KR102262488B1 - Cooling buffer with minimal deflection of support bar - Google Patents

Cooling buffer with minimal deflection of support bar Download PDF

Info

Publication number
KR102262488B1
KR102262488B1 KR1020190143463A KR20190143463A KR102262488B1 KR 102262488 B1 KR102262488 B1 KR 102262488B1 KR 1020190143463 A KR1020190143463 A KR 1020190143463A KR 20190143463 A KR20190143463 A KR 20190143463A KR 102262488 B1 KR102262488 B1 KR 102262488B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support bar
support
support plate
chamber unit
bracket
Prior art date
Application number
KR1020190143463A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210056704A (en
Inventor
황민욱
Original Assignee
황민욱
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 황민욱 filed Critical 황민욱
Priority to KR1020190143463A priority Critical patent/KR102262488B1/en
Publication of KR20210056704A publication Critical patent/KR20210056704A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102262488B1 publication Critical patent/KR102262488B1/en

Links

Images

Classifications

    • H01L51/56
    • H01L51/0001
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H01L2251/56

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼에 관한 것으로서, 내부에 수용공간이 형성된 챔버유닛과, 상기 챔버유닛의 내면 일측에 설치되되, 서로 대향하는 위치에 설치되는 한 쌍의 브라켓과, 양측단부가 각각 상기 한 쌍의 브라켓에 각각 결합되어 지지되는 지지바 및 하단부가 상기 지지바의 상부 일측에 결합되고, 상부에 대상플레이트가 안착되는 지지봉을 포함하되, 상기 브라켓은 상기 챔버유닛의 내면 일측에 결합되는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 상단 또는 하단 중 어느 하나의 단부로부터 직각으로 절곡되고, 상기 챔버유닛의 내측방향으로 연장형성되며, 상면과 저면 중 어느 한 면에 상기 지지바가 결합되어 지지되는 받침플레이트를 포함하되, 상기 받침플레이트는 상면이 상기 지지플레이트로부터 외측방향으로 갈수록 상향경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 상방으로 경사진 브라켓의 상부면을 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 대상플레이트 중량에 따른 지지바의 처짐을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
The present invention relates to a cooling buffer that minimizes the sag of a support bar, comprising: a chamber unit having an accommodation space formed therein; a pair of brackets installed on one side of the inner surface of the chamber unit and installed at positions opposite to each other; and a support bar each having an end coupled to and supported by the pair of brackets, and a support bar having a lower end coupled to an upper side of the support bar, and a target plate mounted thereon, wherein the bracket is one side of the inner surface of the chamber unit. and a support plate coupled to the support plate, bent at right angles from either end of the upper or lower end of the support plate, extending in the inner direction of the chamber unit, and the support bar is coupled to any one of the upper and lower surfaces to support It provides a cooling buffer that minimizes the deflection of the support bar, characterized in that the support plate is formed to be upwardly inclined toward the outside from the support plate, the upper surface of the support plate being provided.
According to the present invention as described above, there is an effect that can minimize the deflection of the support bar according to the weight of the target plate by pressing the both ends of the support bar upward through the upper surface of the upwardly inclined bracket.

Description

지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼{Cooling buffer with minimal deflection of support bar}Cooling buffer with minimal deflection of support bar

본 발명은 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상방으로 경사진 브라켓의 상부면을 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 대상플레이트 중량에 따른 지지바의 처짐을 최소화할 수 있는 쿨링버퍼에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling buffer that minimizes the sag of the support bar, and more particularly, by pressing both ends of the support bar upward through the upper surface of the bracket inclined upward, respectively, the sagging of the support bar according to the weight of the target plate It relates to a cooling buffer that can minimize

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이 장치는 다수의 공정을 거쳐 제조된다. In general, display devices such as organic light emitting diodes (OLEDs), liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and electrophoretic displays (EPDs) are manufactured through a number of processes.

이러한 제조 공정에는 유리기판에 박막을 증착하는 증착공정 및 박막을 소정 패턴에 따라 제거하는 식각공정, 증착이 완료된 유리기판을 세정하는 세정공정 및 건조공정 등이 포함된다. The manufacturing process includes a deposition process for depositing a thin film on a glass substrate, an etching process for removing the thin film according to a predetermined pattern, a cleaning process for cleaning the deposited glass substrate, and a drying process.

예컨데, 유기발광표시장치의 제조 공정들 중, 증착 공정은 고진공 환경하에서 도가니(Crucible)에 담겨져있는 유기물을 가열부로 가열하여 기화시킨 후 도가니의 내부와 외부의 압력차이로 발생되는 플럭스(Flux)를 이용하여 유기물을 유기판에 증착시키게 된다.For example, in the manufacturing process of the organic light emitting display device, the deposition process heats the organic material contained in the crucible with a heating unit under a high vacuum environment to vaporize it, and then converts the flux generated by the pressure difference between the inside and the outside of the crucible. The organic material is deposited on the organic plate.

아울러, 증착공정이 완료된 유리기판을 세정한 후 디스플레이용 오븐을 이용하여 건조하게 되는데, 매우 높온 온도의 환경에 건조공정이 이루어지는 바 건조공정을 거친 유리기판을 후속공정으로 이송하기 전에 일정온도로 냉각하고, 후속공정에서 요구되는 상태로 정렬한 다음 후속공정으로 이송된다.In addition, after cleaning the glass substrate on which the deposition process is completed, it is dried using an oven for a display. The drying process is performed in a very high temperature environment, and the glass substrate that has undergone the drying process is cooled to a certain temperature before being transferred to a subsequent process. Then, they are arranged in the required state in the subsequent process, and then transferred to the subsequent process.

