KR20210082293A - Substrate processing apparatus - Google Patents

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KR20210082293A
KR20210082293A KR1020190173775A KR20190173775A KR20210082293A KR 20210082293 A KR20210082293 A KR 20210082293A KR 1020190173775 A KR1020190173775 A KR 1020190173775A KR 20190173775 A KR20190173775 A KR 20190173775A KR 20210082293 A KR20210082293 A KR 20210082293A
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박지호
문웅조
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주식회사 제우스
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Abstract

The present invention relates to a substrate processing apparatus which comprises: a rotary table having a wafer placed on an upper surface thereof; a ring-shaped sealing ring coupled to an upper part of the rotary table and having a plurality of locking grooves formed along an inner circumferential surface; a plurality of opening and closing units that are radially installed to be interlocked based on the vertical rotation center of the rotary table so as to be locked in a locking groove during a locking operation, and are separated from the locking groove during an unlocking operation to be unlocked; and a power transfer unit installed in an installation space of the rotary table and interlocking the opening and closing units to a locking position or an unlocking position by an external force.

Description

기판 처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}Substrate processing equipment {SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀폐링의 결합 및 분리 과정이 용이하고, 밀폐링의 결합 오차(틀어짐 등)를 줄일 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus capable of facilitating a process of coupling and separating a sealing ring and reducing a coupling error (distortion, etc.) of the sealing ring.

일반적으로, 반도체 공정에서는 웨이퍼를 식각하고 세정하는 공정 등이 수행되며, 웨이퍼를 식각이나 세정 공정에서 기판 처리장치가 사용된다.In general, a process of etching and cleaning a wafer is performed in a semiconductor process, and a substrate processing apparatus is used in the etching or cleaning process of the wafer.

이 중, 웨이퍼를 세정하는 기판 처리장치는 회전 가능하게 구비되며, 상부에 웨이퍼가 안착되는 회전 테이블과, 회전 테이블의 가장자리 영역에 링 형상으로 결합되는 밀폐링 등으로 구성되며, 회전 테이블에 안착된 웨이퍼에는 처리액이 공급된다.Among them, the substrate processing apparatus for cleaning the wafer is rotatably provided and includes a rotary table on which the wafer is seated, and a sealing ring that is coupled to the edge region of the rotary table in a ring shape, and is mounted on the rotary table. A processing liquid is supplied to the wafer.

그런데, 종래의 기판 처리장치는 회전 테이블의 상부에 밀폐링을 결합시키는 과정이 번거로웠고, 결합시 밀폐링의 결합 완료 상태가 일정하지 않아 결합 오차(틀어짐 등)가 발생할 수 있고, 오차 발생시 밀폐링의 기능이 저하되는 요인으로 작용하였다.However, in the conventional substrate processing apparatus, the process of coupling the sealing ring to the upper part of the rotary table is cumbersome, and the coupling completion state of the sealing ring is not constant during coupling, so a coupling error (distortion, etc.) may occur, and sealing when an error occurs It acted as a factor to deteriorate the function of the ring.

본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2016-0122067호(2016년 10월 21일)가 있으며, 상기 선행 문헌에는 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼 처리 장치를 위한 밀폐 링이 개시되어 있다.As a prior document related to the present invention, there is Republic of Korea Patent Publication No. 10-2016-0122067 (October 21, 2016), the prior document discloses a wafer processing apparatus and a sealing ring for the wafer processing apparatus.

본 발명의 목적은 밀폐링의 결합 오차(틀어짐 등)를 줄일 수 있는 기판 처리장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate processing apparatus capable of reducing a coupling error (distortion, etc.) of a sealing ring.

또한, 본 발명의 목적은 밀폐링의 밀폐 성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 회전 테이블과 밀폐링의 사이를 통한 약액의 침투를 방지할 수 있는 기판 처리장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of further improving the sealing performance of the sealing ring and preventing the penetration of a chemical solution through between the rotary table and the sealing ring.

본 발명에 따른 기판 처리장치는, 상면에 웨이퍼가 안착되는 회전 테이블과, 상기 회전 테이블의 상부에 결합되며, 내주면을 따라 다수의 걸림홈이 형성되는 링 형상의 밀폐링과, 상기 회전 테이블의 수직 회전중심을 기준으로 방사상에 연동가능하게 설치되어 록킹 동작시 상기 걸림홈에 걸림 위치되며, 언록킹 동작시 상기 걸림홈으로부터 이탈되어 걸림 해지되는 다수의 개폐유닛 및, 상기 회전 테이블의 설치공간에 설치되어, 외력에 의해 상기 개폐유닛을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 연동시키는 동력전달유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.A substrate processing apparatus according to the present invention includes a rotary table on which a wafer is mounted on an upper surface, a ring-shaped sealing ring coupled to an upper portion of the rotary table and having a plurality of locking grooves formed along an inner circumferential surface, and a vertical position of the rotary table A plurality of opening and closing units that are installed radially based on the rotational center to be locked in the locking groove during locking operation, and are separated from the locking groove and unlocked during unlocking operation, and installed in the installation space of the rotary table and a power transmission unit for interlocking the opening/closing unit to a locked position or an unlocked position by an external force.

또한 상기 회전 테이블은 상기 밀폐링의 하단이 안착되도록 측면을 따라 돌출되는 안착부를 구비하고, 상기 밀폐링은 하단이 상기 안착부에 안착되며, 내주면이 상기 회전 테이블의 측면에 밀착되는 것을 특징으로 한다. In addition, the rotary table has a seating portion protruding along the side so that the lower end of the sealing ring is seated, the sealing ring is characterized in that the lower end is seated in the seating portion, and the inner circumferential surface is in close contact with the side surface of the rotary table .

상기 개폐유닛은, 상기 회전 테이블의 수직 회전중심을 기준으로 방사상에 배치되며, 하단이 상기 회전 테이블에 수평회전 가능하게 관통 결합되는 회전축; 상기 회전축의 하단에 수평회전 가능하게 결합되는 종동기어; 및 상기 회전축의 상단에 수평회동 가능하게 결합되어, 록킹 위치로 회동시 일측으로 편심된 일단이 상기 걸림홈에 걸림 위치되며, 언록킹 위치로 회동시 상기 걸림홈으로부터 이탈되어 걸림 해지되는 레버;를 구비한다.The opening/closing unit may include: a rotation shaft disposed radially with respect to a vertical rotation center of the rotation table, the lower end of which is horizontally rotatably coupled to the rotation table; a driven gear rotatably coupled to a lower end of the rotation shaft; and a lever that is horizontally rotatably coupled to the upper end of the rotation shaft, one end eccentric to one side when it rotates to the locking position is engaged in the engaging groove, and is released from the engaging groove when it is rotated to the unlocked position; be prepared

상기 레버의 하면에는 편심된 일단을 향해 상향 경사지게 형성되며, 상기 레버가 록킹 위치로 회동시 상기 걸림홈의 하면을 하방으로 가압 지지하는 테이퍼면;을 더 구비한다.The lower surface of the lever is formed to be inclined upward toward the eccentric end, and when the lever is rotated to the locking position, a tapered surface for pressing and supporting the lower surface of the locking groove downwardly; is further provided.

