KR102289956B1 - 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑 - Google Patents

Abstract

본 발명은 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 처리가스 원료를 만드는 공정에 사용되는 폐산을 중화 처리하는 과정에서 교반기에서 발생하는 흄가스를 대기 중으로 배출하기 않고 제거하기 위하여 개발된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑를 제공한다.
상기한 바에 따르면, 폐산을 중화처리를 하는 과정 중에 발생하는 흄 가스가 물과 결합하는 과정에서 세정탑에서 필터의 막힘이 없이 하부로 통과할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑를 제공할 수 있으며, 흄 가스에 포함된 오염물질을 제거하는데 사용된 물을 재활용할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑를 제공할 수 있다.

Description

폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑{WET CLEANING TOWER WITH IMPROVED CLEANING CAPACITY OF WASTE GAS}

본 발명은 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 처리가스 원료를 만드는 공정에 사용되는 폐산을 중화 처리하는 과정에서 교반기에서 발생하는 흄가스를 대기 중으로 배출하기 않고 제거하기 위하여 개발된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑에 관한 것이다.

반도체를 제조하는 공정에서는 불화수소, 사염화규소, 사염화티탄 등의 다양한 화학물질이 사용되며 사용된 화학물질 일명 폐산(waste acid, 廢酸)은 환경오염을 방지하기 위하여 종류에 따라 중화처리가 필수적으로 이루어져야 하며 상황에 따라 해당 공장이나 별도의 폐기물 처리전문업체를 통하여 처리되도록 한다.

이러한 폐산을 중화처리를 하는 과정 중에 교반작업을 하게 되면 흄 가스가 발생하게 되는데 일반적인 폐가스를 처리할 경우에는 세정탑으로 보내어 미세 입자로 분사되는 물과 혼합되어 하강하면 한단 이상의 필터에 의하여 걸러지는 것이 일반적이다.

하지만 si(규소 또는 실리카)성분이 포함된 일부폐산의 흄 가스는 물에 녹아 혼합되는 것이 아니라 배관벽면에 흡착되어 바로 고상화가 되거나 물과 결합하면 고체 상태가 되어 일반적인 필터로는 바로 필터가 막히기 때문에 사용이 불가능하거나 아주 짧은 필터 교체주기를 가지게 되는 단점이 발생하는 것이다.

또한, 물의 순환과정에서 세정탑의 물에 고상화가 된 덩어리들이 순환펌프와 배관에 붙어 굳어져 매관을 막아버려 기능을 못하게 하거나 점검이나 필터교체 등의 가동 중단 등의 사유로 물이 증발하면 가루화되어 물을 순환 재사용하는 과정에서 배관이나 특히 물을 분사하는 노즐을 막는 경우가 발생하게 된다.

이에 필터 이외에 물 속에서 떠돌고 있거나 침전되어 있는 물과 흄가스로 인한 고상물질을 처리할 수 있도록 하고 사용된 물은 다시 재활용하여 사용할 수 있는 방안이 필요한 상황이다.

따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 방법이 필요하게 되었다.

대한민국공개특허 제10-2004-0051406호 (2004년06월18일) 대한민국특허등록 제10-1989986-0000호 (2019년06월11일)

