KR102264853B1 - Apparatus for sensing deflection of OHT rail - Google Patents

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KR102264853B1 KR1020170093395A KR20170093395A KR102264853B1 KR 102264853 B1 KR102264853 B1 KR 102264853B1 KR 1020170093395 A KR1020170093395 A KR 1020170093395A KR 20170093395 A KR20170093395 A KR 20170093395A KR 102264853 B1 KR102264853 B1 KR 102264853B1
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Abstract

나란하게 배치된 제1 및 제2 레일들과 상기 제1 및 제2 레일들의 길이 방향으로 배치되어 상기 제1 및 제2 레일들을 연결하는 복수의 레일 연결부를 구비하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 처짐을 감지하기 위한 장치가 개시된다. OHT 레일 처짐 감지 장치는, OHT 레일과 동일한 방향으로 연장되고 레일 연결부들의 상측에 배치된 와이어와, 레일 연결부의 상부면에 장착되고 와이어가 관통하여 삽입되는 관통공이 형성되며 와이어의 위치를 가이드하는 링 블럭과, 와이어의 일 단부가 고정되는 와이어 고정부와, 링 블럭을 사이에 두고 와이어 고정부와 대향하여 배치되고 와이어의 타 단부가 고정되며 와이어의 텐션 변화를 감지하여 OHT 레일의 처짐을 감지하는 센서 유닛을 포함할 수 있다. 이와 같이, OHT 레일 처짐 감지 장치는 OHT 레일에 와이어를 연결하고 와이어의 텐션 변화를 감지함으로써, OHT 레일의 처짐을 자동으로 감지할 수 있다. An overhead hoist transport (OHT) rail having first and second rails arranged side by side and a plurality of rail connections arranged in the longitudinal direction of the first and second rails to connect the first and second rails An apparatus for detecting sag is disclosed. The OHT rail deflection detection device includes a wire extending in the same direction as the OHT rail and disposed above the rail connections, a ring mounted on the upper surface of the rail connection and a through hole through which the wire is inserted, and a ring for guiding the position of the wire The block, the wire fixing part to which one end of the wire is fixed, and the ring block are disposed to face the wire fixing part, the other end of the wire is fixed, and the tension change of the wire is detected to detect the sag of the OHT rail. It may include a sensor unit. In this way, the OHT rail deflection detection device can automatically detect the deflection of the OHT rail by connecting a wire to the OHT rail and detecting a change in tension of the wire.

Description

OHT 레일 처짐 감지 장치{Apparatus for sensing deflection of OHT rail}OHT rail deflection detection device {Apparatus for sensing deflection of OHT rail}

본 발명의 실시예들은 OHT 레일 처짐 감지 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 공정 설비에서 물건을 이송하기 위해 구비되는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 변형을 감지하기 위한 OHT 레일 처짐 감지 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an OHT rail deflection detection device. More particularly, it relates to an OHT rail deflection detection device for detecting deformation of an overhead hoist transport (OHT) rail provided for transporting goods in a semiconductor processing facility.

일반적으로, 반도체 소자 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 일련의 반도체 제조 공정들, 예컨대, 박막 증착, 식각, 이온 주입, 세정 공정 등을 반복적으로 수행하여 제조될 수 있다.In general, a semiconductor device or a display device may be manufactured by repeatedly performing a series of semiconductor manufacturing processes, for example, thin film deposition, etching, ion implantation, and cleaning processes, on a substrate such as a silicon wafer or a glass substrate.

상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트나 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 이러한 기판 수납 용기는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 같은 무인 반송 장치에 의해 이송될 수 있다.The manufacturing processes as described above are performed in a clean room in which cleanliness is managed to prevent contamination, and substrate transfer between manufacturing processes may be performed using a substrate storage container such as a cassette or FOUP. Such a substrate storage container may be transported by an unmanned transport device such as an overhead hoist transport (OHT).

OHT는 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린룸 내에서 상부 영역에 설치되는 OHT 레일과 기판 수납 용기가 적재된 대차를 구비할 수 있으며, 대차는 OHT 레일을 따라 주행하며 기판들을 이송한다.The OHT may include an OHT rail installed in an upper area in a clean room in which a semiconductor manufacturing process is performed and a bogie on which a substrate storage container is loaded, and the bogie moves along the OHT rail and transfers the substrates.

OHT 레일은 클린룸의 천장부로부터 이격되어 공중에 설치되며, OHT 레일을 천장부에 결합하는 별도의 결합 블럭들이 소정 간격으로 OHT 레일에 설치되어 천장부에 고정될 수 있다. The OHT rail may be installed in the air spaced apart from the ceiling of the clean room, and separate coupling blocks for coupling the OHT rail to the ceiling may be installed on the OHT rail at predetermined intervals and fixed to the ceiling.

특히, OHT 레일은 자연 재해와 같은 외부의 충격이 클린룸의 천장부 또는 OHT 레일에 가해질 경우 처짐이 발생할 수 있다. 또한, OHT 레일에는 여러 개의 대차가 OHT 레일에 매달린 형태로 장착되기 때문에, 장기간 사용시 대차와 대차에 수납된 기판들과 기판 수납 용기의 하중에 의해 OHT 레일의 처짐이 발생할 수 있다. 이러한 OHT 레일의 처짐은 대차의 휠을 손상 또는 파손시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 파손 등과 같은 문제점이 발생될 수 있다.In particular, the OHT rail may sag when an external impact such as a natural disaster is applied to the ceiling of the clean room or the OHT rail. In addition, since several bogies are mounted on the OHT rail in the form of being suspended from the OHT rail, the OHT rail may sag due to the load of the bogie and the substrates and the substrate storage container accommodated in the bogie during long-term use. The deflection of the OHT rail may damage or break the wheel of the bogie, which may cause problems such as damage to the substrate.

따라서, OHT 레일의 처짐 유무를 미리 확인하여 방지해야 하는데, OHT 레일의 처짐은 고소 작업을 통해 작업자가 일일이 측정해야 하기 때문에 그 작업이 매우 번거롭고 불편하다.Therefore, it is necessary to prevent the deflection of the OHT rail by checking in advance, and the deflection of the OHT rail is very cumbersome and inconvenient because the operator has to measure it one by one through work at height.

한국등록특허공보 제10-1374665호 (2014.03.18)Korean Patent Publication No. 10-1374665 (2014.03.18)

