KR102231552B1 - Chuck table mechanism - Google Patents

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 튜브를 사용하지 않고 척 테이블을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지함과 함께, 메인터넌스 시간을 단축시키는 것.
(해결 수단) 척 테이블 기구 (50) 는, 외부 흡인원 (94) 에 접속된 고정 기대 (52) 와, 고정 기대에 대하여 회전 가능하게 배치 형성된 회전 수단 (51) 을 구비하고, 회전 수단의 상부에 장착된 척 테이블 (40) 을 고정 기대에 대하여 회전 가능하게 지지하고 있다. 회전 수단에는, 고정 기대에 대하여 회전 가능하게 배치 형성된 회전 기대 (54) 와, 회전 기대의 회전 중심 위치에 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정된 삽입부 (55) 가 형성되고, 삽입부의 걸어맞춤 단부 (72) 가 고정 기대의 걸어맞춤 오목부 (73) 에 걸어맞춰짐으로써 삽입부 내의 흡인 경로 (95) 가 고정 기대의 연통 경로 (97) 에 연결됨과 함께, 걸어맞춤 단부와 걸어맞춤 오목부의 대향면이 시일링 (84) 으로 시일되는 구성으로 하였다.(Task) To reduce maintenance time while supporting the chuck table so that it can be rotated and sucked without using a tube.
(Solving means) The chuck table mechanism 50 includes a fixed base 52 connected to the external suction source 94, and a rotation means 51 disposed rotatably with respect to the fixed base, and the upper portion of the rotation means The chuck table 40 attached to it is rotatably supported with respect to the fixed base. The rotating means is provided with a rotating base 54 arranged to be rotatable with respect to the fixed base, and an insertion part 55 fixed so as to be freely attached to and detached from the rotation center position of the rotating base, and engaging end 72 of the insertion part ) Is engaged with the engaging recess 73 of the fixed base, so that the suction path 95 in the insertion part is connected to the communication path 97 of the fixed base, and the engaging end and the opposite surface of the engaging recess are It was set as the structure sealed with the sealing ring 84.

Description

척 테이블 기구{CHUCK TABLE MECHANISM}Chuck table mechanism {CHUCK TABLE MECHANISM}

본 발명은, 가공 장치에 있어서 피가공물을 유지하는 척 테이블 기구에 관한 것이다.The present invention relates to a chuck table mechanism for holding a workpiece in a processing apparatus.

반도체 웨이퍼 등의 피가공물의 표면은 격자상의 스트리트 (절단 라인) 에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있고, 이 스트리트로 구획된 각 영역에 IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다. 디바이스 제조 공정에 있어서는, 스트리트를 따라 피가공물을 절단함으로써 개개의 디바이스 칩이 제조된다. 피가공물의 분할은 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 의해 실시되고 있다. 각 가공 장치에는, 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블을 고정 기대 상에 회전 가능하게 배치 형성한 척 테이블 기구가 형성되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).The surface of a workpiece, such as a semiconductor wafer, is divided into a plurality of regions by grid-like streets (cutting lines), and devices such as ICs and LSIs are formed in each region divided by the streets. In the device manufacturing process, individual device chips are manufactured by cutting a workpiece along a street. The division of the workpiece is performed by a processing device such as a cutting device or a laser processing device. Each processing apparatus is provided with a chuck table mechanism in which a chuck table for sucking and holding a workpiece is rotatably disposed on a fixed base (see, for example, Patent Document 1).

척 테이블 기구는, 고정 기대에 대하여 척 테이블을 회전 가능하게 구성함과 함께, 척 테이블의 유지면에 부압을 작용시킬 필요가 있다. 이 때문에, 척 테이블 기구에 로터리 조인트 구조를 채용한 것이 제안되어 있다. 척 테이블과 회전 기대의 조인트 지점에는 복수의 튜브가 설치된 멀티 이음매가 형성되고, 멀티 이음매로부터 고정 기대 내를 통과하여 튜브가 흡인원에 접속된다. 척 테이블의 유지면에는 튜브를 통하여 흡인력이 부여되고, 척 테이블의 회전은 튜브에 저해되지 않는다.The chuck table mechanism is required to make the chuck table rotatable with respect to the fixed base and to apply negative pressure to the holding surface of the chuck table. For this reason, it has been proposed to employ a rotary joint structure for the chuck table mechanism. A multi-joint provided with a plurality of tubes is formed at a joint point between the chuck table and the rotating base, and the tube is connected to the suction source through the inside of the fixed base from the multi-joint. A suction force is applied to the holding surface of the chuck table through the tube, and rotation of the chuck table is not inhibited by the tube.

일본 공개특허공보 2015-036179호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-036179

그런데, 가공 동작 중에 척 테이블이 회전 구동되면, 척 테이블의 회전에 수반하여 각 튜브에 비틀림이 발생한다. 가공 동작이 거듭되어 각 튜브의 비틀림이 반복되면, 각 튜브에 피로가 축적되어 열화되고, 또한 튜브의 이음매 부분이 파손되어 척 테이블 기구 내에 파편이 퇴적된다. 이 때문에, 오퍼레이터에게 있어서 튜브의 교환 작업이나 청소 작업이 번거로워, 장시간의 메인터넌스가 필요해진다는 문제가 있었다.However, when the chuck table is rotationally driven during the machining operation, twisting occurs in each tube along with the rotation of the chuck table. When the processing operation is repeated and the twisting of each tube is repeated, fatigue accumulates and deteriorates in each tube, and the joint portion of the tube is broken, and debris is deposited in the chuck table mechanism. For this reason, there has been a problem that the operator is cumbersome to replace the tube and the cleaning operation, and a long period of maintenance is required.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 튜브를 사용하지 않고 척 테이블을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지함과 함께, 메인터넌스 시간을 단축시킬 수 있는 것이 가능한 척 테이블 기구를 제공하는 것을 목적 중 하나로 한다.The present invention has been made in view of these points, and one object of the present invention is to provide a chuck table mechanism capable of reducing maintenance time while supporting the chuck table so as to be rotatable and suckable without using a tube. do.

본 발명의 일 양태의 척 테이블 기구는, 피가공물을 상면에 흡인 유지하는 척 테이블을 상부에 장착하여 회전 가능하게 지지하는 척 테이블 기구로서, 외부 흡인원에 연통되는 연통 경로가 내부에 형성된 고정 기대와, 그 고정 기대의 상방에 회전 가능하게 배치 형성되어 상부에 척 테이블을 장착하는 회전 수단을 구비하고, 그 회전 수단은, 그 고정 기대 상방에 회전 가능하게 배치 형성된 회전 기대와, 회전 중심에 그 회전 기대에 대하여 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되고 또한 그 고정 기대에 삽입 가능하게 구성된 삽입부를 구비하고, 그 삽입부는, 그 척 테이블 상면에 흡인력을 전달하는 흡인 경로가 내부에 형성되고, 그 고정 기대의 걸어맞춤 오목부에 걸어맞춰지는 걸어맞춤 단부 (端部) 를 구비하고, 그 걸어맞춤 단부가 그 걸어맞춤 오목부에 걸어맞춰지면, 그 걸어맞춤 단부의 외주벽과 그 고정 기대의 그 걸어맞춤 오목부의 내벽 사이에서 시일링으로 시일됨과 함께, 그 연통 경로와 그 흡인 경로가 연결되는 것을 특징으로 한다.A chuck table mechanism according to an aspect of the present invention is a chuck table mechanism for rotatably supporting a chuck table for suctioning and holding a workpiece on an upper surface, and a fixed base having a communication path communicating with an external suction source formed therein. And, a rotating means rotatably disposed above the fixed base and mounted on a chuck table thereon, and the rotating means includes a rotating base rotatably disposed above the fixed base, and a rotational base rotatably disposed above the fixed base, It has an insertion part fixed so as to be freely attachable and detachable with respect to the rotating base and configured to be inserted into the fixing base, and the insertion part has a suction path for transmitting a suction force to the upper surface of the chuck table. An engaging end is provided that engages with the engaging recess, and when the engaging end engages the engaging recess, the outer peripheral wall of the engaging end and the engaging recess of the fixed base are provided. It is characterized in that the communication path and the suction path are connected to each other while being sealed with a sealing ring between the inner walls of the negative.

