멍의 단부를 획정하고, 구동 모듈(1)의 접점(11)들 중 각각의 접점과 전기적으로 접촉한다. 연결 요소(32)들 각각은 구멍(331)들 각각의 내로 연장함으로써 조정 단자(39)들 중 상응하는 조정 단자와 전기적으로 접촉한다. 어댑터 플레이트(33)가 본 개시의 전기 전도 장치의 범용성을 개선하도록 각기 다른 구동 모듈들에 사용하기 위해 수정될 수 있는 회로 모듈들을 포함하도록 설계되는 점에 유의하자.The connecting elements 32 are respectively and integrally connected to the conductive members 22 . The adapter plate 33 is suitable for connection to the drive module 1 and has a plurality of holes 33 formed therethrough. In this embodiment, each of the adjustment terminals 39 is fixedly disposed on the side surface of the adapter plate 33 , defining an end of a corresponding one of the holes 331 , and a contact point of the drive module 1 . (11) is in electrical contact with each of the contacts. Each of the connecting elements 32 makes electrical contact with a corresponding one of the adjustment terminals 39 by extending into each of the holes 331 . Note that the adapter plate 33 is designed to include circuit modules that can be modified for use with different drive modules to improve the versatility of the electrically conductive device of the present disclosure.

도 10 및 도 11을 참조하면, 본 개시의 전기 전도 장치에 따른 제4 실시예가 도시되어 있다. 제4 실시예는 제3 실시예와 유사하며, 제3 실시예와 제4 실시예 간의 차이는 조정 유닛(3)의 구성 형태에 있다. 제4 실시예에서, 조정 유닛(3)의 연결 요소(32)들 각각은 갈라져서 두 개의 탄성 갈래(prong)(321)들을 구비하는데, 두 개의 탄성 갈래들은 서로 멀어지게 편향되어 어댑터 플레이트(33)의 구멍(331)들 중 상응하는 구멍을 획정하는 벽을 가압하고, 이에 따라 연결 요소(32)들 중 상응하는 연결 요소가 구멍(331)들 중 상응하는 구멍 내에 고정된다. 또한 도 12를 참조하면, 탄성 갈래(321)들의 탄력을 이용하는 것에 의해, 연결 요소(32)들이 어댑터 플레이트(33)에 용이하게 삽입되어 위치됨으로써, 피시험 요소(81)의 전기 시험 작업을 수행하기 위해, 조정 단자(39)들 및 이에 따라 구동 모듈(1)의 접점(11)들에 전기적으로 접속된다. 10 and 11 , a fourth embodiment according to the electrically conductive device of the present disclosure is shown. The fourth embodiment is similar to the third embodiment, and the difference between the third embodiment and the fourth embodiment is in the configuration form of the adjustment unit 3 . In the fourth embodiment, each of the connecting elements 32 of the adjustment unit 3 is diverged and provided with two resilient prongs 321 , the two resilient prongs being deflected away from each other to thereby deflect the adapter plate 33 . presses against the wall defining the corresponding one of the holes 331 of Also referring to FIG. 12 , by using the elasticity of the elastic prongs 321 , the connection elements 32 are easily inserted and positioned in the adapter plate 33 , thereby performing an electrical test operation of the element under test 81 . In order to do so, it is electrically connected to the adjustment terminals 39 and thus to the contacts 11 of the drive module 1 .

요약하면, 전기 접점들, 즉 조정 단자(39)들 및 전도성 부재(22)들의 접촉 단자(P)들의 위치들을 변경하도록 수정될 수 있는 조정 유닛(3)에 의해서, 특정한 피시험 요소를 위한 전용 전기 시험 장치를 제조하거나 설계하지 않고도 전기 시험 작업을 수행하기 위한 요건을 충족시키도록 임의의 인접한 두 전기 접점들 간의 거리가 변경된다.In summary, by means of an adjustment unit 3 which can be modified to change the positions of the electrical contacts, ie the adjustment terminals 39 and the contact terminals P of the conductive members 22, dedicated for a particular element under test. The distance between any two adjacent electrical contacts is varied to meet the requirements for performing electrical testing operations without manufacturing or designing electrical testing rigs.