본 발명의 실시예들은 OHT 레일의 변형을 자동으로 감지할 수 있는 OHT 레일 처짐 감지 장치를 제공하는 데 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an OHT rail deflection detection device capable of automatically detecting deformation of the OHT rail.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치는, 나란하게 배치된 제1 및 제2 레일들과 상기 제1 및 제2 레일들의 길이 방향으로 배치되어 상기 제1 및 제2 레일들을 연결하는 복수의 레일 연결부를 구비하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 처짐을 감지하기 위한 장치로서, 상기 OHT 레일과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들의 상측에 배치된 와이어와, 상기 레일 연결부의 상부면에 장착되고 상기 와이어가 관통하여 삽입되는 관통공이 형성되며 상기 와이어의 위치를 가이드하는 링 블럭과, 상기 와이어의 일 단부가 고정되는 와이어 고정부와, 상기 링 블럭을 사이에 두고 상기 와이어 고정부와 대향하여 배치되고 상기 와이어의 타 단부가 고정되며 상기 와이어의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일의 처짐을 감지하는 센서 유닛을 포함할 수 있다.OHT rail deflection detection device according to an aspect of the present invention for achieving the above object is arranged in the longitudinal direction of the first and second rails and the first and second rails arranged side by side, the first and second rails A device for detecting deflection of an overhead hoist transport (OHT) rail having a plurality of rail connections connecting two rails, a wire extending in the same direction as the OHT rail and disposed above the rail connections, the rail A ring block mounted on the upper surface of the connection part and having a through hole through which the wire is inserted and guiding the position of the wire, a wire fixing part to which one end of the wire is fixed, and the ring block interposed therebetween. It may include a sensor unit disposed to face the wire fixing portion, the other end of the wire is fixed, and sensing a change in tension of the wire to detect the deflection of the OHT rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서 유닛은, 상기 와이어의 타 단부가 결합되며 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 센서 도그와, 상기 센서 도그의 일 단부가 유동 가능하게 삽입되는 가이드홀 및 상기 가이드홀과 연통되고 상기 와이어의 타 단부가 관통하여 삽입되는 와이어 삽입관을 구비하고 상기 센서 도그를 고정하는 도그 고정 블럭과, 상기 센서 도그를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭과 마주하게 배치되며 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 변화를 감지하는 센서부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 와이어는 상기 센서 도그의 타 단부에 결합될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit includes a sensor dog to which the other end of the wire is coupled and relaxed or contracted according to a change in tension of the wire, and a guide into which one end of the sensor dog is movably inserted. A dog fixing block communicating with the hole and the guide hole and having a wire insertion tube through which the other end of the wire is inserted and fixing the sensor dog, and the dog fixing block with the sensor dog interposed therebetween and a sensor unit for detecting a change in the sensor dog due to a change in tension of the wire. Here, the wire may be coupled to the other end of the sensor dog.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서 도그는 스프링으로 이루어질 수 있으며, 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor dog may be formed of a spring, and may be relaxed or contracted according to a change in tension of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 포토 센서로 이루어질 수 있으며, 상기 포토 센서의 발광부와 수광부 사이에 상기 센서 도그의 타 단부가 위치할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be formed of a photo sensor, and the other end of the sensor dog may be positioned between the light emitting unit and the light receiving unit of the photo sensor.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 로드셀로 이루어질 수도 있으다. 여기서, 상기 센서부는 상기 센서 도그의 타 단부에 연결되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 인장력 변화를 감지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be formed of a load cell. Here, the sensor unit may be connected to the other end of the sensor dog, and sense a change in tensile force of the sensor dog due to a change in tension of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 거리 센서로 이루어질 수도 있다. 여기서, 상기 센서부는 상기 센서 도그와 마주하게 배치되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그와의 거리 변화를 감지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be formed of a distance sensor. Here, the sensor unit is disposed to face the sensor dog, and may sense a change in the distance from the sensor dog due to a change in tension of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 와이어 고정부와 상기 센서 유닛은 각각 상기 레일 연결부의 상부면에 장착될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the wire fixing part and the sensor unit may be respectively mounted on the upper surface of the rail connection part.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, OHT 레일 처짐 감지 장치는, OHT 레일의 레일 연결부들에 와이어를 연결하고 와이어의 텐션 변화를 감지함으로써, OHT 레일의 처짐을 자동으로 감지할 수 있다. 이에 따라, 고소 작업 없이 OHT 레일의 처짐을 자동으로 감지할 수 있으므로, 작업자가 고소 작업을 이용한 OHT 레일의 처짐 검사 없이 OHT 레일의 처짐을 파악할 수 있다. 그 결과, 종래 대비 작업 효율 및 생산성이 향상되며 OHT 레일 처짐으로 인한 대차의 휠 갈림 및 파손이 방지될 수 있다. 더욱이, OHT 레일 처짐 감지 장치는 OHT 레일의 처짐을 신속하게 자동으로 인지할 수 있으므로, 이에 대해 신속한 대처가 가능하다.According to the embodiments of the present invention as described above, the OHT rail deflection detection device may automatically detect the deflection of the OHT rail by connecting the wire to the rail connections of the OHT rail and detecting a change in tension of the wire. . Accordingly, since the deflection of the OHT rail can be automatically detected without work at height, the operator can grasp the deflection of the OHT rail without checking the deflection of the OHT rail using work at height. As a result, work efficiency and productivity are improved compared to the prior art, and wheel breakage and damage of the bogie due to the deflection of the OHT rail can be prevented. Moreover, since the OHT rail deflection detection device can quickly and automatically recognize the deflection of the OHT rail, it is possible to quickly respond to this.

도 1은 OHT 레일을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 링 블럭을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 센서 유닛을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 가이드 블럭과 센서 도그의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.
도 6 및 도 7은 도 4에 도시된 센서부의 다른 일례들을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.1 is a schematic perspective view for explaining an OHT rail.
2 is a schematic side view for explaining an OHT rail deflection detection device according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic partial perspective view for explaining the ring block shown in FIG.
FIG. 4 is a schematic partial perspective view for explaining the sensor unit shown in FIG. 2 .
5 is a schematic longitudinal cross-sectional view for explaining the coupling relationship between the guide block and the sensor dog shown in FIG. 4 .
6 and 7 are schematic side views for explaining other examples of the sensor unit shown in FIG. 4 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 OHT 레일을 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.Figure 1 is a schematic perspective view for explaining the OHT rail, Figure 2 is a schematic side view for explaining the OHT rail deflection detection device according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, OHT 레일(10)은 무인 반송 장치인 OHT(Overhead Hoist Transport)에 구비되는 이송 레일로서, 반도체 제조 공정들 사이에서 반도체 소자용 기판 또는 디스플레이 장치용 기판을 이송하기 위해 클린룸 내에 설치될 수 있다. 상기 OHT 레일(10)은 상기 클린룸 안의 상부 영역에 배치되며, 반도체 기판 또는 디스플레이 기판이 수납되는 카세트나 풉(FOUP)과 같은 기판 수납 용기가 적재되는 대차(미도시)의 주행 경로를 제공한다.1 and 2 , the OHT rail 10 is a transport rail provided in an overhead hoist transport (OHT), which is an unmanned transport device, for transporting a substrate for a semiconductor device or a substrate for a display device between semiconductor manufacturing processes. It can be installed in a clean room for The OHT rail 10 is disposed in the upper area in the clean room, and provides a traveling path of a bogie (not shown) on which a substrate storage container such as a cassette or a FOUP in which a semiconductor substrate or a display substrate is accommodated. .

