KR102330574B1

KR102330574B1 - Flange mechanism

Info

Publication number: KR102330574B1
Application number: KR1020180019941A
Authority: KR
Inventors: 노부히코 와기타; 고지 난부
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2017-03-06
Filing date: 2018-02-20
Publication date: 2021-11-25
Also published as: TW201843011A; CN108527700B; KR20180102002A; JP6855117B2; JP2018144168A; CN108527700A; TWI742239B

Abstract

본 발명은 고정 플랜지의 장착 구멍과 마운터의 보스부의 약간의 간극으로부터 플랜지 기구의 내부에 절삭 부스러기가 침입하는 것을 방지할 수 있는 플랜지 기구를 제공하는 것이다.
스핀들 하우징에 회전 가능하게 지지되는 스핀들의 선단에 고정되어, 환형의 절삭 블레이드를 지지하는 마운터와, 상기 절삭 블레이드를 상기 마운터에 고정하는 고정 플랜지를 구비한 플랜지 기구로서, 상기 마운터는, 상기 절삭 블레이드의 내주를 지지하는 원통형의 보스부와, 상기 원통형의 보스부의 후방으로부터 직경 방향 외측으로 돌출하여, 바깥 둘레 가장자리의 전방면측에 상기 절삭 블레이드를 지지하는 제1 지지면을 갖는 받침 플랜지부와, 상기 받침 플랜지부의 후방에 상기 받침 플랜지부와 일체적으로 형성되며 외주에 환형홈을 갖는 원통부를 포함하고, 상기 받침 플랜지부는 상기 고정 플랜지에 대면하는 측에 복수의 흡인구를 가지고, 상기 마운터의 상기 플랜지부 및 상기 원통부에는 각각의 상기 흡인구와 상기 환형홈을 연통하는 복수의 흡인로가 형성되어 있고, 상기 고정 플랜지는 상기 받침 플랜지부의 상기 제1 지지면과 함께 상기 절삭 블레이드를 협지하는 제2 지지면을 바깥 둘레 가장자리에 갖는 플랜지부와, 상기 플랜지부와 일체적으로 형성된 상기 마운터의 상기 보스부를 덮는 캡부를 포함한다.An object of the present invention is to provide a flange mechanism capable of preventing chips from entering the inside of the flange mechanism from a slight gap between a mounting hole of a fixed flange and a boss portion of a mounter.
A flange mechanism comprising: a mounter fixed to a tip of a spindle rotatably supported by a spindle housing to support an annular cutting blade; and a fixing flange for fixing the cutting blade to the mounter, wherein the mounter includes: A support flange portion having a cylindrical boss portion supporting the inner periphery of the cylindrical boss portion and a first support surface protruding radially outward from the rear of the cylindrical boss portion and supporting the cutting blade on the front surface side of the outer periphery; The support flange part is integrally formed with the support flange part at the rear of the support flange part and includes a cylindrical part having an annular groove on the outer periphery, and the support flange part has a plurality of suction ports on a side facing the fixing flange, A plurality of suction paths communicating with each of the suction ports and the annular groove are formed in the flange portion and the cylindrical portion, and the fixing flange holds the cutting blade together with the first support surface of the support flange portion a flange portion having a second support surface at an outer peripheral edge thereof; and a cap portion covering the boss portion of the mounter integrally formed with the flange portion.

Description

Flange mechanism {FLANGE MECHANISM}

본 발명은 절삭 블레이드를 스핀들의 선단에 고정하는 플랜지 기구에 관한 것이다.The present invention relates to a flange mechanism for fixing a cutting blade to the tip of a spindle.

절삭 블레이드로 반도체 웨이퍼나 패키지 기판, 세라믹스 기판, 유리 기판 등의 판형 피가공물을 정밀하게 절삭 가공하는 절삭 장치가 알려져 있다. 절삭 장치에서는, 중앙에 장착 구멍이 형성된 절삭 블레이드를 플랜지 기구로 지지하여 스핀들에 고정하고 있다.BACKGROUND ART A cutting device that precisely cuts a plate-shaped workpiece such as a semiconductor wafer, a package substrate, a ceramic substrate, and a glass substrate with a cutting blade is known. In a cutting device, a cutting blade having a central mounting hole is supported by a flange mechanism and fixed to a spindle.

플랜지 기구는 스핀들에 고정된 마운터의 받침 플랜지부(후방 플랜지)와, 마운터의 보스부가 삽입되는 장착 구멍을 구비하는 고정 플랜지(전방 플랜지)와, 고정 플랜지를 마운터에 고정하는 너트로 구성되어, 절삭 블레이드의 교환 시에는, 고정 플랜지와 너트를 착탈할 필요가 있어, 공정수가 걸리는 작업이 있었다(예컨대, 일본 특허 공개 평성10-000555호 공보 참조).The flange mechanism consists of a support flange portion (rear flange) of the mounter fixed to the spindle, a fixing flange (front flange) having a mounting hole into which the boss portion of the mounter is inserted, and a nut fixing the fixing flange to the mounter. When replacing the blade, it is necessary to attach and detach the fixing flange and the nut, which requires a man-hour (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 10-000555).

그래서, 마운터를 향하게 하여 고정 플랜지를 진공으로 흡인하고, 마운터의 받침 플랜지부와 고정 플랜지로 절삭 블레이드를 협지하여 고정함으로써, 너트를 필요로 하지 않는 플랜지 기구가 일본 특허 공개 제2015-23222호 공보에서 제안되었다.Therefore, a flange mechanism that does not require a nut is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2015-23222 by vacuuming the fixing flange facing the mounter and clamping the cutting blade with the support flange of the mounter and the fixing flange. has been proposed

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성10-000555호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. Hei 10-000555 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2015-23222호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2015-23222

특허문헌 2에 개시된 플랜지 기구에 의해, 절삭 블레이드 교환의 공정수가 대폭 줄어들었지만, 진공에 의해 고정 플랜지를 고정하고 있기 때문에, 절삭 가공 중에 절삭 부스러기를 포함하는 분위기가, 고정 플랜지의 내경과 보스부의 바깥 둘레의 약간의 간극으로부터 플랜지 기구의 내부에 흡인되어, 플랜지 기구의 내부나 지지면(단부면)에 절삭 부스러기가 부착되어 버린다고 하는 과제가 남아 있었다.With the flange mechanism disclosed in Patent Document 2, the number of steps for replacing the cutting blade is significantly reduced, but since the fixed flange is fixed by vacuum, an atmosphere containing chips during cutting is created between the inner diameter of the fixed flange and the outside of the boss. The subject that it was attracted|sucked into the inside of a flange mechanism from the slight clearance gap of the circumference|surroundings, and the subject that the chips will adhere to the inside and support surface (end surface) of a flange mechanism remained.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 고정 플랜지의 장착 구멍과 마운터의 보스부의 약간의 간극으로부터 플랜지 기구의 내부에 절삭 부스러기가 침입하는 것을 방지할 수 있는 플랜지 기구를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of this point, and an object thereof is to provide a flange mechanism that can prevent chips from entering the inside of the flange mechanism from a slight gap between a mounting hole of a fixed flange and a boss portion of a mounter. will provide

본 발명에 따르면, 스핀들 하우징에 회전 가능하게 지지되는 스핀들의 선단에 고정되어, 환형의 절삭 블레이드를 지지하는 마운터와, 상기 절삭 블레이드를 상기 마운터에 고정하는 고정 플랜지를 구비한 플랜지 기구로서, 상기 마운터는 상기 절삭 블레이드의 내주를 지지하는 원통형의 보스부와, 상기 원통형의 보스부의 후방으로부터 직경 방향 외측으로 돌출하여, 바깥 둘레 가장자리의 전방면측에 상기 절삭 블레이드를 지지하는 제1 지지면을 갖는 받침 플랜지부와, 상기 받침 플랜지부의 후방에 상기 받침 플랜지부와 일체적으로 형성되며 외주에 환형홈을 갖는 원통부를 포함하고, 상기 받침 플랜지부는 상기 고정 플랜지에 대면하는 측에 복수의 흡인구를 가지고, 상기 마운터의 상기 받침 플랜지부 및 상기 원통부에는 각각의 상기 흡인구와 상기 환형홈을 연통시키는 복수의 흡인로가 형성되어 있고, 상기 고정 플랜지는 상기 받침 플랜지부의 상기 제1 지지면과 함께 상기 절삭 블레이드를 협지하는 제2 지지면을 바깥 둘레 가장자리에 갖는 플랜지부와, 상기 플랜지부와 일체적으로 형성된 상기 마운터의 상기 보스부를 덮는 캡부를 포함하고, 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트를 통해, 상기 환형홈에, 흡인원으로부터의 부압을 작용시킴으로써, 상기 흡인구에서 상기 마운터를 향하게 하여 상기 고정 플랜지를 흡인하고, 상기 마운터의 상기 제1 지지면과 상기 고정 플랜지의 상기 제2 지지면으로 상기 절삭 블레이드를 협지하여 고정하는 것을 특징으로 하는 플랜지 기구가 제공된다.According to the present invention, there is provided a flange mechanism having a mounter fixed to a tip of a spindle rotatably supported by a spindle housing and supporting an annular cutting blade, and a fixing flange for fixing the cutting blade to the mounter, the mounter is a support having a cylindrical boss for supporting the inner periphery of the cutting blade, and a first support surface protruding radially outward from the rear of the cylindrical boss to support the cutting blade on the front side of the outer peripheral edge. a flange portion and a cylindrical portion integrally formed with the support flange portion at the rear of the support flange portion and having an annular groove on an outer periphery, wherein the support flange portion has a plurality of suction ports on a side facing the fixing flange , A plurality of suction paths for communicating each of the suction ports and the annular groove are formed in the support flange portion and the cylindrical portion of the mounter, and the fixing flange is formed with the first support surface of the support flange portion. Through a rotary joint fixed to the spindle housing, comprising: a flange portion having a second support surface for clamping the cutting blade at an outer periphery thereof; and a cap portion covering the boss portion of the mounter formed integrally with the flange portion; By applying a negative pressure from a suction source to the annular groove, the fixing flange is sucked from the suction port toward the mounter, and the first supporting surface of the mounter and the second supporting surface of the fixing flange are There is provided a flange mechanism for clamping a cutting blade by pinching it.