위의 상세한 설명에서, 설명을 목적으로, 실시예들에 대한 완전한 이해를 제공하기 위하여 많은 세부 사항들을 구체적으로 설명했다. 그러나 하나 이상의 다른 실시예들이 이러한 구체적인 세부 사항들 중 일부가 없이 실시될 수 있음이 통상의 기술자에게는 명백할 것이다. 또한, 본 명세서 전체에서 "하나의 실시예", "일 실시예"라고 지칭하는 것은 서수 등으로 지시되는 실시예가 본 개시의 실시에 있어 특정한 피처, 구조 또는 특징이 포함될 수 있음을 의미한다는 것을 알아야 한다. 또한 상세한 설명에서 개시를 간소화하고 여러 가지 창의적인 태양들의 이해를 돕기 위한 목적으로 여러 가지 피처들이 때로는 단일의 실시예, 도면 또는 그 상세한 설명에서 함께 그룹화된다는 것과 하나의 실시예의 하나 이상의 피처 또는 특정 세부 사항이 다른 실시예의 하나 이상의 피처 또는 특정 세부 사항과 함께 실시될 수 있다는 것을 알아야 한다.In the above detailed description, for purposes of explanation, numerous details have been set forth in detail in order to provide a thorough understanding of the embodiments. However, it will be apparent to one skilled in the art that one or more other embodiments may be practiced without some of these specific details. It should also be understood that reference to “one embodiment” or “an embodiment” throughout this specification means that the embodiment indicated by an ordinal number or the like may include a particular feature, structure, or characteristic in the practice of the present disclosure. do. Also, for purposes of simplifying the disclosure in the Detailed Description and assisting the understanding of various creative aspects, various features are sometimes grouped together in a single embodiment, drawing, or description thereof, and that one or more features or specific details of an embodiment It should be appreciated that this may be practiced with one or more features or specific details of other embodiments.

Claims (9)