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 OHT 레일(10)은, 서로 이격되어 배치되고 나란하게 마주하여 위치하는 제1 및 제2 레일들(12, 14)과, 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 서로 연결하는 복수의 레일 연결부(16)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the OHT rail 10 includes first and second rails 12 and 14 that are spaced apart from each other and positioned to face in parallel with each other, and the first and second rails ( 12 and 14 may include a plurality of rail connection units 16 for connecting to each other.

상기 레일 연결부들(16)은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)이 연장된 방향으로 서로 이격되어 배치되며, 각각 역 'U'자 형상으로 구비될 수 있다. 상기 레일 연결부들(16)의 일 단부는 상기 제1 레일(12)에 결합되고 타 단부는 상기 제2 레일(14)에 결합된다. 상기 레일 연결부들(16)은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)이 서로 적정 거리를 유지하면서 나란하게 배치될 수 있게 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 연결한다.The rail connection parts 16 may be disposed to be spaced apart from each other in the extending direction of the first and second rails 12 and 14, and may each be provided in an inverted 'U' shape. One end of the rail connection parts 16 is coupled to the first rail 12 and the other end is coupled to the second rail 14 . The rail connection parts 16 connect the first and second rails 12 and 14 so that the first and second rails 12 and 14 can be arranged side by side while maintaining an appropriate distance from each other. .

상기 기판 이송 시, 상기 대차의 비히클들은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14) 상에 배치되며, 상기 대차는 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 따라 주행하면서 상기 기판을 이송한다. When transporting the substrate, vehicles of the bogie are disposed on the first and second rails 12 and 14 , and the bogie travels along the first and second rails 12 and 14 while traveling along the first and second rails 12 and 14 . to transport

본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)에 장착되어 상기 OHT 레일(10)의 변형을 자동으로 감지한다.OHT rail deflection detection device 100 according to an embodiment of the present invention is mounted on the OHT rail 10 to automatically detect the deformation of the OHT rail (10).

이하, 도면을 참조하여 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the configuration of the OHT rail deflection detection device 100 will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 도 2에 도시된 링 블럭을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 센서 유닛을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이며, 도 5는 도 4에 도시된 가이드 블럭과 센서 도그의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.Figure 3 is a schematic partial perspective view for explaining the ring block shown in Figure 2, Figure 4 is a schematic partial perspective view for explaining the sensor unit shown in Figure 2, Figure 5 is a guide block shown in Figure 4 It is a schematic longitudinal cross-sectional view for explaining the coupling relationship between and a sensor dog.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는, 상기 OHT 레일(10)과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들(16)의 상측에 위치하는 와이어(110)와, 상기 와이어(110)의 위치를 가이드하기 위한 링 블럭(120)과, 상기 와이어(110)를 고정하기 위한 와이어 고정부(130))와, 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지하는 센서 유닛(140)을 포함할 수 있다.2 and 3, the OHT rail deflection detection device 100, the wire 110 extending in the same direction as the OHT rail 10 and located above the rail connection parts 16, and, A ring block 120 for guiding the position of the wire 110, a wire fixing part 130 for fixing the wire 110), and the OHT rail by detecting a change in tension of the wire 110 It may include a sensor unit 140 for detecting the deflection of (10).

도면에는 구체적으로 도시하지 않았으나, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 하나의 OHT 레일(10)에 복수로 장착될 수 있으며, 상기 OHT 레일(10)의 소정 구간마다 구비될 수 있다.Although not specifically shown in the drawings, the OHT rail deflection detection device 100 may be mounted on one OHT rail 10 in plurality, and may be provided for each predetermined section of the OHT rail 10 .

