KR20210004244A - Liquid discharge nozzle - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a liquid discharge head includes: a first nozzle pack in which a plurality of first nozzle members having a plurality of discharge holes arranged in a first direction, respectively, are arranged in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction; and a second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members having a plurality of discharge holes arranged in the first direction, respectively, are arranged in a plurality of rows in the second direction, wherein the first nozzle pack and the second nozzle pack can be arranged to at least partially overlap each other. The positions of the first nozzle pack and the second nozzle pack are adjustable in the first direction with respect to each other so that a gap in the first direction between the discharge holes of the first nozzle members and the discharge holes of the second nozzle members is adjusted.

Description

액체 토출 헤드{LIQUID DISCHARGE NOZZLE}Liquid discharge head {LIQUID DISCHARGE NOZZLE}

본 발명은 기판으로 액체를 토출하도록 구성되는 액체 토출 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid discharge head configured to discharge a liquid onto a substrate.

일반적으로, 기판 상에 패턴을 직접적으로 형성하는 잉크젯 방식의 인쇄 공정이 인쇄 회로 기판(PCB), 평판 표시 장치(FPD), 반도체 등을 제조하는 공정에 주로 활용된다. 잉크젯 방식의 인쇄 공정은 기판에 직접적으로 회로 패턴을 형성하므로 비교적 간단하고, 높은 기판 처리율(Substrate Throughput)을 구현한다. 또한, 잉크젯 방식의 인쇄 공정은 화학적 오염 물질을 거의 발생시키지 않기 때문에 환경적인 측면에서도 유리하다.In general, an inkjet printing process of directly forming a pattern on a substrate is mainly used in a process of manufacturing a printed circuit board (PCB), a flat panel display (FPD), a semiconductor, and the like. The inkjet printing process is relatively simple and realizes a high substrate throughput since the circuit pattern is directly formed on the substrate. In addition, since the inkjet printing process hardly generates chemical contaminants, it is advantageous in terms of environment.

잉크젯 방식의 인쇄 공정에서는 복수의 토출구를 갖는 노즐 부재를 구비하는 액체 토출 헤드가 사용된다. 노즐 부재의 복수의 토출구가 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응되도록 액체 토출 헤드가 기판에 대향하게 위치된 상태에서, 복수의 토출구로부터 액체가 액적의 형태로 복수의 액체 적하 영역으로 적하된다.In the inkjet printing process, a liquid discharge head having a nozzle member having a plurality of discharge ports is used. With the liquid discharge head positioned opposite the substrate so that the plurality of discharge ports of the nozzle member correspond to the plurality of liquid dropping areas on the substrate, liquid is dropped from the plurality of discharge ports into the plurality of liquid dropping areas in the form of droplets.

한편, 기판의 유형에 따라 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 달라질 수 있다. 그러나, 종래의 액체 토출 헤드의 경우, 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 정해져 있기 때문에, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해 인쇄 공정을 수행하기 위해서는, 복수의 토출구 사이의 간격이 상이한 복수의 노즐 부재를 마련하고, 이러한 복수의 노즐 부재를 교체하면서 인쇄 공정을 수행할 필요가 있다. 이로 인해, 노즐 부재의 교체를 위한 공정의 추가로 인하여 인쇄 공정에 소요되는 시간이 증가하고, 복수의 유형의 노즐 부재를 마련해야 하므로 인쇄 공정에 소요되는 비용이 증가하는 문제가 있다.Meanwhile, the spacing between the plurality of liquid dropping regions may vary according to the type of substrate. However, in the case of a conventional liquid discharge head, since the distance between the plurality of discharge ports of the nozzle member is determined, in order to perform the printing process on a plurality of types of substrates having different distances between the plurality of liquid dropping regions, a plurality of It is necessary to provide a plurality of nozzle members having different intervals between the discharge ports, and to perform a printing process while replacing the plurality of nozzle members. Accordingly, there is a problem in that the time required for the printing process increases due to the addition of the process for replacing the nozzle member, and the cost required for the printing process increases because a plurality of types of nozzle members must be provided.