상기 동력전달유닛은 상기 종동기어와 기계적으로 맞물림 결합되어, 상기 종동기어를 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 회동시키는 것을 특징으로 한다. 상기 동력전달유닛은, 수직 회전중심을 기준으로 록킹 또는 언록킹 방향으로 회동 가능하며, 방사상에 다수의 가이드홀이 상하로 관통 형성되는 회전판; 및 길이 방향측 일단이 상기 가이드홀을 따라 슬라이딩 가능하게 결합되고, 폭 방향 일단에 상기 종동기어와 맞물림 결합되도록 이동 톱니부가 형성되는 링크바;를 구비한다. 여기서, 상기 링크바는, 상기 회전판이 록킹 방향으로 회동시 상기 회전판의 외측으로 슬라이드 이동되어 상기 종동기어를 록킹 위치로 회동시키고, 상기 회전판이 언록킹 방향으로 회동시 상기 회전판의 수직 회전중심 방향으로 슬라이드 이동되어 상기 종동기어를 언록킹 위치로 회동시키는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 가이드홀은 상기 회전판의 수직 회전중심과 가장자리를 향해 사선으로 길이를 갖는 장홀 형상을 가지며, 상기 링크바의 길이 방향측 일단에는 상기 가이드홀의 내부에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 가이드축이 구비되는 것을 특징으로 한다.The power transmission unit is mechanically engaged with the driven gear to rotate the driven gear to a locking position or an unlocking position. The power transmission unit may be rotated in a locking or unlocking direction based on a vertical center of rotation, and a rotating plate having a plurality of guide holes formed through the upper and lower radially; and a link bar having one end slidably coupled to one end in the longitudinal direction along the guide hole, and one end in the width direction formed with a moving toothed portion to engage and engage the driven gear. Here, the link bar is, when the rotating plate rotates in the locking direction, slides to the outside of the rotating plate to rotate the driven gear to the locking position, and when the rotating plate rotates in the unlocking direction, in the direction of the vertical rotation center of the rotating plate It is characterized in that the sliding movement rotates the driven gear to the unlocked position. In addition, the guide hole has a long hole shape having a length obliquely toward the vertical rotation center and the edge of the rotating plate, and one end of the link bar in the longitudinal direction is provided with a guide shaft that is slidably inserted into the guide hole. characterized in that

또한 상기 링크바는 상기 회전판의 수직 회전중심을 기준으로 방사상으로 왕복 이동 가능하며, 상기 설치공간에는 상기 링크바를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 가이드블럭이 더 구비될 수 있다.In addition, the link bar may reciprocate radially based on the vertical rotation center of the rotating plate, and a guide block for slidably supporting the link bar may be further provided in the installation space.

또한 본 발명은 상기 동력전달유닛에 기계적으로 더 연결되며, 상기 회전판을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 회동시키는 구동유닛;을 더 구비한다. 상기 회전판의 수직 회전중심에는 중공이 상하로 관통 형성되고, 상기 중공의 내주면에는 회동 톱니부가 형성되며, 상기 구동유닛은, 상기 설치공간에 설치되어 구동력을 발생시키는 모터 및, 상기 모터의 구동축에 수평회전 가능하게 결합되며 상기 회동 톱니부와 맞물림 결합된 상태로 상기 회동 톱니부를 록킹 또는 언록킹 위치로 이동시키는 구동기어를 구비한다.In addition, the present invention further includes a drive unit that is further mechanically connected to the power transmission unit, and rotates the rotary plate to a locked position or an unlocked position. A hollow is vertically formed through the vertical rotation center of the rotating plate, and a rotating toothed portion is formed on an inner circumferential surface of the hollow, and the driving unit includes a motor installed in the installation space to generate a driving force, and horizontal to the driving shaft of the motor. It is rotatably coupled and provided with a driving gear for moving the rotational toothed portion to the locking or unlocking position in a state engaged with the rotational toothed portion.

또한 본 발명은 양단이 상기 설치공간과 상기 회전판에 결합되어 상기 회전판의 록킹 방향으로 인장력을 작용시키는 탄성부재;를 더 구비한다.In addition, the present invention further includes; an elastic member having both ends coupled to the installation space and the rotating plate to apply a tensile force in the locking direction of the rotating plate.

상기 회전 테이블에는 상기 안착부의 상면을 따라 다수의 체결핀이 수직하게 설치되며, 상기 밀폐링은, 상기 체결핀이 암수로 대응 삽입되도록 하단에 체결홈이 오목하게 형성되는 것을 특징으로 한다.A plurality of fastening pins are vertically installed along the upper surface of the seating part on the rotary table, and the sealing ring is characterized in that a fastening groove is formed concavely at the bottom so that the fastening pins are inserted correspondingly to male and female.

상기 회전 테이블에는, 상기 안착부의 상면을 따라 연속적으로 형성되는 링 형상의 외측 패킹홈; 및 상기 외측 패킹홈에 대응되게 삽입되며, 상기 외측 패킹홈의 상부로 돌출된 상단이 상기 밀폐링의 하단에 밀착되는 링 형상의 외측 패킹;이 더 구비된다.The rotary table, the ring-shaped outer packing groove formed continuously along the upper surface of the seating portion; and a ring-shaped outer packing inserted to correspond to the outer packing groove and having an upper end protruding to the upper portion of the outer packing groove in close contact with the lower end of the sealing ring.

또한 상기 밀폐링에는 내주면을 따라 연장부가 돌출 형성되며, 상기 회전 테이블에는, 가장자리측 상면을 따라 연속적으로 형성되는 링 형상의 내측 패킹홈 및, 상기 내측 패킹홈에 대응되게 삽입되며, 상기 내측 패킹홈의 상부로 돌출된 상단이 상기 연장부의 하면 또는 내주면에 밀착되는 링 형상의 내측 패킹이 더 구비될 수 있다.In addition, an extension portion is formed to protrude along an inner circumferential surface of the sealing ring, and an inner packing groove of a ring shape continuously formed along an upper surface of an edge side and a ring-shaped inner packing groove are inserted in the rotary table to correspond to the inner packing groove, and the inner packing groove A ring-shaped inner packing in which the upper end protruding to the upper part of the extension is in close contact with the lower surface or the inner circumferential surface of the extension part may be further provided.

본 발명은 회전판의 회전운동과 연동하는 링크핀의 직선운동을 이용해 다수의 레버를 록킹 또는 언록킹 위치로 회동시킴으로써, 레버의 록킹 및 언록킹이 동시에 이루어지므로 밀폐링의 결합 및 분리 과정이 용이하고, 밀폐링의 결합 오차(틀어짐 등)가 발생하지 않는 효과를 갖는다.The present invention rotates a plurality of levers to the locking or unlocking position using the linear motion of the link pin interlocking with the rotational motion of the rotary plate, so that the locking and unlocking of the levers are simultaneously made, so that the coupling and separation process of the sealing ring is easy and , has the effect that the coupling error (distortion, etc.) of the sealing ring does not occur.

또한, 본 발명은 회전 테이블과 밀폐링의 대응하는 부위에 자체 탄성력을 갖는 패킹을 결합시킴으로써, 밀폐링의 밀폐 성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 회전 테이블과 밀폐링의 사이를 통한 약액의 침투를 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention can further improve the sealing performance of the sealing ring by coupling the packing having its own elastic force to the corresponding portion of the rotary table and the sealing ring, and prevent the penetration of the chemical solution through the space between the rotary table and the sealing ring have the effect that

