KR102317774B1 - 기어부재를 갖는 기판 이송 장치 - Google Patents

기어부재를 갖는 기판 이송 장치 Download PDF

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아메스산업(주)
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Abstract

본 발명은 무빙플레이트가 구동수단의 이동길이보다 더 멀리 이동 가능하도록 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명은 피니언기의 일측에 고정랙기어가 구비되고 피니언기어의 타측에 이동랙기어가 구비되므로, 이동랙기어와 연결된 무빙플레이트는 피니언기어가 구동수단의 구동부를 따라 이동되는 제 1 길이와, 이동랙기어가 직선운동됨에 따라 이동랙기어가 무빙플레이트를 이동시키는 제 2 길이가 합쳐진 길이만큼 이동 가능한 효과가 있다.

Description

기어부재를 갖는 기판 이송 장치{Transfer Apparatus for Substrate with Gear Member}
본 발명은 기어부재를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 현장 조건에 따라 무빙플레이트가 구동수단의 이동길이보다 더 멀리 이동 가능하도록 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 산업은 각종 전자기기의 발달로 급격히 증가하였으며 현재 우리나라에서도 반도체 산업이 한국 경제에 큰 비중을 차지하고 있다. 반도체 산업은 기술，자본 집약적인 고부가가치 산업으로서 많은 반도체 기업들이 반도체 제조 경쟁력을 유지하기 위해서 설비 기술 및 생산 기술 분야에서 많은 투자와 활발한 연구 활동을 하고 있다. 이러한 반도체를 제조하기 위한 제조 공정은 세정공정, 확산공정，사진감광, 형성공정, 식각공정，중착공정 등 다양한 공정을 거쳐 완성된다. 이러한 일련의 공정에 있어서, 어느 한 공정을 마친 대상물, 예를 들면 복수의 칩들이 실장된 기판은 기판 이송 장치에 의하여 다음 공정으로 이송된다.
도 1의 (a)는 종래 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 1의 (b)는 종래 기판 이송 장치의 무빙플레이트가 이동된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기판 이송 장치(1)는 한 쌍의 지지대(10)와, 한 쌍의 지지대 사이에 이동 가능하도록 구성되는 구동수단(20)과, 한 쌍의 지지대(10) 사이에 슬라이딩 가능하도록 위치되되 구동수단(20)을 따라 이동되는 무빙플레이트(30)를 포함한다. 그리고 무빙플레이트(30)에 하나 이상의 기판이 안착된다. 그리고 구동수단(20)이 전진되면 무빙플레이트(30)가 지지대(10)에서 슬라이딩되면서 구동수단(20)을 따라 이동된다.
이러한 종래 기판 이송 장치(1)는 구동수단(20)의 이동 길이에 따라 무빙플레이트(30)의 이동길이(d1)가 결정되는데, 현장 조건에 따라 무빙플레이트(30)의 이동 길이가 구동수단(20)의 이동길이보다 더 길어야 하는 경우, 종래 기판 이송 장치(1)를 사용할 수 없게 되는 문제점이 있다.
