KR102280702B1 - 기판 처리 시스템, 제어 장치, 군 컨트롤러 및 호스트 컴퓨터 - Google Patents

기판 처리 시스템, 제어 장치, 군 컨트롤러 및 호스트 컴퓨터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 입력 미스를 높은 정밀도로 검출하는 것이 가능한 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
일 실시형태의 기판 처리 시스템은, 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부를 갖는다.

Description

기판 처리 시스템, 제어 장치, 군 컨트롤러 및 호스트 컴퓨터{SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, CONTROL DEVICE, GROUP CONTROLLER, AND HOST COMPUTER}
본 발명은 기판 처리 시스템, 제어 장치, 군 컨트롤러(group controller) 및 호스트 컴퓨터에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 제조 프로세스에서는, 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대해 미리 정해진 처리를 실행하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다. 기판 처리 장치는, 사용자들이 입력한 다수의 설정값(레시피, 장치 파라미터 등)에 의해 동작한다. 그 때문에, 사용자들이 잘못된 설정값을 입력하면, 사용자들이 의도하지 않은 처리가 실행되어, 제품 불량 등이 발생하는 경우가 있다.
이러한 의도하지 않은 처리가 실행되는 것을 방지하는 장치로서는, 복수의 단계 중 미리 정해진 단계에 있어서, 하한 설정값 이하의 입력값의 설정을 금지하는 입력 금지 수단을 갖는 기판 처리 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2010-165729호 공보
그러나, 상기한 장치에서는, 사용자들에 의한 입력 미스를 적절히 판단할 수 없는 경우가 있어, 의도하지 않은 처리가 실행되는 것을 충분히 방지할 수 없다.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 입력 미스를 높은 정밀도로 검출하는 것이 가능한 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 양태에 따른 기판 처리 시스템은, 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부를 갖는다.
개시하는 기판 처리 시스템에 의하면, 입력 미스를 높은 정밀도로 검출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 레시피 편집 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 제어 장치의 기능 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 각 존의 온도 설정값을 도시한 도면(1)이다.
도 5는 각 존의 온도 설정값을 도시한 도면(2)이다.
도 6은 각 존의 온도 설정값을 도시한 도면(3)이다.
도 7은 통계 정보의 일례를 도시한 도면이다.
도 8은 경고 화면의 일례를 도시한 도면(1)이다.
도 9는 경고 화면의 일례를 도시한 도면(2)이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 입력값 판정 처리의 일례의 흐름도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 한편, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복된 설명을 생략한다.
(기판 처리 시스템)
본 발명의 기판 처리 시스템에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 개략 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리 시스템은, 기판 처리 장치(1)와, 제어 장치(100)를 구비한다.
기판 처리 장치(1)는, 예컨대 처리 용기(4) 내에 수용된 복수의 기판에 대해, 일괄로 성막(成膜) 처리를 실행 가능한 배치(batch)식의 장치이다. 기판은, 예컨대 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼(W)」라고 함)여도 좋다.
제어 장치(100)는, 예컨대 컴퓨터이며, CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), 보조 기억 장치 등을 구비한다. CPU는, ROM 또는 보조 기억 장치에 저장된 프로그램에 기초해서 동작하여, 기판 처리 장치(1)의 동작을 제어한다. 제어 장치(100)는, 기판 처리 장치(1)의 내부에 설치되어 있어도 좋고, 외부에 설치되어 있어도 좋다. 제어 장치(100)가 기판 처리 장치(1)의 외부에 설치되어 있는 경우, 제어 장치(100)는, 유선 또는 무선 등의 통신 수단에 의해, 기판 처리 장치(1)를 제어할 수 있다. 또한, 제어 장치(100)는, 유선 또는 무선 등의 통신 수단에 의해, 기판 처리 장치(1)를 포함하는 복수의 장치를 일원(一元) 관리하는 제어 장치인 군 컨트롤러나 호스트 컴퓨터에 접속되어 있어도 좋다.