또한, 종래의 액체 토출 헤드를 사용한 인쇄 공정에서는, 노즐 부재의 복수의 토출구로부터 복수의 액체 적하 영역으로 액체가 소정의 간격으로 액적의 형태로 토출되며, 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 복수의 액적 사이의 공간을 메우게 된다. 이때, 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 복수의 액적 사이의 공간이 메워질 수 있도록, 복수의 토출구 사이의 간격이 매우 정밀하게 설정되어야 하며, 복수의 토출구 사이의 간격과 연관된 정밀도가 저하되는 경우, 얼룩 등의 불량이 발생하는 문제가 있다.In addition, in the conventional printing process using a liquid discharge head, liquid is discharged in the form of droplets at predetermined intervals from a plurality of discharge ports of the nozzle member to a plurality of liquid dropping areas, and a plurality of drops dropped on the liquid dropping area gradually drop. As it spreads, it fills the space between the plurality of droplets. At this time, the spacing between the plurality of outlets must be set very precisely so that the space between the plurality of droplets can be filled with the plurality of droplets gradually spreading, and if the precision associated with the spacing between the plurality of outlets is degraded, the stain There is a problem that defects such as the like occur.

본 발명의 목적은 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a liquid discharge head capable of minimizing the spacing between a plurality of droplets that are dropped onto a plurality of liquid dropping regions on a substrate.

본 발명의 다른 목적은 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구 사이의 간격을 조절할 수 있는 액체 토출 헤드를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a liquid discharge head capable of adjusting the spacing between a plurality of discharge ports to correspond to a plurality of liquid dropping regions on a substrate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는, 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제1 노즐 부재가 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제1 노즐 팩; 및 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제2 노즐 부재가 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제2 노즐 팩을 포함할 수 있고, 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 제1 노즐 부재의 토출구와 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 제1 노즐 팩 및 제2 노즐 팩은 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.In the liquid discharge head according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a plurality of first nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are provided in a second direction orthogonal to the first direction. A first nozzle pack disposed in rows of; And a second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are arranged in a plurality of rows in a second direction, wherein the first nozzle pack and the second nozzle pack The first nozzle pack and the second nozzle pack may be disposed to overlap at least partially in the second direction, and the first nozzle pack and the second nozzle pack are disposed to each other so that the distance in the first direction between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member is adjusted. On the other hand, it may be possible to adjust the position in the first direction.

복수의 제1 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 제1 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 제1 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.The plurality of first nozzle members may be disposed to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of first nozzle members are arranged with respect to each other so that the distance in the first direction between the discharge ports of the plurality of first nozzle members is adjusted. The position may be adjustable in the first direction.

복수의 제2 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 제2 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.The plurality of second nozzle members may be disposed to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of second nozzle members are arranged with respect to each other so that the distance in the first direction between the discharge ports of the plurality of second nozzle members is adjusted. The position may be adjustable in the first direction.

제1 노즐 팩에 구비되는 제1 노즐 부재의 개수 및 제2 노즐 팩에 구비되는 제2 노즐 부재의 개수는 상이할 수 있다.The number of first nozzle members provided in the first nozzle pack and the number of second nozzle members provided in the second nozzle pack may be different.

제1 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이할 수 있다.The distance or number between the plurality of discharge ports of the first nozzle member and the distance or number of the plurality of discharge ports of the second nozzle member may be different.

본 발명의 다른 실시예에 따른 액체 토출 헤드는, 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 노즐 부재가 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 노즐 팩을 포함할 수 있고, 복수의 노즐 부재는 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치될 수 있으며, 복수의 노즐 부재의 토출구 사이의 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 복수의 노즐 부재는 서로에 대하여 제1 방향으로 위치 조절이 가능할 수 있다.A liquid discharge head according to another embodiment of the present invention includes a nozzle pack in which a plurality of nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are disposed in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction. And the plurality of nozzle members may be disposed to at least partially overlap in the second direction, and the plurality of nozzle members may be provided with respect to each other so that the distance in the first direction between the discharge ports of the plurality of nozzle members is adjusted. The position may be adjustable in the direction.

복수의 노즐 부재 중 어느 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 복수의 노즐 부재 중 다른 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이할 수 있다.The spacing or number of the plurality of discharge ports of one nozzle member among the plurality of nozzle members and the spacing or number of the plurality of discharge ports of the other nozzle member among the plurality of nozzle members may be different.

