KR20200049227A - An apparatus for transporing product - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 물건이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 물건이송장치에 구비된 벨트의 장력이 작업자의 관여 없이 주기적으로 조절될 수 있는 물건이송장치를 제공하는 데에 있다.The present invention relates to an object conveying device, and more particularly, to provide an object conveying device in which the tension of a belt provided in the object conveying device can be periodically adjusted without involvement of an operator.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체, 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.In general, a manufacturing line of a semiconductor or display manufacturing plant is composed of multiple layers, and facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, and cleaning can be disposed on each layer, and semiconductors, wafers, or semiconductors used as semiconductor substrates A semiconductor device or a display device can be manufactured by repeatedly performing a series of unit processes on a glass substrate used as a display substrate.
한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.On the other hand, material transfer between the layers, that is, transfer of materials such as a semiconductor wafer or a glass substrate may be made by a tower lift installed in the vertical direction through the respective layers.
타워 리프트는 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 타이밍 벨트를 이용하여 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 구비할 수 있다. 또한 타워리프트에는 벨트의 장력을 조절하기 위한 벨트장력조절유닛이 구비될 수 있다. 이러한 벨트장력조절유닛은 작업자에 의해 구동된다. 즉, 작업자가 장력을 직접 또는 간접적으로 측정해야 하며, 측정된 값에 기반하여 작업자가 벨트장력조절유닛을 직접 조정하여 벨트의 장력을 조절해야 한다. 이에 따라, 예방정비를 위한 주기적인 벨트의 장력조절 작업에는 시간과 비용이 많이 든다는 문제점이 존재한다.The tower lift may include a main frame extending in the vertical direction, a carriage module for transporting materials, and a driving module disposed on the main frame and moving the carriage module in a vertical direction using a timing belt. In addition, the tower lift may be provided with a belt tension control unit for adjusting the tension of the belt. The belt tension control unit is driven by an operator. That is, the operator must measure the tension directly or indirectly, and the operator must adjust the belt tension by directly adjusting the belt tension adjusting unit based on the measured value. Accordingly, there is a problem that a periodic belt tensioning operation for preventive maintenance requires a lot of time and money.
본 발명은 작업자의 관여 없이 벨트의 장력이 주기적으로 조절되는 물건이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an object transport device in which the tension of the belt is periodically adjusted without the involvement of an operator.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 물건이송장치는, 벨트를 충격하는 충격부; 상기 벨트의 진동수를 측정하는 진동측정부; 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부; 및 상기 충격부를 제어하고, 상기 벨트의 진동수에 기반하여 상기 장력조절부를 제어하는 제어부를 포함한다.Object transport apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the impact unit for impacting the belt; A vibration measuring unit for measuring the frequency of the belt; A tension adjusting unit that adjusts the tension of the belt; And a control unit controlling the impact unit and controlling the tension adjusting unit based on the frequency of the belt.
또한 실시예에 있어서, 상기 제어부는, 미리 설정된 주기의 경과 여부와 상기 물건이송장치의 구동 상태를 판단하는 준비상태판단부; 상기 미리 설정된 주기가 경과하고 상기 물건이송장치의 구동 상태가 휴지 중인 경우, 상기 충격부로 하여금 상기 벨트를 충격하도록 제어하고 상기 벨트의 진동수을 기반으로 상기 벨트의 장력을 조절하도록 상기 장력조절부를 제어하는 장력제어부를 포함한다.In addition, in the embodiment, the control unit, a predetermined state determination unit for determining whether a predetermined period has elapsed and the driving state of the article transport apparatus; When the preset period has elapsed and the driving state of the object transport device is at rest, tension controlling the tension adjusting unit to control the impact unit to impact the belt and adjust the tension of the belt based on the frequency of the belt It includes a control unit.
또한 실시예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정된 벨트의 진동수, 상기 장력조절부의 장력조절 정도, 상기 장력조절부의 장력조절 시기, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 구비하는 저장부; 상기 저장부에 누적 저장되는 정보를 기반으로 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 이상판단부; 상기 이상판단부의 판단결과를 사용자에게 통지하는 통지부를 더 포함한다.In addition, in the embodiment, the control unit includes information on at least one of the measured frequency of the belt, the tension adjusting degree of the tension adjusting unit, the tension adjusting timing of the tension adjusting unit, and the cumulative number of tension adjusting of the tension adjusting unit. Storage unit; An abnormality determination unit for determining whether the belt is abnormal based on the information accumulated in the storage unit; Further comprising a notification unit for notifying the user of the determination result of the abnormality determination unit.
