KR102267227B1

KR102267227B1 - 튜브 펌프

Info

Publication number: KR102267227B1
Application number: KR1020177034109A
Authority: KR
Inventors: 무라오카 히로유키
Original assignee: 가부시키가이샤 고가네이
Priority date: 2016-07-05
Filing date: 2017-04-28
Publication date: 2021-06-21
Also published as: CN208503010U; JP6709795B2; WO2018008245A1; TWI722214B; TW201802356A; KR20190022268A; JPWO2018008245A1

Abstract

튜브 펌프는, 금속제 펌프케이스(21)와 가요성 튜브(23)를 구비하고, 구동실(25)에 공급되는 간접매체에 의해 펌프실(24)이 팽창수축된다. 수지제 환상 블록(26)이 가요성 튜브(23)의 단부의 내측에 감합되고, 수지제 플랜지(31)가 가요성 튜브(23)의 단부의 외측에 용접된다. 펌프케이스(21)에 나사부재(35)에 의해 금속제 체결링(34)이 체결되고, 플랜지(31)는 펌프케이스(21)와 체결링(34) 사이에 압축력을 가한다.

Description

튜브 펌프

본 발명은 액체를 피도포물에 도포하는 튜브 펌프에 관한 것이다.

포토레지스트액 등의 액체를 피도포물인 반도체 웨이퍼에 도포하기 위한 펌프에는 튜브 펌프가 있다. 튜브 펌프는 가요성 튜브의 탄성변형부를 지름방향으로 팽창수축시켜 펌프작동을 할 수 있도록 한 펌프이며, 튜브 풀럼 펌프라고도 한다. 이러한 유형의 펌프는, 펌프케이스와 그 내부에 내장되는 가요성 튜브를 가지며, 펌프케이스의 내부는 가요성 튜브의 탄성변형부에 의해 내측 펌프실과, 외측의 구동실로 구획된다. 비압축성 유체로 이루어진 간접매체를 구동실에 공급하면, 탄성변형부는 수축한다. 한편, 구동실로부터 간접매체를 배출하는 것에 의해 탄성변형부는 팽창한다.

이러한 가요성 튜브를 이용한 펌프에서는, 탄성변형부가 수축할 때, 가요성 튜브의 양단부에는 펌프케이스 내로 인입하는 방향으로 힘이 가해진다. 따라서 가요성 튜브의 양단부를 펌프케이스에 견고하게 체결할 필요가 있다.

특허 문헌 1에 기재된 튜브 펌프에서는, 통체의 단부에 테이퍼 형상의 감합면을 마련해, 가요성 튜브의 단부는 어댑터에 의해 감합면에 체결된다. 특허 문헌 2에 기재되는 약액공급장치는, 가요성 튜브의 단부를 펌프케이스와의 사이에 끼워 넣을 체결부재를 가지며, 체결부재에 형성된 테이퍼 형상의 홈에 쐐기부재를 압입하여, 가요성 튜브의 단부를 펌프케이스에 체결하고 있다. 또한, 특허 문헌 3은 외곽 용기의 내부에 배치되는 고무 튜브와, 고무 튜브의 내측에 배치되는 실리콘 튜브를 갖는 액체 분출 장치를 개시하고 있으며, 실리콘 튜브는 엔드부재의 소경부와 엔드부재에 부착되는 칼라 사이에 체결된다.

[특허 문헌 1] 특개평 11-117872호 공보 [특허 문헌 2] 특개 2010-38007호 공보 [특허 문헌 3] 특개평 9-303267호 공보

가요성 튜브 내의 펌프실에서 토출되는 유체의 토출압을 높이거나, 토출용량을 높이거나 하면, 가요성 튜브의 탄성변형부가 수축할 때, 가요성 튜브의 양단부에는 펌프케이스의 내부로 인입하는 방향으로 큰 힘이 가해진다. 따라서, 기존의 펌프와 같이, 지름방향의 체결력을 가하는 것에 의해 가요성 튜브의 단부를 펌프케이스에 체결하는 구조는, 가요성 튜브의 체결력을 높일 수 없다. 따라서, 펌프실로부터 액체의 토출압을 높이거나, 토출용량을 높일 수 없다.

