KR102223786B1 - Cover glass bonding apparatus having articulated robot - Google Patents

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KR102223786B1 KR1020190099507A KR20190099507A KR102223786B1 KR 102223786 B1 KR102223786 B1 KR 102223786B1 KR 1020190099507 A KR1020190099507 A KR 1020190099507A KR 20190099507 A KR20190099507 A KR 20190099507A KR 102223786 B1 KR102223786 B1 KR 102223786B1
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Abstract

본 발명은 정렬이물질검사부가 커버글라스와 OCA패널의 정렬여부와 정전척 표면의 이물질 유무를 검사할 수 있다. 따라서, 하나의 정렬이물질검사부에서 커버글라스와 OCA패널의 정렬여부와 정전척 표면의 이물질 유무를 모두 검사할 수 있어 합착장치의 구성이 단순해지고, 완제품의 생산시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명은 이형지박리유닛이 접착필름, 패널, 커버글라스를 로딩/언로딩하면서, 로딩된 접착필름의 이형지, 패널의 이형지, 커버글라스의 이형지를 박리할 수 있다. 종래는 모델별 박리 작업 수행에 많은 시간과 노력이 요구되나 본 발명은 다관절 로봇을 사용하여 로봇자체의 자유도 증가로 인한 다양한 모델에 대한 유연한 대응이 가능하다. 또한, 하나의 이형지박리유닛에서 로딩/언로딩 및 이형지 박리까지 수행할 수 있어 합착장치의 구성이 단순해지고, 완제품의 생산시간을 단축시킬 수 있다.In the present invention, the alignment foreign matter inspection unit may inspect the alignment of the cover glass and the OCA panel and the presence of foreign matter on the surface of the electrostatic chuck. Accordingly, the alignment of the cover glass and the OCA panel and the presence of foreign substances on the surface of the electrostatic chuck can all be inspected in one alignment foreign material inspection unit, thereby simplifying the configuration of the bonding device and shortening the production time of the finished product.
In the present invention, while the release paper peeling unit loads/unloads the adhesive film, panel, and cover glass, the release paper of the loaded adhesive film, the release paper of the panel, and the release paper of the cover glass can be peeled off. Conventionally, a lot of time and effort are required to perform a detachment operation for each model, but the present invention enables a flexible response to various models due to an increase in the degree of freedom of the robot itself using an articulated robot. In addition, loading/unloading and even peeling of the release paper can be performed in one release paper peeling unit, thus simplifying the configuration of the bonding device and shortening the production time of the finished product.

Figure R1020190099507
Figure R1020190099507

Description

다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치{Cover glass bonding apparatus having articulated robot}Cover glass bonding apparatus having articulated robot

본 발명은 커버글라스 합착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cover glass bonding device.

스마트폰, 컴퓨터, 모니터 등에는 다양한 종류의 표시장치가 사용되고 있다.Various types of display devices are used in smartphones, computers, and monitors.

이러한 표시장치는 영상을 표시하는 패널과, 패널의 표면에 부착되어 패널을 보호하기 위한 커버글라스로 구성된다.Such a display device includes a panel displaying an image and a cover glass attached to the surface of the panel to protect the panel.

최근 들어, 몰입도를 향상시키고, 실감나며, 편안함을 느끼게 하는 곡면형 표시장치가 다양하게 개발되고 있다.BACKGROUND ART In recent years, various curved display devices that improve immersion, feel realistic, and feel comfortable have been developed.

이러한 곡면형 표시장치는, 곡면형 패널 표면에 광학용 투명 접착 필름(Optically Clear Adhesive)을 붙이고, 진공 상태에서 플렉서블(flexible)한 패널과 곡면형 커버글라스를 합착해서 만들어진다.Such a curved display device is made by attaching an optically clear adhesive film to a surface of a curved panel, and bonding a flexible panel and a curved cover glass in a vacuum state.

곡면형 커버글라스에 플랙서블한 패널을 부착하기 위해, 다양한 종류의 합착장치가 개발되고 있다. 이러한 합착장치의 핵심기술은, 곡면형 커버글라스에 플랙서블한 패널을 구김 및 기포 없이 정확한 위치에 합착시키는 데 있다.In order to attach a flexible panel to a curved cover glass, various types of bonding devices have been developed. The core technology of such a bonding device is to bond a flexible panel to a curved cover glass in an accurate position without creases and air bubbles.

이러한 핵심기술을 구현하기 위한 합착장치로는, 한국등록특허 10-1737355, 10-1765551, 10-1861629 등에 개시된 여러 가지 합착장치가 있다.As a bonding device for implementing such a core technology, there are various bonding devices disclosed in Korean Patents 10-1737355, 10-1765551, 10-1861629, and the like.

그러나, 등록특허에 개시된 합착장치들은, 핵심기술을 구현하기 위한 구성만 제공하고 있지, 핵심기술이 문제없이 구현되기 위한 전제적 구성이나, 생산성을 향상시키기 위한 구성은 전혀 제공하지 못하고 있다.However, the bonding devices disclosed in the registered patent only provide a configuration for implementing the core technology, but do not provide a prerequisite configuration for implementing the core technology without a problem or a configuration for improving productivity at all.

예를 들어,E.g,

핵심기술이 문제없이 구현되기 위한 전제적 구성인 진공챔버내 이물질 여부 및 정렬 여부를 검사하는 구성, 진공챔버내 이물질을 제거하기 위한 구성,A configuration that checks whether foreign substances in the vacuum chamber and whether they are aligned, which are the prerequisite configurations for the core technology to be implemented without problems, a configuration for removing foreign substances in the vacuum chamber,

생산성을 향상시키기 위해, 곡면형 커버글라스와 플랙서블한 패널의 로딩 및 언로딩하는 구성, 접착필름과 패널과 커버글라스에 부착된 이형지를 효과적으로 떼어서 버리는 구성 등에 대해서는 연구가 제대로 이루어지지 않고, 기존 기술만을 가져다 쓰고 있을 뿐이다.In order to improve productivity, research has not been conducted properly on the configuration of loading and unloading curved cover glass and flexible panels, and the configuration of effectively removing the adhesive film and release paper attached to the panel and cover glass. I'm just using it.

