KR102288004B1 - Flexible copper-clad laminate and flexible circuit substrate - Google Patents

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KR102288004B1
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신지 오이카와
가즈아키 가네코
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 고밀도 배선을 형성하는 데에 적합한 구리박층을 갖고, 단속적인 반복 슬라이딩에 견딜 수 있으며, 좁은 케이스 내에서도 배선 회로의 단선이나 균열을 방지할 수 있는 우수한 내절곡성을 갖는 플렉시블 구리 피복 적층판 및 플렉시블 회로 기판을 제공한다.
(해결 수단) 플렉시블 구리 피복 적층판은, 폴리이미드 절연층 (A) 과, 제 1 구리박층 (B1) 과, 제 2 구리박층 (B2) 을 구비하고, 제 1 구리박층 (B1) 은, 두께 (T1) 가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 이 두께 (T1) 와, 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경 (D1) 의 관계에 있어서 (T1) × (D1) ≤ 100 μ㎡ 인 구리박으로 이루어지고, 제 2 구리박층 (B2) 은, 두께가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 인장 탄성률이 10 ∼ 25 ㎬ 의 범위 내이고, 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경이 40 ∼ 70 ㎛ 의 범위 내이고, X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면의 회절 강도 (Io) 의 비 (I/Io) 가 12 ∼ 30 의 범위 내인 구리박으로 이루어진다.
(Problem) Flexible copper clad laminate and flexible having a copper foil layer suitable for forming high-density wiring, withstanding intermittent and repeated sliding, and having excellent bending resistance that can prevent disconnection or cracking of wiring circuits even in a narrow case A circuit board is provided.
(Solution) A flexible copper clad laminate is provided with a polyimide insulating layer (A), a first copper foil layer (B1), and a second copper foil layer (B2), and the first copper foil layer (B1) has a thickness ( T1) is in the range of 5 to 20 µm, and in the relationship between this thickness (T1) and the average grain size (D1) in the cross section in the thickness direction, (T1) × (D1) ≤ 100 µm The second copper foil layer (B2) has a thickness in a range of 5 to 20 µm, a tensile modulus in a range of 10 to 25 GPa, and an average crystal grain size in a cross section in the thickness direction of 40 to 70 The ratio (I/Io) of the diffraction intensity (I) of the (200) plane determined by X-ray diffraction and the diffraction intensity (Io) of the (220) plane determined by X-ray diffraction of fine powder copper within the range of μm (I/Io) is It consists of copper foil in the range of 12-30.

Description

플렉시블 구리 피복 적층판 및 플렉시블 회로 기판{FLEXIBLE COPPER-CLAD LAMINATE AND FLEXIBLE CIRCUIT SUBSTRATE}Flexible copper clad laminate and flexible circuit board

본 발명은, 플렉시블 회로 기판 (FPC) 에 사용되는 플렉시블 구리 피복 적층판 및 당해 플렉시블 구리 피복 적층판을 재료로서 사용한 플렉시블 회로 기판에 관한 것이다.This invention relates to the flexible copper clad laminated board used for a flexible circuit board (FPC), and the flexible circuit board which used the said flexible copper clad laminated board as a material.

최근, 휴대 전화, 노트북 컴퓨터, 디지털 카메라, 게임기 등으로 대표되는 전자 기기는, 소형화, 박형화, 경량화가 급속히 진행되고, 이들에 사용되는 재료에 대해, 작은 스페이스에 있어서도 부품을 수납할 수 있는 고밀도이고 고성능인 재료가 요망되게 되었다. 플렉시블 회로 기판에 있어서도, 스마트폰 등의 고성능 소형 전자 기기의 보급에 수반하여, 부품 수납의 고밀도화가 진전했기 때문에, 지금까지 이상으로 보다 좁은 케이스 내에 플렉시블 회로 기판을 수납할 필요가 있다. 그 때문에, 플렉시블 회로 기판의 재료인 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서도 재료면으로부터의 내절곡성의 향상이 요구되고 있다. 이하에, 본 명세서에서는, FPC 의 상면측이 대략 180 ℃ 반전하여 하면측이 되도록 절곡하는 것을 「폴딩」 이라고 부르는 경우가 있다.In recent years, electronic devices represented by mobile phones, notebook computers, digital cameras, game machines, etc. have been rapidly reduced in size, thickness, and weight, and materials used for these devices have a high density that can accommodate parts even in a small space. A high-performance material has come to be desired. Also in a flexible circuit board, since high-density of component storage has progressed with the spread of high-performance small electronic devices, such as a smart phone, it is necessary to accommodate a flexible circuit board in the case narrower than before. Therefore, also in the flexible copper clad laminated board which is a material of a flexible circuit board, the improvement of the bending resistance from a material surface is calculated|required. Hereinafter, in this specification, bending so that the upper surface side of FPC may be inverted by 180 degreeC and may become a lower surface side may be called "folding".

이와 같은 용도에 대한 적용을 의도한 것으로서, 특허문헌 1 에서는, 플렉시블 구리 피복 적층판에 사용하는 폴리이미드 베이스 필름이나 커버 필름의 탄성률을 제어함으로써, 플렉시블 회로 기판 토탈의 스티프니스성을 저감시킴으로써, 내절곡성을 향상시킨다는 기술이 제안되어 있다. 그러나, 폴리이미드나 커버 필름의 특성의 제어만으로는 전자 기기 내에 절첩하여 수납한다는 엄격한 굴곡 모드에 대해서는 불충분하여, 충분한 내절곡성이 우수한 플렉시블 회로 기판에 사용할 수 있는 플렉시블 구리 피복 적층판을 제공할 수 없다.By controlling the elastic modulus of the polyimide base film and cover film used for a flexible copper clad laminated board, in patent document 1 as what is intended application to such a use, by reducing the stiffness of the flexible circuit board total, bending resistance A technique to improve it has been proposed. However, control of the properties of polyimide or cover film alone is insufficient for a strict bending mode of folding and storing in an electronic device, and a flexible copper clad laminate that can be used for a flexible circuit board excellent in sufficient bending resistance cannot be provided.

또, 특허문헌 2 에서는, 전자 기기 내에 대한 고밀도화의 관점에서, 구리박측으로부터의 어프로치로서, 구리박의 결정 입경 사이즈에 주목하여, 내스프링백성을 억제한 열처리용 구리박이 제안되고 있다. 이 제안은, 구리박 중에 여러 가지 적절한 첨가제를 넣은 압연 구리박을 사용하여, 결정립의 비대화에 충분한 열량을 가함으로써 결정 입경을 크게 성장시키고, 그 결과, 구리박의 내스프링백성을 개량하려는 기술이다.Moreover, in patent document 2, the copper foil for heat processing which paid attention to the crystal grain size of copper foil as an approach from the copper foil side from a viewpoint of densification with respect to the inside of an electronic device, and suppressed springback resistance is proposed. This proposal is a technique for using a rolled copper foil containing various appropriate additives in the copper foil, applying a sufficient amount of heat to enlarge the crystal grains, thereby increasing the crystal grain size, and as a result, improving the springback resistance of the copper foil. .

그러나, 스마트폰으로 대표되는 소형 전자 기기에 대해서는, 추가적인 고밀도화가 요청되고 있어, 상기 종래 기술만으로는 그 요청에 부응하는 것이 어렵다.However, with respect to a small electronic device represented by a smart phone, additional high density is requested, and it is difficult to meet the request with the above-mentioned prior art alone.

고밀도 배선의 플렉시블 회로 기판을 얻는 수단으로서, 재료로서 사용하는 플렉시블 금속 피복 적층판의 금속층의 박육화가 유효한 것은 일반적으로 알려져 있으며, 폴리이미드 필름 상에 스퍼터링법이나 전해 도금법 등에 의해 얇은 금속층을 형성하는 기술이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 3 참조). 그러나, 금속층을 얇게 한다는 어프로치만으로는, 설계에 제약을 받게 되는 등의 이유에 의해 한계가 있다.As a means of obtaining a flexible circuit board for high-density wiring, it is generally known that the thickness reduction of the metal layer of a flexible metal-clad laminate used as a material is effective, and a technique of forming a thin metal layer on a polyimide film by sputtering or electrolytic plating It is proposed (for example, refer patent document 3). However, only the approach of thinning the metal layer is limited due to reasons such as limiting the design.

일본 공개특허공보 2007-208087호Japanese Patent Laid-Open No. 2007-208087 일본 공개특허공보 2010-280191호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2010-280191 일본 공개특허공보 평11-268183호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 11-268183

본 발명은 상기의 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 고밀도 배선을 형성하는 데에 적합한 구리박층을 가질 뿐만 아니라, 단속적인 반복 슬라이딩에 견딜 수 있고, 또한 좁은 케이스 내에서도 배선 회로의 단선이나 균열을 방지할 수 있는 우수한 내절곡성을 갖는 플렉시블 구리 피복 적층판, 및 플렉시블 회로 기판을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and the object thereof is not only to have a copper foil layer suitable for forming high-density wiring, but also to withstand intermittent and repeated sliding, and also to break or crack the wiring circuit even in a narrow case. To provide a flexible copper clad laminate having excellent bending resistance, and a flexible circuit board that can prevent

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 검토를 실시한 결과, 구리박 및 폴리이미드 필름이 적층된 플렉시블 구리 피복 적층판의 폴딩 과정의 탄소성 변형의 특성에 주목함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있는 플렉시블 구리 피복 적층판을 제공할 수 있는 것을 알아내어 본 발명을 완성하였다.As a result of earnest examination by the present inventors in order to solve the said subject, by paying attention to the characteristic of elastoplastic deformation in the folding process of the flexible copper clad laminated board in which copper foil and polyimide film were laminated|stacked, flexible copper coating which can solve the said subject The present invention has been completed by finding out that a laminate can be provided.

본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 폴리이미드 절연층 (A) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 일방의 면에 형성된 제 1 구리박층 (B1) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 다른 일방의 면에 형성된 제 2 구리박층 (B2) 을 구비하고 있다. 본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 이하의 a 및 b 의 구성 :The flexible copper clad laminate of the present invention comprises a polyimide insulating layer (A), a first copper foil layer (B1) formed on one surface of the polyimide insulating layer (A), and the polyimide insulating layer (A). It is provided with the 2nd copper foil layer B2 formed in the other surface. The flexible copper clad laminate of the present invention is composed of the following a and b:

a) 제 1 구리박층 (B1) 은, 두께 (T1) 가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 이 두께 (T1) 와, 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경 (D1) 의 관계에 있어서, (T1) × (D1) ≤ 100 μ㎡ 인 구리박으로 이루어지는 것 ;a) The first copper foil layer (B1) has a thickness (T1) in the range of 5 to 20 µm, and in the relationship between the thickness (T1) and the average grain size (D1) in the cross section in the thickness direction, (T1) × (D1) ≤ 100 µm 2 composed of a copper foil;

b) 제 2 구리박층 (B2) 은, 두께가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 인장 탄성률이 10 ∼ 25 ㎬ 의 범위 내이고, 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경이 40 ∼ 70 ㎛ 의 범위 내이고, X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면의 회절 강도 (Io) 의 비 (I/Io) 가 12 ∼ 30 의 범위 내인 구리박으로 이루어지는 것 ;b) The thickness of the second copper foil layer (B2) is in the range of 5 to 20 µm, the tensile modulus is in the range of 10 to 25 GPa, and the average grain size in the cross section in the thickness direction is 40 to 70 µm. The ratio (I/Io) of the diffraction intensity (I) of the (200) plane determined by X-ray diffraction to the diffraction intensity (Io) of the (220) plane determined by X-ray diffraction of fine powder copper is 12 to What consists of copper foil in the range of 30;

을 구비한다.to provide

본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 추가로 c 의 구성 ;The flexible copper clad laminated board of this invention is further the structure of c;

c) 상기 폴리이미드 절연층 (A) 은, 두께가 7 ∼ 17 ㎛ 의 범위 내이고, 25 ℃ 에 있어서의 인장 탄성률이 2 ∼ 9 ㎬ 의 범위 내인 것 ;c) Thickness exists in the range of 7-17 micrometers, and the said polyimide insulating layer (A) exists in the range whose tensile elasticity modulus in 25 degreeC is 2-9 GPa;

을 구비하고 있어도 된다.may be provided.

본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 추가로 d 의 구성 ;The flexible copper clad laminated board of this invention is further the structure of d;

d) 상기 폴리이미드 절연층 (A) 과 상기 제 2 구리박층 (B2) 의 두께의 비 [제 2 구리박층 (B2) 의 두께/폴리이미드 절연층 (A) 의 두께] 가 0.48 ∼ 2.4 의 범위 내인 것 ;d) the ratio of the thickness of the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2) [thickness of the second copper foil layer (B2)/thickness of the polyimide insulating layer (A)] is in the range of 0.48 to 2.4 what is mine;

을 구비하고 있어도 된다.may be provided.

본 발명의 플렉시블 회로 기판은, 상기 어느 하나에 기재된 플렉시블 구리 피복 적층판의 제 2 구리박층 (B2) 을 이용하여, 배선 회로의 적어도 일부를 굴곡부에 사용한다.The flexible circuit board of this invention uses the 2nd copper foil layer (B2) of the flexible copper clad laminated board in any one of the above, and uses at least one part of a wiring circuit for a bending part.

본 발명의 플렉시블 회로 기판은, 적어도 굴곡부에 상당하는 위치의 제 1 구리박층 (B1) 이 제거되어 있어도 된다.As for the flexible circuit board of this invention, the 1st copper foil layer (B1) of the position corresponded to a bending part at least may be removed.