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리장치를 보여주기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리장치를 하방에서 보여주기 위한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리장치를 보여주기 위한 정단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 처리장치의 밀폐링을 분리시킨 상태를 보여주기 위한 분리 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 밀폐링의 걸림홈과 체결홈을 보여주기 위한 요부 확대 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 동력전달유닛을 보여주기 저면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 개폐유닛과 동력전달유닛의 연결 관계를 상세히 보여주기 위한 평단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 외측 패킹홈 및 외측 패킹과 내측 패킹홈 및 내측 패킹을 보여주기 위한 분리 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 레버에 테이퍼면이 형성된 상태를 부분적으로 보여주기 위한 정단면도이다.1 is a perspective view showing a substrate processing apparatus according to the present invention.
2 is a perspective view for showing the substrate processing apparatus according to the present invention from below.
3 is a front cross-sectional view showing a substrate processing apparatus according to the present invention.
4 is an exploded perspective view illustrating a state in which the sealing ring of the substrate processing apparatus according to the present invention is separated.
5 is an enlarged perspective view of the main part for showing the engaging groove and the fastening groove of the sealing ring in the substrate processing apparatus according to the present invention.
6 is a bottom view showing a power transmission unit in the substrate processing apparatus according to the present invention.
7 is a plan cross-sectional view for showing in detail the connection relationship between the opening/closing unit and the power transmission unit in the substrate processing apparatus according to the present invention.
8 is an exploded perspective view illustrating an outer packing groove, an outer packing, an inner packing groove, and an inner packing in the substrate processing apparatus according to the present invention.
9 is a front cross-sectional view partially illustrating a state in which a tapered surface is formed on a lever in the substrate processing apparatus according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving the same, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.However, the present invention is not limited by the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in the description of the present invention, if it is determined that related known technologies may obscure the gist of the present invention, detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리장치를 보여주기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 처리장치를 하방에서 보여주기 위한 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 기판 처리장치를 보여주기 위한 정단면도이다.1 is a perspective view for showing a substrate processing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view for showing a substrate processing apparatus according to the present invention from below, and FIG. 3 is a perspective view for showing a substrate processing apparatus according to the present invention It is a front sectional view.

도 4는 본 발명에 따른 기판 처리장치의 밀폐링을 분리시킨 상태를 보여주기 위한 분리 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 밀폐링의 걸림홈과 체결홈을 보여주기 위한 요부 확대 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 동력전달유닛을 보여주기 저면도이다.4 is an exploded perspective view illustrating a state in which the sealing ring of the substrate processing apparatus according to the present invention is separated, and FIG. 5 is an enlarged main part for showing the engaging groove and the fastening groove of the sealing ring in the substrate processing apparatus according to the present invention. It is a perspective view, and FIG. 6 is a bottom view showing the power transmission unit in the substrate processing apparatus according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 개폐유닛과 동력전달유닛의 연결 관계를 상세히 보여주기 위한 평단면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 외측 패킹홈 및 외측 패킹과 내측 패킹홈 및 내측 패킹을 보여주기 위한 분리 사시도이며, 도 9는 본 발명에 따른 기판 처리장치에서 레버에 테이퍼면이 형성된 상태를 부분적으로 보여주기 위한 정단면도이다.7 is a plan sectional view for showing in detail the connection relationship between the opening/closing unit and the power transmission unit in the substrate processing apparatus according to the present invention, and FIG. 8 is the outer packing groove and the outer packing and the inner packing groove in the substrate processing apparatus according to the present invention. and an exploded perspective view for showing the inner packing, and FIG. 9 is a front sectional view for partially showing a state in which a tapered surface is formed on the lever in the substrate processing apparatus according to the present invention.

도 1 내지 9에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리장치는 회전 테이블(100)과, 밀폐링(200)과, 개폐유닛(300)과, 동력전달유닛(400) 및, 구동유닛(500)을 포함한다.1 to 9, the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a rotary table 100, a sealing ring 200, an opening/closing unit 300, a power transmission unit 400, and , including a driving unit 500 .

먼저, 회전 테이블(100)은 상부에 처리(세정 등) 대상 웨이퍼가 안착되며, 회전 테이블(100)의 수직 회전중심에는 수평회전 가능하게 회전축이 결합된다. 여기서, 회전 테이블(100)은 원판 형상을 가질 수 있으며, 회전 테이블(100)의 회전축은 별도의 회전 구동부(미도시)에 의해 회전력이 전달될 수 있다.First, the rotation table 100 has a wafer to be processed (cleaning, etc.) mounted thereon, and a rotation shaft is coupled to the vertical rotation center of the rotation table 100 to enable horizontal rotation. Here, the rotary table 100 may have a disk shape, and a rotational force may be transmitted to the rotary shaft of the rotary table 100 by a separate rotary driving unit (not shown).

회전 테이블(100)에는 웨이퍼를 수평하게 지지하기 위한 다양한 형태의 구조가 적용될 수 있으며, 회전 테이블(100)의 가장자리에는 후술 될 밀폐링(200)의 하단이 안착될 수 있도록 안착부(101)가 돌출 형성될 수 있다. 즉, 회전 테이블(100)의 상부에 밀폐링(200)이 결합되는 경우, 밀폐링(200)의 내주면이 회전 테이블(100)의 측면에 밀착되고, 밀폐링(200)의 하단이 안착부(101)의 상면에 안착된다.Various types of structures for horizontally supporting the wafer may be applied to the rotary table 100, and a seating portion 101 is provided on the edge of the rotary table 100 so that the lower end of the sealing ring 200, which will be described later, can be seated. A protrusion may be formed. That is, when the sealing ring 200 is coupled to the upper portion of the rotary table 100, the inner circumferential surface of the sealing ring 200 is in close contact with the side surface of the rotary table 100, and the lower end of the sealing ring 200 is a seating part ( 101) is seated on the upper surface.

또한, 안착부(101)의 상면에는 체결핀(120)이 설치되는데, 체결핀(120)은 안착부(101)의 상면을 따라 다수가 이격된 상태로 수직하게 설치될 수 있다. 여기서, 체결핀(120)은 측면이 원주를 이루는 원통 형상을 가질 수 있고, 체결핀(120)의 상단은 상부로 갈수록 직경이 점진적으로 작아지는 테이퍼 형태를 가질 수 있다.In addition, the fastening pins 120 are installed on the upper surface of the seating part 101 , and the fastening pins 120 may be vertically installed in a state in which a plurality of them are spaced apart along the upper surface of the seating part 101 . Here, the fastening pin 120 may have a cylindrical shape in which the side surface forms a circumference, and the upper end of the fastening pin 120 may have a tapered shape in which the diameter gradually decreases toward the top.

체결핀(120)은, 후술 될 밀폐링(200)의 체결홈(220)과 암수로 대응되게 삽입되는 구성으로, 체결홈(220)과 동일한 개수로 형성될 수 있다.The fastening pins 120 are configured to be inserted correspondingly to the fastening grooves 220 of the sealing ring 200 to be described later, male and female, and may be formed in the same number as the fastening grooves 220 .

밀폐링(200)은, 회전 테이블(100)의 상부에 대응되게 결합되는 것으로, 밀폐링(200)은 회전 테이블(100)의 가장자리와 대응되는 링 형상을 가질 수 있다. 여기서, 밀폐링(200)은 중심에 중공이 상하로 관통 형성될 수 있고, 밀폐링(200)의 내주면을 따라 연장부(201)가 연속적으로 돌출 형성될 수 있다.The sealing ring 200 is coupled to correspond to the upper portion of the rotary table 100 , and the sealing ring 200 may have a ring shape corresponding to the edge of the rotary table 100 . Here, the sealing ring 200 may be formed through a hollow in the center up and down, and the extension part 201 may continuously protrude along the inner circumferential surface of the sealing ring 200 .

연장부(201)는, 상면이 중심 방향으로 높이가 점진적으로 감소하는 테이퍼 형상을 가질 수 있으며, 연장부(201)의 하면이 회전 테이블의 상면에 안착된다. 즉, 연장부(201)의 돌출된 끝단이 회전 테이블(100)의 상면에 밀착되고, 밀폐링(200)의 하단이 안착부(101)의 상면에 안착될 수 있다. 이때, 밀폐링(200)의 내주면이 회전 테이블(100)의 측면과 밀착되고, 밀폐링(200)의 하단이 안착부(101)의 상면에 안착될 수 있다.The extension part 201 may have a tapered shape in which the upper surface of the extension part 201 gradually decreases in height in the central direction, and the lower surface of the extension part 201 is seated on the upper surface of the rotary table. That is, the protruding end of the extension 201 may be in close contact with the upper surface of the rotary table 100 , and the lower end of the sealing ring 200 may be seated on the upper surface of the seating unit 101 . At this time, the inner circumferential surface of the sealing ring 200 may be in close contact with the side surface of the rotary table 100 , and the lower end of the sealing ring 200 may be seated on the upper surface of the seating unit 101 .