(기판 처리 장치)
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 길이 방향이 수직 방향인 대략 원통형의 처리 용기(4)를 갖는다. 처리 용기(4)는, 원통체의 내통(6)과, 내통(6)의 외측에 동심적으로 배치된 천장을 갖는 외통(8)을 구비하는 2중관 구조를 갖는다. 내통(6) 및 외통(8)은, 예컨대 석영 등의 내열성 재료에 의해 형성되어 있다.
내통(6) 및 외통(8)은, 스테인리스강 등에 의해 형성되는 매니폴드(10)에 의해, 그 하단부가 유지되어 있다. 매니폴드(10)는, 예컨대 도시하지 않은 베이스 플레이트에 고정되어 있다. 한편, 매니폴드(10)는, 내통(6) 및 외통(8)과 함께 대략 원통형의 내부 공간을 형성하고 있기 때문에, 처리 용기(4)의 일부를 형성하고 있는 것으로 한다. 즉, 처리 용기(4)는, 예컨대 석영 등의 내열성 재료에 의해 형성되는 내통(6) 및 외통(8)과, 스테인리스강 등에 의해 형성되는 매니폴드(10)를 구비하고, 매니폴드(10)는, 내통(6) 및 외통(8)을 하방으로부터 유지하도록 처리 용기(4)의 측면 하부에 설치되어 있다.
매니폴드(10)는, 처리 용기(4) 내에, 성막 처리에 이용되는 성막 가스, 첨가 가스 등의 처리 가스, 퍼지 처리에 이용되는 퍼지 가스 등의 각종 가스를 도입하는 가스 도입부(20)를 갖는다. 도 1에서는, 가스 도입부(20)가 하나 형성되는 형태를 도시하고 있으나, 이것에 한정되지 않고, 사용하는 가스의 종류 등에 따라, 가스 도입부(20)가 복수 형성되어 있어도 좋다.
처리 가스의 종류로서는, 특별히 한정되지 않고, 성막하는 막의 종류 등에 따라 적절히 선택할 수 있고, 예컨대 실리콘 함유 가스여도 좋다.
퍼지 가스의 종류로서는 특별히 한정되지 않고, 예컨대 질소(N2) 가스 등의 불활성 가스를 이용할 수 있다.
가스 도입부(20)에는, 각종 가스를 처리 용기(4) 내에 도입하기 위한 도입 배관(22)이 접속된다. 한편, 도입 배관(22)에는, 가스 유량을 조정하기 위한 매스 플로우 컨트롤러 등의 유량 조정부(24)나 도시하지 않은 밸브 등이 개재되어 설치되어 있다.
또한, 매니폴드(10)는, 처리 용기(4) 내를 배기하는 가스 배기부(30)를 갖는다. 가스 배기부(30)에는, 처리 용기(4) 내를 감압 제어 가능한 진공 펌프(32), 개방도 가변 밸브(34) 등을 포함하는 배기 배관(36)이 접속되어 있다.
매니폴드(10)의 하단부에는, 노구(爐口; 40)가 형성되어 있고, 노구(40)에는, 예컨대 스테인리스강 등에 의해 형성되는 원반형의 덮개(42)가 설치되어 있다. 덮개(42)는, 예컨대 보트 엘리베이터로서 기능하는 승강 기구(44)에 의해 승강 가능하게 설치되어 있고, 노구(40)를 기밀하게 밀봉 가능하게 구성되어 있다.
덮개(42) 위에는, 예컨대 석영제의 보온통(46)이 설치되어 있다. 보온통(46) 위에는, 예컨대 50장 내지 175장 정도의 웨이퍼(W)를 수평 상태로 미리 정해진 간격으로 다단으로 유지하는, 예컨대 석영제의 웨이퍼 보트(48)가 배치되어 있다.
웨이퍼 보트(48)는, 승강 기구(44)를 이용하여 덮개(42)를 상승시킴으로써 처리 용기(4) 내로 로드(반입)되고, 웨이퍼 보트(48) 내에 유지된 웨이퍼(W)에 대해 각종의 성막 처리가 행해진다. 각종의 성막 처리가 행해진 후에는, 승강 기구(44)를 이용하여 덮개(42)를 하강시킴으로써, 웨이퍼 보트(48)는 처리 용기(4) 내로부터 하방의 로딩 영역으로 언로드(반출)된다.