구체적으로, 상기 링 블럭(120)은 상기 레일 연결부(16)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 와이어(110)가 관통하여 삽입되는 관통공(126)이 형성될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 링 블럭(120)은 상기 레일 연결부(16)에 결합되는 지지 플레이트(122)와 상기 지지 플레이트(122)로부터 수직 방향으로 연장된 가이드 플레이트(124)를 구비할 수 있다. 상기 가이드 플레이트(124)에는 상기 관통공(126)이 형성될 수 있으며, 상기 와이어(110)의 위치를 가이드한다.Specifically, the ring block 120 may be mounted on the upper surface of the rail connection unit 16 , and a through hole 126 through which the wire 110 is inserted may be formed. As shown in FIG. 3 , the ring block 120 may include a support plate 122 coupled to the rail connection part 16 and a guide plate 124 extending in a vertical direction from the support plate 122 . can The through hole 126 may be formed in the guide plate 124 to guide the position of the wire 110 .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통공(126)은 상기 와이어(110)의 지름보다 큰 지름을 가질 수 있으며, 상기 관통공(126)의 지름은 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)의 감도 설정 수준에 따라 결정될 수 있다. 상기 OHT 레일 처짐 장치(100)의 초기 셋팅 시, 상기 와이어(110)는 상기 관통공(126)의 내벽과 접촉되지 않게 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the through hole 126 may have a larger diameter than the diameter of the wire 110 , and the diameter of the through hole 126 is that of the OHT rail deflection detection device 100 . It can be determined by the sensitivity setting level. When the OHT rail deflection device 100 is initially set, the wire 110 may be disposed so as not to contact the inner wall of the through hole 126 .

또한, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 링 블럭(120)은 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 링 블럭(120)은 상기 와이어 고정부(130)와 상기 센서 유닛(140) 사이에 배치될 수 있다. 여기서, 링 블럭(120)은 도 2에 도시된 것처럼 상기 와이어 고정부(130)와 상기 센서 유닛(140) 사이에 배치된 레일 연결부들(16) 각각에 장착될 수도 있고, 특정 레일 연결부들에만 장착될 수도 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the ring block 120 may be provided in plurality, and the plurality of ring blocks 120 are disposed between the wire fixing unit 130 and the sensor unit 140 . can be Here, the ring block 120 may be mounted on each of the rail connection parts 16 disposed between the wire fixing part 130 and the sensor unit 140 as shown in FIG. 2 , and only in specific rail connection parts. may be mounted.

한편, 상기 와이어 고정부(130)는 상기 레일 연결부(16)의 상측에 배치될 수 있으며, 상기 링 블럭들(120) 중 상기 와이어 고정부(130)와 인접한 링 블럭에 결합되어 상기 레일 연결부(160)에 고정될 수 있다. 상기 와이어(110)의 일 단부(112)는 상기 와이어 고정부(130)에 결합되어 상기 와이어 고정부(130)에 의해 고정된다. 또한, 상기 와이어 고정부(130)는 상기 와이어(110)가 적정 텐션을 유지하도록 상기 와이어(110)의 텐션을 조절할 수 있다.On the other hand, the wire fixing part 130 may be disposed on the upper side of the rail connection part 16, and is coupled to a ring block adjacent to the wire fixing part 130 among the ring blocks 120 and the rail connection part ( 160) can be fixed. One end 112 of the wire 110 is coupled to the wire fixing unit 130 and fixed by the wire fixing unit 130 . In addition, the wire fixing unit 130 may adjust the tension of the wire 110 so that the wire 110 maintains an appropriate tension.

상기 센서 유닛(140)은 상기 링 블럭들(120)을 사이에 두고 상기 와이어 고정부(130)와 대향하여 배치될 수 있으며, 상기 와이어(110)의 타 단부(114)가 고정된다.The sensor unit 140 may be disposed to face the wire fixing part 130 with the ring blocks 120 interposed therebetween, and the other end 114 of the wire 110 is fixed.

특히, 상기 센서 유닛(140)은 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지한다. 즉, 상기 와이어(110)는 상기 링 블럭(120)을 통해 상기 OHT 레일(10)에 연결되기 때문에, 상기 OHT 레일(10)의 변형에 의해 상기 와이어(110)의 텐션이 변한다. 구체적으로, 상기 OHT 레일(10)에 처짐이 발생할 경우, 상기 OHT 레일(10)의 처진 부분에 위치하는 링 블럭(120) 또한 상기 OHT 레일(10)을 따라 아래로 내려가며, 이렇게 수직 위치가 변경된 링 블럭에 의해 상기 와이어(110)가 아래로 당겨져 상기 와이어(110)의 텐션이 변한다. 이때, 상기 OHT 레일(10)이 심하게 처질 경우 상기 링 블럭(120)이 상기 와이어(110)를 아래로 당기는 힘에 의해 상기 와이어(110)가 끊어질 수도 있다.In particular, the sensor unit 140 detects a change in tension of the wire 110 to detect the deflection of the OHT rail 10 . That is, since the wire 110 is connected to the OHT rail 10 through the ring block 120 , the tension of the wire 110 is changed by the deformation of the OHT rail 10 . Specifically, when sagging occurs in the OHT rail 10, the ring block 120 located in the drooping portion of the OHT rail 10 also descends along the OHT rail 10, and thus the vertical position is The wire 110 is pulled down by the changed ring block to change the tension of the wire 110 . At this time, when the OHT rail 10 is severely sagged, the wire 110 may be cut by the force of the ring block 120 pulling the wire 110 downward.

이와 같이, OHT 레일(10)의 처짐은 상기 와이어(110)의 텐션을 변화시키기 때문에, 상기 센서 유닛(140)은 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지할 수 있다.As such, since the deflection of the OHT rail 10 changes the tension of the wire 110 , the sensor unit 140 detects the change in tension of the wire 110 to detect the deflection of the OHT rail 10 . can detect

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 센서 유닛(140)은, 상기 레일 연결부(16)의 상부면에 장착된 베이스 플레이트(141)와, 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착된 센서 도그(142)와, 상기 센서 도그(142)를 고정하는 도그 고정 블럭(143)과, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그(142)의 변화를 감지하는 센서부(144)를 포함할 수 있다.4 and 5 , the sensor unit 140 includes a base plate 141 mounted on the upper surface of the rail connection unit 16 , and a sensor dog mounted on the upper surface of the base plate 141 . 142, and a dog fixing block 143 for fixing the sensor dog 142, and a sensor unit 144 for detecting a change in the sensor dog 142 due to a change in tension of the wire 110. can do.

구체적으로, 상기 센서 도그(142)는 일 단부가 상기 와이어(110)의 타 단부(114)에 연결되며, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 따라 신장 또는 수축될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 센서 도그(142)는 스프링으로 이루어질 수 있다.Specifically, one end of the sensor dog 142 is connected to the other end 114 of the wire 110 , and may be stretched or contracted according to a change in tension of the wire 110 . In one embodiment of the present invention, the sensor dog 142 may be made of a spring.

상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 센서 도그(142)가 결합될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 센서 도그(142)의 일 단부가 이완 및 수축 가능하게 삽입되는 가이드홀(42)이 형성된다. 상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 와이어(110)의 타 단부(114)가 삽입되는 와이어 삽입관(44)을 구비할 수 있으며, 상기 와이어 삽입관(44)은 상기 가이드홀(42)과 연통된다. 상기 와이어(110)는 상기 와이어 삽입관(44)을 통해 상기 센서 도그(142) 안으로 삽입되며, 상기 센서 도그(142)의 타 단부에 고정 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의해 상기 센서 도그(142)가 이완 또는 수축될 수 있다.The dog fixing block 143 may be mounted on the upper surface of the base plate 141 , and the sensor dog 142 may be coupled thereto. As shown in FIG. 5 , the dog fixing block 143 is provided with a guide hole 42 into which one end of the sensor dog 142 is inserted so that it can be relaxed and contracted. The dog fixing block 143 may include a wire insertion tube 44 into which the other end 114 of the wire 110 is inserted, and the wire insertion tube 44 communicates with the guide hole 42 . do. The wire 110 is inserted into the sensor dog 142 through the wire insertion tube 44 , and may be fixedly coupled to the other end of the sensor dog 142 . Accordingly, the sensor dog 142 may be relaxed or contracted by a change in tension of the wire 110 .

한편, 상기 센서부(144)는 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 센서 도그(142)를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭(143)과 마주하게 배치될 수 있다.Meanwhile, the sensor unit 144 may be mounted on the upper surface of the base plate 141 , and may be disposed to face the dog fixing block 143 with the sensor dog 142 interposed therebetween.