밀폐링(200)의 내주면에는 원주 방향을 따라 다수의 걸림홈(210)이 일정 간격으로 오목하게 형성될 수 있다.A plurality of locking grooves 210 may be concavely formed at regular intervals along the circumferential direction on the inner circumferential surface of the sealing ring 200 .

걸림홈(210)은, 후술 될 레버(330)의 일단이 삽입 및 탈거시키기 위한 것으로, 걸림홈(210)은 밀폐링(210)의 중심을 기준으로 방사상으로 오목하게 형성될 수 있다.The locking groove 210 is for inserting and removing one end of the lever 330 , which will be described later, and the locking groove 210 may be radially concave with respect to the center of the sealing ring 210 .

또한, 밀폐링(200)의 하단에는 전술한 체결핀(120)의 상단이 대응되게 삽입될 수 있도록 체결홈(220)이 오목하게 형성된다.In addition, a fastening groove 220 is concavely formed at the lower end of the sealing ring 200 so that the upper end of the aforementioned fastening pin 120 can be inserted correspondingly.

도 3에 도시한 바와 같이, 밀폐링(200)을 회전 테이블(100)의 상부에 결합시키는 경우, 체결홈(220)의 하부를 통해 체결핀(120)이 수직하게 삽입되므로, 밀폐링(200)이 측방으로 유동되지 않는다.As shown in FIG. 3 , when the sealing ring 200 is coupled to the upper portion of the rotary table 100 , the fastening pin 120 is vertically inserted through the lower portion of the fastening groove 220 , so the sealing ring 200 ) does not flow laterally.

아울러, 안착부(101)의 상면을 따라 링 형상의 외측 패킹홈(130)이 연속적으로 형성될 수 있으며, 도 3에서처럼 외측 패킹홈(130)은 체결핀(120)의 외곽에 위치될 수 있다.In addition, the ring-shaped outer packing groove 130 may be continuously formed along the upper surface of the seating part 101 , and the outer packing groove 130 may be located outside the fastening pin 120 as shown in FIG. 3 . .

이와 함께, 외측 패킹홈(130)에는 외측 패킹(150)이 대응되게 삽입될 수 있으며, 외측 패킹(150)의 상단이 외측 패킹홈(130)의 상부로 돌출되어 밀폐링(200)의 하단에 긴밀하게 밀착될 수 있다. 여기서, 외측 패킹(150)은 탄성 복원력을 갖는 소재(고무, 수지 계열 등)를 사용할 수 있으며, 외측 패킹홈(130)과 외측 패킹(150)은 필요에 따라 하나 또는 다수의 열로 형성시킬 수 있다.At the same time, the outer packing 150 may be inserted correspondingly into the outer packing groove 130 , and the upper end of the outer packing 150 is protruded to the upper part of the outer packing groove 130 to the lower end of the sealing ring 200 . can be closely attached. Here, the outer packing 150 may use a material (rubber, resin-based, etc.) having elastic restoring force, and the outer packing groove 130 and the outer packing 150 may be formed in one or a plurality of rows as needed. .

외측 패킹홈(130)의 하부에는 반경 방향으로 더 넓게 연장된 걸림턱이 측방으로 오목하게 형성될 수 있으며, 외측 패킹(150)의 하단에도 대응되는 걸림돌기가 돌출될 수 있다. 이와 같은 외측 패킹(150)은, 도 3에서처럼 밀폐링(200)의 하단과 자체 탄성력에 의해 긴밀하게 밀착되므로, 밀폐링(200)과 안착부(101)의 사이를 통해 약액(미도시)이 유입되지 않도록 차단한다.At the lower portion of the outer packing groove 130 , a locking protrusion extending wider in a radial direction may be concave laterally, and a corresponding locking protrusion may also protrude from the lower end of the outer packing 150 . Since this outer packing 150 is in close contact with the lower end of the sealing ring 200 by its own elastic force, as in FIG. 3 , the chemical solution (not shown) passes between the sealing ring 200 and the seating part 101 . block it from entering.

또한, 회전 테이블(100)의 상면에는 도 3과 11에서처럼 가장자리측 상면을 따라 내측 패킹홈(140)이 연속적으로 형성될 수 있다. 이와 함께, 내측 패킹홈(140)에는 내측 패킹(160)이 대응되게 삽입될 수 있으며, 내측 패킹(160)의 상단이 전술한 연장부(201)의 하면 또는 내주면에 긴밀하게 밀착될 수 있다. 여기서, 내측 패킹(160)은 탄성 복원력을 갖는 소재(고무, 수지 계열 등)를 사용할 수 있으며, 내측 패킹홈(140)과 내측 패킹(160)은 필요에 따라 하나 또는 다수의 열로 형성시킬 수 있다.In addition, the inner packing groove 140 may be continuously formed on the upper surface of the rotary table 100 along the upper surface of the edge side as shown in FIGS. 3 and 11 . In addition, the inner packing 160 may be inserted correspondingly into the inner packing groove 140 , and the upper end of the inner packing 160 may be in close contact with the lower surface or inner circumferential surface of the above-described extension part 201 . Here, the inner packing 160 may use a material (rubber, resin-based, etc.) having elastic restoring force, and the inner packing groove 140 and the inner packing 160 may be formed in one or a plurality of rows as needed. .

내측 패킹홈(140)의 하부에는 반경 방향으로 더 넓게 연장된 걸림턱이 측방으로 오목하게 형성될 수 있으며, 내측 패킹(160)의 하단에도 대응되는 걸림돌기가 돌출될 수 있다. 이와 같은 내측 패킹(140)은, 도 3에서처럼 밀폐링(200)의 연장부(201)와 자체 탄성력에 의해 긴밀하게 밀착되므로, 밀폐링(200)과 회전 테이블(100)의 사이를 통해 약액(미도시)이 유입되지 않도록 차단할 수 있고, 내측 패킹(140)과 외측 패킹(150)의 경도를 다양하게 조절함으로써, 밀폐링(200)의 밀폐력을 다양하게 조절할 수 있다.At the lower portion of the inner packing groove 140 , a stopping protrusion extending wider in a radial direction may be concave laterally, and a corresponding stopping protrusion may also protrude from the lower end of the inner packing 160 . Since this inner packing 140 is in close contact with the extension 201 of the sealing ring 200 and its own elastic force as shown in FIG. 3, the chemical solution ( (not shown) can be blocked from being introduced, and by variously adjusting the hardness of the inner packing 140 and the outer packing 150 , the sealing force of the sealing ring 200 can be variously adjusted.

한편, 회전 테이블(100)의 내부에는 구체적으로 언급하지 않았으나, 웨이퍼(미도시)를 수평하게 위치시키기 위한 별도의 구성(흡입 구성, 지지 구성 등)이 설치될 수도 있다.On the other hand, although not specifically mentioned inside the rotary table 100, a separate configuration (suction configuration, support configuration, etc.) for horizontally positioning a wafer (not shown) may be installed.

개폐유닛(300)은, 밀폐링(200)을 회전 테이블(100)의 상단에 걸림 또는 걸림 해지시키기 위한 것으로, 회전 테이블(100)의 수직 회전중심을 기준으로 방사상에 연동가능하게 설치된다.The opening/closing unit 300 is for locking or unlocking the sealing ring 200 on the upper end of the rotary table 100 , and is radially interlockingly installed based on the vertical rotation center of the rotary table 100 .