또한, 가요성 튜브의 단부에 지름방향의 체결력을 가하려면, 기존과 같이, 체결부재의 홈에 쐐기부재를 압입하거나, 가요성 튜브의 단부를 체결하기 위한 칼라로 엔드부재에 체결하여야 하므로, 가요성 튜브를 체결하기 위한 구조가 복잡하게 된다.

본 발명의 목적은, 가요성 튜브의 단부를 펌프케이스에 견고하게 체결할 수 있는 간단한 구조의 튜브 펌프를 제공하는데 있다.

본 발명의 튜브 펌프는, 금속제 펌프케이스와, 상기 펌프케이스에 내장되어 내측의 펌프실과 외측의 구동실을 구획하는 가요성 튜브를 가지며, 상기 구동실에 공급되는 비압축성 간접매체에 의해 상기 펌프실이 팽창수축되는 튜브 펌프이며,

상기 가요성 튜브의 단부 내측에 감합되는 수지제 환상 블록과,

상기 가요성 튜브의 단부 외측에 용접되고, 그리고 상기 펌프케이스의 단부에 마련된 취부공에 취부되어, 상기 환상 블록과 함께 상기 가요성 튜브의 단부를 끼워 넣는 수지제 플랜지와,

상기 펌프케이스에 나사부재에 의해 체결되고, 상기 펌프케이스에 형성된 맞닿음면과의 사이로 상기 플랜지에 중심축방향의 압축력을 가하는 금속제 체결링을 갖는다.

가요성 튜브의 양단부는 환상 블록과 플랜지 사이에 삽입되고, 가요성 튜브는 플랜지에 용접되어 플랜지와 일체화된다. 따라서, 가요성 튜브의 탄성변형부가 지름방향으로 탄성변형함으로써, 가요성 튜브의 양단부가 펌프케이스 내에 인입되는 방향으로 큰 힘이 가해져도, 양단부는 환상 블록과 플랜지 사이에서 어긋나는 일이 없다. 가요성 튜브를 플랜지에 용접하는 것에 의해, 가요성 튜브의 양단을 체결하는 구조가 간단하게 되고, 튜브 펌프를 간단한 구조로 할 수 있다.

수지제 플랜지는 금속제 펌프케이스와 금속제 체결링 사이에 삽입되도록 체결되므로, 플랜지는 체결력에 의해 탄성변형하여, 간접매체와 액체의 시일성을 높일 수 있다.

도 1은 하나의 실시 형태인 튜브 펌프를 나타낸 정면도이다.
도 2는 도 1의 우측면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 펌프 유닛의 유출측과 유입측의 일부 생략 확대 단면도이다.
도 4는 조립 완료 전 펌프 유닛의 단부를 나타내는 확대 단면도이다.
도 5는 다른 실시 형태인 펌프 유닛(11)의 일단부를 나타내는 확대 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 튜브 펌프(10)는, 펌프 유닛(11)과 구동 유닛(12)을 구비하고 있다. 펌프 유닛(11)에는, 유입측의 조인트(13a)와 유출측의 조인트(13b)가 형성되어있다. 튜브 펌프(10)는, 도시하지 않은 지지대에 유입측의 조인트(13a)가 아래로 향하고, 유출측의 조인트(13b)가 위로 향하도록 장착된다. 레지스트액 등의 액체를 수용하는 액체 용기(14)가 유입측의 유로(15)에 의해 유입측의 조인트(13a)에 연결된다. 액체를 피도포물에 도포하는 도포구(16)가 유출측의 유로(17)에 의해 유출측의 조인트(13b)에 연결된다.

구동 유닛(12)에 의해 펌프 유닛(11)이 구동되면, 액체 용기(14) 내의 액체는, 도포구(16) 쪽으로 공급된다. 액체 용기(14)로부터 펌프 유닛(11)으로 향하는 액체의 흐름을 허용하고, 역방향의 흐름을 저지하기 위해 체크 밸브(18)가 유입측의 유로(15)에 설치되어 있다. 펌프 유닛(11)으로부터 도포구(16)로 향하는 액체의 흐름을 허용하고 역방향의 흐름을 저지하기 위해, 체크 밸브(19)가 유출측의 유로(17)에 설치되어있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 펌프 유닛(11)은 금속제 펌프케이스(21)를 갖고 있다. 2개의 취부공(29)과 1개의 관통공(22)이 펌프케이스(21)에 형성되어있다. 취부공(29)과 관통공(22)의 횡단면은 원형이다. 취부공(29)은 펌프케이스(21)의 마주 보는 양단면에 개구로서 형성되어있다. 관통공(22)은, 취부공(29) 보다 작은 내경을 가지며, 양단부의 취부공(29) 사이를 관통한다. 2개의 취부공(29)의 중심축과 관통공(22)의 중심축은 동일하다. 관통공(22)과 취부공(29) 사이의 단차는, 취부공(29) 및 관통공(22)의 중심축에 대해 수직인 환상의 맞닿음면(30)이 된다. 중심축 방향의 위치 관계에 있어서, 관통공(22)의 중심축 방향 중앙에서 가까운 쪽을 중심축의 축방향 안쪽이라 하고, 관통공(22)의 중심축 방향 중앙에서 먼 쪽을 중심축의 축방향 바깥쪽이라 한다. 도 3에 나타낸 펌프 유닛(11)의 유출측에서는, 유출측 조인트(13b)가 축방향 바깥쪽이 되고, 관통공(22)은 축방향 안쪽이 된다. 마찬가지로, 도 3에 나타낸 펌프 유닛(11)의 유입측에서는, 유입측 조인트(13a)가 축 방향 바깥쪽이 되고, 관통공(22)은 축방향 안쪽이 된다.

불소 수지로 이루어진 가요성 튜브(23)가 관통공(22)에 들어간다. 관통공(22)은, 가요성 튜브(23) 내측의 펌프실(24)과 가요성 튜브(23) 외측의 구동실(25)로 구획된다. 액체 등의 비압축성 유체로 이루어진 간접매체를 구동실(25)로 공급하면, 가요성 튜브(23)가 내측 방향으로 변형되어 펌프실(24)은 수축하고, 구동실(25)로부터 간접매체를 배출하면, 가요성 튜브(23)가 외측 방향으로 변형하여 펌프실(24)은 팽창한다. 이와 같이, 구동실(25)에 공급되는 비압축성의 간접매체에 의해, 펌프실(24)이 팽창수축된다.

수지제 환상 블록(26)이 가요성 튜브(23)의 양단부의 내측에 감합된다. 펌프실(24)에 연통하는 연통공(27)이, 환상 블록(26)의 바깥쪽 단부, 즉 중심축의 축방향 바깥쪽측의 단부에서, 지름방향 중심부에 형성되어 있고, 환상 블록(26)의 안쪽 단부, 즉 중심축의 축방향 안쪽측의 단부로부터 연통공(27)을 향해 점차 내경이 작아지는 테이퍼면(28)이 환상 블록(26)에 형성되어 있다.

수지제 환상의 플랜지(31)가 상하 양방의 취부공(29)에 각각 배치되어, 플랜지(31)와 취부공(29) 사이는, 시일 부재(32)에 의해 시일링된다. 각각의 플랜지(31)는 가요성 튜브(23)의 양단부의 외면에 용접된다. 가요성 튜브(23)의 양단부에는, 플랜지(31)의 중심축방향 바깥쪽 단면으로부터 구동실(25)의 외부로 돌출하는 돌출 단부(23b)가 형성된이다. 플랜지(31)의 중심축방향 바깥쪽의 단면과 가요성 튜브(23)의 돌출 단부(23b)의 외주면에 의해 형성되는 모서리부는 용접부(33)이며, 각각의 플랜지(31)와 가요성 튜브(23)는 용접부(33)에 의해 용접된다. 환상 블록(26)과 플랜지(31)는 각각 가요성 튜브(23)와 마찬가지로, 불소 수지로 형성된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 환상의 플랜지(31)가 가요성 튜브(23)의 상단부와 하단부의 외측에 배치되고, 환상 블록(26)이 가요성 튜브(23)의 상단부와 하단부의 내측에 배치된다. 이와 같이, 환상의 플랜지(31)와 환상 블록(26)은, 가요성 튜브(23)를 상단부와 하단부에 삽입한다.

금속제 체결링(34)이 펌프케이스(21)의 양단면에, 복수 개의 나사부재(35)에 의해 체결된다. 나사부재(35)에 의해 체결링(34)이 펌프케이스(21)에 체결되면, 금속제 펌프케이스(21)와 금속제 체결링(34)의 사이에서, 수지제 플랜지(31)에는 중심축방향의 압축력이 가해져서, 각각의 플랜지(31)는 중심축방향으로 수축하는 동시에 지름방향으로 팽창한다. 이와 같이 플랜지(31)가 탄성 변형하면, 플랜지(31)의 외주면은 취부공(29)에 압박되고, 내주면은 가요성 튜브(23)의 외주면에 압박된다. 플랜지(31)의 외주면은 금속제 펌프케이스(21)의 취부공(29)에 압박되기 때문에, 둘 사이의 시일성이 강화된다. 가요성 튜브(23)의 내측에는 환상 블록(26)이 설치되어 있기 때문에, 플랜지(31)의 내주면이 가요성 튜브(23)의 외주면에 압박되더라도, 가요성 튜브(23)가 내측 방향으로 변형하는 것이 저지된다. 따라서, 환상 블록(26)과 가요성 튜브(23) 사이와, 가요성 튜브(23)와 플랜지(31) 사이의 시일성이 강화된다. 이상과 같이하여 펌프실(24)와 구동실(25)의 시일성이 강화된다.

전술한 바와 같이, 중심축방향의 압축력이 수지의 플랜지(31)에 가해지고, 각각의 플랜지(31)는 중심축방향으로 수축함과 동시에 지름방향으로 팽창한다. 중심축방향의 압축력에 의해, 수지제 플랜지(31)가 중심축방향으로 수축하기 때문에, 체결링(34)이 펌프케이스(21)에 체결되기 전에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 플랜지(31)가 펌프케이스(21)의 단면(21a)보다 중심축방향 바깥쪽으로 돌출되어있다. 따라서 단면(21a)과 플랜지(31)의 사이에는 단차(G)가 있으며, 체결링(34)을 플랜지(31)에 접촉시킨 경우에는 단차(G) 의한 틈새가 체결링(34)과 펌프케이스(21)의 사이에 형성된다. 이처럼 체결링(34)과 펌프케이스(21)의 사이에 단차(G)에 의한 틈새가 형성된 상태에서, 나사부재(35)에 의해 체결링(34)이 펌프케이스(21)에 체결된다. 이로써, 나사부재(35)의 체결력에 의해 플랜지(31)가 압축 변형되고, 펌프케이스(21)의 단면(21a)이 체결링(34)에 밀착하여, 단차(G)의 중심축방향 길이가 제로가 된다. 이렇게 중심축방향의 압축력이 수지제 플랜지(31)에 가해지고, 플랜지(31)는 중심축방향으로 수축하는 동시에 지름방향으로 팽창한다. 단차(G)에 의해서, 플랜지(31)의 지름방향으로 팽창 변형이 확실하게 된다.

전술한 단차(G)를 형성하기 위해, 펌프케이스(21)의 맞닿음면(30)과 펌프케이스(21)의 단면 (21a) 사이의 중심축방향 길이(A)보다 조립되기 전의 플랜지(31)의 중심축방향 길이(B)가 길다. 또한, 도 4는 고정링(41), 단판(46), 조인트(13b)가 설치되기 전에 상태를 나타낸다. 또한, 도 4는 조립 완료 전의 펌프 유닛의 일단부를 나타내고 있지만, 타단부도 동일한 형태이다.

위치결정용 돌기부(36)가, 각각의 환상블록(26)의 바깥쪽 단부의 지름방향 외주부에 형성되며, 위치결정용 돌기부(36)는 지름방향 바깥쪽으로 돌출되어있다. 이 돌기부(36)에 맞닿는 스토퍼(37)가 체결링(34)의 지름방향 내측에 형성되어있다. 돌기부(36)가 스토퍼(37)에 접촉하는 것에 의해, 환상블록(26)은 펌프케이스(21)에 대하여 중심축방향의 소정의 위치에 위치결정된다. 가요성 튜브(23)의 양단부는 환상 블록(26)과 플랜지(31)의 사이에 삽입되기 때문에, 가요성 튜브(23)는 중심축방향의 소정의 위치에 위치결정된다. 또한, 각각의 플랜지(31)와 가요성 튜브(23)의 양단부의 외면은 용접되어 있기 때문에, 가요성 튜브(23)의 중심축방향의 위치는 정확하게 위치결정된다. 환상 블록(26)과 플랜지(31)의 사이에 삽입된 가요성 튜브(23)의 양단부의 사이가, 가요성 튜브(23)의 탄성변형부(23a)를 구성한다.

