KR102187448B1 - 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 현상 장치 - Google Patents

슬릿 노즐 및 이를 포함하는 현상 장치 Download PDF

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Abstract

슬릿 노즐은 토출구로부터 토출면을 따라 흘러서 기판으로 약액을 토출시키도록 구비되는 것으로써, 상기 약액의 토출시 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액이 흐를 수 있게 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액의 흐름을 유도할 수 있는 약액 흐름 유도부를 포함할 수 있다.

Description

슬릿 노즐 및 이를 포함하는 현상 장치{SLIT NOZZLE AND DEVELOPING APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 현상 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판에 현상액 등과 같은 약액을 토출하기 위한 슬릿 노즐 및 기판에 현상액을 토출할 수 있는 슬릿 노즐을 포함하는 현상 장치에 관한 것이다.
유기 EL 표시 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 도포하는 포토레지스트를 현상하는 공정을 수행할 수 있다. 포토레지스트를 현상하는 공정은 주로 기판에 현상액을 토출하는 슬릿 노즐을 구비하는 현상 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 현상 장치에는 다수개의 슬릿 노즐이 일렬 배치되는 구조를 가지는데, 다수개의 슬릿 노즐 중에서 기판의 이송 방향을 기준으로 첫 번째 배치되는 슬릿 노즐은 기판에 대하여 사선으로 배치되는 구조를 가질 수 있다.
그리고 사선으로 배치되는 슬릿 노즐에서의 현상액은 슬릿 노즐의 토출구로부터 토출면을 따라 토출면 단부까지 흐른 후 기판으로 토출될 수 있다.
그러나 토출면이 충분하게 적셔지지 않으면 현상액은 토출면 단부까지 따라 흐르지 않고, 토출면을 따라 흐르는 도중에 기판으로 현상액이 토출되기도 하는데, 이 경우 현상액에 에어가 들어가면서 현상액에는 버블이 존재할 수도 있다. 이에, 종래에는 버블이 존재하는 현상액이 기판으로 토출되는 상황이 발생할 수 있고, 그 결과 현상 공정에서의 불량의 원인으로 작용하는 문제점이 있다.
그리고 토출면이 충분히 적셔지지 않는 상황을 방지하고자 종래에는 기판으로 현상액을 토출하기 이전에 약 1분 동안 현상액을 예비 토출시켜 토출면을 충분히 적시고 있지만, 이 경우에는 현상액의 낭비를 초래할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 사선 구조를 갖도록 배치되는 슬릿 노즐로부터의 현상액 등과 같은 약액의 토출시 슬릿 노즐의 토출면이 충분하게 적셔지는 상태를 유지할 수 있는 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 사선 구조를 갖도록 배치되는 슬릿 노즐로부터의 현상액의 토출시 슬릿 노즐의 토출면이 충분하게 적셔지는 상태를 유지할 수 있는 슬릿 노즐을 포함하는 현상 장치를 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐은 토출구로부터 토출면을 따라 흘러서 기판으로 약액을 토출시키도록 구비되는 것으로써, 상기 약액의 토출시 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액이 흐를 수 있게 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액의 흐름을 유도할 수 있는 약액 흐름 유도부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지의 폭 방향을 따라 배치되도록 구비되고, 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부까지의 길이 방향을 따라 이동하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부까지의 길이 방향을 따라 배치되도록 구비되고, 상기 슬릿 노즐의 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지의 폭 방향을 따라 이동하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 상기 토출면에 약액을 적시도록 구비될 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 현상 장치는 기판에 도포하는 포토레지스트를 현상하기 위한 것으로써, 제1 슬릿 노즐, 약액 흐름 유도부를 포함할 수 있다. 상기 제1 슬릿 노즐은 토출구로부터 토출면을 따라 흘러서 상기 기판으로 상기 포토레지스트를 현상할 수 있는 현상액을 토출시키도록 구비될 수 있다. 상기 약액 흐름 유도부는 상기 현상액의 토출시 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 현상액이 흐를 수 있게 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 현상액의 흐름을 유도할 수 있도록 상기 제1 슬릿 노즐에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 토출구로부터 수직하게 상기 기판으로 현상액을 토출시키도록 구비되는 제2 슬릿 노즐을 더 포함할 수 잇고, 상기 제2 슬릿 노즐은 상기 제1 슬릿 노즐에 비해 뒤쪽단에 배치시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 슬릿 노즐은 첫 번째에 배치시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 슬릿 노즐의 토출면이 충분하게 적셔지는 상태를 유지할 수 있기 때문에 사선으로 배치되는 슬릿 노즐에서의 현상액이 슬릿 노즐의 토출구로부터 토출면을 따라 토출면 단부까지 흐른 후 기판으로 토출될 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐 및 현상 장치는 현상액 등과 같은 약액의 토출시 버블의 발생을 최소화할 수 있기에 현상 공정에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