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 복수의 제1 노즐 부재를 구비하는 제1 노즐 팩 및 복수의 제2 노즐 부재를 구비하는 제2 노즐 팩이 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절이 가능하므로, 제1 노즐 부재의 토출구 및 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제1 노즐 부재가 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절 가능하므로, 복수의 제1 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제2 노즐 부재가 복수의 토출구가 배열된 방향으로 서로에 대하여 위치 조절 가능하므로, 복수의 제2 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.In the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention, a first nozzle pack having a plurality of first nozzle members and a second nozzle pack having a plurality of second nozzle members are arranged with respect to each other in a direction in which the plurality of discharge ports are arranged. Since the position can be adjusted, the distance between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member can be more finely adjusted. In addition, since the plurality of first nozzle members can be positioned with respect to each other in the direction in which the plurality of discharge ports are arranged, the spacing between the plurality of discharge ports of the plurality of first nozzle members can be more finely adjusted. In addition, since the plurality of second nozzle members can be positioned with respect to each other in the direction in which the plurality of discharge ports are arranged, the spacing between the plurality of discharge ports of the plurality of second nozzle members can be more finely adjusted.

따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 메워져야 하는 복수의 액적 사이의 공간을 줄일 수 있다. 따라서, 복수의 토출구 사이의 간격과 연관된 정밀도를 크게 요구하지 않으면서 높은 해상도를 구현할 수 있고, 얼룩 등의 불량을 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to minimize the spacing between the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, the space between the plurality of droplets to be filled can be reduced while the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate gradually spread. Therefore, it is possible to implement a high resolution without requiring a high degree of precision related to the spacing between a plurality of discharge ports, and to prevent defects such as spots.

또한, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해, 노즐 부재를 교체하지 않고, 하나의 액체 토출 헤드를 사용하여 액체 토출 공정을 수행할 수 있다.In addition, the spacing between the plurality of discharge ports may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, for a plurality of types of substrates having different intervals between the plurality of liquid dropping regions, it is possible to perform a liquid discharge process using one liquid discharge head without replacing the nozzle member.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에서 노즐 부재가 위치 조절된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에서 노즐 팩이 위치 조절된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a schematic diagram of a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.
2 is a view schematically showing a state in which a nozzle member is positioned in a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating a state in which a nozzle pack is positioned in a liquid discharge head according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing another example of a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드에 대하여 설명한다.Hereinafter, a liquid discharge head according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 기판에 대하여 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 장치에 설치되며 기판 상의 액체 적하 영역으로 액체를 액적의 형태로 토출하도록 구성된다.A liquid discharge head according to an embodiment of the present invention is installed in a substrate processing apparatus that performs predetermined processing on a substrate and is configured to discharge liquid in the form of droplets to a liquid dropping area on the substrate.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드가 기판 상으로 액체를 토출하면서 이동하는 방향을 X축 방향으로 정의하고, X축 방향에 직교하는 방향을 Y축 방향으로 정의한다. 액체 토출 헤드가 X축 방향으로 이동하면서 액체를 기판 상으로 토출함에 따라, 기판 상에는 X축 방향으로 소정의 패턴으로 액체가 적하될 수 있다.1 to 3, the direction in which the liquid discharge head moves while discharging the liquid onto the substrate is defined as the X-axis direction, and the direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction. As the liquid discharge head moves in the X-axis direction and discharges the liquid onto the substrate, the liquid may be dropped onto the substrate in a predetermined pattern in the X-axis direction.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 X축 방향으로 복수의 열로 배치되는 복수의 노즐 팩(10, 20)을 포함한다.1 to 3, the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes a plurality of nozzle packs 10 and 20 arranged in a plurality of rows in the X-axis direction.

예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드는 2개의 노즐 팩(10, 20)을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명은 복수의 노즐 팩(10, 20)의 개수에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 액체 토출 헤드는 3개의 노즐 팩(10, 20, 30)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 1, the liquid discharge head may include two nozzle packs 10 and 20. However, the present invention is not limited to the number of the plurality of nozzle packs 10 and 20. For example, as shown in FIG. 4, the liquid discharge head may include three nozzle packs 10, 20, and 30.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)을 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 3, the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes a first nozzle pack 10 and a second nozzle pack 20.

제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)은 Y축 방향(제1 방향)에 직교하는 X축 방향(제2 방향)으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The first nozzle pack 10 and the second nozzle pack 20 are disposed to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction (second direction) orthogonal to the Y-axis direction (first direction).