손톱부(38)가 펌프케이스(21)의 맞닿음면(30)에 환상으로 마련되어 있고, 손톱부(38)는 중심축방향으로 접촉면(30)에서 돌출되어 있다. 따라서 체결링(34)으로부터 체결력이 플랜지(31)에 가해지면, 취부공(29)에 배치된 플랜지(31)의 안쪽 단면 즉, 중심축의 축방향 안쪽의 단면에 손톱부(38)가 끼워져, 구동실(25)의 시일성이 강화된다. 또한, 돌기(39)가 플랜지(31)의 내주면의 안쪽 단면 즉, 중심축의 축방향 안쪽측의 단부에 환상으로 형성되어있다. 전술한 바와 같이, 나사부재(35)에 의해 체결링(34)이 펌프케이스(21)에 체결되면, 금속제 펌프케이스(21)와 금속제 체결링(34)의 사이에서, 수지제 플랜지(31)에는 중심축방향의 체결력이 가해진다. 그러면 각각의 플랜지(31)는 중심축방향으로 수축하는 동시에 지름방향의 외측 방향으로 팽창하고, 지름방향의 내측 방향으로 팽창하여, 내경이 작아진다. 이에 따라, 돌기(39)는, 가요성 튜브(23)의 외주면에 끼워져, 펌프실(24)와 구동실(25)의 시일성이 강화된다.

환상의 고정링(41)이 복수 개의 나사부재(42)에 의해 각각의 체결링(34)에 설치된다. 각각의 고정링(41)은 환상 블록(26)의 바깥쪽 단면에 맞닿음면(43)과, 환상 블록(26)에 형성된 환상 돌출부(44)의 외주면에 감합하는 감합공(45)을 가지고 있다. 단판(46)이 고정링(41)의 외면에 복수 개의 나사부재(47)에 의해 설치되고, 펌프실(24)에 연통하는 연통공(48)이 단판(46)에 형성되어있다. 감합부(49)가 단판(46)의 내면에 중심축방향으로 돌출되어 형성되고, 감합부(49)는 환상 블록(26)의 환상 돌출부(44)의 내주면에 감합한다.

유출측의 조인트(13b)는, 복수 개의 나사부재(50)에 의해 상단부측의 단판(46)에 고정되고, 유출측의 유로(17)가 조인트(13b)에 연결된다. 유입측의 조인트(13a)는 나사부재(50)에 의해 하단부측의 단판(46)에 고정되고, 유입측의 유로(15)가 조인트(13a)에 연결된다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 펌프 유닛(11)의 유입측 단부와 유출측 단부는 같은 구조로 되어있다.

상술한 구조의 펌프 유닛(11)을 조립하기 위해서, 펌프케이스(21)의 상하의 취부공(29)에 각각 플랜지(31)를 배치하고, 가요성 튜브(23)를 플랜지(31)의 내측에 배치한다. 각각의 플랜지(31)는 가요성 튜브(23)의 단부에 용접된 용접부(33)에 의해 상하의 플랜지(31)와 가요성 튜브(23)가 접합되어 일체화된다. 이어서 펌프케이스(21)의 양단면에 체결링(34)을 배치하는 동시에, 가요성 튜브(23)의 양단부 내에 각각 환상 블록(26)을 삽입한다. 도 4는 한쪽의 체결링(34)이 펌프케이스(21)의 한쪽의 일단면에 배치되고, 가요성 튜브(23)의 일단부에 한쪽의 환상 블록(26)이 삽입된 상태를 나타낸다.

나사부재(35)에 의해 체결링(34)을 펌프케이스(21)에 체결하면, 수지제 플랜지(31)가 각각 금속제 체결링(34)과 펌프케이스(21)의 사이로 압박된 상태가 되어 견고하게 체결된다. 또한, 고정링(41)과 단판(46)을 통해, 유입측의 조인트(13a)와 유출측의 조인트(13b)가 펌프케이스(21)의 양단에 장착된다.