또한 본 발명에 따르면, 현상액을 예비 토출시키지 않을 수 있기 때문에 현상액이 낭비되는 상황을 사전에 방지할 수 있어, 그 결과 현상 공정에 따른 소모품의 낭비를 최소화할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 흐름 유도부를 포함하는 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 현상 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 흐름 유도부를 포함하는 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 기판(21)에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 특히 기판(21)에 도포하는 포토레지스트를 현상하기 위한 현상액(11)을 토출하는 위한 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 후술하는 바와 같이 디스플레이 소자의 제조시 기판(21)에 현상액(11)을 토출하기 위한 현상 장치에 설치될 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 기판(21)의 이송 방향을 기준으로 기판(21)에 대하여 사선으로 배치되는 구조를 가질 수 있다. 특히, 사선으로 배치되는 슬릿 노즐(100)에서의 현상액(11)은 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 흐른 후 기판(21)으로 토출될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 몸체부(13), 토출구(15), 토출면(17), 토출면 단부(19)로 이루어질 수 있다.
몸체부(13)는 제1 몸체부 및 제2 몸체부로 이루어질 수 있고, 제1 몸체부 및 제2 몸체부 사이의 간격을 조정함에 의해 토출구(15)의 간격을 조정할 수 있다. 이에, 토출구(15)의 간격 거리에 따라 토출구(15)로부터 흘러나오는 현상액(11)의 유량이 달리할 수 있다. 즉, 토출구(15)의 간격 거리가 상대적으로 멀수록 토출구(15)로부터 흘러나오는 현상액(11)의 유량이 상대적으로 많을 것이고, 토출구(15)의 간격 거리가 상대적으로 가까울수록 토출구(15)로부터 흘러나오는 현상액(11)의 유량이 상대적으로 적을 것이다.
그리고 몸체부(13)는 외부로부터 현상액(11)을 공급하는 공급 부재와 연결되는 구조를 가짐과 아울러 그 내부에 현상액(11)을 플로우시키는 유로가 형성되는 구조를 가질 수 있다.
토출구(15)는 몸체부(13)의 유로와 연통하도록 구비될 수 있는 것으로써, 몸체부(13)의 유로를 따라 플로우되는 현상액(11)이 흘러나오는 부분이다.
토출면(17)은 토출구(15)와 연결되는 부분으로써, 토출구(15)로부터 흘러나오는 현상액(11)이 코안다 효과(coanda effect)에 의해 표면을 따라 흐를 수 있는 부분이다. 즉, 슬릿 노즐(100)이 사선 배치 구조를 갖기 때문에 현상액(11)은 토출구(15)로부터 흘러나와 코안다 효과에 의해 토출면(17)을 따라 흐를 수 있는 것이다.
그리고 토출구(15)로부터 흘러나와 토출면(17)을 따라 흐르는 현상액(11)은 토출면 단부(19)에 이르면 기판(21)으로 흘러내릴 수 있다. 즉, 현상액(11)이 토출면(17)을 따라 흘러서 토출면 단부(19)에 이르면 더 이상 흐를 수 있는 표면이 없기 때문에 기판(21)으로 흘러내리는 것이다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 기판(21)에 대하여 사선으로 배치되는 구조를 가지기 때문에 현상액(11)은 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 흐른 후 기판(21)으로 토출될 수 있다.
그러나 토출면(17)이 충분하게 적셔져 있지 않으면 현상액(11)은 토출면 단부(19)까지 흐르지 않고, 토출면(17)을 따라 흐르는 도중에 기판(21)으로 토출되는 상황이 발생할 수도 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)의 경우 슬릿 노즐(100)로부터의 현상액(11)의 토출시 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 도중에 끊어짐 없이 현상액(11)이 충분하게 흐를 수 있게 할수 있다.
약액 흐름 유도부(23)는 약액, 즉 현상액(11)의 토출시 토출구(15)로부터 토출면 단부(19)까지 현상액(11)이 흐를 수 있게 구비되는 것으로써, 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 유도할 수 있게 구비될 수 있다.
특히, 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 토출면(17)에 약액, 즉 현상액(11)이 적셔지게 할 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 토출면(17)에 현상액(11)이 적셔지도록 함으로써 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 유도할 수 있는 것이다. 다시 말해, 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 토출면(17)에 현상액(11)이 적셔지도록 하여 토출면(17)에 현상액(11)이 흐를 수 있는 물길을 형성함으로써 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 유도할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 슬릿 노즐(100)의 토출면(17)이 충분하게 적셔지는 상태를 유지할 수 있기 때문에 사선으로 배치되는 슬릿 노즐(100)에서의 현상액(11)이 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 흐른 후 기판(21)으로 토출될 수 있기 때문에 현상액(11)의 토출시 버블의 발생을 최소화할 수 있을 것이다.
또한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 현상액(11)을 예비 토출시키지 않을 수 있기 때문에 현상액(11)이 낭비되는 상황을 사전에 방지할 수 있을 것이다.
그리고 언급한 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)이 토출면(17)을 따라 균일하게 흐를 수 있다면 그 구조에 제한되지 않을 것이다. 따라서 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 토출면(17)에 다양한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
