KR102251936B1 - Defect inspection system and method in chamber - Google Patents

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Abstract

결함 검사 시스템 및 그 방법이 개시된다. 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사하는 결함 검사 시스템은 광원부; 및 상기 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 상부에서 상기 검사 대상물을 촬영하여 상기 검사 대상물의 결함 여부를 검사하는 카메라를 포함하되, 상기 카메라는 챔버 내부 및 챔버 외부 중 적어도 하나에서 상기 검사 대상물을 촬영할 수 있다. A defect inspection system and method thereof are disclosed. A defect inspection system for inspecting whether an edge defect of an object to be inspected includes a light source unit; And a camera for inspecting the defect of the inspection object by photographing the inspection object from the upper part of the transfer member on which the inspection object is placed using the light irradiated by the light source, wherein the camera includes at least one of inside the chamber and outside the chamber. The inspection object can be photographed at.

Description

챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법{Defect inspection system and method in chamber}Defect inspection system and method in chamber

본 발명은 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a system and method for inspecting defects in a chamber.

유리 기판이나 필름의 불량을 검사하는 다양한 방법들이 존재한다. 종래의 유리 기판 에지 검사 방법은 로봇 암에 의해 유기 기판이 이송되는 시점에 로봇 암 하부에서 광원을 조사한 후 로봇 암 상부에서 라인 단위로 유리 기판을 스캔하는 방식이 주로 이용되었다. Various methods exist for inspecting defects in glass substrates or films. The conventional glass substrate edge inspection method mainly uses a method of irradiating a light source from a lower portion of the robot arm at a time when the organic substrate is transferred by the robot arm and then scanning the glass substrate in line units from the upper portion of the robot arm.

즉, 광이 로봇 암 하부에서 조사되므로 로봇 암에 의해 통과되지 못하는 부분은 촬영이 불가능한 문제점이 있었다. That is, since light is irradiated from the lower part of the robot arm, there is a problem in that it is impossible to photograph a portion that cannot be passed by the robot arm.

본 발명은 챔버에서 검사 대상물의 에지를 정확하게 검출할 수 있는 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a defect inspection system and method in a chamber capable of accurately detecting an edge of an inspection object in the chamber.

또한, 본 발명은 비접촉 비파괴 방식으로, 챔버 내부가 밀폐된 진공 상태에서도 검사 대상물 에지 결함 여부를 검사할 수 있는 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다. In addition, the present invention is to provide a defect inspection system and method in a chamber capable of inspecting whether or not an edge of an inspection object is defective even in a vacuum state in which the interior of the chamber is sealed in a non-contact, non-destructive manner.

본 발명의 측면에 따르면, 챔버에서 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있는 결함 검사 시스템이 제공된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a defect inspection system capable of inspecting whether an edge defect of an inspection object in a chamber is possible.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 챔버에서의 검사 대상물 결함 검사 시스템에 있어서, 광원부; 및 상기 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 상부에서 상기 검사 대상물을 촬영하여 상기 검사 대상물의 결함 여부를 검사하는 카메라를 포함하되, 상기 카메라는 상기 챔버 외부 또는 내부에서 상기 검사 대상물을 촬영하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템이 제공될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a system for inspecting defects in an object to be inspected in a chamber, comprising: a light source unit; And a camera for inspecting the defect of the inspection object by photographing the inspection object from the upper part of the transfer member on which the inspection object is placed using the light irradiated by the light source, wherein the camera is outside or inside the chamber. A defect inspection system may be provided, characterized in that photographing an object.

상기 챔버 내부에 위치되되, 상기 이송 부재 하부에 위치되며, 상기 광원부를 대면하도록 배치되어 상기 광원부에 의해 조사된 후 상기 검사 대상물을 투과한 광을 흡수하는 비반사 부재를 더 포함할 수 있다. It may further include a non-reflective member located inside the chamber, located under the transfer member, disposed to face the light source unit, and absorbing light transmitted through the inspection object after being irradiated by the light source unit.

상기 뷰 포트는 상기 챔버 상단에 형성되되, 상기 광원부는 상기 뷰 포트를 통해 상기 검사 대상물 상부로 광을 조사하며, 상기 카메라는 상기 검사 대상물 상부로 조사된 후 상기 검사 대상물에 의해 반사된 광을 이용하여 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. The view port is formed at the top of the chamber, and the light source unit irradiates light to the upper portion of the inspection object through the view port, and the camera uses the light reflected by the inspection object after being irradiated onto the inspection object. Thus, the inspection object can be photographed and inspected for edge defects.

상기 챔버 내부에 위치되되, 상기 이송 부재 하부에 상기 광원부를 대면하도록 배치되어 상기 광원부에 의해 조사된 후 상기 검사 대상물을 투과한 광을 반사시키는 반사 부재를 더 포함할 수 있다. It may further include a reflective member positioned inside the chamber, disposed to face the light source unit under the transfer member, and reflecting light transmitted through the object to be inspected after being irradiated by the light source unit.

상기 광원부는, 상기 카메라와 대면하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 이송 부재 상부 및 상기 이송 부재 하부 중 적어도 하나에서 상기 검사 대상물을 향해 광을 조사할 수 있다.The light source unit may be disposed inside the chamber to face the camera, and may irradiate light toward the inspection object from at least one of an upper portion of the transport member and a lower portion of the transport member.

상기 챔버의 상단에 제1 뷰 포트가 형성되며, 상기 챔버의 하단에 제2 뷰 포트가 형성되되, 상기 광원부는 상기 제2 뷰 포트를 통해 이송 부재 하부에서 상부로 광을 조사하며, 상기 카메라는 상기 제1 뷰 포트를 통해 상기 광원부에 의해 조사된 후 상기 검사 대상물을 투과한 광을 이용하여 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. A first view port is formed at an upper end of the chamber, a second view port is formed at a lower end of the chamber, and the light source unit irradiates light from the lower portion of the transfer member to the upper portion through the second view port, and the camera After being irradiated by the light source through the first view port, the inspection object may be photographed using light that has passed through the inspection object to check for edge defects.

상기 제1 뷰 포트와 상기 제2 뷰 포트는 상호 대면하도록 형성되며 수직선상에 동일한 위치에 형성될 수 있다. The first view port and the second view port are formed to face each other and may be formed at the same position on a vertical line.

상기 챔버는 트랜스퍼 챔버이되, 상기 광원부 및 상기 카메라는 상기 챔버가 밀폐된 진공 상태에서 동작될 수 있다. The chamber is a transfer chamber, and the light source unit and the camera may be operated in a vacuum state in which the chamber is sealed.

상기 광원부 및 상기 카메라는 복수이되, 상기 광원부와 상기 카메라의 개수는 상기 이송 부재에 형성되는 지지 부재의 개수와 동일하며, 상기 지지 부재의 위치에 일치하도록 각각의 광원부와 카메라가 배치될 수 있다.The light source unit and the camera are plural, and the number of the light source unit and the camera is the same as the number of support members formed on the transfer member, and each light source unit and camera may be arranged to match the position of the support member.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 검사 대상물의 결함 검사 시스템에 있어서, 제1 광원부; 제2 광원부; 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 상부에서 상기 검사 대상물을 촬영하여 상기 검사 대상물의 결함 여부를 검사하는 카메라를 포함하되, 상기 카메라는 상기 챔버의 내부 또는 외부를 통해 상기 검사 대상물을 촬영하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템이 제공될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, there is provided a system for inspecting a defect of an object to be inspected, comprising: a first light source; A second light source unit; And a camera for inspecting the defect of the inspection object by photographing the inspection object from an upper portion of the transfer member on which the inspection object is placed using the light irradiated by the first light source unit and the second light source unit, wherein the camera is the chamber There may be provided a defect inspection system, characterized in that photographing the inspection object through the inside or outside of.