이때, 후속공정으로 이송 전 유리기판을 냉각하기 위한 장치로서, 쿨링버퍼가 사용되고 있다.At this time, a cooling buffer is used as a device for cooling the glass substrate before transferring to a subsequent process.

도1a은 종래의 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면이고, 도1b는 종래의 브라켓을 도시한 사시도이며, 도1c는 종래의 지지바 중앙이 처진 상태를 도시한 도면이다.Figure 1a is a view schematically showing a conventional cooling buffer, Figure 1b is a perspective view showing a conventional bracket, Figure 1c is a view showing a state in which the center of the conventional support bar is drooping.

도1a 내지 도1c에서 보는 바와 같이 종래의 쿨링버퍼(100)는 내부에 수용공간(111)이 형성되고 수용공간(111) 내에 배치된 지지프레임(112)을 구비한 챔버유닛(110)과, 지지프레임(112)의 일측 중 서로 대향하는 영역에 설치되는 한 쌍의 브라켓(120)과, 양측단부가 각각 한 쌍의 브라켓(120)에 지지되는 지지바(130)와, 하단부가 지지바(130)의 상부 일측에 결합되고 상부에 대상플레이트가 안착되는 지지봉(140) 및 챔버유닛(110)의 일측에 설치되고 외부공기를 챔버유닛(110) 내부로 유입하는 공냉유닛(150)으로 구성된다.1A to 1C, the conventional cooling buffer 100 has a chamber unit 110 having an accommodation space 111 formed therein and a support frame 112 disposed in the accommodation space 111, and, A pair of brackets 120 installed in areas facing each other among one side of the support frame 112, a support bar 130 having both ends supported by a pair of brackets 120, respectively, and a support bar having a lower end ( 130) coupled to the upper side of the support rod 140 on which the target plate is seated, and an air cooling unit 150 installed on one side of the chamber unit 110 and introducing external air into the chamber unit 110. .

이러한 종래의 쿨링버퍼(100)는 외부의 로봇암에 의해 대상플레이트인 유리기판(G)이 챔버 내부로 인입되어 지지봉(140) 상부에 안착되면, 공냉유닛(150)이 챔버유닛(110) 내부로 외부공기를 유입하여 고온의 유리기판(G)을 일정온도로 냉각하며, 적정한 온도로 냉각된 유리기판(G)이 다시 로봇암에 의해 후속공정으로 이송되도록 한다.In the conventional cooling buffer 100 , when the glass substrate G, which is the target plate, is drawn into the chamber by an external robot arm and seated on the support rod 140 , the air cooling unit 150 is installed inside the chamber unit 110 . The high temperature glass substrate (G) is cooled to a certain temperature by introducing external air into the furnace, and the glass substrate (G) cooled to an appropriate temperature is transferred to the subsequent process by the robot arm again.

이때, 종래의 쿨링버퍼(100)는 내부에 수용된 유리기판(G)을 냉각함과 아울러 이전 공정과 후속공정간 공정속도를 조절하기 위해 유리기판(G)을 일정시간 보관하게 되는데, 보관중인 유리기판(G)이 큰 중량을 갖는 바 이를 보관하는 과정에서 지지바(130)에 상당한 하중이 가해지면서 지지바(130)의 중앙이 쳐지게 되는 문제점이 있었다.At this time, the conventional cooling buffer 100 cools the glass substrate (G) accommodated therein and stores the glass substrate (G) for a certain period of time to control the process speed between the previous process and the subsequent process. The substrate G has a problem in that the center of the support bar 130 sags while a significant load is applied to the support bar 130 in the process of storing the bar having a large weight.

이와 같이 지지바(130)가 쳐지는 경우 지지봉(140) 상부에 안착된 유리기판(G)이 기울어져 추후 후속공정으로 반출시 로봇암이 유리기판(G)을 정확하게 파지하기 어려울 뿐 아니라 기울어진 유리기판(G)이 낙하하면서 유리기판(G)이 파손되고, 파손된 유리파편으로 인해 주변 작업자에게 안전상 문제가 발생되었다.In this way, when the support bar 130 is hit, the glass substrate G seated on the support rod 140 is tilted, so that it is difficult for the robot arm to accurately grip the glass substrate G when it is taken out to a subsequent process. As the glass substrate (G) fell, the glass substrate (G) was damaged, and a safety problem occurred to surrounding workers due to the broken glass fragments.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 상방으로 경사진 브라켓의 상부면을 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 대상플레이트 중량에 따른 지지바의 처짐을 최소화할 수 있는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 제공함에 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to press the both ends of the support bar upward through the upper surface of the upwardly inclined bracket, respectively, so that the sagging of the support bar according to the weight of the target plate It is to provide a cooling buffer that minimizes the deflection of the support bar that can minimize the

본 발명의 다른 목적은 브라켓의 저면에 지지바가 지지되는 경우 처짐방지부재를 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 브라켓을 상부와 하부 양방향으로 모두 사용할 수 있어 사용상 편의성을 크게 높일 수 있는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 제공함에 있다.Another object of the present invention is that when the support bar is supported on the bottom surface of the bracket, both ends of the support bar are pressed upward through the anti-sag member, so that the bracket can be used in both upper and lower directions, thereby greatly increasing the convenience of use. It is to provide a cooling buffer that minimizes the sagging of the bar.

