KR20190011015A - Apparatus for sensing deflection of OHT rail - Google Patents

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Abstract

Disclosed is an apparatus to detect deflection of an overhead hoist transport (OHT) rail, which comprises first and second rails arranged in parallel, and a plurality of rail connection units disposed in the longitudinal direction of the first and second rails to connect the first and second rails. According to the present invention, an OHT rail deflection detection apparatus comprises: a wire extended in the same direction as that of an OHT rail and disposed on the rail connection units; a ring block mounted on the upper surface of the rail connection units, having a through-hole to penetrate and insert the wire thereinto, and guiding the wire; a wire fixing unit to fix one end part of the wire; and a sensor unit disposed to face the wire fixing unit with the ring block interposed therebetween, fixing the other end part of the wire, and detecting a change in the tension of the wire to detect deflection of the wire. As such, the OHT rail deflection detection apparatus connects a wire to an OHT rail and detects a change in the tension of the wire to automatically detect the deflection of the OHT rail.

Description

OHT 레일 처짐 감지 장치{Apparatus for sensing deflection of OHT rail}[0001] Apparatus for sensing deflection of OHT rail [0002]

본 발명의 실시예들은 OHT 레일 처짐 감지 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 공정 설비에서 물건을 이송하기 위해 구비되는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 변형을 감지하기 위한 OHT 레일 처짐 감지 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an OHT rail deflection sensing apparatus. More particularly, the present invention relates to an OHT rail deflection sensing apparatus for detecting a deformation of an overhead hoist transport (OHT) rail provided for transporting objects in a semiconductor processing facility.

일반적으로, 반도체 소자 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 일련의 반도체 제조 공정들, 예컨대, 박막 증착, 식각, 이온 주입, 세정 공정 등을 반복적으로 수행하여 제조될 수 있다.Generally, semiconductor devices or display devices can be fabricated by repeatedly performing a series of semiconductor manufacturing processes on a substrate, such as a silicon wafer or glass substrate, such as thin film deposition, etching, ion implantation, cleaning processes, and the like.

상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트나 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 이러한 기판 수납 용기는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 같은 무인 반송 장치에 의해 이송될 수 있다.Such manufacturing processes are performed in a clean room where cleanliness management is performed to prevent contamination, and substrate transfer between manufacturing processes may be performed using a substrate storage container such as a cassette or FOUP. Such a substrate storage container can be transported by an unmanned transporting device such as an Overhead Hoist Transport (OHT).

OHT는 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린룸 내에서 상부 영역에 설치되는 OHT 레일과 기판 수납 용기가 적재된 대차를 구비할 수 있으며, 대차는 OHT 레일을 따라 주행하며 기판들을 이송한다.The OHT may include a carriage on which an OHT rail and a substrate storage container are mounted in an upper area in a clean room where a semiconductor manufacturing process is performed, and the carriage travels along the OHT rail to transport the substrates.

OHT 레일은 클린룸의 천장부로부터 이격되어 공중에 설치되며, OHT 레일을 천장부에 결합하는 별도의 결합 블럭들이 소정 간격으로 OHT 레일에 설치되어 천장부에 고정될 수 있다. The OHT rails are spaced apart from the ceiling portion of the clean room and separate coupling blocks for coupling the OHT rails to the ceiling portion may be installed on the OHT rails at predetermined intervals and fixed to the ceiling portion.

특히, OHT 레일은 자연 재해와 같은 외부의 충격이 클린룸의 천장부 또는 OHT 레일에 가해질 경우 처짐이 발생할 수 있다. 또한, OHT 레일에는 여러 개의 대차가 OHT 레일에 매달린 형태로 장착되기 때문에, 장기간 사용시 대차와 대차에 수납된 기판들과 기판 수납 용기의 하중에 의해 OHT 레일의 처짐이 발생할 수 있다. 이러한 OHT 레일의 처짐은 대차의 휠을 손상 또는 파손시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 파손 등과 같은 문제점이 발생될 수 있다.In particular, OHT rails can cause deflection when an external shock, such as a natural disaster, is applied to the ceiling of a clean room or the OHT rail. Also, since several bogies are mounted on the OHT rails in the OHT rails, the OHT rails may be deflected due to the load of the boards and the board container housed in the bogie and bogie during long-term use. Such deflection of the OHT rails can damage or break the wheel of the bogie, which may cause problems such as breakage of the board.

따라서, OHT 레일의 처짐 유무를 미리 확인하여 방지해야 하는데, OHT 레일의 처짐은 고소 작업을 통해 작업자가 일일이 측정해야 하기 때문에 그 작업이 매우 번거롭고 불편하다.Therefore, it is necessary to check whether or not the OHT rail is deflected in advance, and the deflection of the OHT rail is very troublesome and inconvenient because the operator has to measure it individually through the complaint operation.

한국등록특허공보 제10-1374665호 (2014.03.18)Korean Patent Registration No. 10-1374665 (Apr. 31, 2014)

본 발명의 실시예들은 OHT 레일의 변형을 자동으로 감지할 수 있는 OHT 레일 처짐 감지 장치를 제공하는 데 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an OHT rail deflection sensing apparatus capable of automatically detecting deformation of an OHT rail.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치는, 나란하게 배치된 제1 및 제2 레일들과 상기 제1 및 제2 레일들의 길이 방향으로 배치되어 상기 제1 및 제2 레일들을 연결하는 복수의 레일 연결부를 구비하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 처짐을 감지하기 위한 장치로서, 상기 OHT 레일과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들의 상측에 배치된 와이어와, 상기 레일 연결부의 상부면에 장착되고 상기 와이어가 관통하여 삽입되는 관통공이 형성되며 상기 와이어의 위치를 가이드하는 링 블럭과, 상기 와이어의 일 단부가 고정되는 와이어 고정부와, 상기 링 블럭을 사이에 두고 상기 와이어 고정부와 대향하여 배치되고 상기 와이어의 타 단부가 고정되며 상기 와이어의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일의 처짐을 감지하는 센서 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an OHT rail deflection sensing apparatus including first and second rails disposed in parallel to each other, a first and second rails disposed in a longitudinal direction of the first and second rails, An apparatus for detecting deflection of an overhead hoist transport (OHT) rail having a plurality of rail connections connecting two rails, the apparatus comprising: a wire extending in the same direction as the OHT rail and disposed above the rail connections; A ring block mounted on an upper surface of the connection portion and formed with a through hole through which the wire is inserted and guiding the position of the wire, a wire fixing portion to which one end of the wire is fixed, And the other end of the wire is fixed, and the deflection of the OHT rail is detected by detecting a change in tension of the wire. Underground it may comprise a sensor unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서 유닛은, 상기 와이어의 타 단부가 결합되며 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 센서 도그와, 상기 센서 도그의 일 단부가 유동 가능하게 삽입되는 가이드홀 및 상기 가이드홀과 연통되고 상기 와이어의 타 단부가 관통하여 삽입되는 와이어 삽입관을 구비하고 상기 센서 도그를 고정하는 도그 고정 블럭과, 상기 센서 도그를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭과 마주하게 배치되며 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 변화를 감지하는 센서부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 와이어는 상기 센서 도그의 타 단부에 결합될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the sensor unit includes a sensor dog to which the other end of the wire is coupled and which is relaxed or retracted according to the tension change of the wire, and a guide Hole and a wire insertion tube communicating with the guide hole and inserted through the other end of the wire, the dog-fixing block having the sensor dog fixed thereon, the dog- And a sensor unit for sensing a change of the sensor dog due to a tension change of the wire. Here, the wire may be coupled to the other end of the sensor dog.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서 도그는 스프링으로 이루어질 수 있으며, 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor dog may be made of a spring, and may be relaxed or contracted according to the tension change of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 포토 센서로 이루어질 수 있으며, 상기 포토 센서의 발광부와 수광부 사이에 상기 센서 도그의 타 단부가 위치할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be a photo sensor, and the other end of the sensor dog may be positioned between the light emitting unit and the light receiving unit of the photo sensor.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 로드셀로 이루어질 수도 있으다. 여기서, 상기 센서부는 상기 센서 도그의 타 단부에 연결되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 인장력 변화를 감지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be a load cell. Here, the sensor unit is connected to the other end of the sensor dog, and can detect a change in tensile force of the sensor dog due to a change in tension of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센서부는 거리 센서로 이루어질 수도 있다. 여기서, 상기 센서부는 상기 센서 도그와 마주하게 배치되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그와의 거리 변화를 감지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the sensor unit may be a distance sensor. Here, the sensor unit is disposed to face the sensor dog, and can detect a change in distance from the sensor dog due to a change in tension of the wire.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 와이어 고정부와 상기 센서 유닛은 각각 상기 레일 연결부의 상부면에 장착될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the wire fixing portion and the sensor unit may be mounted on the upper surface of the rail connection portion, respectively.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, OHT 레일 처짐 감지 장치는, OHT 레일의 레일 연결부들에 와이어를 연결하고 와이어의 텐션 변화를 감지함으로써, OHT 레일의 처짐을 자동으로 감지할 수 있다. 이에 따라, 고소 작업 없이 OHT 레일의 처짐을 자동으로 감지할 수 있으므로, 작업자가 고소 작업을 이용한 OHT 레일의 처짐 검사 없이 OHT 레일의 처짐을 파악할 수 있다. 그 결과, 종래 대비 작업 효율 및 생산성이 향상되며 OHT 레일 처짐으로 인한 대차의 휠 갈림 및 파손이 방지될 수 있다. 더욱이, OHT 레일 처짐 감지 장치는 OHT 레일의 처짐을 신속하게 자동으로 인지할 수 있으므로, 이에 대해 신속한 대처가 가능하다.According to the embodiments of the present invention as described above, the OHT rail deflection sensing device can automatically sense the deflection of the OHT rail by connecting a wire to the rail connection portions of the OHT rail and sensing a change in tension of the wire . Accordingly, the deflection of the OHT rail can be automatically detected without a complaint operation, so that the operator can grasp the deflection of the OHT rail without checking the deflection of the OHT rail using the complaint operation. As a result, work efficiency and productivity are improved compared with the conventional art, and wheel breakage and breakage of the bogie due to deflection of the OHT rail can be prevented. Furthermore, the OHT rail deflection sensing device can quickly and automatically recognize the deflection of the OHT rail, so that it is possible to cope with this quickly.

도 1은 OHT 레일을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 링 블럭을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 센서 유닛을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 가이드 블럭과 센서 도그의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.
도 6 및 도 7은 도 4에 도시된 센서부의 다른 일례들을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.1 is a schematic perspective view for explaining an OHT rail.
2 is a schematic side view for explaining an OHT rail deflection sensing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic partial perspective view for explaining the ring block shown in FIG. 2. FIG.
Fig. 4 is a schematic partial perspective view for explaining the sensor unit shown in Fig. 2. Fig.
FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view for explaining a coupling relationship between the guide block and the sensor dog shown in FIG. 4. FIG.
Figs. 6 and 7 are schematic side views for explaining another example of the sensor unit shown in Fig. 4. Fig.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 OHT 레일을 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view for explaining an OHT rail, and FIG. 2 is a schematic side view for explaining an OHT rail deflection sensing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, OHT 레일(10)은 무인 반송 장치인 OHT(Overhead Hoist Transport)에 구비되는 이송 레일로서, 반도체 제조 공정들 사이에서 반도체 소자용 기판 또는 디스플레이 장치용 기판을 이송하기 위해 클린룸 내에 설치될 수 있다. 상기 OHT 레일(10)은 상기 클린룸 안의 상부 영역에 배치되며, 반도체 기판 또는 디스플레이 기판이 수납되는 카세트나 풉(FOUP)과 같은 기판 수납 용기가 적재되는 대차(미도시)의 주행 경로를 제공한다.Referring to FIGS. 1 and 2, the OHT rail 10 is a transfer rail provided in an OHT (Overhead Hoist Transport) which is an unattended transporting apparatus. The OHT rail 10 transports a substrate for a semiconductor device or a substrate for a display device It can be installed in a clean room. The OHT rail 10 is disposed in an upper area of the clean room and provides a traveling path of a car (not shown) in which a substrate storage container such as a cassette or a FOUP for storing a semiconductor substrate or a display substrate is loaded .

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 OHT 레일(10)은, 서로 이격되어 배치되고 나란하게 마주하여 위치하는 제1 및 제2 레일들(12, 14)과, 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 서로 연결하는 복수의 레일 연결부(16)를 포함할 수 있다.1, the OHT rail 10 includes first and second rails 12, 14 spaced apart from each other and positioned side by side, first and second rails 12, 12, and 14 to each other.