처리 용기(4)의 외주측에는, 처리 용기(4)를 미리 정해진 온도로 가열 제어 가능한, 예컨대 원통 형상의 히터(60)가 설치되어 있다.
히터(60)는, 복수의 존으로 분할되어 있고, 연직 방향 상측으로부터 하측을 향해, 히터(60a∼60g)가 설치되어 있다. 이하, 히터(60a, 60b, 60c, 60d, 60e, 60f, 60g)가 설치되어 있는 존을, 각각 「TOP」, 「CTR-5」, 「CTR-4」, 「CTR-3」, 「CTR-2」, 「CTR-1」, 「BTM」이라고 칭한다. 히터(60a∼60g)는, 각각 전력 제어기(62a∼62g)에 의해 독립적으로 발열량을 제어할 수 있도록 구성된다. 또한, 내통(6)의 내벽 및/또는 외통(8)의 외벽에는, 히터(60a∼60g)에 대응하여, 도시하지 않은 온도 센서가 설치되어 있다. 한편, 도 1에서는, 히터(60)가 7개의 존으로 분할되어 있는 형태를 도시하고 있으나, 이것에 한정되지 않고, 예컨대 연직 방향 상측으로부터 하측을 향해, 6개 이하의 존으로 분할되어 있어도 좋고, 8개 이상의 존으로 분할되어 있어도 좋다. 또한, 히터(60)는, 복수의 존으로 분할되어 있지 않아도 좋다.
(제어 장치)
본 발명의 실시형태에 따른 제어 장치(100)에 대해 설명한다. 제어 장치(100)에는, 사용자들이 레시피, 장치 파라미터 등의 다수의 설정값을 입력하기 위한 레시피 편집 화면이 설치되어 있다. 한편, 레시피 편집 화면은, 제어 장치(100)에 더하여 또한 기판 처리 장치(1)에 설치되어 있어도 좋고, 제어 장치(100)를 대신하여 기판 처리 장치(1)에 설치되어 있어도 좋다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 레시피 편집 화면의 일례를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 레시피 편집 화면(200)에는, 온도 설정 버튼(201), 램핑 설정 버튼(202) 등이 표시되어 있다.
온도 설정 버튼(201)은, 히터(60)의 설정 온도(℃)를 입력하는 버튼이며, 존수에 대응하여 복수의 버튼이 표시되어 있다. 도시된 예에서는, 온도 설정 버튼(201)은, 7개의 온도 설정 버튼(201a∼201g)을 포함한다. 온도 설정 버튼(201a∼201g)은, 각각 히터(60a∼60g)의 설정 온도를 입력할 때에 이용된다.
램핑 설정 버튼(202)은, 램핑 레이트(℃/min)를 입력하는 버튼이며, 존수에 대응하여 복수의 버튼이 표시되어 있다. 도시된 예에서는, 램핑 설정 버튼(202)은, 7개의 램핑 설정 버튼(202a∼202g)을 포함한다. 램핑 설정 버튼(202a∼202g)은, 각각 히터(60a∼60g)의 램핑 시간을 입력할 때에 이용된다.
사용자들은, 레시피 편집 화면(200)을 이용하여, 다수의 설정값(레시피, 장치 파라미터 등)을 입력한다. 이에 의해, 기판 처리 장치(1)는 입력된 다수의 설정값에 기초하여 동작한다. 그 때문에, 사용자들이 잘못된 설정값을 입력하면, 사용자들이 의도하지 않은 처리가 실행되어, 제품 불량 등이 발생하는 경우가 있다.
그래서, 이하에서는, 사용자들에 의한 입력 미스를 자동적으로 판단할 수 있는, 본 발명의 실시형태에 따른 제어 장치(100)의 구체적인 구성에 대해 설명한다. 도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 제어 장치(100)의 기능 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제어 장치(100)는, 입력 접수부(101)와, 기억부(102)와, 제1 산출부(103)와, 제1 판정부(104)와, 제2 산출부(105)와, 제2 판정부(106)와, 경고 출력부(107)와, 처리 판정부(108)를 갖는다.