또한 실시예에 있어서, 상기 이상판단부는, 상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절 정도가 임계조절 정도 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절주기가 임계조절주기 이하인지 여부, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수가 임계누적횟수 이하인지 여부 중 적어도 하나에 기반하여 상기 벨트의 이상유무를 판단한다.In addition, in the embodiment, the abnormality determining unit, whether the frequency of the belt is located within the critical frequency range, whether the tension adjustment degree of the tension control unit is within the critical adjustment degree range, the tension adjustment cycle of the tension adjustment unit is critical Whether or not the belt is abnormal is determined based on at least one of whether it is less than or equal to an adjustment cycle and whether or not the cumulative number of tension adjustments of the tension adjustment unit is less than or equal to a critical accumulation number.
또한 실시예에 있어서, 상기 장력조절부는, 상기 벨트를 가압하는 아이들 풀리와, 상기 아이들 풀리에 고정되는 암과, 상기 제어부의 제어 하에, 상기 아이들 풀리가 상기 벨트를 가압하도록, 상기 암을 상기 암의 길이방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하여 암구동부를 포함한다.In addition, in the embodiment, the tension adjusting unit, the idle pulley for pressing the belt, the arm fixed to the idle pulley, and under the control of the control unit, so that the idle pulley presses the belt, the arm It extends in the longitudinal direction of the drive or rotationally drive the arm to include an arm drive.
본 발명의 실시예에 의하면, 사용자가 관여하지 않아도 벨트의 장력이 조절되므로 벨트의 장력을 조절하는데 필요한 시간과 비용을 절약할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the tension of the belt is adjusted even if the user is not involved, thereby saving time and cost required to adjust the tension of the belt.
본 발명의 실시예에 의하면, 미리 설정된 주기마다 벨트의 장력이 조절되므로 벨트 이상에 따른 설비 고장을 사전에 예방할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the tension of the belt is adjusted at each preset cycle, so that equipment failure due to belt abnormality can be prevented in advance.
본 발명의 실시예에 의하면, 저장부에 저장된 정보를 이용하여 벨트의 이상 여부가 판단되거나 또는 벨트의 장력 변화 흐름을 사용자의 모니터링에 의해 벨트의 이상여부가 판단될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it may be determined whether the belt is abnormal using the information stored in the storage unit or whether the belt is abnormal by monitoring the flow of the tension change of the belt.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다
도 4는 도 3에 도시된 제어부의 설명을 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 3에 도시된 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도시한 플로우차트이다. 1 is a schematic configuration diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating the carriage module illustrated in FIG. 1.
3 is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module shown in FIG.
FIG. 4 is a schematic configuration diagram for describing the control unit illustrated in FIG. 3.
FIG. 5 is a flowchart showing the driving process of the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 3.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments disclosed herein will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or similar elements are assigned the same reference numbers regardless of the reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted.
이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The suffixes "modules" and "parts" for components used in the following description are given or mixed only considering the ease of writing the specification, and do not have meanings or roles distinguished from each other in themselves. In addition, in describing the embodiments disclosed in this specification, detailed descriptions of related known technologies are omitted when it is determined that the gist of the embodiments disclosed in this specification may be obscured. In addition, the accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in the present specification, and the technical spirit disclosed in the specification is not limited by the accompanying drawings, and all modifications included in the spirit and technical scope of the present invention , It should be understood to include equivalents or substitutes. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 자명하다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is apparent that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit and essential features of the present invention.
이하 도 1 내지 도 5를 참조하여 물건이송장치에 대해 설명한다.Hereinafter, an article transport apparatus will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
물건이송장치는 물건을 이송하는 장치로서, 예를 들어 물건이송장치는 스토커, 타워리프트, 기판처리장치 내의 이송챔버 증 어느 하나가 될 수 있다. 도 1은 타워리프트를 도시하고 있지만, 타워리프트는 물건이송장치의 하나의 예이고, 이에 한정되지 않는다. The object transport device is a device for transporting objects, and for example, the object transport device may be either a stocker, a tower lift, or a transfer chamber in a substrate processing device. 1 shows a tower lift, the tower lift is an example of an object transport device, but is not limited thereto.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining the carriage module shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram shown in FIG. 1. It is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module.
본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(100)는 수직 방향으로 물건을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 물건은 풉, 캐리어, 보관용기, 웨이퍼, 기판 중 어느 하나가 될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과, 상기 메인 프레임(102)의 전방에 배치되며 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈(110)과, 상기 메인 프레임(102)의 상부에 배치되며 벨트(202)을 통해 상기 캐리지 모듈(110)과 연결되고 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈(200)과, 벨트(202)의 장력을 자동으로 조절하는 벨트장력자동조절모듈(300)을 포함할 수 있다.1 and 2, according to an embodiment of the present invention, the
또한, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드레일들(104)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들(120, 130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에는 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 가이드 레일들(104)에 결합되는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)이 장착될 수 있다.In addition, the
도 2를 참조하면, 상기 캐리지 모듈(110)은, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)과 브레이크 모듈(150)이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임(112) 및 상기 승강 프레임(112)에 장착되며 이송 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재(10)를 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 프레임(112)은 상기 후면을 갖는 승강 플레이트(114)와 상기 캐리지 로봇(118)이 설치되는 서포트 플레이트(116; Support Plate)를 포함할 수 있으며, 상기 캐리지 로봇(118)은, 예를 들면, 도시된 바와 같이 복수의 기판들이 수납되는 풉(FOUP)과 같은 수납 용기를 핸들링할 수 있다. 추가적으로, 도시된 바와 같이, 상기 승강 프레임(112)에는 상기 캐리지 로봇(116)에 의해 운반된 수납 용기를 파지하기 위한 홀딩 유닛(119)이 구비될 수 있다.Referring to Figure 2, the
추가적으로, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 벨트(202)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 모듈(150)을 포함할 수 있다.Additionally, the
또한, 타이밍 벨트들(202)의 일단부에는 상기 캐리지 모듈(110)이 연결될 수 있으며, 상기 타이밍 벨트(202)의 타단부에는 상기 캐리지 모듈(110)의 안정적인 수직 이동을 위한 웨이트 모듈(미도시)이 연결될 수 있다. In addition, the
상기 벨트(202)에는 상기 캐리지 모듈(110)이 고정되어 벨트(202)의 상하방향의 구동에 따라 캐리지 모듈(110)도 상하방향으로 구동된다.The
한편 벨트(202)의 재질은 체인기어 형식의 금속재질도 존재하지만, 고무 재질이 대부분이다. 고무재질의 벨트인 경우, 반복구동 시 벨트가 열화되어 벨트가 늘어날 수 있다. 벨트가 늘어나는 경우, 벨트의 장력이 변화하여, 구동부(200)의 회전력 전달 효율이 저하되고, 구동부에서 벨트가 미끄러지는 현상이 발생하거나 벨트가 파손될 수 있다. 벨트의 장력 변화에 따른 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 물건이송장치(100)는 벨트의 장력을 자동으로 조절할 수 있는 벨트장력자동조절모듈(300)을 구비한다.On the other hand, the material of the
이하 도 3 내지 도 4를 참조하여 벨트장력자동조절모듈(300)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the belt tension
도 3은 도 1에 도시된 벨트장력자동조절모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 제어부의 설명을 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the belt tension automatic adjustment module illustrated in FIG. 1, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram for describing the control unit illustrated in FIG. 3.
도 3을 참조하면, 벨트장력자동조절모듈(300)은 벨트(202)의 장력을 자동으로 조절하기 위한 충격부(310)와 진동측정부(320)와 장력조절부(330)와 제어부(340)를 포함한다. Referring to FIG. 3, the belt tension
충격부(310)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)를 충격한다. 충격부(310)는 벨트(202)에 충격을 줄 수 있는 충격 기능을 갖는 모든 형상을 갖을 수 있다. The
도 3의 충격부(310)는 충격부재 구동부(312)에 의해 구동되며 벨트(202)에 충격력을 전달하는 충격부재(311)와, 충격부재(311)를 회전구동 또는 신장구동함으로써 벨트(202)에 충격을 줄수 있도록 충격부재(311)를 구동하는 충격부재 구동부(312)를 포함한다. The
진동측정부(320)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)의 진동을 측정할 수 있다. 진동측정부(320)를 제어하는 제어부(340)에 대해서는 후술한다. 제어진동측정부(320)는 벨트를 절단하거나 분리할 필요 없는 비접촉식 장력측정계로 구성될 수 있다. The
벨트의 장력은 Tm= 4m*L^2*fm^2에 의해 계산된다. 이때 T는 벨트의 장력(N)이고, m은 벨트의 질량(kg/m)이고, L은 축간거리(m)이고, fm는 벨트의 측정 진동수이다. 벨트의 장력(N)의 크기는 벨트의 진동수의 크기의 제곱에 비례한다. 이때 축간거리(L)나 벨트의 질량(m)의 변화는 미미하기 때문에 이들을 제외하면, 벨트의 장력 Tm는 벨트의 측정 진동수 fm의 제곱에 비례한다. 장력은 벨트의 진동주파수의 제곱에 비례하기 때문에, 본 발명의 진동측정부(320)는 진동주파수를 이용하여 장력을 간접적으로 측정하는 모듈화된 음파식 장력 측정계 또는, 공지된 음파식 장력 측정계로 구성될 수 있다. The tension of the belt is calculated by Tm = 4m * L ^ 2 * fm ^ 2. At this time, T is the tension (N) of the belt, m is the mass of the belt (kg / m), L is the interaxial distance (m), and fm is the measured frequency of the belt. The magnitude of the belt tension (N) is proportional to the square of the magnitude of the belt's frequency. At this time, since the change in the interaxial distance (L) or the mass (m) of the belt is negligible, the tension Tm of the belt is proportional to the square of the measured frequency fm of the belt. Since the tension is proportional to the square of the vibration frequency of the belt, the
장력조절부(330)는 제어부(340)의 제어 하에 벨트(202)의 장력을 조절한다. 장력조절부(330)는 벨트(202)를 가압하여 벨트의 장력을 조절할 수 있다. 장력조절부(330)를 제어하는 제어부(340)에 대해서는 후술한다. The
장력조절부(330)는 벨트(202)의 장력을 조절할 수 있는 기능을 갖는 모든 형상을 갖을 수 있다. 예를 들어, 장력조절부(330)는 벨트에 접촉되어 벨트를 가압하는 아이들 풀리(331)와, 아이들 풀리에 고정되는 암(333)과, 상기 제어부의 제어 하에, 상기 암을 상기 암의 길이 방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하는 암구동부(332)를 포함한다. 암구동부(332)는 펄스로 제어되는 모터에 의해 구동될 수 있다. 한편, 장력조절부(330)의 암(333)에는 가속도센서가 구비될 수 있다. 장력조절부(330)가 벨트(202)의 일부와 접촉되어 있는 상태이기 때문에, 장력조절부(330)는 가속도센서를 이용하여 구동중인 벨트(202)의 진동을 감지하고, 진동정보를 제어부(340)로 송신할 수 있다. 제어부(340)는 수신된 구동중인 벨트(202)의 감지된 진동에 기반하여 벨트(202)의 이상을 감지할 수 있다. 예를 들어, 벨트(202)의 일부가 파손된 경우, 파손된 부분이 장력조절부(330)의 아이들 풀리(331)에 접촉하거나 다른 부분에 접촉되는 경우 진동이 크게 변한다. 가속도센서를 이용하면, 크게 변하는 진동을 가속도 센서로 감지함으로써 벨트(202)의 이상을 감지할 수 있다. 특히, 물건을 픽(pick)하는 동작과 물건을 플레이스(place)하는 동작에 의해 발생되는 진동은, 벨트(202)의 이상유무를 판단하기 위한 진동정보에서 제외될 수 있다.The
도면에 도시되지 않았지만, 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)는 제어부(340)와 통신이 가능하도록 유선 또는 무선의 통신 경로를 형성하는 통신부를 포함할 수 있다.Although not shown in the drawings, the
충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330) 각각은 서로 다른 위치에 분리된 상태로 구비되어 있을 수 있고, 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)가 인접한 위치에 구비되어 하나의 모듈로 구성될 수 있다. 이와는 다르게, 진동측정부(320)는 충격부(310) 및 장력조절부(330)와 이격되어 구비될 수 있다. 이 경우 진동측정부(320)는 제어부(340)에 유선 또는 무선으로 연결되고, 충격부(310)와 진동측정부(320) 제어부와 유선 또는 무선으로 통신이 가능한 별도의 기판에 연결될 수 있다. Each of the
제어부(340)는 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)를 제어한다. 제어부(340)는 타워리프트(100) 전체를 제어하는 메인컴퓨터이거나 또는 메인컴퓨터와는 별도로 구비되는 컴퓨터일 수 있다. 제어부(340)가 메인컴퓨터가 아닌 별도로 구비되는 컴퓨터인 경우, 제어부(340)는 메인컴퓨터와 유선 또는 무선 통신으로 연결될 수 있다.The
도 4를 참조하면, 제어부(340)는 준비상태판단부(341), 통신부(342), 장력제어부(343), 저장부(344), 이상판단부(345), 통지부(346)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the
준비상태판단부(341)는 미리 설정된 주기의 경과여부와 타워리프트(100)의 구동상태를 판단하여 벨트장력의 조절요건이 갖춰진 갖춘 상태인지 파악한다.The ready
벨트(202)의 장력 조절은, 타워리프트(100)에 의한 물건 이송 지연을 방지하기 위해, 미리 설정된 주기가 경과한 경우에 한하여 수행된다. 주기는 타워리프트(100)의 최초 셋업 시에 설정되거나, 벨트장력조절모듈의 최초 셋업 시에 설정되거나, 설비 셋업 시 사용자에 의해 설정되거나 또는, 설비 셋업 이후 사용자에 의해 변경될 수 있다. 또한, 타워리프트(100)의 구동상태에 기반하여 벨트자동장력조절모듈(300)에 의해 벨트(202)의 장력 조절이 수행될 수 있다.Adjustment of the tension of the
준비상태판단부(341)는 물건 이송 지연을 방지하기 위해 타워리프트(100)의 설비구동상태를 파악한다. 준비상태판단부(341)는, 설비 점검에 의해 타워리프트(100)가 구동 중이지 않은 설비정지상태인지, 이송할 물건이 없어 동작을 멈춘 설비휴지상태인지 또는, 물건을 이송 중인 정상구동상태인지 판단하고 이를 장력제어부(343)에 판단결과를 송신한다.The preparation
한편, 예외적으로 타워리프트(100)가 구동 중인 때에 장력 조절이 필요한 경우, 사용자의 요청에 의해 벨트의 장력 조절이 수행될 수 있다. 사용자에 의해 강제로 벨트의 장력 조절이 수행될 때, 준비상태판단부(341)의 설비구동상태 판단이 생략될 수 있다. On the other hand, when the tension adjustment is required while the
통신부(342)는 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)에 구비되는 통신부(미도시)와의 유선 또는 장거리/근거리 무선 통신 경로를 형성한다. 예를 들어, 무선연결은 3G, 4G, WIFI, WIDI, BLUETOOTH, IrDA통신 등 중 어느 하나일 수 있다. 이에 따라 제어부(340)는 유선 또는 무선 통신경로를 이용하여 충격부(310), 진동측정부(320), 장력조절부(330)와 신호를 송수신할 수 있다.The
장력제어부(343)는 준비상태판단부(341)에서 판단된 설비구동상태에 근거하여 벨트(202)의 장력조절을 실시한다. 벨트(202)의 장력조절은 타워리프트(100)가 설비정지상태, 구동정지상태, 또는 사용자의 요청이 있는 경우 수행된다. 벨트(202)의 장력 조절이 수행되면, 타워리프트(100)를 설비정지상태로 전환할 수 있다. 장력제어부(343)은 충격부(310)로 하여금 벨트(202)를 충격하도록 제어하며, 진동측정부(320)로 하여금 충격된 벨트의 진동수를 측정하도록 제어하며, 충격된 벨트의 진동수를 기반으로 장력조절부(330)로 하여금 벨트의 장력을 조절 또는 유지하도록 제어한다.The
장력제어부(343)는 벨트의 진동수를 측정하는 측정동작과, 측정된 진동수를 설정 진동수(fs)와 비교하는 비교동작과, 벨트를 가압하거나 감암하는 장력조절동작을 반복하도록 제어한다. 반복 과정 중에 벨트의 n번째 측정 진동수(fmn)가 설정 진동수(fs)로부터 일정 범위 내에 존재하게 되면, 반복동작을 종료한다. 이때 반복동작이 무한으로 수행되는 것을 방지하기 위한 임계반복횟수가 설비 초기 셋업 시 또는 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 반복동작 횟수가 임계반복횟수에 이르면, 장력제어부(343)는 반복동작을 중지한다. 각 반복과정에서의 모든 정보들은 차후 벨트(202)의 장력조절이나 벨트(202)의 이상여부 판단을 위해 저장부(344)에 저장될 수 있다.The
예를 들어, 장력조절부(330)가 모터에 의해 구동되는 경우, 측정 진동수(fmn)가 설정 진동수(fs)로부터 일정 범위 내에 위치할 때까지, 장력제어부(343)는 장력조절부(330)의 모터를 고정된 크기의 회전각만큼씩 증가 또는 감소시켜 벨트(202)를 가압 또는 감압할 수 있다. 또는 장력제어부(343)는 저장부(344)에 저장된 정보에서 현재의 측정진동수와 유사한 측정진동수를 검색하여 그 정보에 따라 벨트를 가압할 수 있다. For example, when the
다른 실시예로서, 장력제어부(343)는 벨트의 측정 진동수(fm)가 설정 진동수(fs)를 기준으로 일정범위를 벗어난 경우, 장력조절부(330)가 어느정도 구동하여 벨트를 가압 또는 감압해야 하는지에 대한 세팅정보를 저장부(344)로부터 읽어들이고, 이를 기반으로 장력조절부(330)를 제어할 수 있다. 이러한 세팅정보는 최초 타워리프트(100) 셋업 시 또는 벨트 교체 시에 대한 모든 기록이 저장부(344)에 저장된 정보이거나, 설비업체에 의해 제공된 정보이거나, 또는 벨트장력조절모듈(300)에 의해 벨트장력 조절 시 누적 기록된 정보일 수 있다. As another embodiment, when the measurement frequency fm of the belt is out of a predetermined range based on the set frequency fs, the
저장부(344)는 벨트의 측정 진동수(fm), 상기 벨트의 측정 진동수(fm)에 따른 장력조절부의 장력조절 정도(Tm), 상기 장력조절부의 벨트장력 조절 후 결과 진동수(fr)에 대한 모든 정보를 저장한다. 또한 저장부(344)는 상기 장력조절부의 최초셋업 이후부터 장력조절 시기와 장력조절 누적횟수에 대한 정보를 저장한다.The
이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 정보 중 적어도 하나를 기반으로 벨트의 이상유무를 판단한다.The
구체적으로 이상판단부(345)는 상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위를 벗어나는지 여부를 기반으로 벨트의 이상을 판단한다. 벨트에는 임계 장력이 존재하며, 임계 장력을 넘는 장력이 벨트에 가해지는 경우, 벨트가 파손될 수 있다. 따라서, 측정 진동수(fm)가 벨트의 임계 장력에 대응되는 임계 진동수에 다다르면 이상판단부(345)는 벨트에 이상이 있다고 판단할 수 있다.Specifically, the
또한, 이상판단부(345)는 장력조절부의 장력조절정도가 임계장력 조절정도 범위를 벗어나는지 여부를 기반으로 벨트의 이상을 판단한다. 벨트에는 임계 장력이 존재하며, 임계 장력을 넘는 장력이 벨트에 가해지는 경우, 벨트가 파손될 수 있다. 따라서 장력조절부의 장력조절정도가 임계장력 조절정도의 한계에 다다르면 이상판단부(345)는 벨트에 이상이 있다고 판단할 수 있다.In addition, the
또한, 이상판단부(345)는 장력조절부(330)의 장력조절주기가 임계조절주기 초과하는지 여부를 기반으로 벨트의 이상 여부를 판단한다. 벨트의 장력이 자주 변화하여 임계조절주기 내로 벨트의 장력을 조절하는 경우 벨트의 이상이 있다고 판단할 수 있다.In addition, the
또한, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 데이터를 근거로 반복동작이 임계반복횟수에 이르게 되었는지 여부를 판단한다. 임계반복횟수에 이르게 된 경우, 벨트에 이상이 있다고 판단될 수 있다.In addition, the
또한, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 데이터를 근거로 장력조절부(330)의 장력조절을 수행한 누적횟수가 임계누적횟수를 초과하는지 여부를 판단한다. 벨트의 장력 조절횟수가 임계누적횟수를 초과하는 경우 벨트의 이상이 있다고 판단될 수 있다.In addition, the
통지부(345)는 측정진동수 및 장력조절정도 등을 포함하는 장력조절에 관련된 정보, 벨트의 이상유무를 포함하는 정보를 사용자에게 통지한다. The
이하 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도 5를 참조하여 설명한다. 앞에서 설명한 부분과 중복되는 부분은 생략한다.Hereinafter, the driving process of the belt tension automatic adjustment module will be described with reference to FIG. 5. Parts overlapping with the parts described above are omitted.
도 5는 도 3에 도시된 벨트장력자동조절모듈의 구동과정을 도시한 플로우차트이다. FIG. 5 is a flowchart showing the driving process of the belt tension automatic adjustment module shown in FIG. 3.
도 5를 참조하면, S100단계에서, 타워리프트(100)가 벨트장력 조절요건을 갖추었는지 여부에 대한 준비상태를 판단한다. 준비상태는 미리 설정된 주기의 경과여부 및 타워리프트(100)의 구동상태를 포함한다.Referring to Figure 5, in step S100, the
벨트장력의 조절요건을 갖춘 준비상태로 판단되면, S200단계에서 제어부(340)는 충격부(310)로 하여금 벨트를 충격하도록 제어하며, 진동측정부(320)로 하여금 충격된 벨트의 진동수를 측정하도록 제어하며, 충격된 벨트의 진동수를 기반으로 벨트의 장력을 조절하도록 장력조절부(330)를 제어하는 벨트장력조절 과정을 미리 설정된 조건에 따라 반복한다. 각 동작마다 저장부(344)는 상기 측정된 벨트의 진동수, 상기 장력조절부의 장력조절 정도, 상기 장력조절부의 장력조절 시기, 상기 장력조절부의 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 저장한다.When it is determined that the belt tension is adjusted to a ready state, in step S200, the
S300단계에서, 이상판단부(345)는 저장부(344)에 저장된 정보 중 적어도 하나를 기반으로 벨트의 이상유무를 판단하고 판단결과를 장력조절과 관련된 정보와 함께 사용자에게 통지한다.In step S300, the
본 발명의 실시예에 의하면, 사용자가 관여하지 않아도 벨트의 장력이 조절되므로 벨트의 장력을 조절하는데 필요한 시간과 비용을 절약할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the tension of the belt is adjusted even if the user is not involved, thereby saving time and cost required to adjust the tension of the belt.
본 발명의 실시예에 의하면, 미리 설정된 주기마다 벨트의 장력이 조절되므로 벨트 이상에 따른 설비 고장을 사전에 예방할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the tension of the belt is adjusted at each preset cycle, so that equipment failure due to belt abnormality can be prevented in advance.
본 발명의 실시예에 의하면, 저장부에 저장된 정보를 이용하여 벨트의 이상 여부가 판단되거나 또는 벨트의 장력 변화 흐름을 사용자의 모니터링에 의해 벨트의 이상여부가 판단될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it may be determined whether the belt is abnormal using the information stored in the storage unit or whether the belt is abnormal by monitoring the flow of the tension change of the belt.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, the present invention is specifically for describing the present invention, and the present invention is not limited to this, and by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention. It is clear that modification and improvement are possible.
100: 타워리프트
202: 벨트
300: 벨트장력자동조절모듈
310: 충격부
311: 충격부재
312: 충격부재 구동부
320: 진동측정부
330: 장력조절부
331: 아이들 풀리
332: 암구동부
333: 암
340: 제어부
341: 준비상태판단부
342: 통신부
343: 장력제어부
344: 저장부
345: 이상판단부
346: 통지부100: tower lift 202: belt
300: belt tension automatic adjustment module 310: impact
311: impact member 312: impact member driving unit
320: vibration measurement unit 330: tension control unit
331: children pulley 332: female driving
333: arm 340: control
341: readiness determination unit 342: communication unit
343: tension control unit 344: storage unit
345: abnormality determination unit 346: notification unit
Claims (5)
상기 벨트의 진동수를 측정하는 진동측정부;
상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부; 및
상기 충격부를 제어하고, 상기 벨트의 진동수에 기반하여 상기 장력조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 물건이송장치.
Impact unit for impacting the belt;
A vibration measuring unit for measuring the frequency of the belt;
A tension adjusting unit that adjusts the tension of the belt; And
And a control unit controlling the impact unit and controlling the tension adjusting unit based on the frequency of the belt.
상기 제어부는,
미리 설정된 주기의 경과 여부와 상기 물건이송장치의 구동상태를 판단하는 준비상태판단부;
상기 미리 설정된 주기가 경과하고 상기 물건이송장치의 구동 상태가 휴지 중인 경우, 상기 충격부로 하여금 상기 벨트를 충격하도록 제어하고 상기 벨트의 진동수을 기반으로 상기 벨트의 장력을 조절하도록 상기 장력조절부를 제어하는 장력제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
According to claim 1,
The control unit,
A preparation state determination unit for determining whether a predetermined period has elapsed and a driving state of the article transport apparatus;
When the preset period has elapsed and the driving state of the article transport apparatus is at rest, tension controlling the tension adjusting unit to control the impact unit to impact the belt and adjust the tension of the belt based on the frequency of the belt An article transport device comprising a control unit.
상기 제어부는,
상기 벨트의 진동수, 장력조절 정도, 장력조절 시기, 장력조절 누적횟수 중 적어도 하나에 대한 정보를 구비하는 저장부;
상기 적어도 하나의 정보를 기반으로 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 이상판단부;
상기 이상판단부의 판단결과를 사용자에게 통지하는 통지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
According to claim 2,
The control unit,
A storage unit having information on at least one of the frequency of the belt, the degree of tension adjustment, the timing of tension adjustment, and the cumulative number of tension adjustment;
An abnormality determining unit determining whether the belt is abnormal based on the at least one information;
And a notification unit notifying the user of the determination result of the abnormality determination unit.
상기 이상판단부는,
상기 벨트의 진동수가 임계진동수 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절 정도가 임계조절 정도 범위 내에 위치하는지 여부, 상기 장력조절주기가 임계조절주기 이하인지 여부, 상기 장력조절 누적횟수가 임계누적횟수 이하인지 여부 중 적어도 하나에 기반하여 상기 벨트의 이상유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.
The method of claim 4,
The abnormality determination unit,
Whether the frequency of the belt is within the critical frequency range, whether the tension adjustment degree is within the critical adjustment degree range, whether the tension adjustment cycle is less than or equal to the critical adjustment cycle, and whether the cumulative number of tension adjustments is less than or equal to the critical accumulation number An object transport device characterized in that it determines whether the belt is abnormal based on at least one of the conditions.
상기 장력조절부는,
상기 벨트를 가압하는 아이들 풀리와,
상기 아이들 풀리에 고정되는 암과,
상기 제어부의 제어 하에, 상기 아이들 풀리가 상기 벨트를 가압하도록, 상기 암을 상기 암의 길이방향으로 신장 구동하거나 또는 상기 암을 회전 구동하여 암구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 물건이송장치.The method of claim 1,
The tension control unit,
An idle pulley for pressing the belt,
The arm fixed to the children pulley,
Under the control of the control unit, so that the idle pulley presses the belt, the arm transporting device characterized in that it comprises an arm driving unit by extending or driving the arm in the longitudinal direction of the arm by rotating the arm.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210004023A (en) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 세메스 주식회사 | Belt tension management system of semiconductor equipment |
US11348817B2 (en) * | 2018-11-29 | 2022-05-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer transport system and method for transporting wafers |
JP2023081263A (en) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | サムス カンパニー リミテッド | tower lift |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070054928A (en) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | 삼성전자주식회사 | Wafer aligning apparatus |
JP2008151730A (en) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Murata Mach Ltd | Belt tension sensor |
JP4936674B2 (en) * | 2005-02-15 | 2012-05-23 | 株式会社ショーワ | Tension measuring device and tension measuring method |
JP2014041864A (en) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Substrate working machine |
-
2018
- 2018-10-31 KR KR1020180132217A patent/KR102188600B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4936674B2 (en) * | 2005-02-15 | 2012-05-23 | 株式会社ショーワ | Tension measuring device and tension measuring method |
KR20070054928A (en) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | 삼성전자주식회사 | Wafer aligning apparatus |
JP2008151730A (en) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Murata Mach Ltd | Belt tension sensor |
JP2014041864A (en) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Substrate working machine |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11348817B2 (en) * | 2018-11-29 | 2022-05-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer transport system and method for transporting wafers |
KR20210004023A (en) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 세메스 주식회사 | Belt tension management system of semiconductor equipment |
JP2023081263A (en) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | サムス カンパニー リミテッド | tower lift |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |