KR102260749B1 - Liquid discharge nozzle - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는, 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제1 노즐 부재가 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제1 노즐 팩; 및 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제2 노즐 부재가 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제2 노즐 팩을 포함할 수 있고, 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 제1 노즐 부재의 토출구와 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.In a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention, a plurality of first nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are arranged in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction. pack; and a second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are disposed in a plurality of rows in a second direction, wherein the first nozzle pack and the second nozzle pack include: The first nozzle pack and the second nozzle pack may be disposed to overlap at least partially in the second direction, and the first nozzle pack and the second nozzle pack may be disposed on each other so that a distance between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member in the first direction is adjusted. It may be possible to adjust the position in the first direction.

Description

액체 토출 헤드{LIQUID DISCHARGE NOZZLE}Liquid Discharge Head {LIQUID DISCHARGE NOZZLE}

본 발명은 기판으로 액체를 토출하도록 구성되는 액체 토출 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid ejection head configured to eject a liquid to a substrate.

일반적으로, 기판 상에 패턴을 직접적으로 형성하는 잉크젯 방식의 인쇄 공정이 인쇄 회로 기판(PCB), 평판 표시 장치(FPD), 반도체 등을 제조하는 공정에 주로 활용된다. 잉크젯 방식의 인쇄 공정은 기판에 직접적으로 회로 패턴을 형성하므로 비교적 간단하고, 높은 기판 처리율(Substrate Throughput)을 구현한다. 또한, 잉크젯 방식의 인쇄 공정은 화학적 오염 물질을 거의 발생시키지 않기 때문에 환경적인 측면에서도 유리하다.In general, an inkjet printing process in which a pattern is directly formed on a substrate is mainly used in a process of manufacturing a printed circuit board (PCB), a flat panel display device (FPD), a semiconductor, and the like. The inkjet printing process forms a circuit pattern directly on a substrate, so it is relatively simple and realizes high substrate throughput. In addition, since the inkjet printing process hardly generates chemical contaminants, it is also advantageous from an environmental point of view.

잉크젯 방식의 인쇄 공정에서는 복수의 토출구를 갖는 노즐 부재를 구비하는 액체 토출 헤드가 사용된다. 노즐 부재의 복수의 토출구가 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응되도록 액체 토출 헤드가 기판에 대향하게 위치된 상태에서, 복수의 토출구로부터 액체가 액적의 형태로 복수의 액체 적하 영역으로 적하된다.In the inkjet printing process, a liquid discharge head including a nozzle member having a plurality of discharge ports is used. With the liquid ejection head positioned opposite to the substrate so that the plurality of ejection openings of the nozzle member correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate, liquid from the plurality of ejection openings is dropped into the plurality of liquid dropping regions in the form of droplets.

한편, 기판의 유형에 따라 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 달라질 수 있다. 그러나, 종래의 액체 토출 헤드의 경우, 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 정해져 있기 때문에, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해 인쇄 공정을 수행하기 위해서는, 복수의 토출구 사이의 간격이 상이한 복수의 노즐 부재를 마련하고, 이러한 복수의 노즐 부재를 교체하면서 인쇄 공정을 수행할 필요가 있다. 이로 인해, 노즐 부재의 교체를 위한 공정의 추가로 인하여 인쇄 공정에 소요되는 시간이 증가하고, 복수의 유형의 노즐 부재를 마련해야 하므로 인쇄 공정에 소요되는 비용이 증가하는 문제가 있다.Meanwhile, the spacing between the plurality of liquid dropping regions may vary depending on the type of substrate. However, in the case of the conventional liquid discharge head, since the intervals between the plurality of discharge ports of the nozzle member are fixed, in order to perform a printing process on a plurality of types of substrates having different intervals between the plurality of liquid dropping areas, a plurality of It is necessary to provide a plurality of nozzle members having different spacings between the discharge ports, and to perform a printing process while replacing the plurality of nozzle members. For this reason, there is a problem in that the time required for the printing process increases due to the addition of a process for replacing the nozzle member, and the cost of the printing process increases because a plurality of types of nozzle members must be provided.