피시험 요소에 대한 전기 시험 작업을 수행하기 위해 복수의 접점들을 포함하는 구동 모듈에 연결도록 구성된 전기 전도 장치로,
상기 전기 전도 장치가 시험 유닛 및 조정 유닛을 포함하고,
시험 유닛은 복수의 기판들, 및 전도성 부재들로 이루어지고 평행한 복수의 열들을 포함하고,
상기 기판들 각각은 제1 방향으로 연장하며, 제1 방향으로 서로 반대인 두 개의 단부 표면들 및 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 서로 반대인 두 개의 측부 표면들을 구비하고, 상기 기판들은 제2 방향으로 서로 평행하고 이격되게 배치되며, 상기 기판들 중 임의의 인접한 두 개의 기판들이 그 사이에 장착 공간을 획정하고,
각각의 열의 상기 전도성 부재들은 제1 방향으로 서로 이격되고, 상기 전도성 부재들 각각은 상기 기판들 중 상응하는 기판으로부터 경사지게 그리고 상기 장착 공간으로부터 외측으로 연장하고, 피시험 요소와 전기적으로 접촉하도록 구성된 접촉 단자의 역할을 하는 자유 단부를 구비하고, 구동 모듈의 접점들 중 하나의 접점에 전기적으로 접속되도록 구성되고,
조정 유닛은 상기 전도성 부재들에 연결되며, 상기 기판들에 장착되는 복수의 조정 단자들을 포함하고, 조정 단자들은 각각 상기 전도성 부재에 연결되고 제1 방향으로 서로 이격되고, 조정 단자들 중 적어도 하나의 조정 단자는 제1 방향 및 제2 방향을 가로지르는 제3 방향으로 상기 전도성 부재들의 상기 접촉 단자들 중 상응하는 접촉 단자와 오프셋되는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.An electrically conductive device configured to connect to a drive module comprising a plurality of contacts for performing an electrical test operation on an element under test, the electrically conductive device comprising:
wherein the electrically conductive device comprises a test unit and an adjustment unit;
The test unit comprises a plurality of substrates and a plurality of parallel rows of conductive members,
each of the substrates extending in a first direction and having two opposite end surfaces in a first direction and two opposite side surfaces in a second direction transverse to the first direction, the substrates comprising: are arranged parallel to and spaced apart from each other in two directions, and any two adjacent ones of the substrates define a mounting space therebetween;
the conductive members of each row are spaced apart from each other in a first direction, each of the conductive members extending outwardly from the mounting space and obliquely from a corresponding one of the substrates, the contact configured to make electrical contact with an element under test having a free end serving as a terminal and configured to be electrically connected to one of the contacts of the drive module;
The adjustment unit is connected to the conductive members and includes a plurality of adjustment terminals mounted on the substrates, the adjustment terminals are respectively connected to the conductive member and spaced apart from each other in a first direction, and at least one of the adjustment terminals and an adjustment terminal is offset with a corresponding one of the contact terminals of the conductive members in a third direction transverse to the first direction and the second direction. 청구항 1에 있어서,
상기 조정 유닛이 상기 전도성 부재들에 각각 그리고 일체로 연결되고 그리고 상기 조정 단자들에 각각 그리고 전기적으로 접속되는 복수의 조정 부재들을 더 포함하고, 전도성 부재들 중 인접한 두 전도성 부재들의 접촉 단자들 간의 거리가 전도성 부재들 중 인접한 두 전도성 부재들에 각각 연결된 조정 단자들 중 인접한 두 조정 단자들 간의 거리와 다른 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.The method according to claim 1,
the adjusting unit further comprises a plurality of adjusting members respectively and integrally connected to the conductive members and respectively and electrically connected to the adjusting terminals, the distance between the contact terminals of adjacent two of the conductive members is different from the distance between the two adjacent ones of the control terminals respectively connected to the adjacent two conductive members among the conductive members. 청구항 2에 있어서,
상기 조정 단자들 각각이 금속으로 만들어지고 반구형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.3. The method according to claim 2,
An electrical conduction device, characterized in that each of the adjustment terminals is made of metal and has a hemispherical shape. 청구항 2에 있어서,
상기 조정 유닛의 상기 조정 부재들 각각이 제3 방향을 따라 연장하는 가로 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.3. The method according to claim 2,
The electrically conductive device according to claim 1, wherein each of the adjusting members of the adjusting unit includes a transverse portion extending along a third direction. 청구항 1에 있어서,
상기 조정 유닛이 각각 그리고 일체로 전도성 부재들에 연결되며 상기 조정 단자들과 전기적으로 접촉하는 복수의 연결 요소들 및 구동 모듈에 연결되도록 구성된 어댑터 플레이트를 더 포함하고, 어댑터 플레이트는 어댑터 플레이트를 관통하여 형성되는 복수의 구멍들을 구비하고, 상기 조정 단자들 각각은 어댑터 플레이트의 측부 표면 상에 고정되게 배치되어 상기 구멍들 중 상응하는 구멍의 단부를 획정하고, 연결 요소들 각각은 상기 구멍들 각각의 내로 연장하는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.The method according to claim 1,
The adjustment unit further comprises an adapter plate configured to be connected to the drive module and a plurality of connecting elements each and integrally connected to the conductive members and in electrical contact with the adjustment terminals, the adapter plate passing through the adapter plate a plurality of apertures formed, each of said adjustment terminals being fixedly disposed on a side surface of said adapter plate to define an end of a corresponding one of said apertures, each of said connecting elements being inserted into each of said apertures; An electrically conductive device, characterized in that it extends. 청구항 5에 있어서,
