KR102189880B1 - 초음파 유량계 - Google Patents

Abstract

실시예에 의한 초음파 유량계가 개시된다. 상기 초음파 유량계는 미리 정해진 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하여 출력하는 펄스 발생부; 상기 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 출력하는 구동부; 및 상기 스위칭 신호에 따라 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하여 상기 생성된 송신 신호를 초음파 센서에 출력하는 스위칭부를 포함한다.

Description

초음파 유량계{ULTRASONIC FLOWMETER}

실시예는 전달 시간차 방식의 초음파 유량계에 관한 것이다.

전달 시간차 방식의 초음파 유량계는 일정한 크기의 배관에 특정한 공진 주파수를 가지는 압전형 초음파 센서를 상향(upstream) 방향과 하향(downstream) 방향을 배치하여 배관내의 흐르는 유체의 속도를 측정하여 단면적을 곱하여 볼륨유량으로 환산하는 계측기기를 일컫는다.

이를 위해 상향센서에서 하향센서로, 하향센서에서 상향센서로 초음파 신호를 전파시켜야 한다.

하지만 여러 개의 펄스 수를 가지는 초음파 신호를 발생하여 센서에 입사하게 되는데, 초음파 센서의 특성상 구동 펄스 수보다 많은 추가의 진동(Ringing)으로 인하여 추가적으로 신호가 발생하게 되고, 수신하는 신호의 변형이 발생하게 된다. 여기에서 추가적인 진동으로 인하여 송신한 펄스 수보다 많은 수의 신호가 도착하게 되는데, 도착시간을 결정하는데 있어 잘못된 측정이 일어날 수 있다.

이를 위해 소프트웨어적으로 상향과 하향 도달시간의 차가 구동 주파수 즉, 공진 주파수의 한 주기를 벗어나지 않도록 도달시간을 설정함으로써 유체의 속도를 제한하여 유량으로 환산할 수 있으나, 시간측정 오차로 유량측정 오차를 발생시킬 수 있다.

실시예는, 전달 시간차 방식의 초음파 유량계를 제공할 수 있다.

실시예에 따른 초음파 유량계는 미리 정해진 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하여 출력하는 펄스 발생부; 상기 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 출력하는 구동부; 및 상기 스위칭 신호에 따라 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하여 상기 생성된 송신 신호를 초음파 센서에 출력하는 스위칭부를 포함할 수 있다.

상기 스위칭 신호는 제1 스위칭 신호와 제2 스위칭 신호를 포함하고, 상기 구동부는 상기 구동 신호에 따라 제1 스위칭 신호를 출력하는 제1 구동부; 및 상기 구동 신호에 따라 제2 스위칭 신호를 출력하는 제2 구동부를 포함할 수 있다.

상기 스위칭부는 제1 스위칭부와 제2 스위칭부를 포함하고, 상기 제1 스위칭부는 상기 제1 스위칭 신호에 따라 정(+)의 전압 신호를 출력하고, 상기 제2 스위칭부는 상기 제2 스위칭 신호에 따라 부(-)의 전압 신호를 출력할 수 있다.

상기 제1 스위칭부는 N 채널 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect transistor)로 구현되고, 상기 제2 스위칭부는 P 채널 MOSFET로 구현될 수 있다.

상기 제2 펄스는 상기 제1 펄스와 180도의 위상차를 갖는 펄스일 수 있다.

실시예에 따른 초음파 유량계는 미리 정해진 다수의 파라미터를 기초로 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하는 제어 장치; 및 상기 생성된 송신 신호가 제공받아 전파하는 초음파 센서를 포함할 수 있다.

상기 제어 장치는 상기 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하여 출력하는 펄스 발생부; 상기 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 출력하는 구동부; 및 상기 스위칭 신호에 따라 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하여 상기 생성된 송신 신호를 초음파 센서에 출력하는 스위칭부를 포함할 수 있다.

상기 초음파 센서는 압전형 초음파 센서일 수 있다.

실시예에 따르면, 송신하고자 하는 펄스의 개수에 따라 정상 펄스를 발생시킨 후 정상 펄스와 180도의 위상차를 갖는 역 펄스를 발생시키도록 함으로써, 압전형 초음파 센서의 추가 진동을 억제할 수 있다.

실시예에 따르면, 압전형 초음파 센서의 추가 진동을 억제하는 것이 가능하기 때문에 수신 신호의 해석을 용이하고 정확하게 할 수 있어 도달 시간을 정확히 측정할 수 있다.

실시예에 따르면, 도달 시간의 오차를 줄일 수 있기 때문에 정밀한 유량 측정이 가능할 수 있고, 특정 유체의 음향 속도를 검증할 수 있기 때문에 물 같은 제한된 유체의 적용뿐 아니라 초음파 전파가 가능한 모든 유체에 확대 적용하는 것이 가능할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 유량계의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제어 장치의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.
도 3a 내지 도 3b는 실시예에 따른 정상 펄스와 역 펄스를 설명하기 위한 도면이다.
도 4a 내지 도 4b는 실시예에 따른 구동 신호 발생 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 5a 내지 도 5b는 종래의 구동 신호와 수신 신호를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6b는 실시예에 따른 구동 신호와 수신 신호를 설명하기 위한 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다.

이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.

그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성 요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’ 되는 경우도 포함할 수 있다.

또한, 각 구성 요소의 “상(위) 또는 하(아래)”에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한, “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

실시예에서는, 송신하고자 하는 펄스의 개수에 따라 정상 펄스를 발생시킨 후 정상 펄스와 180도의 위상차를 갖는 역 펄스를 발생시키도록 한, 새로운 방안을 제안한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 유량계의 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 제어 장치의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 유량계는 내측에 유체가 흐르는 측정관(100), 센서부(200, 300)를 포함하고, 2개의 센서부 각각은 제어 장치(210, 310)와 초음파 진동자 또는 초음파 센서(220, 320)를 포함할 수 있다.

이렇게 구성된 2개의 센서부(200, 300)는 서로 초음파 신호를 전파할 수 있다.

도 2를 참조하면, 실시예에 따른 센서부(200)는 제어 장치(210), 초음파 센서(220)를 포함하고, 제어 장치(210)는 펄스 발생부(211), 구동부(212), 스위칭부(213), 임피던스 매칭부(214)를 포함할 수 있다.

펄스 발생부(211)는 다수의 파라미터를 입력받고, 입력받은 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하고 생성된 구동 신호를 구동부(212)에 출력할 수 있다. 즉, 펄스 발생부(211)는 제1 구동 신호와 제2 구동 신호를 생성하여 구동부(212)에 출력할 수 있다.

이때, 다수의 파라미터는 예컨대, 펄스 개수(pulse number), 주파수 분주(frequency divider), 인에이블(enable), 리셋(reset), 마스터 클럭(master clock), RP 인에이블(RP enable)을 포함할 수 있다. 여기서, 펄스 개수는 송신하고자 하는 펄스의 수를 나타낸다. 주파수 분주는 마스터 클럭을 분주하여 공진 주파수를 설정하기 위한 값이다. 예컨대, 마스터 클럭이 100MHz이고 주파수 분주가 100으로 설정되어 있으면 송신 주파수는 1MHz가 되고, 주파수 분주가 4000으로 설정되어 있으면 송신 주파수는 1MHz가 250KHz가 된다. 인에이블은 설정된 펄스 개수와 주파수 분주에 따라 정상 펄스(normal pulse)를 생성하는데 사용한다. 리셋은 기존 설정된 값을 재설정하거나 다시 인에이블하는 경우 사용되고, 리셋핀을 이용한다. RP 인에이블(RP enable)은 정상 펄스 생성 이후에 역 펄스(reverse pulse)를 생성하는데 사용한다.

구동부(212)는 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 스위칭부(213)에 출력할 수 있다. 구동부(212)는 제1 구동부(212a)와 제2 구동부(212b)를 포함할 수 있다. 제1 구동부(212a)는 제1 구동 신호에 따라 구동되어 제1 스위칭 신호를 출력하고, 제2 구동부(212b)는 제2 구동 신호에 따라 구동되어 제2 스위칭 신호를 출력할 수 있다.

스위칭부(213)는 스위칭 신호에 따라 온 또는 오프되어 전압을 출력할 수 있다. 스위칭부(213)는 제1 스위칭부(213a)와 제2 스위칭부(213b)를 포함할 수 있다. 제1 스위칭부(213a)는 제1 스위칭 신호에 따라 온 되어 제1 전압 신호를 출력하고, 제2 스위칭부(213b)는 제1 스위칭 신호에 따라 온 되어 제2 전압 신호를 출력할 수 있다. 여기서 제1 전압 신호는 정(+)의 전압 신호이고, 제2 전압 신호는 부(-)의 전압 신호일 수 있다.

스위칭부(213)는 제1 전압 신호와 제2 전압 신호를 이용하여 송신하고자 파는 펄스 수를 갖는 송신 신호를 생성하여 생성된 송신 신호를 초음파 센서(300)에 출력할 수 있다.

제1 스위칭부(213a)는 N 채널 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect transistor)로 구현되고, 제2 스위칭부(213b)는 P 채널 MOSFET 로 구현될 수 있다.

임피던스 매칭부(214)는 스위칭부(213)의 출력단에 연결되어 임피던스를 조절할 수 있다.

초음파 센서(220)는 유체가 흐르는 배관 내에 설치되고, 초음파 신호를 송신 또는 수신할 수 있다. 이러한 초음파 센서(220)는 예컨대, 압전형 초음파 센서일 수 있다.

도 3a 내지 도 3b는 실시예에 따른 정상 펄스와 역 펄스를 설명하기 위한 도면이다.

도 3a를 참조하면, 도 1의 구동 회로부에서 생성되는 정상 펄스를 보여주고 있다. 펄스 발생부(211)에서 0 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 온 시키고, 0V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 오프시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 +V까지 상승한다.

펄스 발생부(211)에서 1 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 오프 시키고, 1V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 온시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 -V로 하승한다.

이렇게 펄스 발생부(211)의 제1 구동 신호와 제2 구동 신호에 의해 정상 펄스가 형성될 수 있다.

이후 펄스 발생부(211)에서 1 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 오프 시키고, 0V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 오프시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 0V가 된다.

도 3b를 참조하면, 도 1의 구동 회로부에서 생성되는 역 펄스를 보여주고 있다. 펄스 발생부(211)에서 1 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 오프시키고, 1V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 온시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 -V로 하승한다.

펄스 발생부(211)에서 0 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 온 시키고, 0V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 오프시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 +V까지 상승한다.

이렇게 펄스 발생부(211)의 제1 구동 신호와 제2 구동 신호에 의해 역 펄스가 형성될 수 있다.

이후 펄스 발생부(211)에서 1 V의 제1 구동 신호(TXA)를 출력하면 제1 구동부가 제1 스위칭부의 N 채널 MOSFET를 오프 시키고, 0V의 제2 구동 신호(TXB)를 출력하면 제2 구동부가 제2 스위칭부의 P 채널 MOSFET를 오프시켜 구동 회로부의 출력(OUT)은 0V가 된다.

도 4a 내지 도 4b는 실시예에 따른 송신 신호 발생 원리를 설명하기 위한 도면이다.

도 4a를 참조하면, 예를 들면, 송신하고자 하는 펄스 개수가 5개인 경우, 실시예에 따른 구동 회로부는 5개의 정상 펄스 NP1, NP2, NP3, NP4, NP5와 180도의 위상차를 갖는 1개의 역 펄스 RP를 생성하고자 한다.

도 4b를 참조하면, 실시예에 따른 구동 회로부는 5개의 정상 펄스 NP1, NP2, NP3, NP4, NP5를 연속적으로 생성한 후 바로 1개의 역 펄스 RP를 생성하여 송신 신호를 생성한다.

여기서 1개의 역 펄스는 신호 해석 과정에서 정상적인 펄스에서 제외될 수 있다.

여기서는 정상 펄스와 180도의 위상차를 갖는 1개의 역 펄스를 생성하는 경우를 일 예로 설명하고 있지만, 반드시 이에 한정되지 않고 필요에 따라 2개 이상의 역 펄스를 생성할 수 있고 180도가 아닌 다른 각도의 위상차를 갖도록 할 수 있다.

도 5a 내지 도 5b는 종래의 송신 신호와 수신 신호를 설명하기 위한 도면이고, 도 6a 내지 도 6b는 실시예에 따른 송신 신호와 수신 신호를 설명하기 위한 도면이다.

도 5a 내지 도 5b를 참조하면, 종래의 초음파 유량계를 이용한 송신 신호와 수신 신호를 측정한 결과를 보여주고 있다. 송신하고자 하는 5개의 펄스를 갖는 송신 신호를 생성하면, 수신되는 수신 신호는 5개가 아닌 7개가 수신되고 있음을 알 수 있다.

5개의 펄스를 갖는 송신 신호를 송신하더러도 압전형 초음파 센서의 추가 진동으로 인해 수신 신호는 그 이상의 신호로 수신될 수 있어 시간 측정에 오차가 발생할 수 있다.

도 6a 내지 도 6b를 참조하면, 제안한 초음파 유량계를 이용한 송신 신호와 수신 신호를 측정한 결과를 보여주고 있다. 송신하고자 하는 5개의 펄스를 갖는 송신 신호를 생성하면, 수신되는 수신 신호는 5개가 정상적으로 수신되고 있음을 알 수 있다.

5개의 정상 펄스와 1개의 역 펄스를 갖는 송신 신호를 송신하기 때문에 1개의 역 펄스로 인해 압전형 초음파 센서의 추가 진동이 억제될 수 있음을 알 수 있다.

본 실시예에서 사용되는 '~부'라는 용어는 소프트웨어 또는 FPGA(field-programmable gate array) 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, '~부'는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 '~부'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들, 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부'들로 더 분리될 수 있다. 뿐만 아니라, 구성요소들 및 '~부'들은 디바이스 또는 보안 멀티미디어카드 내의 하나 또는 그 이상의 CPU들을 재생시키도록 구현될 수도 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100: 측정관
200: 센서부
210: 제어 장치
211: 펄스 발생부
212: 구동부
213: 스위칭부
214: 임피던스 매칭부
220: 초음파 센서

Claims (12)

1. 미리 정해진 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하여 출력하는 펄스 발생부;
   상기 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 출력하는 구동부; 및
   상기 스위칭 신호에 따라 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 상기 제1 펄스와 180도 위상차를 갖는 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하여 상기 생성된 송신 신호를 초음파 센서에 출력하는 스위칭부를 포함하고,
   상기 제1 펄스는 정(+)의 전압 신호와 부(-)의 전압 신호에 의해 형성되고,
   상기 제2 펄스는 상기 부(-)의 전압 신호와 상기 정(+)의 전압 신호에 의해 형성되는, 초음파 유량계.
2. 제1항에 있어서,
   상기 스위칭 신호는 제1 스위칭 신호와 제2 스위칭 신호를 포함하고,
   상기 구동부는
   상기 구동 신호에 따라 제1 스위칭 신호를 출력하는 제1 구동부; 및
   상기 구동 신호에 따라 제2 스위칭 신호를 출력하는 제2 구동부를 포함하는, 초음파 유량계.
3. 제2항에 있어서,
   상기 스위칭부는 제1 스위칭부와 제2 스위칭부를 포함하고,
   상기 제1 스위칭부는 상기 제1 스위칭 신호에 따라 정(+)의 전압 신호를 출력하고,
   상기 제2 스위칭부는 상기 제2 스위칭 신호에 따라 부(-)의 전압 신호를 출력하는, 초음파 유량계.
4. 제3항에 있어서,
   상기 제1 스위칭부는 N 채널 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect transistor)로 구현되고, 상기 제2 스위칭부는 P 채널 MOSFET로 구현된, 초음파 유량계.
5. 삭제
6. 미리 정해진 다수의 파라미터를 기초로 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 상기 제1 펄스와 180도의 위상차를 갖는 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하는 제어 장치; 및
   상기 생성된 송신 신호가 제공받아 전파하는 초음파 센서를 포함하고,
   상기 제1 펄스는 정(+)의 전압 신호와 부(-)의 전압 신호에 의해 형성되고,
   상기 제2 펄스는 상기 부(-)의 전압 신호와 상기 정(+)의 전압 신호에 의해 형성되는, 초음파 유량계.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제어 장치는,
   상기 다수의 파라미터를 기초로 구동 신호를 생성하여 출력하는 펄스 발생부;
   상기 구동 신호에 따라 스위칭 신호를 출력하는 구동부; 및
   상기 스위칭 신호에 따라 제1 전압 신호 또는 제2 전압 신호를 출력하여 미리 정해진 개수의 제1 펄스와 적어도 하나의 제2 펄스를 포함하는 송신 신호를 생성하여 상기 생성된 송신 신호를 초음파 센서에 출력하는 스위칭부를 포함하는, 초음파 유량계.
8. 제7항에 있어서,
   상기 스위칭 신호는 제1 스위칭 신호와 제2 스위칭 신호를 포함하고,
   상기 구동부는
   상기 구동 신호에 따라 제1 스위칭 신호를 출력하는 제1 구동부; 및
   상기 구동 신호에 따라 제2 스위칭 신호를 출력하는 제2 구동부를 포함하는, 초음파 유량계.
9. 제8항에 있어서,
   상기 스위칭부는 제1 스위칭부와 제2 스위칭부를 포함하고,
   상기 제1 스위칭부는 상기 제1 스위칭 신호에 따라 정(+)의 전압 신호를 출력하고,
   상기 제2 스위칭부는 상기 제2 스위칭 신호에 따라 부(-)의 전압 신호를 출력하는, 초음파 유량계.
10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 스위칭부는 N 채널 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect transistor)로 구현되고, 상기 제2 스위칭부는 P 채널 MOSFET로 구현된, 초음파 유량계.
11. 삭제
12. 제6항에 있어서,
    상기 초음파 센서는 압전형 초음파 센서인, 초음파 유량계.

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