KR20150022359A - Inspection-Object Location estimation device using multi camera. - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반사형 표면을 가진 검사 대상물에서 디펙을 검사하는 경우에 표면에 미세한 굴곡이나 높이 차이로 인한 디펙이 존재하는지를 검사하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE
일반적으로 도 1에 도시한 바와 같이, 표면의 디펙을 검사하는 방식은 라인스캔 카메라를 이용하여 이동하는 검사대상물에서의 반사된 빛의 세기를 가지고 기준지점 대비 변화를 감지하여 디펙을 찾아내는 방식을 사용하고 있다.Generally, as shown in FIG. 1, a method of inspecting surface defects is a method of detecting a defocus by detecting a change of a reflected light from a reference point by using a line scan camera .
상기와 같은 경우에는 표면의 패턴 등의 이상을 감지하는데에는 문제가 없으나, 일반적인 광원과 카메라의 구성에서는 표면의 높이 차이나 미세한 굴곡에 의한 이미지의 밝기 차이는 미미하기 때문에 대상물의 표면의 굴곡 이상을 감지하는 데에는 부적합하다.In such a case, there is no problem in detecting an abnormality such as a surface pattern. However, in a general light source and a camera configuration, since the difference in brightness of the image due to the height difference of the surface or the fine bending is insignificant, It is not suitable for.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 특정 각도의 표면 굴곡의 경우에는 한 개의 광원과 복수개의 라인스캔 카메라를 사용하거나, 한 개의 카메라와 복수개의 광원을 사용하여 검사하는 방식을 사용하는 경우도 있으며, 필요에 따라 복수개의 카메라와 복수 개의 광원을 사용하여 검사할 수도 있었다.As shown in Fig. 2, in the case of surface curvature at a specific angle, a method of using a single light source and a plurality of line scan cameras or using a single camera and a plurality of light sources may be used , And may be inspected using a plurality of cameras and a plurality of light sources as necessary.
상기한 두가지의 방식들은 모두 특정 각도(예를 들어, 10도, 20도, 30도...)에서 특정한 곡률 반경을 가진 표면의 돌기가 잘 보이는 것을 이용하나, 무작위스러운 여러 가지의 각도를 가진 디펙의 경우에는 일부의 디펙은 검출이 되나 일부의 디펙은 검출되지 않는 문제가 있었다.Both of the above-described methods utilize a projection of a surface having a specific radius of curvature at a certain angle (for example, 10 degrees, 20 degrees, 30 degrees ...) In the case of the defects, there is a problem that some defects are detected but some defects are not detected.
또한, 광학계의 개수와 복잡도가 증가함으로서 이에 따른 비용 및 셋팅에 시간이 많이 소요된다.Also, as the number and complexity of the optical system are increased, the cost and setting of the optical system are time-consuming.
도 3에 도시한 바와 같이, 정반사 이미지를 사용하지 않고, 광의 조사각과 카메라의 배치각을 다르게 셋팅하여 검사하는 방식이 사용되기도 하나, 산란광을 검출하여 판단하는 방식이므로 표면의 급작스런 단차나 스크래치등에서는 효과가 있지만, 미세한 각도 차이 내지는 큰 곡률반경을 가진 표면의 굴곡의 경우에는 역시 검출하지 못하였다.
As shown in FIG. 3, a method of inspecting and setting the irradiation angle of the light and the camera arrangement angle may be used without using the regular reflection image. However, since the method of detecting scattered light is used, However, it was not detected in the case of fine angular difference or surface curvature with a large radius of curvature.
따라서, 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로,SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art,
본 발명의 목적은 라인 혹은 면 혹은 패턴을 가진 광원과 에어리어 센서를 가진 카메라를 반사면(specula surface, 예를 들어, 필름, 글래스, 도장면 등)을 가진 검사 대상에 반사 구조로 배치한 후 검사 대상에 대한 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하도록 하는데 있다.
The object of the present invention is to arrange a camera having a light source and an area sensor with a line or a plane or pattern as a reflection structure on an inspection object having a specular surface (for example, a film, a glass, a paint surface, To examine the defects with surface curvature to the object.
본 발명이 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여,In order to achieve the object of the present invention,
본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치는,According to an embodiment of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting defects having surface deflection,
라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;A light source (100) for providing a light beam of any one of a line, a surface, and a pattern to an object to be inspected;
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;A
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되어 본 발명의 과제를 해결하게 된다.
And an inspection terminal (300) for acquiring an image obtained by the camera unit and inspecting a change in the position and shape of the image due to the surface bending, thereby solving the problems of the present invention.
본 발명에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치는,An apparatus for inspecting defects having surface deflection according to the present invention comprises:
라인 혹은 면 혹은 패턴을 가진 광원과 에어리어 센서를 가진 카메라를 반사면(specula surface, 예를 들어, 필름, 글래스, 도장면 등)을 가진 검사 대상에 반사 구조로 배치하여 카메라에서 획득된 이미지를 검사단말기에서 제공받아 검사 대상에 대한 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사할 수 있는 효과를 제공한다.
A camera with a light source and area sensor in line or surface or pattern is placed in a reflective structure on a specular surface (eg, film, glass, paint surface, etc.) And provides an effect of being able to inspect the defects having surface curvature with respect to the object to be inspected.
도 1은 종래의 라인스캔 카메라를 이용한 디펙 검사 예를 나타낸 예시도이다.
도 2는 종래의 한 개의 광원과 복수개의 라인스캔 카메라를 사용하거나, 한 개의 라인스캔 카메라와 복수개의 광원을 이용한 디펙 검사 예를 나타낸 예시도이다.
도 3은 종래의 산란빛을 이용한 디펙 검사 예를 나타낸 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 광원과 카메라부의 위치를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 표면 굴곡시 이미징이 이격되는 예를 나타낸 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 FOV 전체에 걸쳐 곡면이 있는 경우에 위치 변동을 나타낸 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 FOV 일부에 돌출 혹은 함몰이 있는 경우에 부분적인 이미지 변동을 나타낸 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 검사단말기 블록도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.FIG. 1 is an exemplary view showing an example of a defective inspection using a conventional line scan camera.
2 is a diagram illustrating an example of a conventional detec- tive test using one light source and a plurality of line scan cameras or one line scan camera and a plurality of light sources.
3 is an exemplary view showing an example of a defected inspection using a conventional scattered light.
4 is an exemplary view showing the positions of a light source and a camera unit of an apparatus for inspecting defects having surface deflection according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an illustration showing an example in which the imaging is spaced apart during surface deflection of an apparatus for inspecting defects with surface deflection according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an exemplary view showing a positional variation when there is a curved surface throughout the FOV of an apparatus for inspecting a deflection with surface deflection according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 7 is an exemplary view showing a partial image variation when protrusions or depressions are present in a part of the FOV of an apparatus for inspecting defects having surface deflection according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 is an inspection terminal block diagram of an apparatus for inspecting defects having surface deflection according to an embodiment of the present invention.
9 is a flow chart illustrating a method for inspecting defects with surface curvature according to an embodiment of the present invention.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치는,According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting defects having surface defects,
라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;A light source (100) for providing a light beam of any one of a line, a surface, and a pattern to an object to be inspected;
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;A
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And an inspection terminal (300) for acquiring an image obtained by the camera unit and inspecting a change in the position and shape of the image due to the bending of the surface.
한편, 다른 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치는,On the other hand, an apparatus for inspecting defects having surface deflection according to another embodiment includes:
라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;A light source (100) for providing a light beam of any one of a line, a surface, and a pattern to an object to be inspected;
상기 광원의 온오프, 밝기, 패턴, 트리거, 모듈레이션을 제어하기 위한 광원제어부(150)와;A light
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;A
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And an inspection terminal (300) for acquiring an image obtained by the camera unit and inspecting a change in the position and shape of the image due to the bending of the surface.
이때, 상기 검사단말기(300)는,At this time, the
카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득부(310)와,An image obtaining unit (310) for obtaining a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance interval of the inspection target;
검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리부(320)와,A preprocessing
에어리어 센서를 포함한 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 검사부(330)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And an
이때, 상기 검사대상물은,At this time,
글래스, 막, 필름인 것을 특징으로 한다.Glass, a film, and a film.
이때, 상기 광원과 카메라부를 포함한 광학계를 이송시키거나, 검사 대상물을 이송시키면서 촬영된 이미지를 검사단말기에서 획득하는 것을 특징으로 한다.At this time, the optical system including the light source and the camera unit is transferred, or the photographed image is acquired in the inspection terminal while the inspection object is transferred.
이때, 상기 검사단말기(300)는,At this time, the
광원과 카메라부를 포함한 광학계에 구성된 이송수단 혹은 검사 대상물을 이동시키는 검사대상이송부에 이송 명령을 송출하는 이송제어부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And a transfer control unit configured to transfer a transfer command to the transfer unit or an inspection object configured to transfer the inspection object to the transfer unit, the transfer unit configured to the optical system including the light source and the camera unit.
한편, 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법은,On the other hand, as a method of inspecting defects having surface curvature,
이미지획득부(310)가 카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득단계(S100)와;An image obtaining step (S100) for the image obtaining unit (310) to obtain a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance between inspection targets;
전처리부(320)가 검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리단계(S200)와;A preprocessing step (S200) for removing noise or a background pattern from the obtained image so that the preprocessing unit (320) facilitates inspection;
검사부(330)가 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 디펙검출단계(S300);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.And a defective detection step (S300) for detecting the defocus by detecting a change in shape or position of the light source imaged on the camera unit by the inspection unit (330).
이때, 상기 검사대상물은,At this time,
글래스, 막, 필름인 것을 특징으로 한다.Glass, a film, and a film.
이하, 본 발명에 의한 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 실시예를 통해 상세히 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of an apparatus for inspecting defects with surface defects according to the present invention will be described in detail.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.4 is a block diagram schematically showing an apparatus for inspecting defects having a surface deflection according to an embodiment of the present invention.
도 4에 도시한 바와 같이, 라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;As shown in FIG. 4, a
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;A
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되게 된다.And an
상기 반사면(specula surface)은 예를 들어, 필름, 글래스, 도장면 등을 의미한다.The specula surface means, for example, a film, glass, painted surface or the like.
한편, 본 발명에서는 이송없이 정지 상태로 검출하는 것으로 설명하고 있으나, 부가적으로 검사 대상을 이송시키거나, 광원과 카메라를 포함하여 구성된 광학계를 이송시키면서 검출할 수도 있다.In the present invention, it is described that detection is performed in a stationary state without transfer, but it is also possible to transfer an inspection object or detect an optical system including a light source and a camera while transferring the inspection object.
상기 카메라부는 검사 대상물에서 반사된 광원의 상을 이미징하는 것이다.The camera unit images the image of the light source reflected from the object to be inspected.
예를 들어, 평평한 표면의 경우, 광원의 모양이나 패턴이 그대로 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)에 이미징되는 것이다.For example, in the case of a flat surface, the shape or pattern of the light source is directly imaged on the
만약 표면에 요철이 존재하는 경우에는 광선의 경로가 변하여 에어리어 센서에 맺히는 이미지의 위치가 변경된다.If irregularities exist on the surface, the path of the light beam changes and the position of the image formed on the area sensor changes.
종래는 밝기의 변화를 감지하여 검사하지만, 본 발명에서는 이미지상의 위치 혹은 모양의 변화를 이용하여 검사하는 것이다.Conventionally, a change in brightness is detected and inspected. In the present invention, however, inspection is performed using a change in position or shape on an image.
한편, 도 5는 표면에 굴곡이 존재하는 경우에 이미징하는 예를 나타낸 예시도로서, 표면에 굴곡이 α만큼 존재하는 경우에 0 점에 이미징되던 광원은 ㅿ = dㆍtan 2α 떨어진 위치에 이미징되게 된다.5 illustrates an example of imaging in the presence of curvature on the surface. In the case where the curvature is present on the surface by a, the light source imaged at the
이때, 에어리어 센서의 픽셀사이즈가 x 라고 하면, 기준위치대비 n=ㅿ/x 픽셀만큼 이격되어 이미징되게 된다.At this time, if the pixel size of the area sensor is x, it is imaged by n = ㅿ / x pixels relative to the reference position.
상기 n은 이격픽셀수이다.N is the number of spacing pixels.
예를 들어, ㅿ가 100㎛이며, x 가 10㎛ 이라면, n=100㎛/10㎛이 되므로 10 픽셀만큼 이격된 것이다.For example, if ㅿ is 100 탆 and x is 10 탆, then n = 100 탆 / 10 탆, which is 10 pixels apart.
한편, 도 6에 도시한 바와 같이, FOV 전체에 걸쳐 곡면이 있는 경우에 광원이 이미징되는 위치가 전체적으로 변동되게 되는 것이며, 도 7에 도시한 바와 같이, FOV 내 일부 영역의 돌출 혹은 함몰이 있는 경우에는 부분적으로 이미지가 변하게 된다.On the other hand, as shown in Fig. 6, when the curved surface exists over the entire FOV, the position where the light source is imaged is totally fluctuated. As shown in Fig. 7, The image is partially changed.
즉, 매 픽셀마다 정위치에 있는 지를 확인하는 것이기 때문에 특정 위치 변화를 확인할 수 있는 것이다.In other words, it is possible to confirm a specific position change since it is confirmed whether or not each pixel is in a fixed position.
본 발명의 검사단말기는 픽셀의 위치 변화를 검사하여 표면의 굴곡을 확인하는 것이다.The inspection terminal of the present invention checks the change of the position of the pixel to check the surface curvature.
기존의 표면의 반사도 차이를 이용하여 결함을 검출하는 방식이 대상의 표면의 색상이나 특이점이 없이 굴곡만 있는 경우에 결함이 잘 보이지 않는데 반하여 본 발명의 경우에는 결함으로 인하여 생기는 표면의 굴곡 차이를 이미지의 모양의 변화로 인지할 수 있도록 하기 때문에 결함의 검출이 가능하게 된다.Defects are not clearly visible when the method of detecting defects using the difference in reflectivity of existing surfaces has only a curvature without any color or singularity of the surface of the object, whereas in the case of the present invention, the difference in surface curvature caused by defects So that it is possible to detect defects.
일반적인 방식에서는 표면의 요철로 인한 이미지의 밝기 변화를 감지하는 반면에 본 발명에서는 표면의 요철로 이미지의 위치 및 모양의 변화를 감지하게 된다.In the general method, the change of the brightness of the image due to the unevenness of the surface is sensed, whereas in the present invention, the change of the position and the shape of the image is detected by the unevenness of the surface.
이로 인하여 표면의 미세한 변화에서 검사에 충분한 데이터를 획득할 수 있다.As a result, sufficient data for inspection can be obtained from minute changes of the surface.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치의 검사단말기 블록도이다.8 is an inspection terminal block diagram of an apparatus for inspecting defects having surface deflection according to an embodiment of the present invention.
도 8에 도시한 바와 같이, 검사단말기(300)는,As shown in Fig. 8, the
카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득부(310)와,An image obtaining unit (310) for obtaining a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance interval of the inspection target;
검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리부(320)와,A
에어리어 센서를 포함한 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 검사부(330)를 포함하여 구성되게 된다.And an
상기 이미지획득부(310)는 카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하게 되며, 전처리부(320)에서는 검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하게 된다.The
이때, 상기 검사부(330)는 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하게 되는 것이다.At this time, the
한편, 부가적인 양상에 따라 본 발명의 장치는 광원의 온오프, 밝기, 패턴, 트리거, 모듈레이션을 제어하기 위한 광원제어부(150);를 더 포함하여 구성할 수 있다.According to an additional aspect, the apparatus of the present invention may further include a light
한편, 부가적인 양상에 따라 상기 광원과 카메라부로 구성된 광학계를 이송시키거나, 검사 대상물을 이송시키면서 촬영된 이미지를 검사단말기에서 획득하는 것을 특징으로 한다.In addition, the optical system configured by the light source and the camera unit is transferred according to an additional aspect, or the photographed image is acquired by the inspection terminal while the inspection object is transferred.
즉, 광원과 카메라부를 포함한 광학계에 이송수단을 구성하고 이를 이송시키면서 촬영할 수도 있다.That is, it is also possible to construct a transfer means in an optical system including a light source and a camera portion, and take a photograph while transferring the transfer means.
또는, 검사대상물에 검사대상이송부를 구성할 경우에는 검사 대상물을 이송시키면서 촬영할 수도 있다.Alternatively, when the object to be inspected constitutes the object to be inspected, the object to be inspected may be transferred while being taken.
이를 위하여 상기 검사단말기(300)는,To this end, the inspection terminal (300)
광원과 카메라부로 구성된 광학계 혹은 검사대상이송부에 이송 명령을 송출하는 이송제어부를 더 포함하여 구성되게 된다.An optical system including a light source and a camera unit, or a transfer control unit for sending a transfer command to the inspection object.
상기 이송수단 혹은 검사대상이송부의 구성 및 동작 원리는 알려진 기술이므로 상세한 설명은 생략하겠다.Since the configuration and operation principle of the conveying means or the object to be inspected are known technologies, a detailed description will be omitted.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.9 is a flow chart illustrating a method for inspecting defects with surface curvature according to an embodiment of the present invention.
도 9에 도시한 바와 같이, 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법은,As shown in Fig. 9, a method of inspecting a deflect having a surface curvature,
이미지획득부(310)가 카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득단계(S100)와;An image obtaining step (S100) for the image obtaining unit (310) to obtain a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance between inspection targets;
전처리부(320)가 검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리단계(S200)와;A preprocessing step (S200) for removing noise or a background pattern from the obtained image so that the preprocessing unit (320) facilitates inspection;
검사부(330)가 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 디펙검출단계(S300);를 포함하여 이루어지게 된다.And a defective detection step (S300) for detecting the defocus by detecting a change in shape or position of the light source imaged on the camera unit by the
즉, 이미지획득부(310)가 카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득(S100)하게 되며, 전처리부(320)가 검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거(S200)하게 되며, 검사부(330)가 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출(S300)하게 되는 것이다.That is, the
이상에서와 같은 내용의 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시된 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. It will be appreciated by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is to be understood, therefore, that the embodiments described above are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구 범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
100 : 광원
200 : 에어리어 센서를 포함한 카메라부
300 : 검사단말기100: Light source
200: a camera section including an area sensor
300: Inspection terminal
Claims (8)
라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.
An apparatus for checking defects,
A light source (100) for providing a light beam of any one of a line, a surface, and a pattern to an object to be inspected;
A camera unit 200 including an area sensor disposed at a reflection position to obtain a light beam reflected by an inspection object having a reflection surface;
And an inspection terminal (300) for acquiring an image obtained by the camera unit and inspecting a change of an image position and a shape due to surface bending. Device.