입력 접수부(101)는, 사용자들에 의해 설정값이 입력되었는지의 여부를 판정한다. 구체적으로는, 입력 접수부(101)는, 사용자들에 의해 레시피 편집 화면(200)의 히터(60)의 설정 온도 등의 설정값이 입력 또는 변경된 경우, 사용자들에 의해 설정값이 입력되었다고 판정한다.
기억부(102)는, 과거에 입력된 설정값을 레시피와 대응시켜 기억한다. 구체적으로는, 기억부(102)는, 예컨대 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 입력 이력 ID, 레시피 ID, 설정 온도(℃) 및 처리 실적 유무를 나타내는 테이블을 기억한다. 입력 이력 ID는, 사용자들에 의해 설정값이 입력될 때마다 붙여지는 ID이다. 레시피 ID는, 레시피마다 할당되는 ID이다. 설정 온도는, 설정값의 일례이다. 처리 실적 유무는, 레시피를 사용하여 처리가 실행되었는지의 여부를 나타내는 플래그이며, 「1」은 상기 레시피를 사용하여 처리가 실행된 것을 의미하고, 「0」은 상기 레시피를 사용하여 처리가 한 번도 실행되어 있지 않은 것을 의미한다.
제1 산출부(103)는, 기판 처리 장치(1)의 특성을 산출한다. 도 4 내지 도 6은 각 존의 온도 설정값을 도시한 도면이다. 도면 중, 횡축은 존을 나타내고, 종축은 온도 설정값(℃)을 나타낸다. 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 「CTR-5」의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 제1 산출부(103)는, 「CTR-5」와 인접하는 2개의 존인 「TOP」 및 「CTR-4」의 설정 온도를 지나는 선분(도면 중, 파선으로 나타냄)의 「CTR-5」에 있어서의 온도와, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-5」의 설정 온도와의 차분(도면 중, 양방향 화살표로 나타냄)을 산출한다. 또한, 예컨대 도 5에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 「CTR-1」의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 제1 판정부(104)는, 「CTR-1」과 인접하는 2개의 존인 「CTR-2」 및 「BTM」의 설정 온도를 지나는 선분(도면 중, 파선으로 나타냄)과, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-1」의 설정 온도와의 거리(도면 중, 양방향 화살표로 나타냄)를 산출한다. 또한, 예컨대 도 6에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 복수의 존의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 제1 산출부(103)는, 모든 존의 설정 온도에 기초하여 근사선(도면 중, 실선으로 나타냄)을 산출하고, 그 근사선과 각 존의 입력값과의 거리(도면 중, 화살표로 나타냄)를 산출한다. 한편, 모든 존의 설정 온도에 기초하여 산출되는 근사선은, 예컨대 지수 함수, n차 함수, 로그 함수, 거듭제곱 함수여도 좋다.
제1 판정부(104)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값과, 제1 산출부(103)가 산출한 기판 처리 장치(1)의 특성에 기초하여, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정한다.
구체적으로는, 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 「CTR-5」의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 제1 판정부(104)는, 제1 산출부(103)가 산출한 「TOP」 및 「CTR-4」의 설정 온도를 지나는 선분의 「CTR-5」에 있어서의 온도와, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-5」의 설정 온도와의 차분이 제1 값 이하인 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하다고 판정한다. 한편, 제1 판정부(104)는, 제1 산출부(103)가 산출한 「TOP」 및 「CTR-4」의 설정 온도를 지나는 선분의 「CTR-5」에 있어서의 온도와, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-5」의 설정 온도와의 차분이 제1 값보다 큰 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하지 않다고 판정한다. 한편, 제1 값은 미리 사용자들에 의해 정해지는 값이다.
또한, 예컨대 도 5에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 「CTR-1」의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 「CTR-2」 및 「BTM」의 설정 온도를 지나는 선분과, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-1」의 설정 온도와의 거리가 제2 값 이하인 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-1」의 설정 온도가 타당하다고 판정한다. 이에 대해, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-1」의 설정 온도와의 거리가 제2 값보다 큰 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 「CTR-1」의 설정 온도가 타당하지 않다고 판정한다. 한편, 제2 값은 미리 사용자들에 의해 정해지는 값이다.
또한, 예컨대 도 6에 도시된 바와 같이, 입력 접수부(101)가 복수의 존의 설정 온도의 입력을 접수한 경우, 모든 존의 설정 온도에 기초하여 산출된 근사선과 각 존의 입력값과의 거리 모두가 제3 값 이하인 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 복수의 존의 설정 온도가 타당하다고 판정한다. 한편, 모든 존의 설정 온도에 기초하여 산출된 근사선과 각 존의 입력값과의 거리 중 적어도 하나가 제3 값보다 큰 경우, 입력 접수부(101)가 접수한 복수의 존의 설정 온도가 타당하지 않다고 판정한다. 한편, 제3 값은 미리 사용자들에 의해 정해지는 값이다.
제2 산출부(105)는, 입력 접수부(101)가 접수한 레시피와 동일한 레시피에 있어서의 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보를 산출한다. 도 7은 통계 정보의 일례를 도시한 도면이다. 예컨대, 입력 접수부(101)가 접수한 레시피의 레시피 ID가 「1」인 경우, 제2 산출부(105)는, 예컨대 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 기억부(102)에 기억된 입력 이력 ID, 레시피 ID, 설정값(℃) 및 처리 실적 유무를 나타내는 테이블에 기초하여, 입력 접수부(101)가 접수한 레시피 ID와 동일한 레시피 ID로 처리되고, 또한, 처리 실적이 있는 입력 이력 ID의 설정값의 통계 정보(평균값 및 표준 편차)를 산출한다. 또한, 제2 산출부(105)는, 산출한 통계 정보를 기억부(102)에 기억시킨다. 이에 의해, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 산출부(105)에 의해 산출된 통계 정보(평균값 및 표준 편차)가 기억부(102)에 기억된다. 도시된 예에서는, 평균값은 759.8℃, 표준 편차(1σ)는 0.56℃이다. 또한, 제2 산출부(105)는, 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 산출한 통계 정보(평균값 및 표준 편차)에 기초하여, 설정값의 적정 범위를 설정한다. 도시된 예에서는, 적정 범위는 평균값±1σ, 즉, 상한값이 760.36℃(759.8℃+0.56℃), 하한값이 759.24℃(759.8℃-0.56℃)로 설정되어 있다.
제2 판정부(106)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값과, 제2 산출부(105)가 산출한 적정 범위에 기초하여, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정한다. 구체적으로는, 제2 판정부(106)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이, 제2 산출부(105)가 산출한 적정 범위 내인 경우[도 7의 (d)의 「Case-B」 참조.), 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하다고 판정한다. 한편, 제2 판정부(106)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이, 제2 산출부(105)가 산출한 적정 범위 내가 아닌 경우[도 7의 (d)의 「Case-A」 참조.], 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하지 않다고 판정한다.
경고 출력부(107)는, 제1 판정부(104) 및 제2 판정부(106) 중 적어도 어느 하나가, 사용자들에 의해 입력된 설정값이 타당하지 않다고 판정한 경우, 입력 미스가 있었다고 판단하고, 설정값이 타당하지 않다는 취지를 포함하는 경고 메시지를 출력한다. 구체적으로는, 경고 출력부(107)는, 제1 판정부(104)가 사용자들에 의해 입력된 값이 타당하지 않다고 판정한 경우, 예컨대 도 8에 도시된 바와 같이, 「경고 인근 존의 설정값과 비교하여, 크게 벗어나 있는 존이 있습니다. 적절하지 않을 가능성이 있기 때문에, 이 설정값이 적절한지 아닌지 확인해 주십시오.」라고 표시한다. 또한, 경고 출력부(107)는, 제2 판정부(106)가 사용자들에 의해 입력된 값이 타당하지 않다고 판정한 경우, 예컨대 도 9에 도시된 바와 같이, 「과거에 적용된 설정값과 비교하여, 이번 설정값은 1σ 이상의 차이가 있습니다. 적절하지 않을 가능성이 있기 때문에, 이 설정값이 적절한지 아닌지 확인해 주십시오.」라고 표시한다.
처리 판정부(108)는, 미리 정해진 시간 내에 사용자들로부터의 처리 속행의 조작을 접수했는지의 여부를 판정한다.