제1 노즐 팩(10)은 액체 토출 헤드의 베이스 부재(90)에 Y축 방향(제1 방향)으로 이동 가능하게 설치되는 제1 지지 부재(11)를 포함한다. 제1 지지 부재(11)는 베이스 부재(90)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 노즐 팩 안내 부재(12)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제1 지지 부재(11)가 제1 노즐 팩 안내 부재(12)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제1 노즐 팩(10)의 Y축 방향으로 위치가 조절될 수 있다.The first nozzle pack 10 includes a first support member 11 installed to be movable in the Y-axis direction (first direction) on the base member 90 of the liquid discharge head. The first support member 11 may be installed on the base member 90 and may be movable in the Y-axis direction along the first nozzle pack guide member 12 extending in the Y-axis direction. Since the first support member 11 is movable along the first nozzle pack guide member 12 in the Y-axis direction, the position of the first nozzle pack 10 may be adjusted in the Y-axis direction.

제1 노즐 팩(10)은 복수의 제1 노즐 부재(15)를 포함한다. 복수의 제1 노즐 부재(15)는 X축 방향으로 복수의 열로 배치될 수 있다. 복수의 제1 노즐 부재(15)는 X축 방향으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The first nozzle pack 10 includes a plurality of first nozzle members 15. The plurality of first nozzle members 15 may be arranged in a plurality of rows in the X-axis direction. The plurality of first nozzle members 15 are disposed to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction.

제1 노즐 부재(15)는 Y축 방향으로 배열되는 복수의 토출구(16)를 구비한다. 복수의 토출구(16)는 Y축 방향으로 일정한 간격으로 배열될 수 있다.The first nozzle member 15 includes a plurality of discharge ports 16 arranged in the Y-axis direction. The plurality of discharge ports 16 may be arranged at regular intervals in the Y-axis direction.

복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 이 경우, 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16)의 위치가 상이할 수 있다. 따라서, 복수의 열에 배치된 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치를 조절하는 것에 의해, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 보다 미세하게 설정될 수 있다. 이에 따라, 하나의 노즐 부재에 복수의 토출구를 미세한 간격으로 형성하는 경우에 비하여 큰 정밀도를 필요로 하지 않고, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 미세하게 조절할 수 있다.The positions of the plurality of first nozzle members 15 in the Y-axis direction may be different. The positions of the first nozzle members 15 disposed in one row in the Y-axis direction and the positions of the first nozzle members 15 disposed in the other row in the Y-axis direction may be different. In this case, the position of the discharge port 16 of the first nozzle member 15 disposed in one row in the Y-axis direction and the position of the discharge port 16 of the first nozzle member 15 disposed in the other row are different. can do. Accordingly, by adjusting the positions of the plurality of first nozzle members 15 arranged in the plurality of rows in the Y-axis direction, the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 Intervals P1 and P2 may be set more finely. Accordingly, it is possible to finely adjust the spacing between a plurality of droplets dropped in a plurality of liquid dropping regions on a substrate without requiring greater precision compared to the case of forming a plurality of discharge ports at fine intervals in one nozzle member. .

제1 노즐 부재(15)는 제1 지지 부재(11)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 제1 노즐 부재(15)는 제1 지지 부재(11) 상에 설치되는 제1 노즐 부재 안내 부재(14)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제1 노즐 부재(15)가 제1 지지 부재(11)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The first nozzle member 15 may be installed on the first support member 11 to be movable in the Y-axis direction. The first nozzle member 15 may be movable in the Y-axis direction along the first nozzle member guide member 14 installed on the first support member 11. Since the first nozzle member 15 is movable in the Y-axis direction with respect to the first support member 11, the position of the first nozzle member 15 in the Y-axis direction can be adjusted.

도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 노즐 부재(15)가 제1 노즐 부재 안내 부재(14)를 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다. 복수의 제1 노즐 부재(15)의 Y축 방향으로의 위치가 조절됨에 따라, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(16) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다.As shown in FIG. 2, as the plurality of first nozzle members 15 are moved in the Y-axis direction along the first nozzle member guide member 14, the Y-axis direction of the plurality of first nozzle members 15 The position of the furnace can be adjusted. As the positions of the plurality of first nozzle members 15 in the Y-axis direction are adjusted, the distance in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 (P1, P2) Can be adjusted. Accordingly, the intervals P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 16 may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate.

