KR102291205B1 - 방전 램프 - Google Patents

Abstract

[과제] 전열체를 봉입한 전극에서, 램프 점등 중에도 전극 강도를 안정되게 유지한다. [해결 수단] 방전 램프에서, 전열체(M)를 삽입한 요부(33)를 형성한 동체 부재(32)와, 요부(33)에 꽉 끼워진 돌출부(46)를 설치한 뚜껑 부재(36)를 고상 접합시킴으로써 양극(30)을 성형한다. 그리고, 밀폐 공간(50)은 전극 선단부에서 후단부를 향해 테이퍼되도록 요부(33)가 형성되고, 돌출부 표면(46S) 부근에서의 지름(DM)은, 중간부에서의 지름(DN)보다 작다.

Description

방전 램프{DISCHARGE LAMP}

본 발명은, 노광 장치 등에 이용되는 방전 램프에 관한 것으로, 특히, 전극 내부에 형성된 밀폐 공간에 전열체를 봉입하는 전극 구조에 관한 것이다.

방전 램프에서는, 전극 내부에 밀폐 공간을 형성하고, 냉각 기능을 갖는 금속을 봉입한 전극이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 여기서는, 은(銀) 등, 열전도율이 높고, 비교적 융점이 낮은 금속으로 형성되는 전열체가, 양극 내부에 봉입된다. 램프 점등에 의해서 전극 온도가 상승하면, 전열체가 용해하여, 액화한다. 이것에 의해서, 밀폐 공간 내에 열대류가 생기고, 전극 선단부의 열이 반대측의 전극 지지봉측으로 수송된다.

전극 내부에 밀폐 공간을 형성하는 경우, 요부를 형성한 바닥이 있는 원통형 동체 부재와, 원주형 돌출부를 구비하는 뚜껑 부재를 준비하고, 동체 부재의 요부에 뚜껑 부분의 돌출부를 감입하여, 요부 단면과 뚜껑 부재를 접합시킴으로써 밀폐 공간을 형성한다. 접합 방식으로서는, SPS 등 고상 접합이 적용 가능하다.

특개2012-221582호 공보

뚜껑 부재와 동체 부재를 접합하면, 그 접합 부분에서 틈새가 발생한다. 램프 점등 중, 전열체가 그 틈새로 들어가면, 램프 점등/소등에 수반하여 전열체가 응고, 용해를 반복하여, 응고, 용해에 의한 응력이 접합 부분에 걸려서, 접합부의 크랙 발생, 나아가서는 전극 파손의 우려가 생긴다.

따라서, 전열체를 전극 내부에 봉입하는 전극에 있어서, 전열체에 의한 전극 접합 부분에의 데미지를 억제하는 것이 필요하게 된다.

본 발명의 방전 램프는, 방전관과, 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고, 적어도 한쪽의 전극이, 요부를 형성한 부재(여기에서는, 동체 부재라고 한다)와, 상기 요부에 끼워지는 돌출부를 형성하고, 상기 동체 부재와 접합하는 부재(여기에서는, 뚜껑 부재라고 한다)를 구비하고, 전열체가, 상기 동체 부재와 상기 뚜껑 부재와의 접합에 의해서 전극 내부에 형성된 통 모양의 밀폐 공간에 봉입된다.

동체 부재는, 전극 선단면, 전극 선단부와 일체적이어도 좋고, 전극 선단부와 접합되어 있어도 좋다. 요부는, 전열체의 열대류를 일으키게 하는 기둥 모양 공간을 형성하면 좋고, 통 모양으로 형성하는 것이 가능하다. 예를 들면, 동체 부재에 동축적인 단면 원형의 내부 공간이 형성된다. 뚜껑 부재는, 예를 들면, 전극 지지봉과 접합된다. 접합에 대해서는, 예를 들면 고상 접합이 적용 가능하다.

본 발명에서는, 밀폐 공간의 뚜껑 부재측 후단부에서의 지름/직경이, 상기 밀폐 공간의 중간부의 지름/직경보다 작다. 즉, 뚜껑 부재측 후단부에서의 단면적 사이즈가, 밀폐 공간의 중간부의 단면적 사이즈보다 작다. 다만, 뚜껑 부재측 후단부는, 뚜껑 부재 돌출부 표면 혹은 그 부근의 위치를 나타낸다. 또, 중간부는, 밀폐 공간의 전극축 방향 폭의 중간 위치 부근을 나타낸다.

이와 같이 돌출부를 마련하고 요부를 씌워 요부 단면과 뚜껑 부재를 접합시키는 전극 구조에서, 내부 밀폐 공간의 지름을 선단측에서 크게 함으로써, 전열체가 하부로 흐르기 쉬워지고, 틈새 부근에서의 고임이 억제된다. 그 결과, 틈새로 들어가려고 하는 전열체의 강한 흐름이 발생하지 않고, 램프 소등, 점등에 수반하는 틈새로 들어간 전열체의 응고, 용해에 의한 응력이 저감하여, 크랙의 발생, 전극 파손을 막을 수 있다.

전열체의 고임을 효과적으로 억제하는 것을 고려하면, 돌출부의 직경 DT와, 상기 돌출부에 대향하는 상기 동체 부재의 후단부 내경 GS가, DT/GS≥0.5를 만족하고, 또한, 상기 동체 부재의 후단부 내경 DM과 중간부 내경 DN이, DM/DN≥0.5를 만족하도록 구성하는 것이 좋다.

밀폐 공간의 공간 형상은 여러 가지 형상이 가능하고, 적어도 중간부에서 후단부를 향해서 테이퍼되도록 구성하는 것이 가능하다. 요부측 면이 매끄럽게 형성됨으로써, 전열체가 원활하게 하부로 흘러 간다.

예를 들면, 밀폐 공간의 지름이, 요부 저면측 선단부에서 후단부를 향해서 작아지도록 구성할 수 있다. 선단부측으로부터 지름이 축소되는 것에 의해서, 전열체의 대류가 원활하게 되어, 고임을 억제한다.

동체 부재의 외경에 대해서는, 전극축 방향으로 대략 일정하게 해도 좋고, 혹은 내경에 맞추어 변화시켜도 좋다. 예를 들어, 동체 부재의 두께를, 전극축 방향을 따라서 대략 일정하게 구성하는 것이 가능하다. 램프 점등 중 요부의 중간부, 선단부 부근 측면이 전열체에 의해서 깎아져도, 충분한 두께에 의해서 전극 강도가 유지된다.

밀폐 공간의 후단부에서, 돌기부를 요부 내면 둘레 방향을 따라서 형성하는 것이 가능하다. 또, 돌출부를 기둥 모양으로 하여 돌출부 측면과 요부 측면과의 틈새를 전극축 방향을 따라서 대략 일정하게 함으로써, 램프 소등 후, 상기 밀폐 공간의 후단부 부근에서, 전열체를 요부 내면 둘레 방향을 따라서 환형으로 응고시킬 수 있다.

본 발명에 의하면, 전열체를 봉입한 전극에서, 램프 점등 중에도 전극 강도를 안정되게 유지할 수 있다.

[도 1] 제1 실시 형태인 쇼트 아크형(Short arc型) 방전 램프를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
[도 2] 양극의 개략적 단면도이다.
[도 3] 제2 실시 형태에서의 양극의 개략적 단면도이다.

이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.

도 1은, 제1 실시 형태인 쇼트 아크형(Short arc型) 방전 램프를 모식적으로 나타낸 평면도이다.

쇼트 아크형 방전 램프(10)는, 패턴을 형성하는 노광 장치(도시하지 않음)의 광원 등에 사용 가능한 방전 램프이며, 투명한 석영 유리제의 방전관(발광관)(12)을 구비한다. 방전관(12)에는, 음극(20), 양극(30)이 소정간격을 갖고 대향 배치된다.

방전관(12)의 양측에는, 대향하도록 석영 유리제의 봉지관(13A, 13B)이 방전관(12)과 일체적으로 설치되고, 봉지관(13A, 13B)의 양단은, 꼭지쇠(口金)(19A, 19B)에 의해서 막혀 있다. 방전 램프(10)는, 양극(30)이 위쪽, 음극(20)이 아래쪽이 되도록 연직 방향을 따라서 배치된다.

봉지관(13A, 13B)의 내부에는, 금속제의 음극(20), 양극(30)을 지지하는 도전성의 전극 지지봉(17A, 17B)가 배설되고, 금속 링(도시하지 않음), 몰리브덴 등의 금속박(16A, 16B)을 개입시켜 도전성의 리드봉(15A, 15B)에 각각 접속된다. 봉지관(13A, 13B)은, 봉지관(13A, 13B) 내에 설치되는 유리관(도시하지 않음)과 용착되고, 이것에 의해서, 수은, 및 희가스가 봉입된 방전 공간(DS)이 봉지된다.

리드봉(15A, 15B)은 외부의 전원부(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 리드봉(15A, 15B), 금속박(16A, 16B), 그리고 전극 지지봉(17A, 17B)을 개입시켜 음극(20), 양극(30)의 사이에 전압이 인가된다. 방전 램프(10)에 전력이 공급되면, 전극간에 아크 방전이 발생하고, 수은에 의한 휘선(자외광)이 방사된다.

도 2는, 양극의 개략적 단면도이다.

양극(30)은, 금속 부재(이하, 동체 부재라고 한다)(32)와, 전극 지지봉(17B)과 접합하는 금속 부재(이하, 뚜껑 부재라고 한다)(36)로 구성된다. 동체 부재(32)는, 전극축(램프축)(E)의 수직 방향에 따른 전극 선단면(34S)을 가지는 원추 사다리꼴 형상의 선단부(34)와 일체적으로 연결되고, 전극축(E)을 중심으로 원통형 요부(33)가 형성된바닥이 있는 원통형 부재이며, 벽두께가 두껍다.

뚜껑 부재(36)는, 요부(33)와 감합하는 원주형 돌출부(46)를 구비하고, 동체 부재(32)의 단면(32T)과 뚜껑 부재(36)의 돌출부 주위의 단면(36T)이 접합하여 요부(33)를 덮어, 밀폐시킨다. 이것에 의해, 양극 내부에 통 모양의 밀폐 공간(50)이 형성된다. 텅스텐 등을 주성분으로 하는 동체 부재(32) 및 뚜껑 부재(36)는, 동축적 배치이며, 밀폐 공간(50)의 공간 영역은, 전극축(E)을 중심으로 대칭적이다.

이러한 밀폐 공간(50)을 내부에 형성한 양극(30)은, 방전 플라스마 소결(SPS) 방식에 따르는 고상 접합에 의해서 여기에서는 성형되어 있다. 돌출부(46)의 사이즈(직경)(DT)는, 요부(33)의 직경(GS)보다 약간 작고, 돌출부(46)와 요부(33)와의 사이에 미소한 틈새(CS)가 요부(33)의 측면(50D)과 돌출부 측면(46J)과의 사이에서 둘레 방향 전체에 걸쳐 형성되어 있다.

밀폐 공간(50)에는, 동체 부재(32), 뚜껑 부재(36)보다 융점이 낮은 금속(은(銀) 등)으로 형성되거나, 혹은 그것을 주성분으로 하는 전열체(M)가 봉입되어 있다. 램프 점등 중, 전극 선단부(34)가 가열되는 것에 의해서 전열체(M)가 용해된다. 동체 부재(32), 뚜껑 부재(36)는, 램프 점등 중의 밀폐 공간 저면(50B)부근의 온도(약 1800℃)보다 융점이 높다.

용해된 전열체(M)는, 밀폐 공간(50) 내에서 대류하고, 전극 선단부(34)의 열이 전극축(E)을 따라서 뚜껑 부재(36)측으로 수송된다. 본 실시 형태에서는, 전열체(M)가 대부분 모두 용해하면, 밀폐 공간(50) 내부를 전열체(M)가 대략 점유하고, 돌출부 표면/선단면(46S)에까지 액면이 도달한다.

전열체(M)의 대류가 생기면, 전극 선단부의 열은, 전극축(E)을 따라서 수송되어, 선단부(34)의 온도 상승이 억제된다. 상승한 전열체(M)는, 지름 방향 외측을 따라서 요부 측면(50D)으로 진행되어, 전극 선단측 하부로 흘러간다. 그리고, 저면(50B) 부근에서는 전극축(E) 방향으로 흐르고, 다시 상승한다. 이러한 대류에 의해, 양극(30)은 램프 점등 중 냉각된다.

전열체(M)의 흐름의 방향에 근거해 밀폐 공간(50)을 전극축(E)의 방향에 관해서 3개의 공간 영역(L1, L2, L3)으로 구분하면, 영역 L1에서는, 전극축(E)의 방향(지름 방향 내측)을 향하는 흐름이 지배적이며, 영역 L2에서는, 전극축(E)에 따른 흐름이 지배적이며, 영역 L3에서는, 밀폐 공간(50)의 측면(지름 방향 외측)을 향하는 흐름이 지배적이다.

동체 부재(32)는, 그 외경(DZ)이 전극축(E)을 따라서 일정한 한편, 내경은 전극축(E)을 따라서 전극 선단부로부터 멀어질수록 작아지고, 밀폐 공간(50)은, 전극축(E)을 따라서 테이퍼되어 있다. 구체적으로는, 요부(33)의 내경이 밀폐 공간 저면(50B)으로부터 후단부가 되는 돌출부 표면(46S)까지 매끄럽고 완만하게 감소하고 있다. 밀폐 공간(50)의 사이즈/지름에 대해서는, 돌출부 표면(46S) 부근의 후단부가, 중간 영역 L2에 해당되는 밀폐 공간 중간부보다 작다.

다만, 밀폐 공간(50)의 영역은, 돌출부 표면(46S)으로부터 저면(50B)까지의 공간 영역에 의해서 규정되고, 여기에서는 미소한 틈새(CS)를 고려하고 있지 않다. 그리고, 밀폐 공간(50)의 단부는, 돌출부 표면(46S)에 따른 위치 혹은 그 부근의 위치를 나타낸다.

이러한 테이퍼형 밀폐 공간(50)을 형성함으로써, 램프 점등 중, 전극축(E)을 따라서 상승한 전열체(M)는, 요부 측면(50D)을 따라서 하부로 흐르기 쉬워져, 틈새(CS) 부근에서의 고임이 억제된다. 그 결과, 틈새(CS)로 들어가려고 하는 전열체(M)의 강한 흐름이 발생하지 않고, 램프 소등, 점등에 수반하는 틈새(CS)로 들어간 전열체(M)의 응고, 용해에 의한 응력이 저감하여, 접합면(J) 부근에서의 크랙의 발생, 전극 파손을 막을 수 있다.

그리고, 전열체(M)의 대류가 원활하게 되는 것에 의해서 유속이 올라, 열 수송 효과가 향상하여 전극 선단부 온도를 효과적으로 냉각할 수 있다. 특히, 돌출부 표면/선단면(46S)으로부터 저면(50B)까지 요부(33)가 매끄러운 테이퍼 형상이기 때문에, 전열체(M)가 중간부의 영역 L2에서 고임 없이 밀폐 공간 측면을 따라서 저면(50B)까지 도달하여, 전극 파손의 방지, 열 수송 효과의 향상이 실현된다.

이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 전열체(M)를 넣은 요부(33)를 형성한 동체 부재(32)와, 요부(33)에 끼워진 돌출부(46)를 마련한 뚜껑 부재(36)를 고상 접합시킴으로써 양극(30)을 성형한다. 그리고, 밀폐 공간(50)은 전극 선단부에서 후단부를 향해 테이퍼되도록 요부(33)가 형성되고, 돌출부 표면(46S) 부근에서의 지름(DM)은, 중간부에서의 지름(DN)보다 작다.

또한, 매끄러운 테이퍼 형상 대신에, 단계적으로 단차를 갖고 테이퍼되도록 할 수 있다. 중간 영역 L2, 후단부 영역 L3에서의 요부(33)의 내경 비를 규정하는 것에 의해서, 같은 양상의 전극 파손 방지, 열 수송 효율의 향상을 실현할 수 있다. 구체적으로는, 후단부 영역 L3에서의 요부 직경(DM)과, 중간 영역 L2에서의 요부 직경(DN)과의 비DM/DN가 0.5보다 작은 경우, 요부의 선단부를 향한 내경 확대가 급격하게 되어, 전열체가 원활하게 전극 선단부로 이동하지 않게 된다. 따라서, DM/DN≥0.5가 되는 것이 바람직하다.

또, 뚜껑 부재(36)의 돌출부(46)의 직경(DT)을, 요부(33)의 후단부에서의 사이즈(직경)(GS)와 대략 같게 하는 대신에, 돌출부(46)의 사이즈(DT)를 보다 작게 규정하는 것도 가능하다. 틈새(CS)의 공간 영역이 어느 정도 커져도, 중간 영역 L2에서의 요부 직경(DN)과 단부 직경과의 비DM/DN를 보다 작게 하고, 즉, 중간 영역 L2의 직경(DN)을 상대적으로 보다 크게 함으로써, 밀폐 공간 단부 부근에서의 전열체(M)의 고임이 효과적으로 억제된다.

이 경우, 돌출부 표면(46S)의 직경(DT)이, 요부(33)의 단부에서의 직경(GS)의 반보다 작으면, 틈새(CS)가 과도하게 커져, 고임이 현저하게 된다. 따라서, DT/GS≥0.5(GS>DT)인 것이 바람직하다. 다만, 상술한 DM/DN의 조건을 만족하는 것으로 한다.

다음으로, 도 3을 이용하여, 제2 실시 형태인 방전 램프에 대해 설명한다. 제2 실시 형태에서는, 동체 부재의 두께가 일정하고, 또, 램프 소등 시, 전열체가 집적물로서 밀폐 공간 단부에 형성된다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 실질적으로 같다.

도 3은, 제2 실시 형태인 방전 램프에서의 양극의 개략적 단면도이다.

양극(130)은, 동체 부재(132), 돌출부(146)를 구비하는 뚜껑 부재(136)로 구성되고, 요부(133)는, 전극 선단부에서 후단부를 향해서 테이퍼되어 있다. 따라서, 요부(133)의 후단부에서의 내경(DM)은, 중간 영역에 있어서의 내경(DN)보다 작다. 또한, 동체 부재(132)는, 전극 선단부에서 후단부를 향해서 테이퍼되고, 동체 부재(132)의 두께(t)는, 전극축(E)을 따라서 거의 일정하다.

동체 부재(132)의 두께(t)가 일정한 것에 의해, 전열체(M)의 대류에 의해서 요부(133)의 측면이 깎아져 직경이 확대되는 상황이 되어도, 중간 영역 L2, 선단 영역 L1에서의 두께가 충분히 확보되어 있기 때문에, 전열체(M)의 대류에 의한 전극 선단부에서의 강도 저하를 막을 수 있다.

한편, 램프 소등 후, 전열체가 응고하는 과정에서, 밀폐 공간(150)의 후단부 부근의 영역(R)에 비교적 온도가 낮은 전열체가 집적되고, 요부(133)의 측면 둘레 방향을 따라서 환형으로 응고한 전열체가, 측면으로부터 돌기하는 형태로 집적물(90)이 되어 형성된다.

이러한 집적물(90)은, 뚜껑 부재(136)의 돌출부(146)가 기둥 모양, 즉 돌출부 표면(146S)의 단부가 도 3에 나타내듯이 직각인 것에 의해서 발생한다. 또, 직각이 아니어도, 테이퍼각으로 하는 것에 의해서 발생한다. 램프가 다시 점등하면 집적물(90)은 일부 용해되지만, 비교적 온도가 낮은 후단부 영역 L3에 형성되기 때문에, 집적물(90)은 요부 측면 형상으로 유지된다. 양극(130)의 외표면에 방열 기능을 갖는 레이저 홈을 형성하여, 온도를 제어할 수 있다. 집적물(90) 부근에서의 요부(133)의 내경(DM1)은, 후단부 내경(DM)보다 더 작다.

집적물(90)이 형성되는 것에 의해, 램프 점등 중, 전열체(M)가 틈새(CS)의 방향으로 나아가려고 하는 전열체(M)의 흐름이 억제된다. 따라서, 틈새(CS)에 전열체(M)가 비집고 들어가는 것을 억제하고, 틈새(CS)를 기점으로 하는 전극 파손을 막을 수 있다.

또한, 밀폐 공간의 단부, 즉 돌출부 표면보다 2 mm 이상 이격되어 집적물이 형성되도록, 돌출부를 포함하는 뚜껑 부재의 형상, 틈새(CS)의 사이즈 등을 규정하는 것이 바람직하다. 이것은, 집적물이 밀폐 공간 단부에 너무 가까우면, 전열체의 응고, 용해에 수반하는 응력이 접합부에 영향을 주기 때문이다. 또, 전열체(M)가 거의 전부 용해했을 때의 액면이, 돌출부 표면(146S)으로부터 돌기물이 있는 위치까지 소정 간격 이격되도록, 전열체(M)를 봉입해도 좋다.

또, 돌기물에 의한 대류 효과를 확실하게 하기 위해서, 전열체가 아니고, 절삭 가공, 용접 등에 의해서 돌기물을 형성해도 좋다. 이 경우, 단면 삼각형 이외의 형상으로 하는 것도 가능하다. 또, 전열체에 의한 집적물이 형성되지 않는 듯한 밀폐 공간을 구성해도 좋다.

제1, 제2 실시 형태에서는 양극에서 밀폐 공간을 형성했지만, 음극에서도 동일하게 구성하는 것이 가능하다. 또, 고상 접합 이외의 접합 방법에 따라 전극을 성형해도 좋다.

10 방전 램프
30 양극
32 동체 부재
33 요부
36 뚜껑 부재
46 돌출부
50 밀폐 공간
M 전열체

Claims (7)

1. 방전관과,
   상기 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고,
   적어도 한쪽의 전극이, 요부를 형성하는 바닥이 있는 원통형 동체 부재와, 상기 요부에 끼워지는 돌출부를 형성하고, 상기 동체 부재와 접합되는 뚜껑 부재를 갖고,
   전열체가, 상기 동체 부재와 상기 뚜껑 부재와의 접합에 의해서 전극 내부에 형성된 통 모양의 밀폐 공간에 봉입되고,
   상기 밀폐 공간의 돌출부 표면에서의 지름이, 상기 밀폐 공간의 중간부의 지름보다 작은 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 밀폐 공간이, 적어도 중간부에서 후단부를 향해서 테이퍼되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
3. 방전관과,
   상기 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고,
   적어도 한쪽의 전극이, 요부를 형성하는 바닥이 있는 원통형 동체 부재와, 상기 요부에 끼워지는 돌출부를 형성하고, 상기 동체 부재와 접합되는 뚜껑 부재를 갖고,
   전열체가, 상기 동체 부재와 상기 뚜껑 부재와의 접합에 의해서 전극 내부에 형성된 통 모양의 밀폐 공간에 봉입되고,
   상기 밀폐 공간의 뚜껑 부재측 후단부에서의 지름이, 상기 밀폐 공간의 중간부의 지름보다 작고,
   상기 밀폐 공간의 지름이, 요부 저면측 선단부에서 후단부를 향해서 작아지는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 동체 부재의 두께가, 전극축 방향을 따라서 일정한 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
5. 방전관과,
   상기 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고,
   적어도 한쪽의 전극이, 요부를 형성하는 바닥이 있는 원통형 동체 부재와, 상기 요부에 끼워지는 돌출부를 형성하고, 상기 동체 부재와 접합되는 뚜껑 부재를 갖고,
   전열체가, 상기 동체 부재와 상기 뚜껑 부재와의 접합에 의해서 전극 내부에 형성된 통 모양의 밀폐 공간에 봉입되고,
   상기 밀폐 공간의 뚜껑 부재측 후단부에서의 지름이, 상기 밀폐 공간의 중간부의 지름보다 작고,
   상기 돌출부의 직경 DT와, 상기 돌출부에 대향하는 상기 동체 부재의 후단부 내경 GS가, DT/GS≥0.5를 만족하고, 또한, 상기 동체 부재의 후단부 내경 DM과 중간부 내경 DN이, DM/DN≥0.5를 만족하는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
6. 방전관과,
   상기 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고,
   적어도 한쪽의 전극이, 요부를 형성하는 바닥이 있는 원통형 동체 부재와, 상기 요부에 끼워지는 돌출부를 형성하고, 상기 동체 부재와 접합되는 뚜껑 부재를 갖고,
   전열체가, 상기 동체 부재와 상기 뚜껑 부재와의 접합에 의해서 전극 내부에 형성된 통 모양의 밀폐 공간에 봉입되고,
   상기 밀폐 공간의 뚜껑 부재측 후단부에서의 지름이, 상기 밀폐 공간의 중간부의 지름보다 작고,
   상기 밀폐 공간의 후단부에서, 돌기부가 요부 내면 둘레 방향을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 방전 램프.
   
7. 제1항 내지 제3항, 제5항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 돌출부가 기둥 모양이며,
   램프 소등 후, 상기 밀폐 공간의 후단부에서, 전열체가 요부 내면 둘레 방향을 따라서 환형으로 응고되는 것을 특징으로 하는 방전 램프.

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