KR102188600B1 - An apparatus for transporing product - Google Patents

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Abstract

본 발명은 물건이송장치에 관한 것으로서, 본 발명의 물건이송장치는, 벨트를 충격하는 충격부와, 상기 벨트의 진동수를 측정하는 진동측정부와, 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부 및 상기 충격부를 제어하고, 상기 벨트의 진동수에 기반하여 상기 장력조절부를 제어하는 제어부를 포함한다.The present invention relates to an object transport device, wherein the object transport device includes an impact unit for impacting a belt, a vibration measurement unit for measuring the frequency of the belt, a tension control unit for adjusting the tension of the belt, and the And a control unit controlling the impact unit and controlling the tension control unit based on the frequency of the belt.

Description

물건이송장치{AN APPARATUS FOR TRANSPORING PRODUCT}Goods transfer device {AN APPARATUS FOR TRANSPORING PRODUCT}

본 발명은 물건이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 물건이송장치에 구비된 벨트의 장력이 작업자의 관여 없이 주기적으로 조절될 수 있는 물건이송장치를 제공하는 데에 있다.The present invention relates to a material transfer device, and more particularly, to provide a material transfer device in which the tension of a belt provided in the product transfer device can be periodically adjusted without the involvement of an operator.

일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체, 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.In general, a manufacturing line of a semiconductor or display manufacturing plant is composed of multiple layers, and facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, and cleaning may be arranged in each layer. A semiconductor device or a display device can be manufactured by repeatedly performing a series of unit processes on a glass substrate used as a display substrate.

한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.Meanwhile, the transfer of materials between the layers, that is, transfer of materials such as a semiconductor wafer or a glass substrate may be performed by a tower lift installed in a vertical direction through each of the layers.

타워 리프트는 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 타이밍 벨트를 이용하여 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 구비할 수 있다. 또한 타워리프트에는 벨트의 장력을 조절하기 위한 벨트장력조절유닛이 구비될 수 있다. 이러한 벨트장력조절유닛은 작업자에 의해 구동된다. 즉, 작업자가 장력을 직접 또는 간접적으로 측정해야 하며, 측정된 값에 기반하여 작업자가 벨트장력조절유닛을 직접 조정하여 벨트의 장력을 조절해야 한다. 이에 따라, 예방정비를 위한 주기적인 벨트의 장력조절 작업에는 시간과 비용이 많이 든다는 문제점이 존재한다.The tower lift may include a main frame extending in a vertical direction, a carriage module for conveying materials, and a driving module disposed on the main frame and moving the carriage module in a vertical direction using a timing belt. In addition, the tower lift may be provided with a belt tension control unit for adjusting the tension of the belt. This belt tension control unit is driven by an operator. That is, the operator must directly or indirectly measure the tension, and the operator must directly adjust the belt tension adjustment unit based on the measured value to adjust the tension of the belt. Accordingly, there is a problem in that it takes a lot of time and cost in the periodic belt tension adjustment work for preventive maintenance.

본 발명은 작업자의 관여 없이 벨트의 장력이 주기적으로 조절되는 물건이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an object transport device in which the tension of a belt is periodically adjusted without the involvement of an operator.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 물건이송장치는, 벨트를 충격하는 충격부; 상기 벨트의 진동수를 측정하는 진동측정부; 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부; 및 상기 충격부를 제어하고, 상기 벨트의 진동수에 기반하여 상기 장력조절부를 제어하는 제어부를 포함한다.An object transport apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: an impact unit for impacting the belt; A vibration measuring unit measuring the frequency of the belt; A tension control unit for adjusting the tension of the belt; And a control unit controlling the impact unit and controlling the tension control unit based on a frequency of the belt.

또한 실시예에 있어서, 상기 제어부는, 미리 설정된 주기의 경과 여부와 상기 물건이송장치의 구동 상태를 판단하는 준비상태판단부; 상기 미리 설정된 주기가 경과하고 상기 물건이송장치의 구동 상태가 휴지 중인 경우, 상기 충격부로 하여금 상기 벨트를 충격하도록 제어하고 상기 벨트의 진동수을 기반으로 상기 벨트의 장력을 조절하도록 상기 장력조절부를 제어하는 장력제어부를 포함한다.In addition, in an embodiment, the control unit includes: a ready state determination unit for determining whether a predetermined period has elapsed and a driving state of the object transport device; When the predetermined period elapses and the driving state of the object transport device is at rest, the impact unit controls the impact to the belt and the tension control unit controls the tension of the belt based on the frequency of the belt. It includes a control unit.

또한 실시예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정된 벨트의 진동수, 상기 장력조절부의 장력조절 정도, 상기 장력조절부의 장력조절 시기, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 구비하는 저장부; 상기 저장부에 누적 저장되는 정보를 기반으로 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 이상판단부; 상기 이상판단부의 판단결과를 사용자에게 통지하는 통지부를 더 포함한다.In addition, in an embodiment, the control unit includes information on at least one of the measured frequency of the belt, the degree of tension adjustment of the tension adjustment unit, the tension adjustment timing of the tension adjustment unit, and the cumulative number of tension adjustments of the tension adjustment unit. Storage; An abnormality determination unit determining whether the belt is abnormal based on information accumulated and stored in the storage unit; It further includes a notification unit for notifying the user of the determination result of the abnormality determination unit.

또한 실시예에 있어서, 상기 이상판단부는, 상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절 정도가 임계조절 정도 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절주기가 임계조절주기 이하인지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수가 임계누적횟수 이하인지 여부 중 적어도 하나에 기반하여 상기 벨트의 이상유무를 판단한다.In addition, in an embodiment, the abnormality determination unit includes whether the frequency of the belt is located within a critical frequency range, whether the tension control degree of the tension control unit is within a critical control degree range, and the tension control period of the tension control unit is critical. Whether the belt is abnormal or not is determined based on at least one of whether the control period is less than or not and whether the accumulated number of tension adjustments of the tension adjusting unit is less than or equal to a critical accumulated number.

또한 실시예에 있어서, 상기 장력조절부는, 상기 벨트를 가압하는 아이들 풀리와, 상기 아이들 풀리에 고정되는 암과, 상기 제어부의 제어 하에, 상기 아이들 풀리가 상기 벨트를 가압하도록, 상기 암을 상기 암의 길이방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하여 암구동부를 포함한다.In addition, in an embodiment, the tension control unit includes an idle pulley that presses the belt, an arm fixed to the idle pulley, and under the control of the control unit, the arm is adjusted so that the idle pulley presses the belt. It includes an arm driving part by extending or driving the arm in the longitudinal direction of the rotation.

본 발명의 실시예에 의하면, 사용자가 관여하지 않아도 벨트의 장력이 조절되므로 벨트의 장력을 조절하는데 필요한 시간과 비용을 절약할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the tension of the belt is adjusted without the user's involvement, time and cost required for adjusting the tension of the belt can be saved.

본 발명의 실시예에 의하면, 미리 설정된 주기마다 벨트의 장력이 조절되므로 벨트 이상에 따른 설비 고장을 사전에 예방할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the tension of the belt is adjusted at every preset period, equipment failure due to a belt abnormality can be prevented in advance.

본 발명의 실시예에 의하면, 저장부에 저장된 정보를 이용하여 벨트의 이상 여부가 판단되거나 또는 벨트의 장력 변화 흐름을 사용자의 모니터링에 의해 벨트의 이상여부가 판단될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to determine whether the belt is abnormal by using information stored in the storage unit or by monitoring a change in tension of the belt by a user.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다
도 4는 도 3에 도시된 제어부의 설명을 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 3에 도시된 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도시한 플로우차트이다.
1 is a schematic configuration diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating the carriage module illustrated in FIG. 1.
3 is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 1
4 is a schematic configuration diagram for explaining the control unit illustrated in FIG. 3.
5 is a flowchart showing a driving process of the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 3.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments disclosed in the present specification will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but identical or similar elements are denoted by the same reference numerals regardless of reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted.

이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The suffixes "module" and "unit" for components used in the following description are given or used interchangeably in consideration of only the ease of preparation of the specification, and do not have meanings or roles that are distinguished from each other by themselves. In addition, in describing the embodiments disclosed in the present specification, when it is determined that a detailed description of related known technologies may obscure the subject matter of the embodiments disclosed in the present specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the accompanying drawings are for easy understanding of the embodiments disclosed in the present specification, and the technical idea disclosed in the present specification is not limited by the accompanying drawings, and all modifications included in the spirit and scope of the present invention It should be understood to include equivalents or substitutes. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 자명하다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is apparent that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit and essential features of the present invention.

이하 도 1 내지 도 5를 참조하여 물건이송장치에 대해 설명한다.Hereinafter, an object transport apparatus will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

물건이송장치는 물건을 이송하는 장치로서, 예를 들어 물건이송장치는 스토커, 타워리프트, 기판처리장치 내의 이송챔버 증 어느 하나가 될 수 있다. 도 1은 타워리프트를 도시하고 있지만, 타워리프트는 물건이송장치의 하나의 예이고, 이에 한정되지 않는다. The object transport device is a device that transports objects, and for example, the object transport device can be any one of a stocker, a tower lift, or a transport chamber in a substrate processing device. Although FIG. 1 shows a tower lift, the tower lift is an example of an object transfer device, but is not limited thereto.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic configuration diagram for explaining the carriage module shown in Figure 1, Figure 3 is shown in Figure 1 It is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module.

본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(100)는 수직 방향으로 물건을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 물건은 풉, 캐리어, 보관용기, 웨이퍼, 기판 중 어느 하나가 될 수 있다. The tower lift 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transport objects in a vertical direction. For example, the object can be any one of a FOUP, a carrier, a storage container, a wafer, or a substrate.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과, 상기 메인 프레임(102)의 전방에 배치되며 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈(110)과, 상기 메인 프레임(102)의 상부에 배치되며 벨트(202)을 통해 상기 캐리지 모듈(110)과 연결되고 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈(200)과, 벨트(202)의 장력을 자동으로 조절하는 벨트장력자동조절모듈(300)을 포함할 수 있다.1 and 2, according to an embodiment of the present invention, the tower lift 100 includes a main frame 102 extending in a vertical direction, and is disposed in front of the main frame 102, and A carriage module 110 configured to be movable in a vertical direction along the frame 102 and disposed above the main frame 102 and connected to the carriage module 110 through a belt 202, and the carriage module ( It may include a driving module 200 for moving 110 in the vertical direction, and an automatic belt tension adjustment module 300 for automatically adjusting the tension of the belt 202.

또한, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드레일들(104)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들(120, 130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에는 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 가이드 레일들(104)에 결합되는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)이 장착될 수 있다.In addition, the tower lift 100 includes guide rails 104 extending parallel to each other in a vertical direction along the main frame 102, and is mounted on the carriage module 110 and the guide rails 104 Guide units 120 and 130 for guiding the carriage module 110 in a vertical direction may be included. For example, a pair of guide rails 104 extending parallel to each other in a vertical direction may be provided on both side surfaces of the main frame 102, and the guide rails ( Upper guide units 120 and lower guide units 130 coupled to 104 may be mounted.

도 2를 참조하면, 상기 캐리지 모듈(110)은, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)과 브레이크 모듈(150)이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임(112) 및 상기 승강 프레임(112)에 장착되며 이송 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재(10)를 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 프레임(112)은 상기 후면을 갖는 승강 플레이트(114)와 상기 캐리지 로봇(118)이 설치되는 서포트 플레이트(116; Support Plate)를 포함할 수 있으며, 상기 캐리지 로봇(118)은, 예를 들면, 도시된 바와 같이 복수의 기판들이 수납되는 풉(FOUP)과 같은 수납 용기를 핸들링할 수 있다. 추가적으로, 도시된 바와 같이, 상기 승강 프레임(112)에는 상기 캐리지 로봇(116)에 의해 운반된 수납 용기를 파지하기 위한 홀딩 유닛(119)이 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2, the carriage module 110 includes a lifting frame 112 and a lifting frame 112 having a rear surface on which the upper and lower guide units 120 and 130 and the brake module 150 are mounted. It is mounted on and may include a carriage robot 118 for handling a material 10 such as a semiconductor wafer or a glass substrate to be transported. For example, the lifting frame 112 may include a lifting plate 114 having the rear surface and a support plate 116 on which the carriage robot 118 is installed, and the carriage robot 118 Silver, for example, can handle a storage container such as a FOUP in which a plurality of substrates are accommodated as shown. Additionally, as shown, a holding unit 119 for holding the storage container carried by the carriage robot 116 may be provided on the lifting frame 112.

추가적으로, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 모듈(150)을 포함할 수 있다.Additionally, the tower lift 100 is mounted on the carriage module 110 and is in close contact with the main frame 102 to prevent the carriage module 110 from falling when the belt 202 is broken. 150 may be included.

또한, 타이밍 벨트들(202)의 일단부에는 상기 캐리지 모듈(110)이 연결될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트(202)의 타단부에는 상기 캐리지 모듈(110)의 안정적인 수직 이동을 위한 웨이트 모듈(미도시)이 연결될 수 있다. In addition, the carriage module 110 may be connected to one end of the timing belts 202, and a weight module (not shown) for stable vertical movement of the carriage module 110 to the other end of the timing belt 202 ) Can be connected.

상기 벨트(202)에는 상기 캐리지 모듈(110)이 고정되어 벨트(202)의 상하방향의 구동에 따라 캐리지 모듈(110)도 상하방향으로 구동된다.The carriage module 110 is fixed to the belt 202 so that the carriage module 110 is also driven in the vertical direction according to the vertical driving of the belt 202.

한편 벨트(202)의 재질은 체인기어 형식의 금속재질도 존재하지만, 고무 재질이 대부분이다. 고무재질의 벨트인 경우, 반복구동 시 벨트가 열화되어 벨트가 늘어날 수 있다. 벨트가 늘어나는 경우, 벨트의 장력이 변화하여, 구동부(200)의 회전력 전달 효율이 저하되고, 구동부에서 벨트가 미끄러지는 현상이 발생하거나 벨트가 파손될 수 있다. 벨트의 장력 변화에 따른 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 물건이송장치(100)는 벨트의 장력을 자동으로 조절할 수 있는 벨트장력자동조절모듈(300)을 구비한다.On the other hand, the material of the belt 202 is a chain gear type metal material, but most of the material is rubber. In the case of a rubber belt, the belt may be stretched due to deterioration of the belt during repeated driving. When the belt is stretched, the tension of the belt is changed, so that the efficiency of transmitting the rotational force of the driving unit 200 decreases, and the belt slipping in the driving unit may occur or the belt may be damaged. In order to solve the problem due to the change in the tension of the belt, the object conveying apparatus 100 according to the embodiment of the present invention includes a belt tension automatic adjustment module 300 capable of automatically adjusting the tension of the belt.

이하 도 3 내지 도 4를 참조하여 벨트장력자동조절모듈(300)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the belt tension automatic adjustment module 300 will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 4.

도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 제어부의 설명을 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram for explaining the controller shown in FIG. 3.

도 3을 참조하면, 벨트장력자동조절모듈(300)은 벨트(202)의 장력을 자동으로 조절하기 위한 충격부(310)와 진동측정부(320)와 장력조절부(330)와 제어부(340)를 포함한다. 3, the belt tension automatic adjustment module 300 includes an impact unit 310, a vibration measurement unit 320, a tension control unit 330, and a control unit 340 for automatically adjusting the tension of the belt 202. ).

충격부(310)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)를 충격한다. 충격부(310)는 벨트(202)에 충격을 줄 수 있는 충격 기능을 갖는 모든 형상을 갖을 수 있다. The impact unit 310 impacts the belt 202 under the control of the control unit 340. The impact unit 310 may have any shape having an impact function capable of impacting the belt 202.

도 3의 충격부(310)는 충격부재 구동부(312)에 의해 구동되며 벨트(202)에 충격력을 전달하는 충격부재(311)와, 충격부재(311)를 회전구동 또는 신장구동함으로써 벨트(202)에 충격을 줄수 있도록 충격부재(311)를 구동하는 충격부재 구동부(312)를 포함한다. The impact unit 310 of FIG. 3 is driven by the impact member driving unit 312 and transmits the impact force to the belt 202, and the impact member 311 is rotated or extended to drive the belt 202. It includes a shock member driving unit 312 for driving the shock member 311 to give an impact to ).

진동측정부(320)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)의 진동을 측정할 수 있다. 진동측정부(320)를 제어하는 제어부(340)에 대해서는 후술한다. 제어진동측정부(320)는 벨트를 절단하거나 분리할 필요 없는 비접촉식 장력측정계로 구성될 수 있다. The vibration measuring unit 320 may measure the vibration of the belt 202 under the control of the controller 340. The control unit 340 that controls the vibration measurement unit 320 will be described later. The control vibration measuring unit 320 may be configured as a non-contact tension measuring system that does not need to cut or separate the belt.

벨트의 장력은 Tm= 4m*L^2*fm^2에 의해 계산된다. 이때 T는 벨트의 장력(N)이고, m은 벨트의 질량(kg/m)이고, L은 축간거리(m)이고, fm는 벨트의 측정 진동수이다. 벨트의 장력(N)의 크기는 벨트의 진동수의 크기의 제곱에 비례한다. 이때 축간거리(L)나 벨트의 질량(m)의 변화는 미미하기 때문에 이들을 제외하면, 벨트의 장력 Tm는 벨트의 측정 진동수 fm의 제곱에 비례한다. 장력은 벨트의 진동주파수의 제곱에 비례하기 때문에, 본 발명의 진동측정부(320)는 진동주파수를 이용하여 장력을 간접적으로 측정하는 모듈화된 음파식 장력 측정계 또는, 공지된 음파식 장력 측정계로 구성될 수 있다. Belt tension is calculated by Tm= 4m*L^2*fm^2. Here, T is the belt tension (N), m is the belt mass (kg/m), L is the shaft distance (m), and fm is the measurement frequency of the belt. The magnitude of the belt tension (N) is proportional to the square of the magnitude of the frequency of the belt. At this time, since the change in the shaft distance (L) or the belt mass (m) is insignificant, excluding these, the belt tension Tm is proportional to the square of the measured frequency fm of the belt. Since the tension is proportional to the square of the vibration frequency of the belt, the vibration measuring unit 320 of the present invention is composed of a modular acoustic tension measuring system or a known acoustic tension measuring system that indirectly measures the tension using the vibration frequency. Can be.

장력조절부(330)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)의 장력을 조절한다. 장력조절부(330)는 벨트(202)를 가압하여 벨트의 장력을 조절할 수 있다. 장력조절부(330)를 제어하는 제어부(340)에 대해서는 후술한다. The tension control unit 330 adjusts the tension of the belt 202 under the control of the control unit 340. The tension control unit 330 may adjust the tension of the belt by pressing the belt 202. The control unit 340 that controls the tension adjustment unit 330 will be described later.

장력조절부(330)는 벨트(202)의 장력을 조절할 수 있는 기능을 갖는 모든 형상을 갖을 수 있다. 예를 들어, 장력조절부(330)는 벨트에 접촉되어 벨트를 가압하는 아이들 풀리(331)와, 아이들 풀리에 고정되는 암(333)과, 상기 제어부의 제어 하에, 상기 암을 상기 암의 길이 방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하는 암구동부(332)를 포함한다. 암구동부(332)는 펄스로 제어되는 모터에 의해 구동될 수 있다. 한편, 장력조절부(330)의 암(333)에는 가속도센서가 구비될 수 있다. 장력조절부(330)가 벨트(202)의 일부와 접촉되어 있는 상태이기 때문에, 장력조절부(330)는 가속도센서를 이용하여 구동중인 벨트(202)의 진동을 감지하고, 진동정보를 제어부(340)로 송신할 수 있다. 제어부(340)는 수신된 구동중인 벨트(202)의 감지된 진동에 기반하여 벨트(202)의 이상을 감지할 수 있다. 예를 들어, 벨트(202)의 일부가 파손된 경우, 파손된 부분이 장력조절부(330)의 아이들 풀리(331)에 접촉하거나 다른 부분에 접촉되는 경우 진동이 크게 변한다. 가속도센서를 이용하면, 크게 변하는 진동을 가속도 센서로 감지함으로써 벨트(202)의 이상을 감지할 수 있다. 특히, 물건을 픽(pick)하는 동작과 물건을 플레이스(place)하는 동작에 의해 발생되는 진동은, 벨트(202)의 이상유무를 판단하기 위한 진동정보에서 제외될 수 있다.The tension control unit 330 may have any shape having a function of adjusting the tension of the belt 202. For example, the tension control unit 330 includes an idle pulley 331 that is in contact with the belt to pressurize the belt, an arm 333 fixed to the idle pulley, and under the control of the controller, the arm is adjusted to the length of the arm. It extends in the direction or includes an arm drive unit 332 for rotating the arm. The arm drive unit 332 may be driven by a pulse-controlled motor. Meanwhile, an acceleration sensor may be provided on the arm 333 of the tension adjusting unit 330. Since the tension control unit 330 is in contact with a part of the belt 202, the tension control unit 330 senses the vibration of the driving belt 202 using an acceleration sensor, and controls the vibration information ( 340). The controller 340 may detect an abnormality of the belt 202 based on the detected vibration of the belt 202 being driven. For example, when a part of the belt 202 is damaged, the vibration changes greatly when the damaged part contacts the idle pulley 331 of the tension control unit 330 or another part. If the acceleration sensor is used, an abnormality of the belt 202 can be detected by detecting a largely changing vibration with the acceleration sensor. In particular, vibrations generated by an operation of picking an object and an operation of placing an object may be excluded from vibration information for determining whether the belt 202 is abnormal.

도면에 도시되지 않았지만, 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)는 제어부(340)와 통신이 가능하도록 유선 또는 무선의 통신 경로를 형성하는 통신부를 포함할 수 있다.Although not shown in the drawings, the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control unit 330 may include a communication unit forming a wired or wireless communication path to enable communication with the control unit 340. .

충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330) 각각은 서로 다른 위치에 분리된 상태로 구비되어 있을 수 있고, 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)가 인접한 위치에 구비되어 하나의 모듈로 구성될 수 있다. 이와는 다르게, 진동측정부(320)는 충격부(310) 및 장력조절부(330)와 이격되어 구비될 수 있다. 이 경우 진동측정부(320)는 제어부(340)에 유선 또는 무선으로 연결되고, 충격부(310)와 진동측정부(320) 제어부와 유선 또는 무선으로 통신이 가능한 별도의 기판에 연결될 수 있다. Each of the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control unit 330 may be provided in separate states at different positions, and the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control The unit 330 may be provided in an adjacent position and configured as a single module. Unlike this, the vibration measurement unit 320 may be provided to be spaced apart from the impact unit 310 and the tension control unit 330. In this case, the vibration measurement unit 320 may be connected to the control unit 340 by wire or wirelessly, and may be connected to a separate substrate capable of wired or wireless communication with the shock unit 310 and the vibration measurement unit 320 and the control unit.

제어부(340)는 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)를 제어한다. 제어부(340)는 타워리프트(100) 전체를 제어하는 메인컴퓨터이거나 또는 메인컴퓨터와는 별도로 구비되는 컴퓨터일 수 있다. 제어부(340)가 메인컴퓨터가 아닌 별도로 구비되는 컴퓨터인 경우, 제어부(340)는 메인컴퓨터와 유선 또는 무선 통신으로 연결될 수 있다.The control unit 340 controls the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control unit 330. The control unit 340 may be a main computer that controls the entire tower lift 100 or may be a computer provided separately from the main computer. When the controller 340 is a computer provided separately from the main computer, the controller 340 may be connected to the main computer through wired or wireless communication.

도 4를 참조하면, 제어부(340)는 준비상태판단부(341), 통신부(342), 장력제어부(343), 저장부(344), 이상판단부(345), 통지부(346)를 포함한다.4, the control unit 340 includes a readiness determination unit 341, a communication unit 342, a tension control unit 343, a storage unit 344, an abnormality determination unit 345, and a notification unit 346. do.

준비상태판단부(341)는 미리 설정된 주기의 경과여부와 타워리프트(100)의 구동상태를 판단하여 벨트장력의 조절요건이 갖춰진 갖춘 상태인지 파악한다.The ready state determining unit 341 determines whether a predetermined period has elapsed and whether the tower lift 100 is driven, and determines whether a belt tension adjustment requirement is in place.

벨트(202)의 장력 조절은, 타워리프트(100)에 의한 물건 이송 지연을 방지하기 위해, 미리 설정된 주기가 경과한 경우에 한하여 수행된다. 주기는 타워리프트(100)의 최초 셋업 시에 설정되거나, 벨트장력조절모듈의 최초 셋업 시에 설정되거나, 설비 셋업 시 사용자에 의해 설정되거나 또는, 설비 셋업 이후 사용자에 의해 변경될 수 있다. 또한, 타워리프트(100)의 구동상태에 기반하여 벨트자동장력조절모듈(300)에 의해 벨트(202)의 장력 조절이 수행될 수 있다.Adjustment of the tension of the belt 202 is performed only when a predetermined period has elapsed in order to prevent a delay in transport of goods by the tower lift 100. The period may be set at the time of initial setup of the tower lift 100, at the time of initial setup of the belt tension control module, set by a user at the time of facility setup, or may be changed by the user after facility setup. Further, the tension of the belt 202 may be adjusted by the belt automatic tension control module 300 based on the driving state of the tower lift 100.

준비상태판단부(341)는 물건 이송 지연을 방지하기 위해 타워리프트(100)의 설비구동상태를 파악한다. 준비상태판단부(341)는, 설비 점검에 의해 타워리프트(100)가 구동 중이지 않은 설비정지상태인지, 이송할 물건이 없어 동작을 멈춘 설비휴지상태인지 또는, 물건을 이송 중인 정상구동상태인지 판단하고 이를 장력제어부(343)에 판단결과를 송신한다.The ready state determination unit 341 checks the equipment driving state of the tower lift 100 in order to prevent delays in transporting goods. The ready state determination unit 341 is in a facility stop state in which the tower lift 100 is not in operation due to facility inspection, is in a facility stop state in which operation has stopped because there is no object to be transported, or whether it is in a normal driving state in which the object is being transferred. It determines and transmits the determination result to the tension control unit 343.

한편, 예외적으로 타워리프트(100)가 구동 중인 때에 장력 조절이 필요한 경우, 사용자의 요청에 의해 벨트의 장력 조절이 수행될 수 있다. 사용자에 의해 강제로 벨트의 장력 조절이 수행될 때, 준비상태판단부(341)의 설비구동상태 판단이 생략될 수 있다. On the other hand, exceptionally, when tension adjustment is required while the tower lift 100 is being driven, tension adjustment of the belt may be performed at the request of a user. When the tension adjustment of the belt is forcibly performed by the user, the equipment driving state determination of the ready state determination unit 341 may be omitted.

통신부(342)는 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)에 구비되는 통신부(미도시)와의 유선 또는 장거리/근거리 무선 통신 경로를 형성한다. 예를 들어, 무선연결은 3G, 4G, WIFI, WIDI, BLUETOOTH, IrDA통신 등 중 어느 하나일 수 있다. 이에 따라 제어부(340)는 유선 또는 무선 통신경로를 이용하여 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)와 신호를 송수신할 수 있다.The communication unit 342 forms a wired or long-distance/near-range wireless communication path with a communication unit (not shown) provided in the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control unit 330. For example, the wireless connection may be any one of 3G, 4G, WIFI, WIDI, BLUETOOTH, IrDA communication, and the like. Accordingly, the control unit 340 may transmit and receive signals with the impact unit 310, the vibration measurement unit 320, and the tension control unit 330 using a wired or wireless communication path.

장력제어부(343)는 준비상태판단부(341)에서 판단된 설비구동상태에 근거하여 벨트(202)의 장력조절을 실시한다. 벨트(202)의 장력조절은 타워리프트(100)가 설비정지상태, 구동정지상태, 또는 사용자의 요청이 있는 경우 수행된다. 벨트(202)의 장력 조절이 수행되면, 타워리프트(100)를 설비정지상태로 전환할 수 있다. 장력제어부(343)은 충격부(310)로 하여금 벨트(202)를 충격하도록 제어하며, 진동측정부(320)로 하여금 충격된 벨트의 진동수를 측정하도록 제어하며, 충격된 벨트의 진동수를 기반으로 장력조절부(330)로 하여금 벨트의 장력을 조절 또는 유지하도록 제어한다.The tension control unit 343 adjusts the tension of the belt 202 based on the equipment driving state determined by the ready state determination unit 341. The tension control of the belt 202 is performed when the tower lift 100 is in a facility stop state, a drive stop state, or at the request of a user. When the tension adjustment of the belt 202 is performed, the tower lift 100 may be switched to a facility stop state. The tension control unit 343 controls the impact unit 310 to impact the belt 202, controls the vibration measurement unit 320 to measure the frequency of the impacted belt, and based on the frequency of the impacted belt. Controls the tension control unit 330 to adjust or maintain the tension of the belt.

장력제어부(343)는 벨트의 진동수를 측정하는 측정동작과, 측정된 진동수를 설정 진동수(fs)와 비교하는 비교동작과, 벨트를 가압하거나 감암하는 장력조절동작을 반복하도록 제어한다. 반복 과정 중에 벨트의 n번째 측정 진동수(fmn)가 설정 진동수(fs)로부터 일정 범위 내에 존재하게 되면, 반복동작을 종료한다. 이때 반복동작이 무한으로 수행되는 것을 방지하기 위한 임계반복횟수가 설비 초기 셋업 시 또는 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 반복동작 횟수가 임계반복횟수에 이르면, 장력제어부(343)는 반복동작을 중지한다. 각 반복과정에서의 모든 정보들은 차후 벨트(202)의 장력조절이나 벨트(202)의 이상여부 판단을 위해 저장부(344)에 저장될 수 있다.The tension control unit 343 controls to repeat a measurement operation of measuring the frequency of the belt, a comparison operation of comparing the measured frequency with a set frequency fs, and a tension adjustment operation of pressing or reducing the belt. During the repetition process, when the n-th measurement frequency fmn of the belt exists within a certain range from the set frequency fs, the repetition operation is terminated. In this case, the number of critical repetitions for preventing the repetitive operation from being performed infinitely may be preset during initial setup of the facility or by a user. When the number of repetitive operations reaches the critical repetition number, the tension control unit 343 stops the repetitive operation. All information in each repetition process may be stored in the storage unit 344 to determine whether the belt 202 is abnormal or to adjust the tension of the belt 202 later.

예를 들어, 장력조절부(330)가 모터에 의해 구동되는 경우, 측정 진동수(fmn)가 설정 진동수(fs)로부터 일정 범위 내에 위치할 때까지, 장력제어부(343)는 장력조절부(330)의 모터를 고정된 크기의 회전각만큼씩 증가 또는 감소시켜 벨트(202)를 가압 또는 감압할 수 있다. 또는 장력제어부(343)는 저장부(344)에 저장된 정보에서 현재의 측정진동수와 유사한 측정진동수를 검색하여 그 정보에 따라 벨트를 가압할 수 있다. For example, when the tension control unit 330 is driven by a motor, the tension control unit 343 is the tension control unit 330 until the measurement frequency fmn is located within a certain range from the set frequency fs. It is possible to pressurize or depressurize the belt 202 by increasing or decreasing the motor of each by a rotation angle of a fixed size. Alternatively, the tension control unit 343 may search for a measurement frequency similar to the current measurement frequency from the information stored in the storage unit 344 and press the belt according to the information.

다른 실시예로서, 장력제어부(343)는 벨트의 측정 진동수(fm)가 설정 진동수(fs)를 기준으로 일정범위를 벗어난 경우, 장력조절부(330)가 어느정도 구동하여 벨트를 가압 또는 감압해야 하는지에 대한 세팅정보를 저장부(344)로부터 읽어들이고, 이를 기반으로 장력조절부(330)를 제어할 수 있다. 이러한 세팅정보는 최초 타워리프트(100) 셋업 시 또는 벨트 교체 시에 대한 모든 기록이 저장부(344)에 저장된 정보이거나, 설비업체에 의해 제공된 정보이거나, 또는 벨트장력조절모듈(300)에 의해 벨트장력 조절 시 누적 기록된 정보일 수 있다. As another embodiment, the tension control unit 343, when the measurement frequency (fm) of the belt is out of a certain range based on the set frequency (fs), how much the tension control unit 330 is driven to pressurize or depressurize the belt. The setting information for is read from the storage unit 344, and the tension control unit 330 may be controlled based on this. This setting information is information stored in the storage unit 344 for all records of the initial tower lift 100 setup or belt replacement, information provided by a facility company, or belt tension control module 300 It may be accumulated information when adjusting tension.

저장부(344)는 벨트의 측정 진동수(fm), 상기 벨트의 측정 진동수(fm)에 따른 장력조절부의 장력조절 정도(Tm), 상기 장력조절부의 벨트장력 조절 후 결과 진동수(fr)에 대한 모든 정보를 저장한다. 또한 저장부(344)는 상기 장력조절부의 최초셋업 이후부터 장력조절 시기와 장력조절 누적횟수에 대한 정보를 저장한다.The storage unit 344 includes all of the measurement frequency (fm) of the belt, the degree of tension adjustment of the tension control unit (Tm) according to the measurement frequency (fm) of the belt, and the resulting frequency (fr) after adjusting the belt tension of the tension control unit. Save the information. In addition, the storage unit 344 stores information on the tension adjustment timing and the accumulated number of tension adjustments after the initial setup of the tension adjustment unit.

이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 정보 중 적어도 하나를 기반으로 벨트의 이상유무를 판단한다.The abnormality determination unit 345 determines whether the belt is abnormal based on at least one of the information stored in the storage unit 344.

구체적으로 이상판단부(345)는 상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위를 벗어나는지 여부를 기반으로 벨트의 이상을 판단한다. 벨트에는 임계 장력이 존재하며, 임계 장력을 넘는 장력이 벨트에 가해지는 경우, 벨트가 파손될 수 있다. 따라서, 측정 진동수(fm)가 벨트의 임계 장력에 대응되는 임계 진동수에 다다르면 이상판단부(345)는 벨트에 이상이 있다고 판단할 수 있다.Specifically, the abnormality determination unit 345 determines the abnormality of the belt based on whether the frequency of the belt is out of the critical frequency range. A critical tension exists in the belt, and if a tension exceeding the critical tension is applied to the belt, the belt may break. Therefore, when the measurement frequency fm reaches the critical frequency corresponding to the critical tension of the belt, the abnormality determining unit 345 may determine that there is an abnormality in the belt.

또한, 이상판단부(345)는 장력조절부의 장력조절정도가 임계장력 조절정도 범위를 벗어나는지 여부를 기반으로 벨트의 이상을 판단한다. 벨트에는 임계 장력이 존재하며, 임계 장력을 넘는 장력이 벨트에 가해지는 경우, 벨트가 파손될 수 있다. 따라서 장력조절부의 장력조절정도가 임계장력 조절정도의 한계에 다다르면 이상판단부(345)는 벨트에 이상이 있다고 판단할 수 있다.In addition, the abnormality determination unit 345 determines the abnormality of the belt based on whether the tension adjustment degree of the tension adjustment unit is out of the critical tension adjustment degree range. A critical tension exists in the belt, and if a tension exceeding the critical tension is applied to the belt, the belt may break. Therefore, when the tension adjustment degree of the tension adjustment unit reaches the limit of the critical tension adjustment degree, the abnormality determination unit 345 can determine that there is an abnormality in the belt.

또한, 이상판단부(345)는 장력조절부(330)의 장력조절주기가 임계조절주기 초과하는지 여부를 기반으로 벨트의 이상 여부를 판단한다. 벨트의 장력이 자주 변화하여 임계조절주기 내로 벨트의 장력을 조절하는 경우 벨트의 이상이 있다고 판단할 수 있다.In addition, the abnormality determination unit 345 determines whether the belt is abnormal based on whether the tension adjustment period of the tension adjustment unit 330 exceeds the critical adjustment period. When the tension of the belt changes frequently and the tension of the belt is adjusted within the critical adjustment period, it can be determined that there is an abnormality in the belt.

또한, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 데이터를 근거로 반복동작이 임계반복횟수에 이르게 되었는지 여부를 판단한다. 임계반복횟수에 이르게 된 경우, 벨트에 이상이 있다고 판단될 수 있다.In addition, the abnormality determination unit 345 determines whether the repetition operation reaches the critical repetition number based on the data stored in the storage unit 344. When the critical repetition number is reached, it may be determined that there is an abnormality in the belt.

또한, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 데이터를 근거로 장력조절부(330)의 장력조절을 수행한 누적횟수가 임계누적횟수를 초과하는지 여부를 판단한다. 벨트의 장력 조절횟수가 임계누적횟수를 초과하는 경우 벨트의 이상이 있다고 판단될 수 있다.In addition, the abnormality determination unit 345 determines whether the accumulated number of times the tension control unit 330 has performed tension adjustment exceeds the critical accumulated number based on the data stored in the storage unit 344. When the number of times of adjusting the tension of the belt exceeds the critical accumulated number, it may be determined that there is an abnormality in the belt.

통지부(345)는 측정진동수 및 장력조절정도 등을 포함하는 장력조절에 관련된 정보, 벨트의 이상유무를 포함하는 정보를 사용자에게 통지한다. The notification unit 345 notifies the user of information related to tension adjustment including the measurement frequency and the degree of tension adjustment, and information including the presence or absence of an abnormality in the belt.

이하 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도 5를 참조하여 설명한다. 앞에서 설명한 부분과 중복되는 부분은 생략한다.Hereinafter, the driving process of the belt tension automatic adjustment module will be described with reference to FIG. 5. Parts that overlap with the previously described parts are omitted.

도 5는 도 3에 도시된 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도시한 플로우차트이다. 5 is a flowchart showing a driving process of the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 3.

도 5를 참조하면, S100단계에서, 타워리프트(100)가 벨트장력 조절요건을 갖추었는지 여부에 대한 준비상태를 판단한다. 준비상태는 미리 설정된 주기의 경과여부 및 타워리프트(100)의 구동상태를 포함한다.Referring to FIG. 5, in step S100, it is determined whether the tower lift 100 meets the belt tension adjustment requirement. The ready state includes whether or not a preset period has elapsed and a driving state of the tower lift 100.

벨트장력의 조절요건을 갖춘 준비상태로 판단되면, S200단계에서 제어부(340)는 충격부(310)로 하여금 벨트를 충격하도록 제어하며, 진동측정부(320)로 하여금 충격된 벨트의 진동수를 측정하도록 제어하며, 충격된 벨트의 진동수를 기반으로 벨트의 장력을 조절하도록 장력조절부(330)를 제어하는 벨트장력조절 과정을 미리 설정된 조건에 따라 반복한다. 각 동작마다 저장부(344)는 상기 측정된 벨트의 진동수, 상기 장력조절부의 장력조절 정도, 상기 장력조절부의 장력조절 시기, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 저장한다.If it is determined that the belt tension adjustment condition is in the ready state, the control unit 340 controls the impact unit 310 to impact the belt in step S200, and the vibration measurement unit 320 measures the frequency of the impacted belt. The belt tension adjustment process of controlling the tension control unit 330 to adjust the tension of the belt based on the frequency of the impacted belt is repeated according to a preset condition. For each operation, the storage unit 344 stores information on at least one of the measured frequency of the belt, the degree of tension adjustment of the tension adjustment unit, the tension adjustment timing of the tension adjustment unit, and the cumulative number of tension adjustments of the tension adjustment unit.

S300단계에서, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 정보 중 적어도 하나를 기반으로 벨트의 이상유무를 판단하고 판단결과를 장력조절과 관련된 정보와 함께 사용자에게 통지한다.In step S300, the abnormality determining unit 345 determines whether there is an abnormality in the belt based on at least one of the information stored in the storage unit 344 and notifies the user of the determination result along with information related to tension adjustment.

본 발명의 실시예에 의하면, 사용자가 관여하지 않아도 벨트의 장력이 조절되므로 벨트의 장력을 조절하는데 필요한 시간과 비용을 절약할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the tension of the belt is adjusted without the user's involvement, time and cost required for adjusting the tension of the belt can be saved.

본 발명의 실시예에 의하면, 미리 설정된 주기마다 벨트의 장력이 조절되므로 벨트 이상에 따른 설비 고장을 사전에 예방할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the tension of the belt is adjusted at every preset period, equipment failure due to a belt abnormality can be prevented in advance.

본 발명의 실시예에 의하면, 저장부에 저장된 정보를 이용하여 벨트의 이상 여부가 판단되거나 또는 벨트의 장력 변화 흐름을 사용자의 모니터링에 의해 벨트의 이상여부가 판단될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to determine whether the belt is abnormal by using information stored in the storage unit or by monitoring a change in tension of the belt by a user.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for explaining the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto, and those of ordinary skill in the art within the spirit of the present invention It is clear that the transformation or improvement is possible.

100: 타워리프트 202: 벨트
300: 벨트장력자동조절모듈 310: 충격부
311: 충격부재 312: 충격부재 구동부
320: 진동측정부 330: 장력조절부
331: 아이들 풀리 332: 암구동부
333: 암 340: 제어부
341: 준비상태판단부 342: 통신부
343: 장력제어부 344: 저장부
345: 이상판단부 346: 통지부
100: tower lift 202: belt
300: belt tension automatic adjustment module 310: impact part
311: impact member 312: impact member driving unit
320: vibration measurement unit 330: tension control unit
331: children pulley 332: arm drive unit
333: arm 340: control unit
341: readiness determination unit 342: communication unit
343: tension control unit 344: storage unit
345: abnormality determination unit 346: notification unit

Claims (5)

벨트를 충격하는 충격부;
상기 벨트의 진동수를 측정하는 진동측정부;
상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부; 및
상기 충격부를 제어하고, 상기 벨트의 진동수에 기반하여 상기 장력조절부를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 벨트의 장력조절에 대해 미리 설정된 주기의 경과 여부와 물건이송장치의 구동상태를 판단하는 준비상태판단부;
상기 미리 설정된 주기가 경과하고 상기 물건이송장치의 구동상태가 휴지 중인 경우, 상기 충격부로 하여금 상기 벨트를 충격하도록 제어하고 상기 벨트의 진동수를 기반으로 상기 벨트의 장력을 조절하도록 상기 장력조절부를 제어하는 장력제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
An impact unit that impacts the belt;
A vibration measuring unit measuring the frequency of the belt;
A tension control unit for adjusting the tension of the belt; And
And a control unit for controlling the impact unit and for controlling the tension adjustment unit based on the frequency of the belt,
The control unit,
A ready state determination unit for determining whether a predetermined period for tension control of the belt has elapsed and a driving state of the object transfer device;
When the predetermined period elapses and the driving state of the object transport device is at rest, controlling the impact unit to impact the belt and controlling the tension control unit to adjust the tension of the belt based on the frequency of the belt. Goods transfer device comprising a tension control unit.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 벨트의 진동수, 장력조절 정도, 장력조절 시기, 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 구비하는 저장부;
상기 적어도 하나의 정보를 기반으로 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 이상판단부;
상기 이상판단부의 판단결과를 사용자에게 통지하는 통지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
The method of claim 1,
The control unit,
A storage unit having information on at least one of a frequency of the belt, a degree of tension adjustment, a tension adjustment timing, and an accumulation number of tension adjustments;
An abnormality determination unit determining whether the belt is abnormal based on the at least one information;
And a notification unit for notifying a user of the determination result of the abnormality determination unit.
제3항에 있어서,
상기 이상판단부는,
상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절 정도가 임계조절 정도 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절 누적횟수가 임계누적횟수 이하인지 여부 중 적어도 하나에 기반하여 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
The method of claim 3,
The abnormality determination unit,
Whether the belt is abnormal based on at least one of whether the frequency of the belt is located within the critical frequency range, whether the tension control degree is within the critical control degree range, and whether the accumulated number of tension adjustments is less than or equal to the critical accumulated frequency Goods transfer device, characterized in that to determine the.
제1항에 있어서,
상기 장력조절부는,
상기 벨트를 가압하는 아이들 풀리와,
상기 아이들 풀리에 고정되는 암과,
상기 제어부의 제어 하에, 상기 아이들 풀리가 상기 벨트를 가압하도록, 상기 암을 상기 암의 길이방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하는 암구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
The method of claim 1,
The tension control unit,
An idle pulley for pressing the belt,
An arm fixed to the idle pulley,
And an arm drive unit for extending and driving the arm in a longitudinal direction of the arm or rotationally driving the arm so that the idle pulley presses the belt under the control of the control unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11348817B2 (en) * 2018-11-29 2022-05-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Wafer transport system and method for transporting wafers
KR102253633B1 (en) * 2019-07-03 2021-05-17 세메스 주식회사 Belt tension management system of semiconductor equipment
KR20230080840A (en) * 2021-11-30 2023-06-07 세메스 주식회사 Tower lift

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151730A (en) * 2006-12-20 2008-07-03 Murata Mach Ltd Belt tension sensor
JP4936674B2 (en) 2005-02-15 2012-05-23 株式会社ショーワ Tension measuring device and tension measuring method
JP2014041864A (en) * 2012-08-21 2014-03-06 Fuji Mach Mfg Co Ltd Substrate working machine

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070054928A (en) * 2005-11-24 2007-05-30 삼성전자주식회사 Wafer aligning apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4936674B2 (en) 2005-02-15 2012-05-23 株式会社ショーワ Tension measuring device and tension measuring method
JP2008151730A (en) * 2006-12-20 2008-07-03 Murata Mach Ltd Belt tension sensor
JP2014041864A (en) * 2012-08-21 2014-03-06 Fuji Mach Mfg Co Ltd Substrate working machine

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