본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 배선 기판에 요구되는 높은 내절곡성을 발현할 수 있는 점에서, 전자 기기 내에 절곡한 상태에서의 접속 신뢰성이 우수한 플렉시블 회로 기판용 재료를 제공할 수 있다. 따라서, 본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 특히, 스마트폰 등의 소형 액정 둘레의 절곡 부분 등의 내절곡성이 요구되는 전자 부품에 바람직하게 사용된다. 또, 본 발명의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 배선 기판에 요구되는 단속적인 반복 슬라이딩에 견딜 수 있는 성능과, 고밀도 배선을 형성하는 데에 유리한 구리박층을 가지고 있으므로, 하드 디스크 드라이브에 있어서의 리드 라이트 케이블용의 플렉시블 회로 기판용 재료로서도 바람직하게 사용된다.Since the flexible copper clad laminated board of this invention can express the high bending resistance calculated|required for a wiring board, it can provide the material for flexible circuit boards excellent in the connection reliability in the state bent in an electronic device. Therefore, the flexible copper clad laminated board of this invention is used especially suitably for electronic components, such as a bending part around small liquid crystals, such as a smart phone, which bending resistance is calculated|required. Moreover, since the flexible copper clad laminated board of this invention has the performance which can withstand the intermittent repeated sliding required for a wiring board, and a copper foil layer advantageous for forming high-density wiring, the lead-light cable in a hard disk drive It is also preferably used as a material for a flexible circuit board for a dragon.

도 1 은 플렉시블 구리 피복 적층판의 제 1 구리박층을 부분적으로 제거하여 얻은 플렉시블 회로 기판의 단면 설명도 (일부) 이다.
도 2 는 실시예에서 사용한 시험 회로 기판편의 구리 배선의 상태를 나타내는 평면 설명도이다.
도 3 은 절곡 시험에서의 시료 스테이지와 시험 회로 기판편의 상태를 나타내는 측면 설명도이다 (시료 스테이지 상에 시험 회로 기판편을 고정시킨 상태도).
도 4 는 절곡 시험에서의 시료 스테이지와 시험 회로 기판편의 상태를 나타내는 측면 설명도이다 (시험 회로 기판편의 절곡 지점을 롤러로 누르기 전의 상태도).
도 5 는 절곡 시험에서의 시료 스테이지와 시험 회로 기판편의 상태를 나타내는 측면 설명도이다 (시험 회로 기판편의 절곡 지점을 롤러로 누른 상태도).
도 6 은 절곡 시험에서의 시료 스테이지와 시험 회로 기판편의 상태를 나타내는 측면 설명도이다 (절곡 지점을 개방하여 시험편을 평평한 상태로 되돌린 상태도).
도 7 은 절곡 시험에서의 시료 스테이지와 시험 회로 기판편의 상태를 나타내는 측면 설명도이다 (절곡 지점의 접힌 자국 부분을 롤러로 눌러 고르게 하는 상태도).
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional explanatory drawing (part) of the flexible circuit board obtained by partially removing the 1st copper foil layer of a flexible copper clad laminated board.
It is a planar explanatory drawing which shows the state of the copper wiring of the test circuit board piece used in the Example.
It is a side explanatory drawing which shows the state of the sample stage and test circuit board piece in a bending test (state diagram which fixed the test circuit board piece on the sample stage).
It is a side explanatory drawing which shows the state of the sample stage in a bending test, and a test circuit board piece (state diagram before pressing the bending point of a test circuit board piece with a roller).
It is a side explanatory drawing which shows the state of the sample stage in a bending test, and a test circuit board piece (state diagram which pressed the bending point of a test circuit board piece with a roller).
Fig. 6 is a side explanatory view showing the state of a sample stage and a test circuit board piece in a bending test (a state diagram in which a bending point is opened and the test piece is returned to a flat state);
Fig. 7 is a side explanatory view showing the state of a sample stage and a test circuit board piece in a bending test (a state diagram in which a fold portion at a bending point is pressed with a roller to even out).

발명을 실시하기 위한 형태form for carrying out the invention

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described.

<플렉시블 구리 피복 적층판><Flexible Copper Clad Laminate>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 폴리이미드 절연층 (A) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 일방의 면에 형성된 제 1 구리박층 (B1) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 다른 일방의 면에 형성된 제 2 구리박층 (B2) 으로 구성된다. 이 플렉시블 구리 피복 적층판은, 제 1 구리박층 (B1) 과 제 2 구리박층 (B2) 을 에칭하거나 하여 배선 회로 가공하여 구리 배선을 형성하여, 플렉시블 회로 기판으로서 사용된다. 이 경우에는, 제 1 구리박층 (B1) 을 고밀도 배선의 구리 배선으로서 형성하고, 제 2 구리박층 (B2) 을 절곡 부위에 해당하는 구리 배선으로서 형성하는 것이 유리하다.The flexible copper clad laminate of this embodiment is a polyimide insulating layer (A), the 1st copper foil layer (B1) formed in one surface of this polyimide insulating layer (A), This polyimide insulating layer (A) and a second copper foil layer (B2) formed on the other surface of the . This flexible copper clad laminated board etches a 1st copper foil layer (B1) and a 2nd copper foil layer (B2), a wiring circuit process is carried out, copper wiring is formed, and it is used as a flexible circuit board. In this case, it is advantageous to form the first copper foil layer (B1) as a copper wiring of high-density wiring, and to form the second copper foil layer (B2) as a copper wiring corresponding to the bent portion.

<구리박><Copper foil>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서, 제 1 구리박층 (B1) 의 두께 (T1) 는 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 바람직하게는 6 ∼ 19 ㎛ 의 범위 내가 좋다. 제 1 구리박층 (B1) 의 두께 (T1) 가 5 ㎛ 에 미치지 않으면, 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조시, 예를 들어, 제 1 구리박층 (B1) 상에 폴리이미드 절연층 (A) 을 형성하는 공정에 있어서 제 1 구리박층 (B1) 자체의 강성이 저하되고, 그 결과, 플렉시블 구리 피복 적층판 상에 주름 등이 발생하는 문제가 생긴다. 또, 제 1 구리박층 (B1) 의 두께 (T1) 가 20 ㎛ 를 초과하면, 에칭액에 의한 에칭으로 형성된 구리 배선의 늘어짐량이 커짐으로써, 인접하는 배선 사이에서의 절연 불량이 발생하여, 배선 회로의 미세화가 곤란해지는 경향이 된다.The flexible copper clad laminate of this embodiment WHEREIN: The thickness T1 of the 1st copper foil layer (B1) exists in the range of 5-20 micrometers, Preferably the inside of the range of 6-19 micrometers is good. When the thickness (T1) of the first copper foil layer (B1) is less than 5 μm, for example, in the production of a flexible copper clad laminate, a polyimide insulating layer (A) is formed on the first copper foil layer (B1) A process WHEREIN: The rigidity of 1st copper foil layer (B1) itself falls, As a result, the problem which wrinkles etc. generate|occur|produce on a flexible copper clad laminated board arises. Further, when the thickness T1 of the first copper foil layer B1 exceeds 20 µm, the amount of sagging of the copper wiring formed by etching with the etching solution increases, so that insulation failure between adjacent wirings occurs, and the wiring circuit It becomes a tendency for refinement|miniaturization to become difficult.

또, 제 1 구리박층 (B1) 의 두께 (T1) 와, 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경 (D1) 의 관계에 있어서, (T1) × (D1) 이 100 μ㎡ 이하, 바람직하게는 80 μ㎡ 이하, 보다 바람직하게는 70 μ㎡ 이하로 하는 것이 좋다. 이와 같은 범위로 함으로써, 예를 들어 에칭액에 의한 에칭으로 형성된 구리 배선을 미세화하는 것이 가능해진다. 또한, (T1) × (D1) 의 하한치는 특별히 제한되지 않지만, (T1) × (D1) 을 보다 작게함으로써 에칭액에 의한 구리 배선의 형성시의 구리박 두께 방향에 대한 에칭 속도가 상승하기 때문에, 구리 배선에 언더컷이 발생하기 쉬워지는 점에서, 바람직하게는 5 μ㎡ 이상, 보다 바람직하게는 10 μ㎡ 이상으로 하는 것이 좋다. 또한, 본 발명에서 규정하는 구리박층의 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경은, 후기 실시예에 기재한 측정 방법에 의해 구할 수 있다.Further, in the relationship between the thickness (T1) of the first copper foil layer (B1) and the average grain size (D1) in the cross section in the thickness direction, (T1) × (D1) is 100 µm 2 or less, preferably It is good to set it as 80 micrometers or less, More preferably, it is 70 micrometers or less. By setting it as such a range, it becomes possible to refine|miniaturize the copper wiring formed by etching with an etching liquid, for example. Further, the lower limit of (T1) × (D1) is not particularly limited, but by making (T1) × (D1) smaller, the etching rate in the copper foil thickness direction at the time of formation of the copper wiring with the etching solution increases, From the viewpoint of easily causing undercutting in the copper wiring, it is preferably 5 µm 2 or more, and more preferably 10 µm 2 or more. In addition, the average grain size in the cross section of the thickness direction of the copper foil layer prescribed|regulated by this invention can be calculated|required with the measuring method described in a later Example.

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서, 제 1 구리박층 (B1) 의 표면은, 조화 (粗化) 처리되어 있어도 되고, 바람직하게는 폴리이미드 절연층 (A) 과 접하는 제 1 구리박층 (B1) 의 표면의 표면 조도 (Rz) 는 0.7 ∼ 2.5 ㎛ 의 범위 내, 바람직하게는 0.7 ∼ 2.2 ㎛, 보다 바람직하게는 0.8 ∼ 1.6 ㎛ 의 범위 내가 좋다. 표면 조도 (Rz) 의 값이 상기 하한치에 미치지 않으면, 폴리이미드 절연층 (A) 과의 접착 신뢰성의 담보가 곤란해지고, 상기 상한치를 초과하면, 에칭액에 의한 에칭으로 형성한 구리 배선의 직선성이 저해되어, 미세 배선 회로의 형성에 지장이 생기기 쉬워진다. 또한, 표면 조도 Rz 는 JlS B0601 의 규정에 준해 측정되는 값이다.The flexible copper clad laminate of this embodiment WHEREIN: The surface of the 1st copper foil layer (B1) may be roughened, Preferably the 1st copper foil layer (B1) in contact with the polyimide insulating layer (A) ), the surface roughness (Rz) of the surface is preferably in the range of 0.7 to 2.5 µm, preferably in the range of 0.7 to 2.2 µm, more preferably in the range of 0.8 to 1.6 µm. If the value of the surface roughness (Rz) does not fall below the above lower limit, it becomes difficult to guarantee adhesion reliability with the polyimide insulating layer (A). It is inhibited, and it becomes easy to produce trouble in formation of a fine wiring circuit. In addition, surface roughness Rz is a value measured according to the prescription|regulation of JIS B0601.

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서, 제 2 구리박층 (B2) 의 두께는 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 바람직하게는 8 ∼ 19 ㎛ 의 범위 내가 좋다. 제 2 구리박층 (B2) 의 두께가 5 ㎛ 에 미치지 않으면, 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조시, 예를 들어, 제 2 구리박층 (B2) 상에 폴리이미드 절연층 (A) 을 형성하는 공정에 있어서 제 2 구리박층 (B2) 자체의 강성이 저하되고, 그 결과, 플렉시블 구리 피복 적층판 상에 주름 등이 발생하는 문제가 생긴다. 또, 20 ㎛ 를 초과하면, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 절곡했을 때의 구리박층 (또는 구리 배선) 에 가해지는 굽힘 응력이 커짐으로써 내절곡성이 저하되게 된다.The flexible copper clad laminate of this embodiment WHEREIN: The thickness of the 2nd copper foil layer (B2) exists in the range of 5-20 micrometers, Preferably the inside of the range of 8-19 micrometers is good. When the thickness of the second copper foil layer (B2) is less than 5 µm, for example, in the production of the flexible copper clad laminate, in the step of forming the polyimide insulating layer (A) on the second copper foil layer (B2) The rigidity of 2nd copper foil layer (B2) itself falls, As a result, the problem which wrinkles etc. generate|occur|produce on a flexible copper clad laminated board arises. Moreover, when it exceeds 20 micrometers, bending resistance will fall because the bending stress applied to the copper foil layer (or copper wiring) at the time of bending a flexible copper clad laminated board (or FPC) becomes large.

또, 제 2 구리박층 (B2) 의 인장 탄성률은, 10 ∼ 25 ㎬ 의 범위 내이고, 바람직하게는 10 ∼ 20 ㎬ 의 범위 내가 좋다. 제 2 구리박층 (B2) 의 인장 탄성률이 10 ㎬ 에 미치지 않으면, 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조시, 예를 들어, 제 2 구리박층 (B2) 상에 폴리이미드 절연층 (A) 을 형성하는 공정에 있어서 제 2 구리박층 (B2) 자체의 강성이 저하되고, 그 결과, 플렉시블 구리 피복 적층판 상에 주름 등이 발생하는 문제가 생긴다. 또, 제 2 구리박층 (B2) 의 인장 탄성률이 25 ㎬ 를 초과하면, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 절곡했을 때의 구리박층 (또는 구리 배선) 에 가해지는 굽힘 응력이 커짐으로써 내절곡성이 저하되게 된다.Moreover, the tensile modulus of elasticity of a 2nd copper foil layer (B2) exists in the range of 10-25 GPa, Preferably the inside of the range of 10-20 GPa is good. When the tensile modulus of elasticity of the second copper foil layer (B2) is less than 10 GPa, for example, in the process of forming a polyimide insulating layer (A) on the second copper foil layer (B2) in the production of a flexible copper clad laminate In this, the rigidity of 2nd copper foil layer (B2) itself falls, As a result, the problem which wrinkles etc. generate|occur|produce on a flexible copper clad laminated board arises. In addition, when the tensile modulus of elasticity of the second copper foil layer (B2) exceeds 25 GPa, the bending stress applied to the copper foil layer (or copper wiring) when the flexible copper clad laminate (or FPC) is bent increases, so that the bending resistance is improved will be degraded

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서, 제 2 구리박층 (B2) 의 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경은 40 ∼ 70 ㎛ 의 범위 내이다. 이와 같은 범위로 함으로써, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 절곡했을 때에 발생하는 구리박층 (또는 구리 배선) 의 크랙의 신전을 억제할 수 있고, 결과적으로 내절곡성을 향상시킬 수 있다.The flexible copper clad laminate of this embodiment WHEREIN: The average crystal grain diameter in the cross section of the thickness direction of a 2nd copper foil layer (B2) exists in the range of 40-70 micrometers. By setting it as such a range, extension of the crack of the copper foil layer (or copper wiring) which generate|occur|produces when bending a flexible copper clad laminated board (or FPC) can be suppressed, and bending resistance can be improved as a result.