도 1과 도 2에 나타낸 바와 같이, 구동 유닛(12)은 전동 모터(51)가 설치되는 유닛 하우징(52)을 구비하며, 피스톤이 축방향으로 왕복운동 가능하게 설치된 실린더가 유닛 하우징(52)의 내부에 설치되어있다. 피스톤에 나사 결합되는 볼스크류는 전동 모터(51)에 의해 구동되고, 피스톤은 전동 모터(51)에 의해 구동된다. 실린더와 피스톤에 의해 구획되는 압력실내에는 간접매체가 충전되어 있으며, 압력실은 유로를 통해 구동실(25)에 연통되어있다. 따라서 피스톤을 구동하는 것에 의해서, 압력실내의 간접매체를 구동실(25)에 공급하면, 가요성 튜브(23)의 탄성변형부(23a)가 지름방향 안쪽으로 변형하고, 펌프실(24)은 수축한다. 한편, 구동실(25) 내의 간접매체를 구동실(25)로부터 배출하면, 가요성 튜브(23)의 탄성변형부(23a)는 지름방향 바깥쪽으로 변형하고, 펌프실(24)은 팽창한다.

펌프실(24)이 팽창하면, 도 1에 나타낸 액체 용기(14) 내의 액체는, 체크 밸브(18)를 통과하여 펌프실(24) 내로 공급된다. 이 때에는, 체크 밸브(19)에 의해 유로(17) 내의 액체의 역류가 방지된다. 한편, 펌프실(24)이 수축하면 펌프실(24) 내의 액체는 체크 밸브(19)를 통과하여 도포구(16)에 공급된다. 이 때에는, 체크 밸브(18)에 의해 펌프실(24) 내의 액체가 액체 용기(14) 쪽으로 역류하는 것이 방지된다.

가요성 튜브(23)의 탄성변형부(23a)가 수축하면, 가요성 튜브(23)의 양단부에 펌프케이스(21)의 내부로 인입하는 방향의 힘이 가해진 다. 그러나 가요성 튜브(23)의 양 돌출 단부(23b)는 용접부(33)에 의해 플랜지(31)에 접합되어 있기 때문에, 탄성변형부(23a)를 크게 변형시켜도 가요성 튜브(23)의 양단부의 차이 발생이 방지된다. 이처럼 가요성 튜브(23)를 플랜지(31)에 용접하는 것에 의해서, 펌프 유닛(11)을 간단한 구조로 할 수 있다. 플랜지(31)와 가요성 튜브(23)를 동종의 수지 재료로 하면, 용접부(33)에 의한 플랜지(31)와 가요성 튜브(23)의 접합 강도를 높일 수 있다.

수지제 플랜지(31)를 금속제 펌프케이스(21)와 금속제 체결링(34) 사이로 압박하면, 플랜지(31)는 중심축방향과 지름방향으로 탄성변형한다. 그러면 플랜지(31)의 외주면은 금속제 펌프케이스(21)의 취부공(29)에 압박되기 때문에 둘 사이의 시일성이 강화된다. 플랜지(31)의 내주면은 지름방향 내측 방향으로 변형하기 때문에, 환상 블록(26)과 가요성 튜브(23) 사이와, 가요성 튜브(23)와 플랜지(31) 사이의 시일성이 강화된다. 이렇게 하여 펌프 유닛(11)으로부터 간접매체의 누설 발생을 장기간에 걸쳐 확실하게 방지 할 수 있다.

도 5는 다른 실시 형태인 펌프 유닛(11)의 일단부를 나타내는 확대 단면도이고,도 5에 있어서는 상술한 펌프 유닛(11)과 공통성을 갖는 부재에 대해서는 동일한 부호가 붙여진다. .

도 5에 나타낸 바와 같이, 취부공(29)보다 직경이 작고 관통공(22)보다 직경이 큰 감합공(55)이 관통공(22)과 취부공(29)의 사이에 형성되고, 맞닿음면(30)가 취부공(29)과 감합공(55)의 사이에 형성되어있다. 환상 돌기(56)가 구동실(25)에 접하는 플랜지(31)의 단면으로부터 중심축방향 안쪽으로 돌출하고 플랜지(31)와 일체로 형성되어있다. 또한 금속제 보조링(57)이 환상 돌기(56)의 내주면에 배치된다.