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 더욱 상세하게는 폐산을 중화처리를 하는 과정 중에 발생하는 흄 가스가 물과 결합하는 과정에서 세정탑에서 필터의 막힘이 없이 하부로 통과할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 흄 가스에 포함된 오염물질을 제거하는데 사용된 물을 재활용할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 바람직한 일실시예에 따르면, 수직 입설되어 바닥면은 막혀 있고 상부에 형성되는 공기가 배출되는 배출관과, 하단과 상부로 이격되어 폐산의 중화처리과정에서 발생하는 흄가스가 유입되는 유입관을 구비하는 세정탑 본체와; 상기 세정탑 본체의 내측 하부에 물이 고이도록 하는 수조와; 유입관을 통해 유입되는 흄가스 및 오염물질을 제거하는 제1 필터부와; 상기 제1 필터부의 상부에 상호 이격되도록 형성되어 제1 필터부에서 제거되지 못한 흄가스 및 오염물질을 제거하는 제2 필터부;와 제1, 2 필터부에 의해 형성되는 고상물질 중 물을 탈수시키기 위한 탈수장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일실시예에 따르면, 상기 제1 필터부는 상기 세정탑 본체의 유입관과 인접한 내측에 장착되는 제1 메쉬망과, 상기 제1 메쉬망의 위로에 적층되는 다수의 플라스틱 공과, 상기 플라스틱 공과 이격된 상부에서 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수 개의 제1 노즐로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일실시예에 따르면, 상기 제2 필터부는 제1 필터부의 상부로 이격되어 내측에 장착되는 제2 메쉬망과, 상기 제2 메쉬망의 위에 적층되는 다수의 플라스틱 공과, 상기 플라스틱 공과 이격된 상부에서 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수 개의 제2 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 일실시예에 따르면, 상기 탈수장치는 상기 세정탑 본체에 밀착 설치되고 수조에 고여 있는 물과 고상물질을 분리하되, 상기 고상물질에 포함된 물은 펌프를 거쳐 제1, 2 노즐로 이송되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일실시예에 따르면, 상기 제1, 2 필터부는 제1, 2 노즐과 다른 경로로 공급된 물을 플라스틱 공 방향으로 경사지게 고압을 물을 분사하는 각각 복수 개의 제1, 2 고압세척노즐이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일실시예에 따르면, 상기 제1, 2 메쉬망의 상면에는 중심에서 방사형으로 돌출 연장되는 복수 개의 교반돌기를 구비하고, 제1 메쉬망의 상면 중심과 제2 메쉬망의 저면 중심을 연결하는 연결축을 구비하여 내부에서 제1, 2 메쉬망이 회전하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일실시예에 따르면, 플라스틱 공과 제1, 2 메쉬망에 고상물질이 일정량 이상 묻으면 흄 가스 공급을 중지하고 제1, 2 고압세척노즐을 통해 고압의 물을 분사하여 플라스틱 공과 제1, 2 메쉬망에 부착된 고상물질을 분리 낙하시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일실시예에 따르면, 상기 세정탑 본체는 세정탑 본체의 외측에 설치되며 제2 필터부에 연결되는 모터를 더 포함하되, 상기 제2 필터부에 연결된 모터는 제2 메쉬망을 회전시켜 플라스틱 공에 부착된 고상물질을 분리 낙하시키는 것을 특징으로 한다.

한편 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 함으로써 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.

본 발명은 폐산을 중화처리를 하는 과정 중에 발생하는 흄 가스가 물과 결합하는 과정에서 세정탑에서 필터의 막힘이 없이 하부로 통과할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑을 제공할 수 있다.

또한, 흄 가스에 포함된 오염물질을 제거하는데 사용된 물을 재활용할 수 있도록 구성된 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 탈수된 고상물질을 나타낸 사진.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 제2 탈수장치를 나타낸 개념도.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 탈수된 고상물질을 나타낸 사진이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도이며, 도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도이며, 도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 제2 탈수장치를 나타낸 개념도이다.

이에 본 발명의 구성을 첨부된 도면에 의하여 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 탈수된 고상물질을 나타낸 사진으로서, 수직 입설되어 바닥면은 막혀 있고 상부에 형성되는 공기가 배출되는 배출관(111)과, 하단과 상부로 이격되어 폐산의 중화처리과정에서 발생하는 흄가스가 유입되는 유입관(112)을 구비하는 세정탑 본체(11)와; 상기 세정탑 본체(11)의 내측 하부에 물이 고이도록 하는 수조(12)와; 상기 세정탑 본체(11)의 유입관(112)과 인접한 내측에 장착되는 제1 메쉬망(131)과, 상기 제1 메쉬망(131)의 위로 적층되는 다수의 플라스틱 공(132)과, 상기 플라스틱 공(132)과 이격된 상부에서 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수 개의 제1 노즐(133)로 이루어지는 제1 필터부(13)와; 상기 제1 필터부(13)의 상부로 이격되어 내측에 장착되는 제2 메쉬망(141)과, 상기 제2 메쉬망(141)의 위로 적층되는 다수의 플라스틱 공(142)과, 상기 플라스틱 공(142)과 이격된 상부에서 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수 개의 제2 노즐(143)로 이루어지는 제2 필터부(14)와; 상기 세정탑 본체(11)에 밀착되어 상기 수조(12)에 고여 있는 물과 흄가스가 혼합되어 형성되는 고상물질이 유입되도록 하고, 물은 탈수하여 펌프(151)를 거쳐 제1, 2 노즐(133, 143)로 보내고 고상물질은 별로로 배출하도록 하는 탈수장치(15)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑(1)를 나타내었다.