또, 제 2 구리박층 (B2) 은, 두께 방향에서의 X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와, 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면의 회절 강도 (Io) 의 비 (I/Io) 가 12 ∼ 30 의 범위 내이다. 이와 같은 범위로 함으로써, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 의 내절곡성을 향상시킬 수 있다. 여기서, I 치 및 Io 치는 X 선 회절법에 의해 측정할 수 있고, 구리박층의 두께 방향의 X 선 회절이란, 구리박층의 표면 (구리박층이 압연 구리박으로 이루어지는 경우에는 압연면) 에 있어서의 배향성을 확인하는 것이고, (200) 면의 회절 강도 (I) 는 X 선 회절로 구한 (200) 면의 강도 적분치를 나타낸다. 또, 회절 강도 (Io) 는, 미분말 구리 (칸토 화학사 제조 구리 분말 시약 1 급, 325 메시, 순도 99.99 % 이상) 의 (220) 면의 강도 적분치를 나타낸다.In addition, the second copper foil layer (B2) has a (200) plane diffraction intensity (I) determined by X-ray diffraction in the thickness direction, and a (220) plane diffraction intensity (220) plane determined by X-ray diffraction of fine powder copper ( The ratio (I/Io) of Io) is in the range of 12 to 30. By setting it as such a range, the bending resistance of a flexible copper clad laminated board (or FPC) can be improved. Here, the I value and the Io value can be measured by X-ray diffraction method, and X-ray diffraction in the thickness direction of the copper foil layer means the surface of the copper foil layer (rolled surface when the copper foil layer is made of rolled copper foil). It confirms the orientation, and the diffraction intensity (I) of the (200) plane represents the intensity integral value of the (200) plane calculated|required by X-ray diffraction. In addition, the diffraction intensity (Io) shows the intensity integral value of the (220) plane of fine-powdered copper (The Kanto Chemical Co., Ltd. copper powder reagent grade 1, 325 mesh, purity 99.99% or more).

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서, 제 2 구리박층 (B2) 의 표면은, 조화 처리되어 있어도 되고, 제 2 구리박층 (B2) 의 강성과의 관계를 고려하면, 바람직하게는 폴리이미드 절연층 (A) 과 접하는 제 2 구리박층 (B2) 의 표면의 표면 조도 (10 점 평균 조도 : Rz) 는 0.1 ∼ 1.5 ㎛ 의 범위 내인 것이 좋다. 표면 조도 (Rz) 의 값이 상기 하한치에 미치지 않으면, 폴리이미드 절연층 (A) 과의 접착 신뢰성의 담보가 곤란해지고, 상기 상한치를 초과하면, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 반복해서 절곡했을 때, 그 조화 표면의 요철이 크랙 발생의 기점이 되기 쉽고, 그 결과, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 의 내절곡성을 저하시키게 된다. 또한, 표면 조도 Rz 는 JlS B0601 의 규정에 준해 측정되는 값이다.The flexible copper clad laminate of this embodiment WHEREIN: The surface of the 2nd copper foil layer (B2) may be roughened, and when the relationship with the rigidity of the 2nd copper foil layer (B2) is considered, Preferably polyimide insulation It is good that the surface roughness (10-point average roughness: Rz) of the surface of the 2nd copper foil layer (B2) in contact with a layer (A) exists in the range of 0.1-1.5 micrometers. If the value of the surface roughness (Rz) does not fall below the lower limit, it becomes difficult to guarantee adhesion reliability with the polyimide insulating layer (A). At the time, the unevenness|corrugation of the roughened surface becomes a starting point of crack generation|occurrence|production easily, As a result, the bending resistance of a flexible copper clad laminated board (or FPC) is reduced. In addition, surface roughness Rz is a value measured according to the prescription|regulation of JIS B0601.

<폴리이미드 절연층><Polyimide Insulation Layer>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서는, 폴리이미드 절연층 (A) 의 두께는, 제 2 구리박층 (B) 의 두께나 강성 등에 따라, 소정 범위 내의 두께로 설정할 수 있지만, 예를 들어 7 ∼ 17 ㎛ 의 범위 내인 것이 바람직하고, 8 ∼ 13 ㎛ 의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 폴리이미드 절연층 (A) 의 두께가 상기 하한치를 하회하면, 전기 절연성을 담보할 수 없는 것이나, 핸들링성의 저하에 의해 제조 공정에서 취급이 곤란해지는 등의 문제가 생기는 경향이 된다. 한편, 폴리이미드 절연층 (A) 의 두께가 상기 상한치를 초과하면, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 절곡했을 때의 구리박층 (또는 구리 배선) 에 가해지는 굽힘 응력이 보다 커지게 되어, 그 내절곡성을 현저하게 저하시켜 버리는 경향이 된다.In the flexible copper clad laminate of this embodiment, although the thickness of a polyimide insulating layer (A) can be set to the thickness within a predetermined range according to the thickness, rigidity, etc. of a 2nd copper foil layer (B), for example, 7- It is preferable to exist in the range of 17 micrometers, and it is more preferable to exist in the range of 8-13 micrometers. When the thickness of a polyimide insulating layer (A) is less than the said lower limit, it will become a tendency which the problem, such as a thing which cannot guarantee electrical insulation and handling becomes difficult in a manufacturing process by the fall of handling property, will arise. On the other hand, when the thickness of the polyimide insulating layer (A) exceeds the above upper limit, the bending stress applied to the copper foil layer (or copper wiring) when the flexible copper clad laminate (or FPC) is bent becomes larger, and the It becomes a tendency to reduce bending resistance remarkably.

또, 폴리이미드 절연층 (A) 의 23 ℃ 에 있어서의 인장 탄성률은, 바람직하게는 2 ∼ 9 ㎬ 의 범위 내, 보다 바람직하게는 4 ∼ 9 ㎬ 의 범위 내인 것이 좋다. 폴리이미드 절연층 (A) 의 인장 탄성률이 2 ㎬ 에 미치지 않으면, 폴리이미드 자체의 강성이 저하됨으로써, 플렉시블 구리 피복 적층판을 회로 기판으로 가공할 때에 주름의 발생 등의 핸들링상의 문제가 발생하는 경우가 있다. 반대로, 폴리이미드 절연층 (A) 의 인장 탄성률이 9 ㎬ 를 초과하면, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 의 절곡에 대한 강성이 상승하는 결과, 플렉시블 구리 피복 적층판 (또는 FPC) 을 절곡했을 때에 구리 배선에 가해지는 굽힘 응력이 상승하여, 내절곡성이 저하되어 버린다.Moreover, the tensile elastic modulus in 23 degreeC of a polyimide insulating layer (A) becomes like this. Preferably it exists in the range of 2-9 GPa, More preferably, it is good to exist in the range of 4-9 GPa. If the tensile modulus of elasticity of the polyimide insulating layer (A) is less than 2 GPa, the rigidity of the polyimide itself decreases, so that when processing a flexible copper-clad laminate into a circuit board, a handling problem such as generation of wrinkles occurs. there is. Conversely, when the tensile modulus of elasticity of the polyimide insulating layer (A) exceeds 9 GPa, the rigidity with respect to bending of the flexible copper clad laminate (or FPC) increases as a result, and when the flexible copper clad laminate (or FPC) is bent, copper The bending stress applied to the wiring increases, and the bending resistance decreases.

<폴리이미드 절연층 (A) 과 제 2 구리박층 (B2) 의 두께의 비><Ratio of thickness of polyimide insulating layer (A) and second copper foil layer (B2)>

또, 본 실시형태에서는, 추가로, 구성 d 로서, 폴리이미드 절연층 (A) 과 제 2 구리박층 (B2) 의 두께의 비 [제 2 구리박층 (B2) 의 두께/폴리이미드 절연층 (A) 의 두께] 가 0.48 ∼ 2.4 의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 이 두께비가 0.48 미만, 혹은 2.4 보다 커지면, 절곡시에 소성 변형된 부분이 늘어날 때의 최대 인장 변형이 커짐으로써, 내절곡성이 저하되게 된다.Further, in the present embodiment, as the configuration d, the ratio of the thickness of the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2) [thickness of the second copper foil layer (B2) / polyimide insulating layer (A) ) is preferably in the range of 0.48 to 2.4. When the thickness ratio is less than 0.48 or larger than 2.4, the maximum tensile strain when the portion plastically deformed at the time of bending is stretched increases, so that the bending resistance is lowered.

<폴리이미드 절연층 (A) 과 제 2 구리박층 (B2) 의 두께의 합계><The sum of the thicknesses of the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2)>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 그 두께 [요컨대, 폴리이미드 절연층 (A) 과 제 2 구리박층 (B2) 의 합계의 두께] 가 12 ∼ 37 ㎛ 의 범위 내, 바람직하게는 16 ∼ 32 ㎛ 의 범위 내가 좋다. 플렉시블 구리 피복 적층판의 두께가 12 ㎛ 에 미치지 않으면, 플렉시블 구리 피복 적층판의 구리박을 배선 회로 가공하여 이루어지는 플렉시블 프린트 배선판의 강성이 저하되어, 절곡에 의한 탄소성 변형이 생기기 쉬운 경향이 된다. 한편, 플렉시블 구리 피복 적층판의 두께가 37 ㎛ 를 초과하면, FPC 를 절곡했을 때에 구리 배선에 보다 큰 굽힘 응력이 가해지게 되어, 그 내절곡성을 현저하게 저하시켜 버린다.The flexible copper clad laminate of the present embodiment has a thickness [that is, the total thickness of the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2)] in the range of 12 to 37 µm, preferably 16 to 32 It is good in the range of μm. When the thickness of the flexible copper-clad laminate is less than 12 µm, the rigidity of the flexible printed wiring board formed by processing the copper foil of the flexible copper-clad laminate as a wiring circuit decreases, and it tends to easily cause elastoplastic deformation due to bending. On the other hand, when the thickness of a flexible copper clad laminated board exceeds 37 micrometers, when FPC is bent, a larger bending stress will be applied to copper wiring, and the bending resistance will fall remarkably.

<플렉시블 구리 피복 적층판의 제조><Manufacture of flexible copper clad laminated board>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 제 1 구리박층 (B1), 폴리이미드 절연층 (A) 및 제 2 구리박층 (B2) 이 이 차례로 적층되는 것이지만, 유리하게는, 제 1 구리박층 (B1) 을 고밀도 배선의 구리 배선으로서 형성하고, 제 2 구리박층 (B2) 을 절곡 부위에 해당하는 구리 배선으로서 형성하는 것이 좋다. 이와 같은 관점에서, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 제 1 구리박층 (B1) 이 되는 구리박 (이하, 제 1 구리박이라고 한다) 의 표면에 폴리이미드 전구체 수지 용액 (폴리아미드산 용액이라고도 한다) 을 도공하고, 이어서, 건조, 경화시켜 편면 구리 피복 적층판을 제조한 후, 당해 편면 구리 피복 적층판의 폴리이미드 절연층 (A) 측의 면에 제 2 구리박층 (B2) 이 되는 구리박 (이하, 제 2 구리박이라고 한다) 을 열압착하는 방법이 바람직하다. 회로 배선이 되는 제 1 구리박 상에 직접 폴리아미드산 용액을 도공하는 방법, 이른바 캐스팅법에 의해 얻어지는 폴리이미드 절연층은 길이 방향과 횡 방향의 선열팽창 계수의 차이를 억제할 수 있고, 치수 안정성을 향상시킬 수 있으므로, 제 1 구리박층 (B1) 을 배선 회로 가공하여 고밀도 배선을 형성하는 데에 유리하다. 폴리이미드 절연층 (A) 의 형성에 있어서의 폴리아미드산의 열처리 조건은, 예를 들어, 도공된 폴리아미드산 용액을 160 ℃ 미만의 온도 범위 내에서 단계적으로 승온시킴으로써 건조시킨 후, 추가로 300 ∼ 400 ℃ 까지 단계적으로 승온시켜 경화시키는 방법이 있다.In the flexible copper clad laminate of the present embodiment, the first copper foil layer (B1), the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2) are laminated in this order, but advantageously the first copper foil layer (B1) ) is preferably formed as a copper wiring of high-density wiring, and the second copper foil layer (B2) is formed as a copper wiring corresponding to a bent portion. From such a viewpoint, the flexible copper clad laminated board of this embodiment is a polyimide precursor resin solution (also called polyamic acid solution) on the surface of the copper foil used as a 1st copper foil layer (B1) (it is hereafter called 1st copper foil). ) is coated, followed by drying and curing to prepare a single-sided copper-clad laminate, and then on the surface of the single-sided copper-clad laminate on the polyimide insulating layer (A) side copper foil ( Hereinafter, the method of thermocompression bonding of 2nd copper foil) is preferable. The polyimide insulating layer obtained by a method of directly coating a polyamic acid solution on the first copper foil serving as circuit wiring, a so-called casting method, can suppress the difference in the coefficient of linear thermal expansion in the longitudinal direction and the transverse direction, and has dimensional stability. can be improved, it is advantageous for forming a high-density wiring by processing the wiring circuit of the first copper foil layer (B1). The heat treatment conditions of the polyamic acid in the formation of the polyimide insulating layer (A) are, for example, after drying by heating the coated polyamic acid solution stepwise within a temperature range of less than 160°C, it is further 300 There is a method of curing by raising the temperature stepwise to ~400°C.

폴리이미드 절연층 (A) 은, 단층만으로 형성되는 것이어도 되지만, 폴리이미드 절연층 (A) 과 제 1 구리박층 (B1) 및 제 2 구리박층 (B2) 의 접착성 등을 고려하면 복수층으로 이루어지는 것이 바람직하다. 폴리이미드 절연층 (A) 을 복수층으로 하는 경우, 상이한 구성 성분으로 이루어지는 폴리아미드산 용액 상에 다른 폴리아미드산 용액을 순차 도포하여 형성할 수 있다. 폴리이미드 절연층 (A) 이 복수층으로 이루어지는 경우, 동일한 구성의 폴리이미드 전구체 수지를 2 회 이상 사용해도 된다.The polyimide insulating layer (A) may be formed only as a single layer, but considering the adhesiveness of the polyimide insulating layer (A) and the first copper foil layer (B1) and the second copper foil layer (B2), it is formed into multiple layers. It is desirable to do When making a polyimide insulating layer (A) into multiple layers, it can apply|coat and form another polyamic-acid solution sequentially on the polyamic-acid solution which consists of different structural components. When a polyimide insulating layer (A) consists of multiple layers, you may use polyimide precursor resin of the same structure 2 times or more.