또한, 종래의 액체 토출 헤드를 사용한 인쇄 공정에서는, 노즐 부재의 복수의 토출구로부터 복수의 액체 적하 영역으로 액체가 소정의 간격으로 액적의 형태로 토출되며, 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 복수의 액적 사이의 공간을 메우게 된다. 이때, 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 복수의 액적 사이의 공간이 메워질 수 있도록, 복수의 토출구 사이의 간격이 매우 정밀하게 설정되어야 하며, 복수의 토출구 사이의 간격과 연관된 정밀도가 저하되는 경우, 얼룩 등의 불량이 발생하는 문제가 있다.Further, in a conventional printing process using a liquid ejection head, liquid is discharged in the form of droplets from a plurality of ejection ports of the nozzle member to a plurality of liquid dropping regions at predetermined intervals, and the plurality of droplets dropped on the liquid dropping region gradually As it spreads, it fills the space between the plurality of droplets. At this time, the interval between the plurality of discharge ports must be set very precisely so that the space between the plurality of droplets can be filled while the plurality of droplets slowly spread. There is a problem that a defect such as this occurs.

본 발명의 목적은 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid ejection head capable of minimizing an interval between a plurality of droplets dropped on a plurality of liquid dropping regions on a substrate.

본 발명의 다른 목적은 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구 사이의 간격을 조절할 수 있는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a liquid discharge head capable of adjusting the spacing between a plurality of discharge ports to correspond to a plurality of liquid dropping areas on a substrate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는, 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제1 노즐 부재가 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제1 노즐 팩; 및 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제2 노즐 부재가 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제2 노즐 팩을 포함할 수 있고, 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 제1 노즐 부재의 토출구와 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.A liquid discharge head according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a plurality of first nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction in a second direction orthogonal to the first direction. A first nozzle pack disposed in a row of; and a second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are disposed in a plurality of rows in a second direction, wherein the first nozzle pack and the second nozzle pack include: The first nozzle pack and the second nozzle pack may be disposed to overlap at least partially in the second direction, and the first nozzle pack and the second nozzle pack may be disposed on each other so that a distance between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member in the first direction is adjusted. It may be possible to adjust the position in the first direction.

복수의 제1 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 제1 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 제1 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.The plurality of first nozzle members may be disposed to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of first nozzle members may be disposed with respect to each other so that a distance between the discharge ports of the plurality of first nozzle members in the first direction is adjusted. Position adjustment in the first direction may be possible.

복수의 제2 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 제2 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.The plurality of second nozzle members may be disposed to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of second nozzle members may be disposed with respect to each other so that a distance between the discharge ports of the plurality of second nozzle members in the first direction is adjusted. Position adjustment in the first direction may be possible.

제1 노즐 팩에 구비되는 제1 노즐 부재의 개수 및 제2 노즐 팩에 구비되는 제2 노즐 부재의 개수는 상이할 수 있다.The number of first nozzle members included in the first nozzle pack and the number of second nozzle members included in the second nozzle pack may be different.

제1 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이할 수 있다.The distance or number between the plurality of outlets of the first nozzle member and the number or distance between the plurality of outlets of the second nozzle member may be different from each other.

본 발명의 다른 실시예에 따른 액체 토출 헤드는, 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 노즐 부재가 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 노즐 팩을 포함할 수 있고, 복수의 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.A liquid discharge head according to another embodiment of the present invention includes a nozzle pack in which a plurality of nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are arranged in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction and the plurality of nozzle members may be arranged to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of nozzle members may be disposed to overlap each other in the first direction so that a distance between the discharge ports of the plurality of nozzle members in the first direction is adjusted. It may be possible to adjust the position in the direction.

복수의 노즐 부재 중 어느 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 복수의 노즐 부재 중 다른 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이할 수 있다.The distance or number between the plurality of outlets of one nozzle member among the plurality of nozzle members and the distance or number of the plurality of outlets of the other nozzle member among the plurality of nozzle members may be different from each other.

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 복수의 제1 노즐 부재를 구비하는 제1 노즐 팩 및 복수의 제2 노즐 부재를 구비하는 제2 노즐 팩이 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절이 가능하므로, 제1 노즐 부재의 토출구 및 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제1 노즐 부재가 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절 가능하므로, 복수의 제1 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제2 노즐 부재가 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절 가능하므로, 복수의 제2 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.A liquid discharge head according to an embodiment of the present invention includes a first nozzle pack having a plurality of first nozzle members and a second nozzle pack having a plurality of second nozzle members with respect to each other in a direction in which the plurality of discharge ports are arranged. Since the position is adjustable, the distance between the discharge hole of the first nozzle member and the discharge hole of the second nozzle member may be more finely adjusted. In addition, since the plurality of first nozzle members can be positioned with respect to each other in the direction in which the plurality of outlets are arranged, the spacing between the plurality of outlets of the plurality of first nozzle members can be more finely adjusted. In addition, since the plurality of second nozzle members can be positioned with respect to each other in the direction in which the plurality of outlets are arranged, the spacing between the plurality of outlets of the plurality of second nozzle members can be more finely adjusted.

따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 메워져야 하는 복수의 액적 사이의 공간을 줄일 수 있다. 따라서, 복수의 토출구 사이의 간격과 연관된 정밀도를 크게 요구하지 않으면서 높은 해상도를 구현할 수 있고, 얼룩 등의 불량을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to minimize the spacing between the plurality of droplets that are dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, it is possible to reduce the space between the plurality of droplets to be filled while gradually spreading the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, high resolution can be implemented without requiring a great deal of precision associated with the spacing between the plurality of outlets, and defects such as unevenness can be prevented.

또한, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해, 노즐 부재를 교체하지 않고, 하나의 액체 토출 헤드를 사용하여 액체 토출 공정을 수행할 수 있다.In addition, the spacing between the plurality of discharge ports may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, for a plurality of types of substrates having different intervals between the plurality of liquid dropping regions, the liquid ejection process can be performed using one liquid ejection head without replacing the nozzle member.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에서 노즐 부재가 위치 조절된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에서 노즐 팩이 위치 조절된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a diagram schematically showing a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating a state in which a nozzle member is positioned in a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating a state in which a nozzle pack is positioned in a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram schematically showing another example of a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에 대하여 설명한다.Hereinafter, a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 기판에 대하여 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 장치에 설치되며 기판 상의 액체 적하 영역으로 액체를 액적의 형태로 토출하도록 구성된다.A liquid ejection head according to an embodiment of the present invention is installed in a substrate processing apparatus that performs a predetermined process on a substrate and is configured to eject a liquid in the form of droplets to a liquid dropping area on the substrate.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드가 기판 상으로 액체를 토출하면서 이동하는 방향을 X축 방향으로 정의하고, X축 방향에 직교하는 방향을 Y축 방향으로 정의한다. 액체 토출 헤드가 X축 방향으로 이동하면서 액체를 기판 상으로 토출함에 따라, 기판 상에는 X축 방향으로 소정의 패턴으로 액체가 적하될 수 있다.1 to 3 , the direction in which the liquid discharge head moves while discharging the liquid onto the substrate is defined as the X-axis direction, and the direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction. As the liquid discharge head moves in the X-axis direction and discharges the liquid onto the substrate, the liquid may be dripped onto the substrate in a predetermined pattern in the X-axis direction.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 X축 방향으로 복수의 열로 배치되는 복수의 노즐 팩(10, 20)을 포함한다.1 to 3 , the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes a plurality of nozzle packs 10 and 20 arranged in a plurality of rows in the X-axis direction.

예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드는 2개의 노즐 팩(10, 20)을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명은 복수의 노즐 팩(10, 20)의 개수에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드는 3개의 노즐 팩(10, 20, 30)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 1 , the liquid ejection head may include two nozzle packs 10 and 20 . However, the present invention is not limited to the number of the plurality of nozzle packs (10, 20). For example, as shown in FIG. 4 , the liquid ejection head may include three nozzle packs 10 , 20 , 30 .

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)을 포함한다.1 to 3 , the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes a first nozzle pack 10 and a second nozzle pack 20 .

제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)은 Y축 방향(제1 방향)에 직교하는 X축 방향(제2 방향)으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The first nozzle pack 10 and the second nozzle pack 20 are arranged to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction (second direction) orthogonal to the Y-axis direction (first direction).

제1 노즐 팩(10)은 액체 토출 헤드의 베이스 부재(90)에 Y축 방향(제1 방향)으로 이동 가능하게 설치되는 제1 지지 부재(11)를 포함한다. 제1 지지 부재(11)는 베이스 부재(90)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 노즐 팩 안내 부재(12)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제1 지지 부재(11)가 제1 노즐 팩 안내 부재(12)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제1 노즐 팩(10)의 Y축 방향으로 위치가 조절될 수 있다.The first nozzle pack 10 includes a first support member 11 movably installed in the Y-axis direction (first direction) to the base member 90 of the liquid discharge head. The first support member 11 is installed on the base member 90 and may be movable in the Y-axis direction along the first nozzle pack guide member 12 extending in the Y-axis direction. Since the first support member 11 is movable in the Y-axis direction along the first nozzle pack guide member 12 , the position of the first nozzle pack 10 in the Y-axis direction may be adjusted.

제1 노즐 팩(10)은 복수의 제1 노즐 부재(15)를 포함한다. 복수의 제1 노즐 부재(15)는 X축 방향으로 복수의 열로 배치될 수 있다. 복수의 제1 노즐 부재(15)는 X축 방향으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The first nozzle pack 10 includes a plurality of first nozzle members 15 . The plurality of first nozzle members 15 may be arranged in a plurality of rows in the X-axis direction. The plurality of first nozzle members 15 are arranged to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction.

제1 노즐 부재(15)는 Y축 방향으로 배열되는 복수의 토출구(16)를 구비한다. 복수의 토출구(16)는 Y축 방향으로 일정한 간격으로 배열될 수 있다.The first nozzle member 15 includes a plurality of discharge ports 16 arranged in the Y-axis direction. The plurality of outlets 16 may be arranged at regular intervals in the Y-axis direction.

복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 이 경우, 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16)의 위치가 상이할 수 있다. 따라서, 복수의 열에 배치된 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치를 조절하는 것에 의해, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 보다 미세하게 설정될 수 있다. 이에 따라, 하나의 노즐 부재에 복수의 토출구를 미세한 간격으로 형성하는 경우에 비하여 큰 정밀도를 필요로 하지 않고, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 미세하게 조절할 수 있다.Positions of the plurality of first nozzle members 15 in the Y-axis direction may be different. A position in the Y-axis direction of the first nozzle members 15 arranged in one row and a position in the Y-axis direction of the first nozzle members 15 arranged in another row may be different. In this case, the positions of the discharge ports 16 of the first nozzle members 15 arranged in one row in the Y-axis direction are different from the positions of the discharge ports 16 of the first nozzle members 15 arranged in the other row. can do. Therefore, by adjusting the positions of the plurality of first nozzle members 15 arranged in the plurality of rows in the Y-axis direction, the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 is adjusted. Intervals P1 and P2 may be more finely set. Accordingly, it is possible to finely adjust the spacing between the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate without requiring great precision compared to the case where a plurality of discharge ports are formed at minute intervals on one nozzle member. .

제1 노즐 부재(15)는 제1 지지 부재(11)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 제1 노즐 부재(15)는 제1 지지 부재(11) 상에 설치되는 제1 노즐 부재 안내 부재(14)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제1 노즐 부재(15)가 제1 지지 부재(11)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The first nozzle member 15 may be installed on the first support member 11 to be movable in the Y-axis direction. The first nozzle member 15 may be movable in the Y-axis direction along the first nozzle member guide member 14 installed on the first support member 11 . Since the first nozzle member 15 is movable in the Y-axis direction with respect to the first supporting member 11 , the position of the first nozzle member 15 in the Y-axis direction may be adjusted.

도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 노즐 부재(15)가 제1 노즐 부재 안내 부재(14)를 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다. 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절됨에 따라, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다.As shown in FIG. 2 , as the plurality of first nozzle members 15 are moved along the first nozzle member guide member 14 in the Y-axis direction, the plurality of first nozzle members 15 are moved in the Y-axis direction. position can be adjusted. As the positions of the plurality of first nozzle members 15 in the Y-axis direction are adjusted, intervals P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 are adjusted. This can be adjusted. Accordingly, the distances P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate.

제2 노즐 팩(20)은 액체 토출 헤드의 베이스 부재(90)에 Y축 방향(제1 방향)으로 이동 가능하게 설치되는 제2 지지 부재(21)를 포함한다. 제2 지지 부재(21)는 베이스 부재(90)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 제2 노즐 팩 안내 부재(22)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제2 지지 부재(21)가 제2 노즐 팩 안내 부재(22)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제2 노즐 팩(20)의 Y축 방향으로 위치가 미세하게 조절될 수 있다.The second nozzle pack 20 includes a second support member 21 that is movably installed on the base member 90 of the liquid discharge head in the Y-axis direction (first direction). The second support member 21 is installed on the base member 90 and may be movable in the Y-axis direction along the second nozzle pack guide member 22 extending in the Y-axis direction. Since the second support member 21 is movable in the Y-axis direction along the second nozzle pack guide member 22 , the position of the second nozzle pack 20 in the Y-axis direction may be finely adjusted.

제2 노즐 팩(20)은 복수의 제2 노즐 부재(25)를 포함한다. 복수의 제2 노즐 부재(25)는 X축 방향으로 복수의 열로 배치될 수 있다. 복수의 제2 노즐 부재(25)는 X축 방향으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The second nozzle pack 20 includes a plurality of second nozzle members 25 . The plurality of second nozzle members 25 may be arranged in a plurality of rows in the X-axis direction. The plurality of second nozzle members 25 are arranged to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction.

제2 노즐 부재(25)는 Y축 방향으로 배열되는 복수의 토출구(26)를 구비한다. 복수의 토출구(26)는 Y축 방향으로 일정한 간격으로 배열될 수 있다.The second nozzle member 25 includes a plurality of discharge ports 26 arranged in the Y-axis direction. The plurality of outlets 26 may be arranged at regular intervals in the Y-axis direction.

복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 이 경우, 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26)의 위치는 상이할 수 있다. 따라서, 복수의 열에 배치된 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치를 조절하는 것에 의해, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 보다 미세하게 설정될 수 있다. 이에 따라, 하나의 노즐 부재에 복수의 토출구를 미세한 간격으로 형성하는 경우에 비하여 큰 정밀도를 필요로 하지 않고, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 미세하게 조절할 수 있다.Positions of the plurality of second nozzle members 25 in the Y-axis direction may be different. A position in the Y-axis direction of the second nozzle members 25 arranged in one row and a position in the Y-axis direction of the second nozzle members 25 arranged in another row may be different. In this case, the positions of the discharge ports 26 of the second nozzle members 25 arranged in one row in the Y-axis direction are different from the positions of the discharge ports 26 of the second nozzle members 25 arranged in the other row. can do. Therefore, by adjusting the positions of the plurality of second nozzle members 25 arranged in the plurality of rows in the Y-axis direction, the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 is adjusted. Intervals P1 and P2 may be more finely set. Accordingly, it is possible to finely adjust the spacing between the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate without requiring great precision compared to the case where a plurality of discharge ports are formed at minute intervals on one nozzle member. .

제2 노즐 부재(25)는 제2 지지 부재(21)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 제2 노즐 부재(25)는 제2 지지 부재(21) 상에 설치되는 제2 노즐 부재 안내 부재(24)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제2 노즐 부재(25)가 제2 지지 부재(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The second nozzle member 25 may be installed on the second support member 21 to be movable in the Y-axis direction. The second nozzle member 25 may be movable in the Y-axis direction along the second nozzle member guide member 24 installed on the second support member 21 . Since the second nozzle member 25 is movable in the Y-axis direction with respect to the second support member 21 , the position of the second nozzle member 25 in the Y-axis direction may be adjusted.

도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 노즐 부재(25)가 제2 노즐 부재 안내 부재(24)를 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다. 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절됨에 따라, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 미세하게 조절될 수 있다.As shown in FIG. 2 , as the plurality of second nozzle members 25 are moved along the second nozzle member guide member 24 in the Y-axis direction, the plurality of second nozzle members 25 are moved in the Y-axis direction. position can be adjusted. As the positions of the plurality of second nozzle members 25 in the Y-axis direction are adjusted, spacings P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 are adjusted. This can be adjusted. Accordingly, the distances P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 may be finely adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate.

또한, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 노즐 팩(10)이 Y축 방향으로 위치 조절되거나 제2 노즐 팩(20)이 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.In addition, the position of the first nozzle pack 10 and the second nozzle pack 20 with respect to each other in the Y-axis direction is adjustable. As shown in FIG. 3 , as the first nozzle pack 10 is positioned in the Y-axis direction or the second nozzle pack 20 is positioned in the Y-axis direction, the first nozzle pack 10 is provided The distance P3 between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 provided in the second nozzle pack 20 may be more finely adjusted.

한편, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수는 상이할 수 있다. 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수가 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수보다 많을 수 있거나, 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수가 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수보다 많을 수 있다. 따라서, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수가 상이한 구성에서, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.Meanwhile, the number of the first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 and the number of the second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20 may be different. The number of the first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 may be greater than the number of the second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20 , or the second nozzle pack 20 ), the number of the second nozzle members 25 provided in the first nozzle pack 10 may be greater than the number of the first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 . Accordingly, in a configuration in which the number of the first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 and the number of the second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20 are different from each other, the first nozzle pack (10) and the second nozzle pack 20 are positioned between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 as the positions are adjusted in the Y-axis direction with respect to each other. The intervals P1, P2, and P3 may be more finely adjusted.

한편, 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 상이할 수 있다. 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수가 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수보다 크거나 많을 수 있거나, 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수보다 크거나 많을 수 있다. 따라서, 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 상이한 구성에서, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.Meanwhile, the distance or number between the plurality of outlets 16 of the first nozzle member 15 and the number or distance between the plurality of outlets 26 of the second nozzle member 25 may be different from each other. The distance or number between the plurality of outlets 16 of the first nozzle member 15 may be greater than or greater than the distance or number between the plurality of outlets 26 of the second nozzle member 25 , or the second nozzle member An interval or number between the plurality of discharge ports 26 of the number 25 may be greater than or greater than the interval or number between the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15 . Accordingly, in a configuration in which the spacing or number between the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15 and the interval or number between the plurality of discharge ports 26 of the second nozzle member 25 are different from each other, the first nozzle pack (10) and the second nozzle pack 20 are positioned between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 as the positions are adjusted in the Y-axis direction with respect to each other. The intervals P1, P2, and P3 may be more finely adjusted.

예를 들면, 제1 노즐 부재(15)의 첫번째 토출구(16)와 마지막 토출구(16) 사이의 거리를 HL1라 하고, 제2 노즐 부재(25)의 첫번째 토출구(26)와 마지막 토출구(26) 사이의 거리를 HL2라 할 때, 제1 노즐 부재(15) 및 제2 노즐 부재(25) 사이의 거리 차(A)는 아래의 수학식 1과 같다.For example, the distance between the first discharge port 16 and the last discharge port 16 of the first nozzle member 15 is HL1, and the first discharge port 26 and the last discharge port 26 of the second nozzle member 25 are referred to as HL1. When the distance between them is HL2, the distance difference A between the first nozzle member 15 and the second nozzle member 25 is expressed by Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

A = HL1 - HL2A = HL1 - HL2

그리고, 토출구 사이의 간격(피치)을 NP라고 하고, 노즐 부재의 개수를 HC라 할 때, 제1 노즐 부재(15) 및 제2 노즐 부재(25) 사이의 Y방향으로의 위치 편차(오프셋, O1)는 아래의 수학식 2와 같다.In addition, when the spacing (pitch) between the discharge ports is NP and the number of nozzle members is HC, the positional deviation (offset, O1) is the same as in Equation 2 below.

[수학식 2][Equation 2]

O1 (mm) = (NP/HC) + (A/2)O1 (mm) = (NP/HC) + (A/2)

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 노즐 부재(35)를 갖는 제3 노즐 팩(30)이 구비되는 경우, 제2 노즐 부재(25)의 첫번째 토출구(26)와 마지막 토출구(26) 사이의 거리를 HL2라 하고, 제3 노즐 부재(35)의 첫번째 토출구와 마지막 토출구 사이의 거리를 HL3라 할 때, 제2 노즐 부재(25) 및 제3 노즐 부재(35) 사이의 거리 차(B)는 아래의 수학식 3과 같다.Meanwhile, as shown in FIG. 4 , when the third nozzle pack 30 having the third nozzle member 35 is provided, the first outlet 26 and the last outlet 26 of the second nozzle member 25 are provided. When the distance between the two is HL2 and the distance between the first and last outlets of the third nozzle member 35 is HL3, the distance difference between the second nozzle member 25 and the third nozzle member 35 ( B) is the same as Equation 3 below.

[수학식 3][Equation 3]

B = HL2 - HL3B = HL2 - HL3

그리고, 토출구 사이의 간격(피치)을 NP라고 하고, 노즐 부재의 개수를 HC라 할 때, 제2 노즐 부재(25) 및 제3 노즐 부재(35) 사이의 Y방향으로의 위치 편차(오프셋, O2)는 아래의 수학식 4와 같다.And, when the spacing (pitch) between the discharge ports is NP and the number of nozzle members is HC, the positional deviation (offset, offset,) between the second nozzle member 25 and the third nozzle member 35 in the Y direction. O2) is the same as in Equation 4 below.

[수학식 4][Equation 4]

O2 (mm) = (NP/HC) + (B/2)O2 (mm) = (NP/HC) + (B/2)

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 복수의 제1 노즐 부재(15)를 구비하는 제1 노즐 팩(10) 및 복수의 제2 노즐 부재(25)를 구비하는 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절이 가능하므로, 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제1 노즐 부재(15)가 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하므로, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제2 노즐 부재(25)가 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하므로, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.A liquid discharge head according to an embodiment of the present invention includes a first nozzle pack 10 including a plurality of first nozzle members 15 and a second nozzle pack 20 including a plurality of second nozzle members 25 . Since the positions can be adjusted in the Y-axis direction with respect to each other, the distances P1, P2, and P3 between the discharge ports 16 of the first nozzle member 15 and the discharge ports 26 of the second nozzle member 25 are reduced. It can be further fine-tuned. In addition, since the plurality of first nozzle members 15 can be positioned with respect to each other in the Y-axis direction, the spacing between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 (P1, P2, P3) This can be further fine-tuned. In addition, since the plurality of second nozzle members 25 can be positioned with respect to each other in the Y-axis direction, intervals P1, P2, and P3 between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 are adjustable. This can be further fine-tuned.

따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 예를 들면, 복수의 액적 사이의 간격을 40 μm 이하로 줄일 수 있어, 높은 해상도를 구현할 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 메워져야 하는 복수의 액적 사이의 공간을 줄일 수 있다. 따라서, 복수의 토출구(16, 26) 사이의 간격(P1, P2, P3)과 연관된 정밀도를 크게 요구하지 않으면서 높은 해상도를 구현할 수 있고, 얼룩 등의 불량을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to minimize the spacing between the plurality of droplets that are dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. For example, the spacing between the plurality of droplets may be reduced to 40 μm or less, thereby realizing high resolution. Accordingly, it is possible to reduce the space between the plurality of droplets to be filled while gradually spreading the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, high resolution can be implemented without significantly requiring precision associated with the intervals P1 , P2 , and P3 between the plurality of outlets 16 and 26 , and defects such as unevenness can be prevented.

또한, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(16, 26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해, 노즐 부재(15, 16)를 교체하지 않고, 하나의 액체 토출 헤드를 사용하여 액체 토출 공정을 수행할 수 있다.In addition, the distances P1, P2, and P3 between the plurality of discharge ports 16 and 26 may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dripping regions on the substrate. Accordingly, for a plurality of types of substrates having different intervals between the plurality of liquid dropping regions, the liquid ejection process can be performed using one liquid ejection head without replacing the nozzle members 15 and 16 .

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

10, 20, 30: 노즐 팩
11, 21: 지지 부재
12, 22: 노즐 팩 안내 부재
14, 24: 노즐 부재 안내 부재
15, 25: 노즐 부재
16, 26: 토출구
90: 베이스 부재10, 20, 30: Nozzle Pack
11, 21: support member
12, 22: Nozzle pack guide member
14, 24: nozzle member guide member
15, 25: Nozzle member
16, 26: outlet
90: base member

Claims (7)

제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제1 노즐 부재가 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제1 노즐 팩; 및
상기 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제2 노즐 부재가 상기 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제2 노즐 팩을 포함하고,
상기 제1 노즐 팩 및 상기 제2 노즐 팩은 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 제1 노즐 팩은 상기 제1 방향으로 이동 가능하고,
상기 제1 노즐 팩의 상기 제1 방향으로의 이동에 의해 상기 복수의 제1 노즐 부재가 함께 상기 제1 방향으로 이동되고,
상기 복수의 제1 노즐 부재는 상기 제1 노즐 팩 내에서 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 이동 가능하고,
상기 제2 노즐 팩은 상기 제1 노즐 팩에 대하여 상기 제1 방향으로 이동 가능하고,
상기 제2 노즐 팩의 상기 제1 방향으로의 이동에 의해 상기 복수의 제2 노즐 부재가 함께 상기 제1 방향으로 이동되고,
상기 복수의 제2 노즐 부재는 상기 제2 노즐 팩 내에서 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 이동 가능하고,
상기 제1 노즐 팩의 이동에 따른 상기 복수의 제1 노즐 부재의 이동, 상기 제2 노즐 팩의 이동의 이동에 따른 상기 복수의 제2 노즐 부재의 이동, 상기 제1 노즐 팩 내에서의 상기 복수의 제1 노즐 부재의 상대 이동, 상기 제2 노즐 팩 내에서의 상기 복수의 제2 노즐 부재의 상대 이동에 의해 상기 제1 노즐 부재의 토출구와 상기 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되며, 하기의 수식을 만족하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드,
A = HL1 - HL2,
O(mm) = (NP/HC) + (A/2),
여기에서,
HL1은 상기 제1 노즐 부재의 첫번째 토출구와 마지막 토출구 사이의 거리이고, HL2는 상기 제2 노즐 부재의 첫번째 토출구와 마지막 토출구 사이의 거리이고, NP는 상기 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이고, HC는 상기 제1 및 제2 노즐 부재의 개수이고, O는 상기 제1 노즐 부재 및 상기 제2 노즐 부재(25) 사이의 상기 제1 방향으로의 위치 편차이다.a first nozzle pack in which a plurality of first nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are arranged in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction; and
a second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in the first direction are arranged in a plurality of rows in the second direction;
the first nozzle pack and the second nozzle pack are arranged to at least partially overlap in the second direction;
The first nozzle pack is movable in the first direction,
The plurality of first nozzle members are moved together in the first direction by the movement of the first nozzle pack in the first direction,
the plurality of first nozzle members are movable in the first direction relative to each other within the first nozzle pack;
The second nozzle pack is movable in the first direction with respect to the first nozzle pack,
The plurality of second nozzle members are moved together in the first direction by the movement of the second nozzle pack in the first direction,
the plurality of second nozzle members are movable in the first direction relative to each other within the second nozzle pack;
Movement of the plurality of first nozzle members according to movement of the first nozzle pack, movement of the plurality of second nozzle members according to movement of movement of the second nozzle pack, and the plurality of nozzles in the first nozzle pack the first direction between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member by the relative movement of the first nozzle member of A liquid discharge head, characterized in that the interval is adjusted and satisfies the following equation,
A = HL1 - HL2,
O(mm) = (NP/HC) + (A/2),
From here,
HL1 is the distance between the first outlet and the last outlet of the first nozzle member, HL2 is the distance between the first outlet and the last outlet of the second nozzle member, and NP is the distance between the outlets in the first direction , HC is the number of the first and second nozzle members, and O is the positional deviation between the first nozzle member and the second nozzle member 25 in the first direction. 청구항 1에 있어서,
상기 복수의 제1 노즐 부재는 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 복수의 제1 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 복수의 제1 노즐 부재는 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
the plurality of first nozzle members are arranged to at least partially overlap in the second direction,
The plurality of first nozzle members may be positioned in the first direction with respect to each other so that a distance between the discharge ports of the plurality of first nozzle members in the first direction is adjusted. 청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 복수의 제2 노즐 부재는 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 복수의 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 복수의 제2 노즐 부재는 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1 or 2,
the plurality of second nozzle members are arranged to at least partially overlap in the second direction,
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the plurality of second nozzle members can be positioned with respect to each other in the first direction so that a distance between the discharge ports of the plurality of second nozzle members is adjusted in the first direction. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 노즐 팩에 구비되는 상기 제1 노즐 부재의 개수 및 상기 제2 노즐 팩에 구비되는 상기 제2 노즐 부재의 개수는 상이한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the number of the first nozzle members included in the first nozzle pack and the number of the second nozzle members included in the second nozzle pack are different. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 노즐 부재의 상기 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 상기 제2 노즐 부재의 상기 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
The liquid discharge head according to claim 1, wherein an interval or number between the plurality of discharge ports of the first nozzle member and an interval or number between the plurality of discharge ports of the second nozzle member are different. 삭제delete 삭제delete
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