상기 연결 요소들 각각이 갈라져서 두 개의 탄성 갈래들을 구비하고, 두 개의 탄성 갈래들은 서로 멀어지게 편향되어 어댑터 플레이트의 구멍들 중 상응하는 구멍을 획정하는 벽을 가압하고 이에 따라 연결 요소들 중 상응하는 연결 요소가 구멍들 중 상응하는 구멍 내에 고정되는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치. 6. The method of claim 5,
each of the connecting elements is forked and has two resilient prongs, the two resilient prongs being biased away from each other to press against a wall defining a corresponding one of the apertures of the adapter plate and thus the corresponding one of the connecting elements An electrically conductive device, characterized in that the element is secured in a corresponding one of the holes. 청구항 1에 있어서,
상기 기판들에 각각 복수의 통공들이 형성되고, 상기 통공들 각각은 상기 기판들 중 상응하는 기판의 중앙에 배치되며 상기 기판들의 상응하는 기판의 측부 표면들을 통해 연장하고, 상기 시험 유닛이 상기 통공들에 각각 배치되고 서로 전기적으로 접속되는 복수의 전도체 요소들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.The method according to claim 1,
A plurality of apertures are respectively formed in the substrates, each of the apertures being disposed in a center of a corresponding one of the substrates and extending through side surfaces of a corresponding one of the substrates, wherein the test unit is configured to use the apertures Electrically conductive device, characterized in that it further comprises a plurality of conductor elements respectively disposed on each other and electrically connected to each other. 청구항 7에 있어서,
상기 시험 유닛의 상기 전도성 부재들 각각이 경사지게 내측으로 연장하는 탄성 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.8. The method of claim 7,
and each of the conductive members of the test unit includes an elastic portion extending obliquely inwardly. 청구항 1에 있어서,
상기 장착 공간들 각각이 제1 방향으로 서로 반대인 두 개의 단부 부분들을 구비하고, 상기 시험 유닛이 상기 장착 공간들의 상기 단부 부분들에 각각 장착되는 복수의 전기 커넥터들을 더 포함하고, 상기 전기 커넥터들 각각은 제2 방향으로 서로 반대인 두 개의 단부 표면들을 구비하며, 전기 커넥터들 중 두 개의 전기 커넥터가 장착된 상기 장착 공간들 중 하나의 장착 공간을 획정하는 상기 기판들 중 인접한 두 개의 기판에 대해, 상기 전기 커넥터들 중 상기 두 개의 커넥터들의 상기 단부 표면들 중 두 개의 단부 커넥터들이 상기 기판들 중 상기 인접한 두 개의 기판들의 상기 단부 표면들과 제2 방향으로 동일한 평면 상에 있는 것을 특징으로 하는 전기 전도 장치.The method according to claim 1,
Each of the mounting spaces has two end portions opposite to each other in a first direction, and the test unit further comprises a plurality of electrical connectors each mounted to the end portions of the mounting spaces, the electrical connectors each having two opposite end surfaces in a second direction, for adjacent two of said substrates defining a mounting space of one of said mounting spaces in which two of said electrical connectors are mounted , wherein two of the end surfaces of the two of the electrical connectors are coplanar in a second direction with the end surfaces of the adjacent two of the substrates. conduction device.
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH069134U (en) * 1992-07-07 1994-02-04 東邦電子株式会社 Probe board with diagonal linear probe
KR20010006504A (en) * 1997-04-17 2001-01-26 서프로브 코포레이션 Probe assembly and method for switchable multi-dut testing of integrated circuit wafers
KR200314140Y1 (en) * 2003-03-06 2003-05-22 주식회사 대일시스템 Multi chip probe frame
KR20090029838A (en) * 2006-08-18 2009-03-23 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 Conductive contactor and conductive contactor unit
WO2010125605A1 (en) * 2009-04-28 2010-11-04 株式会社アドバンテスト Wiring board unit and testing apparatus
JP2012093127A (en) * 2010-10-25 2012-05-17 Advanced Systems Japan Inc Vertical probe head
JP2014044189A (en) * 2012-08-03 2014-03-13 Kimoto Gunsei Probe and probe card using the same
JP2015118064A (en) * 2013-12-20 2015-06-25 東京特殊電線株式会社 Contact probe unit
KR20160076967A (en) * 2014-12-23 2016-07-01 인텔 코포레이션 Formed wire probe interconnect for test die contactor
US20180376610A1 (en) * 2017-06-27 2018-12-27 Molex, Llc Socket

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH069134U (en) * 1992-07-07 1994-02-04 東邦電子株式会社 Probe board with diagonal linear probe
KR20010006504A (en) * 1997-04-17 2001-01-26 서프로브 코포레이션 Probe assembly and method for switchable multi-dut testing of integrated circuit wafers
KR200314140Y1 (en) * 2003-03-06 2003-05-22 주식회사 대일시스템 Multi chip probe frame
KR20090029838A (en) * 2006-08-18 2009-03-23 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 Conductive contactor and conductive contactor unit
WO2010125605A1 (en) * 2009-04-28 2010-11-04 株式会社アドバンテスト Wiring board unit and testing apparatus
JP2012093127A (en) * 2010-10-25 2012-05-17 Advanced Systems Japan Inc Vertical probe head
JP2014044189A (en) * 2012-08-03 2014-03-13 Kimoto Gunsei Probe and probe card using the same
JP2015118064A (en) * 2013-12-20 2015-06-25 東京特殊電線株式会社 Contact probe unit
KR20160076967A (en) * 2014-12-23 2016-07-01 인텔 코포레이션 Formed wire probe interconnect for test die contactor
US20180376610A1 (en) * 2017-06-27 2018-12-27 Molex, Llc Socket

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