폴리이미드 절연층 (A) 에 대해 보다 상세하게 설명한다. 상기 서술한 바와 같이, 폴리이미드 절연층 (A) 은 복수층으로 하는 것이 바람직하지만, 그 구체예로는, 폴리이미드 절연층 (A) 을 열팽창 계수 30 × 10-6/K 미만의 저열팽창성의 폴리이미드층 (ⅰ) 과, 열팽창 계수 30 × 10-6/K 이상의 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 을 포함하는 적층 구조로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 폴리이미드 절연층 (A) 은, 저열팽창성의 폴리이미드층 (ⅰ) 의 적어도 일방, 바람직하게는 그 양측에 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 을 갖는 적층 구조로 하고, 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 이 직접 구리박과 접하도록 하는 것이 좋다. 여기서, 「저열팽창성의 폴리이미드층 (ⅰ)」 이란, 열팽창 계수 30 × 10-6/K 미만, 바람직하게는 1 × 10-6 ∼ 25 × 10-6/K 의 범위 내, 특히 바람직하게는 3 × 10-6 ∼ 20 × 10-6/K 의 범위 내의 폴리이미드층을 말한다. 또, 「고열팽창성의 폴리이미드층 (ii)」 이란, 열팽창 계수 30 × 10-6/K 이상의 폴리이미드층을 말하고, 바람직하게는 30 × 10-6 ∼ 80 × 10-6/K 의 범위 내, 특히 바람직하게는 30 × 10-6 ∼ 70 × 10-6/K 의 범위 내의 폴리이미드층을 말한다. 이와 같은 폴리이미드층은, 사용하는 원료의 조합, 두께, 건조·경화 조건을 적절히 변경함으로써 원하는 열팽창 계수를 갖는 폴리이미드층으로 할 수 있다.A polyimide insulating layer (A) is demonstrated in detail. As above-mentioned, although it is preferable to make a polyimide insulating layer (A) into multiple layers, as the specific example, it is a polyimide insulating layer (A) with a low thermal expansion coefficient of less than 30 x 10 -6 /K of thermal expansion. It is preferable to set it as the laminated structure containing a polyimide layer (i) and a high thermal expansibility polyimide layer (ii) of 30 x 10 -6 /K or more of thermal expansion coefficients. More preferably, the polyimide insulating layer (A) has at least one of the low thermal expansion polyimide layers (i), and preferably has a high thermal expansion polyimide layer (ii) on both sides thereof. It is preferable to make the polyimide layer (ii) in direct contact with the copper foil. Here, the "polyimide layer (i) of low thermal expansion property" refers to a thermal expansion coefficient of less than 30 × 10 -6 /K, preferably within the range of 1 × 10 -6 to 25 × 10 -6 /K, particularly preferably The polyimide layer within the range of 3 × 10 -6 to 20 × 10 -6 /K is said. Moreover, "high thermal expansibility polyimide layer (ii)" means a polyimide layer having a coefficient of thermal expansion of 30 × 10 -6 /K or more, preferably within the range of 30 × 10 -6 to 80 × 10 -6 /K. , particularly preferably a polyimide layer within the range of 30 × 10 -6 to 70 × 10 -6 /K. Such a polyimide layer can be set as the polyimide layer which has a desired coefficient of thermal expansion by changing suitably the combination of the raw material to be used, thickness, and drying/hardening conditions.

상기 폴리이미드 절연층 (A) 을 부여하는 폴리아미드산 용액은, 공지된 디아민과 산무수물을 용매의 존재하에서 중합하여 제조할 수 있다. 이 때, 중합되는 수지 점도는, 예를 들어 500 cps 이상 35,000 cps 이하의 범위 내로 하는 것이 바람직하다.The polyamic acid solution which provides the said polyimide insulating layer (A) can superpose|polymerize well-known diamine and an acid anhydride in presence of a solvent, and can manufacture it. At this time, it is preferable that the resin viscosity to be polymerized is, for example, in the range of 500 cps or more and 35,000 cps or less.

폴리이미드의 원료로서 사용되는 디아민으로는, 예를 들어, 4,6-디메틸-m-페닐렌디아민, 2,5-디메틸-p-페닐렌디아민, 2,4-디아미노메시틸렌, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-자일리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 2,4-톨루엔디아민, m-페닐렌디아민, p-페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 4,4'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐메탄, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 4,4'-디아미노디페닐술파이드, 3,3'-디아미노디페닐술파이드, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,3-디아미노디페닐에테르, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 벤지딘, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 4,4'-디아미노-p-테르페닐, 3,3'-디아미노-p-테르페닐, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-자일렌-2,5-디아민, p-자일렌-2,5-디아민, m-자일릴렌디아민, p-자일릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 3,7-디아미노디벤조푸란, 1,5-디아미노플루오렌, 디벤조-p-디옥신-2,7-디아민, 4,4'-디아미노벤질 등을 들 수 있다.Examples of the diamine used as a raw material for polyimide include 4,6-dimethyl-m-phenylenediamine, 2,5-dimethyl-p-phenylenediamine, 2,4-diaminomesitylene, 4, 4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 2,4-toluenediamine, m-phenyl Rendiamine, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminodi Phenylethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 4,4'-dia Minodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ether , 3,3-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy) ) Benzene, benzidine, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 4,4'-diamino-p -terphenyl, 3,3'-diamino-p-terphenyl, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl- δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6 -diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine , m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2 , 2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,7-diaminodibenzofuran, 1,5-diaminofluorene, dibenzo-p-dioxine-2,7-diamine, 4 ,4'-diaminobenzyl etc. are mentioned.

또, 폴리이미드의 원료로서 사용되는 산무수물로는, 예를 들어, 피로멜리트산 2 무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 2 무수물, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산 2 무수물, 2,3,3',4'-벤조페논테트라카르복실산 2 무수물, 나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 2 무수물, 나프탈렌-1,2,4,5-테트라카르복실산 2 무수물, 나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 2 무수물, 나프탈렌-1,2,6,7-테트라카르복실산 2 무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사하이드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 2 무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사하이드로나프탈렌-2,3,6,7-테트라카르복실산 2 무수물, 2,6-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 2 무수물, 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 2 무수물, 2,3,6,7-테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 2 무수물, 1,4,5,8-테트라클로로나프탈렌-2,3,6,7-테트라카르복실산 2 무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물, 2,3,3',4'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물, 3,3",4,4"-p-테르페닐테트라카르복실산 2 무수물, 2,2",3,3"-p-테르페닐테트라카르복실산 2 무수물, 2,3,3",4"-p-테르페닐테트라카르복실산 2 무수물, 2,2-비스(2,3-디카르복시페닐)-프로판 2 무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)-프로판 2 무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르 2 무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)메탄 2 무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)메탄 2 무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)술폰 2 무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)술폰 2 무수물, 1,1-비스(2,3-디카르복시페닐)에탄 2 무수물, 1,1-비스(3,4-디카르복시페닐)에탄 2 무수물, 페릴렌-2,3,8,9-테트라카르복실산 2 무수물, 페릴렌-3,4,9,10-테트라카르복실산 2 무수물, 페릴렌-4,5,10,11-테트라카르복실산 2 무수물, 페릴렌-5,6,11,12-테트라카르복실산 2 무수물, 페난트렌-1,2,7,8-테트라카르복실산 2 무수물, 페난트렌-1,2,6,7-테트라카르복실산 2 무수물, 페난트렌-1,2,9,10-테트라카르복실산 2 무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복실산 2 무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복실산 2 무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복실산 2 무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복실산 2 무수물, 4,4'-옥시디프탈산 2 무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 2 무수물 등을 들 수 있다.Moreover, as an acid anhydride used as a raw material of a polyimide, For example, pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'- benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2',3, 3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3',4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene- 1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 4 , 8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5, 6,7-hexahydronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloro Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5, 8-tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'- Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3",4,4"-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2 ,2",3,3"-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3",4"-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(2,3 -dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, bis(2,3-di Carboxyphenyl)methane dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1 ,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, perylene-2,3,8,9-tetracarboxylic acid Dianhydride, Perylene-3,4,9,10-Tetracar acid dianhydride, perylene-4,5,10,11-tetracarboxylic dianhydride, perylene-5,6,11,12-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,7, 8-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,9,10-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1, 2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thi Offene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, etc. are mentioned.

상기 디아민 및 산무수물은, 각각 1 종만을 사용해도 되고 2 종 이상을 병용할 수도 있다. 또, 중합에 사용되는 용매는, 디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리디논, 2-부타논, 디글라임, 자일렌 등을 들 수 있고, 1 종 또는 2 종 이상 병용하여 사용할 수도 있다.As for the said diamine and an acid anhydride, only 1 type may be used respectively, and 2 or more types may be used together. Moreover, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene etc. are mentioned as for the solvent used for superposition|polymerization, It can also use 1 type or in combination of 2 or more types.

본 실시형태에 있어서, 열팽창 계수 30 × 10-6/K 미만의 저열팽창성의 폴리이미드층 (ⅰ) 으로 하려면, 원료의 산무수물 성분으로서 피로멜리트산 2 무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물을, 디아민 성분으로는 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 2-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드를 사용하는 것이 좋고, 특히 바람직하게는 피로멜리트산 2 무수물 및 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐을 원료 각 성분의 주성분으로 하는 것이 좋다.In the present embodiment , in order to obtain the low thermal expansion polyimide layer (i) with a thermal expansion coefficient of less than 30 x 10 -6 /K, pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4' as an acid anhydride component of the raw material -Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide as the diamine component is used. Preferably, pyromellitic dianhydride and 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl are the main components of each component of the raw material.

또, 열팽창 계수 30 × 10-6/K 이상의 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 으로 하려면, 원료의 산무수물 성분으로서 피로멜리트산 2 무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 2 무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 2 무수물을, 디아민 성분으로는 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠을 사용하는 것이 좋고, 특히 바람직하게는 피로멜리트산 2 무수물 및 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 원료 각 성분의 주성분으로 하는 것이 좋다. 또한, 이와 같이 하여 얻어지는 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 의 바람직한 유리 전이 온도는 260 ℃ 이상이고, 280 ∼ 320 ℃ 의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 유리 전이 온도를 이와 같은 범위로 함으로써, 플렉시블 구리 피복 적층판을 FPC 로 가공할 때에 요구되는 구리박층과 폴리이미드 절연층 (A) 사이의 접착 강도나 치수 안정성, 부품 실장시의 땜납 접합에 요구되는 땜납 내열성이 우수한 것이 된다.Moreover, in order to make a polyimide layer (ii) of high thermal expansion property of thermal expansion coefficient 30 x 10 -6 /K or more, pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic as an acid anhydride component of a raw material Acid dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2 as a diamine component It is preferable to use ,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, especially Preferably, pyromellitic dianhydride and 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane are the main components of each component of the raw material. Moreover, the preferable glass transition temperature of the polyimide layer (ii) of high thermal expansibility obtained in this way is 260 degreeC or more, and it is preferable to exist in the range of 280-320 degreeC. By setting the glass transition temperature to such a range, the adhesive strength and dimensional stability between the copper foil layer and the polyimide insulating layer (A) required when processing a flexible copper clad laminate by FPC, and solder required for solder bonding during component mounting It becomes a thing excellent in heat resistance.

또, 폴리이미드 절연층 (A) 을 저열팽창성의 폴리이미드층 (ⅰ) 과 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 의 적층 구조로 했을 경우, 바람직하게는 저열팽창성의 폴리이미드층 (i) 과 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 의 두께비 (저열팽창성의 폴리이미드층 (i)/고열팽창성의 폴리이미드층 (ii)) 가 2 ∼ 12 의 범위 내인 것이 좋다. 이 비의 값이 2 에 미치지 않으면, 폴리이미드 절연층 (A) 전체에 대한 저열팽창성의 폴리이미드층 (i) 이 얇아지기 때문에, 폴리이미드 필름의 치수 특성의 제어가 곤란해져, 구리박을 에칭했을 때의 치수 변화율이 커지고, 12 를 초과하면 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 이 얇아지기 때문에, 폴리이미드 절연층 (A) 과 구리박의 접착 신뢰성이 저하된다.Moreover, when the polyimide insulating layer (A) is made into a laminated structure of the polyimide layer (i) of low thermal expansion property and the polyimide layer (ii) of high thermal expansion property, Preferably, the polyimide layer (i) of low thermal expansion property and high heat It is good that the thickness ratio (low thermally expansible polyimide layer (i)/high thermally expansible polyimide layer (ii)) of expansible polyimide layer (ii) exists in the range of 2-12. When the value of this ratio is less than 2, since the polyimide layer (i) of low thermal expansion property with respect to the whole polyimide insulating layer (A) becomes thin, control of the dimensional characteristics of a polyimide film becomes difficult, and copper foil is etched. Since the dimensional change rate at the time of doing it becomes large, and since the polyimide layer (ii) of high thermal expansibility becomes thin when it exceeds 12, the adhesive reliability of a polyimide insulating layer (A) and copper foil will fall.

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조에 사용되는 제 1 구리박은, 전해 구리박을 사용하는 것이 바람직하다. 전해 구리박은, 압연 구리박과 비교하여, 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조시, 예를 들어 구리박 상에 폴리이미드층을 형성하는 공정에 있어서의 강성의 저하를 억제하기 쉽기 때문에 유리하다.It is preferable that the 1st copper foil used for manufacture of the flexible copper clad laminated board of this embodiment uses electrolytic copper foil. Compared with rolled copper foil, an electrolytic copper foil is advantageous because it is easy to suppress the fall of the rigidity in the process of forming a polyimide layer on copper foil at the time of manufacture of a flexible copper clad laminated board, for example.

또, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조에 사용되는 제 1 구리박은, 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조시에 있어서의 열 이력 (예를 들어 300 ∼ 400 ℃ 에서 10 ∼ 60 분간의 가열) 의 영향을 받은 후, 그 평균 결정 입경 (D1) 이, 바람직하게는 1 ∼ 10 ㎛ 의 범위 내, 보다 바람직하게는 1 ∼ 5 ㎛ 의 범위 내가 되는 전해 구리박을 사용하는 것이 좋다. 이와 같은 전해 구리박으로는 시판품을 사용할 수 있고, 그 구체예로는, 후루카와 전공 주식회사 제조의 WS 박, 닛폰 전해 주식회사 제조의 HL 박, 미츠이 금속 광업 주식회사 제조의 HTE 박 등을 들 수 있다. 또, 이들 시판품을 포함하여, 그 이외의 것을 사용했을 경우에도, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서의 제 1 구리박층 (B1) 이 소정의 범위 내가 되도록, 예를 들어 폴리이미드 절연층 (A) 의 형성 후에 에칭 등의 화학 연마에 의해 구리박층의 박육화를 실시하는 것도 가능하다. 이 경우, 에칭 후의 제 1 구리박층 (B1) 에 있어서의 표면측 (폴리이미드 절연층 (A) 에 접하지 않는 측) 의 표면 조도 (Rz) 는 1.7 ㎛ 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같은 표면 조도의 값으로 함으로써, 제 1 구리박층 (B1) 을 배선 회로 가공하여 구리 배선을 형성할 때, 배선 간격의 편차를 억제할 수 있다.Moreover, the 1st copper foil used for manufacture of the flexible copper-clad laminated board of this embodiment is the influence of the thermal history (for example, heating for 10-60 minutes at 300-400 degreeC) at the time of manufacture of a flexible copper-clad laminated board. After receiving, the average crystal grain size (D1) is preferably in the range of 1 to 10 µm, more preferably in the range of 1 to 5 µm, it is good to use an electrolytic copper foil. A commercial item can be used as such an electrolytic copper foil, As the specific example, WS foil by Furukawa Denko Co., Ltd., HL foil by Nippon Electrolysis Co., Ltd., HTE foil by Mitsui Metals Mining Co., Ltd., etc. are mentioned. Moreover, even when other things are used including these commercial items, the 1st copper foil layer (B1) in the flexible copper clad laminated board of this embodiment may become in a predetermined range, so that, for example, a polyimide insulating layer ( After formation of A), it is also possible to perform thickness reduction of a copper foil layer by chemical polishing, such as an etching. In this case, it is preferable that the surface roughness (Rz) of the 1st copper foil layer (B1) after etching (the side which does not come into contact with a polyimide insulating layer (A)) of surface roughness (Rz) becomes 1.7 micrometers or less. By setting it as such a value of surface roughness, when processing the wiring circuit of the 1st copper foil layer (B1) and forming copper wiring, the dispersion|variation in the wiring space|interval can be suppressed.

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조에 사용되는 제 2 구리박은, 압연 구리박을 사용하는 것이 바람직하다. 압연 구리박으로는, 구리박 상에 폴리이미드층을 형성하는 공정이나 열압착 공정 및 후공정의 어닐시에 (200) 면 결정 배향이 진행되도록 첨가 원소로서 Ag 나 Sn 을 첨가한 구리 합금박 등을 들 수 있다. 공지된 것으로서, JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조의 HA 박이나 주식회사 SH 코퍼 프로덕츠 제조의 HPF 박을 들 수 있다.It is preferable that the 2nd copper foil used for manufacture of the flexible copper clad laminated board of this embodiment uses rolled copper foil. As the rolled copper foil, copper alloy foil in which Ag or Sn is added as an additive element so that the (200) plane crystal orientation proceeds at the time of annealing in the step of forming a polyimide layer on the copper foil, the thermocompression bonding step, and the subsequent step, etc. can be heard As a well-known thing, HA foil by the JX Nikko Nisseki Metals Co., Ltd. product, and the HPF foil by SH Copper Products Co., Ltd. are mentioned.

다음으로, 본 발명의 실시형태에 있어서의 제 2 구리박과 편면 구리 피복 적층판의 가열 압착 조건에 대해 설명한다. 라미네이트 온도 (t1), 즉 가열 압착 공정에 있어서의 열 프레스 롤의 온도로는, 제 2 구리박과의 접착층의 폴리이미드와의 접착성의 관점에서, 고열팽창성의 폴리이미드층 (ii) 의 폴리이미드의 유리 전이 온도 이상으로 할 필요가 있고, 바람직하게는 300 ∼ 400 ℃ 의 범위 내인 것이 좋다. 또, 가열 롤간의 선압을 50 ∼ 500 Kg/㎝, 롤 통과 시간을 2 ∼ 5 초간의 조건하에서 가열 압착하는 것이 바람직하다. 라미네이트의 분위기로는 대기 분위기, 이너트 분위기를 들 수 있지만, 구리박 산화 변색 방지의 관점에서, 이너트 분위기인 것이 바람직하다. 여기서, 이너트 분위기란, 불활성 분위기와 동일한 의미이고, 질소나 아르곤 등의 불활성 가스로 치환되어 실질적으로 산소를 함유하지 않는 상태를 말한다.Next, the thermocompression bonding conditions of the 2nd copper foil and single-sided copper clad laminated board in embodiment of this invention are demonstrated. The lamination temperature (t 1 ), that is, the temperature of the hot press roll in the thermocompression bonding step, is the polyimide of the polyimide layer (ii) having high thermal expansion properties from the viewpoint of the adhesiveness of the adhesive layer with the second copper foil to the polyimide. It is necessary to set it as the glass transition temperature of mid or more, Preferably it is good to exist in the range of 300-400 degreeC. Moreover, it is preferable to thermocompression-bonding under the conditions of 50-500 Kg/cm and roll passing time of the linear pressure between heating rolls for 2 to 5 second. Although atmospheric atmosphere and an inert atmosphere are mentioned as atmosphere of a lamination, It is preferable that it is an inert atmosphere from a viewpoint of copper foil oxidation discoloration prevention. Here, the inert atmosphere has the same meaning as an inert atmosphere, and refers to a state substantially free of oxygen by being substituted with an inert gas such as nitrogen or argon.

여기서, 제 2 구리박의 열처리에 의한 (200) 면의 결정 배향에 대해 상세하게 설명한다. 일반적으로 전술한 구리박은 열처리에 의해 연화가 진행되고, 탄성률이 저하되어 부드러워짐과 함께, (200) 면의 우선 배향이 진행되어 입방체 조직이 발달한다. (200) 면의 결정 배향에 대해서는 반연화 온도 이상의 온도에서 소정의 시간 처리함으로써 진행되지만, 적어도 300 ℃ 이상의 온도에서 10 초 ∼ 60 초가 필요하다. 본 발명의 실시형태와 같이 1 쌍의 열프레스 롤에 의해 가열 압착하는 방법에 있어서는, 그 생산성을 확보하는 관점에서 롤에 의한 압착이 10 초 이내의 순시에 실시되기 때문에, 가열 압착 공정 후에 재가열 공정의 어닐 공정을 조합하는 것이 필요해진다.Here, the crystal orientation of the (200) plane by the heat processing of 2nd copper foil is demonstrated in detail. In general, the above-described copper foil is softened by heat treatment, and the elastic modulus is lowered to become soft, and the preferential orientation of the (200) plane proceeds to develop a cubic structure. The crystal orientation of (200) plane proceeds by treatment for a predetermined time at a temperature equal to or higher than the semi-softening temperature, but at least 10 seconds to 60 seconds are required at a temperature of 300°C or higher. In the method of thermocompression bonding with a pair of hot press rolls as in the embodiment of the present invention, from the viewpoint of ensuring the productivity, the roll crimping is performed instantaneously within 10 seconds, so the reheating step after the thermocompression bonding step It becomes necessary to combine the annealing process of

재가열 공정 (어닐 처리) 은, 라미네이트 온도 (t1) 이상의 온도에서 열처리하는 것이 필요하다. 라미네이트 온도 (t1) 이하의 온도이면, 한 번 가열 압착 공정에 있어서 부분적으로 재결정화한 구리박의 결정 조직을 다시 결정 성장시킬 수 없어, (200) 면의 결정 배향에 의한 입방체 조직이 충분히 진행될 수 없다. 요컨대, 가열 압착 공정의 라미네이트에 의해 진행된 부분적 재결정을 충분히 진행시키려면, 재가열 공정의 열처리 온도 (t2) 를 라미네이트 온도 (t1) 이상으로 설정하는 것이 중요해진다. 이 경우, 후공정의 재가열 공정의 온도는 300 ℃ 이상인 경우, 10 초 ∼ 60 초 정도의 처리 시간으로 충분하다. 한편으로, 400 ℃ 를 초과하여 설정한 경우에는, 폴리이미드의 내열 열화나 가열에 의한 휨 등의 문제가 발생하기 때문에, 400 ℃ 이하로 설정하는 것이 바람직하다.In the reheating step (annealing treatment), it is necessary to heat treatment at a temperature equal to or higher than the lamination temperature (t 1 ). If the temperature is below the lamination temperature (t 1 ), the crystal structure of the partially recrystallized copper foil cannot be re-crystallized once in the thermocompression compression step, and the cube structure due to the crystal orientation of the (200) plane proceeds sufficiently. can't In other words, in order to sufficiently advance the partial recrystallization carried out by the lamination in the thermocompression bonding step, it becomes important to set the heat treatment temperature (t 2 ) of the reheating step to the lamination temperature (t 1 ) or more. In this case, when the temperature of the reheating step of the post step is 300°C or higher, a treatment time of about 10 seconds to 60 seconds is sufficient. On the other hand, when setting exceeding 400 degreeC, since problems, such as heat-resistance deterioration of a polyimide, and curvature by a heating, arise, it is preferable to set at 400 degrees C or less.

이와 같은 재가열 공정을 거침으로써, 상기 가열 압착 공정 후의 제 2 구리박의 두께 방향에서의 X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면의 회절 강도 (Io) 의 비 (I/Io) 가 12 ∼ 30 의 범위 내가 된다. 또, 재가열 공정을 거침으로써, 제 2 구리박층 (B2) 의 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경을 40 ∼ 70 ㎛ 의 범위 내로 제어할 수 있다.By passing through such a reheating step, the diffraction intensity (I) of the (200) plane obtained by X-ray diffraction in the thickness direction of the second copper foil after the thermocompression bonding step and (220) obtained by X-ray diffraction of fine powder copper ), the ratio (I/Io) of the diffraction intensity (Io) of the surface is in the range of 12 to 30. Moreover, by going through a reheating process, the average crystal grain diameter in the cross section of the thickness direction of a 2nd copper foil layer (B2) is controllable within the range of 40-70 micrometers.

재가열 공정의 어닐의 수단은 제한되지 않지만, 연속해서 반송되는 제 2 구리박 및 편면 구리 피복 적층판을 균일한 온도 환경하에 두는 것을 고려하면, 공정의 1 구획을 노형 부스로 하고, 열풍으로 가열하는 것이 바람직하다. 또, 열풍에는, 구리박 표면의 변질 등의 영향을 방지하기 위해서 가열 질소를 사용하는 것이 바람직하다. 이 질소에 의한 가열은 온도 조건을 보다 높게 하기에는 한계가 있는 점에서, 그 밖의 가열 수단을 부가할 수 있다. 바람직한 가열 수단은 반송로의 근방에 가열 히터를 형성하는 것을 들 수 있다. 또한, 가열 히터는 복수개 설치하는 것도 가능하고, 그 종류는 동일한 것이어도 되고 상이한 것이어도 된다.The means of annealing in the reheating step is not limited, but considering that the continuously conveyed second copper foil and single-sided copper clad laminate are placed in a uniform temperature environment, one section of the process is a furnace-type booth, and heating with hot air is preferred. desirable. Moreover, it is preferable to use heating nitrogen for a hot air in order to prevent influence, such as a change of quality on the surface of copper foil. Since this heating with nitrogen has a limit in making the temperature condition higher, other heating means can be added. Preferred heating means include providing a heating heater in the vicinity of the conveying path. In addition, it is also possible to provide a plurality of heating heaters, and the type may be the same or different.

<FPC><FPC>

본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 주로 FPC 재료로서 유용하다. 즉, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판의 금속박을 통상적인 방법에 의해 패턴상으로 가공하여 배선층을 형성함으로써, 본 발명의 일 실시형태인 FPC 를 제조할 수 있다.The flexible copper-clad laminate of this embodiment is mainly useful as an FPC material. That is, FPC which is one Embodiment of this invention can be manufactured by processing the metal foil of the flexible copper clad laminated board of this embodiment in pattern shape by a normal method, and forming a wiring layer.

본 실시형태의 FPC 는 굴곡 또는 절곡 부분에 사용되는 배선 회로 부품으로서, 굴곡 또는 절곡 부분에 사용되는 배선 회로가 실질적으로 편면에만 형성되어 있는 FPC 로서 사용할 수 있다. 바람직하게는, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판의 제 2 구리박층 (B2) 을 이용하여 배선 회로를 형성하고, 배선 회로의 적어도 일부를 굴곡부로서 사용하는 것이 좋다. 즉, 본 발명의 실시형태에서는, 굴곡 또는 절곡 부분에 사용되는 배선 회로를 실질적으로 편면에만 형성함으로써, 반복 굴곡이나 폴딩 등 내절성이 우수한 FPC 로 할 수 있다.The FPC of the present embodiment can be used as a wiring circuit component used for a bent or bent portion, and can be used as an FPC in which a wiring circuit used for the bent or bent portion is substantially formed only on one side. Preferably, a wiring circuit is formed using the 2nd copper foil layer (B2) of the flexible copper clad laminated board of this embodiment, and it is good to use at least a part of a wiring circuit as a bending part. That is, in the embodiment of the present invention, by forming the wiring circuit used in the bending or bending portion substantially only on one side, an FPC excellent in bending resistance such as repeated bending and folding can be obtained.

도 1 은 제 1 구리박층 (B1) 의 일부를 제거하여 굴곡부를 형성하기 위한 FPC 의 상태를 나타내는 모식도이다. 제거하는 제 1 구리박층 (B1) 은, FPC 의 종류나 용도에 따라서도 상이하지만, 제 1 구리박층 (B1) 의 주요부 (즉 80 % 이상) 가 제거되고, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 배선 회로로서 기능하는 지점은 남기지 않고, 굴곡 예정부 (10) 에 관련되지 않는 지점에만 제 1 구리박층 (B1) 이 잔존하도록 하는 것이 좋다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the state of FPC for removing a part of 1st copper foil layer (B1) and forming a bent part. Although the 1st copper foil layer (B1) to remove changes also with the kind and use of FPC, the principal part (ie 80% or more) of the 1st copper foil layer (B1) is removed, As shown in FIG. 1, a wiring circuit It is good to make the 1st copper foil layer B1 remain only at the point which does not relate to the bending schedule part 10, without leaving the point which functions as.

상기와 같이 한 FPC 는, 제 2 구리박층 (B2) 에 의해 형성된 배선 회로는, 굴곡시켰을 때, 외측에 위치하도록 해도 되고, 내측에 위치하도록 해도 된다. 또, FPC 에 형성되는 굴곡부에 대해서는, 둘로 접거나 하는 것에 의해 형성되는 것 외에, 예를 들어 슬라이딩 굴곡, 절곡 굴곡, 힌지 굴곡 또는 슬라이드 굴곡에서 선택된 어느 반복 동작을 수반하는 굴곡부여도 우수한 내굴곡성을 나타낼 수 있다.When the wiring circuit formed by the 2nd copper foil layer B2 is bent, as for the FPC performed as mentioned above, you may make it located outside, and you may make it position inside. In addition, with respect to the bending portion formed in the FPC, in addition to being formed by folding in two, for example, a bending portion accompanying any repeated operation selected from sliding bending, bending bending, hinge bending, or sliding bending has excellent bending resistance. can indicate

이상과 같이, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 배선 기판에 요구되는 높은 내절곡성을 발현할 수 있는 점에서, 전자 기기 내에 절곡된 상태에서의 접속 신뢰성이 우수한 FPC 용 재료를 제공할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 특히, 스마트폰 등의 소형 액정 둘레의 절곡 부분 등의 내절곡성이 요구되는 전자 부품에 바람직하게 사용된다. 또, 본 실시형태의 플렉시블 구리 피복 적층판은, 배선 기판에 요구되는 단속적인 반복 슬라이딩에 견딜 수 있는 성능과, 고밀도 배선을 형성하는 데에 유리한 구리박층을 가지고 있으므로, 하드 디스크 드라이브에 있어서의 리드 라이트 케이블용의 FPC 용 재료로서도 바람직하게 사용된다.As described above, the flexible copper-clad laminate of the present embodiment can provide a material for FPC that is excellent in connection reliability in a bent state in an electronic device since it can express the high bending resistance required for a wiring board. . Therefore, the flexible copper clad laminated board of this embodiment is especially preferably used for the electronic component by which bending resistance, such as a bending part around small liquid crystals, such as a smart phone, is calculated|required. Moreover, since the flexible copper clad laminated board of this embodiment has the performance which can withstand the intermittent repeated sliding required for a wiring board, and a copper foil layer advantageous in forming high-density wiring, the read light in a hard disk drive It is preferably used also as a material for FPC for cables.

실시예Example

이하, 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 하기의 실시예에 있어서의 각 특성 평가는 이하의 방법에 의해 실시하였다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on Examples. In addition, each characteristic evaluation in the following Example was implemented by the following method.

[인장 탄성률의 측정][Measurement of tensile modulus]

인장 탄성률의 측정시에 구리박에 관해서는, 진공 오븐을 사용하여 플렉시블 구리 피복 적층판의 처리 공정과 동등한 열처리를 부여한 구리박을 사용하였다. 또, 폴리이미드층에 관해서는, 플렉시블 구리 피복 적층판을 에칭하여 구리박을 완전하게 제거한 폴리이미드 필름을 사용하였다. 이와 같이 하여 얻어진 재료를 주식회사 토요 정기 제작소 제조 스트로그래프 R-1 을 사용하여, 온도 23 ℃, 상대습도 50 % 의 환경하에서 인장 탄성률의 값을 측정하였다.Regarding copper foil at the time of the measurement of tensile elasticity modulus, the copper foil which provided the heat processing equivalent to the processing process of a flexible copper clad laminated board using vacuum oven was used. Moreover, regarding the polyimide layer, the polyimide film which etched the flexible copper clad laminated board and removed copper foil completely was used. Thus, the value of the tensile elasticity modulus was measured for the material obtained in this way in the environment of the temperature of 23 degreeC, and 50% of relative humidity using the Toyo Seiki Seisakusho strograph R-1.

[열팽창 계수 (CTE) 의 측정][Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]

세이코 인스트루먼트 제조의 서모 메커니컬 애널라이저를 사용하여, 250 ℃ 까지 승온시키고, 또한 그 온도에서 10 분 유지한 후, 5 ℃/분의 속도로 냉각시켜, 240 ℃ 에서 100 ℃ 까지의 평균 열팽창 계수 (선열팽창 계수) 를 구하였다.Using a thermomechanical analyzer manufactured by Seiko Instruments, the temperature was raised to 250 ° C., and further maintained at that temperature for 10 minutes, then cooled at a rate of 5 ° C./min., the average coefficient of thermal expansion from 240 ° C. to 100 ° C. (linear thermal expansion) coefficient) was calculated.

[유리 전이 온도의 측정][Measurement of glass transition temperature]

구리박 상에 폴리아미드산의 수지 용액을 도포, 열처리하여 적층체로 하였다. 이 적층체의 구리박을 에칭 제거하여 얻어진 폴리이미드 필름 (10 ㎜ × 22.6 ㎜) 을 동적 점탄성 측정 장치 (DMA) 로 20 ℃ 에서부터 500 ℃ 까지 5 ℃/분으로 승온시켰을 때의 동적 점탄성을 측정하여, 유리 전이 온도 Tg (tanδ 극대치) 를 구하였다.The resin solution of polyamic acid was apply|coated on copper foil, it heat-processed, and it was set as the laminated body. The dynamic viscoelasticity of the polyimide film (10 mm × 22.6 mm) obtained by etching away the copper foil of this laminate was measured with a dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA) from 20 ° C. to 500 ° C. at 5 ° C./min. , the glass transition temperature Tg (tanδ local maximum) was obtained.

[구리박의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경의 측정][Measurement of the average grain size of the cross section in the thickness direction of copper foil]

샘플을 준비하고, IP (이온 폴리시) 법에 의해, 구리박의 길이 방향 (MD 방향) 을 따라 구리박의 단면 형성을 실시하고 (두께 방향으로 자른 단면), TSL 사 제조 OIM (소프트웨어 Ver5.2) 을 사용하여 EBSD (후방 산란 전자선 회절 패턴법) 에 의해, 구리박 단면의 결정 입경 및 배향 상태의 분석을 실시하였다. 그 분석은, 가속 전압 20 ㎸, 시료 경사각 70˚ 의 조건으로 실시하고, 또 분석의 범위는, 구리박의 길이 방향을 따라 500 ㎛ 의 폭으로 분석하였다. 분석으로 얻어진 역극점도 방위맵으로부터, Σ3CSL (쌍정립계) 을 결정립계로 하고 2 ∼ 5˚의 입계를 결정립계로 하지 않는 조건으로 입도 분포 해석을 실시하여, 결정의 면적 비율에 의한 가중 평균으로 결정 입경의 산출을 실시하였다.A sample was prepared, the cross section of copper foil was formed along the longitudinal direction (MD direction) of copper foil by the IP (ion polish) method (cross section cut in the thickness direction), OIM (software Ver5.2 by TSL) ) was used to analyze the crystal grain size and orientation state of the copper foil cross section by EBSD (backscattered electron diffraction pattern method). The analysis was performed under the conditions of an acceleration voltage of 20 kV and a sample inclination angle of 70°, and the analysis range was analyzed with a width of 500 µm along the longitudinal direction of the copper foil. From the inverse pole viscosity orientation map obtained by the analysis, the grain size distribution analysis is performed under the condition that Σ3CSL (twin grain boundary) is a grain boundary and a grain boundary of 2 to 5° is not a grain boundary, and a weighted average is determined by the area ratio of the crystal. The particle size was calculated.

[XRD 에 의한 결정 방위 I/Io 의 측정][Measurement of crystal orientation I/Io by XRD]

구리박의 (200) 면 결정 방위에 대해서는 Mo 대음극 (對陰極) 을 사용한 XRD 법에 의해 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면 회절 강도 (Io) 에 대해 시료의 (200) 면 회절 강도 (I) 를 산출하여 I/Io 치로서 정의하였다.Regarding the crystal orientation of the (200) plane of the copper foil, the (220) plane diffraction intensity (Io) of the sample obtained by X-ray diffraction of fine powder copper by the XRD method using the Mo counter-cathode is the (200) plane of the sample. The diffraction intensity (I) was calculated and defined as the I/Io value.

[표면 조도 (Rz) 의 측정][Measurement of surface roughness (Rz)]

접촉식 표면 조도 측정기 ((주) 고사카 연구소 제조 SE1700) 를 사용하여, 구리박과 폴리이미드 절연층의 접촉면측의 표면 조도를 측정하였다.The surface roughness of the contact surface side of copper foil and a polyimide insulating layer was measured using the contact type surface roughness measuring instrument (Co., Ltd. product SE1700).

[에칭 팩터의 측정][Measurement of etching factor]

구리박면에 필름상 레지스트로 L/S = 50 ㎛/10 ㎛ 의 레지스트 패턴 (60 ㎛ 피치 회로) 을 형성하여, 염화 제 2 철 (액온 50 ℃, 0.2 ㎫) 로 에칭하고, 회로 보텀폭이 30 ㎛ 전후인 시점에서, 10 개의 회로에 대해 에칭 팩터 (EF) 를 산출하여, 평균치를 구하였다. 에칭 팩터는, 끝쪽으로 갈수록 퍼지게 에칭되었을 경우 (처짐이 발생했을 경우), 회로가 수직으로 에칭되었다고 가정했을 경우의 회로 상면의 폭 방향 단부로부터의 수직선과 수지 기판의 교점으로부터의 처짐의 길이의 거리를 D 로 했을 경우에 있어서, 이 D 와 구리박의 두께 H 의 비 : H/D 를 나타내는 것이고, 이 수치가 클수록 경사각은 커져, 에칭 잔사가 남지 않고, 처짐이 작아지는 점에서, 미세 배선 회로의 가공성이 우수한 것을 의미한다. 이 에칭 팩터의 값이 2.5 이상인 경우를 「양호」, 2.5 미만인 경우를 「불량」 이라고 평가하였다.A resist pattern (60 µm pitch circuit) of L/S = 50 µm/10 µm was formed on the copper foil surface with a film-like resist, etched with ferric chloride (liquid temperature 50° C., 0.2 MPa), and the circuit bottom width was 30 The etching factor (EF) was computed with respect to 10 circuits at the time of about micrometers, and the average value was calculated|required. The etching factor is the distance of the length of the deflection from the intersection of the vertical line from the width direction end of the upper surface of the circuit and the resin substrate, assuming that the circuit is etched vertically when the etching is spread out toward the end (when deflection occurs) is D, the ratio of this D to the thickness H of the copper foil: H/D, and the larger this numerical value is, the larger the inclination angle becomes. It means that the workability of The case where the value of this etching factor was 2.5 or more was evaluated as "good|favorableness", and the case where it was less than 2.5 was evaluated as "poor".

[폴딩의 측정 (절곡 시험)][Measurement of folding (bending test)]

구리 피복 적층판의 구리박을 에칭 가공하고, 그 길이 방향을 따라 라인폭 100 ㎛, 스페이스폭 100 ㎛ 로 길이가 40 ㎜ 인 10 열의 구리 배선 (51) 을 형성한 시험편 (시험 회로 기판편) (40) 을 제조하였다 (도 2). 시험편 (40) 에 있어서의 구리 배선 (51) 만을 나타낸 도 2 에 나타낸 바와 같이, 그 시험편 (40) 에 있어서의 10 열의 구리 배선 (51) 은, U 자부 (52) 를 통해 모두 연속해서 연결되어 있고, 그 양단에는 저항치 측정용의 전극 부분 (도시 생략) 을 형성하고 있다.A test piece (test circuit board piece) in which a copper foil of a copper clad laminate was etched, and 10 rows of copper wirings 51 having a length of 40 mm were formed along the longitudinal direction with a line width of 100 µm and a space width of 100 µm (40) ) was prepared ( FIG. 2 ). As shown in FIG. 2 showing only the copper wiring 51 in the test piece 40, the 10 rows of copper wiring 51 in the test piece 40 are all connected continuously through the U-shaped part 52, and electrode portions for resistance value measurement (not shown) are formed at both ends thereof.