이 구성에 의하면, 고정 기대에 회전 수단이 회전 가능하게 배치 형성됨과 함께, 회전 수단에 형성된 삽입부가 고정 기대에 삽입되어, 삽입부의 흡인 경로와 고정 기대의 연통 경로가 연통된다. 이로써, 고정 기대의 연통 경로 및 삽입부의 흡인 경로를 통하여, 외부 흡인원으로부터의 흡인력이 척 테이블에 부여된다. 또, 삽입부의 걸어맞춤 단부가 고정 기대의 걸어맞춤 오목부에 걸어맞춰지고, 걸어맞춤 단부의 외주벽과 걸어맞춤 오목부의 내벽 사이가 시일링으로 기밀하게 시일된다. 따라서, 에어 리크를 발생시키지 않고, 척 테이블을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지할 수 있다. 또, 삽입부의 흡인 경로와 고정 기대의 연통 경로에 의해 1 개의 경로가 형성되기 때문에, 경로 내에서의 압력 손실을 줄여 흡인력의 향상이 도모된다. 또한, 회전 수단의 회전 기대로부터 삽입부를 분리하여, 고정 기대의 걸어맞춤 오목부로부터 삽입부의 걸어맞춤 단부를 인발한다는 간이한 작업으로, 시일링을 상방으로부터 용이하게 교환 가능하여, 메인터넌스 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.According to this configuration, while the rotating means is rotatably disposed on the fixed base, the insertion portion formed in the rotating means is inserted into the fixed base, so that the suction path of the insertion part and the communication path of the fixed base communicate. Thereby, the suction force from the external suction source is applied to the chuck table through the communication path of the fixed base and the suction path of the insertion part. Further, the engaging end of the insertion portion is engaged with the engaging recess of the fixed base, and the space between the outer circumferential wall of the engaging end and the inner wall of the engaging recess is hermetically sealed with a sealing ring. Therefore, it is possible to support the chuck table so as to be rotatable and capable of suction without causing air leakage. Further, since one path is formed by the suction path of the insertion portion and the communication path of the fixed base, pressure loss in the path is reduced, and the suction force is improved. In addition, it is a simple operation of separating the insertion part from the rotating base of the rotating means and pulling out the engaging end of the insertion part from the engaging concave part of the fixed base, and the sealing ring can be easily replaced from above, significantly reducing maintenance time. I can make it.

또, 본 발명의 일 양태의 척 테이블 기구에 있어서, 그 회전 수단은 그 고정 기대에 베어링으로 유지되어 있고, 그 고정 기대에는, 그 회전 수단을 회전시키는 회전 모터를 구비한다.Further, in the chuck table mechanism of one aspect of the present invention, the rotating means is held by a bearing on the fixed base, and the fixed base includes a rotation motor for rotating the rotating means.

본 발명에 의하면, 튜브를 사용하지 않고, 척 테이블을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지할 수 있다. 또, 삽입부를 분리한다는 간이한 작업으로, 시일링을 상방으로부터 용이하게 교환할 수 있기 때문에, 시일링의 교환 작업에 필요로 하는 메인터넌스 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to support the chuck table so that it can be rotated and sucked without using a tube. In addition, since the sealing ring can be easily replaced from above by a simple operation of removing the insertion portion, the maintenance time required for the sealing ring replacement operation can be greatly shortened.

도 1 은 본 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다.
도 2 는 비교예의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다.
도 3 은 본 실시형태의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다.
도 4 는 본 실시형태의 시일링의 교환 작업의 설명도이다.1 is a perspective view of a cutting device according to the present embodiment.
2 is a schematic cross-sectional view of a chuck table mechanism of a comparative example.
3 is a schematic cross-sectional view of the chuck table mechanism of the present embodiment.
Fig. 4 is an explanatory diagram of the sealing ring replacement operation according to the present embodiment.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태의 척 테이블 기구를 구비한 절삭 장치에 대해 설명한다. 도 1 은 본 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다. 도 2 는 비교예의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 절삭 장치에 척 테이블 기구를 구비하는 구성을 예시하여 설명하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 척 테이블 기구는, 예를 들어, 레이저 가공 장치나 연삭 장치 등의 다른 가공 장치에 구비되어도 된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a cutting apparatus equipped with the chuck table mechanism of this embodiment is demonstrated. 1 is a perspective view of a cutting device according to the present embodiment. 2 is a schematic cross-sectional view of a chuck table mechanism of a comparative example. In addition, in the following description, although the configuration including the chuck table mechanism in the cutting device is illustrated and described, it is not limited to this configuration. The chuck table mechanism may be provided in another processing device such as a laser processing device or a grinding device, for example.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (40) 상의 피가공물 (W) 을 절삭 블레이드 (26) 로 절삭하여, 개개의 디바이스 칩으로 분할하도록 구성되어 있다. 피가공물 (W) 은 장방형상의 패키지 기판이며, 기판 표면은 격자상의 스트리트로 구획되고, 스트리트로 구획된 각 영역에 각종 디바이스가 형성되어 있다. 또한, 피가공물 (W) 은, CSP (Chip Size Package) 기판, 웨이퍼 레벨 CSP (Wafer Level Chip Size Package) 기판 등의 소형의 패키지 기판에 한정되지 않고, CSP 기판 등보다 사이즈가 큰 패키지 기판이어도 된다.As shown in FIG. 1, the cutting device 1 is configured to cut the workpiece W on the chuck table 40 with a cutting blade 26 and divide it into individual device chips. The workpiece W is a rectangular package substrate, and the surface of the substrate is divided into grid-like streets, and various devices are formed in each region divided by the streets. In addition, the workpiece W is not limited to a small package substrate such as a CSP (Chip Size Package) substrate or a wafer level CSP (Wafer Level Chip Size Package) substrate, and may be a package substrate having a larger size than a CSP substrate. .

절삭 장치 (1) 의 하우징 (10) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 사각형상의 개구가 형성되어 있고, 이 개구는 척 테이블 (40) 과 함께 이동 가능한 이동판 (11) 및 주름상자상의 방수 커버 (12) 에 의해 피복되어 있다. 방수 커버 (12) 의 하방에는, 척 테이블 (40) 을 X 축 방향으로 이동시키는 도시가 생략된 볼 나사식의 이동 기구가 형성되어 있다. 척 테이블 (40) 의 표면에는, 다수의 흡인구에 의해 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 유지면 (41) 이 형성되어 있다. 유지면 (41) 은, 척 테이블 (40) 내의 유체 경로를 통하여 흡인원에 접속되고, 유지면 (41) 에 발생하는 부압에 의해 피가공물 (W) 이 흡인 유지된다.In the upper surface of the housing 10 of the cutting device 1, a rectangular opening extending in the X-axis direction is formed, and this opening is a moving plate 11 movable together with the chuck table 40, and a waterproof corrugated box It is covered with the cover 12. Below the waterproof cover 12, a ball screw type movement mechanism (not shown) for moving the chuck table 40 in the X-axis direction is formed. On the surface of the chuck table 40, a holding surface 41 that sucks and holds the workpiece W is formed by a plurality of suction ports. The holding surface 41 is connected to a suction source through a fluid path in the chuck table 40, and the workpiece W is suction-held by the negative pressure generated on the holding surface 41.

척 테이블 (40) 은, 장치 중앙의 수수 위치와 절삭 수단 (24) 에 면하는 가공 위치 사이에서 왕복 이동된다. 도 1 은 척 테이블 (40) 이 수수 위치에 대기한 상태를 나타내고 있다. 하우징 (10) 에 있어서, 이 수수 위치에 인접한 하나의 모서리부가 한 단 낮춰져 있고, 낮춰진 지점에 재치 (載置) 테이블 (14) 이 승강 가능하게 형성되어 있다. 재치 테이블 (14) 에는, 피가공물 (W) 을 수용한 카세트 (C) 가 재치된다. 카세트 (C) 가 재치된 상태로 재치 테이블 (14) 이 승강됨으로써, 높이 방향에 있어서 피가공물 (W) 의 인출 위치 및 압입 위치가 조정된다.The chuck table 40 is reciprocated between a receiving position in the center of the apparatus and a machining position facing the cutting means 24. Fig. 1 shows a state in which the chuck table 40 is waiting at the receiving position. In the housing 10, one corner portion adjacent to the receiving position is lowered one step, and a mounting table 14 is formed so as to be able to move up and down at the lowered position. On the placing table 14, the cassette C containing the workpiece W is placed. When the mounting table 14 is raised and lowered in the state in which the cassette C is mounted, the pull-out position and the press-in position of the workpiece W in the height direction are adjusted.