(입력값 판정 처리)
본 발명의 실시형태에 따른 입력값 판정 처리에 대해 설명한다. 도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 입력값 판정 처리의 일례의 흐름도이다.
단계 S1에서는, 입력 접수부(101)는, 사용자들에 의해 설정값이 입력되었는지의 여부를 판정한다. 단계 S1에 있어서, 사용자들에 의해 설정값이 입력되었다고 판정된 경우, 처리를 단계 S2로 이행한다. 한편, 단계 S1에 있어서, 사용자들에 의해 설정값이 입력되어 있지 않다고 판정된 경우, 다시 단계 S1을 반복한다.
단계 S2에서는, 제1 산출부(103)는, 기판 처리 장치(1)의 특성을 산출한다.
단계 S3에서는, 제1 판정부(104)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값과, 제1 산출부(103)가 산출한 기판 처리 장치(1)의 특성에 기초하여, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정한다. 단계 S3에 있어서, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하다고 판정된 경우, 처리를 단계 S6으로 이행한다. 한편, 단계 S3에 있어서, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하지 않다고 판정된 경우, 처리를 단계 S4로 이행한다.
단계 S4에서는, 경고 출력부(107)는, 설정값이 타당하지 않다는 취지를 포함하는 경고 메시지를 출력한다. 사용자들은, 경고 출력부(107)가 출력하는 경고 메시지를 확인함으로써, 입력한 설정값이 입력 미스에 의한 것인지의 여부를 용이하고 또한 신속하게 판단할 수 있다. 또한, 사용자들은, 경고 메시지를 확인한 후, 입력한 설정값이 입력 미스가 아닌 경우에는, 처리 속행의 조작을 행할 수 있다.
단계 S5에서는, 처리 판정부(108)는, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수했는지의 여부를 판정한다. 단계 S5에 있어서, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수했다고 판정된 경우, 처리를 단계 S6으로 이행한다. 한편, 단계 S5에 있어서, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수하고 있지 않다고 판정된 경우, 처리를 단계 S1로 이행한다.
단계 S6에서는, 제2 산출부(105)는, 입력 접수부(101)가 접수한 레시피와 동일한 레시피에 있어서의 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보를 산출한다.
단계 S7에서는, 제2 판정부(106)는, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값과, 제2 산출부(105)가 산출한 적정 범위에 기초하여, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정한다. 단계 S7에 있어서, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하다고 판정된 경우, 처리를 종료한다. 한편, 단계 S7에 있어서, 입력 접수부(101)가 접수한 설정값이 타당하지 않다고 판정된 경우, 처리를 단계 S8로 이행한다.
단계 S8에서는, 경고 출력부(107)는, 설정값이 타당하지 않다는 취지를 포함하는 경고 메시지를 출력한다. 사용자들은, 경고 출력부(107)가 출력하는 경고 메시지를 확인함으로써, 입력한 설정값이 입력 미스에 의한 것인지의 여부를 용이하고 또한 신속하게 판단할 수 있다. 또한, 사용자들은, 경고 메시지를 확인한 후, 예컨대 입력한 설정값이 입력 미스가 아니라고 판단하는 경우에는, 처리 속행의 조작을 행할 수 있다.
단계 S9에서는, 처리 판정부(108)는, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수했는지의 여부를 판정한다. 단계 S9에 있어서, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수했다고 판정된 경우, 처리를 종료한다. 한편, 미리 정해진 시간 내에 사용자들에 의한 처리 속행의 조작을 접수하고 있지 않다고 판정된 경우, 처리를 단계 S1로 이행한다.
이상으로 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에서는, 제어 장치(100)가, 기판 처리 장치(1)의 특성 및 과거에 입력된 설정값의 통계 정보에 기초하여, 사용자들에 의해 입력된 설정값이 타당한지의 여부를 판정한다. 이에 의해, 제어 장치(100)에 의해, 입력 미스를 자동적으로 판단할 수 있다. 그 결과, 사용자들은 안심하여 기판 처리 장치(1)를 운용할 수 있게 된다.