시험편 (40) 을 둘로 접는 것이 가능한 시료 스테이지 (20 및 21) 상에 고정시키고, 저항치 측정용의 배선을 접속하여, 저항치의 모니터링을 개시하였다 (도 3). 절곡 시험은, 10 열의 구리 배선 (51) 에 대해 길이 방향의 정확히 중앙 부분에서 구리 배선 (51) 이 내측이 되어 대향하도록 절곡하여 실시하였다. 이 때, 우레탄제의 롤러 (22) 를 사용하여, 절곡 지점 (40C) 의 갭 H 가 0.3 ㎜ 가 되도록 제어하면서, 절곡한 선과 병행하게 롤러 (22) 를 이동시켜, 10 열의 구리 배선 (51) 을 모두 절곡한 후 (도 4 및 도 5), 절곡 부분을 개방하여 시험편 (40) 을 평평한 상태로 되돌리고 (도 6), 접힌 자국이 형성되어 있는 부분을 다시 롤러 (22) 로 누른 채로 이동시키고 (도 7), 이 일련의 공정을 폴딩 횟수 1 회로 카운트하도록 하였다. 이와 같은 순서로 절곡 시험을 반복하여 실시하는 동안, 항상 구리 배선 (51) 의 저항치를 모니터링하고, 소정의 저항 (3000 Ω) 이 된 시점을 구리 배선 (51) 의 파단이라고 판단하고, 그 때까지 반복한 절곡 횟수를 폴딩 측정치로 하였다. 이 폴딩 측정치가 100 회 이상인 경우를 「양호」, 100 회 미만인 경우를 「불량」 으로 평가하였다.The test piece 40 was fixed on the sample stages 20 and 21 which can be folded in two, the wiring for resistance value measurement was connected, and the monitoring of a resistance value was started (FIG. 3). The bending test was carried out by bending the copper wirings 51 of 10 rows so that the copper wirings 51 turned inside and opposed at the exact central portion in the longitudinal direction. At this time, using the roller 22 made of urethane, while controlling so that the gap H of the bending point 40C becomes 0.3 mm, the roller 22 is moved in parallel with the bent line, and 10 rows of copper wiring 51 After bending all the (Fig. 4 and Fig. 5), open the bent part to return the test piece 40 to a flat state (Fig. 6), and move the part where the fold is formed while pressing it with the roller 22 again. (FIG. 7), this series of steps was counted as one folding number. While the bending test is repeatedly carried out in this order, the resistance value of the copper wiring 51 is always monitored, and the point at which the predetermined resistance (3000 Ω) is reached is judged to be the breakage of the copper wiring 51, until that time. The number of repeated bending was taken as the folding measurement value. The case where this folding measurement value was 100 times or more was evaluated as "good", and the case where it was less than 100 times was evaluated as "poor".

또한, 절곡 시험에 있어서, 처음부터 절곡된 상태의 시험편 (40) 을 사용하는 경우에는, 일단 전개하여 절곡을 해소시킨 상태를 절곡 횟수 제로로 하고, 상기 순서로 절곡 횟수를 카운트한다.In addition, in a bending test, when using the test piece 40 in the state bent from the beginning, the state in which the bending was canceled is made into zero bending frequency once, and the bending frequency is counted in the said order.

실시예, 비교예에 기재된 플렉시블 구리 피복 적층판의 제조 방법에 대해 다음에 나타낸다.The manufacturing method of the flexible copper clad laminated board described in an Example and a comparative example is shown next.

[폴리아미드산 용액의 합성][Synthesis of polyamic acid solution]

(합성예 1)(Synthesis Example 1)

열전대 및 교반기를 구비함과 함께 질소 도입이 가능한 반응 용기에, N,N-디메틸아세트아미드를 넣고, 추가로 이 반응 용기에 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판 (BAPP) 을 투입하여 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 다음으로, 피로멜트산 2 무수물 (PMDA) 을 모노머의 투입 총량이 12 wt% 가 되도록 투입하였다. 그 후, 3 시간 교반을 계속해서 중합 반응을 실시하여, 폴리아미드산 a 의 수지 용액을 얻었다. 폴리아미드산 a 로부터 형성된 두께 25 ㎛ 의 폴리이미드 필름의 열팽창 계수 (CTE) 는, 55 × 10-6/K, 유리 전이 온도는 312 ℃ 였다.In a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, put N,N-dimethylacetamide, and further 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane in this reaction vessel (BAPP) was added and dissolved while stirring in a container. Next, pyromeltic acid dianhydride (PMDA) was injected|thrown-in so that the preparation total amount of a monomer might be set to 12 wt%. Then, stirring was continued for 3 hours, the polymerization reaction was performed, and the resin solution of the polyamic-acid a was obtained. The coefficient of thermal expansion (CTE) of the 25-micrometer-thick polyimide film formed from the polyamic acid a was 55x10<-6> /K, and the glass transition temperature was 312 degreeC.

(합성예 2)(Synthesis Example 2)

열전대 및 교반기를 구비함과 함께 질소 도입이 가능한 반응 용기에, N,N-디메틸아세트아미드를 넣고, 추가로 이 반응 용기에 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐 (m-TB) 을 투입하고, 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 다음으로, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2 무수물 (BPDA) 및 피로멜리트산 2 무수물 (PMDA) 을 모노머의 투입 총량이 15 wt%, 각 산무수물의 몰비율 (BPDA : PMDA) 이 20 : 80 이 되도록 투입하였다. 그 후, 3 시간 교반을 계속하여 중합 반응을 실시하여, 폴리아미드산 b 의 수지 용액을 얻었다. 폴리아미드산 b 로부터 형성된 두께 25 ㎛ 의 폴리이미드 필름의 열팽창 계수 (CTE) 는, 7 × 10-6/K, 유리 전이 온도는 385 ℃ 였다.In a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, put N,N-dimethylacetamide, and further 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m -TB) was added and dissolved while stirring in a container. Next, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) were added in a total amount of 15 wt% of monomers, and the molar ratio of each acid anhydride ( BPDA: PMDA) was added to be 20: 80. Then, stirring was continued for 3 hours, the polymerization reaction was performed, and the resin solution of the polyamic-acid b was obtained. The coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide film with a thickness of 25 micrometers formed from the polyamic acid b was 7*10<-6> /K, and the glass transition temperature was 385 degreeC.

(합성예 3)(Synthesis Example 3)

열전대 및 교반기를 구비함과 함께 질소 도입이 가능한 반응 용기에, N,N-디메틸아세트아미드를 넣고, 추가로 이 반응 용기에 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐 (m-TB) 및 4,4'-디아미노디페닐에테르 (DAPE) 를 각 디아민의 몰비율 (m-TB : DAPE) 이 60 : 40 이 되도록 투입하고 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 다음으로, 피로멜리트산 2 무수물 (PMDA) 을 모노머의 투입 총량이 16 wt% 가 되도록 투입하였다. 그 후, 3 시간 교반을 계속하여 중합 반응을 실시하여, 폴리아미드산 c 의 수지 용액을 얻었다. 폴리아미드산 c 로부터 형성된 두께 25 ㎛ 의 폴리이미드 필름의 열팽창 계수 (CTE) 는, 10 × 10-6/K, 유리 전이 온도는 409 ℃ 였다.In a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, put N,N-dimethylacetamide, and further 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m -TB) and 4,4'-diaminodiphenyl ether (DAPE) were added so that the molar ratio of each diamine (m-TB: DAPE) was 60: 40, and dissolved in a vessel while stirring. Next, pyromellitic dianhydride (PMDA) was injected|thrown-in so that the preparation total amount of a monomer might be 16 wt%. Then, stirring was continued for 3 hours, the polymerization reaction was performed, and the resin solution of the polyamic-acid c was obtained. The thermal expansion coefficient (CTE) of the polyimide film with a thickness of 25 micrometers formed from the polyamic acid c was 10x10<-6> /K, and the glass transition temperature was 409 degreeC.

(실시예 1)(Example 1)

제 1 구리박으로서, 두께 12 ㎛ 이고 장척상의 전해 구리박 (닛폰 전해 주식회사 제조 HLB 박) 상에, 합성예 1 로 조제한 폴리아미드산 a 의 수지 용액을 연속적으로 도포 건조시키고, 추가로 그 위에 합성예 2 로 조제한 폴리아미드산 b 의 수지 용액과 수지 용액 a 를 순차 도포하고, 120 ℃ 에서 약 3 분간 건조시켰다. 그 후, 최종적으로 300 ℃ 이상, 약 2 분간의 열처리를 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬ 인 장척상의 편면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 다음으로, 이 편면 플렉시블 구리 피복 적층판의 폴리이미드층의 표면에 대해, 제 2 구리박으로서, 두께 12 ㎛ 의 장척상의 압연 구리박 (JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조 HA 박) 을 가열 압착하였다. 라미네이트 장치로는, 라미네이트하는 장척상의 기재를 권출축으로부터 가이드 롤을 경유하여 반송하고, 이너트 분위기하의 노 내에 있어서 1 쌍의 대향하는 금속 롤 (표면 조도 Ra = 0.15 ㎛) 에 의해 가열 압착시키는 방식을 적용하였다. 열압착 조건은, 온도 360 ℃, 압력 130 Kg/㎝ 로 하고, 통과 시간을 2 ∼ 5 초로 하였다 (라미네이트 : 가열 압착 공정). 그 후, 380 ℃ 의 가열 열풍로에서 60 초간 가열 처리를 실시하여 (재가열 공정), 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 이 때의 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비는 1.0 이었다.As a first copper foil, the resin solution of the polyamic acid a prepared in Synthesis Example 1 was continuously coated and dried on an electrolytic copper foil having a thickness of 12 µm and a long electrolytic copper foil (HLB foil manufactured by Nippon Electric Co., Ltd.), and further synthesized thereon. The resin solution of the polyamic acid b prepared in Example 2 and the resin solution a were sequentially applied, and dried at 120°C for about 3 minutes. Then, finally 300 degreeC or more and heat processing for about 2 minutes were performed, the total film thickness of the polyimide layer was 12 micrometers, and the elongate single-sided flexible copper clad laminated board whose tensile elasticity modulus is 7 GPa was obtained. Next, with respect to the surface of the polyimide layer of this single-sided flexible copper clad laminated board, as a 2nd copper foil, a 12-micrometer-thick elongate rolled copper foil (HA foil manufactured by JX Nikko Niseki Metals Co., Ltd.) was thermocompression-bonded. As a laminating apparatus, a long base material to be laminated is conveyed from an unwinding shaft via a guide roll, and a pair of opposing metal rolls (surface roughness Ra = 0.15 µm) in a furnace under an inert atmosphere are heat-bonded. was applied. The thermocompression bonding conditions were a temperature of 360°C and a pressure of 130 Kg/cm, and a passage time of 2 to 5 seconds (lamination: thermocompression bonding step). Then, it heat-processed for 60 second in a 380 degreeC heating stove (reheating process), and obtained the double-sided flexible copper clad laminated board. The ratio of the thickness of the polyimide layer and the 2nd copper foil layer at this time was 1.0.

상기로 얻어진 양면 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서의 폴리아미드산의 수지 용액을 도포한 구리박 (「캐스트면 구리박」 이라고 한다) 에 대해, EBSD 분석으로부터 산출한 두께 방향 단면의 평균 결정 입경은 3.5 ㎛, (T1) × (D1) = 42 μ㎡, 그 에칭 팩터는 3.0 이고, 양호한 미세 배선 가공성을 나타냈다. 또, 가열 압착 공정으로 라미네이트한 구리박 (「라미네이트면 구리박」 이라고 한다) 에 대해, 인장 탄성률은 14 ㎬, EBSD 분석으로부터 산출한 두께 방향 단면의 평균 결정 입경은 56.7 ㎛, 두께 방향에서의 X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면 회절 강도 (Io) 의 비 I/Io 는 18.5 였다. 캐스트면 구리박을 에칭으로 제거하고, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치는 148 회이고, 양호한 내절곡성을 나타냈다. 결과를 표 1 ∼ 3 에 나타낸다.About the copper foil (referred to as "cast side copper foil") to which the resin solution of polyamic acid in the double-sided flexible copper clad laminated board obtained above was apply|coated, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section computed from EBSD analysis was 3.5 micrometers. , (T1) x (D1) = 42 µm 2 , and the etching factor was 3.0, showing good fine wiring workability. In addition, with respect to the copper foil laminated by the thermocompression bonding process (referred to as "laminated copper foil"), the tensile modulus of elasticity is 14 GPa, the average grain size of the cross section in the thickness direction calculated from the EBSD analysis is 56.7 µm, and X in the thickness direction The ratio I/Io of the (200) plane diffraction intensity (I) determined by ray diffraction and the (220) plane diffraction intensity (Io) determined by X-ray diffraction of fine powder copper was 18.5. The folding measurement value of FPC which wiring-formed by removing cast surface copper foil by etching and etching laminated surface copper foil was 148 times, and showed favorable bending resistance. A result is shown to Tables 1-3.

(실시예 2)(Example 2)

제 2 구리박으로서, 두께 18 ㎛ 이고 장척상의 압연 구리박 (JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조 HA 박) 을 사용한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 1.5 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.As the second copper foil, it was carried out in the same manner as in Example 1 except that a long rolled copper foil having a thickness of 18 µm (HA foil manufactured by JX Nikko Nisseki Metals Co., Ltd.) was used, and the total film thickness of the polyimide layer was 12 µm, The tensile elastic modulus obtained the elongate double-sided flexible copper clad laminated board whose ratio of 7 GPa and the thickness of a polyimide layer and a 2nd copper foil layer is 1.5. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(실시예 3)(Example 3)

제 2 구리박으로서, 두께 12 ㎛ 이고 장척상의 압연 구리박 (JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조 HA-V2 박) 을 사용한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 1.0 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.It carried out similarly to Example 1 except having used the 12-micrometer-thick, elongate rolled copper foil (JX Nikko Niseki Metals Co., Ltd. HA-V2 foil) as a 2nd copper foil, and the total film thickness of the polyimide layer was 12 The elongate double-sided flexible copper clad laminated board whose micrometer, tensile modulus of elasticity is 7 GPa, and ratio of the thickness of a polyimide layer and a 2nd copper foil layer is 1.0 was obtained. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(실시예 4)(Example 4)

제 1 구리박으로서, 두께 18 ㎛ 이고 장척상의 전해 구리박 (후루카와 전기 공업 주식회사 제조 F2-WS 박) 을 사용한 것 이외에는 실시예 2 와 동일하게 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 1.5 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.As the 1st copper foil, it carried out similarly to Example 2 except having used the 18-micrometer-thick, elongate electrolytic copper foil (Furukawa Electric Industry Co., Ltd. F2-WS foil), the total film thickness of the polyimide layer was 12 micrometers, The tensile elastic modulus obtained the elongate double-sided flexible copper clad laminated board whose ratio of 7 GPa and the thickness of a polyimide layer and a 2nd copper foil layer is 1.5. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(실시예 5)(Example 5)

제 1 구리박으로서, 두께 6 ㎛ 이고 장척상의 전해 구리박 (닛폰 전해 주식회사 제조 SEED-S 박) 을 사용한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 1.0 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.As 1st copper foil, it carried out similarly to Example 1 except having used the 6-micrometer-thick, elongate electrolytic copper foil (Nippon Electric Co., Ltd. product SEED-S foil), and the total film thickness of a polyimide layer was 12 micrometers, and tensile The elastic modulus obtained the elongate double-sided flexible copper clad laminated board whose elasticity modulus 7 GPa and ratio of the thickness of a polyimide layer and a 2nd copper foil layer is 1.0. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(실시예 6)(Example 6)