본원은 기본적으로 다양한 분야에서 사용되는 세정탑이나 습식정화 혹은 처리장치와 기본 구조는 거의 유사하다고 할 수 있지만 특정 반도체 생산 공정에서 발생하는 흄 가스에서는 몰과 결합하면 단단하지는 않지만 고상물질이 발생하여 이러한 고상물질은 일반적인 필터의 적용이 불가능하여 본원만의 제1, 2 필터부(13, 14)를 제시한 것이다.

한편, 상기 수조(12)에 담긴 물은 탈수장치(15)의 벽에 형성된 턱 또는 별도의 구멍을 통과하여 탈수장치(15)로 이동될 수 있다. 이는 수조(12)에 저장되는 물이 일정량 이상의 수위를 가지게 되는 경우 이동시키기 위한 것으로, 물보다 무거운 비중을 가지는 고상물질이 아래로 침전되어 탈수장치(15)로 유입되지 않도록 하기 위함이다.

한편, 물의 재활용을 위하여 고상물질은 탈수장치(15)에 의하여 분리하도록 하며 이때 탈수장치(15)는 조밀한 채에서 자동을 떨어지거나 가압하여 물을 분리하거나 또는 회전시켜 원심력에 의하여 분리하는 다양한 방법을 사용할 수 있다.

탈수장치(15)에 조밀한 채가 설치되어 물과 고상물질을 분리하는 경우, 탈수장치로 유입된 고상물질은 조밀한 채에 걸러지고, 고상물질이 제거된 물은 아래로 낙하하여 펌프(151)로 유입된다.

가령, 탈수장치(15)에 원심분리기가 설치된 경우, 고상물질은 원심분리기의 원심력에 의해 벽 쪽으로 이동된다. 여기서, 원심분리기의 벽에는 복수개의 구멍이 형성되어 고상물질이 제거된 물이 외부로 이동된다.

또한 본원의 플라스틱 공(134, 144)은 명칭 그대로 합성수지를 이용하여 비교적 가벼우면서 지름의 2배 이상의 두께로 적층시키도록 하여 제1, 2 노즐(133, 143)에서 분사되는 미스트와 같은 미세 물방울에 표면이 젖어 있을 때 흄 가스가 상승하면서 달라붙도록 하는 것이며 그렇지 않은 것도 공기 중의 미세 물방울과 결합되도록 하여 낙하시는 것이다.

이에 일부는 제1, 2 필터부(13, 14)에 붙어 있고 일부는 낙하하여 수조에 고상물질이 존재하는 형태가 되며 탈수장치(15)로 이동하기 위한 경사면이나 호퍼 형상을 제안함이 바람직하고 그 통로를 개방식이나 개폐식으로 구성할 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도로서, 상기 제1, 2 필터부(13, 14)는 제1, 2 노즐(133, 143)과 다른 경로로 공급된 물을 플라스틱 공(132, 142) 방향으로 경사지게 고압을 물을 분사하는 각각 복수 개의 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)을 추가로 구비함을 특징으로 하는 실시예를 나타내었다.

상기 실시 예는 부산물 처리장치(1)를 계속 가동하다보면 상기 제1, 2 필터부(13, 14)에 묻은 고상물질이 한계치에 이르게 되어 정화효율이 떨어지게 되며 가동을 중단하고 이를 교체의 방법이 아닌 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)의 강한 수압에 의하여 플라스틱 공(132, 142)은 비산 또는 교반하면서 또 제1, 2 메쉬망(131)에 묻은 고상물질을 털어낼 수 있을 것이다.

이에 상기 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)의 수와 각도 그리고 분사형태를 가장 효과적이며 짧은 시간에 이루어질 수 있도록 설정하면 더욱 효율적일 것이다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 부산물 처리장치를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 필터부 세척과정을 나타낸 개념도로서, 상기 제1, 2 메쉬망(131, 141)의 상면에는 중심에서 방사형으로 돌출 연장되는 복수 개의 교반돌기(135)를 구비하고, 제1 메쉬망(131)의 상면 중심과 제2 메쉬망(141)의 저면 중심을 연결하는 연결축(136)을 구비하여 내부에서 제1, 2 메쉬망(131, 141)이 회전하도록 구성되며; 상기 플라스틱 공(132, 142)과 제1 메쉬망(131) 및 제2 메쉬망(141)에 고상물질이 일정량 이상 묻으면 흄 가스 공급을 중지하고 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)으로 고압의 물을 분사하면서 제1, 2 메쉬망(131, 141)이 회전하면서 고상물질이 분리 낙하하도록 세정탑 본체(11)의 외측에 장착된 모터(137)를 구동하여 제1 또는 제2 메쉬망(131, 141)를 회전시키도록 구성됨을 특징으로 하는 실시 예를 나타내었다.

여기서, 상기 제1, 2 메쉬망(131, 141)은 연결축(136)에 의해 상호 연결되어 있으므로, 제2 메쉬망(141)이 모터(137)에 의해 회전될 때 제1 메쉬망(131)도 같이 회전될 수 있다.

다시 말해, 제1, 2 메쉬망(131, 141)과 플라스틱 공(132, 142)에 부착된 고상물질은 상기 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)에 의해 분리되는 효과가 있다.

또한, 상기 제1, 2 메쉬망(131, 141)은 모터(137)에 의해 회전되고, 상기 제1, 2 메쉬망(131, 141)의 상부에 안착된 플라스틱 공(132, 142)은 회전되면서 외측면에 부착된 고상물질이 쉽게 분리되는 효과가 있다.

상기 실시 예는 상기 플라스틱 공(132, 142)은 비산 또는 교반하면서 보다 효과적으로 고상물질이 분리될 수 있도록 하는 것으로 회전하는 구조를 제시한 것이다.

한편, 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제2 탈수장치를 나타낸 개념도이다.

본 발명에 따른 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑은 수조(12)의 하측부에 수직방향으로 형성되어 고상물질이 유입되는 제2 탈수장치(15a)가 더 포함된다.

상기 제2 탈수장치(15a)의 내측에는 고속으로 회전하는 모터가 포함되어 상기 고상물질에 포함된 남은 물을 원심력으로 분리하여 탈수시키게 된다. 여기서, 도 7에 기재된 상기 제2 탈수장치(15a)는 제2 펌프(151a)를 통해 탈수장치(15)로 유입되는 것으로 도시되어 있으나, 제2 탈수장치에 설치된 제2 펌프(151a)가 제1, 2 노즐(133, 143) 또는 펌프(151)에 연결되어 물을 공급하도록 구성될 수도 있다.

즉, 수조(12)에는 물과 흄가스가 혼합되어 수조의 하측면에 형성되는 고상물질과 상기 고상물질의 위에 부상되는 물을 포함하여 구성된다. 여기서, 상부에 부상되는 물은 수조의 턱 또는 별도로 형성된 구멍을 통해 탈수장치(15)로 이동되는데, 물에 잔존하는 고상물질은 조밀한 채 또는 원심분리기에 의해 걸러지고 고상물질이 제거된 물은 펌프(151)를 통해 제1, 2 노즐로 운송된다.

한편, 상기 수조의 하측면에 가라앉은 고상물질은 제2 탈수장치(15a)로 이송되어 원심력에 의한 탈수가 진행되는 것이다.

즉, 흄가스를 제거하기 위해 사용한 물을 탈수장치와 제2 탈수장치를 통해 탈수하고 펌프를 통해 회수하여 물의 재활용이 가능하게 된다. 이에 따라 오염된 물을 외부로 방출하지 않고 내부에서 반복적으로 순환 및 재활용함으로써 물이 낭비되는 것을 방지할 수 있게 된다.

한편, 물이 제거된 고상물질은 작업자가 별도의 수거 과정을 거쳐 제거한다.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

한편 본 명세서에 개시된 기술에 관한 설명은 단지 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 개시된 기술에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.

또한 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. “제1”, “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소로 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

나아가 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 “연결되어”있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 “직접 연결되어”있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 “~사이에”와 “~사이에” 또는 “~에 이웃하는”과 “~에 직접 이웃하는” 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, “포함하다”또는 “가지다” 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

1 : 부산물 처리장치 11 : 세정탑 본체
111 : 배출관 112 : 유입관
12 : 수조 13 : 제1 필터부
131 : 제1 메쉬망 132 : 플라스틱 공
133 : 제1 노즐 134 : 제1 고압세척노즐
135 : 교반돌기 136 : 연결축
136 : 모터 14 : 제2 필터부
141 : 제2 메쉬망 142 : 플라스틱 공
143 : 제2 노즐 144 : 제2 고압세척노즐
15 : 탈수장치 151 : 펌프

Claims (5)

1. 수직 입설되며, 바닥면은 막혀있고, 상부에 형성되어 공기가 배출되는 배출관(111)과, 하단과 상부로 이격되어 폐산의 중화처리과정에서 발생하는 흄 가스가 유입되는 유입관(112)로 구성되는 세정탑 본체(11);
   세정탑 본체(11)의 내측 하부에 물이 고이는 수조(12);
   세정탑 본체(11)의 유입관(112)과 인접한 내측에 장착되는 제1 메쉬망(131)과, 제1 메쉬망(131)의 위로 적층되는 다수의 플라스틱 공(132)과, 플라스틱 공(132)과 이격된 상부에 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수개의 제1 노즐(133)과, 제1 노즐(133)과 다른 경로로 공급된 물을 플라스틱 공(132) 방향으로 경사지게 고압의 물을 분사하는 복수개의 제1 고압세척노즐(134)로 구성되는 제1 필터부(13);
   제1 필터부(13)의 상부로 이격되어 내측에 장착되는 제2 메쉬망(141)과, 제2 메쉬망(141)의 위로 적층되는 다수의 플라스틱 공(142)과, 플라스틱 공(142)과 이격된 상부에서 하부로 물을 미세입자로 분사하는 복수개의 제2 노즐(143)과, 제2 노즐(143)과 다른 경로로 공급된 물을 플라스틱 공(142) 방향으로 경사지게 고압의 물을 분사하는 복수개의 제2 고압세척노즐(144)로 구성되는 제2 필터부(14);
   세정탑 본체(11)에 밀착되어 수조(12)에 고인 물과 흄 가스가 혼합된 고상물질이 유입되며, 물을 탈수하여 펌프(151)를 거쳐 제1, 2 노즐(133, 143)로 공급하고 고상물질은 별도로 배출하는 탈수장치(15);를 포함하며,
   상기 제1, 2 메쉬망(131, 141)은
   상면이 중심에서 방사형으로 돌출 연장되는 복수개의 교반돌기(135)와, 제1 메쉬망(131)의 상면 중심과 제2 메쉬망(141)의 저면 중심을 연결하는 연결축(136)에 의해 제1, 2 메쉬망(131, 141)이 함께 회전하도록 구성되며,
   플라스틱 공(132, 142)과 제1, 2 메쉬망(131, 141)에 고상물질이 일정량 이상 묻으면, 흄 가스 공급을 중지하고 제1, 2 고압세척노즐(134, 144)이 고압의 물을 분사하며, 세정탑 본체(11)의 외측에 장착된 모터(137)의 구동에 의해 제1, 2 메쉬망(131, 141)이 회전하면서 고상물질이 분리 낙하하도록 구성되되,
   연결축(136)에 의해 상호 연결되는 제1, 2 메쉬망(131, 141)은 제2 메쉬망(141)이 모터(137)의 구동에 의해 회전될 때, 제1 메쉬망(131)이 함께 연동되어 회전되는 것을 특징으로 하는 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 플라스틱 공(132, 142)은
   합성수지로 구성되며, 지름의 2배 이상의 두께로 적층되는 것을 특징으로 하는 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 수조(12)의 하측부에 수직방향으로 형성되어 고상물질이 유입되며, 유입된 고상물질로부터 물을 탈수 및 재활용하는 제2 탈수장치(15a)를 더 포함하며,
   상기 제2 탈수장치(15a)에 의해 탈수된 물은
   제2 펌프(151a)를 통하여 탈수장치(15)로 이동되거나,
   또는 펌프(151)를 통하여 제1, 2 노즐(133, 143)로 운송되어 공급되는 것을 특징으로 하는 폐가스 정화능력이 향상된 습식 세정탑.
   
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