이와 같이, 환상 돌기(56)는 감합공(55)의 내주면과 보조링(57)의 외주면에 끼워져 있다. 따라서 펌프케이스(21)의 감합공(55)과 보조링(57)에 의한 지름방향의 압축력이 환상 돌기(56)에 가해진다. 그러면 환상 돌기(56)는 감합공(55)에 의해 밀착된 상태가 되고, 지름방향 바깥쪽으로 탄성변형하는 동시에 중심축방향으로 탄성변형한다. 환상 돌기(56)가 중심축방향으로 탄성변형해도 환상 돌기(56)의 선단면이 펌프케이스(21)에 형성된 단차면(58)에 맞닿지 않도록 감합공(55)의 중심축방향 길이(C)는 환상 돌기(56)의 길이보다 길다. 감합공(55), 환상 돌기(56), 보조링(57)은, 환상 돌기(56)에 적당한 압축력이 가해지도록 설계된다.

이와 같이, 보조링(57)에 의해 환상 돌기(56)의 외주면과 감합공(55) 사이의 시일성이 강화된다. 도 5에 나타낸 튜브 펌프에 있어서는, 플랜지(31)와 취부공(29)의 사이는 플랜지(31)에 의해 가해지는 탄성력에 의해 실링되고, 플랜지(31)의 환상 돌기(56)와 감합공(55)의 사이는 보조링(57)에 의해 지름방향 바깥쪽으로 환상 돌기(56)에 가해지는 압축력에 의해 실링된다.

도 5는 펌프 유닛(11)의 일단부의 구조를 보여 주지만, 타단부도 같은 구조이다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

본 발명의 튜브 펌프는 포토레지스트액 등의 액체를 반도체 웨이퍼 등의 피도포물에 도포하기 위한 펌프로 적용 할 수 있다.

Claims

금속제 펌프케이스와 상기 펌프케이스에 내장되어 내측의 펌프실과 외측의 구동실을 구획하는 가요성 튜브를 구비하고, 상기 구동실에 공급되는 비압축성의 간접매체에 의해 상기 펌프실이 팽창수축되는 튜브 펌프로서,
상기 가요성 튜브의 단부의 내측에 감합되는 수지제 환상 블록과
상기 가요성 튜브의 단부의 외측에 용접되고, 그리고 상기 펌프케이스의 단부에 형성된 취부공에 취부되며, 상기 환상 블록과 함께 상기 가요성 튜브의 단부를 끼워 넣는 수지제 플랜지와,
상기 펌프케이스에 나사부재에 의해 체결되고, 상기 펌프케이스에 형성된 맞닿음면과의 사이에서 상기 플랜지에 중심축방향의 압축력을 가하는 금속제 체결링을 가지는, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 구동실에 접하는 상기 플랜지의 단면으로부터 중심축방향 안쪽으로 돌출하는 환상 돌기와, 상기 펌프케이스의 단부에 형성되고 상기 취부공보다 작은 직경의 감합공과, 상기 환상 돌기의 내주면에 배치되는 금속제 보조링을 가지며,
상기 금속제 보조링과 상기 펌프케이스에 의해 상기 환상 돌기에 지름방향의 압축력을 가하는, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 가요성 튜브는, 상기 플랜지의 단면으로부터 상기 구동실의 외부로 돌출되는 돌출 단부를 가지며,
상기 플랜지의 단면과 상기 가요성 튜브의 상기 돌출 단부의 외주면에 의해 형성되는 모서리부에 용접부를 형성하는, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 펌프케이스에 조립되기 전의 상기 플랜지의 중심축방향 길이는, 상기 플랜지의 단면이 맞닿는 상기 펌프케이스의 상기 맞닿음면과 상기 펌프케이스의 단면 사이의 중심축방향 길이보다 긴, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 맞닿음면에, 상기 플랜지에 끼워지는 손톱부가 형성되는, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 환상 블록에 위치결정용 돌기부가 형성되고, 상기 체결링에 상기 위치결정용 돌기부에 맞닿는 스토퍼가 형성된, 튜브 펌프.
제1항에 있어서,
상기 가요성 튜브의 외주면에 끼워지는 돌기가 상기 플랜지의 내주면에 형성되는, 튜브 펌프.