라인, 면, 패턴 중 어느 하나의 광선을 검사대상물에 제공하는 광원(100)과;
상기 광원의 온오프, 밝기, 패턴, 트리거, 모듈레이션을 제어하기 위한 광원제어부(150)와;
반사면을 가진 검사대상물에 반사되는 광선을 획득하기 위하여 반사 위치에 배치되는 에어리어 센서를 포함한 카메라부(200)와;
상기 카메라부에 의해 획득된 이미지를 획득하여 표면의 굴곡으로 인하여 이미지의 위치 및 모양의 변화를 검사하기 위한 검사단말기(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.An apparatus for checking defects,
A light source (100) for providing a light beam of any one of a line, a surface, and a pattern to an object to be inspected;
A light source control unit 150 for controlling ON / OFF, brightness, pattern, trigger, and modulation of the light source;
A camera unit 200 including an area sensor disposed at a reflection position to obtain a light beam reflected by an inspection object having a reflection surface;
And an inspection terminal (300) for acquiring an image obtained by the camera unit and inspecting a change of an image position and a shape due to surface bending. Device.
상기 검사단말기(300)는,
카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득부(310)와,
검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리부(320)와,
에어리어 센서를 포함한 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 검사부(330)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The inspection terminal (300)
An image obtaining unit (310) for obtaining a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance interval of the inspection target;
A preprocessing unit 320 for removing noise or a background pattern from the acquired image so as to facilitate inspection,
And an inspection unit (330) for detecting a change in the shape or position of the light source imaged on the camera unit including the area sensor to detect the defocus.
상기 검사대상물은,
글래스, 막, 필름인 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The object to be inspected,
Wherein the device is a glass, a film, or a film.
상기 광원과 카메라부를 포함한 광학계를 이송시키거나, 검사 대상물을 이송시키면서 촬영된 이미지를 검사단말기에서 획득하는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the inspection terminal obtains the photographed image while transferring the optical system including the light source and the camera unit or while transferring the inspection object.
상기 검사단말기(300)는,
광원과 카메라부를 포함한 광학계에 구성된 이송수단 혹은 검사 대상물을 이동시키는 검사대상이송부에 이송 명령을 송출하는 이송제어부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The inspection terminal (300)
The apparatus according to claim 1, further comprising a transferring unit configured to transfer an inspection command to the transfer unit or an inspection object configured to transfer the inspection object to the optical unit including the light source and the camera unit.
이미지획득부(310)가 카메라부로부터 검사 대상의 복수 개 이미지를 정해진 시간 간격 혹은 검사 대상의 거리 간격에 맞추어 획득하기 위한 이미지획득단계(S100)와;
전처리부(320)가 검사가 용이하도록 획득된 이미지에서 노이즈나 배경 패턴을 제거하기 위한 전처리단계(S200)와;
검사부(330)가 카메라부에 이미징된 광원의 모양이나 위치의 변화를 감지하여 디펙을 검출하기 위한 디펙검출단계(S300);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법.In a method for examining a defect,
An image obtaining step (S100) for the image obtaining unit (310) to obtain a plurality of images to be inspected from the camera unit according to a predetermined time interval or a distance between inspection targets;
A preprocessing step (S200) for removing noise or a background pattern from the obtained image so that the preprocessing unit (320) facilitates inspection;
And a defective detection step (S300) for detecting a defocus by sensing a change in shape or position of a light source imaged on the camera unit by the inspection unit (330).
상기 검사대상물은,
글래스, 막, 필름인 것을 특징으로 하는 표면 굴곡을 가진 디펙을 검사하는 방법.
8. The method of claim 7,
The object to be inspected,
A method for inspecting defects having a surface curvature characterized by being a glass, a film, and a film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20130100083A KR20150022359A (en) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | Inspection-Object Location estimation device using multi camera. |
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|---|---|---|---|
| KR20130100083A KR20150022359A (en) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | Inspection-Object Location estimation device using multi camera. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150022359A true KR20150022359A (en) | 2015-03-04 |
Family
ID=53020375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20130100083A KR20150022359A (en) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | Inspection-Object Location estimation device using multi camera. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20150022359A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106525869A (en) * | 2016-11-09 | 2017-03-22 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | Glass edge defect detection method, as well as device and system thereof |
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2013
- 2013-08-23 KR KR20130100083A patent/KR20150022359A/en not_active Application Discontinuation
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