본 발명의 또 다른 목적은 지지바의 내부에 원형파이프 및 브라켓에 의해 가압되는 영역을 지지할 수 있는 보강플레이트를 형성함으로써 브라켓 가압에 따른 지지바의 형상변형을 미연에 방지할 수 있을 뿐 아니라 지지바의 처짐을 최소화시킬 수 있는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to form a reinforcing plate capable of supporting the area pressed by the circular pipe and the bracket inside the support bar, thereby preventing the deformation of the shape of the support bar due to the pressure of the bracket in advance as well as supporting the support bar. An object of the present invention is to provide a cooling buffer that minimizes the sag of the support bar that can minimize the sag of the bar.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 내부에 수용공간이 형성된 챔버유닛과, 상기 챔버유닛의 내면 일측에 설치되되, 서로 대향하는 위치에 설치되는 한 쌍의 브라켓과, 양측단부가 각각 상기 한 쌍의 브라켓에 각각 결합되어 지지되는 지지바 및 하단부가 상기 지지바의 상부 일측에 결합되고, 상부에 대상플레이트가 안착되는 지지봉을 포함하되, 상기 브라켓은 상기 챔버유닛의 내면 일측에 결합되는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트의 상단 또는 하단 중 어느 하나의 단부로부터 직각으로 절곡되고, 상기 챔버유닛의 내측방향으로 연장형성되며, 상면과 저면 중 어느 한 면에 상기 지지바가 결합되어 지지되는 받침플레이트를 포함하되, 상기 받침플레이트는 상면이 상기 지지플레이트로부터 외측방향으로 갈수록 상향경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 제공한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, a chamber unit having an accommodating space therein, a pair of brackets installed on one side of the inner surface of the chamber unit and installed at positions opposite to each other, and both sides; and a support bar each having an end coupled to and supported by the pair of brackets, and a support bar having a lower end coupled to an upper side of the support bar, and a target plate mounted thereon, wherein the bracket is one side of the inner surface of the chamber unit. and a support plate coupled to the support plate, bent at right angles from either end of the upper or lower end of the support plate, extending in the inner direction of the chamber unit, and the support bar is coupled to any one of the upper and lower surfaces to support It provides a cooling buffer that minimizes the deflection of the support bar, characterized in that the support plate is formed to be upwardly inclined toward the outside from the support plate, the upper surface of the support plate being provided.

그리고, 상기 받침플레이트의 일측에 상하방향으로 이동가능하게 나사결합되고, 상기 지지바의 일측을 상방으로 가압하는 처짐방지부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.And, it is preferable to further include a sag preventing member which is screwed to one side of the support plate to be movable in the vertical direction, and presses one side of the support bar upward.

또한, 상기 지지바는 내부에 공간부가 형성된 사각 파이프와, 상기 파이프 부재의 내부 중앙에 배치되고, 상기 파이프 부재와 대응되는 길이를 갖는 원형 파이프 및 상기 원형 파이프의 상하부로부터 각각 연장되고, 상기 사각 파이프의 상하부 내면에 일체로 연결되는 한 쌍의 보강플레이트를 포함할 수 있다.In addition, the support bar includes a rectangular pipe having a space formed therein, a circular pipe having a length corresponding to the pipe member, and extending from the upper and lower portions of the circular pipe, which are disposed in the inner center of the pipe member, respectively, and the square pipe It may include a pair of reinforcing plates integrally connected to the upper and lower inner surfaces of the.

아울러, 상기 사각파이프는 단면 중 측면부가 상하부보다 긴 길이를 갖도록 형성됨과 아울러, 측면부의 두께가 상하부의 두께보다 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the side portion of the square pipe is formed to have a longer length than the upper and lower portions of the cross section, and the thickness of the side portion is formed to be thicker than the thickness of the upper and lower portions.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 상방으로 경사진 브라켓의 상부면을 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 대상플레이트 중량에 따른 지지바의 처짐을 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, there is an effect that can minimize the deflection of the support bar according to the weight of the target plate by pressing the both ends of the support bar upward through the upper surface of the upwardly inclined bracket.

그리고, 본 발명은 브라켓의 저면에 지지바가 지지되는 경우 처짐방지부재를 통해 지지바의 양측단부를 각각 상방으로 가압함으로써 브라켓을 상부와 하부 양방향으로 모두 사용할 수 있어 사용상 편의성을 크게 높일 수 있는 효과가 있다.And, in the present invention, when the support bar is supported on the bottom surface of the bracket, by pressing both ends of the support bar upward through the sag prevention member, the bracket can be used in both upper and lower directions, thereby greatly increasing the convenience in use. have.

또한, 본 발명은 지지바의 내부에 원형파이프 및 브라켓에 의해 가압되는 영역을 지지할 수 있는 보강플레이트를 형성함으로써 브라켓 가압에 따른 지지바의 형상변형을 미연에 방지할 수 있을 뿐 아니라 지지바의 처짐을 최소화시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can prevent in advance the shape deformation of the support bar due to the pressurization of the bracket by forming a reinforcing plate capable of supporting the area pressed by the circular pipe and the bracket inside the support bar, as well as prevent the support bar from being deformed in advance. It has the effect of minimizing sagging.