제2 노즐 팩(20)은 액체 토출 헤드의 베이스 부재(90)에 Y축 방향(제1 방향)으로 이동 가능하게 설치되는 제2 지지 부재(21)를 포함한다. 제2 지지 부재(21)는 베이스 부재(90)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 제2 노즐 팩 안내 부재(22)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제2 지지 부재(21)가 제2 노즐 팩 안내 부재(22)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제2 노즐 팩(20)의 Y축 방향으로 위치가 미세하게 조절될 수 있다.The second nozzle pack 20 includes a second support member 21 installed to be movable in the Y-axis direction (first direction) on the base member 90 of the liquid discharge head. The second support member 21 may be installed on the base member 90 and may be movable in the Y-axis direction along the second nozzle pack guide member 22 extending in the Y-axis direction. Since the second support member 21 is movable along the second nozzle pack guide member 22 in the Y-axis direction, the position of the second nozzle pack 20 may be finely adjusted in the Y-axis direction.

제2 노즐 팩(20)은 복수의 제2 노즐 부재(25)를 포함한다. 복수의 제2 노즐 부재(25)는 X축 방향으로 복수의 열로 배치될 수 있다. 복수의 제2 노즐 부재(25)는 X축 방향으로 볼 때 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치된다.The second nozzle pack 20 includes a plurality of second nozzle members 25. The plurality of second nozzle members 25 may be arranged in a plurality of rows in the X-axis direction. The plurality of second nozzle members 25 are disposed to at least partially overlap when viewed in the X-axis direction.

제2 노즐 부재(25)는 Y축 방향으로 배열되는 복수의 토출구(26)를 구비한다. 복수의 토출구(26)는 Y축 방향으로 일정한 간격으로 배열될 수 있다.The second nozzle member 25 includes a plurality of discharge ports 26 arranged in the Y-axis direction. The plurality of discharge ports 26 may be arranged at regular intervals in the Y-axis direction.

복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치는 상이할 수 있다. 이 경우, 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26)의 Y축 방향으로의 위치 및 다른 하나의 열에 배치된 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26)의 위치는 상이할 수 있다. 따라서, 복수의 열에 배치된 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치를 조절하는 것에 의해, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 보다 미세하게 설정될 수 있다. 이에 따라, 하나의 노즐 부재에 복수의 토출구를 미세한 간격으로 형성하는 경우에 비하여 큰 정밀도를 필요로 하지 않고, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 미세하게 조절할 수 있다.Positions of the plurality of second nozzle members 25 in the Y-axis direction may be different. A position of the second nozzle member 25 disposed in one row in the Y-axis direction and a position of the second nozzle member 25 disposed in the other row in the Y-axis direction may be different. In this case, the position of the discharge port 26 of the second nozzle member 25 disposed in one row in the Y-axis direction and the position of the discharge port 26 of the second nozzle member 25 disposed in the other row are different. can do. Accordingly, by adjusting the positions of the plurality of second nozzle members 25 arranged in the plurality of rows in the Y-axis direction, the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 Intervals P1 and P2 may be set more finely. Accordingly, it is possible to finely adjust the spacing between a plurality of droplets dropped in a plurality of liquid dropping regions on a substrate without requiring greater precision compared to the case of forming a plurality of discharge ports at fine intervals in one nozzle member. .

제2 노즐 부재(25)는 제2 지지 부재(21)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 제2 노즐 부재(25)는 제2 지지 부재(21) 상에 설치되는 제2 노즐 부재 안내 부재(24)를 따라 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 제2 노즐 부재(25)가 제2 지지 부재(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The second nozzle member 25 may be installed on the second support member 21 to be movable in the Y-axis direction. The second nozzle member 25 may be movable in the Y-axis direction along the second nozzle member guide member 24 installed on the second support member 21. Since the second nozzle member 25 is movable in the Y-axis direction with respect to the second support member 21, the position of the second nozzle member 25 in the Y-axis direction can be adjusted.

도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 노즐 부재(25)가 제2 노즐 부재 안내 부재(24)를 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다. 복수의 제2 노즐 부재(25)의 Y축 방향으로의 위치가 조절됨에 따라, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 조절될 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(26) 사이의 Y축 방향으로의 간격(P1, P2)이 미세하게 조절될 수 있다.As shown in FIG. 2, as the plurality of second nozzle members 25 are moved along the second nozzle member guide member 24 in the Y-axis direction, the Y-axis direction of the plurality of second nozzle members 25 The position of the furnace can be adjusted. As the positions of the plurality of second nozzle members 25 in the Y-axis direction are adjusted, the distance in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 (P1, P2) Can be adjusted. Accordingly, the distances P1 and P2 in the Y-axis direction between the plurality of discharge ports 26 may be finely adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate.

또한, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 노즐 팩(10)이 Y축 방향으로 위치 조절되거나 제2 노즐 팩(20)이 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.In addition, the positions of the first nozzle pack 10 and the second nozzle pack 20 can be adjusted in the Y-axis direction with respect to each other. As shown in FIG. 3, as the first nozzle pack 10 is positioned in the Y-axis direction or the second nozzle pack 20 is positioned in the Y-axis direction, The distance P3 between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 provided in the second nozzle pack 20 may be more finely adjusted.

한편, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수는 상이할 수 있다. 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수가 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수보다 많을 수 있거나, 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수가 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수보다 많을 수 있다. 따라서, 제1 노즐 팩(10)에 구비되는 제1 노즐 부재(15)의 개수 및 제2 노즐 팩(20)에 구비되는 제2 노즐 부재(25)의 개수가 상이한 구성에서, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.Meanwhile, the number of first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 and the number of second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20 may be different. The number of the first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 may be greater than the number of the second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20, or the second nozzle pack 20 The number of second nozzle members 25 provided in) may be greater than the number of first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10. Accordingly, in a configuration in which the number of first nozzle members 15 provided in the first nozzle pack 10 and the number of second nozzle members 25 provided in the second nozzle pack 20 are different, the first nozzle pack As the positions of the (10) and the second nozzle pack 20 are adjusted in the Y-axis direction with respect to each other, between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 The intervals P1, P2, P3 can be adjusted more finely.

한편, 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 상이할 수 있다. 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수가 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수보다 크거나 많을 수 있거나, 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수보다 크거나 많을 수 있다. 따라서, 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격 또는 개수 및 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격 또는 개수가 상이한 구성에서, 제1 노즐 팩(10) 및 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절됨에 따라 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.On the other hand, the distance or number between the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15 and the distance or number between the plurality of discharge ports 26 of the second nozzle member 25 may be different. The distance or number between the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15 may be greater or greater than the distance or number between the plurality of discharge ports 26 of the second nozzle member 25, or the second nozzle member The spacing or number of the plurality of discharge ports 26 of (25) may be greater or greater than the spacing or number of the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15. Accordingly, in a configuration in which the spacing or number of the plurality of discharge ports 16 of the first nozzle member 15 and the spacing or number of the plurality of discharge ports 26 of the second nozzle member 25 are different, the first nozzle pack As the positions of the (10) and the second nozzle pack 20 are adjusted in the Y-axis direction with respect to each other, between the discharge port 16 of the first nozzle member 15 and the discharge port 26 of the second nozzle member 25 The intervals P1, P2, P3 can be adjusted more finely.

예를 들면, 제1 노즐 부재(15)의 첫번째 토출구(16)와 마지막 토출구(16) 사이의 거리를 HL1라 하고, 제2 노즐 부재(25)의 첫번째 토출구(26)와 마지막 토출구(26) 사이의 거리를 HL2라 할 때, 제1 노즐 부재(15) 및 제2 노즐 부재(25) 사이의 거리 차(A)는 아래의 수학식 1과 같다.For example, the distance between the first discharge port 16 and the last discharge port 16 of the first nozzle member 15 is HL1, and the first discharge port 26 and the last discharge port 26 of the second nozzle member 25 When the distance is HL2, the distance difference A between the first nozzle member 15 and the second nozzle member 25 is as shown in Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

A = HL1 - HL2A = HL1-HL2

그리고, 토출구 사이의 간격(피치)을 NP라고 하고, 노즐 부재의 개수를 HC라 할 때, 제1 노즐 부재(15) 및 제2 노즐 부재(25) 사이의 Y방향으로의 위치 편차(오프셋, O1)는 아래의 수학식 2와 같다.And, when the distance (pitch) between the discharge ports is referred to as NP and the number of nozzle members is referred to as HC, the positional deviation in the Y direction between the first nozzle member 15 and the second nozzle member 25 (offset, O1) is shown in Equation 2 below.

[수학식 2][Equation 2]

O1 (mm) = (NP/HC) + (A/2)O1 (mm) = (NP/HC) + (A/2)

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 노즐 부재(35)를 갖는 제3 노즐 팩(30)이 구비되는 경우, 제2 노즐 부재(25)의 첫번째 토출구(26)와 마지막 토출구(26) 사이의 거리를 HL2라 하고, 제3 노즐 부재(35)의 첫번째 토출구와 마지막 토출구 사이의 거리를 HL3라 할 때, 제2 노즐 부재(25) 및 제3 노즐 부재(35) 사이의 거리 차(B)는 아래의 수학식 3과 같다.On the other hand, as shown in FIG. 4, when the third nozzle pack 30 having the third nozzle member 35 is provided, the first discharge port 26 and the last discharge port 26 of the second nozzle member 25 When the distance is HL2 and the distance between the first and last discharge ports of the third nozzle member 35 is HL3, the difference in the distance between the second nozzle member 25 and the third nozzle member 35 ( B) is shown in Equation 3 below.

[수학식 3][Equation 3]

B = HL2 - HL3B = HL2-HL3

그리고, 토출구 사이의 간격(피치)을 NP라고 하고, 노즐 부재의 개수를 HC라 할 때, 제2 노즐 부재(25) 및 제3 노즐 부재(35) 사이의 Y방향으로의 위치 편차(오프셋, O2)는 아래의 수학식 4와 같다.And, when the distance (pitch) between the discharge ports is referred to as NP and the number of nozzle members is referred to as HC, the positional deviation in the Y direction between the second nozzle member 25 and the third nozzle member 35 (offset, O2) is shown in Equation 4 below.

[수학식 4][Equation 4]

O2 (mm) = (NP/HC) + (B/2)O2 (mm) = (NP/HC) + (B/2)

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 헤드는 복수의 제1 노즐 부재(15)를 구비하는 제1 노즐 팩(10) 및 복수의 제2 노즐 부재(25)를 구비하는 제2 노즐 팩(20)이 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절이 가능하므로, 제1 노즐 부재(15)의 토출구(16) 및 제2 노즐 부재(25)의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제1 노즐 부재(15)가 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하므로, 복수의 제1 노즐 부재(15)의 복수의 토출구(16) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다. 또한, 복수의 제2 노즐 부재(25)가 서로에 대하여 Y축 방향으로 위치 조절 가능하므로, 복수의 제2 노즐 부재(25)의 복수의 토출구(26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 더욱 미세하게 조절될 수 있다.The liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes a first nozzle pack 10 having a plurality of first nozzle members 15 and a second nozzle pack 20 having a plurality of second nozzle members 25 Since the positions can be adjusted in the Y-axis direction with respect to each other, the distances P1, P2, P3 between the discharge ports 16 of the first nozzle member 15 and the discharge ports 26 of the second nozzle member 25 are It can be adjusted more finely. In addition, since the plurality of first nozzle members 15 can be positioned with respect to each other in the Y-axis direction, the distances P1, P2, P3 between the plurality of discharge ports 16 of the plurality of first nozzle members 15 This can be finely adjusted. In addition, since the plurality of second nozzle members 25 can be positioned with respect to each other in the Y-axis direction, the distances P1, P2, P3 between the plurality of discharge ports 26 of the plurality of second nozzle members 25 This can be finely adjusted.

따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하되는 복수의 액적 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 예를 들면, 복수의 액적 사이의 간격을 40 μm 이하로 줄일 수 있어, 높은 해상도를 구현할 수 있다. 따라서, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 적하된 복수의 액적이 서서히 퍼지면서 메워져야 하는 복수의 액적 사이의 공간을 줄일 수 있다. 따라서, 복수의 토출구(16, 26) 사이의 간격(P1, P2, P3)과 연관된 정밀도를 크게 요구하지 않으면서 높은 해상도를 구현할 수 있고, 얼룩 등의 불량을 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to minimize the spacing between the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate. For example, the spacing between a plurality of droplets can be reduced to 40 μm or less, thereby realizing high resolution. Accordingly, the space between the plurality of droplets to be filled can be reduced while the plurality of droplets dropped on the plurality of liquid dropping regions on the substrate gradually spread. Accordingly, it is possible to implement high resolution without requiring a large degree of precision associated with the intervals P1, P2, and P3 between the plurality of discharge ports 16 and 26, and to prevent defects such as spots.

또한, 기판 상의 복수의 액체 적하 영역에 대응하도록 복수의 토출구(16, 26) 사이의 간격(P1, P2, P3)이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 액체 적하 영역 사이의 간격이 상이한 복수의 유형의 기판에 대해, 노즐 부재(15, 16)를 교체하지 않고, 하나의 액체 토출 헤드를 사용하여 액체 토출 공정을 수행할 수 있다.In addition, the intervals P1, P2, and P3 between the plurality of discharge ports 16 and 26 may be adjusted to correspond to the plurality of liquid dropping regions on the substrate. Accordingly, for a plurality of types of substrates having different intervals between the plurality of liquid dropping regions, it is possible to perform the liquid discharge process using one liquid discharge head without replacing the nozzle members 15 and 16.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described exemplarily, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately changed within the scope described in the claims.