제 1 구리박 상에, 합성예 1 로 조제한 폴리아미드산 a 의 수지 용액을 연속적으로 도포 건조시키고, 추가로 그 위에 합성예 3 으로 조제한 폴리아미드산 c 의 수지 용액과 폴리아미드산 a 의 수지 용액을 순차 도포하여 폴리이미드층의 전체 막두께가 16 ㎛, 인장 탄성률이 5 ㎬ 인 폴리이미드층을 형성한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하여, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 0.75 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.The resin solution of the polyamic acid a prepared in Synthesis Example 1 is continuously applied and dried on the copper foil, and the resin solution of the polyamic acid c prepared in Synthesis Example 3 and the resin solution of the polyamic acid a further thereon. was applied sequentially to form a polyimide layer having a total film thickness of 16 µm and a tensile modulus of 5 GPa of the polyimide layer. A long, double-sided flexible copper-clad laminate of 0.75 was obtained. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

제 1 구리박으로서, 두께 18 ㎛ 이고 장척상의 압연 구리박 (JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조 BHY-22B-T 박) 상에, 실시예 1 과 동일하게 하여 수지 용액 a/수지 용액 b/수지 용액 a 를 순차 도포 건조시키고, 최종적으로 300 ℃ 이상, 약 2 분간의 열처리를 실시함으로써 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬ 인 장척상의 편면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻고, 또한 제 2 구리박으로서, 두께 6 ㎛ 이고 장척상의 전해 구리박 (닛폰 전해 주식회사 제조 SEED-S 박) 을 사용하여, 상기 편면 플렉시블 구리 피복 적층판의 폴리이미드층의 표면에 실시예 1 과 동일하게 가열 압착하고, 그 후, 380 ℃ 의 가열 열풍로로 60 초간 가열 처리를 실시하여 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 이 때의 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비는 0.5 였다.As a 1st copper foil, on the 18-micrometer-thick, elongate rolled copper foil (JX Nikko Niseki Metal Co., Ltd. BHY-22B-T foil), in the same manner as in Example 1, resin solution a/resin solution b/resin solution a is sequentially applied and dried, and finally heat treatment is performed at 300 ° C. or higher for about 2 minutes to obtain a long, single-sided flexible copper clad laminate having a total film thickness of the polyimide layer of 12 µm and a tensile modulus of 7 GPa, and further 2 As the copper foil, a long electrolytic copper foil having a thickness of 6 μm (SEED-S foil manufactured by Nippon Electric Co., Ltd.) was used and the surface of the polyimide layer of the single-sided flexible copper-clad laminate was heat-compressed in the same manner as in Example 1. Then, it heat-processed for 60 second with a 380 degreeC heating stove, and obtained the double-sided flexible copper clad laminated board. The ratio of the thickness of the polyimide layer at this time and the 2nd copper foil layer was 0.5.

상기로 얻어진 양면 플렉시블 구리 피복 적층판에 있어서의 캐스트면 구리박의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경은 10.0 ㎛, (T1) × (D1) = 180 μ㎡ 였다. 에칭 팩터는 2.1 이고, 미세 배선 가공성으로는 실용상 불충분한 것을 나타내었다. 또, 라미네이트면 구리박의 인장 탄성률은 55 ㎬, EBSD 분석으로부터 산출한 두께 방향 단면의 평균 결정 입경은 1.8 ㎛, 두께 방향에서의 X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면 회절 강도 (Io) 의 비 I/Io 는 0.34 였다. 캐스트면 구리박을 에칭으로 제거하고, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치는 66 회이고, 실용상에 있어서 불충분한 내절곡성을 나타냈다. 결과를 표 1 ∼ 3 에 나타낸다.The average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of the cast surface copper foil in the double-sided flexible copper clad laminated board obtained above was 10.0 micrometer, (T1)*(D1) =180 micrometers. The etching factor was 2.1, indicating that the fine wiring workability was not practically sufficient. In addition, the tensile modulus of the laminated copper foil is 55 GPa, the average grain size of the cross section in the thickness direction calculated from EBSD analysis is 1.8 µm, the diffraction intensity (I) of the (200) plane obtained by X-ray diffraction in the thickness direction, and Ratio I/Io of the (220) plane diffraction intensity (Io) calculated|required by X-ray diffraction of fine powder copper was 0.34. The measured folding value of the FPC in which the wiring was formed by removing the cast-surface copper foil by etching and etching the laminate-surface copper foil was 66 times, and showed insufficient bending resistance in practical use. A result is shown to Tables 1-3.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

제 1 구리박으로서 두께 12 ㎛ 이고 장척상의 압연 구리박 (JX 닛코 닛세키 금속 주식회사 제조 BHY-22B-T 박) 을, 제 2 구리박으로서 두께 12 ㎛ 이고 장척상의 전해 구리박 (닛폰 전해 주식회사 제조 HLB 박) 을 사용한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하여, 폴리이미드층의 전체 막두께가 12 ㎛, 인장 탄성률이 7 ㎬, 폴리이미드층과 제 2 구리박층의 두께의 비가 1.0 인 장척상의 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.As the first copper foil, a long rolled copper foil having a thickness of 12 µm (BHY-22B-T foil manufactured by JX Nikko Nisseki Metals Co., Ltd.) was used as the first copper foil, and an electrolytic copper foil having a thickness of 12 µm and an elongated shape (manufactured by Nippon Electric Corporation) was used as the second copper foil. HLB foil) was used, and the same procedure as in Example 1 was carried out, the total film thickness of the polyimide layer was 12 µm, the tensile modulus was 7 GPa, and the ratio of the thickness of the polyimide layer to the second copper foil layer was 1.0. A flexible copper-clad laminate was obtained. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(비교예 3)(Comparative Example 3)

편면 플렉시블 구리 피복 적층판의 폴리이미드층의 표면과 제 2 구리박을 가열 압착한 후의 가열 열풍로에서의 가열 처리를 제외한 것 이외에는, 실시예 3 과 동일하게 하여 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.A double-sided flexible copper-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 3 except that the surface of the polyimide layer of the single-sided flexible copper-clad laminate and the heat treatment in the heating stove after thermocompression of the second copper foil were removed. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile elastic modulus of a 2nd copper foil layer, the average crystal grain diameter of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC in which wiring was formed by etching laminated surface copper foil are shown collectively.

(비교예 4)(Comparative Example 4)

편면 플렉시블 구리 피복 적층판의 폴리이미드층의 표면과 제 2 구리박을 가열 압착한 후의 가열 열풍로에서의 가열 처리를 제외한 것 이외에는, 실시예 2 와 동일하게 하여 양면 플렉시블 구리 피복 적층판을 얻었다. 표 1 ∼ 3 에는, 제 1 구리박층의 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, (T1) × (D1), 에칭 팩터를 나타냈다. 또, 제 2 구리박층의 인장 탄성률, 두께 방향 단면의 평균 결정 입경, I/Io, 라미네이트면 구리박을 에칭함으로써 배선 형성한 FPC 의 폴딩 측정치를 아울러 나타내고 있다.A double-sided flexible copper-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the surface of the polyimide layer of the single-sided flexible copper-clad laminate and the heat treatment in the heating stove after thermocompression of the second copper foil were removed. In Tables 1-3, the average crystal grain diameter of the thickness direction cross section of a 1st copper foil layer, (T1)*(D1), and an etching factor were shown. Moreover, the tensile modulus of elasticity of a 2nd copper foil layer, the average grain size of the cross section in the thickness direction, I/Io, and the folding measurement value of the FPC which wiring-formed by etching laminated surface copper foil are collectively shown.

Figure 112014117091749-pat00001
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Figure 112014117091749-pat00002
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Figure 112014117091749-pat00003
Figure 112014117091749-pat00003

이상, 본 발명의 실시형태를 예시한 목적으로 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 제약되지 않는다As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail for the purpose of illustrating, this invention is not restrict|limited to the said embodiment

10 : 굴곡 예정부
20, 21 : 시료 스테이지
22 : 롤러
40 : 시험편
40C : 시험편의 절곡 지점
51 : 구리 배선
52 : 구리 배선의 U 자부
10: bending scheduled part
20, 21: sample stage
22: roller
40: test piece
40C: bending point of the specimen
51: copper wiring
52: U-shaped part of copper wiring

Claims (6)

폴리이미드 절연층 (A) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 일방의 면에 형성된 제 1 구리박층 (B1) 과, 그 폴리이미드 절연층 (A) 의 다른 일방의 면에 형성된 제 2 구리박층 (B2) 을 구비한 플렉시블 구리 피복 적층판으로서,
이하의 a 및 b 의 구성 :
a) 제 1 구리박층 (B1) 은, 상기 폴리이미드 절연층 (A) 과 접하는 표면의 표면 조도 (Rz) 가 0.7 ∼ 2.5 ㎛ 의 범위 내이고, 두께 (T1) 가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 이 두께 (T1) 와, 가열 압착 후의 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경 (D1) 의 관계에 있어서, (T1) × (D1) 이 10.8 ∼ 59 μ㎡ 의 범위 내인 구리박으로 이루어지는 것 ;
b) 제 2 구리박층 (B2) 은, 상기 폴리이미드 절연층 (A) 과 접하는 표면의 표면 조도 (Rz) 가 0.1 ∼ 1.5 ㎛ 의 범위 내이고, 두께가 5 ∼ 20 ㎛ 의 범위 내이고, 인장 탄성률이 10 ∼ 25 ㎬ 의 범위 내이고, 가열 압착 후의 두께 방향의 단면에 있어서의 평균 결정 입경이 40 ∼ 70 ㎛ 의 범위 내이고, 가열 압착 후의 X 선 회절에 의해 구한 (200) 면의 회절 강도 (I) 와 미분말 구리의 X 선 회절에 의해 구한 (220) 면의 회절 강도 (Io) 의 비 (I/Io) 가 15.4 ∼ 18.5 의 범위 내인 구리박으로 이루어지는 것 ;
을 구비하는, 플렉시블 구리 피복 적층판.
A polyimide insulating layer (A), a first copper foil layer (B1) formed on one surface of the polyimide insulating layer (A), and a second copper formed on the other surface of the polyimide insulating layer (A) A flexible copper clad laminate having a thin layer (B2), comprising:
Configurations of a and b below:
a) The first copper foil layer (B1) has a surface roughness (Rz) of a surface in contact with the polyimide insulating layer (A) in a range of 0.7 to 2.5 µm, and a thickness (T1) in a range of 5 to 20 µm In the relationship between this thickness (T1) and the average grain size (D1) in the cross section in the thickness direction after thermocompression bonding, (T1) × (D1) is made of a copper foil in the range of 10.8 to 59 µm 2 thing ;
b) the second copper foil layer (B2) has a surface roughness (Rz) of a surface in contact with the polyimide insulating layer (A) in the range of 0.1 to 1.5 µm, and a thickness in the range of 5 to 20 µm, and tensile The elastic modulus is in the range of 10 to 25 GPa, the average grain size in the cross section in the thickness direction after thermocompression is within the range of 40 to 70 μm, and the diffraction intensity of the (200) plane obtained by X-ray diffraction after thermocompression bonding. What consists of copper foil whose ratio (I/Io) of (I) and the diffraction intensity (Io) of the (220) plane calculated|required by X-ray diffraction of fine powder copper exists in the range of 15.4-18.5;
A flexible copper clad laminate comprising a.
제 1 항에 있어서,
추가로, c 의 구성 ;
c) 상기 폴리이미드 절연층 (A) 은, 두께가 7 ∼ 17 ㎛ 의 범위 내이고, 25 ℃ 에 있어서의 인장 탄성률이 2 ∼ 9 ㎬ 의 범위 내인 것 ;
을 구비하는, 플렉시블 구리 피복 적층판.
The method of claim 1,
In addition, the configuration of c ;
c) Thickness exists in the range of 7-17 micrometers, and the said polyimide insulating layer (A) exists in the range whose tensile elasticity modulus in 25 degreeC is 2-9 GPa;
A flexible copper clad laminate comprising a.
제 1 항에 있어서,
추가로, d 의 구성 ;
d) 상기 폴리이미드 절연층 (A) 과 상기 제 2 구리박층 (B2) 의 두께의 비 [제 2 구리박층 (B2) 의 두께/폴리이미드 절연층 (A) 의 두께] 가 0.48 ∼ 2.4 의 범위 내인 것 ;
을 구비하는, 플렉시블 구리 피복 적층판.
The method of claim 1,
In addition, the composition of d ;
d) the ratio of the thickness of the polyimide insulating layer (A) and the second copper foil layer (B2) [thickness of the second copper foil layer (B2)/thickness of the polyimide insulating layer (A)] is in the range of 0.48 to 2.4 what is mine;
A flexible copper clad laminate comprising a.
제 1 항에 있어서,
전자 기기의 케이스 내에 상면측이 180 도 반전하여 하면측이 되도록 절곡하는 폴딩에 의해 절첩하여 수납되는 플렉시블 회로 기판에 사용되는 것인, 플렉시블 구리 피복 적층판.
The method of claim 1,
A flexible copper clad laminate used for a flexible circuit board that is folded and accommodated in a case of an electronic device by folding the upper surface side by inverting 180 degrees to become the lower surface side.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 플렉시블 구리 피복 적층판의 제 2 구리박층 (B2) 을 이용하여, 배선 회로의 적어도 일부를 굴곡부에 사용하는, 플렉시블 회로 기판.The flexible circuit board which uses at least one part of wiring circuit for a bending part using the 2nd copper foil layer (B2) of the flexible copper clad laminated board in any one of Claims 1-4. 제 5 항에 있어서,
적어도 굴곡부에 상당하는 위치의 제 1 구리박층 (B1) 은 제거되어 있는, 플렉시블 회로 기판.
6. The method of claim 5,
The flexible circuit board from which the 1st copper foil layer (B1) of the position corresponded to at least a bending part is removed.
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