도1a은 종래의 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면,
도1b는 종래의 브라켓을 도시한 사시도,
도1c는 종래의 지지바 중앙이 처진 상태를 도시한 도면,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면,
도3a은 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓의 사시도,
도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓의 단면도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 지지바의 사시도,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓이 정방향으로 설치된 상태를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 지지바에 가해지는 하중이 분산되는 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓이 역방향으로 설치된 상태를 도시한 도면.
1a is a view schematically showing a conventional cooling buffer;
Figure 1b is a perspective view showing a conventional bracket,
1c is a view showing a state in which the center of the conventional support bar is drooping;
2 is a view schematically showing a cooling buffer that minimizes the sag of the support bar according to an embodiment of the present invention;
3A is a perspective view of a bracket according to an embodiment of the present invention;
3b is a cross-sectional view of a bracket according to an embodiment of the present invention;
4 is a perspective view of a support bar according to an embodiment of the present invention;
5 is a view showing a state in which the bracket according to an embodiment of the present invention is installed in the forward direction;
6 is a view showing a state in which the load applied to the support bar is distributed according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a state in which the bracket according to an embodiment of the present invention is installed in the reverse direction.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 살펴보도록 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼를 개략적으로 도시한 도면이고, 도3a은 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓의 사시도이며, 도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓의 단면도이고, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 지지바의 사시도이다.2 is a view schematically showing a cooling buffer minimizing the sag of a support bar according to an embodiment of the present invention, FIG. 3A is a perspective view of a bracket according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a view of the present invention It is a cross-sectional view of a bracket according to an embodiment, and Figure 4 is a perspective view of a support bar according to an embodiment of the present invention.

도2 내지 도4에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 사용이 가능한 브라켓(20)이 구비된 쿨링버퍼(1)는 챔버유닛(10)과, 브라켓(20)과, 처짐방지부재(24)와, 지지바(30)와, 지지봉(40) 및 공냉유닛(50)을 포함하여 구성된다.2 to 4, the cooling buffer 1 provided with the bracket 20 that can be used in both directions according to an embodiment of the present invention includes a chamber unit 10, a bracket 20, and a sagging member. 24 , and a support bar 30 , a support rod 40 , and an air cooling unit 50 .

챔버유닛(10)은 대략 박스 형상으로 형성되고, 내부에 대상플레이트인 유리기판이 수용되는 수용공간(11)이 형성되며, 수용공간(11) 내에 지지프레임(12)이 배치된다.The chamber unit 10 is formed in a substantially box shape, an accommodation space 11 in which a glass substrate as a target plate is accommodated is formed therein, and a support frame 12 is disposed in the accommodation space 11 .

이러한 챔버유닛(10)은 유리기판의 냉각공간을 제공함과 아울러 유리기판을 일정시간 보관하여 후속공정의 공정속도에 따라 유리기판이 공급될 수 있도록 하는 역할을 한다.This chamber unit 10 serves to provide a cooling space for the glass substrate and to store the glass substrate for a certain time so that the glass substrate can be supplied according to the process speed of the subsequent process.

브라켓(20)은 지지플레임(12) 일측에 결합되는 지지플레이트(21)와, 지지플레이트(21)의 하단으로부터 직각으로 절곡되고 챔버유닛(10)의 내측방향으로 연장형성되는 받침플레이트(22) 및 받침플레이트(22)의 성단부에 상하방향으로 이동가능하게 나사결합되는 처짐방지부재(24)을 포함하여 구성되며, 챔버유닛(10)의 내면 중 서로 대향하는 영역에 각각 설치되어 후술하는 지지바(30)의 양측단부를 지지하는 역할을 한다.The bracket 20 includes a support plate 21 coupled to one side of the support frame 12, and a support plate 22 bent at right angles from the lower end of the support plate 21 and extending in the inner direction of the chamber unit 10. and an anti-sag member 24 that is screw-coupled to the upper and lower ends of the support plate 22 to be movable in the vertical direction, and is installed in each of the inner surfaces of the chamber unit 10 opposite to each other to provide support to be described later. It serves to support both ends of the bar (30).

여기서, 지지플레이트(21)는 대략 직사각형의 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 한 쌍의 결합공(21a)이 형성되어 볼트와 같은 별도의 결합수단을 통해 챔버의 내면에 설치되며, 일체로 형성되는 받침플레이트(22)를 챔버의 내면 중 일정위치에 위치하도록 하는 역할을 한다.Here, the support plate 21 is formed in a substantially rectangular plate shape, a pair of coupling holes 21a are formed on one side, installed on the inner surface of the chamber through a separate coupling means such as a bolt, and are integrally formed. It serves to position the support plate 22 at a predetermined position among the inner surfaces of the chamber.

받침플레이트(22)는 지지플레이트(21)와 같이 대략 직사각형의 플레이트 형상으로 형성되고, 상면과 저면 중 어느 한면에 지지바(30)가 결합되어 지지바(30)가 유리기판을 안정적으로 지지할 수 있도록 하는 역할을 한다.The support plate 22 is formed in a substantially rectangular plate shape like the support plate 21, and the support bar 30 is coupled to any one of the upper and lower surfaces so that the support bar 30 stably supports the glass substrate. serves to enable

여기서, 받침플레이트(22)는 상면이 외측방향으로 갈수록 상향경사지게 형성되며, 상면에 지지바(30)가 결합되는 경우 지지바(30)의 단부 영역을 상방으로 가압함으로써 지지바(30) 중앙에 상방으로 응력이 발생, 즉 수직하중에 대한 응력이 발생되도록 하는 것이 바람직하다.Here, the upper surface of the support plate 22 is formed to be inclined upward toward the outside, and when the support bar 30 is coupled to the upper surface, by pressing the end region of the support bar 30 upward, the center of the support bar 30 It is preferable that the stress is generated upward, that is, the stress against the vertical load is generated.

다시 말하면, 본 실시예의 받침플레이트(22)는 경사진 상부면을 통해 지지바(30)의 중앙에 미리 응력을 발생시키고, 지지바(30)에 유리기판의 하중이 가해지는 경우 이를 통해 지지바(30)의 처짐을 방지한다.In other words, the support plate 22 of this embodiment generates a stress in advance in the center of the support bar 30 through the inclined upper surface, and when the load of the glass substrate is applied to the support bar 30, the support bar through this (30) to prevent sagging.