한국등록특허(10-1737355, 10-1765551, 10-1861629)Korean registered patents (10-1737355, 10-1765551, 10-1861629)

본 발명의 목적은, 진공챔버내 이물질 여부 및 정렬 여부를 검사하는 구성과, 접착필름과 커버글라스와 패널의 로딩/언로딩 및 이형지를 제거하는 구성을 새롭게 제시하여, 완제품의 생산시간을 단축시키는 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치커버글라스 합착장치를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to newly propose a configuration for inspecting the presence of foreign substances and alignment in the vacuum chamber, and a configuration for removing the loading/unloading and release paper of the adhesive film, cover glass and panel, thereby reducing the production time of the finished product. It is to provide a cover glass bonding device with an articulated robot.

상기 목적을 달성하기 위한 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치는,A cover glass bonding device having an articulated robot for achieving the above object,

접착필름을 공급하는 OCA유닛, 패널을 공급하는 패널유닛, 커버글라스를 공급하는 커버글라스유닛, 상기 패널에 상기 접착필름을 합착하여 OCA패널을 만드는 제1합착유닛, 상기 OCA패널에 상기 커버글라스를 합착하여 완제품을 만드는 제2합착유닛, 상기 접착필름과 상기 패널과 상기 커버글라스에 부착된 이형지를 박리하는 이형지박리유닛, 박리된 이형지를 회수하는 이형지회수유닛을 포함하는 커버글라스 합착장치에 있어서,An OCA unit supplying an adhesive film, a panel unit supplying a panel, a cover glass unit supplying a cover glass, a first bonding unit that bonds the adhesive film to the panel to form an OCA panel, and attaches the cover glass to the OCA panel. In the cover glass bonding apparatus comprising a second bonding unit for bonding to form a finished product, a release paper peeling unit for peeling off the adhesive film and the release paper attached to the panel and the cover glass, and a release paper collecting unit for recovering the peeled release paper,

상기 제2합착유닛은 진공합착부와 정렬이물질검사부를 포함하며,The second bonding unit includes a vacuum bonding unit and an alignment foreign matter inspection unit,

싱기 정렬이물질검사부는, 본체, 상기 본체에 설치된 정렬검사카메라, 상기 본체에 설치된 이물질검사카메라, 상기 본체를 이동시키는 구동부를 포함하며,The new alignment foreign matter inspection unit includes a main body, an alignment inspection camera installed in the main body, a foreign matter inspection camera installed in the main body, and a driving unit for moving the main body,

상기 구동부가 상기 본체를 상기 진공합착부를 구성하는 상부챔버와 하부챔버 사이 공간으로 넣었다가 빼내는 방식으로,In a manner in which the driving unit inserts the main body into the space between the upper chamber and the lower chamber constituting the vacuum bonding unit and then pulls it out,

진공합착하기 전 분리된 상기 상부챔버와 상기 하부챔버 사이 공간에 상기 정렬검사카메라와 상기 이물질검사카메라를 위치시키고, Positioning the alignment inspection camera and the foreign matter inspection camera in the space between the upper chamber and the lower chamber separated before vacuum bonding,

진공합착하기 위해 상기 상부챔버와 상기 하부챔버가 결합되기 전에 상기 정렬검사카메라와 상기 이물질검사카메라를 빼내서,Before the upper chamber and the lower chamber are combined for vacuum bonding, the alignment inspection camera and the foreign matter inspection camera are removed,

상기 정렬이물질검사부가,The alignment foreign matter inspection unit,

상기 커버글라스 및 상기 OCA패널의 정렬여부는 물론,Of course, whether the cover glass and the OCA panel are aligned,

상기 상부챔버에 설치된 정전척 표면의 이물질 여부도 검사할 수 있게 만드는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it makes it possible to inspect whether there is foreign matter on the surface of the electrostatic chuck installed in the upper chamber.

여기서, 이형지박리유닛은,Here, the release paper peeling unit,

상기 접착필름 또는 상기 패널 또는 상기 커버글라스를 스테이지로 로딩하거나 상기 스테이지로부터 언로딩하고,Loading the adhesive film or the panel or the cover glass onto or unloading from the stage,

상기 스테이지에 로딩되어 상기 접착필름 또는 상기 패널 또는 상기 커버글라스가 상기 스테이지의 진공흡착력에 의해 고정된 상태에서, 상기 접착필름의 이형지 또는 상기 패널의 이형지 또는 상기 커버글라스의 이형지를 박리시키는 것을 특징으로 한다.It characterized in that the release paper of the adhesive film or the release paper of the panel or the release paper of the cover glass is peeled off while the adhesive film or the panel or the cover glass is loaded on the stage and fixed by the vacuum adsorption force of the stage. do.

본 발명은 정렬이물질검사부가 커버글라스와 OCA패널의 정렬여부와 정전척 표면의 이물질 유무를 검사할 수 있다. 따라서, 하나의 정렬이물질검사부에서 커버글라스와 OCA패널의 정렬여부와 정전척 표면의 이물질 유무를 모두 검사할 수 있어 합착장치의 구성이 단순해지고, 완제품의 생산시간을 단축시킬 수 있다.In the present invention, the alignment foreign material inspection unit may check whether the cover glass and the OCA panel are aligned and whether or not there is a foreign material on the surface of the electrostatic chuck. Accordingly, the alignment of the cover glass and the OCA panel and the presence of foreign substances on the surface of the electrostatic chuck can all be inspected by one alignment foreign material inspection unit, thereby simplifying the configuration of the bonding device and shortening the production time of the finished product.

본 발명은 OCA유닛, 이형지박리유닛에 다관절 로봇을 적용하여, 완제품의 생산시간을 단축시킨다.The present invention applies a multi-joint robot to the OCA unit and the release paper peeling unit, thereby reducing the production time of the finished product.

본 발명은 이형지박리유닛이 접착필름, 패널, 커버글라스를 로딩/언로딩하면서, 로딩된 접착필름의 이형지, 패널의 이형지, 커버글라스의 이형지를 박리할 수 있다. 종래는 모델별 박리 작업 수행에 많은 시간과 노력이 요구되나 본 발명은 다관절 로봇을 사용하여 로봇자체의 자유도 증가로 인한 다양한 모델에 대한 유연한 대응이 가능하다. 또한, 하나의 이형지박리유닛에서 로딩/언로딩 및 이형지 박리까지 수행할 수 있어 합착장치의 구성이 단순해지고, 완제품의 생산시간을 단축시킬 수 있다.In the present invention, while the release paper peeling unit loads/unloads the adhesive film, panel, and cover glass, the release paper of the loaded adhesive film, the release paper of the panel, and the release paper of the cover glass can be peeled off. In the related art, a lot of time and effort are required to perform a detachment operation for each model, but the present invention enables a flexible response to various models due to an increase in the degree of freedom of the robot itself by using an articulated robot. In addition, loading/unloading and even peeling of the release paper can be performed in one release paper peeling unit, thus simplifying the configuration of the bonding device and shortening the production time of the finished product.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제2합착유닛의 진공합착부를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 진공합착부를 사용하여, 커버글라스에 OCA패널을 합착하는 방법을 설명하기 위한 도면으로, 도 3(a), 도 3(b), 도 3(c)는 이를 순차적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2합착유닛을 구성하는 정렬이물질검사부를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 이형지박리유닛을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 집게부와 흡착부를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a cover glass bonding apparatus having an articulated robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a vacuum bonding unit of the second bonding unit shown in FIG. 1.
3 is a view for explaining a method of bonding the OCA panel to the cover glass using the vacuum bonding unit shown in FIG. 2, and FIGS. 3(a), 3(b), and 3(c) sequentially It is a drawing shown as.
4 is a view showing an alignment foreign matter inspection unit constituting the second bonding unit shown in FIG.
5 is a view showing the release paper peeling unit shown in FIG.
6 is a view showing the tongs portion and the adsorption portion shown in FIG.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치를 자세히 설명한다.Hereinafter, a cover glass bonding apparatus having an articulated robot according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치(10)는, OCA유닛(100), 패널유닛(200), 커버글라스유닛(300), 제1합착유닛(400), 제2합착유닛(500), 이형지박리유닛(600), 이형지회수유닛(700)으로 구성된다. 이 밖에, 커버글라스 합착장치(10)는 에어튜브, 전선, 케이블베어, 센서, 전원부, 제어부 등 다수의 부품들로 구성된다.As shown in FIG. 1, a cover glass bonding apparatus 10 having an articulated robot according to an embodiment of the present invention includes an OCA unit 100, a panel unit 200, a cover glass unit 300, It consists of a first bonding unit 400, a second bonding unit 500, a release paper peeling unit 600, and a release paper collection unit 700. In addition, the cover glass bonding device 10 is composed of a number of parts such as an air tube, an electric wire, a cable bear, a sensor, a power supply unit, and a control unit.

이하, 본 발명의 요지가 흩어지지 않게, OCA유닛(100), 패널유닛(200), 커버글라스유닛(300), 제1합착유닛(400), 제2합착유닛(500), 이형지박리유닛(600), 이형지회수유닛(700)에 대해서만 자세히 설명한다.Hereinafter, so that the gist of the present invention is not scattered, the OCA unit 100, the panel unit 200, the cover glass unit 300, the first bonding unit 400, the second bonding unit 500, the release paper peeling unit ( 600), only the release paper collection unit 700 will be described in detail.

OCA유닛(100)은 OCA투입로봇(110), USC(120), 예비정렬부(130), 버퍼(140), 정렬부(150)로 구성된다. The OCA unit 100 is composed of an OCA injection robot 110, USC 120, a preliminary alignment unit 130, a buffer 140, and an alignment unit 150.

OCA투입로봇(110)은 접착필름(OCA)을 투입한다.The OCA injection robot 110 inserts an adhesive film (OCA).

USC(120)는 접착필름(OCA)을 초음파로 세척한다.The USC 120 cleans the adhesive film (OCA) with ultrasonic waves.

예비정렬부(130)는 접착필름(OCA)을 예비적으로 정렬한다.The pre-alignment unit 130 preliminarily aligns the adhesive film OCA.

버퍼(140)는 예비정렬된 접착필름(OCA)을 다음 작업을 위해 대기시킨다.The buffer 140 waits for the pre-aligned adhesive film (OCA) for the next operation.

정렬부(150)는 접착필름(OCA)을 정확하게 정렬한다.The alignment unit 150 accurately aligns the adhesive film OCA.

패널유닛(200)은 패널투입로봇(210), MCR(220), USC(230), 정렬부(240)로 구성된다.The panel unit 200 is composed of a panel insertion robot 210, an MCR 220, a USC 230, and an alignment unit 240.

패널투입로봇(210)은 패널(Panel, PE)을 투입한다.The panel insertion robot 210 inserts a panel (PE).

MCR(220)은 패널(PE)의 바코드를 읽어들여 패널(PE)을 식별한다.The MCR 220 identifies the panel PE by reading the barcode of the panel PE.

USC(230)는 패널(PE)을 초음파로 세척한다.The USC 230 cleans the panel PE with ultrasonic waves.

정렬부(240)는 패널(PE)을 정확하게 정렬한다.The alignment unit 240 accurately aligns the panel PE.

커버글라스유닛(300)은 커버글라스투입로봇(310), 플라즈마부(320)로 구성된다.The cover glass unit 300 includes a cover glass insertion robot 310 and a plasma unit 320.

커버글라스투입로봇(310)은 커버글라스(cover glass, CG)를 투입한다.The cover glass insertion robot 310 inserts a cover glass (CG).

플라즈마부(320)는 커버글라스(CG)의 이물질을 플라즈마(plasma)로 제거한다.The plasma unit 320 removes foreign substances from the cover glass CG with plasma.

제1합착유닛(400)은 패널(PE)에 접착필름(OCA)을 롤라미(roll lamination)방식으로 접착한다. 롤라미 방식이란, 패널(PE)의 하면 끝단에 접착필름(OCA)의 일단을 붙인 상태에서, 롤러로 접착필름(OCA)을 서서히 밀어, 패널(PE)의 하면에 접착필름(OCA)을 붙이는 방식이다. 이는 스마트폰에 보호필름을 밀대로 밀어 기포 없이 붙이는 방식과 비슷하다. 이러한 롤라미 방식을 구현하기 위한 제1합착유닛(400)은 공지된 기술로 다양하게 구성할 수 있다.The first bonding unit 400 adheres the adhesive film OCA to the panel PE in a roll lamination method. The rollami method is a state in which one end of the adhesive film (OCA) is attached to the lower end of the panel (PE), and the adhesive film (OCA) is gradually pushed with a roller to attach the adhesive film (OCA) to the lower surface of the panel (PE). It's the way. This is similar to the method of pushing the protective film on the smartphone with a pusher and attaching it without air bubbles. The first bonding unit 400 for implementing such a rollami method may be configured in various ways by known techniques.

제2합착유닛(500)은 접착필름(OCA)이 붙여진 패널(PE) (이하, OCA패널“라고 칭함)에 커버글라스(CG)를 진공합착한다.The second bonding unit 500 vacuum-bonds the cover glass CG to the panel PE (hereinafter referred to as “OCA panel”) to which the adhesive film OCA is attached.

제2합착유닛(500)은 제1로딩스테이지(510), 제2로딩스테이지(520), OCA패널투입로봇(530), 진공합착부(540), OCA패널CG투입로봇(550), 정렬이물질검사부(560), 완제품언로딩로봇(570)으로 구성된다. The second bonding unit 500 includes a first loading stage 510, a second loading stage 520, an OCA panel insertion robot 530, a vacuum bonding unit 540, an OCA panel CG insertion robot 550, and alignment foreign matter. It consists of an inspection unit 560 and a finished product unloading robot 570.

제1로딩스테이지(510)에는 OCA패널(OPE)이 놓여진다.The OCA panel OPE is placed on the first loading stage 510.

제2로딩스테이지(520)에는 OCA패널(OPE) 또는 커버글라스(CG)가 놓여진다.An OCA panel (OPE) or a cover glass (CG) is placed on the second loading stage 520.

OCA패널투입로봇(530)은 OCA패널(OPE)을 제1로딩스테이지(510)에 올려놓는다.The OCA panel insertion robot 530 places the OCA panel OPE on the first loading stage 510.

도 2 및 도 3을 참조하면, 진공합착부(540)는 상부챔버(541), 하부챔버(542), 하부챔버구동부(543), 정전척(544), UVW스테이지(545), 성형패드(546), 성형패드구동부(547), 진공펌프(미도시)로 구성된다.2 and 3, the vacuum bonding unit 540 includes an upper chamber 541, a lower chamber 542, a lower chamber driving unit 543, an electrostatic chuck 544, a UVW stage 545, and a forming pad ( 546), a forming pad driving unit 547, and a vacuum pump (not shown).

상부챔버(541)와 하부챔버(542)는 수직방향으로 분리 또는 맞물린다.The upper chamber 541 and the lower chamber 542 are separated or engaged in a vertical direction.

하부챔버구동부(543)는 하부챔버(542)를 수직방향으로 상하강시킨다.The lower chamber driving part 543 vertically moves the lower chamber 542 up and down.

하부챔버구동부(543)가 하부챔버(542)를 상승시키면, 상부챔버(541)와 하부챔버(542)가 서로 맞물리게 되고, 상부챔버(541)와 하부챔버(542) 내에 밀폐된 공간이 형성된다.When the lower chamber driving part 543 raises the lower chamber 542, the upper chamber 541 and the lower chamber 542 engage with each other, and a sealed space is formed in the upper chamber 541 and the lower chamber 542. .

정전척(544)은 상부챔버(541)에 설치된다. 정전척(544)은 커버글라스(CG)를 정전기력으로 상부챔버(541)의 하면에 고정시킨다.The electrostatic chuck 544 is installed in the upper chamber 541. The electrostatic chuck 544 fixes the cover glass CG to the lower surface of the upper chamber 541 by electrostatic force.

UVW스테이지(545)는 위치 결정용 고 정밀도 XYθ 스테이지이다. UVW스테이지(545)는 X-Y-θ축 전체가 리니어모터로 구동되므로, 마찰력이 일반 볼스크류타입 UVW스테이지에 비해 적어, 동일한 서버모터에 대한 출력과 응답성이 우수하다. 또한, 리니어모터 구동이므로 백래쉬(Backlash)가 없다. 또한, 리니터모터 구동이므로 그리스 주입이 필요 없고 파손될 우려도 적다.The UVW stage 545 is a high-precision XYθ stage for positioning. Since the entire X-Y-θ axis of the UVW stage 545 is driven by a linear motor, the friction force is less than that of a general ball screw type UVW stage, and thus the output and responsiveness to the same server motor are excellent. In addition, since it is driven by a linear motor, there is no backlash. In addition, since it is driven by a linear motor, there is no need for grease injection and there is little risk of damage.

UVW스테이지(545) 위에 OCA패널(OPE)이 놓여진다. UVW스테이지(545)의 중앙은 성형패드(546)가 통과할 수 있게 개방되어 있다. UVW스테이지(545)의 상면 양측에는 OCA패널(OPE)을 잡아주는 가이드부(545a)가 설치된다. 가이드부(545a)는 OCA패널(OPE)의 크기에 따라 벌어지거나 오므려질 수 있다.An OCA panel (OPE) is placed on the UVW stage 545. The center of the UVW stage 545 is open to allow the forming pad 546 to pass therethrough. Guide portions 545a for holding the OCA panel OPE are installed on both sides of the upper surface of the UVW stage 545. The guide part 545a may be opened or closed depending on the size of the OCA panel OPE.

성형패드(546)는 UVW스테이지(545) 아래에서 대기한다.The forming pad 546 waits under the UVW stage 545.

성형패드구동부(547)는 성형패드(546)를 상하강시킨다.The forming pad driving part 547 moves the forming pad 546 up and down.

진공펌프는 상부챔버(541)와 하부챔버(542)의 결합에 의해 형성된 밀폐된 공간내 공기를 빼내어, 밀폐된 공간을 진공상태로 만든다.The vacuum pump extracts air in the closed space formed by the combination of the upper chamber 541 and the lower chamber 542, thereby making the closed space a vacuum state.

성형패드구동부(547)가 성형패드(546)를 상승시키면, 도 3에 도시된 바와 같이, 성형패드(546)가 OCA패널(OPE)을 밀고 올라가, 커버글라스(CG)의 하면에 OCA패널(OPE)을 부착시킨다.When the molding pad driving part 547 raises the molding pad 546, as shown in FIG. 3, the molding pad 546 pushes the OCA panel OPE and rises, and the OCA panel ( OPE) is attached.

이렇게 진공상태의 밀폐 공간내에서 OCA패널(OPE)과 커버글라스(CG)가 합착되어 완제품(OPEC)이 만들어진다. 여기서 완제품(OPEC)이란, 커버글라스(CG)의 하면 형상을 따라, OCA패널(OPE)이 커버글라스(CG)의 하면에 기포없이 합착된 제품을 일컫는다.In this way, the OCA panel (OPE) and the cover glass (CG) are bonded together in a closed space in a vacuum state to form a finished product (OPEC). Here, the finished product (OPEC) refers to a product in which the OCA panel (OPE) is bonded to the bottom surface of the cover glass (CG) without air bubbles along the shape of the bottom surface of the cover glass (CG).

OCA패널CG투입로봇(550)은 분리된 상부챔버(541)와 하부챔버(542) 사이 공간으로 OCA패널(OPE)을 투입한 후, UVW스테이지(545)위에 OCA패널(OPE)을 올려놓는다.The OCA panel CG insertion robot 550 inserts the OCA panel OPE into the space between the separated upper chamber 541 and the lower chamber 542, and then puts the OCA panel OPE on the UVW stage 545.

OCA패널CG투입로봇(550)은 분리된 상부챔버(541)와 하부챔버(542) 사이 공간으로 커버글라스(CG)를 투입하여 상부챔버(541)의 하면에 위치시킨다. 커버글라스(CG)는 정전척(544)에 의해 상부챔버(541)의 하면에 고정된다.The OCA panel CG insertion robot 550 inserts the cover glass CG into the space between the separated upper chamber 541 and the lower chamber 542 and is positioned on the lower surface of the upper chamber 541. The cover glass CG is fixed to the lower surface of the upper chamber 541 by the electrostatic chuck 544.

OCA패널CG투입로봇(550)은 완제품을 진공챔버부(540로부터 꺼낸다.The OCA panel CG insertion robot 550 takes out the finished product from the vacuum chamber part 540.

정렬이물질검사부(560)는 커버글라스(CG)와 OCA패널(OPE)의 정렬이 맞는지 검사하고, 정전척(544)의 표면에 이물질이 있는지 검사한다.Alignment foreign matter inspection unit 560 inspects whether the alignment of the cover glass (CG) and the OCA panel (OPE) is correct, and inspects whether there is any foreign matter on the surface of the electrostatic chuck 544.

도 4를 참조하면, 정렬이물질검사부(560)는 본체(561), 정렬검사카메라(562), 이물질검사카메라(563), 구동부(564), 영상처리부(미도시)로 구성된다.Referring to FIG. 4, the alignment foreign material inspection unit 560 includes a main body 561, an alignment inspection camera 562, a foreign material inspection camera 563, a driving unit 564, and an image processing unit (not shown).

정렬검사카메라(562)는 본체(561)의 상측에 4개가 설치되고, 본체(561)의 하측에 4개가 설치된다. 본체(561)의 상측에 설치된 정렬검사카메라(562)는 정전척(544)에 의해 상부챔버(541)의 하면에 고정된 커버글라스(CG)를 촬영하고, 본체(561)의 하측에 설치된 정렬검사카메라(562)는 UVW스테이지(545) 위에 올려진 OCA패널(OPE)을 촬영한다. 영상처리장치는 촬영된 이미지를 영상처리한다. 이러한 방식으로, 커버글라스(CG)와 OCA패널(OPE)의 정렬이 맞는지 정확하게 검사할 수 있다. 커버글라스(CG)와 OCA패널(OPE)이 제대로 정렬되지 않은 경우, UVW스테이지(545)로 정확하게 정렬한다.Four alignment inspection cameras 562 are installed on the upper side of the main body 561 and four are installed on the lower side of the main body 561. The alignment inspection camera 562 installed on the upper side of the main body 561 photographs the cover glass (CG) fixed to the lower surface of the upper chamber 541 by the electrostatic chuck 544, and the alignment installed on the lower side of the main body 561 The inspection camera 562 photographs the OCA panel OPE placed on the UVW stage 545. The image processing device image-processes the captured image. In this way, it is possible to accurately check whether the alignment of the cover glass (CG) and the OCA panel (OPE) is correct. If the cover glass (CG) and the OCA panel (OPE) are not properly aligned, the UVW stage 545 is accurately aligned.

이물질검사카메라(563)는 본체(561)의 상측에 4개가 설치된다. 이물질검사카메라(563)는 정전척(544)에 커버글라스(CG)를 부착하기 전에 정전척(544)의 표면을 촬영한다. 영상처리장치는 촬영된 이미지를 영상처리한다. 정전척(544)에 이물질이 있으면, 커버글라스(CG)가 손상될 수 있다. 이러한 방식으로, 정전척(544)의 표면에 이물질이 있는지 정확하게 검사할 수 있다. 정전척(544)의 표면에 이물질에 있는 경우, 압축공기로 불어서 이물질을 제거한다.Four foreign matter inspection cameras 563 are installed on the upper side of the main body 561. The foreign matter inspection camera 563 photographs the surface of the electrostatic chuck 544 before attaching the cover glass CG to the electrostatic chuck 544. The image processing device image-processes the captured image. If there is a foreign material in the electrostatic chuck 544, the cover glass CG may be damaged. In this way, it is possible to accurately inspect whether there are foreign substances on the surface of the electrostatic chuck 544. If there are foreign substances on the surface of the electrostatic chuck 544, the foreign substances are removed by blowing with compressed air.

구동부(564)는 본체(561))를 상부챔버(541)와 하부챔버(542) 사이 공간으로 넣었다가 빼내는 방식으로,The driving unit 564 is a method of inserting and removing the main body 561 into the space between the upper chamber 541 and the lower chamber 542,

진공합착하기 전 분리된 상부챔버(541)와 하부챔버(542) 사이 공간에 정렬검사카메라(562)와 이물질검사카메라(563)를 위치시키고,Position the alignment inspection camera 562 and the foreign matter inspection camera 563 in the space between the upper chamber 541 and the lower chamber 542 separated before vacuum bonding,

진공합착하기 위해 상부챔버(541)와 하부챔버(542)가 결합되기 전에 정렬검사카메라(562)와 이물질검사카메라(563)를 빼낸다.Before the upper chamber 541 and the lower chamber 542 are combined for vacuum bonding, the alignment inspection camera 562 and the foreign matter inspection camera 563 are removed.

이러한 정렬이물질검사부(560)를 사용함으로써, 커버글라스(CG)와 OCA패널(OPE)이 제대로 정렬되었는지 여부와, 정전척(544)의 표면에 이물질이 있는지를 검사할 수 있다. By using the alignment foreign matter inspection unit 560, it is possible to inspect whether the cover glass CG and the OCA panel OPE are properly aligned, and whether there is a foreign material on the surface of the electrostatic chuck 544.

완제품언로딩로봇(570)은 커버글라스 합착장치(10)로부터 완제품(OPEC)을 언로딩한다. 완제품은 다음 공정을 진행하는 장치로 보내진다.The finished product unloading robot 570 unloads the finished product (OPEC) from the cover glass bonding device 10. The finished product is sent to the device for the next process.

이형지박리유닛(600)은, 접착필름(OCA), 패널(PE), 커버글라스(CG)를 스테이지로 로딩하거나 스테이지로부터 언로딩한다. 여기서, 스테이지는 접착필름(OCA), 패널(PE), 커버글라스(CG)가 놓여질 수 있는 모든 종류의 스테이지를 일컫는다.The release paper peeling unit 600 loads or unloads the adhesive film (OCA), panel (PE), and cover glass (CG) onto or from the stage. Here, the stage refers to all kinds of stages on which the adhesive film (OCA), panel (PE), and cover glass (CG) can be placed.

스테이지에 로딩된 접착필름(OCA), 패널(PE), 커버글라스(CG)는 스테이지의 진공흡착력에 의해 고정된다.The adhesive film (OCA), panel (PE), and cover glass (CG) loaded on the stage are fixed by the vacuum adsorption force of the stage.

접착필름(OCA), 패널(PE), 커버글라스(CG)가 고정된 상태에서, 접착필름(OCA)의 이형지, 패널(PE)의 이형지, 커버글라스(CG)의 이형지를 박리시킨다.When the adhesive film (OCA), panel (PE), and cover glass (CG) are fixed, the release paper of the adhesive film (OCA), the release paper of the panel (PE), and the release paper of the cover glass (CG) are peeled off.

이형지박리유닛(600)은, 제1박리유닛(610), 제2박리유닛(620), 제3박리유닛(630)으로 구성된다.The release paper peeling unit 600 is composed of a first peeling unit 610, a second peeling unit 620, and a third peeling unit 630.

제1박리유닛(610)은 접착필름(OCA)을 스테이지로 로딩하거나 스테이지로부터 언로딩하고, 스테이지에 로딩된 접착필름(OCA)에 부착된 이형지를 접착필름(OCA)에 패널(PE)을 합착하기 전에 박리한다.The first peeling unit 610 loads the adhesive film (OCA) onto or unloads it from the stage, and bonds the panel PE to the adhesive film (OCA) with the release paper attached to the adhesive film (OCA) loaded on the stage. Peel off before doing.

도 5 및 도 6을 참조하면,5 and 6,

제1박리유닛(610)은 로봇부(611), 흡착부(612), 집게부(613)로 구성된다.The first peeling unit 610 includes a robot unit 611, an adsorption unit 612, and a clamp unit 613.

로봇부(611)는 다관절 로봇으로 구성되어, 흡착부(612)와 집게부(613)를 원하는 위치로 자유롭게 이동시킨다.The robot unit 611 is composed of an articulated robot, and freely moves the suction unit 612 and the clamp unit 613 to a desired position.

흡착부(612)는 접착필름(OCA)을 진공흡착한다. 흡착부(612)는 진공패드(612a), 진공패드(612a)에 진공을 가하는 진공연결관(612b), 흡착부(612)를 로봇부(611)와 연결하는 브라켓(612c)으로 구성된다.The adsorption unit 612 vacuum adsorbs the adhesive film OCA. The suction unit 612 includes a vacuum pad 612a, a vacuum connector 612b applying vacuum to the vacuum pad 612a, and a bracket 612c connecting the suction unit 612 with the robot unit 611.

집게부(613)는 접착필름(OCA)에 부착된 이형지를 박리한다. 집게부(613)는 집게(613a), 집게(613a)를 오므리고 펴는 실린더(613b), 집게부(613)를 로봇부(611)와 연결하는 브라켓(613c)으로 구성된다. The clamp part 613 peels off the release paper attached to the adhesive film OCA. The tongs 613 are composed of tongs 613a, a cylinder 613b for closing and unfolding the tongs 613a, and a bracket 613c connecting the tongs 613 to the robot 611.

제2박리유닛(620)은 패널(PE)을 스테이지로 로딩하거나 스테이지로부터 언로딩하고, 스테이지에 로딩된 패널(PE)에 부착된 이형지를 접착필름(OCA)에 패널(PE)을 합착하기 전에 박리한다. 제2박리유닛(620)의 구성은 제1박리유닛(610)의 구성과 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.The second peeling unit 620 loads the panel PE to the stage or unloads it from the stage, and before attaching the panel PE to the adhesive film OCA, the release paper attached to the panel PE loaded on the stage Peel off. Since the configuration of the second peeling unit 620 is the same as that of the first peeling unit 610, detailed descriptions will be omitted.

제3박리유닛(630)은 커버글라스(CG)를 스테이지로 로딩하거나 스테이지로부터 언로딩하고, 커버글라스(CG)에 부착된 이형지를 OCA패널(OPE)에 커버글라스(CG)를 합착하기 전에 박리한다. 제3박리유닛(630)의 구성은 제1박리유닛(610)의 구성과 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.The third peeling unit 630 loads the cover glass (CG) onto the stage or unloads it from the stage, and peels the release paper attached to the cover glass (CG) before attaching the cover glass (CG) to the OCA panel (OPE). do. Since the configuration of the third peeling unit 630 is the same as that of the first peeling unit 610, detailed descriptions are omitted.

이형지회수유닛(700)은, 제1회수부(710), 제2회수부(720), 제3회수부(730), 제4회수부(740)로 구성된다.The release paper collecting unit 700 includes a first collecting unit 710, a second collecting unit 720, a third collecting unit 730, and a fourth collecting unit 740.

제1회수부(710)는 접착필름(OCA)에서 박리된 이형지를 회수한다.The first recovery unit 710 recovers the release paper peeled off from the adhesive film (OCA).

제2회수부(720)는 패널(PE)에서 박리된 이형지를 회수한다.The second recovery unit 720 recovers the release paper peeled off from the panel PE.

제3회수부(730)는 OCA패널(OPE)에서 박리된 이형지를 회수한다.The third collection unit 730 recovers the release paper peeled from the OCA panel (OPE).

제4회수부(740)는 커버글라스(CG)에서 박리된 이형지를 회수한다.The fourth recovery unit 740 recovers the release paper peeled off from the cover glass CG.

이하, 커버글라스 합착장치로 접착필름, 패널, 커버글라스가 합착된 완제품을 만드는 과정을 설명한다. 도 1 내지 도 3을 기본적으로 참조한다.Hereinafter, a process of manufacturing a finished product in which an adhesive film, a panel, and a cover glass are bonded with a cover glass bonding device will be described. Basic reference is made to FIGS. 1 to 3.

OCA유닛(100)은 접착필름(OCA)을 투입하고, 초음파로 세척하고, 정렬한다.The OCA unit 100 inserts an adhesive film (OCA), is cleaned with ultrasonic waves, and is aligned.

패널유닛(200)은 패널(PE)을 투입하고, 초음파로 세척하고, 정렬한다.The panel unit 200 inserts the panel PE, cleans it with ultrasonic waves, and aligns it.

커버글라스유닛(300)은 커버글라스(CG)를 투입하고, 플라즈마로 이물질을 제거한다.The cover glass unit 300 inserts the cover glass (CG) and removes foreign substances with plasma.

제1합착유닛(400)은 접착필름(OCA)과 패널(PE)을 롤라미방식으로 접착한다. 패널(PE)에 접착필름(OCA)이 붙은 OCA패널(OPE)이 만들어진다.The first bonding unit 400 bonds the adhesive film (OCA) and the panel (PE) in a rollami manner. An OCA panel (OPE) with an adhesive film (OCA) attached to the panel (PE) is made.

제2합착유닛(500)에서 OCA패널(OPE)과 커버글라스(CG)가 진공합착된다. OCA패널(OPE)에 커버글라스(CG)가 붙은 완제품(OPEC)이 만들어진다.In the second bonding unit 500, the OCA panel (OPE) and the cover glass (CG) are vacuum bonded. A finished product (OPEC) with cover glass (CG) attached to the OCA panel (OPE) is made.

OCA패널CG투입로봇(550)은 완제품을 진공챔버부(540로부터 꺼낸다.The OCA panel CG insertion robot 550 takes out the finished product from the vacuum chamber part 540.

완제품(OPEC)은 컨베이어(CB)에 놓여진 후 완제품언로딩로봇(570)까지 이동한 후, 완제품언로딩로봇(570)에 의해 언로딩되어 다음 공정을 진행하는 장치로 보내진다.The finished product OPEC is placed on the conveyor CB and then moved to the finished product unloading robot 570, and is then unloaded by the finished product unloading robot 570 and sent to the device for the next process.

이형지박리유닛(600)은 완제품(OPEC)이 만들어지는 과정에서, 접착필름(OCA)에 붙은 이형지, 패널(PE)에 붙은 이형지, 커버글라스(CG)에 붙은 이형지, OCA패널(OPE)에 붙은 이형지를 박리한다. 이형지회수유닛(700)은, 박리된 이형지를 회수하여 버린다.The release paper peeling unit 600 is the release paper attached to the adhesive film (OCA), the release paper attached to the panel (PE), the release paper attached to the cover glass (CG), and the release paper attached to the OCA panel (OPE) in the process of making the finished product (OPEC). Peel off the release paper. The release paper collection unit 700 collects and discards the peeled release paper.

10: 커버글라스 합착장치 100: OCA유닛
200: 패널유닛 300: 커버글라스유닛
400: 제1합착유닛 500: 제2부착유닛
600: 이형지박리유닛 700: 이형지회수유닛
OCA: 접착필름 PE: 패널
CG: 커버글라스 OPE: OCA패널
OPEC: 완제품10: cover glass bonding device 100: OCA unit
200: panel unit 300: cover glass unit
400: first bonding unit 500: second bonding unit
600: release paper peeling unit 700: release paper collection unit
OCA: Adhesive film PE: Panel
CG: Cover glass OPE: OCA panel
OPEC: finished product

Claims (4)

접착필름을 공급하는 OCA유닛, 패널을 공급하는 패널유닛, 커버글라스를 공급하는 커버글라스유닛, 상기 패널에 상기 접착필름을 합착하여 OCA패널을 만드는 제1합착유닛, 상기 OCA패널에 상기 커버글라스를 합착하여 완제품을 만드는 제2합착유닛, 상기 접착필름과 상기 패널과 상기 커버글라스에 부착된 이형지를 박리하는 이형지박리유닛, 박리된 이형지를 회수하는 이형지회수유닛을 포함하는 커버글라스 합착장치에 있어서,
상기 이형지박리유닛은 다관절 로봇을 구비하며,
상기 제2합착유닛은 진공합착부와 정렬이물질검사부를 포함하며,
싱기 정렬이물질검사부는, 본체, 상기 본체에 설치된 정렬검사카메라, 상기 본체에 설치된 이물질검사카메라, 상기 본체를 이동시키는 구동부를 포함하며,
상기 구동부가 상기 본체를 상기 진공합착부를 구성하는 상부챔버와 하부챔버 사이 공간으로 넣었다가 빼내는 방식으로,
진공합착하기 전 분리된 상기 상부챔버와 상기 하부챔버 사이 공간에 상기 정렬검사카메라와 상기 이물질검사카메라를 위치시키고,
진공합착하기 위해 상기 상부챔버와 상기 하부챔버가 결합되기 전에 상기 정렬검사카메라와 상기 이물질검사카메라를 빼내서,
상기 정렬이물질검사부가,
상기 커버글라스 및 상기 OCA패널의 정렬여부는 물론,
상기 상부챔버에 설치된 정전척 표면의 이물질 여부도 검사할 수 있게 만드는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치.An OCA unit that supplies an adhesive film, a panel unit that supplies a panel, a cover glass unit that supplies a cover glass, a first bonding unit that bonds the adhesive film to the panel to make an OCA panel, and the cover glass to the OCA panel. In the cover glass bonding apparatus comprising a second bonding unit for bonding to form a finished product, a release paper peeling unit for peeling off the adhesive film and the release paper attached to the panel and the cover glass, and a release paper collecting unit for recovering the peeled release paper,
The release paper peeling unit includes a multi-joint robot,
The second bonding unit includes a vacuum bonding unit and an alignment foreign matter inspection unit,
Singi alignment foreign matter inspection unit includes a main body, an alignment inspection camera installed in the main body, a foreign matter inspection camera installed in the main body, and a driving unit for moving the main body,
In a manner in which the driving unit inserts the main body into the space between the upper chamber and the lower chamber constituting the vacuum bonding unit and then pulls it out,
Positioning the alignment inspection camera and the foreign matter inspection camera in the space between the upper chamber and the lower chamber separated before vacuum bonding,
Before the upper chamber and the lower chamber are combined for vacuum bonding, the alignment inspection camera and the foreign matter inspection camera are removed,
The alignment foreign matter inspection unit,
Of course, whether the cover glass and the OCA panel are aligned,
Cover glass bonding apparatus with an articulated robot, characterized in that making it possible to inspect whether there is any foreign matter on the surface of the electrostatic chuck installed in the upper chamber. 제1항에 있어서, 상기 이형지박리유닛은,
상기 접착필름 또는 상기 패널 또는 상기 커버글라스를 스테이지로 로딩하거나 상기 스테이지로부터 언로딩하고,
상기 스테이지에 로딩되어 상기 접착필름 또는 상기 패널 또는 상기 커버글라스가 상기 스테이지의 진공흡착력에 의해 고정된 상태에서, 상기 접착필름의 이형지 또는 상기 패널의 이형지 또는 상기 커버글라스의 이형지를 박리시키는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치.The method of claim 1, wherein the release paper peeling unit,
Loading the adhesive film or the panel or the cover glass onto or unloading from the stage,
It characterized in that the release paper of the adhesive film or the release paper of the panel or the release paper of the cover glass is peeled off while the adhesive film or the panel or the cover glass is loaded on the stage and fixed by the vacuum adsorption force of the stage. Cover glass bonding device equipped with a multi-jointed robot. 제2항에 있어서, 상기 이형지박리유닛은,
상기 접착필름을 상기 스테이지로 로딩하거나 상기 스테이지로부터 언로딩하고, 상기 스테이지에 로딩된 상기 접착필름에 부착된 이형지를 상기 접착필름에 상기 패널을 합착하기 전에 박리하는 제1박리유닛;
상기 패널을 상기 스테이지로 로딩하거나 상기 스테이지로부터 언로딩하고, 상기 스테이지에 로딩된 상기 패널에 부착된 이형지를 상기 접착필름에 상기 패널을 합착하기 전에 박리하는 제2박리유닛; 및
상기 커버글라스를 상기 스테이지로 로딩하거나 상기 스테이지로부터 언로딩하고, 상기 커버글라스에 부착된 이형지를 상기 OCA패널에 상기 커버글라스를 합착하기 전에 박리하는 제3박리유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치.The method of claim 2, wherein the release paper peeling unit,
A first peeling unit for loading the adhesive film onto or unloading from the stage, and peeling the release paper attached to the adhesive film loaded on the stage before attaching the panel to the adhesive film;
A second peeling unit for loading the panel to or unloading from the stage, and peeling the release paper attached to the panel loaded on the stage before bonding the panel to the adhesive film; And
Multi-joint, characterized in that it comprises a third peeling unit for loading the cover glass onto the stage or unloading it from the stage, and peeling the release paper attached to the cover glass before attaching the cover glass to the OCA panel. Cover glass bonding device equipped with a robot. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 패널은 플렉서블 패널이고, 상기 커버글라스는 곡면형 커버글라스인 것을 특징으로 하는 다관절 로봇을 구비한 커버글라스 합착장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The panel is a flexible panel, and the cover glass is a cover glass bonding apparatus with an articulated robot, wherein the cover glass is a curved cover glass.
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