먼저 도 2 및 도 3을 참조하면, 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 폭 방향을 따라 배치되게 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면 단부(19)까지로 배치되도록 구비될 수 있다.
따라서 언급한 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 일측 단부로부터 타측 단부까지의 길이 방향을 따라 이동하도록 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)가 슬릿 노즐(100)의 길이 방향을 따라 스윕하는 형태로 이동하도록 구비될 수 있는 것이다.
이에, 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 슬릿 노즐(100)의 길이 방향을 따라 이동하여 토출면(17)에 현상액(11)이 흐를 수 있는 물길을 형성함으로써 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 용이하게 유도할 수 있다.
이와 달리 도 4를 참조하면, 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 길이 방향을 따라 배치되게 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 일측 단부로부터 타측 단부까지로 배치되도록 구비될 수 있다.
따라서 언급한 약액 흐름 유도부(23)는 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면 단부(19)까지의 폭 방향을 따라 이동하도록 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)가 슬릿 노즐(100)이 폭 방향을 따라 스윕하는 형태로 이동하도록 구비될 수 있는 것이다.
이에, 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 슬릿 노즐(100)의 폭 방향을 따라 이동하여 토출면(17)에 현상액(11)이 흐를 수 있는 물길을 형성함으로써 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 용이하게 유도할 수 있다.
이하, 언급한 슬릿 노즐을 포함하는 현상 장치에 대하여 설명하기로 한다. 그리고 후술하는 현상 장치에서의 슬릿 노즐은 도 1 및 도 2에서의 슬릿 노즐과 동일하기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 현상 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 현상 장치(500)는 기판(21)에 도포하는 포토레지스트를 현상하기 위한 것으로써, 제1 슬릿 노즐(100), 제2 슬릿 노즐(200), 약액 흐름 유도부(23), 기판 이송부(300) 등을 포함할 수 있다.
제1 슬릿 노즐(100)은 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 흘러서 기판(21)으로 포토레지스트를 현상할 수 있는 현상액(11)을 토출시키도록 구비될 수 있다. 특히, 제1 슬릿 노즐(100)이 기판(21)의 이송 방향을 기준으로 사선 배치 구조를 갖기 때문에 제1 슬릿 노즐(100)로부터의 현상액(11)은 토출구(15)로부터 흘러나와 코안다 효과에 의해 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 흐른 후 기판(21)으로 토출되는 구성을 갖는 것이다.
현상 장치(500)에는 다수개의 슬릿 노즐(100, 200)이 구비될 수 있는데, 이들 중 제1 슬릿 노즐(100)은 현상 장치(500)에 투입되는 기판(21)의 이송 방향을 기준으로 첫 번째에 배치되도록 구비될 수 있다.
그리고 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)이 흐를 수 있게 토출구(15)로부터 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 유도할 수 있도록 제1 슬릿 노즐(100)에 구비될 수 있다. 즉, 약액 흐름 유도부(23)는 현상액(11)의 토출시 토출면(17)에 현상액이 적셔지도록 하여 토출면(17)에 현상액(11)이 흐를 수 있는 물길을 형성함으로써 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 현상액(11)의 흐름을 유도할 수 있는 것이다.
제2 슬릿 노즐(200)은 토출구로부터 수직하게 기판(21)으로 현상액(51)을 토출시키도록 구비될 수 있다. 특히, 제2 슬릿 노즐(200)은 기판(21)이 이송되는 방향을 기준으로 제1 슬릿 노즐(100)에 비해 뒤쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 현상 장치(500)는 제1 슬릿 노즐(100) 및 제2 슬릿 노즐(200) 이외에도 다수개의 슬릿 노즐로부터 기판(21)으로 현상액을 토출시킴으로써 기판(21)에 도포하는 포토레지스트를 보다 용이하게 현상시킬 수 있다.
특히, 약액 흐름 유도부(23)를 사용하여 제1 슬릿 노즐(100)의 토출면(17)이 충분하게 적셔지는 상태를 유지할 수 있기 때문에 사선으로 배치되는 제1 슬릿 노즐(100)에서의 현상액(11)이 제1 슬릿 노즐(100)의 토출구(15)로부터 토출면(17)을 따라 토출면 단부(19)까지 흐른 후 기판(21)으로 토출될 수 있기 때문에 제1 슬릿 노즐(100)로부터의 현상액(11)의 토출시 버블의 발생을 최소화할 수 있을 것이고, 나아가 현상액(11)을 예비 토출시키지 않을 수 있기 때문에 현상액(11)의 낭비를 방지할 수 있을 것이다.
그리고 기판 이송부(300)는 기판(21)을 제1 슬릿 노즐(100) 및 제2 슬릿 노즐(200)이 배치되는 순서로 기판(21)을 이송시킬 수 있게 구비될 수 있다. 특히, 기판 이송부(300)는 기판(21)을 롤러 구동에 의해 이송시키거나 또는 에어 플로팅에 의해 이송시킬 수 있게 구비될 수 있다.
본 발명의 슬릿 노즐 및 현상 장치는 기판에 도포시킨 포토레지스트를 현상하기 위한 현상액을 토출할 수 있는 것으로써, 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11, 51 : 현상액 13 : 몸체부
15 : 토출구 17 : 토출면
19 : 토출면 단부 21 : 기판
23 : 약액 흐름 유도부
100, 200 : 슬릿 노즐
300 : 기판 이송부
500 : 현상 장치

Claims (5)

  1. 토출구로부터 토출면을 따라 흘러서 기판으로 약액을 토출시키도록 구비되는 슬릿 노즐에 있어서,
    상기 약액의 토출시 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액이 흐를 수 있게 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 약액의 흐름을 유도할 수 있는 약액 흐름 유도부를 포함하되,
    상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부까지의 길이 방향을 따라 배치되도록 구비되고, 상기 슬릿 노즐의 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지의 폭 방향을 따라 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 상기 토출면에 약액을 적시도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  3. 기판에 도포하는 포토레지스트를 현상하기 위한 현상 장치에 있어서,
    토출구로부터 토출면을 따라 흘러서 상기 기판으로 상기 포토레지스트를 현상할 수 있는 현상액을 토출시키도록 구비되는 제1 슬릿 노즐; 및
    상기 현상액의 토출시 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 현상액이 흐를 수 있게 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지 상기 현상액의 흐름을 유도할 수 있도록 상기 제1 슬릿 노즐에 구비되는 약액 흐름 유도부를 포함하되,
    상기 약액 흐름 유도부는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부까지의 길이 방향을 따라 배치되도록 구비되고, 상기 슬릿 노즐의 상기 토출구로부터 상기 토출면 단부까지의 폭 방향을 따라 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    토출구로부터 수직하게 상기 기판으로 현상액을 토출시키도록 구비되는 제2 슬릿 노즐을 더 포함하고,
    상기 제2 슬릿 노즐은 상기 제1 슬릿 노즐에 비해 뒤쪽단에 배치시키는 것을 특징으로 하는 현상 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 슬릿 노즐은 첫 번째에 배치시키는 것을 특징으로 하는 현상 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006122884A (ja) * 2004-09-30 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd 塗工装置および塗工方法
KR20190021878A (ko) * 2017-08-24 2019-03-06 세메스 주식회사 약액 토출 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

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