그리고, 받침플레이트(22)는 일측에 지지바(30)와 나사결합하기 위한 4개의 체결공(22a)이 형성되는데, 4개의 체결공(22a) 중 2개의 체결공(22a)은 상부에 테이퍼가 형성되고, 다른 2개의 체결공(22a)은 하부에 테이퍼가 형성된다.And, the support plate 22 is formed with four fastening holes 22a for screwing with the support bar 30 on one side, and two fastening holes 22a among the four fastening holes 22a are taper on the upper side. is formed, and the other two fastening holes 22a have a tapered lower portion.

이는 작업환경에 따라 브라켓(20)을 상하반전하여 사용할 수 있도록 하는 것으로서, 브라켓(20)을 정방향, 즉 받침플레이트(22)가 지지플레이트(21)의 하부에 위치하는 형상으로 사용하는 경우 상부에 테이퍼가 형성된 체결공(22a)을 이용하여 지지바(30)와 나사결합되고, 브라켓(20)을 역방향으로 사용하는 경우 하부에 테이퍼가 형성된 체결공(22a)을 이용하여 지지바(30)와 나사결합됨으로써 브라켓(20)을 환경에 따라 상하 양방향으로 사용할 수 있도록 하기 위함이다.This allows the bracket 20 to be used up and down depending on the working environment. When the bracket 20 is used in the forward direction, that is, the support plate 22 is positioned under the support plate 21, the upper portion It is screwed with the support bar 30 using the taper fastening hole 22a, and when the bracket 20 is used in the reverse direction, the support bar 30 and the support bar 30 using the taper fastening hole 22a at the bottom. This is to enable the bracket 20 to be used in both up and down directions depending on the environment by being screwed.

아울러, 본 실시예는 일측이 지지플레이트(21)에 일체로 형성되고 타측이 상기 받침플레이트(22)의 일측에 지지되는 다수의 보강리브(23)를 더 포함함으로써 브라켓(20)의 강도가 향상되도록 하여 지지바(30)를 보다 안정적으로 지지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In addition, in this embodiment, the strength of the bracket 20 is improved by further including a plurality of reinforcing ribs 23 on one side integrally formed with the support plate 21 and the other side supported on one side of the support plate 22 . It is preferable to make it possible to support the support bar 30 more stably.

처짐방지부재(24)는 받침플레이트(22)의 일측에 형성된 인서트 너트(24a)와, 인서트 너트(24a)에 상하방향으로이동가능하게 나사결합되는 볼트부재(24b)를 포함하여 구성되고, 브라켓(20)의 저면에 지지바(30)가 결합되는 경우 지지바(30) 방향으로 이동하여 지지바(30)의 단부 영역을 상방으로 가압하는 역할을 하는데, 이러한 처짐방지부재(24)의 기능은 후술하는 동작설명에서 도7을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.The anti-sag member 24 includes an insert nut 24a formed on one side of the support plate 22, and a bolt member 24b screwed to the insert nut 24a to be movable in the vertical direction, and a bracket When the support bar 30 is coupled to the bottom surface of the 20, it moves in the direction of the support bar 30 and serves to press the end region of the support bar 30 upward. will be described in detail with reference to FIG. 7 in the operation description to be described later.

지지바(30)는 양측단부가 한 쌍의 브라켓(20) 일측에 각각 결합되어 지지프레임(12) 일측에 견고하게 설치되며, 후술하는 지지봉(40)을 통해 유리기판을 지지하는 역할을 한다.The support bar 30 has both end portions coupled to one side of the pair of brackets 20 to be firmly installed on one side of the support frame 12 , and serves to support the glass substrate through a support rod 40 to be described later.

그리고, 본 실시예에 따른 지지바(30)는 처짐을 최소화할 수 있는 구조로 형성되는데, 이를 위해 내부에 공간부가 형성된 사각 파이프(31)와, 사각 파이프(31)의 내부 중앙에 배치되는 원형 파이프(32) 및 원형 파이프(32)의 상하부로부터 각각 외측방향으로 연장되어 사각 파이프(31)의 상하부 내면에 연결되는 보강플레이트(33)를 포함하여 구성된다.And, the support bar 30 according to the present embodiment is formed in a structure that can minimize sagging, for this purpose, a square pipe 31 having a space formed therein, and a circular shape disposed in the inner center of the square pipe 31 It is configured to include a reinforcing plate 33 extending outwardly from the upper and lower portions of the pipe 32 and the circular pipe 32 and connected to the upper and lower inner surfaces of the square pipe 31 .

여기서, 사각 파이프(31)는 단면이 직사각형 형상으로 형성되고, 내부에 공간부가 형성되며, 양측단부가 서로 대향되게 설치된 한 쌍의 브라켓(20)에 각각 결합된다.Here, the square pipe 31 is formed in a rectangular shape in cross section, a space is formed therein, and is coupled to a pair of brackets 20 with both ends facing each other.

그리고, 사각 파이프(31)는 측면의 길이가 상하면의 길이보다 긴 길이를 갖도록 형성되며, 그 측부의 두께(t)가 상하부의 두께(T)보다 큰 두께를 갖도록 형성함으로써 수직 하중에 대한 항복강도가 크게 향상되는 바 유리기판의 하중에 의한 처짐을 최소화할 수 있을 뿐 아니라 상대적으로 얇은 두께를 갖는 사각파이프(31)의 상면을 통해 유리기판의 수직하중이 원형파이프(32) 및 보강플레이트(33)로 보다 쉽게 전달될 수 있다.And, the square pipe 31 is formed so that the length of the side is longer than the length of the upper and lower surfaces, and the thickness (t) of the side is formed to have a thickness greater than the thickness (T) of the upper and lower parts, thereby yielding strength against vertical load is greatly improved, it is possible to minimize the deflection of the glass substrate due to the load, and the vertical load of the glass substrate through the upper surface of the square pipe 31 having a relatively thin thickness is transferred to the circular pipe 32 and the reinforcing plate 33 ) can be transmitted more easily.