재치 테이블 (14) 의 후방에는, Y 축 방향에 평행한 1 쌍의 센터링 가이드 (15) 와, 1 쌍의 센터링 가이드 (15) 와 카세트 (C) 사이에서 피가공물 (W) 을 넣고 빼는 푸시 풀 기구 (16) 가 형성되어 있다. 1 쌍의 센터링 가이드 (15) 에 의해, 푸시 풀 기구 (16) 에 의한 피가공물 (W) 의 출입이 가이드됨과 함께 피가공물 (W) 의 X 축 방향이 위치 결정된다. 또, 푸시 풀 기구 (16) 에 의해, 카세트 (C) 로부터 1 쌍의 센터링 가이드 (15) 에 가공 전의 피가공물 (W) 이 인출되는 것 외에, 1 쌍의 센터링 가이드 (15) 로부터 카세트 (C) 에 가공이 완료된 피가공물 (W) 이 압입된다.At the rear of the mounting table 14, a pair of centering guides 15 parallel to the Y-axis direction, and a push pull for inserting and removing the workpiece W between the pair of centering guides 15 and the cassette C. The mechanism 16 is formed. With the pair of centering guides 15, the entry and exit of the workpiece W by the push-pull mechanism 16 is guided, and the X-axis direction of the workpiece W is positioned. In addition, by the push-pull mechanism 16, the workpiece W before processing is drawn out from the cassette C to the pair of centering guides 15, and the cassette C from the pair of centering guides 15 ), the finished workpiece (W) is press-fitted.

1 쌍의 센터링 가이드 (15) 의 근방에는, 센터링 가이드 (15) 와 척 테이블 (40) 사이에서 피가공물 (W) 을 반송하는 제 1 반송 아암 (17) 이 형성되어 있다. 제 1 반송 아암 (17) 의 선회에 의해, L 자상의 아암부 (18) 의 선단의 반송 패드 (19) 로 피가공물 (W) 이 반송된다. 또, 수수 위치의 척 테이블 (40) 의 후방에는, 스피너 세정 기구 (21) 가 형성되어 있다. 스피너 세정 기구 (21) 에서는, 회전 중인 스피너 테이블 (22) 을 향하여 세정수가 분사되어 피가공물 (W) 이 세정된 후, 세정수 대신에 건조 에어가 분사되어 피가공물 (W) 이 건조된다.In the vicinity of the pair of centering guides 15, a first conveying arm 17 for conveying the workpiece W between the centering guide 15 and the chuck table 40 is formed. The workpiece W is conveyed to the conveying pad 19 at the tip end of the L-shaped arm 18 by turning the first conveying arm 17. Further, a spinner cleaning mechanism 21 is formed behind the chuck table 40 in the receiving position. In the spinner cleaning mechanism 21, after washing water is sprayed toward the rotating spinner table 22 to clean the workpiece W, dry air is sprayed instead of the washing water to dry the workpiece W.

하우징 (10) 상에는, 절삭 블레이드 (26) 를 구비한 절삭 수단 (24) 을 지지하는 지지대 (28) 가 형성되어 있다. 절삭 수단 (24) 은, 지지대 (28) 에 지지된 스핀들의 선단에 절삭 블레이드 (26) 를 장착하여 구성된다. 절삭 블레이드 (26) 는, 예를 들어, 다이아몬드 지립을 본드제로 굳혀 원판상으로 성형되어 있다. 또, 절삭 수단 (24) 에는, 절삭 블레이드 (26) 를 Y 축 방향 및 Z 축 방향으로 이동시키는 도시가 생략된 이동 기구가 연결되어 있다. 절삭 수단 (24) 에서는, 복수의 분사 노즐로부터 세정액이 분사되고, 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (26) 가 척 테이블 (40) 에 대하여 상대 이동됨으로써 피가공물 (W) 이 절삭된다.On the housing 10, a support 28 for supporting the cutting means 24 provided with the cutting blade 26 is formed. The cutting means 24 is configured by attaching a cutting blade 26 to the tip of the spindle supported by the support 28. The cutting blade 26 is formed into a disk shape by hardening diamond abrasive grains with a bonding agent, for example. Further, to the cutting means 24, a movement mechanism (not shown) for moving the cutting blade 26 in the Y-axis direction and the Z-axis direction is connected. In the cutting means 24, the cleaning liquid is injected from a plurality of injection nozzles, and the cutting blade 26 rotated at high speed is moved relative to the chuck table 40 to cut the workpiece W.

지지대 (28) 의 측면 (29) 에는, 척 테이블 (40) 과 스피너 세정 기구 (21) 사이에서 피가공물 (W) 을 반송하는 제 2 반송 아암 (31) 이 형성되어 있다. 제 2 반송 아암 (31) 의 진퇴 이동에 의해, 지지대 (28) 의 측면 (29) 으로부터 비스듬하게 전방으로 연장된 아암부 (32) 의 선단의 반송 패드 (33) 로 피가공물 (W) 이 반송된다. 또, 지지대 (28) 에는, 척 테이블 (40) 의 이동 경로의 상방을 가로지르는 캔틸레버 지지부 (35) 가 형성되고, 캔틸레버 지지부 (35) 에는 피가공물 (W) 을 촬상하는 촬상부 (36) 가 지지되어 있다. 촬상부 (36) 에 의한 촬상 화상은, 절삭 수단 (24) 과 척 테이블 (40) 의 얼라인먼트에 이용된다. 또, 지지대 (28) 상에는, 가공 조건 등을 표시하는 모니터 (37) 가 얹혀져 있다.On the side surface 29 of the support base 28, a second conveying arm 31 that conveys the workpiece W between the chuck table 40 and the spinner cleaning mechanism 21 is formed. By the advancing and retreating movement of the second conveying arm 31, the workpiece W is conveyed to the conveying pad 33 at the tip end of the arm part 32 extending obliquely forward from the side surface 29 of the support base 28. do. In addition, a cantilever support portion 35 that traverses above the moving path of the chuck table 40 is formed on the support table 28, and an image pickup portion 36 for imaging the workpiece W is provided on the cantilever support portion 35 It is supported. The image captured by the imaging unit 36 is used for alignment of the cutting means 24 and the chuck table 40. Moreover, on the support base 28, the monitor 37 which displays processing conditions etc. is mounted.

하우징 (10) 내에는, 척 테이블 (40) 만을 하우징 (10) 상에 노출시킨 척 테이블 기구 (50) (도 3 참조) 가 수용되어 있다. 척 테이블 기구 (50) 는, 척 테이블 (40) 을 회전시킴으로써 직교하는 스트리트에 절삭 블레이드 (26) 를 위치시킴과 함께, 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 에 피가공물 (W) 을 유지하기 위한 부압을 작용시키고 있다. 이 때문에, 척 테이블 기구 (50) 에는, 유체 경로가 형성된 고정 기대에 대하여, 에어의 리크를 억제하면서 척 테이블 (40) 을 회전 가능하게 조인트하는 로터리 조인트 구조가 채용되고 있다.In the housing 10, a chuck table mechanism 50 (see Fig. 3) in which only the chuck table 40 is exposed on the housing 10 is accommodated. The chuck table mechanism 50 positions the cutting blade 26 on a street perpendicular to the chuck table 40 by rotating the chuck table 40, and holds the workpiece W on the holding surface 41 of the chuck table 40. It is acting on the negative pressure to do. For this reason, the chuck table mechanism 50 employs a rotary joint structure in which the chuck table 40 is rotatably jointed while suppressing air leakage with respect to the fixed base on which the fluid path is formed.

그런데, 도 2 의 비교예에 나타내는 바와 같이, 일반적인 척 테이블 기구 (100) 는, 복수의 튜브 (105) 를 이용하여 로터리 조인트 구조를 실현하고 있다. 비교예의 척 테이블 기구 (100) 의 로터리 조인트 구조는, 척 테이블 (101) 을 지지한 회전 기대 (102) 가 원통 형상의 고정 기대 (103) 를 둘러싸도록 배치 형성되어 있다. 회전 기대 (102) 의 중앙 부분에는, 복수의 튜브 (105) 가 연결된 멀티 이음매 (104) 가 설치되어 있고, 각 튜브 (105) 는 멀티 이음매 (104) 로부터 고정 기대 (103) 의 내부를 통과하여 외부 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 그리고, 튜브 (105) 를 통하여 외부 흡인원으로부터의 흡인력이 척 테이블 (101) 의 유지면 (107) 에 부여되고 있다.By the way, as shown in the comparative example of FIG. 2, the general chuck table mechanism 100 implements a rotary joint structure using a plurality of tubes 105. The rotary joint structure of the chuck table mechanism 100 of the comparative example is arranged so that the rotating base 102 supporting the chuck table 101 surrounds the cylindrical fixed base 103. In the central part of the rotating base 102, a multi-joint 104 to which a plurality of tubes 105 are connected is provided, and each tube 105 passes through the inside of the fixed base 103 from the multi-joint 104, It is connected to an external suction source (not shown). Then, the suction force from the external suction source is applied to the holding surface 107 of the chuck table 101 via the tube 105.