상기 제1 광원부는 상기 뷰 포트 상부에 위치되며, 상기 뷰 포트를 통해 광을 상기 검사 대상물로 조사하며, 상기 제2 광원부는 이송 부재 하부에 위치되며 상기 뷰 포트(view port)를 대면하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 이송 부재 하부에서 상부로 광을 조사할 수 있다. The first light source unit is located above the view port and irradiates light to the inspection object through the view port, and the second light source unit is located below the transfer member and faces the view port. It is disposed inside, and light can be irradiated from the lower portion of the transfer member to the upper portion.

상기 챔버의 상단에 제1 뷰 포트가 형성되며, 상기 챔버의 하단에 제2 뷰 포트가 형성되되, 상기 제1 광원부는 상기 제1 뷰 포트 상부에 위치되고 상기 뷰 포트를 통해 광을 상기 검사 대상물로 조사하며, 상기 제2 광원부는 상기 제2 뷰 포트 하부에 위치되고, 상기 제2 뷰 포트를 통해 광을 상기 검사 대상물을 향해 조사할 수 있다. A first view port is formed at an upper end of the chamber, a second view port is formed at a lower end of the chamber, and the first light source unit is located above the first view port and transmits light to the inspection object through the view port. The second light source unit is located under the second view port, and the second light source unit may irradiate light toward the inspection object through the second view port.

제3 광원부를 더 포함하되, 상기 제1 광원부는 상기 챔버 상부에 위치되어 상기 챔버 상단에 형성된 제1 뷰 포트를 통해 광을 상기 검사 대상물로 조사하며, 상기 제2 광원부는 상기 챔버 하부에 위치되어 상기 챔버 하단에 형성된 제2 뷰 포트를 통해 광을 상기 검사 대상물로 조사하고, 상기 제3 광원부는 상기 챔버 내부에 위치되어 이송 부재의 상부 및 하부에서 상기 검사 대상물을 향해 광을 조사하되, 상기 카메라는 복수이며, 복수의 카메라 중 어느 하나는 상기 제1 광원부 및 상기 제3 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 상기 제1 뷰 포트를 통해 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사하고, 복수의 카메라 중 다른 하나는 상기 제2 광원부 및 상기 제3 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 상기 제2 뷰 포트를 통해 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. Further comprising a third light source unit, wherein the first light source unit is positioned above the chamber to irradiate light to the inspection object through a first view port formed at the top of the chamber, and the second light source unit is located below the chamber Light is irradiated to the inspection object through a second view port formed at the bottom of the chamber, and the third light source unit is located inside the chamber to irradiate light toward the inspection object from the upper and lower portions of the transfer member, and the camera Is a plurality, and any one of the plurality of cameras inspects for edge defects by photographing the inspection object through the first view port using the light irradiated by the first light source unit and the third light source unit, and Another one of the cameras may inspect the edge defects by photographing the object to be inspected through the second view port using the light irradiated by the second light source unit and the third light source unit.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 검사 대상물 에지 결함 검사 방법이 제공된다. According to another aspect of the present invention, a method for inspecting an edge defect of an object to be inspected is provided.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 챔버 일면에 형성된 뷰 포트를 통해 상기 챔버 내부에 위치된 검사 대상물을 향해 광을 조사하는 단계; 및 상기 뷰 포트를 통해 조사된 광을 이용하여 상기 챔버 내부에 위치된 검사 대상물 상부를 촬영하여 상기 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사하는 단계를 포함하는 결함 검사 방법이 제공될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, irradiating light toward an object to be inspected located inside the chamber through a view port formed on one surface of the chamber; And inspecting an edge defect of the inspection object by photographing an upper portion of the inspection object located inside the chamber using light irradiated through the view port.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 하부에서 검사 대상물을 대향하여 광을 조사하는 단계; 상기 조사된 광을 이용하여 챔버 일면에 형성된 뷰 포트를 통해 상기 챔버 내부에 위치된 검사 대상물 상부를 촬영하여 상기 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사하는 단계를 포함하는 결함 검사 방법이 제공될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the step of irradiating light to face the inspection object from the lower portion of the transfer member on which the inspection object is placed; A defect inspection method comprising the step of inspecting an edge defect of the inspection object by photographing an upper portion of the inspection object located inside the chamber through a view port formed on one surface of the chamber using the irradiated light may be provided.

본 발명에 따른 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법을 제공함으로써, 검사 대상물의 에지를 정확하게 검출할 수 있다.By providing a defect inspection system and method in a chamber according to the present invention, it is possible to accurately detect an edge of an inspection object.

또한, 본 발명은 비접촉 비파괴 방식으로 챔버 내부가 밀폐된 진공 상태인 경우에도 검사 대상물 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. In addition, in the present invention, even when the interior of the chamber is sealed in a vacuum state in a non-contact, non-destructive manner, it is possible to inspect whether an edge of an object to be inspected is defective.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 전체 구성을 설명하기 위해 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 4는 도 2의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 6은 도 5의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 8은 도 7의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 10은 도 9의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 12는 도 11의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면.
도 14는 도 13의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 대상물의 결함 검사 방법을 나타낸 순서도.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 대상물의 결함 검사 방법을 나타낸 순서도.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 상면도.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 측면도.1 is a diagram illustrating an overall configuration of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically showing the configuration of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 2.
5 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
6 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 5.
7 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
8 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 7.
9 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
10 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 9.
11 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 11. FIG.
13 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.
14 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 13.
15 is a flow chart showing a defect inspection method of an inspection object according to an embodiment of the present invention.
16 is a flow chart showing a defect inspection method of an inspection object according to another embodiment of the present invention.
17 is a top view of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention.
18 is a side view of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to a specific embodiment, it should be understood to include all conversions, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof does not preclude in advance.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 전체 구성을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템은 프로세스 챔버(110a, 110b, 110c)에서 하나의 공정이 완료된 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사하기 위한 것이다. 본 명세서에서는 이해와 설명의 편의를 도모하기 위해 검사 대상물이 글래스 기판인 것을 가정하여 이를 중심으로 설명하기로 한다.The defect inspection system according to an embodiment of the present invention is for inspecting whether an edge defect of an inspection object for which one process has been completed in the process chambers 110a, 110b, and 110c. In the present specification, in order to facilitate understanding and explanation, it is assumed that the object to be inspected is a glass substrate, and this description will be mainly made.

본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템(200)은 프로세스 챔버(110a)와 프로세스 챔버(110b) 사이에 위치된 트랜스퍼 챔버(120a, 120b)와 연동되어, 트랜스퍼 챔버(120a, 120b)에 의해 다른 프로세스 챔버로 검사 대상물을 이송하는 도중에 해당 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있다.The defect inspection system 200 according to an embodiment of the present invention is interlocked with the transfer chambers 120a and 120b positioned between the process chamber 110a and the process chamber 110b, During the transfer of the inspection object to another process chamber, the inspection object may be inspected for edge defects.