원형 파이프(32)는 사각 파이프(31)의 내부에 배치되고, 상기한 보강플레이트(33)를 통해 사각 파이프(31)의 상하부 내면에 연결되는 바 유리기판의 하중이 사각 파이프(31)에 가해지는 경우 이를 보강플레이트(33)를 통해 전달받고 분산함으로써 지지바(30)의 처짐을 최소화시킬 수 있는 역할을 한다.The circular pipe 32 is disposed inside the square pipe 31, and is connected to the upper and lower inner surfaces of the square pipe 31 through the reinforcement plate 33. The load of the glass substrate is applied to the square pipe 31. When it loses, it serves to minimize the deflection of the support bar 30 by receiving and distributing it through the reinforcing plate 33 .

보강플레이트(33)는 앞서 설명한 바와 같이 원형 파이프(32)의 상하부로부터 각각 외측방향으로 연장형성되어 사각 파이프(31)의 상하부 내면에 연결되는 것으로서, 사각 파이프(31)에 전달되는 하중 일부를 원형 파이프(32)로 전달하는 역할을 함과 아울러 사각 파이프(31)의 일측을 지지하여 사각 파이프(31)를 보강하는 역할을 한다.As described above, the reinforcing plate 33 is formed to extend outwardly from the upper and lower portions of the circular pipe 32 and is connected to the upper and lower inner surfaces of the square pipe 31, and a portion of the load transmitted to the square pipe 31 is converted into a circular shape. It serves to transmit to the pipe 32 and supports one side of the square pipe 31 to reinforce the square pipe 31 .

지지봉(40)은 지지바(30)의 상면 일측으로부터 상방으로 연장형성되되, 다수개가 서로 이격된 위치에 형성되고, 다수개가 유리기판의 저면을 지지하는 역할을 한다.The support rod 40 is formed extending upwardly from one side of the upper surface of the support bar 30 , and a plurality of them are formed at positions spaced apart from each other, and a plurality of them serve to support the bottom surface of the glass substrate.

그리고, 지지봉(40)은 유리기판과의 마찰력을 저감함으로써 마찰에 따른 유리기판의 손상을 최소화함과 아울러 유리기판의 인입인출동작이 용이하게 이루어질 수 있도록 상단부, 즉 유리기판과 접촉되는 접촉영역이 상방으로 만곡지게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the support rod 40 minimizes damage to the glass substrate due to friction by reducing the frictional force with the glass substrate, and the upper end, that is, the contact area in contact with the glass substrate, so that the drawing-in/out operation of the glass substrate can be made easily. It is preferable to be formed to be curved upward.

공냉유닛(50)은 일반적인 팬 유닛이 사용될 수 있는 것으로서, 챔버유닛(10)의 후면에 설치되고, 챔버유닛(10) 내부로 외부공기를 유입함으로써 내부에 수용된 유리기판을 냉각하는 역할을 한다. 이러한 공냉유닛(50)은 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로 구체적인 구성 설명은 생략하도록 한다.The air cooling unit 50 is a general fan unit that can be used, is installed on the rear surface of the chamber unit 10, and serves to cool the glass substrate accommodated therein by introducing external air into the chamber unit 10. As it is obvious that the air cooling unit 50 is well-known enough to be used by those of ordinary skill in the art by purchasing commercially supplied ones, a detailed description of the configuration will be omitted.

도5는 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓이 정방향으로 설치된 상태를 도시한 도면이고, 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 지지바에 가해지는 하중이 분산되는 상태를 도시한 도면이다.Figure 5 is a view showing a state in which the bracket is installed in the forward direction according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a view showing a state in which the load applied to the support bar according to an embodiment of the present invention is distributed.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 사용이 가능한 브라켓(20)이 구비된 쿨링버퍼(1)의 동작을 첨부된 도5 내지 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the cooling buffer 1 provided with the bracket 20 capable of bidirectional use according to an embodiment of the present invention having such a configuration will be described with reference to FIGS. 5 to 7 attached thereto.

먼저, 지지프레임(12)의 일측 중 서로 대향하는 영역에 한 쌍의 브라켓(20)을 각각 설치한다.First, a pair of brackets 20 are respectively installed in areas facing each other among one side of the support frame 12 .

여기서, 브라켓(20)을 정방향으로 설치하는 경우, 즉 받침플레이트(22)가 지지플레이트(21)의 하부에 위치하도록 '┕"자 형상으로 설치하는 경우 브라켓(20)의 받침플레이트(22) 상면에 지지바(30)의 일단부를 배치하고 상부에 테이퍼가 형성된 체결공(22a)을 통해 받침플레이트(22)와 지지바(30)를 상호 나사결합한다.Here, when the bracket 20 is installed in the forward direction, that is, when the support plate 22 is installed in a '┕' shape so that it is located under the support plate 21, the upper surface of the support plate 22 of the bracket 20 One end of the support bar 30 is disposed on the and the support plate 22 and the support bar 30 are screwed together through a fastening hole 22a having a taper formed thereon.

이때, 받침플레이트(22) 경사진 상부면이 지지바(30)의 일단부 저면을 상방으로 가압하게 되는데, 지지바(30)의 양측단부를 상방으로 가압함에 따라 지지바(30)의 중앙에 상방으로 응력을 발생시킨다.At this time, the inclined upper surface of the support plate 22 presses the lower surface of one end of the support bar 30 upward, and as the opposite ends of the support bar 30 are pressed upward, the center of the support bar 30 is Stress is generated upwards.

이에 지지봉(40) 상부에 유리기판을 안착시키는 경우 지지봉(40)을 통해 유리기판의 하중이 지지바(30)로 전달되는데, 미리 발생시킨 응력에 의해 수직하중에 의한 지지바(30)의 처짐을 최소화할 수 있다.Accordingly, when the glass substrate is seated on the support rod 40, the load of the glass substrate is transferred to the support bar 30 through the support rod 40. The sagging of the support bar 30 due to the vertical load due to the stress generated in advance. can be minimized.

이와 동시에 지지바(30)로 전달되는 수직하중은 사각 파이프(31) 내부의 보강플레이트(33)를 통해 원형 파이프(32)로 전달되고, 원형 파이프(32)에 의해 수직하중 일부가 분산됨으로써 지지바(30)의 중앙이 처지는 것을 방지할 수 있다.At the same time, the vertical load transmitted to the support bar 30 is transmitted to the circular pipe 32 through the reinforcing plate 33 inside the rectangular pipe 31, and is supported by dispersing a portion of the vertical load by the circular pipe 32. It is possible to prevent the center of the bar 30 from sagging.

도7은 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓이 역방향으로 설치된 상태를 도시한 도면이다.7 is a view showing a state in which the bracket according to an embodiment of the present invention is installed in the reverse direction.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 브라켓(20)을 역방향, 즉 받침플레이트(22)가 지지플레이트(21)의 상부에 위치하도록 '┍"자 형상으로 설치하는 경우 받침플레이트(22) 저면에 지지바(30)의 일단부를 배치하고, 하부에 테이퍼가 형성된 체결공(22a)을 통해 받침플레이트(22)와 지지바(30)를 상호 나사결합한다.On the other hand, when the bracket 20 according to an embodiment of the present invention is installed in the reverse direction, that is, in a '┍' shape so that the support plate 22 is located on the upper part of the support plate 21, the support plate 22 is located on the bottom surface. One end of the support bar 30 is disposed, and the support plate 22 and the support bar 30 are screwed together through a fastening hole 22a having a taper formed thereunder.

그리고, 받침플레이트(22)의 선단부에 결합된 처짐방지부재(24)를 일방향으로 회전하여 지지바(30) 방향으로 이동되도록 한다. 이에 처짐방지부재(24)가 지지바(30)의 일단부 저면을 상방으로 가압하게 되는데, 같은 방식으로 지지바(30)의 양측단부를 상방으로 가압함에 따라 지지바(30)의 중앙에 상방으로 응력을 발생시키며, 위와 동일한 원리로 지지바(30)의 처짐을 최소화한다.Then, the anti-sag member 24 coupled to the distal end of the support plate 22 is rotated in one direction to move in the direction of the support bar 30 . Accordingly, the anti-sag member 24 presses the lower surface of one end of the support bar 30 upward. to generate a stress, and minimize the deflection of the support bar 30 in the same principle as above.

즉, 처짐방지부재(24)는 경사가 형성되지 않은 브라켓(20) 저면에 지지바(30)가 결합되더라도 지지바(30) 중앙에 응력을 발생시킬 수 있는 구조를 제공함으로써 사용자가 브라켓(20)을 양방향으로 사용할 수 있도록 하는 역할을 한다.That is, the anti-sag member 24 provides a structure capable of generating stress in the center of the support bar 30 even when the support bar 30 is coupled to the bottom surface of the bracket 20 where the inclination is not formed, so that the user can use the bracket 20 ) to be used in both directions.

이와 같이 본 발명은 작업환경에 따라 브라켓(20)을 상하 양방향으로 모두 사용할 수 있을 뿐 아니라 어느 방향으로 사용하더라도 지지바(30)의 중앙에 미리 응력을 발생시킬 수 있는 구조를 제공함으로써 사용상 편의성을 극대화 시킬 수 있고, 대상플레이트 중량에 따른 지지바(30)의 처짐을 최소화할 수 있는 특징을 갖는다.As described above, the present invention provides a structure capable of generating stress in advance in the center of the support bar 30 regardless of which direction the bracket 20 can be used in both up and down directions depending on the working environment, thereby improving convenience in use. It can be maximized, and has a feature that can minimize the deflection of the support bar 30 according to the weight of the target plate.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above-mentioned preferred embodiments, various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications and variations as fall within the scope of the present invention.

10 : 챔버유닛 11 : 수용공간
20 : 브라켓 21 : 지지플레이트
21a : 결합공 22 : 받침플레이트
22a : 체결공 23 : 보강리브
24 : 처짐방지부재 24a : 인서트너트
24b : 볼트부재 30 : 지지바
31 : 사각 파이프 32 : 원형 파이프
33 : 보강플레이트 40 : 지지봉
50 : 공냉유닛
10: chamber unit 11: accommodation space
20: bracket 21: support plate
21a: coupling hole 22: support plate
22a: fastening hole 23: reinforcing rib
24: anti-sag member 24a: insert nut
24b: bolt member 30: support bar
31: square pipe 32: round pipe
33: reinforcement plate 40: support bar
50: air cooling unit

Claims (4)