또한, 제어 장치(100)는, 사용자들에 의해 입력된 설정값이 타당하지 않은 경우, 설정값이 타당하지 않다는 취지를 포함하는 경고 메시지를 표시하여 사용자들에게 통지한다. 이에 의해, 사용자들이 잘못된 설정값을 입력한 경우라도, 사용자들은 용이하고 또한 신속하게 입력 미스를 파악할 수 있다. 그 때문에, 잘못된 설정값에 기초한 사용자들이 의도하지 않은 처리가 실행되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 입력 미스에 기인하는 제품 불량 등의 발생을 방지할 수 있어, 제품 수율의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 입력 미스에 의한 장치 다운 타임을 저감하여, 장치의 가동률을 높일 수 있다.
이상, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 설명하였으나, 상기 내용은, 발명의 내용을 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 범위 내에서 여러 가지 변형 및 개량이 가능하다.
상기한 실시형태에서는, 기판 처리 장치(1)의 동작을 제어하는 제어 장치(100)가 입력값 판정 처리를 실행하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 유선 또는 무선 등의 통신 수단에 의해 제어 장치(100)와 접속된 군 컨트롤러나 호스트 컴퓨터가 입력값 판정 처리를 실행해도 좋다.
1: 기판 처리 장치 4: 처리 용기
60: 히터 100: 제어 장치
101: 입력 접수부 102: 기억부
103: 제1 산출부 104: 제1 판정부
105: 제2 산출부 106: 제2 판정부
107: 경고 출력부 W: 웨이퍼

Claims (12)

  1. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 제2 판정부
    를 포함하는 기판 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치의 특성을 산출하는 제1 산출부를 더 포함하는 기판 처리 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 입력 접수부가 접수한 레시피와 동일한 레시피에 있어서의 과거의 설정값에 기초한 통계 정보를 산출하는 제2 산출부를 더 포함하는 기판 처리 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 과거에 입력된 설정값을 레시피와 대응시켜 기억하는 기억부를 더 포함하는 기판 처리 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 입력 접수부가 접수한 설정값이 타당하지 않다고 판정된 경우, 경고 메시지를 출력하는 경고 출력부를 더 포함하는 기판 처리 시스템.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 복수의 존으로 나누어 존마다 가열하는 것이 가능한 히터를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치의 특성은, 상기 존과 상기 히터의 설정 온도와의 관계인 것인 기판 처리 시스템.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 통계 정보는, 상기 입력 접수부가 접수한 레시피와 동일한 레시피에 있어서의 과거의 설정값에 기초하여 산출되는 것인 기판 처리 시스템.
  8. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부
    를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치는, 복수의 존으로 나누어 존마다 가열하는 것이 가능한 히터를 포함하며,
    상기 설정값은, 상기 복수의 존 중 하나의 존의 설정 온도이고,
    상기 기판 처리 장치의 특성은, 상기 하나의 존과 인접하는 2개의 존의 설정 온도에 기초하여 산출되는 값인 것인 기판 처리 시스템.
  9. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부
    를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치는, 복수의 존으로 나누어 존마다 가열하는 것이 가능한 히터를 포함하며,
    상기 설정값은, 상기 복수의 존의 설정 온도이고,
    상기 기판 처리 장치의 특성은, 상기 복수의 존의 모든 존의 설정 온도에 기초하여 산출되는 값인 것인 기판 처리 시스템.
  10. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 제2 판정부
    를 포함하는 제어 장치.
  11. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치와 접속된 군 컨트롤러에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 제2 판정부
    를 포함하는 군 컨트롤러.
  12. 처리 용기 내에 수용된 기판에 대해, 미리 정해진 처리를 실행하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 제어하는 제어 장치와 접속된 호스트 컴퓨터에 있어서,
    상기 미리 정해진 처리를 실행하기 위한 설정값의 입력을 접수하는 입력 접수부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 상기 기판 처리 장치의 특성에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 판정부와,
    상기 입력 접수부가 접수한 상기 설정값과, 과거에 입력된 설정값에 기초한 통계 정보에 기초하여, 상기 입력 접수부가 접수한 설정값이 타당한지의 여부를 판정하는 제2 판정부
    를 포함하는 호스트 컴퓨터.
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