프로세스 챔버(110a 내지 110c)와 트랜스퍼 챔버((120a, 120b)) 내부는 공정 중(전체 공정이 완료되기 전)에는 진공 상태를 유지하고 있으며, 밀폐된 구조에서 특정 공정이 수행된다. 따라서, 일반적인 방법으로는 트랜스퍼 챔버((120a, 120b)) 내부의 이송 부재(예를 들어, 로봇 암)에 위치된 검사 대상물의 에지를 검사할 수 없다. The inside of the process chambers 110a to 110c and the transfer chambers 120a and 120b are maintained in a vacuum state during the process (before the entire process is completed), and a specific process is performed in a sealed structure. Therefore, it is not possible to inspect the edge of the object to be inspected located on the transfer member (eg, robot arm) inside the transfer chambers 120a and 120b by a general method.

본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템(200)은 트랜스퍼 챔버((120a, 120b))와 연동되며, 트랜스퍼 챔버((120a, 120b))의 적어도 일부에 형성된 뷰 포트(125)를 통해 검사 대상물을 상부에서 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. 이하에서 별도의 설명이 없더라도 결함 검사 시스템(200)이 연동되는 챔버는 트랜스퍼 챔버인 것으로 이해되어야 할 것이다. The defect inspection system 200 according to an embodiment of the present invention is interlocked with the transfer chambers (120a, 120b), and is inspected through the view port 125 formed in at least a part of the transfer chambers (120a, 120b). The object can be photographed from the top and inspected for edge defects. It should be understood that the chamber to which the defect inspection system 200 is interlocked is a transfer chamber, even if there is no separate description below.

또한, 하기에서 별도의 설명이 없더라도, 검사 대상물은 이송 부재 위에 놓이며, 이송 부재에 의해 하나의 프로세스 챔버에서 다른 프로세스 챔버로 이송되는 것으로 이해되어야 할 것이다. Further, it should be understood that the inspection object is placed on the transfer member and is transferred from one process chamber to another process chamber by the transfer member, even if there is no separate description below.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이며, 도 4는 도 2에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면이다. 2 is a diagram schematically showing the configuration of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. It is a diagram showing an image taken by 2.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템(200)은 트랜스퍼 챔버(120)와 연동되며, 광원부(210), 카메라(220), 비반사 부재(240) 및 컨트롤러(230)를 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 2, the defect inspection system 200 according to an embodiment of the present invention is interlocked with the transfer chamber 120, and the light source unit 210, the camera 220, the non-reflective member 240, and the controller 230 ).

결함 검사 시스템(200)이 연동되는 트랜스퍼 챔버(120)는 도 2에서 보여지는 바와 같이, 적어도 일면에 뷰 포트(125)가 형성된다. As shown in FIG. 2, the transfer chamber 120 to which the defect inspection system 200 is interlocked has a view port 125 formed on at least one surface thereof.

도 2에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(120)의 상단에 뷰 포트(125)가 형성될 수 있다. 뷰 포트(125) 위치에 직교하는 방향으로 트랜스퍼 챔버(120) 상부에 광원부(210)와 카메라(220)가 설치될 수 있다. 광원부(210)와 카메라(220)는 컨트롤러(230)와 무선 방식으로 연결될 수 있다. As shown in FIG. 2, a view port 125 may be formed on the top of the transfer chamber 120. The light source unit 210 and the camera 220 may be installed above the transfer chamber 120 in a direction orthogonal to the position of the view port 125. The light source unit 210 and the camera 220 may be connected to the controller 230 in a wireless manner.

광원부(210)는 광을 조사하기 위한 수단이다. 예를 들어, 광원부(210)는 LED일 수 있다. 광원부(210)는 도 2에서 보여지는 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)를 통해 광을 트랜스퍼 챔버(120) 내부로 조사할 수 있다. 즉, 광원부(210)는 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)와 직교하도록 위치되며, 뷰 포트(125)를 통해 트랜스퍼 챔버(120) 내부에 위치된 검사 대상물을 향해 광을 조사할 수 있다. The light source unit 210 is a means for irradiating light. For example, the light source unit 210 may be an LED. As shown in FIG. 2, the light source unit 210 may irradiate light into the transfer chamber 120 through the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120. That is, the light source unit 210 is positioned to be orthogonal to the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120, and irradiates light toward the inspection object located inside the transfer chamber 120 through the view port 125. I can.

검사 대상물은 이미 전술한 바와 같이, 이송 부재(130)의 상단에 올려진 상태로 이송될 수 있다. As already described above, the object to be inspected may be transported while being placed on the upper end of the transport member 130.

카메라(220)는 광원부(210)에 의해 조사된 광을 이용하여 이송 부재 상부를 촬영화여 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사하기 위한 수단이다. The camera 220 is a means for inspecting an edge defect of an object by photographing the upper part of the transfer member using the light irradiated by the light source unit 210.

카메라(220)는 트랜스퍼 챔버(120)의 뷰 포트(125)를 통해 트랜스퍼 챔버(120) 외부에서 트랜스퍼 챔버(120) 내부에 위치된 검사 대상물을 촬영하여 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. The camera 220 may photograph an inspection object located inside the transfer chamber 120 from the outside of the transfer chamber 120 through the view port 125 of the transfer chamber 120 and inspect whether the inspection object has an edge defect. .

예를 들어, 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)를 통해 광원부(210)가 광을 트랜스퍼 챔버(120) 내부로 조사하면, 광원부(210)에 의해 조사된 광의 일부는 이송 부재(130) 상단에 올려진 검사 대상물에 의해 반사되어 카메라(220)에 의해 수광될 수 있다. 또한, 광원부(210)에 의해 조사된 광의 일부는 이송 부재(130)에 의해 반사되어 카메라(220)에 의해 수광될 수도 있다. 이때, 검사 대상물에 형성된 패턴, 검사 대상물과 이송 부재 각각의 재질에 따라 광의 반사 패턴 또한 달라질 수 있다. For example, when the light source unit 210 irradiates light into the transfer chamber 120 through the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120, a part of the light irradiated by the light source unit 210 is transferred to the transfer member ( 130) It may be reflected by the inspection object placed on the top and received light by the camera 220. In addition, some of the light irradiated by the light source unit 210 may be reflected by the transfer member 130 and received by the camera 220. In this case, the reflection pattern of light may also vary according to the pattern formed on the inspection object and the material of each of the inspection object and the transfer member.

따라서, 카메라(220)는 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)를 통해 조사된 광을 이용하여 이송 부재 상부를 촬영함으로써 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. Accordingly, the camera 220 may inspect the edge of the object to be inspected by photographing the upper portion of the transfer member by using the light irradiated through the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120.

광원부(210)에 의해 조사된 광의 일부는 검사 대상물을 투과하여 이송 부재 하단으로 전달될 수 있다. 이때, 이송 부재 하부에서 반사되는 광에 의한 영향을 최소화하기 위해 비반사 부재(240)가 이송 부재(130) 하부에 설치될 수 있다.Some of the light irradiated by the light source unit 210 may pass through the inspection object and be transmitted to the lower end of the transfer member. In this case, the non-reflective member 240 may be installed under the transfer member 130 in order to minimize the influence of the light reflected from the lower portion of the transfer member.

비반사 부재(240)의 위치는 광원부(210) 또는 카메라(220)와 대면하는 직교하는 위치일 수 있다. 비반사 부재(240)는 광원부(210)에 의해 조사된 광이 이송 부재 하부로 투과되는 경우 이를 흡수하도록 표면이 무광 처리되어 있을 수도 있다. 비반사 부재(240)는 이송 부재 또는 검사 대상물을 투과하여 이송 부재 하부로 전달되는 광을 흡수함으로써 이송 부재 하부에서 광이 반사되는 것을 방지할 수 있다. The position of the non-reflective member 240 may be a position orthogonal to the light source unit 210 or the camera 220. The surface of the non-reflective member 240 may be matted to absorb light irradiated by the light source unit 210 when it is transmitted to the lower portion of the transfer member. The non-reflective member 240 may prevent light from being reflected from the lower part of the transport member by absorbing light transmitted to the lower part of the transport member by passing through the transport member or the object to be inspected.

이로 인해, 이송 부재 하부에서 반사되는 광에 의한 노이즈를 최소화하여 검사 대상물의 에지 결함 여부 판단을 용이하게 할 수 있다. As a result, noise due to light reflected from the lower part of the transfer member can be minimized, thereby making it easy to determine whether an edge is defective.

비반사 부재(240)는 도 2에 도시된 바와 같이, 비반사 부재(240)의 상단이 기울기를 가지지 않은 평탄(flat)한 형상으로 형성될 수도 있다.As shown in FIG. 2, the non-reflective member 240 may be formed in a flat shape in which an upper end of the non-reflective member 240 does not have an inclination.

그러나, 비반사 부재(240)가 모든 광을 흡수하지 못하고 일부 반사되는 경우도 존재하므로, 비반사 부재(240)의 상단이 일정 각도로 기울어진 경사를 가지도록 형성될 수도 있다(도 3 참조). 비반사 부재(240)의 상단이 일정 각도로 기울어지도록 경사를 가지는 경우, 이송 부재 상부에서 투과된 광이 이송 부재 하부에서 반사되더라도 비반사 부재(240)에 의해 광의 반사 방향을 이송 부재 상부 방향으로 반사되지 않도록 반사 각도를 조절할 수 있다. 이로 인해, 이송 부재 하부에서 반사되는 광에 의한 영향을 제거할 수 있어, 검사 대상물 에지 결함 검출을 용이하게 할 수 있는 이점이 있다. However, since the non-reflective member 240 does not absorb all light and is partially reflected, the top of the non-reflective member 240 may be formed to have an inclination inclined at a certain angle (see FIG. 3). . When the top of the non-reflective member 240 has an inclination such that the top of the non-reflective member 240 is inclined at a certain angle, even if the light transmitted from the top of the transfer member is reflected from the bottom of the transfer member, the reflection direction of the light is shifted toward the top of the transfer member by the non-reflective member 240. You can adjust the angle of reflection so that it is not reflected. For this reason, it is possible to remove the influence of the light reflected from the lower portion of the conveying member, and there is an advantage in that it is possible to easily detect edge defects of the inspection object.

도 4에는 카메라(220)에 의해 촬영된 영상이 도시되어 있다. 도 4의 410은 검사 대상물에 형성된 증착 패턴 영역이며, 420은 검사 대상물 영역이며, 430은 이송 부재 영역이다. 4 shows an image captured by the camera 220. In FIG. 4, reference numeral 410 denotes a deposition pattern region formed on the inspection object, 420 denotes an inspection object region, and 430 denotes a transfer member region.

본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템(200)은 검사 대상물 에지 결함 여부를 검사하기 위한 것으로, 도 4에서 보여지는 바와 같이, 검사 대상물의 에지가 선명하게 인식됨으로써 에지 결함 여부를 용이하게 검출할 수 있다. The defect inspection system 200 according to an embodiment of the present invention is for inspecting whether there is an edge defect of an inspection object, and as shown in FIG. 4, the edge of the inspection object is clearly recognized, thereby easily detecting whether an edge defect is present. can do.

컨트롤러(230)는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템(200)의 내부 구성 요소들(예를 들어, 광원부(210), 카메라(220) 등)을 제어하기 위한 수단이다. The controller 230 is a means for controlling internal components (eg, the light source unit 210, the camera 220, etc.) of the defect inspection system 200 according to an embodiment of the present invention.

도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 상면도를 도시한 도면이다. 도 17에서 보여지는 바와 같이, 이송 부재 상단에 검사 대상물이 올려진 상태에서 프로세스 챔버에서 트랜스퍼 챔버로 이송될 수 있다. 이송 부재는 검사 대상물이 올려지는 지지 부재를 구비할 수 있으며, 지지 부재의 형상은 도 17에서 보여지는 바와 같이 삼발이와 같은 갈고리 형상으로 형성될 수 있다. 도 17에서는 이송 부재의 지지 부재 형상이 삼발이 형상인 것으로 도시되어 있으나, 이는 설명을 위한 일 예일 뿐이며, 검사 대상물이 올려질 수 있는 형상이면 모두 동일하게 적용될 수 있다. 17 is a diagram illustrating a top view of a defect inspection system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 17, the test object may be transferred from the process chamber to the transfer chamber while the inspection object is placed on the top of the transfer member. The transfer member may include a support member on which an object to be inspected is placed, and the shape of the support member may be formed in a hook shape such as a tripod as shown in FIG. 17. In FIG. 17, the support member shape of the transfer member is illustrated as having a trivet shape, but this is only an example for explanation, and any shape in which an object to be inspected can be placed may be applied in the same manner.

이와 같이, 이송 부재에 형성되는 지지 부재가 복수인 경우, 광원부와 카메라는 지지 부재의 개수와 일치하도록 구성되며, 광원부와 카메라는 각각 이송 부재에 형성되는 지지 부재의 위치에 일치하도록 트랜스퍼 챔버 상부에 각각 배치될 수도 있다. As described above, when there are a plurality of support members formed on the transfer member, the light source unit and the camera are configured to match the number of support members, and the light source unit and the camera are positioned above the transfer chamber to match the positions of the support members formed on the transfer member, respectively. Each may be arranged.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 6은 도 5에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면이다. 5 is a diagram illustrating a configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a diagram illustrating an image captured by FIG. 5.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(500)은 도 2와 달리 이송 부재 하부에 반사 부재(540)가 위치될 수 있다.As shown in FIG. 5, in the defect inspection system 500 according to another embodiment of the present invention, unlike FIG. 2, the reflective member 540 may be positioned under the transfer member.

반사 부재(540)는 트랜스퍼 챔버 내부에 위치되되, 이송 부재 하부에 위치될 수 있다. 반사 부재(540) 위치는 도 2의 비반사 부재(240)의 위치와 동일한 위치에 위치될 수 있다. 반사 부재(540)는 카메라(220) 또는 광원부(210)를 대면하는 위치로, 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)를 대면하되, 뷰 포트(125)와 직교하는 위치에 위치될 수 있다. The reflective member 540 is located inside the transfer chamber, but may be located under the transfer member. The reflective member 540 may be positioned at the same position as the non-reflective member 240 of FIG. 2. The reflective member 540 is a position that faces the camera 220 or the light source unit 210, and faces the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120, but is positioned at a position orthogonal to the view port 125. I can.

반사 부재(540)는 광원부(210)에 의해 이송 부재 상부에서 조사된 후 검사 대상물을 투과하여 이송 부재 하부로 전달된 광을 이송 부재 상부로 반사한다. 반사 부재(540)는 미러일 수 있다. The reflective member 540 reflects the light transmitted to the lower portion of the transport member after being irradiated from the upper portion of the transport member by the light source unit 210 and passing through the object to be inspected. The reflective member 540 may be a mirror.

도 5에 도시된 바와 같이, 반사 부재(540)가 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125)에 대면하는 위치에 위치되는 경우, 뷰 포트(125)를 통해 광원부(210)에 의해 조사된 광이 검사 대상물을 투과하여 이송 부재 하부로 전달시, 반사 부재(540)에 의해 투과된 광을 반사시켜 투과 조명 효과를 얻을 수 있다. 5, when the reflective member 540 is located in a position facing the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120, irradiation by the light source unit 210 through the view port 125 When the transmitted light passes through the object to be inspected and is transmitted to the lower portion of the transfer member, the transmitted lighting effect may be obtained by reflecting the light transmitted by the reflective member 540.

도 6에는 도 5에 따른 결함 검사 시스템을 통해 촬영된 영상이 도시되어 있다. 도 6의 610은 검사 대상물에 형성된 증착 패턴 영역이고, 620은 검사 대상물 영역이고, 630는 이송 부재 영역이다. 6 shows an image captured through the defect inspection system according to FIG. 5. Reference numeral 610 of FIG. 6 is a deposition pattern area formed on the inspection object, 620 is an inspection object area, and 630 is a transfer member area.

또한, 도 6의 610과 620 사이에 반사 부재(540)에 의해 그림자 영역이 촬영된 것을 알 수 있다. 그러나, 반사 부재(540)에 의해 반사된 광에 의해 촬영된 그림자 영역은 검사 대상물의 에지 결함 검사에는 영향을 미치지 않는 것을 알 수 있다. In addition, it can be seen that a shadow area is photographed by the reflective member 540 between 610 and 620 of FIG. 6. However, it can be seen that the shadow area photographed by the light reflected by the reflective member 540 does not affect the edge defect inspection of the object to be inspected.

도 6의 620과 630에서 보여지는 바와 같이, 과 같이 반사 부재(540)에 의해 반사된 광에 의해 에지 영역이 정확하고 선명하게 구분되어 에지 결함 여부를 검사할 수 있음을 알 수 있다. As shown in 620 and 630 of FIG. 6, it can be seen that the edge region is accurately and clearly distinguished by the light reflected by the reflective member 540, so that it is possible to check for edge defects.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이며, 도 8은 도 7의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면이다. 7 is a diagram illustrating a configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 7.

도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(700)은 챔버 내부에 광원부가 더 구비된다. 이해와 설명의 편의를 도모하기 위해, 도 2 및 도 5의 트랜스퍼 챔버 외측 상부에 설치되는 광원부를 제1 광원부라 칭하기로 하며, 도 7에서 추가된 광원부를 제2 광원부라 칭하여 설명하기로 한다. Referring to FIG. 7, the defect inspection system 700 according to another embodiment of the present invention further includes a light source unit in the chamber. For convenience of understanding and explanation, the light source unit installed on the outer upper portion of the transfer chamber of FIGS. 2 and 5 will be referred to as a first light source unit, and the light source unit added in Fig. 7 will be referred to as a second light source unit.

도 7에 도시된 결함 검사 시스템(700)의 구성은 제2 광원부(740)의 구성이 도 2 및 도 5와 상이하며 나머지 기본 구성은 동일하다. 따라서, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 하며, 상이한 구성에 대해서만 설명하기로 한다. The configuration of the defect inspection system 700 illustrated in FIG. 7 is different from that of FIGS. 2 and 5 in the configuration of the second light source unit 740 and the rest of the basic configuration is the same. Accordingly, descriptions of overlapping configurations will be omitted, and only different configurations will be described.

제2 광원부(740)는 트랜스퍼 챔버(120) 내부, 이송 부재(130) 하부에 위치된다. 제2 광원부(740)는 제1 광원부(210) 또는 카메라(220)를 대면하도록 위치된다. 또한, 제2 광원부(740)는 이송 부재(130) 하부에서 광을 이송 부재 상부로 조사한다.The second light source unit 740 is located inside the transfer chamber 120 and below the transfer member 130. The second light source unit 740 is positioned to face the first light source unit 210 or the camera 220. In addition, the second light source unit 740 irradiates light from the lower portion of the transport member 130 to the upper portion of the transport member.

제2 광원부(740)를 트랜스퍼 챔버(120) 내부에 위치시킨 후 이송 부재(130) 하부에서 광을 조사함으로써 도 6에서와 같은 그림자 영역이 발생하는 문제점을 제거할 수 있는 이점이 있다. 제2 광원부(740)는 컨트롤러(230)와 유선으로 연결될 수 있으며, LED일 수 있다. After the second light source unit 740 is positioned inside the transfer chamber 120, light is irradiated from the lower portion of the transfer member 130, thereby eliminating the problem of a shadow area as illustrated in FIG. 6. The second light source unit 740 may be connected to the controller 230 by wire, and may be an LED.

도 8에는 도 7에 따른 결함 검사 시스템(700)을 통해 촬영된 영상이 도시되어 있다. 도 8을 도 6과 비교하면, 도 6에서 보여지던 증착 패턴과 검사 대상물 사이에 존재하던 그림자 영역이 제거된 것을 알 수 있다. 8 shows an image captured by the defect inspection system 700 according to FIG. 7. Comparing FIG. 8 with FIG. 6, it can be seen that the shadow area existing between the deposition pattern shown in FIG. 6 and the inspection object has been removed.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 10은 도 9의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면이다. 9 is a diagram illustrating a configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 9.

도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(900)은 광원부(910), 카메라(220) 및 컨트롤러(230)를 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 9, a defect inspection system 900 according to another embodiment of the present invention includes a light source unit 910, a camera 220, and a controller 230.

광원부(910)는 트랜스퍼 챔버 내부에 위치된다. 광원부(910)는 카메라(220)와 대면하는 위치에 배치될 수 있다. 보다 상세하게 광원부(910)는 이송 부재 하부에 위치되되, 카메라(220)와 대면하는 위치에 배치될 수 있다. The light source unit 910 is located inside the transfer chamber. The light source unit 910 may be disposed at a position facing the camera 220. In more detail, the light source unit 910 is located under the transfer member, but may be disposed at a position facing the camera 220.

카메라(9)는 도 2 내지 도 8에서 설명한 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(120) 상단에 형성된 뷰 포트(125) 위치에 일치하도록 배치되며, 광원부(910)와 대면하는 위치에 배치된다. The camera 9 is disposed to match the position of the view port 125 formed on the top of the transfer chamber 120 as described with reference to FIGS. 2 to 8, and is disposed at a position facing the light source unit 910.

광원부(910)는 이송 부재(130) 하부에서 광을 조사할 수 있다. 또한, 카메라(220)는 광원부(910)가 이송 부재(130) 하부에서 조사한 광의 투과 특성을 이용하여 검사 대상물 상부를 촬영하여 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. The light source unit 910 may irradiate light from the lower portion of the transfer member 130. In addition, the camera 220 may examine whether an edge defect of the inspection object is detected by photographing the upper portion of the inspection object by using the transmission characteristic of light irradiated from the lower portion of the transfer member 130 by the light source unit 910.

도 10에는 도 9에 따른 결함 검사 시스템(900)에 의해 촬영된 영상이 도시되어 있다. 도 10에서 보여지는 바와 같이, 검사 대상물의 상단에 형성되는 증착 패턴 영역(1010)은 이송 부재(130) 하부에서 조사된 광이 투과되지 못해 보이지 않는 것을 알 수 있다. 검사 대상물 영역(1020)과 이송 부재 영역(1030)은 검사 대상물과 이송 부재의 재질 차이에 따른 서로 다른 광 투과 특성에 따라 각 영역이 정확하게 구별되어 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있음을 알 수 있다. 10 shows an image captured by the defect inspection system 900 according to FIG. 9. As shown in FIG. 10, it can be seen that the deposition pattern region 1010 formed on the top of the object to be inspected is not visible because the light irradiated from the lower portion of the transfer member 130 is not transmitted. It can be seen that the inspection object area 1020 and the transfer member area 1030 are accurately distinguished according to different light transmission characteristics according to the material difference between the inspection object and the transfer member, so that it is possible to inspect the edge defects of the inspection object. I can.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 12는 도 11의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면 촬영된 영상을 도시한 도면이다. FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 11.

도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(1100)의 광원부(1110)는 카메라(220)와 마찬가지로 트랜스퍼 챔버(120) 외부에 각각 배치된다. 즉, 카메라(220)는 트랜스퍼 챔버(120)의 상부에서 트랜스퍼 챔버 내부에 위치된 검사 대상물을 촬영하도록 트랜스퍼 챔버 상부에 배치되는 반면, 광원부(1110)는 트랜스퍼 챔버(120)의 하부에 위치될 수 있다. Referring to FIG. 11, the light source unit 1110 of the defect inspection system 1100 according to another embodiment of the present invention is disposed outside the transfer chamber 120, like the camera 220. That is, the camera 220 is disposed above the transfer chamber to photograph an inspection object located inside the transfer chamber from the top of the transfer chamber 120, while the light source unit 1110 may be located below the transfer chamber 120. have.

이로 인해, 트랜스퍼 챔버(120)의 상단과 하단에는 각각 뷰 포트(125A, 125B)가 형성될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(120)의 상단과 하단에 형성되는 뷰 포트(125A, 125B)의 위치는 서로 대면하는 위치로 수직선상 동일한 위치에 형성될 수 있다. Accordingly, view ports 125A and 125B may be formed at the top and bottom of the transfer chamber 120, respectively. Positions of the view ports 125A and 125B formed at the top and bottom of the transfer chamber 120 may be formed at the same position on a vertical line as positions facing each other.

도 11에 따른 결함 검시 시스템(11)은 광원부(1110)가 트랜스퍼 챔버(120) 하부에서 뷰 포트(125B)를 통해 조사한 광의 투과 특성을 이용하여 트랜스퍼 챔버(120) 상부에서 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. In the defect inspection system 11 according to FIG. 11, the light source unit 1110 photographs an object to be inspected from the upper part of the transfer chamber 120 by using the transmission characteristic of light irradiated through the view port 125B from the lower part of the transfer chamber 120. It can be inspected for defects.

도 12에는 도 11에 따른 결함 검사 시스템(1100)이 촬영한 영상이 도시되어 있다. 도 12에서 보여지는 바와 같이, 검사 대상물의 상단에 형성된 증착 패턴 영역(1210)은 트랜스퍼 챔버(120) 하부에서 조사된 광이 투과되지 않음을 알 수 있다. 또한, 검사 대상물 영역(1220) 이송 부재 영역(1230)은 검사 대상물과 이송 부재의 재질 차이에 따른 서로 다른 광 투과 특성에 따라 각 영역이 정확하게 구별되어 검사 대상물의 에지 결함 검사가 가능함을 알 수 있다. 12 illustrates an image captured by the defect inspection system 1100 according to FIG. 11. As shown in FIG. 12, it can be seen that the light irradiated from the lower portion of the transfer chamber 120 is not transmitted in the deposition pattern region 1210 formed on the upper portion of the object to be inspected. In addition, it can be seen that the inspection object area 1220 and the transfer member area 1230 are accurately distinguished according to different light transmission characteristics according to the material difference between the inspection object and the transfer member, so that edge defect inspection of the inspection object is possible. .

도 11에서는 카메라(220)가 트랜스퍼 챔버(120)의 상부에 배치되며, 광원부(1110)가 트랜스퍼 챔버(120)의 하부에서 광을 조사하는 것으로 도시되어 있다. 그러나, 다른 예를 들어, 도 18에 도시된 바와 같이 카메라(1820a, 1820b)와 광원부(1810a, 1810b)가 각각 복수개 구비될 수도 있다. 즉, 트랜스퍼 챔버(120)의 상단과 하단에 각각 뷰 포트가 형성되며, 트랜스퍼 챔버(120)의 상단에 형성된 뷰 포트 위치에 상응하여 제1 카메라(1820a)와 제1 광원부(1810a)가 배치될 수 있다. 또한, 트랜스퍼 챔버(120)의 하단에 형성된 뷰 포트 위치에 상응하여 제2 카메라(1820b)와 제2 광원부(1810b)가 배치될 수 있다. 이와 같은 경우, 이송 부재가 복수일 수 있으며, 복수의 이송 부재에 의해 복수의 검사 대상물이 이송될 수도 있다. 따라서, 제1 카메라(1820a)는 트랜스퍼 챔버(120)의 상단에 형성된 뷰 포트를 통해 제1 광원부(1810a)에 의해 조사된 광을 이용하여 제1 검사 대상물을 상부에서 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. 또한, 제2 카메라(1820b)는 트랜스퍼 챔버(120)의 하단에 형성된 뷰 포트를 통해 제2 광원부(1810b)에 의해 조사된 광을 이용하여 제2 검사 대상물을 상부에서 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다.In FIG. 11, it is shown that the camera 220 is disposed above the transfer chamber 120 and the light source unit 1110 irradiates light from the lower portion of the transfer chamber 120. However, for another example, as shown in FIG. 18, a plurality of cameras 1820a and 1820b and a plurality of light source units 1810a and 1810b may be provided, respectively. That is, a view port is formed at the top and bottom of the transfer chamber 120, respectively, and the first camera 1820a and the first light source unit 1810a are disposed corresponding to the position of the view port formed at the top of the transfer chamber 120. I can. In addition, the second camera 1820b and the second light source unit 1810b may be disposed corresponding to the position of the view port formed at the bottom of the transfer chamber 120. In this case, there may be a plurality of conveying members, and a plurality of inspection objects may be conveyed by the plurality of conveying members. Accordingly, the first camera 1820a photographs the first object to be inspected from the top using the light irradiated by the first light source unit 1810a through the view port formed on the top of the transfer chamber 120 and inspects for edge defects. can do. In addition, the second camera 1820b photographs the second object to be inspected from the top using the light irradiated by the second light source unit 1810b through the view port formed at the bottom of the transfer chamber 120 and inspects for edge defects. can do.

또한, 결함 검사 시스템(1800)은 제1 광원부(1810a, 1810b) 이외에 제3 광원부(1810c)를 더 구비할 수 있다. 여기서, 제3 광원부(1810c)는 챔버 내부에 위치될 수 있다. 보다 상세하게, 제3 광원부(1810c)는 제1 이송 부재와 제2 이송 부재 사이에 위치될 수 있다. 제1 이송 부재와 제2 이송 부재 사이에 위치된 제3 광원부(1810c)는 복수일 수 있다. 따라서, 제3 광원부(1810c) 중 어느 하나는 제1 이송 부재의 하부에서 제1 검사 대상물을 향해 광을 조사할 수 있으며, 제3 광원부(1810c) 중 다른 하나는 제2 이송 부재의 상부에서 제2 검사 대상물을 향해 광을 조사할 수 있다. In addition, the defect inspection system 1800 may further include a third light source unit 1810c in addition to the first light source units 1810a and 1810b. Here, the third light source unit 1810c may be located inside the chamber. In more detail, the third light source unit 1810c may be positioned between the first transfer member and the second transfer member. There may be a plurality of third light source units 1810c positioned between the first transfer member and the second transfer member. Accordingly, any one of the third light source units 1810c may irradiate light from the lower portion of the first transfer member toward the first inspection object, and the other of the third light source units 1810c may be provided at the top of the second transfer member. 2 Light can be irradiated toward the object to be inspected.

이와 같이, 트랜스퍼 챔버(120) 내부에 별도의 광원부가 구비됨으로써, 제1 카메라(1820a)와 제2 카메라(1820c)는 검사 대상물에 상단에 증착된 증착 패턴과 검사 대상물 사이에 생기는 그림자 등이 제거된 선명한 영상을 확보할 수 있다. 이로 인해, 정확하게 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사할 수 있는 이점이 있다. In this way, by providing a separate light source unit inside the transfer chamber 120, the first camera 1820a and the second camera 1820c remove the deposition pattern deposited on the top of the inspection object and the shadow generated between the inspection object. You can secure a clear image. For this reason, there is an advantage of being able to accurately inspect whether an object to be inspected has an edge defect.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 14는 도 13의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상을 도시한 도면이다. 13 is a diagram illustrating a configuration of a defect inspection system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a diagram illustrating an image captured by the defect inspection system of FIG. 13.

도 13을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(1300)은 제1 광원부(1310a), 제1 광원부(1310b), 카메라(220) 및 컨트롤러(13)를 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 13, a defect inspection system 1300 according to another embodiment of the present invention includes a first light source unit 1310a, a first light source unit 1310b, a camera 220, and a controller 13. .

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 결함 검사 시스템(1300)은 광의 반사 특성과 투과 특성을 이용하여 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. The defect inspection system 1300 according to another embodiment of the present invention may inspect an edge defect by photographing an object to be inspected using reflection and transmission characteristics of light.

이를 위해, 도 11에서 설명한 바와 마찬가지로, 트랜스퍼 챔버(120)의 상단과 하단에는 각각 뷰 포트가 형성될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(120)의 상단과 하단에 형성되는 뷰 포트의 위치는 서로 대면하는 위치로 수직선상 동일한 위치에 형성될 수 있다. To this end, as described with reference to FIG. 11, view ports may be formed at the top and bottom of the transfer chamber 120, respectively. Positions of the view ports formed at the top and bottom of the transfer chamber 120 may be formed at the same position on a vertical line as positions facing each other.

제1 광원부(1310a)는 트랜스퍼 챔버(120)의 상단에 형성된 뷰 포트(125a)를 통해 광을 조사하며, 제1 광원부(1310b)는 트랜스퍼 챔버(120)의 하단에 형성된 뷰 포트(125b)를 통해 광을 조사할 수 있다. The first light source unit 1310a irradiates light through the view port 125a formed on the upper end of the transfer chamber 120, and the first light source unit 1310b includes a view port 125b formed at the lower end of the transfer chamber 120. Light can be irradiated through.

트랜스퍼 챔버(120)의 상단에 형성된 뷰 포트(125a)를 통해 제1 광원부(1310a)에 의해 조사된 광의 일부는 검사 대상물의 상단에서 반사되어 카메라(220)에 의해 수광될 수 있다. 반면, 트랜스퍼 챔버(120)의 하단에 형성된 뷰 포트(125b)를 통해 제1 광원부(1310b)에 의해 조사된 광의 적어도 일부는 검사 대상물 및 이송 부재에 의해 투과되어 카메라(220)에 수광될 수 있다. A portion of the light irradiated by the first light source unit 1310a through the view port 125a formed on the top of the transfer chamber 120 may be reflected from the top of the object to be inspected and received by the camera 220. On the other hand, at least a part of the light irradiated by the first light source unit 1310b through the view port 125b formed at the bottom of the transfer chamber 120 may be transmitted by the inspection object and the transfer member to be received by the camera 220. .

카메라(220)는 제1 광원부(1310a) 및 제1 광원부(1310b)에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물을 상부에서 촬영하여 에지 결함 여부를 검사할 수 있다. The camera 220 may inspect an edge defect by photographing an object to be inspected from above using the light irradiated by the first light source unit 1310a and the first light source unit 1310b.

제1 광원부(1310a) 및 제1 광원부(1310b)는 상호 대면하도록 배치되며, 수직선상에서 동일한 위치에 배치될 수도 있다. The first light source unit 1310a and the first light source unit 1310b are disposed to face each other, and may be disposed at the same position on a vertical line.

도 14에는 도 13의 결함 검사 시스템에 의해 촬영된 영상이 도시되어 있다. 도 14에서 보여지는 바와 같이, 복수의 광을 이용하여 검사 대상물을 상부에서 촬영함으로써, 도 5에서와 같이 반사 부재를 이용하는 경우 발생하는 검사 대상물 상단에 형성된 증착 패턴 영역(1410)과 검사 대상물 영역(1420) 사이에 나타나는 그림자가 발생하지 않음을 알 수 있다. 14 shows an image captured by the defect inspection system of FIG. 13. As shown in FIG. 14, by photographing an inspection object from the top using a plurality of lights, a deposition pattern area 1410 formed on the top of the inspection object and the inspection object area ( 1420).

또한, 도 14에서 보여지는 바와 같이 검사 대상물 영역(1420)과 이송 부재 영역(1430)이 명확하게 구별되어 검사 대상물 에지 결함 여부 검사가 가능함을 알 수 있다. In addition, as shown in FIG. 14, since the inspection object region 1420 and the transfer member region 1430 are clearly distinguished, it can be seen that the inspection object edge defects can be inspected.

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 대상물의 결함 검사 방법을 나타낸 순서도이다. 15 is a flowchart illustrating a method of inspecting a defect of an object to be inspected according to an embodiment of the present invention.

단계 1510에서 결함 검사 시스템(200)은 챔버 일면에 형성된 뷰 포트를 통해 광을 조사한다. In step 1510, the defect inspection system 200 irradiates light through a view port formed on one surface of the chamber.

여기서, 챔버 일면은 챔버의 상단일 수도 있으며, 챔버의 하단일 수도 있다.Here, one surface of the chamber may be the upper end of the chamber or the lower end of the chamber.

단계 1515에서 결함 검사 시스템(200)은 조사된 광을 이용하여 챔버 일면에 형성된 뷰 포트를 통해 챔버 내부에 위치된 검사 대상물을 촬영하여 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사한다. In step 1515, the defect inspection system 200 photographs an inspection object located inside the chamber through a view port formed on one surface of the chamber using the irradiated light, and inspects whether the inspection object has an edge defect.

이는 이미 전술한 바와 동일하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Since this is the same as already described above, a redundant description will be omitted.

도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 대상물의 결함 검사 방법을 나타낸 순서도이다. 16 is a flowchart illustrating a method of inspecting a defect of an inspection object according to another embodiment of the present invention.

단계 1610에서 결함 검사 시스템(200)은 챔버 내부에 배치된 광원부를 통해 이송 부재 하부에서 검사 대상물 상부로 광을 조사한다. In step 1610, the defect inspection system 200 irradiates light from a lower portion of the transfer member to an upper portion of the inspection object through a light source disposed inside the chamber.

단계 1615에서 결함 검사 시스템(200)은 조사된 광을 이용하여 챔버 일면에 형성된 뷰 포트를 통해 챔버 내부에 위치된 검사 대상물을 촬영하여 검사 대상물의 에지 결함 여부를 검사한다. In step 1615, the defect inspection system 200 photographs an inspection object located inside the chamber through a view port formed on one surface of the chamber using the irradiated light, and inspects whether the inspection object has an edge defect.

이는 이미 전술한 바와 동일하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Since this is the same as already described above, a redundant description will be omitted.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the relevant technical field can variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. It will be appreciated that it can be modified and changed.

200: 결함 검사 시스템
210: 광원부
220: 카메라
230: 컨트롤러
240: 비반사 부재
540: 반사 부재200: defect inspection system
210: light source unit
220: camera
230: controller
240: non-reflective member
540: reflective member

Claims (16)

챔버 내부에 위치된 검사 대상물의 결함 검사 시스템에 있어서,
광원부;
상기 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 상부에서 상기 검사 대상물을 촬영하여 상기 검사 대상물의 결함 여부를 검사하는 카메라; 및
상기 챔버 내부에 위치되되, 상기 이송 부재 하부에 위치되며, 상기 광원부를 대면하도록 배치되어 상기 광원부에 의해 조사된 후 상기 검사 대상물 하부에서 광이 반사되는 것을 방지하는 비반사 부재를 포함하되,
상기 비반사 부재의 상단은 소정의 기울기를 가지도록 형성되며,
상기 챔버 일면에는 뷰 포트가 형성되되,
상기 광원부는 상기 뷰 포트를 통해 상기 검사 대상물 상부로 광을 조사하며,
상기 카메라는 상기 검사 대상물 상부로 조사된 후 상기 검사 대상물에 의해 반사된 광을 이용하여 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사하며,
상기 카메라는 챔버 내부 및 챔버 외부 중 적어도 하나에서 상기 검사 대상물을 촬영하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템.
In the defect inspection system of the inspection object located inside the chamber,
Light source unit;
A camera that photographs the inspection object from the upper part of the transfer member on which the inspection object is placed using the light irradiated by the light source to inspect whether the inspection object is defective; And
And a non-reflective member positioned inside the chamber, disposed below the transfer member, and disposed to face the light source unit to prevent light from being reflected from the lower part of the inspection object after being irradiated by the light source unit,
The upper end of the non-reflective member is formed to have a predetermined inclination,
A view port is formed on one side of the chamber,
The light source unit irradiates light onto the inspection object through the view port,
The camera is irradiated to the top of the inspection object and then photographs the inspection object using light reflected by the inspection object to inspect for edge defects,
The camera is a defect inspection system, characterized in that for photographing the inspection object from at least one of the inside of the chamber and the outside of the chamber.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 광원부는,
상기 이송 부재 상부 및 상기 이송 부재 하부 중 적어도 하나에서 상기 검사 대상물을 향해 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템.
The method of claim 1,
The light source unit,
A defect inspection system, wherein at least one of an upper portion of the transfer member and a lower portion of the transfer member irradiates light toward the inspection object.
 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 챔버는 트랜스퍼 챔버이되,
상기 광원부 및 상기 카메라는 상기 챔버가 밀폐된 진공 상태에서 동작되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템.
The method of claim 1,
The chamber is a transfer chamber,
Wherein the light source unit and the camera are operated in a vacuum state in which the chamber is sealed.
 제1 항에 있어서,
상기 광원부 및 상기 카메라는 복수이되,
상기 광원부와 상기 카메라의 개수는 상기 이송 부재에 형성되는 지지 부재의 개수와 동일하며,
상기 지지 부재의 위치에 일치하도록 각각의 광원부와 카메라가 배치되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템.
The method of claim 1,
The light source unit and the camera are plural,
The number of the light source unit and the camera is the same as the number of support members formed on the transfer member,
Each of the light source unit and the camera are arranged to match the position of the support member.
 검사 대상물의 결함 검사 시스템에 있어서,
제1 광원부;
제2 광원부;
상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부에 의해 조사된 광을 이용하여 검사 대상물이 놓여진 이송 부재 상부에서 상기 검사 대상물을 촬영하여 상기 검사 대상물의 결함 여부를 검사하는 카메라; 및
챔버 내부에 위치되되, 상기 이송 부재 하부에 위치되며, 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부 중어느 하나를 대면하도록 배치되어 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부 중 어느 하나에 의해 조사된 후 상기 검사 대상물 하부에서 광이 반사되는 것을 방지하는 비반사 부재를 포함하되,
상기 챔버 일면에는 뷰 포트가 형성되되,
상기 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부 중 적어도 하나는 상기 뷰 포트를 통해 상기 검사 대상물 상부로 광을 조사하며,
상기 카메라는 상기 챔버의 내부 또는 외부를 통해 상기 검사 대상물을 촬영하되, 상기 검사 대상물 상부로 조사된 후 상기 검사 대상물에 의해 반사된 광을 이용하여 상기 검사 대상물을 촬영하여 에지 결함 여부를 검사하는 것을 것을 특징으로 하는 결함 검사 시스템.

In the defect inspection system of the inspection object,
A first light source unit;
A second light source unit;
A camera that photographs the inspection object above the transfer member on which the inspection object is placed using the light irradiated by the first light source unit and the second light source unit to inspect whether the inspection object is defective; And
It is located inside the chamber, is located under the transfer member, and is arranged to face one of the first light source unit and the second light source unit, and the inspection is performed after being irradiated by any one of the first light source unit and the second light source unit. Including a non-reflective member for preventing light from being reflected under the object,
A view port is formed on one side of the chamber,
At least one of the first light source unit and the second light source unit irradiates light onto the inspection object through the view port,
The camera photographs the inspection object through the inside or outside of the chamber, and after irradiating to the top of the inspection object, photographs the inspection object using light reflected by the inspection object to inspect for edge defects. A defect inspection system, characterized in that.

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