내부에 수용공간이 형성된 챔버유닛과;
상기 챔버유닛의 내면 일측에 설치되되, 서로 대향하는 위치에 설치되는 한 쌍의 브라켓과;
양측단부가 각각 상기 한 쌍의 브라켓에 각각 결합되어 지지되는 지지바; 및
하단부가 상기 지지바의 상부 일측에 결합되고, 상부에 대상플레이트가 안착되는 지지봉을 포함하되,
상기 브라켓은
상기 챔버유닛의 내면 일측에 결합되는 지지플레이트와;
상기 지지플레이트의 상단 또는 하단 중 어느 하나의 단부로부터 직각으로 절곡됨과 아울러 상기 챔버유닛의 내측방향으로 연장형성되고, 상면이 상기 지지플레이트로부터 외측방향으로 갈수록 상향경사지게 형성되며, 상면과 저면 중 어느 한 면에 상기 지지바가 결합되어 지지되는 받침플레이트; 및
상기 받침플레이트의 일측에 상하방향으로 이동가능하게 나사결합되고, 상기 지지바의 일측을 상방으로 가압하는 처짐방지부재를 포함하며,
상기 지지바는
내부에 공간부가 형성된 사각 파이프와;
상기 사각 파이프 부재의 내부 중앙에 배치되고, 상기 사각 파이프 부재와 대응되는 길이를 갖는 원형 파이프; 및
상기 원형 파이프의 상하부로부터 각각 연장되고, 상기 사각 파이프의 상하부 내면에 일체로 연결되는 한 쌍의 보강플레이트를 포함하되,
상기 사각파이프는 단면 중 측면부가 상하부보다 긴 길이를 갖도록 형성됨과 아울러 측면부의 두께가 상하부의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 지지바의 처짐을 최소화한 쿨링버퍼.
a chamber unit having an accommodating space therein;
a pair of brackets installed on one side of the inner surface of the chamber unit and installed at positions opposite to each other;
a support bar having both end portions respectively coupled to and supported by the pair of brackets; and
The lower end includes a support bar coupled to an upper side of the support bar, on which the target plate is seated,
The bracket is
a support plate coupled to one side of the inner surface of the chamber unit;
It is bent at right angles from either end of the upper or lower end of the support plate and is formed to extend in the inner direction of the chamber unit, and the upper surface is formed to be inclined upward toward the outer direction from the support plate, and any one of the upper surface and the lower surface a support plate on which the support bar is coupled and supported; and
It is screwed to one side of the support plate to be movable in the vertical direction, and includes a sag preventing member for pressing one side of the support bar upward,
The support bar
a square pipe having a space formed therein;
a circular pipe disposed in the inner center of the square pipe member and having a length corresponding to the square pipe member; and
A pair of reinforcing plates each extending from the upper and lower parts of the round pipe and integrally connected to the upper and lower inner surfaces of the square pipe,
The cooling buffer minimizing the sagging of the support bar, characterized in that the side portion of the cross-section is formed to have a longer length than the upper and lower portions, and the side portion is thicker than the upper and lower portions.
삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020190143463A 2019-11-11 2019-11-11 Cooling buffer with minimal deflection of support bar KR102262488B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190143463A KR102262488B1 (en) 2019-11-11 2019-11-11 Cooling buffer with minimal deflection of support bar

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190143463A KR102262488B1 (en) 2019-11-11 2019-11-11 Cooling buffer with minimal deflection of support bar

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210056704A KR20210056704A (en) 2021-05-20
KR102262488B1 true KR102262488B1 (en) 2021-06-07

Family

ID=76143161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190143463A KR102262488B1 (en) 2019-11-11 2019-11-11 Cooling buffer with minimal deflection of support bar

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102262488B1 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2959463B2 (en) * 1996-03-08 1999-10-06 スターライト工業株式会社 Substrate cassette
TWI242830B (en) * 2002-07-15 2005-11-01 Sharp Kk Cartridge for substrate
KR101139044B1 (en) * 2005-04-14 2012-04-30 현대중공업 주식회사 Box beam structure for improving stiffness and reducing production cost
KR101167989B1 (en) * 2010-04-30 2012-07-23 주식회사 테라세미콘 Appartus for processing a substrate

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210056704A (en) 2021-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101096746B (en) Shadow mask and deposition device having the same
US9605797B2 (en) Substrate loading device
KR102418576B1 (en) Back Cover and Display Device having the same
KR102262488B1 (en) Cooling buffer with minimal deflection of support bar
KR101352923B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display
KR101318174B1 (en) Susceptor and apparatus for CVD including the same
KR100889703B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display
KR100701512B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus For Flat Panel Display
KR100703070B1 (en) Apparatus for holding and stretching of flat panel
KR102014606B1 (en) Vacuum deposition apparatus and device manufacturing method using the same
KR100786273B1 (en) Strip clamp for grounding succeptor and Chemical Vapor Deposition Apparatus having the same
US20100003629A1 (en) Substrate firing device
CN215404463U (en) Mask frame structure
KR101430659B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display
KR20130039013A (en) Mask frame assembly
KR101473827B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display
KR20150053593A (en) Chemical Vapor Deposition apparatus for Flat Display
US8123863B2 (en) Evaporation apparatus
KR101019530B1 (en) Chemical vapor deposition apparatus
CN211771524U (en) Film forming apparatus
KR100833118B1 (en) Chemical vapor deposition apparatus for flat display
CN100501963C (en) Box for substrate
KR100976400B1 (en) Loadlock chamber for chemical vapor deposition apparatus
KR101022313B1 (en) Loadlock Chamber Assembly of Chemical Vapored Deposition Apparatus
KR100896067B1 (en) Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant