KR102261034B1 - 정확한 센터링 얼라인먼트가 가능한 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치 및 마스크 프레임 얼라인먼트 방법 - Google Patents

정확한 센터링 얼라인먼트가 가능한 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치 및 마스크 프레임 얼라인먼트 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정확한 센터링 얼라인먼트가 가능한 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치 및 마스크 프레임 얼라인먼트 방법에 관한 것으로서, 마스크 프레임의 상호 인접된 2면에 배치되고, 수평 이동하여 마스크 프레임 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과, 타측 2면에 배치되어 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛을 배치하고, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛의 상기 접촉된 위치를 통해 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하고, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어하여 마스크 프레임의 사이즈에 상관 없이 정확하고 정교하게 스테이지 중심에 위치시킬 수 있다.

Description

정확한 센터링 얼라인먼트가 가능한 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치 및 마스크 프레임 얼라인먼트 방법{Mask frame assembly manufacturing apparatus capable of performing accurate centering alignment and mask frame alignment method thereof}
본 문서는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치 및 마스크 프레임 얼라인먼트 방법에 관한 것으로서, 특히 마스크 프레임 스테이지상에서 마스크 프레임을 센터링 얼라인먼트(Centering Alignment)하는 기술에 관련 된다.
최근 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)를 이용한 표시장치가 주목 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 빠른 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다.
유기 발광 표시 패널(OLED 디스플레이 패널)을 제조하기 위해서는 마스크를 마스크 프레임에 용접하여 마스크 프레임 어셈블리를 제작하여야 한다. 마스크 프레임 어셈블리는 OLED 증착 물질을 증착하기 위한 용도로 이용된다.
상기 용접하기 전에 마스크 프레임을 마스크 프레임 스테이지 상으로 이동시키고, 마스크 프레임과 마스크 프레임 스테이지 간에 중심 위치를 정확히 매칭시켜야 하는데 통상 이를 센터링(Centering) 작업이라고 한다.
통상 이러한 센터링 작업은 사각형(특히, 직사각형) 형상의 마스크 프레임의 4개의 변 중 2개의 변의 측면에 수평 이동이 가능한 얼라인먼트 유닛을 배치하고, 마주 보는 나머지 2개의 변에 스토핑 기둥(Stopping post, 지지로울러)을 배치하여 마스크 프레임을 스토핑 기둥에 밀착시켜 센터링 얼라인먼트를 수행하고 있다.
그러나, 스마트폰, TV 등 전자기기의 사이즈가 다양해짐에 따라, OLED 디스플레이 패널의 사이즈도 다양해 질 수밖에 없는데 이로 인해 마스크 프레임의 사이즈도 다양화되고 있다.
따라서, 종래의 센터링 얼라인먼트 수행 방법을 적용하면 마스크 프레임의 사이즈에 따라 센터 위치가 변경되어 정확한 센터링 얼라인먼트를 보장하지 못한다. 따라서 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 품질이 저하되어, 결국 OLED 디스플레이 패널의 품질도 저하되게 되는 문제가 발생하고 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 다양한 사이즈의 마스크 프레임를 고려하여, 정확한 센터링 얼라인먼트를 보장하는 마스크 프레임 얼라인먼트 기술 개발이 절실한 상황이다.
한국특허공보(등록공보호: 10-1000750, “클램프스테이지”)는 마스크 프레임의 측면을 지지하도록 마스크 프레임의 4개의 변 중 상호 인접된 2면에 지지로울러가 배치되고, 다른 측면에 가압 푸셔를 배치하는 기술에 대해 개시되었으나, 다양한 사이즈의 마스크 프레임을 고려하여 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트를 수행하는 기술에 대해서는 개시되어 있지 않다.
본 발명은 마스크 프레임을 마스크 프레임 스테이지상에서 센터링 얼라인먼트를 수행할 경우 사이즈가 다른 마스크 프레임의 경우에도 초기 위치를 결정 및 확인하여 정확하고 정교하게 이를 수행하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 일 양상에 따른, 사각 형상의 마스크 프레임에 마스크를 용접하는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치는,
마스크가 안착되고 용접에 의해 마스크가 고정되는 마스크 프레임,
마스크 프레임이 안착되는 마스크 프레임 스테이지,
마스크 프레임의 주변에 배치되고 로드 셀이 구비되어, 마스크 프레임의 측면에 접촉하고 수평력을 가하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 복수개의 얼라인먼트 유닛, 및
복수개의 얼라인먼트 유닛과 전기적으로 연결되어 복수개의 얼라인먼트 유닛의 수행을 개별적으로 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 얼라인먼트 유닛은,
마스크 프레임의 상호 인접된 2면에 배치되고, 수평 이동하여 마스크 프레임 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛;과, 타측 2면에 배치되어 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛으로 구분되고,
상기 제어부는,
제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛의 상기 접촉된 위치를 통해 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하고, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어하여 정확한 센터링 얼라인먼트를 수행할 수 있다.