등록특허 10-1020582
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 현장 조건에 따라 무빙플레이트가 구동수단의 이동길이보다 더 멀리 이동 가능하도록 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 베이스와, 상기 베이스의 양측에 세워지는 한 쌍의 지지부를 갖는 지지부재; 상기 베이스의 길이방향을 따라 이동 가능하도록 형성되되 한 쌍의 상기 지지부 사이에 위치되는 구동수단; 각각의 상기 지지부의 상부에 구비되는 무빙슬라이더; 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되되 하측이 상기 무빙슬라이더에 슬라이딩 가능하도록 장착되고 상측에 기판이 위치되는 무빙플레이트; 및 일단부는 상기 구동수단을 따라 이동되고 타단부는 상방으로 돌출 형성되는 회전봉과, 상기 회전봉의 타단부에 장착되는 피니언기어와, 상기 피니언기어의 일측과 맞물리도록 위치되되 상기 무빙플레이트의 하부 일측 길이방향을 따라 형성되는 이동랙기어와, 상기 피니언기어의 타측과 맞물리도록 위치되되 상기 무빙플레이트의 하부 타측 길이방향을 따라 형성되는 고정랙기어와, 상기 지지부에 지지된 상태로 상기 고정랙기어를 지지하는 기어지지부를 갖는 기어부재를 포함하고, 상기 이동랙기어는 상기 무빙플레이트의 하측에 연결되고, 상기 고정랙기어는 상기 무빙플레이트의 하측과 이격되도록 위치되고, 상기 구동수단이 상기 베이스의 길이방향을 따라 이동되면서 상기 회전봉을 이동시키고, 상기 회전봉을 따라 이동되는 상기 피니언기어는 상기 고정랙기어에 맞물린 상태로 회전되고, 상기 피니언기어에 맞물린 상기 이동랙기어는 상기 피니언기어를 따라 이동됨과 동시에 상기 피니언기어의 회전운동을 직선운동으로 변환시키고, 상기 무빙플레이트는 상기 이동랙기어를 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 회전봉의 일단부는 상기 구동수단에 회전 가능하도록 지지되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지부의 상부와 상기 무빙슬라이더 사이에, 상기 무빙플레이트가 이동되는 방향으로 펼쳐지거나 접혀지도록 구성되는 연장부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 무빙플레이트의 하측에 무빙레일이 형성되되, 상기 무빙레일의 양 단부에 무빙스토퍼가 형성되고, 상기 연장부재는: 한 쌍의 상기 지지부의 상부에 지지된 상태로 긴 형상으로 형성되는 한 쌍의 연장레일; 각각의 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 연장슬라이더; 및 양측이 한 쌍의 상기 연장슬라이더에 연결되는 연장링크를 포함하고, 상기 무빙슬라이더는 상기 연장링크에 지지된 상태로 상기 무빙레일을 따라 슬라이딩 가능하도록 구성되고, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키는 과정에서, 상기 무빙슬라이더가 상기 무빙스토퍼에 부딪히면 상기 무빙레일의 이동이 제한되고, 상기 무빙레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 연장링크가 상기 무빙플레이트의 이동 방향을 따라 이동되고, 상기 연장링크와 연결된 상기 연장슬라이더는 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 무빙플레이트의 하측에 한 쌍의 무빙레일이 형성되되, 각각의 상기 무빙레일의 양 단부에 무빙스토퍼가 형성되고, 상기 연장부재는: 한 쌍의 상기 지지부의 상부에 지지된 상태로 긴 형상으로 형성되는 한 쌍의 연장레일; 각각의 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 연장슬라이더; 양측이 한 쌍의 상기 연장슬라이더에 연결되는 연장링크; 각각의 상기 연장링크의 상부에 장착되는 한 쌍의 보조슬라이더; 상기 보조슬라이더가 슬라이딩되도록 긴 형상으로 형성되는 보조레일; 상기 보조레일의 양 단부에 형성되는 보조스토퍼; 및 상기 보조레일의 상측에 형성되는 보조링크를 포함하고, 상기 무빙슬라이더는 상기 보조링크에 지지된 상태로 상기 무빙레일을 따라 슬라이딩 가능하도록 구성되고, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키는 과정에서, 상기 무빙슬라이더가 상기 무빙스토퍼에 부딪히면 상기 무빙레일의 이동이 제한되고, 상기 무빙레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 보조링크가 상기 무빙플레이트의 이동방향을 따라 이동되고, 상기 보조링크와 연결된 상기 보조레일은 상기 보조슬라이더에 지지된 상태로 슬라이딩되되, 상기 보조슬라이더가 상기 보조스토퍼에 부딪히면 상기 보조레일의 이동이 제한되고, 상기 보조레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 연장링크가 상기 무빙플레이트의 이동 방향을 따라 이동되고, 상기 연장링크와 연결된 상기 연장슬라이더는 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지부의 상부에는 상기 연장레일이 지지되도록 판형의 지지판이 형성되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 구동수단은: 상기 베이스의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 하우징; 상기 하우징의 내부 길이방향을 따라 형성되는 구동축; 상기 구동축을 회전시키는 회전모터; 및 하측은 상기 구동축을 따라 이동되고 상측은 상기 하우징의 상측으로 관통된 상태로 상기 하우징의 상측을 따라 슬라이딩되는 구동부를 포함하고, 상기 회전봉은 상기 구동부의 상측에 지지되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 무빙플레이트의 길이방향을 따라 하나 이상의 트레이가 장착되고, 상기 트레이에 하나 이상의 기판이 안착되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 무빙플레이트의 상측 길이방향을 따라 복수 개의 장착돌기가 돌출 형성되고, 상기 트레이에는 상기 장착돌기가 삽입되도록 삽입부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
본 발명은 피니언기의 일측에 고정랙기어가 구비되고 피니언기어의 타측에 이동랙기어가 구비되므로, 이동랙기어와 연결된 무빙플레이트는 피니언기어가 구동수단의 구동부를 따라 이동되는 제 1 길이와, 이동랙기어가 직선운동됨에 따라 이동랙기어가 무빙플레이트를 이동시키는 제 2 길이가 합쳐진 길이만큼 이동 가능한 효과가 있다.
또한, 이동랙기어가 무빙플레이트를 이동시키는 과정에서 무빙레일, 보조레일 및 연장레일이 차례로 펼쳐지게 되어, 무빙플레이트는 이동랙기어를 따라 용이하게 이동되는 효과가 있다.
또한, 트레이에는 복수 개의 삽입부가 형성되고, 무빙플레이트에는 삽입부가 삽입되도록 복수개의 장착돌기가 형성되므로, 현장 조건에 따라 다양한 길이를 갖는 트레이가 구비될 수 있으며, 이러한 다양한 길이를 갖는 트레이가 무빙플레이트에 견고하게 결합되는 효과가 있다.
도 1의 (a)는 종래 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 1의 (b)는 종래 기판 이송 장치의 무빙플레이트가 이동된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 종단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙플레이트를 분해하여 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 횡단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 연장부재가 펼쳐진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7의 (a)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙슬라이더가 이동되기 전의 상태를 도시한 평면도이고, 도 7의 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙슬라이더가 이동된 이후의 상태를 도시한 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 종단면을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙플레이트를 분해하여 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재(150)를 갖는 기판(P) 이송 장치(100)는 지지부재(110), 구동수단(120), 무빙슬라이더(130), 무빙플레이트(140), 트레이(145), 기어부재(150) 및 연장부재(160)를 포함한다.
지지부재(110)는 베이스(112), 지지기둥(114), 지지부(116) 및 지지판(118)을 포함한다. 베이스(112)는 판형으로 형성되며, 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 지지기둥(114)은 베이스(112)의 길이방향 양 측방에 각각 한 쌍이 세워지도록 설치된다. 지지부(116)는 상호 인접한 한 쌍의 지지기둥(114)에 지지된 상태로 세워지도록 설치된다. 지지판(118)은 지지부(116)의 상부에 설치되며 판형으로 형성된다. 한 쌍의 지지판(118)은 상호 마주보도록 배치되며 베이스(112)와 평행하게 위치된다.