그러나, 이 척 테이블 기구 (100) 에서는, 척 테이블 (101) 의 회전에 수반하여 튜브 (105) 가 비틀어지기 때문에, 경년 (經年) 열화에 의해 튜브 (105) 가 파손됨과 함께, 멀티 이음매 (104) 와 튜브 (105) 의 연결 부분이 파손될 우려가 있다. 이 튜브 (105) 나 멀티 이음매 (104) 의 파손에 의한 파편은 고정 기대 (103) 내부에 퇴적되고, 튜브 (105) 나 멀티 이음매 (104) 의 교환 작업 및 고정 기대 (103) 내의 청소 작업이 번거로워져, 장시간의 메인터넌스가 필요해진다는 문제가 있었다. 또, 외부 흡인력으로부터의 흡인력이 복수의 튜브 (105) 를 통하여 척 테이블 (101) 의 유지면 (107) 에 부여되기 때문에, 튜브 (105) 에서의 압력 손실이 커져 흡인력이 저하되었다.However, in this chuck table mechanism 100, since the tube 105 is twisted with the rotation of the chuck table 101, the tube 105 is damaged due to aging deterioration, and the multi-joint ( There is a fear that the connection part between 104) and the tube 105 may be damaged. Debris caused by the breakage of the tube 105 or the multi-joint 104 is deposited inside the fixed base 103, and the replacement work of the tube 105 or the multi-joint 104 and the cleaning work in the fixed base 103 are performed. There is a problem that it becomes cumbersome and requires long-term maintenance. Further, since the suction force from the external suction force is applied to the holding surface 107 of the chuck table 101 via the plurality of tubes 105, the pressure loss in the tube 105 increases, and the suction force is lowered.

그래서, 본 실시형태에서는, 상기 비교예의 로터리 조인트 구조를 변경하여, 복수의 튜브 (105) 를 사용하지 않고, 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 척 테이블 (40) 을 지지하도록 하고 있다. 또, 척 테이블 기구 (50) 의 일부의 부품에 대한 간단한 분리 작업에 의해, 기구 내부의 시일링 (84) (도 3 참조) 등의 소모 부재를 용이하게 교환할 수 있어, 메인터넌스 시간을 대폭 단축시킬 수 있다. 또한, 척 테이블 (40) 과 외부 흡인원 (94) (도 3 참조) 을 1 개의 경로로 연결함으로써, 유로 내의 압력 손실을 줄여 흡인력을 향상시키고 있다.Therefore, in this embodiment, the rotary joint structure of the above comparative example is changed so as to support the chuck table 40 so as to be rotatable and suckable without using a plurality of tubes 105. In addition, consumable members such as the seal ring 84 (see Fig. 3) inside the mechanism can be easily replaced by a simple separation operation for some parts of the chuck table mechanism 50, greatly reducing the maintenance time. I can make it. Further, by connecting the chuck table 40 and the external suction source 94 (see Fig. 3) in one path, the pressure loss in the flow path is reduced to improve the suction force.

이하, 본 실시형태의 척 테이블 기구에 대해 설명한다. 도 3 은 본 실시형태의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다. 또한, 척 테이블 기구는, 삽입부의 착탈에 의해, 시일링을 상방으로부터 교환 가능한 구성이면 되며, 도 3 에 나타내는 예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 이하의 설명에서는 패키지 기판용의 척 테이블 기구를 예시하고 있지만, 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼용의 척 테이블 기구에 대해서도 동일한 구성으로 할 수 있다.Hereinafter, the chuck table mechanism of the present embodiment will be described. 3 is a schematic cross-sectional view of the chuck table mechanism of the present embodiment. In addition, the chuck table mechanism is not limited to the example shown in FIG. 3 as long as the sealing ring can be exchanged from above by attaching and detaching the insertion portion. For example, in the following description, the chuck table mechanism for package substrates is illustrated, but the same configuration can be used for the chuck table mechanism for semiconductor wafers and optical device wafers.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 기구 (50) 는, 피가공물 (W) 을 상면에 흡인 유지하는 척 테이블 (40) 을 상부에 장착하여 회전 가능하게 지지하고, 척 테이블 (40) 을 상부에 장착한 회전 수단 (51) 을 고정 기대 (52) 의 상방에 회전 가능하게 배치 형성하여 구성되어 있다. 척 테이블 (40) 은, 테이블 베이스 (42) 의 상면에 테이블 본체 (43) 를 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착한 상하 분할 구조로 되어 있다. 테이블 본체 (43) 는, 다수의 흡인구 (44) 가 형성된 상단 (上段) 부분의 주위에, 테이블 베이스 (42) 에 고정되는 하단 (下段) 부분이 플랜지상으로 형성되어 있다. 테이블 본체 (43) 의 상단 부분에는 다수의 흡인구 (44) 에 의해 유지면 (41) 이 형성되어 있고, 테이블 본체 (43) 의 하단 부분에는 볼트 (45) 용의 장착공 (46) (도 4A 참조) 이 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, the chuck table mechanism 50 attaches the chuck table 40 which sucks and holds the work W on the upper surface to rotatably support it, and the chuck table 40 is supported on the upper surface. It is configured by arranging and forming the attached rotating means 51 so as to be rotatable above the fixed base 52. The chuck table 40 has a vertically divided structure in which the table main body 43 is attached to the upper surface of the table base 42 so that the table main body 43 can be freely attached and detached. In the table main body 43, a lower end portion fixed to the table base 42 is formed in a flange shape around an upper end portion in which a plurality of suction ports 44 are formed. The upper portion of the table main body 43 is formed with a holding surface 41 by a plurality of suction ports 44, and the lower portion of the table main body 43 has a mounting hole 46 for the bolt 45 (Fig. 4A) is formed.

또, 테이블 베이스 (42) 는, 중앙이 개구된 링판상으로 형성되어 있고, 테이블 본체 (43) 의 장착공 (46) (도 4A 참조) 에 대응한 지점에 나사공 (47) (도 4A 참조) 이 형성되어 있다. 테이블 베이스 (42) 의 나사공 (47) 에 대하여, 테이블 본체 (43) 의 장착공 (46) 으로부터 돌출된 볼트 (45) 의 선단이 나사 결합됨으로써, 테이블 베이스 (42) 에 테이블 본체 (43) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착된다. 테이블 베이스 (42) 에 테이블 본체 (43) 가 장착됨으로써, 복수의 흡인구 (44) 를 회전 수단 (51) 의 흡인 경로 (95) 에 연통시키는 연통실 (96) 이 형성된다. 또, 테이블 베이스 (42) 의 나사공 (47) (도 4A 참조) 보다 직경 방향 내측에는, 볼트 (48) 용의 장착공 (49) (도 4B 참조) 이 형성되어 있다.In addition, the table base 42 is formed in the shape of a ring plate with an open center, and a screw hole 47 (see Fig. 4A) at a point corresponding to the mounting hole 46 (see Fig. 4A) of the table main body 43 ) Is formed. With respect to the screw hole 47 of the table base 42, the tip of the bolt 45 protruding from the mounting hole 46 of the table main body 43 is screwed, so that the table main body 43 is attached to the table base 42. It is mounted so that it can be attached and detached freely. When the table main body 43 is attached to the table base 42, a communication chamber 96 for communicating the plurality of suction ports 44 to the suction path 95 of the rotating means 51 is formed. Further, a mounting hole 49 (refer to FIG. 4B) for the bolt 48 is formed radially inside the screw hole 47 (see FIG. 4A) of the table base 42.

회전 수단 (51) 은, 고정 기대 (52) 의 상방에 회전 가능하게 배치 형성된 회전 기대 (54) 에, 고정 기대 (52) 에 삽입 가능한 삽입부 (55) 를 플랜지 플레이트 (56) 로 연결하여 구성되어 있다. 회전 기대 (54) 는, 고정 기대 (52) 의 상방 부분을 덮도록 큰 통상 (筒狀) 으로 형성되어 있고, 회전 기대 (54) 와 고정 기대 (52) 의 대향면에 형성된 베어링 (57) 을 개재하여 고정 기대 (52) 에 연결되어 있다. 또, 회전 기대 (54) 의 상면에는 척 테이블 (40) 이 장착되는 테이블 장착면 (61) 이 형성되어 있고, 테이블 장착면 (61) 에는 테이블 베이스 (42) 의 장착공 (49) (도 4B 참조) 에 대응한 지점에 나사공 (62) (도 4B 참조) 이 형성되어 있다. 회전 기대 (54) 의 나사공 (62) 에 대하여 테이블 베이스 (42) 의 장착공 (49) 으로부터 돌출된 볼트 (48) 의 선단이 나사 결합됨으로써, 회전 기대 (54) 의 상부에 테이블 베이스 (42) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착된다.The rotating means 51 is configured by connecting an insertion portion 55 that can be inserted into the fixed base 52 with a flange plate 56 to a rotating base 54 that is rotatably disposed above the stationary base 52. Has been. The rotation base 54 is formed in a large cylinder so as to cover the upper portion of the stationary base 52, and includes a bearing 57 formed on the opposite surface of the rotation base 54 and the stationary base 52. It is connected to the fixed base 52 through the interposition. In addition, a table mounting surface 61 on which the chuck table 40 is mounted is formed on the upper surface of the rotating base 54, and a mounting hole 49 of the table base 42 (FIG. 4B) is formed on the table mounting surface 61. Reference) a screw hole 62 (see Fig. 4B) is formed at a point corresponding to. By screwing the tip of the bolt 48 protruding from the mounting hole 49 of the table base 42 with respect to the screw hole 62 of the rotating base 54, the table base 42 is placed on the upper part of the rotating base 54. ) Is installed so that it can be attached and detached freely.

회전 기대 (54) 의 상면의 직경 방향 내측에서는, 테이블 장착면 (61) 보다 1 단 낮게 형성된 플레이트 장착면 (63) 에 링판상의 플랜지 플레이트 (56) 가 장착되어 있다. 플랜지 플레이트 (56) 의 직경 방향 외측이 플레이트 장착면 (63) 에 연결되고, 플랜지 플레이트 (56) 의 직경 방향 내측이 원통 형상의 삽입부 (55) 의 상단면에 연결되어 있다. 플랜지 플레이트 (56) 의 두께는 테이블 장착면 (61) 과 플레이트 장착면 (63) 의 단차와 일치하고 있고, 테이블 장착면 (61) 과 플랜지 플레이트 (56) 의 상면이 면일 (面一) 하게 되어 있다. 즉, 플랜지 플레이트 (56) 의 상면도 척 테이블 (40) 이 장착되는 테이블 장착면의 일부로 되어 있다.A ring plate-shaped flange plate 56 is attached to a plate mounting surface 63 formed one step lower than the table mounting surface 61 on the radially inner side of the upper surface of the rotating base 54. The radially outer side of the flange plate 56 is connected to the plate mounting surface 63, and the radially inner side of the flange plate 56 is connected to the upper end surface of the cylindrical insert 55. The thickness of the flange plate 56 coincides with the step difference between the table mounting surface 61 and the plate mounting surface 63, and the top surface of the table mounting surface 61 and the flange plate 56 is the same. have. That is, the top surface of the flange plate 56 is also a part of the table mounting surface on which the chuck table 40 is mounted.

플랜지 플레이트 (56) 의 직경 방향 외측에는 볼트 (64) 용의 장착공 (65) (도 4C 참조) 이 형성되어 있고, 플레이트 장착면 (63) 에는 장착공 (65) 에 대응한 지점에 나사공 (69) (도 4C 참조) 이 형성되어 있다. 플레이트 장착면 (63) 의 나사공 (69) 에 대하여, 플랜지 플레이트 (56) 의 장착공 (65) 으로부터 돌출된 볼트 (64) 의 선단이 나사 결합됨으로써, 플레이트 장착면 (63) 에 플랜지 플레이트 (56) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착된다. 또, 플랜지 플레이트 (56) 의 직경 방향 내측은 테이블 베이스 (42) 의 중앙의 개구로부터 노출되어 있고, 이 테이블 베이스 (42) 의 노출 부분에 볼트 (67) 용의 장착공 (68) 이 형성되어 있다.A mounting hole 65 (refer to FIG. 4C) for the bolt 64 is formed on the outer side in the radial direction of the flange plate 56, and a screw hole at the point corresponding to the mounting hole 65 on the plate mounting surface 63 (69) (see Fig. 4C) is formed. With respect to the screw hole 69 of the plate mounting surface 63, the tip of the bolt 64 protruding from the mounting hole 65 of the flange plate 56 is screwed, so that the flange plate ( 56) It is installed so that it can be attached and detached freely. In addition, the inner side of the flange plate 56 in the radial direction is exposed from the central opening of the table base 42, and a mounting hole 68 for the bolt 67 is formed in the exposed portion of the table base 42. have.

삽입부 (55) 는, 플랜지 플레이트 (56) 에서 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 를 향하여 연장되는 원통 형상으로 형성되어 있다. 삽입부 (55) 의 내부에는, 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 로부터의 흡인력을 척 테이블 (40) 의 상면에 전달하는 흡인 경로 (95) 가 형성되어 있다. 삽입부 (55) 의 상단면에는 플랜지 플레이트 (56) 의 장착공 (68) (도 4C 참조) 에 대응한 지점에 나사공 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 삽입부 (55) 의 나사공에 대하여, 플랜지 플레이트 (56) 의 장착공 (68) 으로부터 돌출된 볼트 (67) 의 선단이 나사 결합됨으로써, 플랜지 플레이트 (56) 에 삽입부 (55) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착된다. 이와 같이 플랜지 플레이트 (56) 를 개재하여 회전 기대 (54) 의 회전 중심에 삽입부 (55) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되어 있다.The insertion portion 55 is formed in a cylindrical shape extending from the flange plate 56 toward the communication path 97 of the fixed base 52. Inside the insertion portion 55, a suction path 95 for transmitting the suction force from the communication path 97 of the fixed base 52 to the upper surface of the chuck table 40 is formed. A screw hole (not shown) is formed at a point corresponding to the mounting hole 68 (see Fig. 4C) of the flange plate 56 on the upper end surface of the insertion portion 55. With respect to the threaded hole of the insertion portion 55, the tip of the bolt 67 protruding from the mounting hole 68 of the flange plate 56 is screwed, so that the insertion portion 55 is freely attached and detached from the flange plate 56. It is equipped to be able to do. In this way, the insertion portion 55 is fixed to the center of rotation of the rotation base 54 so that it can be attached and detached freely through the flange plate 56.

플랜지 플레이트 (56) 의 상면, 회전 기대 (54) 의 플레이트 장착면 (63), 삽입부 (55) 의 상단면에는, 각각 환상 (環狀) 홈 (75, 76, 77) (도 4C 참조) 이 형성되어 있고, 각 환상 홈 (75, 76, 77) 에는 시일링 (81, 82, 83) 이 장착되어 있다. 테이블 베이스 (42) 가 테이블 장착면 (61) 에 시일링 (81) 을 개재하여 시일되고, 플랜지 플레이트 (56) 가 시일링 (82) 을 개재하여 플레이트 장착면 (63) 에 시일되고, 삽입부 (55) 의 상단면이 시일링 (83) 을 개재하여 플랜지 플레이트 (56) 에 시일된다. 이로써, 부재끼리의 맞댐면으로부터 에어가 리크되지 않고, 척 테이블 (40) 의 흡인력 저하가 억제되고 있다.In the upper surface of the flange plate 56, the plate mounting surface 63 of the rotating base 54, and the upper end surface of the insertion part 55, annular grooves 75, 76, 77, respectively (see Fig. 4C) Is formed, and sealing rings 81, 82, 83 are attached to each of the annular grooves 75, 76, 77. The table base 42 is sealed on the table mounting surface 61 through the sealing ring 81, and the flange plate 56 is sealed on the plate mounting surface 63 through the sealing ring 82, and the insertion portion The upper end surface of 55 is sealed to the flange plate 56 via the sealing ring 83. As a result, air does not leak from the abutting surfaces of the members, and a decrease in the suction force of the chuck table 40 is suppressed.

삽입부 (55) 의 하단에는 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 내에 들어가는 걸어맞춤 단부 (72) 가 형성되어 있다. 걸어맞춤 단부 (72) 는, 삽입부 (55) 의 하단측의 외주면을 축경 (縮徑) 함으로써 형성되어 있고, 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 의 상단측을 확경 (擴徑) 한 걸어맞춤 오목부 (73) 내에 걸어맞춰져 있다. 걸어맞춤 단부 (72) 의 외주면에는 환상 홈 (78) 이 형성되어 있고, 환상 홈 (78) 에는 시일링 (84) 이 장착되어 있다. 걸어맞춤 단부 (72) 가 걸어맞춤 오목부 (73) 에 걸어맞춰지면, 걸어맞춤 단부 (72) 의 외주벽과 걸어맞춤 오목부 (73) 의 내주벽 사이가 시일링 (84) 으로 시일된다. 이로써, 걸어맞춤 단부 (72) 와 걸어맞춤 오목부 (73) 의 맞댐면으로부터 에어가 리크되지 않고, 연통 경로 (97) 와 흡인 경로 (95) 가 기밀하게 연결된다.At the lower end of the insertion portion 55, an engaging end portion 72 that enters the communication path 97 of the fixed base 52 is formed. The engaging end 72 is formed by making the outer peripheral surface of the lower end side of the insertion portion 55 a shaft diameter, and the upper end side of the communication path 97 of the fixed base 52 is enlarged. It is engaged in the engaging recess 73. An annular groove 78 is formed on the outer circumferential surface of the engaging end 72, and a sealing ring 84 is attached to the annular groove 78. When the engaging end 72 engages with the engaging recess 73, the space between the outer circumferential wall of the engaging end 72 and the inner circumferential wall of the engaging recess 73 is sealed with a sealing 84. Thereby, air does not leak from the abutting surface of the engaging end 72 and the engaging recess 73, and the communication path 97 and the suction path 95 are airtightly connected.

또, 척 테이블 (40) 을 회전 기대 (54) 로부터 분리하고, 플랜지 플레이트 (56) 를 회전 기대 (54) 및 삽입부 (55) 로부터 분리함으로써, 시일링 (81, 82, 83) 이 외부로 노출된다. 또한, 플랜지 플레이트 (56) 와 함께 삽입부 (55) 를 회전 기대 (54) 로부터 분리함으로써, 시일링 (84) 이 외부로 노출된다. 이 때문에, 고정 기대 (52) 로부터 회전 수단 (51) 전체를 분리하지 않고, 소모품인 시일링 (81, 82, 83, 84) 만을 용이하게 교환하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 시일링 (81, 82, 83) 에는 고정용 시일이 사용되고, 시일링 (84) 에는 운동용 시일이 사용되지만, 모두 O 링이 사용되어도 된다.Further, by separating the chuck table 40 from the rotating base 54 and separating the flange plate 56 from the rotating base 54 and the insertion part 55, the sealing rings 81, 82, 83 are moved to the outside. Exposed. Further, by separating the insertion portion 55 together with the flange plate 56 from the rotation base 54, the sealing ring 84 is exposed to the outside. For this reason, it is possible to easily replace only the sealing rings 81, 82, 83, 84, which are consumables, without removing the entire rotating means 51 from the fixed base 52. Further, a fixing seal is used for the sealing rings 81, 82, 83, and an exercise seal is used for the sealing ring 84, but O-rings may be used for both.

고정 기대 (52) 는, 하부 기대 (86) 상에 상부 기대 (87) 를 설치하여 구성되어 있고, 상부 기대 (87) 및 하부 기대 (86) 의 내부에 외부 흡인원 (94) 에 연통에 연통되는 연통 경로 (97) 가 형성되어 있다. 또, 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 는 삽입부 (55) 의 흡인 경로 (95) 에 연통되어 있고, 흡인 경로 (95) 는 척 테이블 (40) 내의 연통실 (96) 에 연통되어 있다. 연통 경로 (97) 와 흡인 경로 (95) 에 의해 1 개의 경로가 형성되기 때문에, 유로 내의 압력 손실이 발생하지 않고 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 에 외부 흡인원 (94) 으로부터의 흡인력을 부여시킬 수 있다. 상부 기대 (87) 에는 베어링 (57) 이 형성되어 있고, 베어링 (57) 에 의해 고정 기대 (52) 에 회전 기대 (54) 가 회전 가능하게 유지되어 있다.The fixed base 52 is configured by installing an upper base 87 on the lower base 86, and communicates with the external suction source 94 inside the upper base 87 and the lower base 86. A communication path 97 to be formed is formed. In addition, the communication path 97 of the fixed base 52 is in communication with the suction path 95 of the insertion portion 55, and the suction path 95 is in communication with the communication chamber 96 in the chuck table 40, have. Since one path is formed by the communication path 97 and the suction path 95, no pressure loss in the flow path occurs, and the suction force from the external suction source 94 on the holding surface 41 of the chuck table 40 Can be given. A bearing 57 is formed on the upper base 87, and the rotation base 54 is held rotatably on the fixed base 52 by the bearing 57.

또, 회전 기대 (54) 및 고정 기대 (52) 에는, 회전 수단 (51) 을 회전시키는 회전 모터 (91) 가 형성되어 있다. 회전 모터 (91) 는, 고정 기대 (52) 에 고정된 스테이터 (92) 의 주위를, 회전 기대 (54) 에 연결된 로터 (93) 가 회전하도록 구성되어 있다. 스테이터 (92) 에는 코일 권선 등이 장착되고, 로터 (93) 에는 스테이터 (92) 에 근소한 간극을 두고 대향하도록 복수의 자석이 형성되어 있다. 스테이터 (92) 의 코일 권선이 통전됨으로써, 고정 기대 (52) 를 중심으로 하여 로터 (93) 가 회전하고, 로터 (93) 에 연결된 회전 기대 (54) 및 척 테이블 (40) 이 일체 회전된다.In addition, the rotation base 54 and the fixed base 52 are provided with a rotation motor 91 that rotates the rotation means 51. The rotation motor 91 is configured so that the rotor 93 connected to the rotation base 54 rotates around the stator 92 fixed to the fixed base 52. A coil winding or the like is attached to the stator 92, and a plurality of magnets are formed on the rotor 93 so as to face the stator 92 with a small gap. When the coil winding of the stator 92 is energized, the rotor 93 rotates around the fixed base 52, and the rotation base 54 and the chuck table 40 connected to the rotor 93 are integrally rotated.

이와 같이, 척 테이블 기구 (50) 의 로터리 조인트는, 척 테이블 (40) 을 회전 가능하게 지지함과 함께, 에어를 리크시키지 않고, 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 에 외부 흡인원 (94) 으로부터의 흡인력을 부여하는 것이 가능하게 되어 있다. 또, 삽입부 (55) 의 걸어맞춤 단부 (72) 와 고정 기대 (52) 의 걸어맞춤 오목부 (73) 가 시일링 (84) 을 개재하여 슬라이딩하기 때문에, 이 슬라이딩 지점의 시일링 (84) 이 특히 열화되기 쉽게 되어 있다. 그러나, 삽입부 (55) 가 자유롭게 착탈할 수 있도록 회전 기대 (54) 에 장착되어 있기 때문에, 회전 기대 (54) 로부터 삽입부 (55) 를 분리함으로써, 시일링 (84) 을 용이하게 교환하는 것이 가능하게 되어 있다.In this way, the rotary joint of the chuck table mechanism 50 rotatably supports the chuck table 40 and does not leak air, and the external suction source ( 94) It is possible to impart a suction force from it. Moreover, since the engaging end 72 of the insertion part 55 and the engaging recess 73 of the fixed base 52 slide through the sealing ring 84, the sealing ring 84 of this sliding point This is particularly easy to deteriorate. However, since the insertion portion 55 is attached to the rotation base 54 so that it can be freely attached and detached, it is possible to easily replace the sealing ring 84 by separating the insertion portion 55 from the rotation base 54. It is made possible.

도 4 를 참조하여, 시일링의 교환 작업에 대해 설명한다. 도 4 는 본 실시형태의 시일링의 교환 작업의 설명도이다. 또한, 도 4A 는 테이블 본체의 분리 작업, 도 4B 는 테이블 베이스의 분리 작업, 도 4C 는 플랜지 플레이트 및 삽입부의 분리 작업을 각각 도시하고 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 회전 수단의 걸어맞춤 단부와 고정 기대의 걸어맞춤 오목부 사이에 형성된 시일링의 교환 작업에 대해 설명한다.Referring to Fig. 4, a description will be given of a sealing ring replacement operation. 4 is an explanatory diagram of the sealing ring replacement operation according to the present embodiment. In addition, FIG. 4A shows the separation operation of the table body, FIG. 4B shows the separation operation of the table base, and FIG. 4C shows the separation operation of the flange plate and the insertion unit, respectively. In addition, in the following description, the work of replacing the seal ring formed between the engaging end of the rotating means and the engaging recess of the fixed base will be described.

도 4A 에 나타내는 바와 같이, 시일링 (84) (도 4C 참조) 의 교환 작업에서는, 먼저 오퍼레이터에 의해 테이블 본체 (43) 의 외주 부분의 각 볼트 (45) 가 풀리고, 테이블 베이스 (42) 의 상면으로부터 테이블 본체 (43) 가 분리된다. 이로써, 테이블 본체 (43) 의 내측에 숨어 있던 테이블 베이스 (42) 용의 볼트 (48) 가 외부로 노출된다. 다음으로, 도 4B 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터에 의해 테이블 베이스 (42) 의 각 볼트 (48) 가 풀리고, 회전 기대 (54) 의 테이블 장착면 (61) 으로부터 테이블 베이스 (42) 가 분리된다. 이로써, 테이블 베이스 (42) 의 이면측에 숨어 있던 플랜지 플레이트 (56) 용의 볼트 (64) 가 외부로 노출됨과 함께, 플랜지 플레이트 (56) 의 상면의 환상 홈 (75) 에 장착된 시일링 (81) 이 외부로 노출된다.As shown in Fig. 4A, in the replacement work of the seal ring 84 (refer to Fig. 4C), first, the bolts 45 of the outer circumferential portion of the table main body 43 are loosened by the operator, and the upper surface of the table base 42 The table main body 43 is separated from it. Thereby, the bolt 48 for the table base 42 hidden inside the table main body 43 is exposed to the outside. Next, as shown in FIG. 4B, each bolt 48 of the table base 42 is released by an operator, and the table base 42 is separated from the table mounting surface 61 of the rotating base 54. Thereby, while the bolt 64 for the flange plate 56 hidden on the back side of the table base 42 is exposed to the outside, the sealing ring attached to the annular groove 75 on the upper surface of the flange plate 56 ( 81) This is exposed to the outside.

다음으로, 도 4C 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터에 의해 플랜지 플레이트 (56) 의 직경 방향 외측의 각 볼트 (64) 가 풀리고, 회전 기대 (54) 의 플레이트 장착면 (63) 으로부터 플랜지 플레이트 (56) 가 분리되고, 플랜지 플레이트 (56) 에 고정된 삽입부 (55) 가 고정 기대 (52) 로부터 인발된다. 이로써, 플레이트 장착면 (63) 의 환상 홈 (76) 에 장착된 시일링 (82) 이 외부로 노출되고, 삽입부 (55) 의 걸어맞춤 단부 (72) 의 환상 홈 (78) 에 장착된 시일링 (84) 이 외부로 노출된다. 그리고, 환상 홈 (78) 내의 열화된 시일링 (84) 이 분리되고, 새로운 시일링 (84) 이 장착된 후, 상기 분리 동작과 반대의 순서로 플랜지 플레이트 (56), 테이블 베이스 (42), 테이블 본체 (43) 가 장착된다.Next, as shown in FIG. 4C, each bolt 64 on the radially outer side of the flange plate 56 is released by the operator, and the flange plate 56 is removed from the plate mounting surface 63 of the rotating base 54. The insertion portion 55 separated and fixed to the flange plate 56 is pulled out from the fixed base 52. Thereby, the sealing ring 82 attached to the annular groove 76 of the plate mounting surface 63 is exposed to the outside, and the seal attached to the annular groove 78 of the engaging end 72 of the insertion part 55 The ring 84 is exposed to the outside. Then, the deteriorated sealing ring 84 in the annular groove 78 is removed, and after the new sealing ring 84 is mounted, the flange plate 56, the table base 42, and the like in the reverse order of the separation operation are performed. The table body 43 is mounted.

또한, 시일링 (84) 의 교환 작업시에는, 플랜지 플레이트 (56) 의 상면의 환상 홈 (75) 의 시일링 (81), 플레이트 장착면 (63) 의 환상 홈 (76) 의 시일링 (82) 이 교환되어도 된다. 또, 도 4 에서는 플랜지 플레이트 (56) 에 삽입부 (55) 가 고정되어 있지만, 플랜지 플레이트 (56) 로부터 삽입부 (55) 를 분리하여, 삽입부 (55) 의 상단면의 환상 홈 (77) 에 장착된 시일링 (83) 이 교환되어도 된다.In addition, at the time of replacement work of the sealing ring 84, the sealing ring 81 of the annular groove 75 on the upper surface of the flange plate 56 and the sealing ring 82 of the annular groove 76 of the plate mounting surface 63 ) May be exchanged. In addition, although the insertion part 55 is fixed to the flange plate 56 in FIG. 4, the insertion part 55 is separated from the flange plate 56, and the annular groove 77 of the upper end surface of the insertion part 55 The sealing ring 83 attached to it may be replaced.

이상과 같이, 본 실시형태의 척 테이블 기구 (50) 는, 고정 기대 (52) 에 회전 수단 (51) 이 회전 가능하게 배치 형성됨과 함께, 회전 수단 (51) 에 형성된 삽입부 (55) 가 고정 기대 (52) 에 삽입되어, 삽입부 (55) 의 흡인 경로 (95) 와 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 가 연통된다. 이로써, 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 및 삽입부 (55) 의 흡인 경로 (95) 를 통하여, 외부 흡인원 (94) 으로부터의 흡인력이 척 테이블 (40) 에 부여된다. 또, 삽입부 (55) 의 걸어맞춤 단부 (72) 가 고정 기대 (52) 의 걸어맞춤 오목부 (73) 에 걸어맞춰지고, 걸어맞춤 단부 (72) 의 외주벽과 걸어맞춤 오목부 (73) 의 내벽 사이가 시일링 (84) 으로 기밀하게 시일된다. 따라서, 에어 리크를 발생시키지 않고, 척 테이블 (40) 을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지할 수 있다. 또, 삽입부 (55) 의 흡인 경로 (95) 와 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 에 의해 1 개의 경로가 형성되기 때문에, 경로 내에서의 압력 손실을 줄여 흡인력의 향상이 도모되고 있다. 또한, 회전 수단 (51) 의 회전 기대 (54) 로부터 삽입부 (55) 를 분리하여, 고정 기대 (52) 의 걸어맞춤 오목부 (73) 로부터 삽입부 (55) 의 걸어맞춤 단부 (72) 를 인발한다는 간이한 작업으로, 시일링 (84) 을 상방으로부터 용이하게 교환 가능하여, 메인터넌스 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.As described above, in the chuck table mechanism 50 of the present embodiment, the rotating means 51 is rotatably disposed on the fixed base 52, and the insertion portion 55 formed in the rotating means 51 is fixed. It is inserted into the base 52, and the suction path 95 of the insertion part 55 and the communication path 97 of the fixed base 52 communicate. Thereby, the suction force from the external suction source 94 is applied to the chuck table 40 through the communication path 97 of the fixed base 52 and the suction path 95 of the insertion portion 55. Further, the engaging end 72 of the insertion portion 55 is engaged with the engaging recess 73 of the fixed base 52, and the outer circumferential wall of the engaging end 72 and the engaging recess 73 Between the inner walls of the seal ring 84 is hermetically sealed. Therefore, it is possible to support the chuck table 40 so as to be able to rotate and suction without generating air leaks. Moreover, since one path is formed by the suction path 95 of the insertion part 55 and the communication path 97 of the fixed base 52, the pressure loss in the path is reduced, and the suction force is improved. . Further, the insertion portion 55 is separated from the rotation base 54 of the rotation means 51, and the engagement end 72 of the insertion portion 55 is removed from the engagement recess 73 of the fixed base 52. By a simple operation of pulling out, the sealing ring 84 can be easily replaced from above, and the maintenance time can be greatly shortened.

또한, 상기한 실시형태에 있어서, 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 에 다수의 흡인구 (44) 가 형성되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 은 포러스 세라믹스로 다공질로 형성되어 있어도 된다. 또, 척 테이블 (40) 이 테이블 베이스 (42) 에 테이블 본체 (43) 를 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착되는 구성으로 하였지만, 테이블 베이스 (42) 와 테이블 본체 (43) 는 일체로 형성되어 있어도 된다.In addition, in the above-described embodiment, although a large number of suction ports 44 are formed on the holding surface 41 of the chuck table 40, it is not limited to this configuration. The holding surface 41 of the chuck table 40 may be porous ceramics. In addition, although the chuck table 40 is mounted on the table base 42 so that the table main body 43 can be freely attached and detached, the table base 42 and the table main body 43 may be integrally formed.

또, 상기한 실시형태에 있어서, 회전 모터 (91) 로서 전자식 모터를 예시하여 설명하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 회전 모터 (91) 로서, 정전식 모터나 초음파식 모터가 사용되어도 된다.In addition, in the above-described embodiment, an electronic motor has been exemplified and described as the rotary motor 91, but it is not limited to this configuration. As the rotary motor 91, an electrostatic motor or an ultrasonic motor may be used.

또, 상기한 실시형태에 있어서, 회전 기대 (54) 에 플랜지 플레이트 (56) 가 나사 고정되고, 플랜지 플레이트 (56) 에 삽입부 (55) 가 나사 고정됨으로써, 플랜지 플레이트 (56) 를 개재하여 회전 기대 (54) 에 삽입부 (55) 가 고정되는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 삽입부 (55) 는, 회전 기대 (54) 에 대하여 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되어 있으면 되고, 회전 기대 (54) 에 대하여 어떻게 고정되어 있어도 된다.In addition, in the above-described embodiment, the flange plate 56 is screwed to the rotating base 54, and the insertion portion 55 is screwed to the flange plate 56, thereby rotating through the flange plate 56. Although it was set as the structure in which the insertion part 55 is fixed to the base 54, it is not limited to this structure. The insertion portion 55 may be fixed to the rotating base 54 so that it can be freely attached and detached, and may be fixed to the rotating base 54 in any way.

또, 상기한 실시형태에 있어서, 외부 흡인원 (94) 은, 고정 기대 (52) 의 연통 경로 (97) 를 통하여 척 테이블 (40) 의 유지면 (41) 에 흡인력을 부여 가능하면 되며, 예를 들어, 흡인 펌프나 이젝터로 구성되어도 된다.In addition, in the above-described embodiment, the external suction source 94 only needs to be able to impart a suction force to the holding surface 41 of the chuck table 40 through the communication path 97 of the fixed base 52. For example, it may be constituted by a suction pump or an ejector.

또, 상기한 실시형태에 있어서, 피가공물 (W) 로서 패키지 기판을 예시하였지만, 피가공물 (W) 은 가공 대상이 되는 워크이면 되며, 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼여도 된다.In addition, in the above-described embodiment, the package substrate is exemplified as the workpiece W, but the workpiece W may be a workpiece to be processed, and may be a semiconductor wafer or an optical device wafer.

또, 상기한 실시형태에 있어서, 삽입부 (55) 의 걸어맞춤 단부 (72) 의 외측면에 형성된 환상 홈 (78) 에 시일링 (84) 이 장착되는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 시일링 (84) 은 걸어맞춤 오목부 (73) 의 내주벽과 걸어맞춤 단부 (72) 의 외주벽 사이를 시일 가능하면 된다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 걸어맞춤 오목부 (73) 의 상측의 개구단이 패여서 단상 (段狀) 으로 되고, 이 단상의 패임부 (73a) 에 걸어맞춤 단부 (72) 의 단부 (段部) (72a) 가 들어가 있지만, 걸어맞춤 오목부 (73) 의 단상의 패임부 (73a) 와 걸어맞춤 단부 (72) 의 단부 (72a) 사이가 시일링으로 시일되어도 된다. 이 경우, 걸어맞춤 오목부 (73) 의 단상의 패임부 (73a) 의 바닥면에 시일링이 장착되는 환상 홈을 형성하고, 시일링을 걸어맞춤 오목부 (73) 와 걸어맞춤 단부 (72) 사이에 상하 방향으로부터 끼워넣도록 해도 된다. 이와 같은 구성이어도, 삽입부 (55) 를 회전 기대 (54) 로부터 분리함으로써, 시일링을 외부로 노출시킬 수 있다.In addition, in the above-described embodiment, the sealing ring 84 is attached to the annular groove 78 formed on the outer surface of the engaging end 72 of the insertion portion 55, but is not limited to this configuration. . The sealing 84 should just be able to seal between the inner circumferential wall of the engagement concave part 73 and the outer circumferential wall of the engagement end 72. As shown in Fig. 3, the upper open end of the engaging recess 73 is recessed to form a single shape, and the end portion of the engaging end 72 is fitted to the single-shaped recess 73a. ) (72a) is inserted, but between the single-shaped recessed portion 73a of the engaging recessed portion 73 and the end portion 72a of the engaging end portion 72 may be sealed with a sealing ring. In this case, an annular groove to which the sealing ring is attached is formed on the bottom surface of the single-shaped recess 73a of the engagement recess 73, and the engagement recess 73 and the engagement end 72 are engaged with the seal ring. It may be sandwiched in the vertical direction. Even with such a configuration, the sealing ring can be exposed to the outside by separating the insertion portion 55 from the rotating base 54.

또, 본 발명의 실시형태 및 변형예를 설명하였지만, 본 발명의 다른 실시형태로서, 상기 실시형태 및 변형예를 전체적 또는 부분적으로 조합한 것이어도 된다.Moreover, although an embodiment and a modification of the present invention have been described, as another embodiment of the present invention, a combination of the above embodiment and modification may be used in whole or in part.

또, 본 발명의 실시형태는 상기 각 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양하게 변경, 치환, 변형되어도 된다. 또한, 기술의 진보 또는 파생되는 다른 기술에 의해, 본 발명의 기술적 사상을 다른 방법으로 실현할 수 있으면, 그 방법을 사용하여 실시되어도 된다. 따라서, 특허청구범위는, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 포함될 수 있는 모든 실시양태를 커버하고 있다.In addition, the embodiment of the present invention is not limited to each of the above embodiments, and various changes, substitutions, and modifications may be made without departing from the spirit of the technical idea of the present invention. In addition, as long as the technical idea of the present invention can be realized by other methods by technological advances or other techniques derived from the advancement of the technology, it may be implemented by using that method. Accordingly, the claims cover all embodiments that may be included within the scope of the technical idea of the present invention.

또, 본 발명의 실시형태에서는, 본 발명을 척 테이블 기구에 적용한 구성에 대해 설명하였지만, 척 테이블을 회전 가능하고 또한 흡인 가능한 로터리 조인트 구조에 적용할 수도 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, a configuration in which the present invention is applied to a chuck table mechanism has been described, but the chuck table can also be applied to a rotary joint structure that is rotatable and capable of suction.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 튜브를 사용하지 않고 척 테이블을 회전 가능하게 또한 흡인 가능하게 지지함과 함께, 메인터넌스 시간을 단축시킬 수 있는 것이 가능하다는 효과를 갖고, 특히 패키지 기판용의 척 테이블 기구에 유용하다.As described above, the present invention has the effect that it is possible to shorten the maintenance time while supporting the chuck table so as to be able to rotate and suction without using a tube, and in particular, the chuck table for a package substrate Useful for utensils.

40 : 척 테이블
41 : 유지면
50 : 척 테이블 기구
51 : 회전 수단
52 : 고정 기대
54 : 회전 기대
55 : 삽입부
57 : 베어링
72 : 삽입부의 걸어맞춤 단부
73 : 고정 기대의 걸어맞춤 오목부
78 : 환상 홈
84 : 시일링
91 : 회전 모터
94 : 외부 흡인원
95 : 흡인 경로
97 : 연통 경로
W : 피가공물40: chuck table
41: maintenance surface
50: chuck table mechanism
51: rotation means
52: fixed expectation
54: rotation expectation
55: insertion part
57: bearing
72: engaging end of the insertion portion
73: engagement recess of the fixed base
78: fantasy groove
84: sealing
91: rotary motor
94: external suction source
95: suction path
97: communication path
W: Workpiece

Claims (2)

피가공물을 상면에 흡인 유지하는 척 테이블을 상부에 장착하여 회전 가능하게 지지하는 척 테이블 기구로서,
외부 흡인원에 연통되는 연통 경로가 내부에 형성된 고정 기대와, 그 고정 기대의 상방에 회전 가능하게 배치 형성되어 상부에 척 테이블을 장착하는 회전 수단을 구비하고,
그 회전 수단은, 그 고정 기대 상방에 회전 가능하게 배치 형성된 회전 기대와, 회전 중심에 그 회전 기대에 대하여 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되고 또한 그 고정 기대에 삽입 가능하게 구성된 삽입부를 구비하고,
그 삽입부는, 그 척 테이블 상면에 흡인력을 전달하는 흡인 경로가 내부에 형성되고, 그 고정 기대의 걸어맞춤 오목부에 걸어맞춰지는 걸어맞춤 단부 (端部) 를 구비하고,
그 걸어맞춤 단부가 그 걸어맞춤 오목부에 걸어맞춰지면, 그 걸어맞춤 단부의 외주벽과 그 고정 기대의 그 걸어맞춤 오목부의 내벽 사이에서 시일링으로 시일됨과 함께, 그 연통 경로와 그 흡인 경로가 연결되고,
그 삽입부의 그 걸어맞춤 단부를 그 고정 기대의 그 걸어맞춤 오목부로부터 인발 (引拔) 하면, 그 시일링이 노출되는 것을 특징으로 하는 척 테이블 기구.As a chuck table mechanism for rotatably supporting a chuck table that sucks and holds a workpiece on the upper surface,
A fixed base having a communication path communicating with the external suction source formed therein, and a rotating means for mounting a chuck table on the upper portion of the fixed base and rotatably disposed above the fixed base,
The rotating means includes a rotating base rotatably disposed above the fixed base, and an inserting portion fixed at the center of rotation so as to be freely detachable from the rotating base and configured to be insertable into the fixed base,
The insertion portion has a suction path for transmitting a suction force to the upper surface of the chuck table is formed therein, and has an engaging end portion that is engaged with the engaging recess of the fixed base,
When the engaging end is engaged with the engaging recess, the communication path and the suction path are sealed with a sealing between the outer circumferential wall of the engaging end and the inner wall of the engaging recess of the fixed base. Connected,
A chuck table mechanism, characterized in that when the engaging end of the insertion portion is pulled out from the engaging recess of the fixed base, the sealing ring is exposed. 제 1 항에 있어서,
그 회전 수단은 그 고정 기대에 베어링으로 유지되어 있고, 그 고정 기대에는, 그 회전 수단을 회전시키는 회전 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 척 테이블 기구.The method of claim 1,
The rotating means is held by a bearing on the fixed base, and a rotation motor for rotating the rotating means is provided on the fixed base.
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