10, 20, 30: 노즐 팩
11, 21: 지지 부재
12, 22: 노즐 팩 안내 부재
14, 24: 노즐 부재 안내 부재
15, 25: 노즐 부재
16, 26: 토출구
90: 베이스 부재10, 20, 30: nozzle pack
11, 21: support member
12, 22: nozzle pack guide member
14, 24: nozzle member guide member
15, 25: nozzle member
16, 26: discharge port
90: base member

Claims (7)

제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제1 노즐 부재가 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제1 노즐 팩; 및
상기 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 제2 노즐 부재가 상기 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 제2 노즐 팩을 포함하고,
상기 제1 노즐 팩 및 상기 제2 노즐 팩은 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 제1 노즐 부재의 토출구와 상기 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 제1 노즐 팩 및 상기 제2 노즐 팩은 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.A first nozzle pack in which a plurality of first nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction are arranged in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction; And
A second nozzle pack in which a plurality of second nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in the first direction are arranged in a plurality of rows in the second direction,
The first nozzle pack and the second nozzle pack are disposed to at least partially overlap in the second direction,
The first nozzle pack and the second nozzle pack may be positioned in the first direction with respect to each other so that the distance in the first direction between the discharge port of the first nozzle member and the discharge port of the second nozzle member is adjusted. Liquid discharge head, characterized in that possible. 청구항 1에 있어서,
상기 복수의 제1 노즐 부재는 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 복수의 제1 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 복수의 제1 노즐 부재는 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
The plurality of first nozzle members are disposed to at least partially overlap in the second direction,
The liquid discharge head, wherein the plurality of first nozzle members are positioned with respect to each other in the first direction so that the space between the discharge ports of the plurality of first nozzle members is adjusted in the first direction. 청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 복수의 제2 노즐 부재는 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 복수의 제2 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 복수의 제2 노즐 부재는 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1 or 2,
The plurality of second nozzle members are disposed to at least partially overlap in the second direction,
The liquid discharge head, wherein the plurality of second nozzle members are positioned with respect to each other in the first direction so that the space between the discharge ports of the plurality of second nozzle members is adjusted in the first direction. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 노즐 팩에 구비되는 상기 제1 노즐 부재의 개수 및 상기 제2 노즐 팩에 구비되는 상기 제2 노즐 부재의 개수는 상이한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
The liquid discharge head, wherein the number of the first nozzle members provided in the first nozzle pack and the number of the second nozzle members provided in the second nozzle pack are different. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 노즐 부재의 상기 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 상기 제2 노즐 부재의 상기 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method according to claim 1,
A liquid discharge head, characterized in that the distance or number of the plurality of discharge ports of the first nozzle member and the distance or number of the plurality of discharge ports of the second nozzle member are different. 제1 방향으로 배열된 복수의 토출구를 각각 구비하는 복수의 노즐 부재가 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 복수의 열로 배치되는 노즐 팩을 포함하고,
상기 복수의 노즐 부재는 상기 제2 방향으로 적어도 부분적으로 중첩하도록 배치되며,
상기 복수의 노즐 부재의 토출구 사이의 상기 제1 방향으로의 간격이 조절되도록 상기 복수의 노즐 부재는 서로에 대하여 상기 제1 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.A plurality of nozzle members each having a plurality of discharge ports arranged in a first direction including a nozzle pack disposed in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction,
The plurality of nozzle members are disposed to at least partially overlap in the second direction,
The liquid discharge head, wherein the plurality of nozzle members are position-adjustable with respect to each other in the first direction so that the distance between the discharge ports of the plurality of nozzle members in the first direction is adjusted. 청구항 6에 있어서,
상기 복수의 노즐 부재 중 어느 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수 및 상기 복수의 노즐 부재 중 다른 하나의 노즐 부재의 복수의 토출구 사이의 간격 또는 개수는 상이한 것을 특징으로 하는 액체 토출 헤드.The method of claim 6,
A liquid discharge head, characterized in that a distance or number between a plurality of discharge ports of one nozzle member among the plurality of nozzle members and a distance or number of discharge ports of another nozzle member among the plurality of nozzle members are different .
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