구동수단(120)은 하우징(122), 구동축(124), 회전모터(미도시) 및 구동부(126)를 포함한다. 하우징(122)은 대략 육면체 형상 등으로 형성되며 베이스(112)의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 이러한 하우징(122)은 한 쌍의 지지부(116) 사이에 위치된다. 구동축(124)은 하우징(122)의 내부 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되며 회동 가능하도록 형성된다. 회전모터는 구동축(124)의 일측에 연결되어 구동축(124)을 회전시킨다. 그리고 회전모터가 회전되면 구동축(124)이 회전된다. 구동부(126)는 하측은 구동축(124)을 따라 이동되고 상측은 하우징(122)의 상측으로 관통된 상태로 하우징(122)의 상측을 따라 슬라이딩된다. 예를 들면, 구동축(124)에는 나사산(미도시)이 형성되고, 구동부(126)의 하측에 구동축(124)이 관통 위치된다. 그리고 구동축(124)이 회전됨에 따라, 구동축(124)과 나사 결합된 구동부(126)가 나사산을 따라 이동된다. 이러한 구조 이외에, 레일(미도시) 등을 이용하여 구동부(126)가 하우징(122)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수도 있을 것이다.
무빙슬라이더(130)는 각각의 지지부(116)의 상부에 한 쌍이 위치된다. 그리고 지지부(116)의 상부와 무빙슬라이더(130) 사이에, 무빙플레이트(140)가 이동되는 방향으로 펼쳐지거나 접혀지도록 구성되는 연장부재(160)를 더 포함할 수 있으며, 연장부재(160)는 도 6에서 설명하기로 한다.
무빙플레이트(140)는 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되되 하측이 무빙슬라이더(130)에 슬라이딩 가능하도록 장착되고 상측에 기판(P)이 위치된다. 이때, 무빙플레이트(140)의 하부 양측에는 한 쌍의 무빙레일(132)이 형성될 수 있다. 그리고 무빙레일(132)이 무빙슬라이더(130)에 슬라이딩 가능하도록 장착될 수 있다. 즉, 무빙레일(132)은 무빙슬라이더(130)에 지지된 상태로 슬라이딩 이동이 가능하고, 무빙플레이트(140)는 무빙레일(132)에 결합되어 무빙레일(132)을 따라 이동이 가능하다. 그리고 무빙레일(132)의 양 단부에 무빙스토퍼(134)가 형성된다. 실제로는 무빙플레이트(140)가 후술하는 기어부재(150)에 의하여 전진 또는 후진되고, 무빙플레이트(140)가 이동됨에 따라 무빙레일(132)이 무빙슬라이더(130)에 지지된 상태로 슬라이딩된다. 기어부재(150)는 도 5를 참조하여 설명하기로 한다.
트레이(145)는 무빙플레이트(140)에 안착되어 무빙플레이트(140)를 따라 이동 가능하도록 구성된다. 그리고 트레이(145)의 상부에 기판(P)이 안착된다. 그리고 무빙플레이트(140)가 반도체 공정 상의 매거진(미도시) 등으로 이동됨에 따라 트레이(145)에 안착된 기판(P)이 매거진 등에 삽입된다. 그리고 무빙플레이트(140)의 길이에 따라 트레이(145)는 하나 또는 복수 개가 무빙플레이트(140)에 장착될 수 있다. 트레이(145)에는 하나 이상이 기판(P)이 안착될 수 있다.
한편, 무빙플레이트(140)의 상측 길이방향을 따라 복수 개의 장착돌기(142)가 돌출 형성되고, 트레이(145)에는 장착돌기(142)가 삽입되도록 삽입부(146)가 형성된다. 그리고 경우에 따라 상대적으로 긴 트레이(145)와 짧은 트레이(145)가 각각 적용된다 하더리도, 무빙플레이트(140)에 구비되는 장착돌기(142) 중 선택되는 장착돌기(142)에 트레이(145)의 삽입부(146)가 삽입될 수 있다. 이처럼 트레이(145)에는 복수 개의 삽입부(146)가 형성되고, 무빙플레이트(140)에는 삽입부(146)가 삽입되도록 복수개의 장착돌기(142)가 형성되므로, 현장 조건에 따라 다양한 길이를 갖는 트레이(145)가 구비될 수 있으며, 이러한 다양한 길이를 갖는 트레이(145)가 무빙플레이트(140)에 견고하게 결합되는 효과가 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 횡단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 기어부재(150)는 이동부(152), 회전봉(154), 피니언기어(155), 이동랙기어(156), 고정랙기어(158) 및 기어지지부(159)를 포함한다.