로드 셀이 구비된 얼라인먼트 유닛을 마스크 프레임의 모든 변에 배치시켜, 로드 셀을 통해 초기 위치를 정확히 확인하고, 이 위치 정보를 기반으로 센터링 얼라인먼트를 수행하므로 더욱 정교한 얼라인먼트가 도모될 수 있다.
또한, 다양한 마스크 프레임의 사이즈에 상관 없이, 마스크 프레임의 중심을 카운터 포스 유닛의 중심에 정확히 위치 시킬 수 있으므로 고품질의 마스크 프레임 어셈블리를 제조할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치의 상면을 설명하는 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치의 측면을 설명하는 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트 방법을 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치의 상면을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치(1000)는, 마스크 프레임 스테이지(Mask frame stage, 200), 에어 펌프(Air pump, 300), 에어 파이프(Air pipe, 310), 얼라인먼트 유닛(Alignment unit, 400), 제어부(Controller, 600), 카운터 포스 유닛(Counter force unit, 700)를 포함하여 구성될 수 있다.
마스크 프레임(100)은 마스크(미도시)가 안착되고 용접에 의해 마스크가 고정될 수 있다. 마스크의 안착은 센터링 얼라인먼트가 완료된 후에 이루어진다. 이로 인해 마스크 프레임 어셈블리가 제조된다. 일반적으로 마스크 프레임의 중심은 홀(중공홀)이 형성되어 있는데, 중공홀은 살대(Rib)에 의해 복수 개로 형성될 수 있다(예, 4개).
마스크(미도시)는 복수 개의 셀(Cell)을 구비하고 있고, 셀 내에 수많은 홀이 구비되어 있어 증착 소스(Deposit source)의 증착 물질(유기 또는 무기)이 홀에 통과되어 특정 기판의 부위에 증착 되게 한다. 마스크와 마스크 프레임은 금속 물질로 이루어져 있을 수 있다. 마스크는 스마트폰용 OLED 패널 제조에 사용되는 스틱 마스크 일 수 있으며, TV 등 대면적 패널 제조에 사용되는 원장 마스크일 수도 있다.
마스크 프레임(100, 점선)의 센터링 얼라인먼트가 완료된 이후에, 마스크 프레임 상에 마스크가 안착되고 클램프(미도시)로 마스크를 인장한 상태에서 레이저를 이용하여 용접이 이루어질 수 있다. 이렇게 용접이 이루어진 마스크와 마스크 프레임(100)을 마스크 프레임 어셈블리라고 하며 증착 소스를 인접시켜 기판에 유기물의 증착이 이루어진다.
마스크 프레임 스테이지(200)는 마스크 프레임(100)이 안착되고, 상부에 에어가 토출되는 복수개의 에어 홀(210)이 구비될 수 있다. 마스크 프레임 스테이지(200)는 중공홀이 구비된 사각형(특히, 직사각형)의 형상을 가지며 장변 및 단면의 가장 자리 영역에 에어 홀(210)이 일정 간격을 두고 복수 개로 구비되어 있을 수 있다.
에어 홀(210)은 외부로부터 에어를 공급 받아 에어 압력으로 마스크 프레임을 밀어 올릴 수 있기 위해 마스크 프레임 스테이지 상면 전반에 골고루 배치되어 있는 것이 바람직하다.
에어 펌프(300)는, 에어 홀(210)로 에어 압력을 가하여 마스크 프레임을 마스크 프레임 스테이지 상에서, 일정 높이로 공중 부상시키는 에어 플로팅을 수행할 수 있다. 에어 펌프(300)는 에어 파이프(310)를 통해 압축 에어(Compressed air)를 마스크 프레임 스테이지(200)에 제공하며, 복수개의 에어 파이프로 분기되어 에어 홀에 개별적으로 연결되어 있을 수 있다. 에어 펌프(300)의 구동은 제어부(600)에 의해 제어될 수 있다.
에어 플로팅을 수행하기 위해 반드시 에어 펌프를 사용할 필요는 없고 리시버(미도시)를 이용하여 마스크 프레임을 직접 들어 올리는 방법을 취할 수도 있다. 또한, 에어 펌프와 리시버를 둘 다 이용할 수도 있다.
에어 플로팅을 수행하는 이유는, 얼라인먼트시에 마스크 프레임과 마스크 프레임 스테이지 간에 마찰을 최소화하여 파손을 방지하고, 정확하고 신뢰성 있는 입출력 시스템을 구현하기 위함이다.