본 발명의 일례로, 상기 센서부(144)는 포토 센서로 이루어질 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 센서 도그(142)의 타 단부는 상기 포토 센서(144)의 발광부(144)와 수광부(146) 사이에 배치될 수 있다. 상기 포토 센서(144)는 상기 센서 도그(142)의 변화, 즉, 이완 또는 수축을 감지하여 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하고, 이를 통해 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.As an example of the present invention, the sensor unit 144 may be formed of a photo sensor. 4 , the other end of the sensor dog 142 may be disposed between the light emitting unit 144 and the light receiving unit 146 of the photosensor 144 . The photosensor 144 detects a change in the sensor dog 142, that is, a change in tension of the wire 110 by sensing a change, that is, relaxation or contraction, and can recognize the deflection of the OHT rail 10 through this. have.

도 6 및 도 7은 도 4에 도시된 센서부의 다른 일례들을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.6 and 7 are schematic side views for explaining other examples of the sensor unit shown in FIG. 4 .

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일례로, 센서부(150)는 로드셀로 이루어질 수 있으며, 상기 로드셀(150)의 감지 라인(152)은 상기 센서 도그(142)의 타 단부에 연결될 수 있다. 상기 로드셀(150)은 상기 센서 도그(142)가 상기 감지 라인(152)을 잡아당기는 인장력의 변화를 감지함으로써, 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지할 수 있다. 즉, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의해 상기 센서 도그(142)가 인장 또는 수축될 경우, 상기 센서 도그(142)의 인장력이 변하며, 상기 로드셀(150)은 이를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.Referring to FIG. 6 , as another example of the present invention, the sensor unit 150 may be formed of a load cell, and the sensing line 152 of the load cell 150 may be connected to the other end of the sensor dog 142 . . The load cell 150 may detect a change in tension of the wire 110 by detecting a change in tensile force that the sensor dog 142 pulls on the sensing line 152 . That is, when the sensor dog 142 is stretched or contracted due to a change in the tension of the wire 110 , the tensile force of the sensor dog 142 changes, and the load cell 150 detects this and the OHT rail 10 ) can be recognized.

도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 일례로, 센서부(160)는 거리 센서로 이루어질 수 있으며, 상기 거리 센서(160)는 상기 센서 도그(142)와 마주하게 배치될 수 있다. 상기 거리 센서(160)는 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그(142)와의 거리(HD) 변화를 감지함으로써, 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.Referring to FIG. 7 , as another example of the present invention, the sensor unit 160 may include a distance sensor, and the distance sensor 160 may be disposed to face the sensor dog 142 . The distance sensor 160 detects a change in the distance (HD) with the sensor dog 142 due to a change in the tension of the wire 110 , thereby recognizing the deflection of the OHT rail 10 .

상술한 바와 같이, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)의 레일 연결부들(16)에 와이어(110)를 연결하고 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지함으로써, 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 자동으로 감지할 수 있다. 이에 따라, 고소 작업 없이 OHT 레일(10)의 처짐을 자동으로 감지할 수 있으므로, 작업자가 고소 작업을 이용한 상기 OHT 레일(10)의 처짐 검사 없이 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 파악할 수 있다. 그 결과, 종래 대비 작업 효율 및 생산성이 향상되며 상기 OHT 레일(10) 처짐으로 인한 대차의 휠 갈림 및 파손이 방지될 수 있다. 더욱이, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 신속하게 인지할 수 있으므로, 이에 대해 신속한 대처가 가능하다.As described above, the OHT rail deflection detection device 100 connects the wire 110 to the rail connections 16 of the OHT rail 10 and detects a change in tension of the wire 110, so that the OHT It is possible to automatically detect the deflection of the rail 10 . Accordingly, since the deflection of the OHT rail 10 can be automatically detected without work at height, the operator can grasp the deflection of the OHT rail 10 without checking the deflection of the OHT rail 10 using the work at height. As a result, work efficiency and productivity are improved compared to the prior art, and wheel grinding and damage of the bogie due to the deflection of the OHT rail 10 can be prevented. Moreover, since the OHT rail deflection detection device 100 can quickly recognize the deflection of the OHT rail 10 , it is possible to quickly respond to this.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : OHT 레일 12 : 제1 레일
14 : 제2 레일 16 : 레일 연결부
100 : OHT 레일 처짐 감지 장치 110 : 와이어
120 : 링 블럭 130 : 와이어 고정부
140 : 센서 유닛 141 : 베이스 플레이트
142 : 센서 도그 143 : 도그 고정 블럭
144, 150, 160 : 센서부10: OHT rail 12: 1st rail
14: second rail 16: rail connection part
100: OHT rail sag detection device 110: wire
120: ring block 130: wire fixing part
140: sensor unit 141: base plate
142: sensor dog 143: dog fixing block
144, 150, 160: sensor unit

Claims (7)

나란하게 배치된 제1 및 제2 레일들과 상기 제1 및 제2 레일들의 길이 방향으로 배치되어 상기 제1 및 제2 레일들을 연결하는 복수의 레일 연결부를 구비하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 처짐을 감지하기 위한 장치에 있어서,
상기 OHT 레일과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들의 상측에 배치된 와이어;
상기 레일 연결부들 중 적어도 하나의 상부면에 장착되고 상기 와이어가 관통하여 삽입되는 관통공이 형성되며 상기 와이어의 위치를 가이드하는 링 블럭;
상기 링 블록으로부터 일측으로 이격된 상기 레일 연결부들 중 다른 하나의 상부면에 장착되고 상기 와이어의 일 단부가 고정되는 와이어 고정부; 및
상기 링 블럭을 사이에 두고 상기 와이어 고정부와 대향하여 배치되는 상기 레일 연결부들 중 또 다른 하나의 상부면에 장착되고 상기 와이어의 타 단부가 고정되며 상기 와이어의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일의 처짐을 감지하는 센서 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.An overhead hoist transport (OHT) rail having first and second rails arranged side by side and a plurality of rail connections arranged in the longitudinal direction of the first and second rails to connect the first and second rails In the device for detecting sagging,
a wire extending in the same direction as the OHT rail and disposed above the rail connections;
a ring block mounted on an upper surface of at least one of the rail connection parts and having a through hole through which the wire is inserted and guiding the position of the wire;
a wire fixing part mounted on the upper surface of the other one of the rail connection parts spaced apart from the ring block to one side and having one end of the wire fixed; and
It is mounted on the upper surface of another one of the rail connection parts disposed to face the wire fixing part with the ring block interposed therebetween, the other end of the wire is fixed, and by detecting the change in tension of the wire, OHT rail deflection detection device comprising a sensor unit for detecting deflection. 제1항에 있어서,
상기 센서 유닛은,
상기 와이어의 타 단부가 결합되며 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 센서 도그;
상기 센서 도그의 일 단부가 유동 가능하게 삽입되는 가이드홀 및 상기 가이드홀과 연통되고 상기 와이어의 타 단부가 관통하여 삽입되는 와이어 삽입관을 구비하고 상기 센서 도그를 고정하는 도그 고정 블럭; 및
상기 센서 도그를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭과 마주하게 배치되며 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 변화를 감지하는 센서부를 포함하고,
상기 와이어는 상기 센서 도그의 타 단부에 결합되는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.According to claim 1,
The sensor unit is
a sensor dog coupled to the other end of the wire and relaxed or contracted according to a change in tension of the wire;
a dog fixing block having a guide hole into which one end of the sensor dog is movably inserted and a wire insertion tube communicating with the guide hole and through which the other end of the wire is inserted, and fixing the sensor dog; and
and a sensor unit disposed to face the dog fixing block with the sensor dog interposed therebetween and sensing a change in the sensor dog due to a change in tension of the wire,
The wire is OHT rail deflection detection device, characterized in that coupled to the other end of the sensor dog. 제2항에 있어서,
상기 센서 도그는 스프링으로 이루어질 수 있으며, 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.3. The method of claim 2,
The sensor dog may be made of a spring, OHT rail deflection detection device, characterized in that relaxed or contracted according to a change in tension of the wire. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 포토 센서로 이루어지며,
상기 포토 센서의 발광부와 수광부 사이에 상기 센서 도그의 타 단부가 위치하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.4. The method of claim 3,
The sensor unit is made of a photo sensor,
OHT rail deflection detection device, characterized in that the other end of the sensor dog is positioned between the light emitting part and the light receiving part of the photo sensor. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 로드셀로 이루어지고, 상기 센서 도그의 타 단부에 연결되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 인장력 변화를 감지하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.4. The method of claim 3,
The sensor unit is made of a load cell, connected to the other end of the sensor dog, OHT rail deflection detection device, characterized in that for detecting a change in tensile force of the sensor dog due to a change in tension of the wire. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 거리 센서로 이루어지고, 상기 센서 도그와 마주하게 배치되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그와의 거리 변화를 감지하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.4. The method of claim 3,
The sensor unit is made of a distance sensor, is disposed to face the sensor dog, OHT rail deflection detection device, characterized in that for detecting a change in the distance to the sensor dog due to a change in tension of the wire. 삭제delete
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JP2012188906A (en) * 2011-03-14 2012-10-04 Daifuku Co Ltd Track abnormality detection system

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