이동부(152)는 구동부(126)의 상측과 연결되어 구동부(126)를 따라 이동된다. 회전봉(154)은 봉 형상으로 길게 형성되는 것으로, 일단부는 이동부(152)에 위치되고 타단부는 상방으로 돌출 형성된다. 그리고 이동부(152)에는 회전지지부(미도시)가 장착되어, 회전지지부에 회전봉(154)의 일단부가 회전 가능하도록 지지된다. 그리고 구동부(126)가 이동됨에 따라 이동부(152)가 이동되고, 이동부(152)는 회전봉(154)을 이동시켜서, 회전봉(154)은 구동부(126)를 따라 이동된다. 피니언기어(155)는 통상의 피니언기어(155) 형상으로 형성되며 회전봉(154)의 타단부에 장착된다. 이러한 피니언기어(155)는 회전봉(154)에 회전 가능하도록 장착될 수도 있고, 피니언기어(155)의 회전에 의하여 회전봉(154)이 회전되도록 구성될 수도 있다.
이동랙기어(156)는 통상의 랙기어 형상으로 길게 형성되며 피니언기어(155)의 일측과 맞물리도록 위치된다. 이러한 이동랙기어(156)는 무빙플레이트(140)의 하부 일측 길이방향을 따라 형성된다.
고정랙기어(158)는 이동랙기어(156)와 마찬가지로 통상의 랙기어 형상으로 길게 형성되며 피니언기어(155)의 타측과 맞물리도록 위치된다. 이러한 고정랙기어(158)는 무빙플레이트(140)의 하부 타측 길이방향을 따라 형성된다.
기어지지부(159)는 지지부(116)에 지지된 상태로 고정랙기어(158)를 지지하도록 돌출 형성된다. 즉, 이동랙기어(156)는 무빙플레이트(140)의 하측에 연결되어 무빙플레이트(140)를 따라 이동 가능하도록 구성되고, 고정랙기어(158)는 무빙플레이트(140)의 하측과 이격 위치되어 지지부(116)에 고정되도록 구성된다. 이때, 이동랙기어(156)와 고정랙기어(158)는 한 쌍의 무빙레일(132)의 안쪽에 위치된다.
그리고 구동축(124)의 작동에 의하여 구동부(126)가 베이스(112)의 길이방향을 따라 이동되면서 회전봉(154)을 이동시키면, 회전봉(154)을 따라 이동되는 피니언기어(155)는 고정랙기어(158)에 맞물린 상태로 회전된다. 이때, 피니언기어(155)에 맞물린 이동랙기어(156)는 피니언기어(155)를 따라 이동됨과 동시에 피니언기어(155)의 회전운동을 직선운동으로 변환시킨다. 그러면, 무빙플레이트(140)는 피니언기어(155)가 구동수단(120)의 구동부(126)를 따라 이동되는 제 1 길이와, 이동랙기어(156)가 직선운동됨에 따라 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키는 제 2 길이가 합쳐진 길이만큼 이동 가능하다. 즉, 무빙플레이트(140)는 구동부(126)가 이동되는 제 1 길이보다 2 배로 이동 가능한 효과가 있다.
한편, 무빙플레이트(140)의 원활한 이동을 위해서는 무빙플레이트(140)가 이동되는 방향으로 펼쳐지거나 접혀지도록 구성되는 연장부재(160)가 요구된다. 이하에서는 연장부재(160)에 대하여 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 연장부재가 펼쳐진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 연장부재(160)는 연장레일(161), 연장스토퍼(162), 연장슬라이더(163) 및 연장링크(164)를 포함하고, 보조레일(165), 보조스토퍼(166), 보조슬라이더(167) 및 보조링크(168)를 더 포함할 수 있다.
연장레일(161)은 한 쌍으로 구성되며 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 이러한 연장레일(161)은 지지부(116)의 상부에 지지되는 지지판(118)의 상부에 장착된다.
연장슬라이더(163)는 연장레일(161)을 따라 슬라이딩 가능하도록 설치되는 것으로, 예를 들면 4개가 구비되어, 2개의 연장슬라이더(163)는 일 연장레일(161)을 따라 슬라이딩되도록 설치되고, 2개의 연장슬라이더(163)는 타 연장레일(161)을 따라 슬라이딩되도록 설치된다. 연장스토퍼(162)는 연장레일(161)의 양 단부에 설치되어, 연장슬라이더(163)의 슬라이딩을 제한한다. 그리고 예를 들면, 연장레일(161)의 양측에 홈이 형성되고 연장슬라이더(163)의 양측이 홈에 끼워진 상태로 슬라이딩 가능하도록 구성된다. 보조레일(165)과 보조슬라이더(167)의 결합구조 및 무빙레일(132)과 무빙슬라이더(130)의 결합구조 또한 이와 마찬가지로 구성될 수 있다. 연장링크(164)는 두 개로 구성되어 일 연장링크(164)의 양측이 한 쌍의 일 연장슬라이더(163)에 연결되고 타 연장링크(164)의 양측이 한 쌍의 타 연장슬라이더(163)에 연결된다.
보조슬라이더(167)는 한 쌍으로 구성되어 각각의 연장링크(164)의 상부에 장착된다. 보조레일(165)은 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되며 보조슬라이더(167)의 상부에 슬라이딩 가능하도록 결합된다. 보조스토퍼(166)는 보조레일(165)의 양 단부에 형성되어 보조슬라이더(167)의 슬라이딩을 제한한다. 보조링크(168)는 보조레일(165)의 상측에 형성된다. 그리고 무빙슬라이더(130)는 보조링크(168)에 결합된 상태로 무빙레일(132)을 따라 슬라이딩 가능하도록 구성된다.
그리고 기어부재(150)의 작동에 의하여 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키면, 무빙플레이트(140)와 연결된 무빙레일(132)이 무빙슬라이더(130)에서 슬라이딩된다. 그런데 무빙레일(132)의 단부에는 무빙스토퍼(134)가 구비되므로, 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키는 과정에서, 무빙슬라이더(130)가 무빙스토퍼(134)에 부딪히면 무빙레일(132)의 이동이 제한된다.
이렇게 무빙레일(132)의 이동이 제한된 상태에서, 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 추가로 이동시키면, 보조링크(168)가 무빙플레이트(140)의 이동방향을 따라 이동되고, 보조링크(168)와 연결된 보조레일(165)은 보조슬라이더(167)에 지지된 상태로 슬라이딩된다. 그런데 보조레일(165)의 단부에는 보조스토퍼(166)가 구비되므로 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키는 과정에서 보조슬라이더(167)가 보조스토퍼(166)에 부딪히면, 또 다시 보조레일(165)의 이동이 제한되고,
이렇게 보조레일(165)의 이동이 제한된 상태에서, 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 추가로 이동시키면, 연장링크(164)가 무빙플레이트(140)의 이동 방향을 따라 이동되고, 연장링크(164)와 연결된 연장슬라이더(163)는 연장레일(161)을 따라 슬라이딩된다.
이처럼 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키는 과정에서 무빙레일(132), 보조레일(165) 및 연장레일(161)이 차례로 펼쳐지게 되어, 무빙플레이트(140)는 이동랙기어(156)를 따라 용이하게 이동되는 효과가 있다.
도 7의 (a)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙슬라이더가 이동되기 전의 상태를 도시한 평면도이고, 도 7의 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기어부재를 갖는 기판 이송 장치의 무빙슬라이더가 이동된 이후의 상태를 도시한 평면도이다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 본 발명은 피니언기의 일측에 고정랙기어(158)가 구비되고 피니언기어(155)의 타측에 이동랙기어(156)가 구비되므로, 구동수단(120)이 이동됨에 따라 기어부재(150)가 작동하여 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키면, 무빙플레이트(140)는 피니언기어(155)가 구동수단(120)의 구동부(126)를 따라 이동되는 제 1 길이와, 이동랙기어(156)가 직선운동됨에 따라 이동랙기어(156)가 무빙플레이트(140)를 이동시키는 제 2 길이가 합쳐진 길이(d2)만큼 이동된다.
이처럼 무빙플레이트(140)는 구동부(126)가 이동되는 길이보다 2 배로 이동 가능하므로, 현장 조건에 따라 무빙플레이트(140)의 이동 길이를 적절하게 설정 가능한 효과가 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 기판 이송 장치
110: 지지부재
112: 베이스 114: 지지기둥
116: 지지부 118: 지지판
120: 구동수단
122: 하우징 124: 구동축
126: 구동부
130: 무빙슬라이더 132: 무빙레일
134: 무빙스토퍼 140: 무빙플레이트
142: 장착돌기 145: 트레이
146: 삽입부
150: 기어부재
152: 이동부 154: 회전봉
155: 피니언기어 156: 이동랙기어
158: 고정랙기어 159: 기어지지부
160: 연장부재
161: 연장레일 162: 연장스토퍼
163: 연장슬라이더 164: 연장링크
165: 보조레일 166: 보조스토퍼
167: 보조슬라이더 168: 보조링크

Claims (9)

  1. 베이스와, 상기 베이스의 양측에 세워지는 한 쌍의 지지부를 갖는 지지부재;
    상기 베이스의 길이방향을 따라 이동 가능하도록 형성되되 한 쌍의 상기 지지부 사이에 위치되는 구동수단;
    각각의 상기 지지부의 상부에 구비되는 무빙슬라이더;
    길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되되 하측이 상기 무빙슬라이더에 슬라이딩 가능하도록 장착되고 상측에 기판이 위치되는 무빙플레이트; 및
    일단부는 상기 구동수단을 따라 이동되고 타단부는 상방으로 돌출 형성되는 회전봉과, 상기 회전봉의 타단부에 장착되는 피니언기어와, 상기 피니언기어의 일측과 맞물리도록 위치되되 상기 무빙플레이트의 하부 일측 길이방향을 따라 형성되는 이동랙기어와, 상기 피니언기어의 타측과 맞물리도록 위치되되 상기 무빙플레이트의 하부 타측 길이방향을 따라 형성되는 고정랙기어와, 상기 지지부에 지지된 상태로 상기 고정랙기어를 지지하는 기어지지부를 갖는 기어부재를 포함하고,
    상기 이동랙기어는 상기 무빙플레이트의 하측에 연결되고, 상기 고정랙기어는 상기 무빙플레이트의 하측과 이격되도록 위치되고,
    상기 구동수단이 상기 베이스의 길이방향을 따라 이동되면서 상기 회전봉을 이동시키고, 상기 회전봉을 따라 이동되는 상기 피니언기어는 상기 고정랙기어에 맞물린 상태로 회전되고, 상기 피니언기어에 맞물린 상기 이동랙기어는 상기 피니언기어를 따라 이동됨과 동시에 상기 피니언기어의 회전운동을 직선운동으로 변환시키고, 상기 무빙플레이트는 상기 이동랙기어를 따라 이동되고,
    상기 지지부의 상부와 상기 무빙슬라이더 사이에, 상기 무빙플레이트가 이동되는 방향으로 펼쳐지거나 접혀지도록 구성되는 연장부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전봉의 일단부는 상기 구동수단에 회전 가능하도록 지지되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 무빙플레이트의 하측에 무빙레일이 형성되되, 상기 무빙레일의 양 단부에 무빙스토퍼가 형성되고,
    상기 연장부재는:
    한 쌍의 상기 지지부의 상부에 지지된 상태로 긴 형상으로 형성되는 한 쌍의 연장레일;
    각각의 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 연장슬라이더; 및
    양측이 한 쌍의 상기 연장슬라이더에 연결되는 연장링크를 포함하고,
    상기 무빙슬라이더는 상기 연장링크에 지지된 상태로 상기 무빙레일을 따라 슬라이딩 가능하도록 구성되고,
    상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키는 과정에서, 상기 무빙슬라이더가 상기 무빙스토퍼에 부딪히면 상기 무빙레일의 이동이 제한되고,
    상기 무빙레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 연장링크가 상기 무빙플레이트의 이동 방향을 따라 이동되고, 상기 연장링크와 연결된 상기 연장슬라이더는 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 무빙플레이트의 하측에 한 쌍의 무빙레일이 형성되되, 각각의 상기 무빙레일의 양 단부에 무빙스토퍼가 형성되고,
    상기 연장부재는:
    한 쌍의 상기 지지부의 상부에 지지된 상태로 긴 형상으로 형성되는 한 쌍의 연장레일;
    각각의 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 연장슬라이더;
    양측이 한 쌍의 상기 연장슬라이더에 연결되는 연장링크;
    각각의 상기 연장링크의 상부에 장착되는 한 쌍의 보조슬라이더;
    상기 보조슬라이더가 슬라이딩되도록 긴 형상으로 형성되는 보조레일;
    상기 보조레일의 양 단부에 형성되는 보조스토퍼; 및
    상기 보조레일의 상측에 형성되는 보조링크를 포함하고,
    상기 무빙슬라이더는 상기 보조링크에 지지된 상태로 상기 무빙레일을 따라 슬라이딩 가능하도록 구성되고,
    상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키는 과정에서, 상기 무빙슬라이더가 상기 무빙스토퍼에 부딪히면 상기 무빙레일의 이동이 제한되고,
    상기 무빙레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 보조링크가 상기 무빙플레이트의 이동방향을 따라 이동되고, 상기 보조링크와 연결된 상기 보조레일은 상기 보조슬라이더에 지지된 상태로 슬라이딩되되, 상기 보조슬라이더가 상기 보조스토퍼에 부딪히면 상기 보조레일의 이동이 제한되고,
    상기 보조레일의 이동이 제한된 상태에서, 상기 이동랙기어가 상기 무빙플레이트를 이동시키면, 상기 연장링크가 상기 무빙플레이트의 이동 방향을 따라 이동되고, 상기 연장링크와 연결된 상기 연장슬라이더는 상기 연장레일을 따라 슬라이딩되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 지지부의 상부에는 상기 연장레일이 지지되도록 판형의 지지판이 형성되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동수단은:
    상기 베이스의 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 하우징;
    상기 하우징의 내부 길이방향을 따라 형성되는 구동축;
    상기 구동축을 회전시키는 회전모터; 및
    하측은 상기 구동축을 따라 이동되고 상측은 상기 하우징의 상측으로 관통된 상태로 상기 하우징의 상측을 따라 슬라이딩되는 구동부를 포함하고,
    상기 회전봉은 상기 구동부의 상측에 지지되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 무빙플레이트의 길이방향을 따라 하나 이상의 트레이가 장착되고,
    상기 트레이에 하나 이상의 기판이 안착되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 무빙플레이트의 상측 길이방향을 따라 복수 개의 장착돌기가 돌출 형성되고,
    상기 트레이에는 상기 장착돌기가 삽입되도록 삽입부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기어부재를 갖는 기판 이송 장치.
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