얼라인먼트 유닛(400)은, 마스크 프레임의 주변에 배치되고 로드 셀이 구비되어, 마스크 프레임의 측면에 접촉하고 수평력을 가하여 센터링 얼라인먼트를 수행하며, 복수개로 이루어 질 수 있다. 얼라인먼트 유닛(400)은 사각형(특히 직사각형) 마스크 프레임 스테이지(200)에서 단변에 각 2개, 장변에 각 2개, 총 8개를 배치하는 것이 유리하다.
얼라인먼트 유닛(400)의 수평력은 다양하게 조절될 수 있다. 로드 셀(410)은 마스크 프레임(100)과 접촉되었는지, 그리고 더 나아가 얼마만큼의 압력을 가했는지의 정보를 출력하여 제어부(600, Controller)에 제공할 수 있다.
제어부(600)는, 복수개의 얼라인먼트 유닛(400)과 전기적으로 연결되어 복수개의 얼라인먼트 유닛의 수행을 개별적으로 제어할 수 있다.
카운터 포스 유닛(Counter force unit, 700)은 마스크 프레임에 카운터 포스(Counter force, CF)를 가하는 기능을 수행하며 마주 보는 위치에 적어도 2개가 구비된다. 따라서 마스크 프레임의 중심이 카운터 포스 유닛(CF unit, 700) 사이의 중심부에 위치하도록 얼라인먼트하여야 한다. 카운터 포스 유닛(700)은 마스크 프레임 스테이지 상에서 대개 고정되어 있는데 Control unit에 의해 카운터 포스가 구동될 수 있다.
복수개의 얼라인먼트 유닛(400)은, 마스크 프레임(100)의 상호 인접된 2면에 배치되고, 수평 이동하여 마스크 프레임(100) 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛(401, Dark 표시)과, 타측 2면에 배치되어 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)으로 구분되고,
상기 제어부(600)는,
제1 그룹의 얼라인먼트 유닛(401)과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)의 상기 접촉된 위치를 통해 마스크 프레임의 초기 위치(Initial position)를 결정하고, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛(401)과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)이 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어할 수 있다.
마스크 프레임 어셈블리 제조 장치(1000)는 카메라(미도시)를 더 포함할 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치의 측면을 설명하는 도면이다. 도 1에서 A-A'의 단면을 나타내는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치(1000)는, 마스크 프레임 스테이지(200), 에어 펌프(Air pump, 300), 에어 파이프(310), 얼라인먼트 유닛(400), 카메라(500, Camera), 제어부(Controller, 600)를 포함하여 구성될 수 있다.
에어 펌프(300)은 마스크 프레임 스테이지 상에서, 에어 홀(210)로 에어(Air) 압력을 가하여 마스크 프레임(100)을 20um에서 30um 정도의 높이(h)로 공중 부상시키는 에어 플로팅(Air floating)을 수행할 수 있다.
얼라인먼트 유닛(401, 402)은 수평 이동이 가능하도록 하기 위한 전후 모터(420)와, 마스크 프레임(100)의 측면과 접하고 수평력을 가하는 로드 셀(410)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 그룹의 얼라인먼트 유닛(401)은 마스크 프레임(100)의 상호 인접된 2면에 배치되고, 수평 이동하여 마스크 프레임(100) 측면에 접촉하고 수평력을 가하고, 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)은 타측 2면에 배치되어 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 마스크 프레임과의 접촉을 감지할 수 있다.
따라서, 본격적인 센터링 얼라인먼트를 수행하는 초기 단계에서, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛(401)은 수평 이동하고, 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)은 정지하여 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시킬 수 있다. 즉, 초기 단계에서 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛(402)은 차단 벽(Blocking wall) 내지 스토핑 기둥(Stopping post)으로 작용하여 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 접촉 여부를 감지할 수 있다.
또 다른 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치는, 마스크 프레임(100)의 상측에 배치되어, 마스크 프레임의 상기 초기 위치의 데이터를 생성하는 카메라(500)를 더 포함할 수 있다. 제어부(600)는, 상기 초기 위치의 데이터에 기반하여, 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어할 수 있다.
카메라는 마스크 프레임 스테이지(200)상에서 마스크 프레임(100)의 초기 위치를 확인하고 초기 위치의 데이터를 생성하여 제어부(600)에 제공하면, 제어부는 마스크 프레임(100)이 카운터 포스 유닛(700)의 중심에서 얼마나 벗어 났는지 또는 어디에 위치하고 있는지에 대한 정보를 토대로 얼라인먼트 유닛(401, 402)의 구동을 개별적으로 제어하여 적절한 얼라인먼트 보정을 할 수 있다. 제어부는 이러한 정보를 얻기 위해 메모리(그림 생략)에 저장된 프로그램을 이용할 수도 있다.
카메라(500)는 센터링 얼라인먼트가 종료되었는지를 확인하기 위해서도 더 사용될 수 있다. 제어부는 카메라가 생성한 위치 데이터에 기반하여 얼라인먼트 유닛의 구동 제어를 종료할 수 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 마스크 프레임 스테이지상에 마스크 프레임을 센터링 얼라인먼트하는 방법은,
마스크 프레임 스테이지 상에서 사각 형상의 마스크 프레임이 에어 플로팅되는 단계(S100),
마스크 프레임의 상호 인접된 2면에 배치된 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛이
수평 이동하여 마스크 프레임 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 단계(S200),
타측 2면에 배치된 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 단계(S300),
제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛의 상기 접촉된 위치를 통해, 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하는 단계(S400), 및
제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 개별적으로 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 단계(S600)를 포함단다.
또 다른 일 실시예에 따른 일 실시예에 따른 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트 방법에 있어서, 상기 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하는 단계(S400) 이후에, 카메라로 상기 초기 위치의 데이터를 생성하는 단계(S500)를 더 포함하고,
상기 초기 위치의 데이터에 기반하여, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 개별적으로 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 단계(S600)를 수행할 수 있다.
센터링 얼라인먼트가 종료되면, 에어 플로팅을 중지하고, 마스크 프레임 스테이지에 마스크 프레임이 안착된 상태에서 마스크를 마스크 프레임에 안착시키고, 레이저를 이용하여 용접을 수행하여 마스크 프레임 어셈블리를 완성한다.
100: 마스크 프레임
200: 마스크 프레임 스테이지
210: 에어 홀
300: 에어 펌프
310 : 에어 파이프
400 : 얼라인먼트 유닛
401 : 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛
402 : 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛
410 : 로드 셀
420 : 전후 모터
500: 카메라
600 : 제어부
700 : 카운터 포스 유닛

Claims (4)

  1. 다양한 사이즈를 가지는 사각 형상의 마스크 프레임에 마스크를 용접하는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에 있어서,
    마스크가 안착되고 용접에 의해 마스크가 고정되는 마스크 프레임;
    마스크 프레임이 안착되는 마스크 프레임 스테이지;
    마스크 프레임의 주변에 배치되고 로드 셀이 구비되어, 마스크 프레임의 측면에 접촉하고 수평력을 가하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 복수개의 얼라인먼트 유닛; 및
    복수개의 얼라인먼트 유닛과 전기적으로 연결되어 복수개의 얼라인먼트 유닛의 수행을 개별적으로 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 얼라인먼트 유닛은,
    마스크 프레임의 상호 인접된 2면에 배치되고, 수평 이동하여 마스크 프레임 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛;과, 타측 2면에 배치되어 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고 상기 로드 셀을 통해 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛;으로 구분되고,
    상기 제어부는,
    제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛의 상기 접촉된 위치를 통해 마스크 프레임 스테이지 상에서 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하고, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어하는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    마스크 프레임 어셈블리 제조 장치는,
    마스크 프레임의 상측에 배치되어, 마스크 프레임의 상기 초기 위치의 데이터를 생성하는 카메라;를 더 포함하고,
    제어부는, 상기 초기 위치의 데이터에 기반하여, 센터링 얼라인먼트를 수행하도록 제어하는 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  3. 마스크 프레임 스테이지상에 다양한 사이즈를 가지는 마스크 프레임을 센터링 얼라인먼트하는 방법에 있어서,
    마스크 프레임 스테이지 상에서 사각 형상의 마스크 프레임이 에어 플로팅되는 단계(S100);
    마스크 프레임의 상호 인접된 2면에 배치되고, 로드 셀을 구비한 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛이 수평 이동하여 마스크 프레임 측면에 접촉하고 수평력을 가하는 단계(S200);
    타측 2면에 배치되고, 로드 셀을 구비한 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 마스크 프레임의 수평 이동을 정지시키고, 로드 셀을 통해 마스크 프레임과의 접촉을 감지하는 단계(S300);
    제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛의 상기 접촉된 위치를 통해, 마스크 프레임 스테이지 상에서 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하는 단계(S400); 및
    제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 개별적으로 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 단계(S600);를
    포함하는 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 초기 위치를 결정하는 단계(S400); 이후에,
    카메라로 상기 초기 위치의 데이터를 생성하는 단계(S500);를 더 포함하고,
    상기 초기 위치의 데이터에 기반하여, 제1 그룹의 얼라인먼트 유닛과 제2 그룹의 얼라인먼트 유닛이 개별적으로 수평 이동하여 센터링 얼라인먼트를 수행하는 단계(S600);를 수행하는 마스크 프레임의 센터링 얼라인먼트 방법.
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