본 발명의 플랜지 기구에 따르면, 고정 플랜지의 캡부에서 마운터측을 덮는 구성으로 하였기 때문에, 고정 플랜지 중앙의 장착 구멍을 통해 마운터의 보스부와 장착 구멍의 간극으로부터 플랜지 기구 내부에 절삭 부스러기가 침입하는 것을 막을 수 있다.According to the flange mechanism of the present invention, since the cap portion of the fixed flange covers the mounter side, cutting chips are prevented from entering the flange mechanism from the gap between the mounting hole and the boss portion of the mounter through the mounting hole in the center of the fixed flange. can be stopped

또한, 고정 플랜지의 원형 오목부에 마운터의 보스부의 선단이 감합하기 때문에, 절삭 블레이드를 착탈할 때, 고정 플랜지를 진공으로 고정하지 않아도, 일시적으로 마운터에 고정 플랜지를 임시 체결할 수 있다고 하는 편리성이 있다.In addition, since the tip of the boss of the mounter fits into the circular recess of the fixing flange, when the cutting blade is attached or detached, it is convenient that the fixing flange can be temporarily fastened to the mounter without vacuum fixing the fixing flange. There is this.

도 1은 본 발명의 플랜지 기구를 구비한 절삭 장치의 사시도이다.
도 2는 환형의 절삭 블레이드를, 플랜지 기구를 통해, 스핀들의 선단에 고정하는 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 환형의 절삭 블레이드를, 플랜지 기구에 의해, 스핀들의 선단에 고정한 상태의 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the cutting device provided with the flange mechanism of this invention.
Fig. 2 is an exploded perspective view showing a state in which the annular cutting blade is fixed to the tip of the spindle through a flange mechanism.
Fig. 3 is a cross-sectional view of a state in which an annular cutting blade is fixed to the tip of the spindle by a flange mechanism.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시형태에 따른 플랜지 기구를 구비한 절삭 장치의 사시도가 도시되어 있다. 플랜지 기구는 절삭 장치의 절삭 유닛에 있어서, 절삭 블레이드를 스핀들의 선단에 고정하는 데 사용된다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings. 1 , there is shown a perspective view of a cutting device with a flange mechanism according to an embodiment of the present invention. The flange mechanism is used for fixing the cutting blade to the tip of the spindle in the cutting unit of the cutting device.

도 1에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치(2)는 각 구성 요소를 지지하는 장치 베이스(4)를 구비하고 있다. 장치 베이스(4)의 상면에는, X축 방향(가공 이송 방향)으로 긴, 직사각형 형상의 개구(4a)가 형성되어 있다.As shown in FIG. 1, the cutting device 2 is equipped with the device base 4 which supports each component. A rectangular opening 4a long in the X-axis direction (processing feed direction) is formed on the upper surface of the apparatus base 4 .

이 개구(4a) 내에는, X축 이동 테이블(6)과, 상기 X축 이동 테이블(6)을 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(도시하지 않음)와, X축 이동 기구를 덮는 방진 방적 커버(8)가 마련되어 있다. 상기 X축 이동 기구는, X축 방향으로 평행한 한쌍의 X축 가이드 레일(도시하지 않음)을 구비하고 있고, X축 가이드 레일에는 X축 이동 테이블(6)이 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.In this opening 4a, the X-axis movement table 6, the X-axis movement mechanism (not shown) which moves the said X-axis movement table 6 in the X-axis direction, and the dustproof which covers the X-axis movement mechanism A drip-proof cover (8) is provided. The X-axis movement mechanism includes a pair of X-axis guide rails (not shown) parallel to the X-axis direction, and an X-axis movement table 6 is slidably attached to the X-axis guide rails.

X축 이동 테이블(6)의 하면측에는 너트부(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 이 너트부에는 X축 가이드 레일에 평행한 X축 볼나사(도시하지 않음)가 나사 결합되어 있다. X축 볼나사의 일단부에는, X축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터로 X축 볼나사를 회전시키면, 이동 테이블(6)은 X축 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동한다.A nut part (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw (not shown) parallel to the X-axis guide rail is screwed to this nut part. An X-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the X-axis ball screw. When the X-axis ball screw is rotated by the X-axis pulse motor, the moving table 6 moves along the X-axis guide rail in the X-axis direction.

X축 이동 테이블(6) 상에는, 피가공물을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블(10)이 마련되어 있다. 척 테이블(10)은 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 연결되어 있고, Z축 방향(연직 방향)에 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또한, 척 테이블(10)은 전술한 X축 이동 기구로 X축 방향으로 가공 이송된다.On the X-axis movement table 6, a chuck table 10 for sucking and holding a workpiece is provided. The chuck table 10 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction). In addition, the chuck table 10 is processed and fed in the X-axis direction by the aforementioned X-axis movement mechanism.

척 테이블(10)의 표면(상면)은, 피가공물을 흡인, 유지하는 유지면(10a)으로 되어 있다. 이 유지면(10a)은 척 테이블(10)의 내부에 형성된 유로(도시하지 않음)를 통하여 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 척 테이블(10)의 주위에는, 피가공물을 고정하기 위한 클램프(10b)가 마련되어 있다.The surface (upper surface) of the chuck table 10 is a holding surface 10a for sucking and holding a workpiece. The holding surface 10a is connected to a suction source (not shown) through a flow path (not shown) formed inside the chuck table 10 . A clamp 10b for fixing a workpiece is provided around the chuck table 10 .

피가공물은 예컨대, 반도체 웨이퍼이며, 환형 프레임에 유지된 테이프 상에 점착되어, 환형 프레임과 일체로 취급된다. 환형 프레임과 테이프를 이용하여 피가공물을 취급하면, 반송할 때에 생기는 충격 등으로부터 상기 피가공물을 보호할 수 있다. 또한, 상기 테이프를 확장하면, 절삭 가공된 피가공물을 분할하거나, 분할 후의 칩의 간격을 넓히거나 할 수 있다. 또한, 환형 프레임과 테이프를 사용하지 않고, 피가공물을 단체(單體)로 절삭 가공하여도 좋다.The workpiece is, for example, a semiconductor wafer, is adhered to a tape held by the annular frame, and is handled integrally with the annular frame. When the work piece is handled using the annular frame and the tape, the work piece can be protected from an impact or the like generated during transport. Further, if the tape is expanded, it is possible to divide the cut work piece or to widen the gap between the chips after the division. Moreover, you may cut a to-be-processed object as a single body, without using an annular frame and a tape.

개구(4a)로부터 떨어진 장치 베이스(4)의 전방의 코너부에는, 장치 베이스(4)로부터 측방으로 돌출한 돌출부(12)가 마련되어 있다. 돌출부(12)의 내부에는 공간이 형성되어 있고, 이 공간에는, 승강 가능한 카세트 엘리베이터(16)가 설치되어 있다. 카세트 엘리베이터(16)의 상면에는, 복수의 피가공물을 수용 가능한 카세트(18)가 실린다.At the front corner portion of the device base 4 away from the opening 4a, a protrusion 12 protruding laterally from the device base 4 is provided. A space is formed inside the protrusion 12, and a cassette elevator 16 that can be moved up and down is provided in this space. A cassette 18 capable of accommodating a plurality of workpieces is mounted on the upper surface of the cassette elevator 16 .

개구(4a)에 근접하는 위치에는, 전술한 피가공물을 척 테이블(10)로 반송하는 반송 유닛(도시하지 않음)이 마련되어 있다. 반송 유닛을 이용하여 카세트(18)로부터 인출된 피가공물은, 척 테이블(10)의 유지면(10a)에 배치된다.A conveying unit (not shown) which conveys the above-mentioned to-be-processed object to the chuck table 10 is provided in the position adjacent to the opening 4a. The workpiece taken out from the cassette 18 using the conveying unit is disposed on the holding surface 10a of the chuck table 10 .

장치 베이스(4)의 상면에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛(14)을 지지하는 지지 구조(20)가, 개구(4a)의 상방으로 내뻗도록 배치되어 있다. 지지 구조(20)의 전방면 상부에는, 절삭 유닛(14)을 Y축 방향(인덱싱 이송 방향) 및 Z축 방향으로 이동시키는 절삭 유닛 이동 기구(22)가 마련되어 있다.On the upper surface of the apparatus base 4, a support structure 20 for supporting a cutting unit 14 for cutting a workpiece is disposed so as to extend above the opening 4a. A cutting unit moving mechanism 22 for moving the cutting unit 14 in the Y-axis direction (indexing feed direction) and the Z-axis direction is provided on the front surface upper portion of the support structure 20 .

절삭 유닛 이동 기구(22)는 지지 구조(20)의 전방면에 배치되어 Y축 방향으로 평행한 한쌍의 Y축 가이드 레일(24)을 구비하고 있다. Y축 가이드 레일(24)에는, 절삭 유닛 이동 기구(22)를 구성하는 Y축 이동 플레이트(26)가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. Y축 이동 플레이트(26)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 이 너트부에는 Y축 가이드 레일(24)에 평행한 Y축 볼나사(28)가 나사 결합되어 있다.The cutting unit moving mechanism 22 is provided with a pair of Y-axis guide rails 24 arranged on the front surface of the support structure 20 and parallel to the Y-axis direction. A Y-axis movement plate 26 constituting the cutting unit movement mechanism 22 is slidably attached to the Y-axis guide rail 24 . A nut portion (not shown) is provided on the back side (rear side) of the Y-axis moving plate 26, and a Y-axis ball screw 28 parallel to the Y-axis guide rail 24 is screwed into the nut portion. are connected

Y축 볼나사(28)의 일단부에는, Y축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. Y축 펄스 모터로 Y축 볼나사(28)를 회전시키면, Y축 이동 플레이트(26)는 Y축 가이드 레일(24)을 따라 Y축 방향으로 이동한다. Y축 이동 플레이트(26)의 표면(전방면)에는, Z축 방향으로 평행한 한쌍의 Z축 가이드 레일(30)이 마련되어 있다. Z축 가이드 레일(30)에는, Z축 이동 플레이트(32)가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.A Y-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the Y-axis ball screw 28 . When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor, the Y-axis moving plate 26 moves along the Y-axis guide rail 24 in the Y-axis direction. A pair of Z-axis guide rails 30 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of the Y-axis moving plate 26 . A Z-axis moving plate 32 is slidably attached to the Z-axis guide rail 30 .

Z축 이동 플레이트(32)의 이면측(후방면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 이 너트부에는 Z축 가이드 레일(30)에 평행한 Z축 볼나사(34)가 나사 결합되어 있다. Z축 볼나사(34)의 일단부에는, Z축 펄스 모터(36)가 연결되어 있다. Z축 펄스 모터(36)로 Z축 볼나사(34)를 회전시키면, Z축 이동 플레이트(32)는, Z축 가이드 레일(30)을 따라 Z축 방향으로 이동한다.A nut portion (not shown) is provided on the back side (rear surface side) of the Z-axis moving plate 32, and the Z-axis ball screw 34 parallel to the Z-axis guide rail 30 is provided in this nut portion. are screwed together. A Z-axis pulse motor 36 is connected to one end of the Z-axis ball screw 34 . When the Z-axis ball screw 34 is rotated by the Z-axis pulse motor 36 , the Z-axis moving plate 32 moves along the Z-axis guide rail 30 in the Z-axis direction.

Z축 이동 플레이트(32)의 하부에는, 피가공물을 가공하는 절삭 유닛(14)과, 촬상 유닛(38)이 고정되어 있다. 절삭 유닛 이동 기구(22)로, Y축 이동 플레이트(26)를 Y축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛(14) 및 촬상 유닛(38)은 인덱싱 이송되고, Z축 이동 플레이트(32)를 Z축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛(14) 및 촬상 유닛(38)은 승강한다.A cutting unit 14 for processing a workpiece and an imaging unit 38 are fixed to a lower portion of the Z-axis moving plate 32 . When the Y-axis movement plate 26 is moved in the Y-axis direction by the cutting unit movement mechanism 22, the cutting unit 14 and the imaging unit 38 are indexed and fed, and the Z-axis movement plate 32 is moved along the Z-axis. direction, the cutting unit 14 and the imaging unit 38 move up and down.

도면 부호 40은 세정 유닛이고, 절삭 유닛(14)에 의해 절삭 가공이 실시된 피가공물은, 반송 기구(도시하지 않음)에 의해 척 테이블(10)로부터 세정 유닛(40)으로 반송된다. 세정 유닛(40)은 통형의 세정 공간 내에서 피가공물을 흡인 유지하는 스피너 테이블(42)을 구비하고 있다. 스피너 테이블(42)의 하부에는, 스피너 테이블(42)을 미리 정해진 속도로 회전시키는 모터 등의 회전 구동원이 연결되어 있다.Reference numeral 40 denotes a cleaning unit, and the workpiece subjected to cutting by the cutting unit 14 is conveyed from the chuck table 10 to the cleaning unit 40 by a conveying mechanism (not shown). The cleaning unit 40 is provided with a spinner table 42 for sucking and holding the workpiece in the cylindrical cleaning space. A rotational driving source such as a motor that rotates the spinner table 42 at a predetermined speed is connected to the lower portion of the spinner table 42 .

스피너 테이블(42)의 상방에는, 피가공물을 향하여 세정용의 유체[대표적으로는, 물과 공기를 혼합한 2류체(二流體)]를 분사하는 분사 노즐(44)이 설치되어 있다. 피가공물을 유지한 스피너 테이블(42)을 회전시키면서 분사 노즐(44)로부터 세정용의 유체를 분사하면, 절삭 가공 후의 피가공물을 세정할 수 있다. 세정 유닛(40)에서 세정된 피가공물은, 반송 기구(도시하지 않음)로 카세트(18) 내에 수용된다.Above the spinner table 42, an injection nozzle 44 for jetting a cleaning fluid (typically, a two-fluid mixture of water and air) toward the workpiece is provided. If the cleaning fluid is sprayed from the injection nozzle 44 while rotating the spinner table 42 holding the workpiece, the workpiece after cutting can be cleaned. The workpiece cleaned by the cleaning unit 40 is accommodated in the cassette 18 by a conveying mechanism (not shown).

다음에, 도 2 및 도 3을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따른 플랜지 기구에 대해서 상세하게 설명한다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시형태에 따른 플랜지 기구를 구비한 절삭 유닛(14)의 분해 사시도가 도시되어 있다. 도 3은 플랜지 기구에 의해 환형의 절삭 블레이드를 스핀들에 고정한 상태의 단면도이다.Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 3, the flange mechanism which concerns on embodiment of this invention is demonstrated in detail. 2 , there is shown an exploded perspective view of a cutting unit 14 with a flange mechanism according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of a state in which an annular cutting blade is fixed to the spindle by a flange mechanism.

도 2에 나타내는 바와 같이, 스핀들(48)을 회전 가능하게 수용하는 스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)에는, 복수의(본 실시형태에서는 4개의) 나사 구멍(46b)이 형성되어 있다. 스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)으로부터 돌출하는 스핀들(48)의 선단부는 테이퍼 형상으로 형성되어 있고, 그 선단부에는 나사 구멍(48a)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 2 , a plurality of (four in this embodiment) screw holes 46b are formed in the front end face 46a of the spindle housing 46 that rotatably accommodates the spindle 48 . The tip of the spindle 48 protruding from the tip surface 46a of the spindle housing 46 is tapered, and a screw hole 48a is formed at the tip.

스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)에는 로터리 조인트(50)가 고정된다. 로터리 조인트(50)는 원통형 보스부(50a)와, 원통형 보스부(50a)의 외주에 일체적으로 형성된 플랜지부(50b)를 갖는다.A rotary joint 50 is fixed to the front end surface 46a of the spindle housing 46 . The rotary joint 50 has a cylindrical boss portion 50a and a flange portion 50b integrally formed on the outer periphery of the cylindrical boss portion 50a.

원통형 보스부(50a)의 내측에는 수용 구멍(50c)이 형성되어 있다. 로터리 조인트(50)는 일단이 수용 구멍(50c)에 연통된 파이프(50d)를 가지고 있고, 파이프(50d)의 타단측은 도 3에 나타내는 바와 같이, 전자 전환 밸브(68)를 통해 흡인원(70)에 선택적으로 접속되어 있다.A receiving hole 50c is formed inside the cylindrical boss portion 50a. The rotary joint 50 has a pipe 50d whose one end communicates with the receiving hole 50c, and the other end of the pipe 50d is a suction source 70 via an electromagnetic switching valve 68 as shown in FIG. 3 . ) is optionally connected to

로터리 조인트(50)의 플랜지부(50b)에는, 스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)에 형성된 복수의 나사 구멍(46b)에 대응하는 수의 장착 구멍(50e)이 형성되어 있다. 이들 장착 구멍(50e)에 나사를 삽입하여, 스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)에 형성된 나사 구멍(46b)에 나사 결합시켜 체결함으로써, 로터리 조인트(50)는 스핀들 하우징(46)의 선단면(46a)에 고정된다.In the flange portion 50b of the rotary joint 50 , the number of mounting holes 50e corresponding to the plurality of screw holes 46b formed in the distal end face 46a of the spindle housing 46 is formed. By inserting screws into these mounting holes 50e and screwing them into the screw holes 46b formed in the distal end face 46a of the spindle housing 46, the rotary joint 50 is connected to the line of the spindle housing 46. It is fixed to the end face 46a.

도면 부호 52는 마운터이고, 원통형의 보스부(54)와, 보스부(54)의 후방으로부터 직경 방향 외측으로 돌출하여, 바깥 둘레 가장자리의 전방면측에 절삭 블레이드를 지지하는 환형의 제1 지지면(56a)을 갖는 받침 플랜지부(56)와, 받침 플랜지부(56)의 후방에 받침 플랜지부(56)와 일체적으로 형성된 원통부(58)를 포함하고 있다.Reference numeral 52 denotes a mounter, and a cylindrical boss portion 54 and an annular first support surface protruding radially outward from the rear of the boss portion 54 and supporting the cutting blade on the front surface side of the outer peripheral edge. A receiving flange portion 56 having a portion 56a and a cylindrical portion 58 integrally formed with the receiving flange portion 56 at the rear of the receiving flange portion 56 are included.

마운터(52)의 원통형 보스부(54), 받침 플랜지부(56) 및 원통부(58)에 걸쳐 단차식의 장착 구멍(60)이 형성되어 있다. 장착 구멍(60)은 원통부(58)에 있어서 테이퍼형 스핀들(48)에 알맞게 감합하는 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.A stepped mounting hole 60 is formed over the cylindrical boss portion 54 , the receiving flange portion 56 , and the cylindrical portion 58 of the mounter 52 . The mounting hole 60 is formed in a tapered shape to suitably fit the tapered spindle 48 in the cylindrical portion 58 .

마운터(52)의 받침 플랜지부(56)의 환형 볼록부(56b)에는 복수의 흡인구(64)가 원주 방향으로 미리 정해진 간격을 두고 형성되어 있다. 또한, 마운터(52)의 원통부(58)에는, 환형홈(58a)과 이 환형홈(58a)에 연통하는 복수의 흡인 구멍(58b)이 원주 방향으로 미리 정해진 간격을 두고 형성되어 있다.A plurality of suction ports 64 are formed in the annular convex portion 56b of the receiving flange portion 56 of the mounter 52 at predetermined intervals in the circumferential direction. Further, in the cylindrical portion 58 of the mounter 52, an annular groove 58a and a plurality of suction holes 58b communicating with the annular groove 58a are formed at predetermined intervals in the circumferential direction.

도 3에 나타내는 바와 같이, 각 흡인구(64)는 마운터를 대략 횡단하도록 형성된 흡인로(66)를 통해, 환형홈(58a)에 개구하는 흡인 구멍(58b)에 연통되어 있다. 환형홈(58a)은 파이프(50d) 및 전자 전환 밸브(68)를 통해 흡인원(70)에 선택적으로 접속되어 있다.As shown in Fig. 3, each suction port 64 communicates with a suction hole 58b opened in the annular groove 58a through a suction path 66 formed so as to substantially cross the mounter. The annular groove 58a is selectively connected to the suction source 70 via the pipe 50d and the electromagnetic switching valve 68. As shown in FIG.

마운터(52)의 장착 구멍(60)을 테이퍼 형상의 스핀들(48)에 장착하고, 와셔(76)를 통해 나사(78)를, 스핀들(48)의 선단부에 형성된 나사 구멍(48a)에 나사 결합하여 체결함으로써, 도 3에 나타내는 바와 같이, 마운터(52)는 스핀들(48)에 고정된다.The mounting hole 60 of the mounter 52 is mounted on the tapered spindle 48, and the screw 78 is screwed through the washer 76 to the screw hole 48a formed at the tip of the spindle 48. and fastening, as shown in FIG. 3 , the mounter 52 is fixed to the spindle 48 .

장착 구멍(74)을 갖는 와셔 블레이드라고 불리는 환형의 절삭 블레이드(72)를 마운터(52)에 장착하기 위해서, 도 3에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드(72)의 장착 구멍(74)을 마운터(52)의 환형 볼록부(56b)에 감합한다. 계속해서, 고정 플랜지(80)의 원형 오목부(86)를 마운터(52)의 보스부(54)에 감합하여 고정 플랜지(80)를 장착한다.In order to mount an annular cutting blade 72 called a washer blade having a mounting hole 74 to the mounter 52, as shown in FIG. 3, a mounting hole 74 of the cutting blade 72 is inserted into the mounter 52 ) to fit the annular convex portion 56b. Then, the circular concave portion 86 of the fixing flange 80 is fitted to the boss portion 54 of the mounter 52 to attach the fixing flange 80 .

이 상태로, 환형의 절삭 블레이드(72)는 마운터(52)의 제1 지지면(56a)과 고정 플랜지(80)의 제2 지지면(82a)에 끼인 상태가 된다. 전자 전환 밸브(68)를 도 3에 나타내는 바와 같이 연통 위치로 전환하여, 로터리 조인트(50)의 파이프(50d)를 흡인원(70)에 접속시키면, 흡인원(70)의 부압은 마운터(52)에 형성된 환형홈(58a), 흡인 구멍(58b) 및 흡인로(66)를 통해 흡인구(64)에 전달되며, 이에 따라 고정 플랜지(80)는 마운터(52)측에 흡인되고, 절삭 블레이드(72)는 마운터(52)의 제1 지지면(56a)과 고정 플랜지(80)의 제2 지지면(82a)에 보다 강한 힘으로 협지되어 고정된다.In this state, the annular cutting blade 72 is sandwiched between the first support surface 56a of the mounter 52 and the second support surface 82a of the fixing flange 80 . When the electromagnetic switching valve 68 is switched to the communication position as shown in FIG. 3 and the pipe 50d of the rotary joint 50 is connected to the suction source 70, the negative pressure of the suction source 70 is transferred to the mounter 52 ) is transmitted to the suction port 64 through the annular groove 58a, the suction hole 58b and the suction path 66 formed in the Reference numeral 72 is clamped and fixed to the first support surface 56a of the mounter 52 and the second support surface 82a of the fixing flange 80 with a stronger force.

이 상태에서는, 마운터(52)의 환형 볼록부(56b)과 고정 플랜지(80)의 단부면(82b) 사이에 약간의 클리어런스(clearance)가 마련되도록 설계되어 있기 때문에, 부압 흡인력은 전부 제2 지지면(82a)를 흡인하도록 작용한다. 이에 의해, 절삭 블레이드(72)는 흡인력에 의해 강고하게 고정된다.In this state, since it is designed so that a slight clearance is provided between the annular convex portion 56b of the mounter 52 and the end face 82b of the fixing flange 80, the negative pressure suction force is all the second support It acts to suck the surface 82a. Thereby, the cutting blade 72 is firmly fixed by the suction force.

본 실시형태에서는, 마운터(52)와 고정 플랜지(80)로 플랜지 기구를 구성한다. 고정 플랜지(80)는 플랜지부(82)와 캡부(84)가 일체적으로 형성되어 있기 때문에, 도 3에 나타내는 바와 같이 고정 플랜지(80)가 흡인 유지되면, 마운터(52)의 보스부(54)는 고정 플랜지(80)의 캡부(84)에 의해 완전히 덮여진다. 따라서, 절삭 부스러기를 포함하는 분위기가 침입할 간극이 없기 때문에, 플랜지 기구의 내부나 제1 지지면(56a) 및 제2 지지면(82a)에 절삭 부스러기가 부착되는 것을 방지할 수 있다.In this embodiment, the mounter 52 and the fixed flange 80 constitute a flange mechanism. Since the flange portion 82 and the cap portion 84 of the fixing flange 80 are integrally formed, as shown in FIG. 3 , when the fixing flange 80 is sucked and held, the boss portion 54 of the mounter 52 is ) is completely covered by the cap portion 84 of the fixing flange 80 . Accordingly, since there is no gap through which the atmosphere containing chips can penetrate, it is possible to prevent chips from adhering to the inside of the flange mechanism or to the first support surface 56a and the second support surface 82a.

본 실시형태의 절삭 유닛(14)에서, 절삭 블레이드(72)에 의한 피가공물의 절삭 가공 중에는, 로터리 조인트(50)의 파이프(50d)를 항상 흡인원(70)에 연통하여, 흡인구(64)에 발생하는 부압 흡인력에 의해 고정 플랜지(80)를 항상 흡인하고, 절삭 블레이드(72)를 제1 지지면(56a)과 제2 지지면(82a)에서 강고하게 고정하여 절삭을 수행한다.In the cutting unit 14 of this embodiment, during the cutting of the workpiece by the cutting blade 72, the pipe 50d of the rotary joint 50 is always in communication with the suction source 70, and the suction port 64 ), the fixing flange 80 is always sucked by the negative pressure suction force generated in the ), and the cutting blade 72 is firmly fixed on the first support surface 56a and the second support surface 82a to perform cutting.

절삭을 중단하고 절삭 블레이드(72)를 교환하고자 하는 경우에는, 전자 전환 밸브(68)를 차단 위치로 전환함으로써, 고정 플랜지(80)의 흡인 유지가 해제되어, 고정 플랜지(80) 및 절삭 블레이드(72)를 간단하게 떼어낼 수 있다.When cutting is stopped and the cutting blade 72 is to be replaced, by switching the electromagnetic switching valve 68 to the shut-off position, the suction holding of the fixed flange 80 is released, and the fixed flange 80 and the cutting blade ( 72) can be easily removed.

고정 플랜지(80)의 원형 오목부(86)에 마운터(52)의 보스부(54)의 선단이 감합하기 때문에, 절삭 블레이드(72)를 착탈할 때, 고정 플랜지(80)를 진공의 부압으로 고정하지 않아도, 고정 플랜지(80)를 일시적으로 마운터(52)에 임시 체결할 수 있기 때문에, 절삭 블레이드(72)의 탈착 시에 편리성이 있다.Since the tip of the boss portion 54 of the mounter 52 fits into the circular concave portion 86 of the fixing flange 80 , when the cutting blade 72 is attached and detached, the fixing flange 80 is applied to the negative pressure of the vacuum. Even without fixing, since the fixing flange 80 can be temporarily fastened to the mounter 52 , it is convenient when the cutting blade 72 is detached.

14 절삭 유닛
46 스핀들 하우징
48 스핀들
50 로터리 조인트
52 마운터
54 원통형 보스부
56 받침 플랜지부
56a 제1 지지면
56b 환형 볼록부
58 원통부
58a 환형홈
58b 흡인 구멍
60 장착 구멍
64 흡인구
66 연통로
70 흡인원
72 절삭 블레이드
80 고정 플랜지(전방 플랜지)
82 플랜지부
82a 제2 지지면
84 캡부
86 원형 오목부14 cutting unit
46 spindle housing
48 spindle
50 rotary joint
52 mounter
54 Cylindrical boss
56 Support Flange
56a first support surface
56b annular convex portion
58 Cylindrical part
58a annular groove
58b suction hole
60 mounting holes
64 suction port
66 communication road
70 suction source
72 cutting blades
80 Fixed flange (front flange)
82 Flange
82a second support surface
84 cap
86 circular recess

Claims

A mounter fixed to the tip of the spindle rotatably supported by the spindle housing and supporting the annular cutting blade;
A fixed flange that secures the cutting blade to the mounter
As a flange mechanism having a,
the mounter
A cylindrical boss part for supporting the inner periphery of the cutting blade;
a support flange portion protruding radially outward from the rear of the cylindrical boss portion and having a first support surface for supporting the cutting blade on a front surface side of an outer peripheral edge;
A cylindrical portion formed integrally with the support flange portion at the rear of the support flange portion and having an annular groove on the outer periphery
including,
The support flange portion is provided with a plurality of suction ports on the side facing the fixing flange,
A plurality of suction paths are formed in the support flange portion and the cylindrical portion of the mounter to communicate each of the suction ports and the annular groove,
The fixing flange is
a flange portion having a second support surface for clamping the cutting blade together with the first support surface of the support flange portion on an outer peripheral edge thereof;
A cap part covering the boss part of the mounter integrally formed with the flange part
including,
By applying a negative pressure from a suction source to the annular groove through a rotary joint fixed to the spindle housing, the fixing flange is sucked from the suction port toward the mounter, and the first support surface of the mounter and The flange mechanism according to claim 1, wherein the cutting blade is clamped and fixed by the second support surface of the fixing flange.

The flange mechanism according to claim 1, wherein the fixing flange has a circular concave portion into which a tip end of the boss portion of the mounter is fitted.