이와 같은 개폐유닛(300)은, 록킹(Locking) 동작시 밀폐링(200)의 걸림홈(210)에 걸림 위치되며, 언록킹(Unlocking) 동작시 밀폐링(200)의 걸림홈(210)으로부터 이탈되어 걸림 해지된다.Such an opening/closing unit 300 is locked in the locking groove 210 of the sealing ring 200 during the locking operation, and from the locking groove 210 of the sealing ring 200 during the unlocking operation. disengaged and disengaged.

더 상세히 설명하면, 개폐유닛(300)은 도 3과 7에 도시한 바와 같이 회전축(310)과, 종동기어(320) 및, 레버(330)로 구비될 수 있다.In more detail, the opening/closing unit 300 may include a rotating shaft 310 , a driven gear 320 , and a lever 330 as shown in FIGS. 3 and 7 .

회전축(310)은, 회전 테이블(100)의 수직 회전중심(C1)을 기준으로 방사상에 배치되며, 하단이 회전 테이블(100)에 수평회전 가능하게 관통 결합된다. 이때, 회전축(310)의 하단은 설치공간(110)의 내부에 수직하게 위치될 수 있으며, 회전축(310)의 하단에는 종동기어(320)가 결합될 수 있다.The rotation shaft 310 is radially disposed based on the vertical rotation center C1 of the rotation table 100 , and the lower end thereof is horizontally rotatably coupled to the rotation table 100 . At this time, the lower end of the rotating shaft 310 may be vertically positioned inside the installation space 110 , and the driven gear 320 may be coupled to the lower end of the rotating shaft 310 .

종동기어(320)는, 회전축(310)과 함께 수평회전 가능하며, 후술 될 링크바(420)의 이동 톱니부(421)와 맞물림 결합된다.The driven gear 320 is horizontally rotatable together with the rotation shaft 310 , and is engaged with the moving tooth portion 421 of the link bar 420 to be described later.

레버(330)는, 회전축(310)의 상단에 수평회동 가능하게 결합되는 것으로, 일측으로 편심된 일단이 록킹 또는 언록킹 위치로 회동될 수 있다. 여기서, 레버(330)는 록킹 위치로 회동시 일측으로 편심된 일단이 걸림홈(210)에 걸림 위치되며, 언록킹 위치로 회동시 걸림홈(210)으로부터 이탈되어 걸림 해지된다. 즉, 레버(330)와 걸림홈(210)가 걸림시 회전 테이블(100)의 상부에 밀폐링(200)이 고정적으로 위치될 수 있고, 레버(330)와 걸림홈(210)가 걸림 해지시 회전 테이블(100)로부터 밀폐링(200)을 분리시킬 수 있다.The lever 330 is horizontally rotatably coupled to the upper end of the rotation shaft 310 , and one end eccentric to one side may be rotated to the locked or unlocked position. Here, when the lever 330 is rotated to the locking position, one end eccentric to one side is engaged in the engaging groove 210 , and is released from the engaging groove 210 when rotating to the unlocked position. That is, when the lever 330 and the locking groove 210 are caught, the sealing ring 200 may be fixedly positioned on the upper portion of the rotary table 100 , and when the lever 330 and the locking groove 210 are locked The sealing ring 200 may be separated from the rotary table 100 .

한편, 레버(330)의 하면에는 도 9에서처럼 편심된 일단을 향해 상향 경사진 테이퍼면(331)이 더 형성될 수 있다. 이와 같은 테이퍼면(331)은, 레버(330)가 록킹 위치로 회동시 걸림홈(210)의 하면을 하방으로 가압하게 되므로, 밀폐링(200)의 하단이 외측 패킹(150)의 상단에 긴밀하게 밀착될 수 있다.On the other hand, the lower surface of the lever 330 may be further formed with a tapered surface 331 inclined upward toward the eccentric end as shown in FIG. 9 . Since the tapered surface 331 presses the lower surface of the engaging groove 210 downward when the lever 330 is rotated to the locking position, the lower end of the sealing ring 200 is close to the upper end of the outer packing 150 . can be tightly attached.

동력전달유닛(400)은, 회전 테이블(100)의 설치공간(110) 내에 설치되어, 외력에 의해 상기 회전 레버를 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 구동시킨다. 더 상세히 설명하면, 동력전달유닛(400)은 도 6에 도시한 바와 같이 회전판(410) 및, 다수의 링크바(420)로 구비될 수 있다.The power transmission unit 400 is installed in the installation space 110 of the rotary table 100, and drives the rotary lever to the locked position or the unlocked position by an external force. In more detail, the power transmission unit 400 may be provided with a rotating plate 410 and a plurality of link bars 420 as shown in FIG. 6 .

회전판(410)은, 수직 회전중심(C)을 기준으로 록킹 또는 언록킹 방향으로 회동 가능하고, 회동시 원심력이 작용할 수 있으며, 방사상에 다수의 가이드홀(411)이 상하로 관통 형성될 수 있다. 여기서, 회전판(410)은 원판 형상을 가질 수 있으며, 회전판(410)의 수직 회전중심(C1)에는 중공(412)이 상하로 관통 형성될 수 있다.The rotating plate 410 is rotatable in the locking or unlocking direction based on the vertical center of rotation (C), centrifugal force may act during rotation, and a plurality of guide holes 411 may be formed through radially up and down. . Here, the rotating plate 410 may have a disk shape, and a hollow 412 may be vertically formed through the vertical rotation center C1 of the rotating plate 410 .

가이드홀(411)은, 회전판(410)의 수직 회전중심(C)과 회전판(410)의 가장자리를 향해 사선으로 길이를 갖는 장홀 형상을 가질 수 있다. 즉, 가이드홀(411)의 길이 방향측 양단이 회전판(410)의 수직 회전중심(C) 방향과 회전판(410)의 가장자리측으로 경사지게 위치되므로, 회전판(410)의 양 방향 회동에 의해 후술 될 가이드축(422)이 록킹 또는 언록킹 위치로 직선 이동될 수 있다.The guide hole 411 may have a long hole shape having a length obliquely toward the vertical rotation center C of the rotation plate 410 and the edge of the rotation plate 410 . That is, since both ends of the guide hole 411 in the longitudinal direction are inclined in the direction of the vertical rotation center C of the rotation plate 410 and the edge side of the rotation plate 410, the guide to be described later by the rotation of the rotation plate 410 in both directions. Shaft 422 may be moved linearly to the locked or unlocked position.

또한, 회전판(410)의 내주면에는 후술 될 구동기어(520)와 맞물림 가능하도록 회동 톱니부(413)가 형성될 수 있다. 회동 톱니부(413)는, 회전판(410)의 회전 반경과 동일한 곡률을 따라 배열될 수 있으며, 회동 톱니부(413)로 전달된 회전력에 의해 회전판(410)이 록킹 또는 언록킹 방향으로 회동될 수 있다.In addition, a rotational tooth portion 413 may be formed on the inner circumferential surface of the rotating plate 410 to be engaged with a driving gear 520 to be described later. The rotational toothed portion 413 may be arranged along the same curvature as the rotational radius of the rotational plate 410, and the rotational plate 410 is rotated in the locking or unlocking direction by the rotational force transmitted to the rotational toothed portion 413. can

아울러, 회전 테이블(100)의 설치공간(110) 내에는 탄성부재(440)가 더 결합될 수 있으며, 탄성부재(440)는 양단이 설치공간(110)과 회전판(410)에 결합되어, 회전판(410)의 록킹 방향으로 인장력을 작용시킬 수 있다. 여기서, 탄성부재(440)는 코일 스프링 형태를 가질 수 있고, 설치공간(110)의 내부에는 탄성부재(440)의 일단이 연결되도록 제1연결부(170)가 구비될 수 있고, 회전판(410)의 내주면에는 탄성부재(440)의 반대되는 타단이 연결되도록 제2연결부(414)가 형성될 수 있다.In addition, an elastic member 440 may be further coupled within the installation space 110 of the rotary table 100 , and both ends of the elastic member 440 are coupled to the installation space 110 and the rotary plate 410 , and the rotary plate. A tensile force may be applied in the locking direction of 410 . Here, the elastic member 440 may have a coil spring shape, and a first connection part 170 may be provided inside the installation space 110 so that one end of the elastic member 440 is connected, and a rotating plate 410 . A second connecting portion 414 may be formed on the inner circumferential surface of the elastic member 440 so that the other end opposite to the other end is connected.