상기 레일 연결부들(16)은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)이 연장된 방향으로 서로 이격되어 배치되며, 각각 역 'U'자 형상으로 구비될 수 있다. 상기 레일 연결부들(16)의 일 단부는 상기 제1 레일(12)에 결합되고 타 단부는 상기 제2 레일(14)에 결합된다. 상기 레일 연결부들(16)은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)이 서로 적정 거리를 유지하면서 나란하게 배치될 수 있게 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 연결한다.The rail connecting portions 16 are spaced apart from each other in a direction in which the first and second rails 12 and 14 extend, and may be provided in a reverse U shape. One end of the rail connection portions 16 is coupled to the first rail 12 and the other end is coupled to the second rail 14. The rail connection portions 16 connect the first and second rails 12 and 14 so that the first and second rails 12 and 14 can be disposed in parallel to each other while maintaining an appropriate distance therebetween .

상기 기판 이송 시, 상기 대차의 비히클들은 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14) 상에 배치되며, 상기 대차는 상기 제1 및 제2 레일들(12, 14)을 따라 주행하면서 상기 기판을 이송한다. During the transfer of the substrate, vehicles of the bogie are disposed on the first and second rails (12, 14) and the bogie runs along the first and second rails (12, 14) .

본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)에 장착되어 상기 OHT 레일(10)의 변형을 자동으로 감지한다.The OHT rail deflection sensing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is mounted on the OHT rail 10 and automatically detects deformation of the OHT rail 10. [

이하, 도면을 참조하여 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the configuration of the OHT rail deflection sensing apparatus 100 will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 도 2에 도시된 링 블럭을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 센서 유닛을 설명하기 위한 개략적인 부분 사시도이며, 도 5는 도 4에 도시된 가이드 블럭과 센서 도그의 결합 관계를 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.FIG. 3 is a schematic partial perspective view for explaining the ring block shown in FIG. 2, FIG. 4 is a schematic partial perspective view for explaining the sensor unit shown in FIG. 2, FIG. 2 is a schematic vertical cross-sectional view for explaining a coupling relationship between a sensor dog and a sensor dog; FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는, 상기 OHT 레일(10)과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들(16)의 상측에 위치하는 와이어(110)와, 상기 와이어(110)의 위치를 가이드하기 위한 링 블럭(120)과, 상기 와이어(110)를 고정하기 위한 와이어 고정부(130))와, 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지하는 센서 유닛(140)을 포함할 수 있다.2 and 3, the OHT rail deflection sensing apparatus 100 includes a wire 110 extending in the same direction as the OHT rail 10 and positioned above the rail connection portions 16, A ring block 120 for guiding the position of the wire 110 and a wire fixing part 130 for fixing the wire 110. The OHT 120 senses a change in tension of the wire 110, And a sensor unit 140 for sensing the deflection of the body 10.

도면에는 구체적으로 도시하지 않았으나, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 하나의 OHT 레일(10)에 복수로 장착될 수 있으며, 상기 OHT 레일(10)의 소정 구간마다 구비될 수 있다.Although not shown in detail in the figure, the OHT rail deflection sensing device 100 may be mounted on one OHT rail 10, and may be provided for each predetermined section of the OHT rail 10.

구체적으로, 상기 링 블럭(120)은 상기 레일 연결부(16)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 와이어(110)가 관통하여 삽입되는 관통공(126)이 형성될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 링 블럭(120)은 상기 레일 연결부(16)에 결합되는 지지 플레이트(122)와 상기 지지 플레이트(122)로부터 수직 방향으로 연장된 가이드 플레이트(124)를 구비할 수 있다. 상기 가이드 플레이트(124)에는 상기 관통공(126)이 형성될 수 있으며, 상기 와이어(110)의 위치를 가이드한다.Specifically, the ring block 120 may be mounted on the upper surface of the rail connection portion 16, and a through hole 126 through which the wire 110 is inserted may be formed. 3, the ring block 120 includes a support plate 122 coupled to the rail connection portion 16 and a guide plate 124 extending in the vertical direction from the support plate 122 . The through hole 126 may be formed in the guide plate 124 to guide the position of the wire 110.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통공(126)은 상기 와이어(110)의 지름보다 큰 지름을 가질 수 있으며, 상기 관통공(126)의 지름은 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)의 감도 설정 수준에 따라 결정될 수 있다. 상기 OHT 레일 처짐 장치(100)의 초기 셋팅 시, 상기 와이어(110)는 상기 관통공(126)의 내벽과 접촉되지 않게 배치될 수 있다.The through hole 126 may have a diameter larger than the diameter of the wire 110 and the diameter of the through hole 126 may be larger than the diameter of the wire 110. In this case, It can be decided according to sensitivity setting level. When the OHT rail deflection device 100 is initially set, the wire 110 may be disposed so as not to be in contact with the inner wall of the through hole 126.

또한, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 링 블럭(120)은 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 링 블럭(120)은 상기 와이어 고정부(130)와 상기 센서 유닛(140) 사이에 배치될 수 있다. 여기서, 링 블럭(120)은 도 2에 도시된 것처럼 상기 와이어 고정부(130)와 상기 센서 유닛(140) 사이에 배치된 레일 연결부들(16) 각각에 장착될 수도 있고, 특정 레일 연결부들에만 장착될 수도 있다.The plurality of ring blocks 120 may be disposed between the wire fixing part 130 and the sensor unit 140. The plurality of ring blocks 120 may be disposed between the wire fixing part 130 and the sensor unit 140. In this embodiment, . The ring block 120 may be mounted on each of the rail connection portions 16 disposed between the wire fixing portion 130 and the sensor unit 140 as shown in FIG. .

한편, 상기 와이어 고정부(130)는 상기 레일 연결부(16)의 상측에 배치될 수 있으며, 상기 링 블럭들(120) 중 상기 와이어 고정부(130)와 인접한 링 블럭에 결합되어 상기 레일 연결부(160)에 고정될 수 있다. 상기 와이어(110)의 일 단부(112)는 상기 와이어 고정부(130)에 결합되어 상기 와이어 고정부(130)에 의해 고정된다. 또한, 상기 와이어 고정부(130)는 상기 와이어(110)가 적정 텐션을 유지하도록 상기 와이어(110)의 텐션을 조절할 수 있다.The wire fixing part 130 may be disposed on the upper side of the rail connecting part 16 and may be coupled to a ring block adjacent to the wire fixing part 130 of the ring blocks 120, 160, respectively. One end 112 of the wire 110 is coupled to the wire fixing part 130 and fixed by the wire fixing part 130. The wire fixing part 130 may adjust the tension of the wire 110 so that the wire 110 maintains an appropriate tension.

상기 센서 유닛(140)은 상기 링 블럭들(120)을 사이에 두고 상기 와이어 고정부(130)와 대향하여 배치될 수 있으며, 상기 와이어(110)의 타 단부(114)가 고정된다.The sensor unit 140 may be arranged to face the wire fixing unit 130 with the ring blocks 120 interposed therebetween and the other end 114 of the wire 110 is fixed.

특히, 상기 센서 유닛(140)은 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지한다. 즉, 상기 와이어(110)는 상기 링 블럭(120)을 통해 상기 OHT 레일(10)에 연결되기 때문에, 상기 OHT 레일(10)의 변형에 의해 상기 와이어(110)의 텐션이 변한다. 구체적으로, 상기 OHT 레일(10)에 처짐이 발생할 경우, 상기 OHT 레일(10)의 처진 부분에 위치하는 링 블럭(120) 또한 상기 OHT 레일(10)을 따라 아래로 내려가며, 이렇게 수직 위치가 변경된 링 블럭에 의해 상기 와이어(110)가 아래로 당겨져 상기 와이어(110)의 텐션이 변한다. 이때, 상기 OHT 레일(10)이 심하게 처질 경우 상기 링 블럭(120)이 상기 와이어(110)를 아래로 당기는 힘에 의해 상기 와이어(110)가 끊어질 수도 있다.Particularly, the sensor unit 140 senses the tension of the wire 110 and senses deflection of the OHT rail 10. That is, since the wire 110 is connected to the OHT rail 10 through the ring block 120, the tension of the wire 110 is changed by the deformation of the OHT rail 10. Specifically, when the OHT rail 10 is deflected, the ring block 120 located at the sagging portion of the OHT rail 10 also descends along the OHT rail 10, The wire 110 is pulled down by the changed ring block and the tension of the wire 110 is changed. At this time, when the OHT rail 10 is severely deformed, the wire 110 may be cut off by the force that the ring block 120 pulls down the wire 110.

이와 같이, OHT 레일(10)의 처짐은 상기 와이어(110)의 텐션을 변화시키기 때문에, 상기 센서 유닛(140)은 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 감지할 수 있다.Since the deflection of the OHT rail 10 changes the tension of the wire 110 as described above, the sensor unit 140 senses a change in tension of the wire 110 to deflect the OHT rail 10 Can be detected.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 센서 유닛(140)은, 상기 레일 연결부(16)의 상부면에 장착된 베이스 플레이트(141)와, 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착된 센서 도그(142)와, 상기 센서 도그(142)를 고정하는 도그 고정 블럭(143)과, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그(142)의 변화를 감지하는 센서부(144)를 포함할 수 있다.4 and 5, the sensor unit 140 includes a base plate 141 mounted on the upper surface of the rail connection portion 16, a sensor dog mounted on the upper surface of the base plate 141, A dog fixing block 143 for fixing the sensor dog 142 and a sensor 144 for sensing a change of the sensor dog 142 due to a change in tension of the wire 110 can do.

구체적으로, 상기 센서 도그(142)는 일 단부가 상기 와이어(110)의 타 단부(114)에 연결되며, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 따라 신장 또는 수축될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 센서 도그(142)는 스프링으로 이루어질 수 있다.Specifically, the sensor dog 142 has one end connected to the other end 114 of the wire 110, and may be stretched or contracted according to a change in tension of the wire 110. In one embodiment of the present invention, the sensor dog 142 may be a spring.

상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 센서 도그(142)가 결합될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 센서 도그(142)의 일 단부가 이완 및 수축 가능하게 삽입되는 가이드홀(42)이 형성된다. 상기 도그 고정 블럭(143)은 상기 와이어(110)의 타 단부(114)가 삽입되는 와이어 삽입관(44)을 구비할 수 있으며, 상기 와이어 삽입관(44)은 상기 가이드홀(42)과 연통된다. 상기 와이어(110)는 상기 와이어 삽입관(44)을 통해 상기 센서 도그(142) 안으로 삽입되며, 상기 센서 도그(142)의 타 단부에 고정 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의해 상기 센서 도그(142)가 이완 또는 수축될 수 있다.The dog fixing block 143 may be mounted on the upper surface of the base plate 141, and the sensor dog 142 may be coupled thereto. As shown in FIG. 5, the dog fixing block 143 is formed with a guide hole 42 into which one end of the sensor dog 142 is inserted in a relaxed and contractible manner. The dog fixing block 143 may include a wire insertion tube 44 into which the other end 114 of the wire 110 is inserted and the wire insertion tube 44 is connected to the guide hole 42 do. The wire 110 is inserted into the sensor dog 142 through the wire insertion tube 44 and may be fixedly coupled to the other end of the sensor dog 142. Accordingly, the sensor dog 142 can be relaxed or contracted by a change in the tension of the wire 110.

한편, 상기 센서부(144)는 상기 베이스 플레이트(141)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상기 센서 도그(142)를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭(143)과 마주하게 배치될 수 있다.The sensor unit 144 may be mounted on the upper surface of the base plate 141 and may face the dog fixing block 143 with the sensor dog 142 interposed therebetween.

본 발명의 일례로, 상기 센서부(144)는 포토 센서로 이루어질 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 센서 도그(142)의 타 단부는 상기 포토 센서(144)의 발광부(144)와 수광부(146) 사이에 배치될 수 있다. 상기 포토 센서(144)는 상기 센서 도그(142)의 변화, 즉, 이완 또는 수축을 감지하여 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지하고, 이를 통해 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the sensor unit 144 may be a photosensor. 4, the other end of the sensor dog 142 may be disposed between the light emitting unit 144 and the light receiving unit 146 of the photo sensor 144. [ The photosensor 144 senses a change in the tension of the wire 110 by detecting a change in the sensor dog 142, that is, a relaxation or a contraction of the sensor dog 142, thereby sensing the deflection of the OHT rail 10 have.

도 6 및 도 7은 도 4에 도시된 센서부의 다른 일례들을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.Figs. 6 and 7 are schematic side views for explaining another example of the sensor unit shown in Fig. 4. Fig.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일례로, 센서부(150)는 로드셀로 이루어질 수 있으며, 상기 로드셀(150)의 감지 라인(152)은 상기 센서 도그(142)의 타 단부에 연결될 수 있다. 상기 로드셀(150)은 상기 센서 도그(142)가 상기 감지 라인(152)을 잡아당기는 인장력의 변화를 감지함으로써, 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지할 수 있다. 즉, 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의해 상기 센서 도그(142)가 인장 또는 수축될 경우, 상기 센서 도그(142)의 인장력이 변하며, 상기 로드셀(150)은 이를 감지하여 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.6, the sensor unit 150 may be a load cell, and the sensing line 152 of the load cell 150 may be connected to the other end of the sensor dog 142 . The load cell 150 senses a change in tension of the wire 110 by sensing a change in a tensile force that the sensor dog 142 pulls the sensing line 152. That is, when the sensor dog 142 is tensioned or contracted due to the tension change of the wire 110, the tensile force of the sensor dog 142 is changed, and the load cell 150 senses the tensile force of the sensor dog 142, ) Can be recognized.

도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 일례로, 센서부(160)는 거리 센서로 이루어질 수 있으며, 상기 거리 센서(160)는 상기 센서 도그(142)와 마주하게 배치될 수 있다. 상기 거리 센서(160)는 상기 와이어(110)의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그(142)와의 거리(HD) 변화를 감지함으로써, 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 인지할 수 있다.Referring to FIG. 7, in another example of the present invention, the sensor unit 160 may be a distance sensor, and the distance sensor 160 may be disposed to face the sensor dog 142. The distance sensor 160 may sense the deflection of the OHT rail 10 by detecting a change in distance HD with respect to the sensor dog 142 due to a change in tension of the wire 110.

상술한 바와 같이, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)의 레일 연결부들(16)에 와이어(110)를 연결하고 상기 와이어(110)의 텐션 변화를 감지함으로써, 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 자동으로 감지할 수 있다. 이에 따라, 고소 작업 없이 OHT 레일(10)의 처짐을 자동으로 감지할 수 있으므로, 작업자가 고소 작업을 이용한 상기 OHT 레일(10)의 처짐 검사 없이 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 파악할 수 있다. 그 결과, 종래 대비 작업 효율 및 생산성이 향상되며 상기 OHT 레일(10) 처짐으로 인한 대차의 휠 갈림 및 파손이 방지될 수 있다. 더욱이, 상기 OHT 레일 처짐 감지 장치(100)는 상기 OHT 레일(10)의 처짐을 신속하게 인지할 수 있으므로, 이에 대해 신속한 대처가 가능하다.The OHT rail deflection sensing apparatus 100 connects the wire 110 to the rail connection portions 16 of the OHT rail 10 and senses the tension change of the wire 110, The deflection of the rail 10 can be automatically detected. Accordingly, the deflection of the OHT rail 10 can be automatically detected without a complaint operation, so that the operator can grasp the deflection of the OHT rail 10 without checking the deflection of the OHT rail 10 by using a complaint operation. As a result, work efficiency and productivity are improved compared with the conventional art, and wheel breakage and breakage of the truck due to sagging of the OHT rail 10 can be prevented. Furthermore, since the OHT rail deflection sensing apparatus 100 can quickly recognize deflection of the OHT rail 10, the OHT rail deflection sensing apparatus 100 can quickly cope with the deflection.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It will be understood.

10 : OHT 레일 12 : 제1 레일
14 : 제2 레일 16 : 레일 연결부
100 : OHT 레일 처짐 감지 장치 110 : 와이어
120 : 링 블럭 130 : 와이어 고정부
140 : 센서 유닛 141 : 베이스 플레이트
142 : 센서 도그 143 : 도그 고정 블럭
144, 150, 160 : 센서부10: OHT rail 12: first rail
14: second rail 16: rail connection
100: OHT rail deflection sensing device 110: wire
120: ring block 130: wire fixing portion
140: sensor unit 141: base plate
142: Sensor Dog 143: Dog Fixing Block
144, 150, and 160:

Claims (7)

나란하게 배치된 제1 및 제2 레일들과 상기 제1 및 제2 레일들의 길이 방향으로 배치되어 상기 제1 및 제2 레일들을 연결하는 복수의 레일 연결부를 구비하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 레일의 처짐을 감지하기 위한 장치에 있어서,
상기 OHT 레일과 동일한 방향으로 연장되고 상기 레일 연결부들의 상측에 배치된 와이어;
상기 레일 연결부의 상부면에 장착되고 상기 와이어가 관통하여 삽입되는 관통공이 형성되며 상기 와이어의 위치를 가이드하는 링 블럭;
상기 와이어의 일 단부가 고정되는 와이어 고정부; 및
상기 링 블럭을 사이에 두고 상기 와이어 고정부와 대향하여 배치되고 상기 와이어의 타 단부가 고정되며 상기 와이어의 텐션 변화를 감지하여 상기 OHT 레일의 처짐을 감지하는 센서 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.An overhead hoist transport (OHT) rail having first and second rails arranged side by side and a plurality of rail connections arranged in the longitudinal direction of the first and second rails to connect the first and second rails An apparatus for detecting deflection,
A wire extending in the same direction as the OHT rail and disposed above the rail connection portions;
A ring block mounted on an upper surface of the rail connection portion and having a through hole through which the wire is inserted and guiding the position of the wire;
A wire fixing portion to which one end of the wire is fixed; And
And a sensor unit disposed opposite to the wire fixing unit with the ring block interposed therebetween and fixed to the other end of the wire and sensing a deflection of the OHT rail by sensing a change in tension of the wire. Rail deflection sensing device. 제1항에 있어서,
상기 센서 유닛은,
상기 와이어의 타 단부가 결합되며 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 센서 도그;
상기 센서 도그의 일 단부가 유동 가능하게 삽입되는 가이드홀 및 상기 가이드홀과 연통되고 상기 와이어의 타 단부가 관통하여 삽입되는 와이어 삽입관을 구비하고 상기 센서 도그를 고정하는 도그 고정 블럭; 및
상기 센서 도그를 사이에 두고 상기 도그 고정 블럭과 마주하게 배치되며 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 변화를 감지하는 센서부를 포함하고,
상기 와이어는 상기 센서 도그의 타 단부에 결합되는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.The method according to claim 1,
The sensor unit includes:
A sensor dog coupled to the other end of the wire and being relaxed or contracted according to a tension change of the wire;
A dog fixing block having a guide hole into which the one end of the sensor dog can be inserted and a wire insertion tube communicating with the guide hole and inserted through the other end of the wire and fixing the sensor dog; And
And a sensor unit arranged to face the dog fixing block with the sensor dog interposed therebetween and to detect a change of the sensor dog due to a tension change of the wire,
Wherein the wire is coupled to the other end of the sensor dog. 제2항에 있어서,
상기 센서 도그는 스프링으로 이루어질 수 있으며, 상기 와이어의 텐션 변화에 따라 이완 또는 수축되는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the sensor dog is made of a spring and is relaxed or contracted according to a change in tension of the wire. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 포토 센서로 이루어지며,
상기 포토 센서의 발광부와 수광부 사이에 상기 센서 도그의 타 단부가 위치하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.The method of claim 3,
Wherein the sensor unit comprises a photosensor,
And the other end of the sensor dog is positioned between the light emitting unit and the light receiving unit of the photo sensor. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 로드셀로 이루어지고, 상기 센서 도그의 타 단부에 연결되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그의 인장력 변화를 감지하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.The method of claim 3,
Wherein the sensor unit comprises a load cell and is connected to the other end of the sensor dog, and detects a change in tensile force of the sensor dog due to a change in tension of the wire. 제3항에 있어서,
상기 센서부는 거리 센서로 이루어지고, 상기 센서 도그와 마주하게 배치되며, 상기 와이어의 텐션 변화에 의한 상기 센서 도그와의 거리 변화를 감지하는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.The method of claim 3,
Wherein the sensor unit comprises a distance sensor and is arranged to face the sensor dog and detects a change in distance from the sensor dog due to a change in tension of the wire. 제1항에 있어서,
상기 와이어 고정부와 상기 센서 유닛은 각각 상기 레일 연결부의 상부면에 장착되는 것을 특징으로 하는 OHT 레일 처짐 감지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the wire fixing part and the sensor unit are mounted on the upper surface of the rail connection part, respectively.
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