이와 같은 탄성부재(440)는, 회전판(410)의 록킹 회전 방향으로 인장 탄성력을 작용시킬 수 있으나, 탄성부재(440)의 설치 위치 및 인장 탄성력 작용 방향은 필요에 따라 다양하게 적용이 가능하다.Such an elastic member 440 may apply a tensile elastic force in the locking rotational direction of the rotating plate 410 , but the installation position and the tensile elastic force acting direction of the elastic member 440 may be variously applied as needed.

링크바(420)는, 설치공간(110) 내에서 회전판(410)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환시켜 개폐유닛(300)으로 전달하기 위한 것으로, 회전판(410)의 수직 회전중심(C)을 기준으로 방사상으로 왕복 이동 가능하다. 여기서, 링크바(420)의 길이 방향측 일단이 가이드홀(411)을 따라 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 폭 방향 일단에는 종동기어(320)와 맞물림 결합되도록 이동 톱니부(421)가 길이 방향을 따라 형성된다.The link bar 420 is to convert the rotational motion of the rotary plate 410 into a linear motion within the installation space 110 and transmit it to the opening/closing unit 300, and the vertical rotation center (C) of the rotary plate 410 is It is possible to reciprocate radially as a reference point. Here, one end of the link bar 420 in the longitudinal direction is coupled to be slidable along the guide hole 411, and the one end in the width direction is coupled to the driven gear 320 so that the moving toothed portion 421 is coupled along the longitudinal direction. is formed

톱니부(421)는, 링크바(420)의 길이 방향을 따라 배열되며, 종동 기어(320)의 수직 회전중심(C2)과 직각으로 맞물림 결합된다.The toothed portion 421 is arranged along the longitudinal direction of the link bar 420 , and is engaged with the vertical rotation center C2 of the driven gear 320 at right angles.

또한, 톱니부(421)와 반대되는 링크바(420)의 길이 방향측 일단에는 가이드홀(411)의 내부에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 가이드축(422)이 구비될 수 있다.In addition, a guide shaft 422 that is slidably inserted into the guide hole 411 may be provided at one end of the link bar 420 in the longitudinal direction opposite to the toothed portion 421 .

가이드축(422)는, 가이드홀(411)에 수직하게 관통 결합된 상태로, 가이드홀(411)의 길이 방향을 따라 슬라이드 이동될 수 있다.The guide shaft 422 is vertically coupled to the guide hole 411 , and may be slidably moved along the length direction of the guide hole 411 .

가이드축(422)에는 가이드홀(411)을 따라 이동시 마찰력을 줄이기 위한 베어링이 구비될 수도 있다.The guide shaft 422 may be provided with a bearing for reducing frictional force when moving along the guide hole 411 .

이와 같은 링크바(420)는, 회전판(410)이 록킹 방향으로 회동되는 경우, 회전판(410)의 외측으로 슬라이드 이동되어 종동기어(320)를 록킹 위치로 회동시킨다.Such a link bar 420, when the rotating plate 410 is rotated in the locking direction, slides to the outside of the rotating plate 410 to rotate the driven gear 320 to the locking position.

반면, 회전판(410)이 언록킹 방향으로 회동되는 경우, 회전판(410)의 수직 회전중심(C1) 방향으로 슬라이드 이동되어 종동기어(320)를 언록킹 위치로 회동시킨다.On the other hand, when the rotating plate 410 is rotated in the unlocking direction, it slides in the direction of the vertical rotation center (C1) of the rotating plate 410 to rotate the driven gear 320 to the unlocking position.

또한, 회전 테이블(100)의 설치공간(110)에는 링크바(420)를 슬라이드 이동 가능하게 지지하기 위한 가이드블럭(430)이 더 구비될 수 있다.In addition, a guide block 430 for slidably supporting the link bar 420 may be further provided in the installation space 110 of the rotary table 100 .

가이드블럭(430)은, 링크바(420)의 외부를 슬라이딩 가능하게 지지하므로, 링크바(420)는 폭 방향으로 흔들림 없이 록킹 및 언록킹 방향으로 이동될 수 있다.Since the guide block 430 slidably supports the outside of the link bar 420 , the link bar 420 can be moved in the locking and unlocking directions without shaking in the width direction.

구동유닛(500)은, 회전판(410)을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 회동시키기 위한 것으로, 모터(510) 및, 구동기어(520)로 구비될 수 있다.The driving unit 500 is for rotating the rotating plate 410 to a locked position or an unlocked position, and may be provided with a motor 510 and a driving gear 520 .

모터(510)는, 설치공간에 설치되어 구동력을 발생시키는 것으로, 구동기어(520)와 기계적으로 연결될 수 있으며, 구동기어(520)는 모터(510)의 구동축에 수평회전 가능하게 결합된다. 여기서, 구동기어(520)는 회동 톱니부(413)와 맞물림 결합된 상태로, 회전판(410)을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 이동시킨다.The motor 510 is installed in the installation space to generate a driving force, and may be mechanically connected to the driving gear 520 , and the driving gear 520 is horizontally rotatably coupled to the driving shaft of the motor 510 . Here, the driving gear 520 moves the rotating plate 410 to the locking position or the unlocking position in a state engaged with the rotation tooth portion 413 .

이하, 도 3과 6 및 7을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리장치의 밀폐링 결합 과정을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the sealing ring coupling process of the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3, 6 and 7 .

먼저, 밀폐링(200)을 회전 테이블(100)의 상부에 결합시킬 경우, 도 3에서처럼 회전 테이블(100)의 체결핀(120)이 밀폐링(200)의 체결홈(220)에 삽입된다.First, when the sealing ring 200 is coupled to the upper portion of the rotary table 100 , the fastening pins 120 of the rotary table 100 are inserted into the fastening grooves 220 of the sealing ring 200 as shown in FIG. 3 .

이후, 모터(510)의 구동축(511)을 회전시키면, 모터(510)의 회전력에 의해 구동기어(520)가 록킹 방향으로 회전됨과 동시에 회전판(410)이 록킹 방향으로 회동된다. 이때, 회전판(410)의 가이드홀(411)이 록킹 위치로 이동됨과 동시에, 링크바(420)의 가이드축(422)이 가이드홀(411)의 길이 방향을 따라 슬라이드 이동된다.Thereafter, when the driving shaft 511 of the motor 510 is rotated, the driving gear 520 is rotated in the locking direction and the rotating plate 410 is rotated in the locking direction by the rotational force of the motor 510 . At this time, the guide hole 411 of the rotating plate 410 moves to the locking position, and at the same time, the guide shaft 422 of the link bar 420 slides along the longitudinal direction of the guide hole 411 .

이와 동시에, 링크바(420)가 록킹 위치로 이동되고, 링크바(420)의 이동 톱니부(421)와 맞물린 종동기어(320)가 록킹 방향으로 회전된다. 이때, 종동기어(320)의 회동에 의해 회전축(310)이 록킹 방향으로 회동됨과 동시에, 레버(330)의 편심된 일단이 록킹 방향으로 회동되어 걸림홈(210)에 삽입된다.At the same time, the link bar 420 is moved to the locking position, and the driven gear 320 meshed with the moving tooth portion 421 of the link bar 420 is rotated in the locking direction. At this time, the rotation shaft 310 is rotated in the locking direction by the rotation of the driven gear 320 , and at the same time, the eccentric end of the lever 330 is rotated in the locking direction and inserted into the locking groove 210 .

이 상태에서는, 레버(330)의 편심된 일단과 걸림홈(210)의 결합에 의해 밀폐링(200)이 회전 테이블(100)의 상부로 분리되지 않는 상태가 된다.In this state, the sealing ring 200 is not separated from the upper part of the rotary table 100 by the coupling of the eccentric end of the lever 330 with the locking groove 210 .

또한, 밀폐링(200)이 체결핀(120)과 체결홈(220)의 결합에 의해 정 위치에 정렬될 수 있고, 체결핀(120)의 지지력에 의해 밀폐링(200)이 측방으로 유동되지 않는다.In addition, the sealing ring 200 can be aligned in a fixed position by the coupling of the fastening pin 120 and the fastening groove 220, and the sealing ring 200 does not flow laterally by the supporting force of the fastening pin 120 . does not

아울러, 외측 패킹(150)의 상단이 밀폐링(200)의 하단에 긴밀하게 밀착됨과 동시에, 내측 패킹(160)의 상단이 밀폐링(200)의 내주면에 형성된 연장부(201)의 하면 또는 내주면에 긴밀하게 밀착된다.In addition, the upper end of the outer packing 150 is closely adhered to the lower end of the sealing ring 200 , and at the same time, the upper end of the inner packing 160 is the lower surface or inner peripheral surface of the extension 201 formed on the inner peripheral surface of the sealing ring 200 . is closely attached to

반면, 밀폐링(200)을 회전 테이블(100)의 상부로부터 분리시킬 경우, 모터(510)의 구동축(511)을 언록킹 방향으로 회전시켜 전술한 록킹 순서와 역순으로 구동시킬 수 있다.On the other hand, when the sealing ring 200 is separated from the upper portion of the rotary table 100 , the driving shaft 511 of the motor 510 is rotated in the unlocking direction to be driven in the reverse order to the above-described locking order.

결과적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전판(410)의 회전운동과 연동하는 링크바(420)의 직선운동을 이용해 다수의 레버(330)를 록킹 또는 언록킹 위치로 회동시킴으로써, 레버(330)의 록킹 및 언록킹이 동시에 이루어지므로 밀폐링(200)의 결합 및 분리 과정이 용이하고, 밀폐링(200)의 결합 오차(틀어짐 등)를 없앨 수 있다.As a result, by rotating the plurality of levers 330 to the locking or unlocking position using the linear motion of the link bar 420 interlocking with the rotational motion of the rotary plate 410 according to an embodiment of the present invention, the lever 330 ), since the locking and unlocking are performed at the same time, the coupling and separation process of the sealing ring 200 is easy, and the coupling error (distortion, etc.) of the sealing ring 200 can be eliminated.

또한, 본 발명은 회전 테이블(100)과 밀폐링(200)의 대응하는 위치에 자체 탄성력을 갖는 내측 패킹(160) 및 외측 패킹(150)을 각각 결합시킴으로써, 밀폐링(200)의 밀폐 성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 회전 테이블(100)과 밀폐링(200)의 사이를 통한 약액의 침투를 방지할 수 있다.In addition, the present invention improves the sealing performance of the sealing ring 200 by coupling the inner packing 160 and the outer packing 150 having their own elastic force to the corresponding positions of the rotary table 100 and the sealing ring 200, respectively. It can be further improved, and it is possible to prevent the penetration of the chemical through between the rotary table 100 and the sealing ring (200).

지금까지 본 발명에 따른 기판 처리장치에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.Although specific embodiments of the substrate processing apparatus according to the present invention have been described so far, it is apparent that various implementation modifications are possible without departing from the scope of the present invention.

그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. 즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, and should be defined by the following claims as well as the claims and equivalents. That is, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive, and the scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims; All changes or modifications derived from the concept of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

100: 회전 테이블 101: 안착부
110: 설치공간 120: 체결핀
130: 외측 패킹홈 140: 내측 패킹홈
150: 외측 패킹 160: 내측 패킹
170: 제1연결부 200: 밀폐링
201: 연장부 210: 걸림홈
220: 체결홈 300: 개폐유닛
310: 회전축 320: 종동기어
330: 레버 331: 테이퍼면
400: 동력전달유닛 410: 회전판
411: 가이드홀 412: 중공
413: 회동 톱니부 414: 제2연결부
420: 링크바 421: 이동 톱니부
422: 가이드축 430: 가이드블럭
440: 탄성부재 510: 모터
511: 구동축 520: 구동기어
C1: 수직 회전중심 C2: 수직 회전중심100: rotary table 101: seating part
110: installation space 120: fastening pin
130: outer packing groove 140: inner packing groove
150: outer packing 160: inner packing
170: first connection 200: sealing ring
201: extension 210: locking groove
220: fastening groove 300: opening and closing unit
310: rotation shaft 320: driven gear
330: lever 331: tapered surface
400: power transmission unit 410: rotating plate
411: guide hole 412: hollow
413: rotation tooth part 414: second connection part
420: link bar 421: moving gear
422: guide shaft 430: guide block
440: elastic member 510: motor
511: drive shaft 520: drive gear
C1: vertical rotation center C2: vertical rotation center

Claims (15)

상면에 웨이퍼가 안착되는 회전 테이블;
상기 회전 테이블의 상부에 결합되며, 내주면을 따라 다수의 걸림홈이 형성되는 링 형상의 밀폐링;
상기 회전 테이블의 수직 회전중심을 기준으로 방사상에 연동가능하게 설치되어 록킹 동작시 상기 걸림홈에 걸림 위치되며, 언록킹 동작시 상기 걸림홈으로부터 이탈되어 걸림 해지되는 다수의 개폐유닛; 및
상기 회전 테이블의 설치공간에 설치되어, 외력에 의해 상기 개폐유닛을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 연동시키는 동력전달유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.a rotary table on which the wafer is mounted;
a ring-shaped sealing ring coupled to an upper portion of the rotary table and having a plurality of locking grooves formed along an inner circumferential surface;
a plurality of opening/closing units installed radially based on the vertical rotation center of the rotary table so as to be engaged in the locking groove during the locking operation, and separated from the locking groove and unlocked during the unlocking operation; and
and a power transmission unit installed in the installation space of the rotary table and interlocking the opening/closing unit to a locked position or an unlocked position by an external force. 제1항에 있어서,
상기 회전 테이블은 상기 밀폐링의 하단이 안착되도록 측면을 따라 돌출되는 안착부를 구비하고,
상기 밀폐링은 하단이 상기 안착부에 안착되며, 내주면이 상기 회전 테이블의 측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.According to claim 1,
The rotary table has a seating portion protruding along the side so that the lower end of the sealing ring is seated,
The sealing ring is a substrate processing apparatus, characterized in that the lower end is seated in the seating portion, the inner peripheral surface is in close contact with the side surface of the rotary table. 제2항에 있어서, 상기 개폐유닛은,
상기 회전 테이블의 수직 회전중심을 기준으로 방사상에 배치되며, 하단이 상기 회전 테이블에 수평회전 가능하게 관통 결합되는 회전축;
상기 회전축의 하단에 수평회전 가능하게 결합되는 종동기어; 및
상기 회전축의 상단에 수평회동 가능하게 결합되어, 록킹 위치로 회동시 일측으로 편심된 일단이 상기 걸림홈에 걸림 위치되며, 언록킹 위치로 회동시 상기 걸림홈으로부터 이탈되어 걸림 해지되는 레버;를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.According to claim 2, wherein the opening and closing unit,
a rotation shaft disposed radially with respect to the vertical rotation center of the rotation table, the lower end of which is horizontally rotatably coupled to the rotation table;
a driven gear rotatably coupled to a lower end of the rotation shaft; and
A lever that is horizontally rotatably coupled to the upper end of the rotation shaft, one end eccentric to one side is locked in the locking groove when it is rotated to the locking position, and is released from the locking groove when it is rotated to the unlocked position. A substrate processing apparatus, characterized in that. 제3항에 있어서,
상기 레버의 하면에는 편심된 일단을 향해 상향 경사지게 형성되며, 상기 레버가 록킹 위치로 회동시 상기 걸림홈의 하면을 하방으로 가압 지지하는 테이퍼면;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.4. The method of claim 3,
The substrate processing apparatus according to claim 1, further comprising: a tapered surface formed on a lower surface of the lever to be inclined upward toward an eccentric end, and for pressing and supporting a lower surface of the locking groove downward when the lever is rotated to a locking position. 제3항에 있어서,
상기 동력전달유닛은 상기 종동기어와 기계적으로 맞물림 결합되어, 상기 종동기어를 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 회동시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.4. The method of claim 3,
The power transmission unit is mechanically engaged with the driven gear to rotate the driven gear to a locked position or an unlocked position. 제5항에 있어서, 상기 동력전달유닛은,
수직 회전중심을 기준으로 록킹 또는 언록킹 방향으로 회동 가능하며, 방사상에 다수의 가이드홀이 상하로 관통 형성되는 회전판; 및
길이 방향측 일단이 상기 가이드홀을 따라 슬라이딩 가능하게 결합되고, 폭 방향 일단에 상기 종동기어와 맞물림 결합되도록 이동 톱니부가 형성되는 링크바;를 구비하는 것을 특징으로 한은 기판 처리장치.According to claim 5, wherein the power transmission unit,
a rotating plate capable of rotating in a locking or unlocking direction based on a vertical rotational center, and having a plurality of guide holes formed through radially up and down; and
and a link bar having one end slidably coupled to one end in the longitudinal direction along the guide hole, and the one end in the width direction formed with moving teeth to engage and engage the driven gear. 제6항에 있어서, 상기 링크바는,
상기 회전판이 록킹 방향으로 회동시 상기 회전판의 외측으로 슬라이드 이동되어 상기 종동기어를 록킹 위치로 회동시키고, 상기 회전판이 언록킹 방향으로 회동시 상기 회전판의 수직 회전중심 방향으로 슬라이드 이동되어 상기 종동기어를 언록킹 위치로 회동시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.The method of claim 6, wherein the link bar,
When the rotating plate rotates in the locking direction, it slides to the outside of the rotating plate to rotate the driven gear to the locking position, and when the rotating plate rotates in the unlocking direction, it slides in the direction of the vertical rotation center of the rotating plate to move the driven gear A substrate processing apparatus characterized in that it is rotated to an unlocked position. 제6항에 있어서,
상기 가이드홀은 상기 회전판의 수직 회전중심과 가장자리를 향해 사선으로 길이를 갖는 장홀 형상을 가지며,
상기 링크바의 길이 방향측 일단에는 상기 가이드홀의 내부에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 가이드축이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.7. The method of claim 6,
The guide hole has a long hole shape having a length obliquely toward the vertical rotation center and the edge of the rotating plate,
The substrate processing apparatus, characterized in that the one end of the longitudinal side of the link bar is provided with a guide shaft slidably inserted into the guide hole. 제6항에 있어서,
상기 링크바는 상기 회전판의 수직 회전중심을 기준으로 방사상으로 왕복 이동 가능하며,
상기 설치공간에는 상기 링크바를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 가이드블럭이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.7. The method of claim 6,
The link bar is capable of reciprocating radially based on the vertical rotation center of the rotating plate,
The substrate processing apparatus, characterized in that the installation space is further provided with a guide block for supporting the link bar slidably. 제6항에 있어서,
상기 동력전달유닛에 기계적으로 더 연결되며, 상기 회전판을 록킹 위치 또는 언록킹 위치로 회동시키는 구동유닛;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.7. The method of claim 6,
and a driving unit further mechanically connected to the power transmission unit and configured to rotate the rotating plate to a locked position or an unlocked position. 제10항에 있어서,
상기 회전판의 수직 회전중심에는 중공이 상하로 관통 형성되고, 상기 중공의 내주면에는 회동 톱니부가 형성되며,
상기 구동유닛은, 상기 설치공간에 설치되어 구동력을 발생시키는 모터 및, 상기 모터의 구동축에 수평회전 가능하게 결합되며 상기 회동 톱니부와 맞물림 결합된 상태로 상기 회동 톱니부를 록킹 또는 언록킹 위치로 이동시키는 구동기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.11. The method of claim 10,
A hollow is formed vertically through the vertical rotation center of the rotating plate, and a rotational sawtooth portion is formed on the inner circumferential surface of the hollow,
The driving unit is installed in the installation space to generate a driving force, and horizontally rotatably coupled to a drive shaft of the motor, and moves the rotating gear to a locking or unlocking position in a state of engagement with the rotating gear. A substrate processing apparatus, characterized in that it is provided with a driving gear. 제6항에 있어서,
양단이 상기 설치공간과 상기 회전판에 결합되어 상기 회전판의 록킹 방향으로 인장력을 작용시키는 탄성부재;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.7. The method of claim 6,
and an elastic member having both ends coupled to the installation space and the rotating plate to apply a tensile force in the locking direction of the rotating plate. 제2항에 있어서,
상기 회전 테이블에는 상기 안착부의 상면을 따라 다수의 체결핀이 수직하게 설치되며,
상기 밀폐링은, 상기 체결핀이 암수로 대응 삽입되도록 하단에 체결홈이 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.3. The method of claim 2,
A plurality of fastening pins are vertically installed on the rotary table along the upper surface of the seating part,
The sealing ring, the substrate processing apparatus, characterized in that the fastening groove is formed concavely at the bottom so that the fastening pin is inserted correspondingly to the male and female. 제2항에 있어서, 상기 회전 테이블에는,
상기 안착부의 상면을 따라 연속적으로 형성되는 링 형상의 외측 패킹홈; 및
상기 외측 패킹홈에 대응되게 삽입되며, 상기 외측 패킹홈의 상부로 돌출된 상단이 상기 밀폐링의 하단에 밀착되는 링 형상의 외측 패킹;이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.According to claim 2, wherein the rotary table,
a ring-shaped outer packing groove continuously formed along the upper surface of the seating part; and
and a ring-shaped outer packing inserted to correspond to the outer packing groove and having an upper end protruding to the upper portion of the outer packing groove in close contact with the lower end of the sealing ring. 제2항에 있어서,
상기 밀폐링에는 내주면을 따라 연장부가 돌출 형성되며,
상기 회전 테이블에는, 가장자리측 상면을 따라 연속적으로 형성되는 링 형상의 내측 패킹홈 및, 상기 내측 패킹홈에 대응되게 삽입되며, 상기 내측 패킹홈의 상부로 돌출된 상단이 상기 연장부의 하면 또는 내주면에 밀착되는 링 형상의 내측 패킹이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.3. The method of claim 2,
An extension is formed in the sealing ring to protrude along an inner circumferential surface,
In the rotary table, a ring-shaped inner packing groove continuously formed along the upper surface of the edge side, and inserted corresponding to the inner packing groove, the upper end protruding to the upper part of the inner packing groove is on the lower surface or inner circumferential surface of the extension part Substrate processing apparatus, characterized in that further provided with a ring-shaped inner packing in close contact.
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