KR102185468B1 - 감압건조장치 및 이를 이용한 감압건조방법 - Google Patents

Abstract

감압건조장치 및 이를 이용한 감압건조방법이 제공된다. 감압건조장치는 평행하게 배치되는 상단면과 하단면을 포함하는 챔버, 챔버 내부의 공기를 배기하고, 챔버 내부를 감압하는 감압부, 및 챔버 내부에 위치하는 배플 플레이트를 포함하되, 배플 플레이트는 챔버의 상단면과의 거리가 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 가까워지는 것을 특징으로 한다.

Description

감압건조장치 및 이를 이용한 감압건조방법 {DECOMPRESSION DRYING APPARATUS AND DECOMPRESSION DRYING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 감압건조장치 및 이를 이용한 감압건조방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치나 유기 발광 소자(electro luminescence)에서는 입력되는 영상 신호에 따라 투과광을 광학적으로 변조하거나, 영상 신호에 따른 휘도 화소를 자발광시킴으로써, 화소마다 계조를 얻는다. 이러한 투과광이나 발광 휘도를 화소마다 변조하는 층을 변조 기능층이라고 한다. 액정 표시 장치에서는 액정층이 변조 기능층에 해당하고, 유기 발광 소자에서는 유기 EL발광층이 변조 기능층에 해당한다.

액정표시장치를 제조하는 과정 중에는 레지스트액 등을 도포하고, 이를 감압건조장치에서 건조하는 과정을 거칠 수 있다. 기판 상에 레지스트액을 도포한 후에 감압건조장치 내에서 레지스트액 내의 용매를 휘발하여 도포액을 건조하는 방식을 이용할 수 있다.

유기발광소자를 제조하는 과정에서는 전자 주입층, 정공 주입층, 발광층 등의 각각의 기능층을 형성하는 과정에서 잉크젯 프린팅 방식, 슬릿 코팅 방식 등을 이용하여 각각의 도포액을 패턴화하여 도포하거나, 기판에 전체적으로 도포한 후에 이를 감압건조장치 내에서 건조하는 방식을 취하고 있다.

상기와 같은 액정표시장치나 유기 발광 소자에서 레지스트액을 도포하거나, 각각의 기능층들을 도포하여 건조하는 과정에서 각각의 층들의 평탄도는 장치의 특성에 영향을 줄 수 있다. 따라서, 감압건조를 수행하는 각각의 기능층들에서 용매를 균일하게 건조하여 균일한 평탄도를 구현하려는 연구가 진행되고 있다.

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 표시패널에 건조를 수행하는 경우, 균일한 평탄도를 구현할 수 있는 감압건조장치를 제공하는데 있다.

또한, 상기와 같은 감압건조장치를 이용한 감압건조방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조장치는 평행하게 배치되는 상단면과 하단면을 포함하는 챔버, 챔버 내부의 공기를 배기하고, 챔버 내부를 감압하는 감압부, 및 챔버 내부에 위치하는 배플 플레이트를 포함하되, 배플 플레이트는 챔버의 상단면과의 거리가 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 가까워지는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 챔버 내부에서 배플 플레이트와 챔버의 하단면 사이에 위치하고 피처리 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함할 수 있다.

또한, 기판 지지부는 서로 이격되어 배플 플레이트를 향해 돌출된 2개 이상의 지지 돌기를 포함하고, 지지 돌기의 상단면의 높이는 서로 동일하며, 지지 돌기의 상단면을 연장한 가상의 면과 배플 플레이트의 거리는 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 멀어지는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 기판 지지부는 적어도 하나 이상의 지지면을 포함하고, 지지면과 배플 플레이트의 거리는 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 멀어지는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 기판 지지부는 상하로 이동 가능할 수 있다.

또한, 챔버의 측단면에 형성되는 개폐부를 더 포함할 수 있다.

또한, 개폐부와 하단면 사이에 위치하여 챔버 내부를 밀폐하는 패킹부를 더 포함할 수 있다.

또한, 챔버의 상단면에서 연장되어 배플 플레이트를 고정하는 배플 플레이트 고정부를 더 포함할 수 있다.

또한, 배플 플레이트 고정부는 상하 방향으로 이동 가능할 수 있다.

또한, 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 부분이 절곡될 수 있다.

또한, 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 곡면을 포함할 수 있다.

또한, 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 경사면을 포함할 수 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 감압건조장치는 상단면과 하나 이상의 측단면을 포함하는 챔버, 챔버 내부의 공기를 배기하고, 챔버 내부를 감압하는 감압부, 및 챔버 내부에 위치하는 배플 플레이트를 포함하되, 배플 플레이트는 챔버의 상단면과의 거리가 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 가까워지는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 챔버의 하나 이상의 측단면의 하부에 위치하여 챔버 내부를 밀폐하는 패킹부를 더 포함할 수 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조방법은 상면을 포함하는 챔버와 챔버 내부에 위치하고 상면과의 거리가 중심부로 갈수록 가까워지는 형상의 배플 플레이트를 포함하는 감압건조장치를 준비하는 단계, 감압건조장치 내부에 용매를 포함하는 유기물 도포막이 형성된 피처리 기판을 투입하는 단계, 및 챔버 내부를 감압하여 용매를 증발시킴으로써 건조하는 단계를 포함할 수 있다.

또한, 피처리 기판과 배플 플레이트 간의 거리는 피처리 기판의 중심부로 갈수록 거리가 멀어지는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 피처리 기판을 투입하는 단계 이후에 챔버 내부를 밀폐하는 패킹 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 챔버는 개폐부를 더 포함하고, 피처리 기판을 투입하는 단계는 개폐부를 통해 투입될 수 있다.

또한, 배플 플레이트는 피처리 기판의 모든 면적을 커버할 수 있다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에 따르면, 표시패널 상에 형성된 각 기능층들에서 용매를 건조하는 경우, 건조 후에 균일한 평탄도를 구현할 수 있는 감압건조장치를 제공할 수 있다.

또한, 표시패널 상에 형성되는 각 기능층들의 균일한 평탄도를 구현할 수 있는 감압건조방법을 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 감압건조장치의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1의 감압건조장치의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조장치는 챔버(100), 챔버(100) 내부의 공기를 배기하고, 챔버(100) 내부를 감압하는 감압부(400), 및 챔버(100) 내부에 위치하는 배플 플레이트(200)를 포함한다.

챔버(100)는 서로 평행하게 배치되는 상단면과 하단면을 포함할 수 있다. 또한, 챔버(100) 내부를 외부로부터 밀봉하기 위한 측단면을 포함할 수 있다. 따라서, 챔버(100)는 감압부(400)에 의해 내부의 공기가 외부로 배기되면서 감압될 수 있다.

감압부(400)는 챔버(100) 내부의 공기를 외부로 배기할 수 있으며, 배관(300)은 챔버에 형성된 통기공(미도시)에 연결되고, 감압부(400)에 연결되어, 감압부(400)를 통해 챔버(100)내부의 공기를 외부로 빼내도록 할 수 있다. 감압부(400)는 진공 펌프를 포함할 수 있다. 진공펌프에 의해 감압 흡입력을 발생시겨, 배관(300)을 통해 챔버(100) 내부로부터 외부로 공기를 배출할 수 있다. 한편, 상기 공기 이외에도 공기에 포함된 일부 유기물과 용매, 레지스트 조성물 등과 함께 배출할 수 있다.

이하에서는 감압건조장치에 의해 기판 상의 유기물이나 레지스트 등이 건조되는 과정을 설명하겠으나, 편의상 유기물이 형성되는 것으로 설명하기로 하며, 유기물 이외의 레지스트 층 등이 형성되는 경우에도 본 발명의 감압건조장치 및 감압건조방법이 적용될 수 있다. 또한, 하기에서 설명할 피처리 기판은 유기발광소자에 사용되는 기판일 수도 있고, 액정표시장치에 사용되는 기판일 수도 있다.

배플 플레이트(200)는 후술할 피처리 기판(10) 상에 형성된 유기층(20) 상의 유기물이 증발될 경우, 빠르게 증발되는 것을 방지하여, 보다 평탄하게 유기층(20)이 형성되도록 할 수 있다. 만약, 배플 플레이트가 없다면, 배기관(300)에 의해 흡입되는 공기와 함께 피처리 기판(10) 상의 유기층(20)이 공기와 함께 챔버(100) 외부로 빠져나갈 수 있으며, 이에 의해 원치 않는 양의 유기물이 빠져나가 유기층(20)의 균일하지 않게 형성될 수도 있다. 즉, 배기관(300)이 형성되는 부분의 유기층(20) 두께는 얇아지고, 이외의 부분의 두께는 두꺼워지는 등의 문제가 발생할 수 있다.

또한, 배플 플레이트(200)는 피처리 기판(10) 상에서 증발되는 유기물을 가두는 역할을 하여, 일정한 증기압을 유지하도록 할 수 있으며, 이에 의해 유기물이 보다 균일하게 증발되도록 하여 균일한 두께의 유기층(20)이 형성되도록 할 수 있다.

한편, 배플 플레이트(200)의 형상에 대해 보다 구체적으로 설명하면, 배플 플레이트(200)는 챔버(100)의 상단면과 일정 간격 이격되어 위치할 수 있고, 상기 상단면과의 거리가 배플 플레이트(200)의 중심부로 갈수록 가까워질 수 있다. 즉, 배플 플레이트(200)는 챔버(100)의 상단면과 평행하지 않을 수 있고, 적어도 하나 이상의 절곡된 부분을 포함할 수 있다. 도 2에서와 같이, 배플 플레이트(200)는 중심부에서 양측으로 하향 경사진 ㅅ자 형상일 수 있다. 따라서, 챔버(100)의 상단면과 배플 플레이트(200) 간의 거리는 위치에 따라 달라질 수 있고, 중심부로 갈수록 거리가 더 가까워질 수 있다.

한편, 다시 도 1을 참조하면, 감압건조장치는 챔버(100)의 측단면에 형성되는 개폐부(800)를 더 포함할 수 있다. 개폐부(800)는 유기물을 포함하는 유기층(20)이 형성된 피처리 기판(10)을 챔버(100) 내부로 삽입하기 위한 것으로, 개폐가 가능한 일종의 문(door)과 같은 역할을 할 수 있다. 도 1에서는 챔버(100)의 측단면에서 힌지(810)에 의해 개폐부(800)가 챔버(100)에 결합된 상태일 수 있으며, 상측을 향해 개폐될 수 있다. 다만, 이에 한정하는 것은 아니며, 좌우로 열리거나, 별도의 힌지 없이 상하로 닫히는 등 다양한 방식으로 당업자가 필요에 따라 변경 가능하다.

개폐부(800)가 열림에 의해 유기층(20)이 형성된 피처리 기판(10)은 챔버(100) 내부로 삽입될 수 있으며, 삽입된 후에는 다시 챔버(100) 내부를 밀봉하기 위해 개폐부(800)를 닫을 수 있다. 한편, 개폐부(800)에 의해 일종의 틈이 발생할 수 있기 때문에 이를 정밀하게 밀봉하기 위해 개폐부(800)와 챔버(100)의 하단부 사이에 위치하여 챔버(100) 내부를 밀폐하는 패킹부(900)를 더 포함할 수 있다. 패킹부(900)는 고무나 탄성 재질로 형성될 수 있다. 도 1 및 2에 도시한 것 이외에도 패킹부는 개폐부(800)의 외각 전면을 둘러서 형성될 수도 있으며, 챔버(100) 내부를 밀폐하기 위해 당업자가 필요에 따라 적절히 변형 가능하다.

챔버(100) 내부로 삽입되는 피처리 기판(10) 상에는 유기물을 포함하는 유기층(20)이 형성되어 있을 수 있고, 도 1과 같이, 유기층(20)은 격자형 패턴으로 배치될 수 있다. 유기층(20)의 패턴은 PDL(pixel define layer)에 의해 구분되는 패턴으로 형성될 수 있으며, 당업자가 필요에 따라 적절히 패턴의 형상을 변형할 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 챔버(100) 내부에 삽입된 피처리 기판(10)은 배플 플레이트(200) 하부에 일정간격 이격되어 배치될 수 있다. 감압부(400)에 의해 챔버(100) 내부에 감압 조건을 가하게 되면, 피처리 기판(10) 상의 유기층(20)에서 용매가 증발되어, 사용자가 원하는 유기층을 형성할 수 있다. 상기에서 설명한 바와 같이, 피처리 기판(10) 상의 배플 플레이트(200)에 의해 유기층(20)에서 증발되는 용매의 증기압을 조절할 수 있고, 이에 의해 보다 균일하게 증발이 이루어지도록 할 수 있다.

배플 플레이트가 챔버의 상단면과 평행하게 배치되는 경우, 즉, 피처리 기판과 평행하게 배치되는 경우, 피처리 기판의 외각부에서는 증발되는 용매의 증기압(Ps)이 낮고, 중심부에서 증발되는 용매의 증기압은 상대적으로 높아져 피처리 기판의 외각에 위치하는 유기층에서는 용매의 증발속도가 빠르게 진행될 수 있다. 이 경우, 피처리 기판 상의 유기층은 균일하지 않는 높이로 형성되는 문제가 발생할 수 있다.

따라서, 본 발명과 같이, 배플 플레이트(200)의 형상을 배플 플레이트(200)의 중심부로 갈수록 챔버(100)의 상단면과의 거리가 가까워지도록 하는 경우, 즉, 배플 플레이트(200)와 피처리 기판(100) 간의 중심부로 갈수록 멀어지도록 형성하는 경우, 피처리 기판(10)의 중심부에서 유기층(20)의 증발되는 용매의 증기압(Pc)과 외각부에서 증발되는 용매의 증기압(Ps)을 근사하게 유지하게 하여, 용매가 증발되는 속도를 근사하게 맞출 수 있다. 다시 말하면, 배플 플레이트(200)와 피처리 기판(10) 상의 유기층(20) 간의 중심부에서의 거리(C)를 배플 플레이트(200)와 피처리 기판(10) 상의 유기층(20) 간의 외각부에서의 거리(A, B)에 비해 멀게 함으로써, 증발되는 용매의 증기압을 균일하게 조절할 수 있다.

결과적으로, 피처리 기판(10) 상의 유기층(20)에서 증발되는 용매의 증발 속도를 전체적으로 균일하게 유지하여 유기층(20)의 두께를 평탄하게 형성하도록 할 수 있다.

한편, 배플 플레이트(200)의 길이(FSa)는 피처리 기판(10)의 길이(FBa)보다 더 길 수 있으며, 바람직하게는 수평단면 상으로 배플 플레이트(200)는 피처리 기판(10)의 모든 면적을 커버할 수 있다. 이에 의해 피처리 기판(10) 상의 유기층(20)이 배플 플레이트(200) 외부로 노출되어 증기압이 급격하게 변동되는 것을 방지할 수 있다.

감압건조장치는 챔버(100) 상에 계측기(1000)를 더 포함할 수 있다. 계측기(900)는 챔버(100) 내부의 압력을 측정하여 표시할 수 있다. 따라서, 사용자가 계측기(900) 상에 표시되는 압력을 육안으로 시인하여, 감압건조장치가 올바르게 작동하는지 여부를 판별할 수 있다. 한편, 계측기(1000)에 대한 것은 당해 기술분야에서 널리 알려져 있는바 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다.

또한, 감압건조장치는 챔버(100) 상에 컨트롤 박스(700)를 포함할 수 있다. 상세하게 도시하진 않았으나, 컨트롤 박스(700)는 감압건조장치 전체를 컨트롤할 수 있도록 챔버 내부, 및 감압부 등과 전기적으로 연결될 수 있고, 전기적 신호를 인가함에 따라, 이들을 컨트롤할 수 있다. 또한, 감압건조장치가 개폐부(900) 등을 포함하거나 피처리 기판을 지지하는 지지부가 컨베이어 벨트 등과 같은 것으로 구성되는 경우, 이들을 모두 컨트롤할 수도 있으며, 이들을 컨트롤하기 위한 디스플레이부를 포함할 수 있다. 이에 대해서는 당해 기술분야에서 널리 알려져 있는바 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

한편, 챔버(100) 내부에는 배플 플레이트(200)와 챔버(100)의 하단면 사이에 위치하고 피처리 기판(10)을 지지하기 위한 기판 지지부를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판 지지부는 도 1 및 2와 같이, 서로 이격되어 배플 플레이트(200)를 향해 돌출된 적어도 2개 이상의 지지 돌기(520)를 포함할 수 있다. 지지 돌기(520)의 상단면의 높이는 모두 서로 동일할 수 있으며, 이에 의해 기판(10)이 수평하게 지지되도록 할 수 있다. 즉, 지지 돌기(520)의 상단면을 연장한 가상의 면과 기판(10)은 서로 평행할 수 있으며, 상기 가상의 면과 배플 플레이트(200) 간의 거리는 배플 플레이트(200)의 중심부로 갈수록 멀어지는 형상일 수 있다.

한편, 기판 지지부는 피처리 기판(10)이 이동되어 챔버(100) 내부로 삽입되는 경우, 피처리 기판(10)을 이동시키기 위해 피처리 기판 이동부(510)를 포함할 수 있다. 피처리 기판 이동부(510)는 바퀴나 레일 등과 같은 이동 가능한 수단이 형성되어 있을 수 있으며, 예를 들어, 일련의 공정이 자동화된 경우, 피처리 기판 이동부(510)는 레일에 연결되어 자동화 기기의 신호를 받아 챔버(100) 내부로 피처리 기판을 삽입하도록 할 수 있다. 다만, 당업자가 필요에 따라 기판 이동부(510)를 생략하여 사용할 수동 있다.

감압건조장치는 챔버(100)의 상단면에서 연장되어 배플 플레이트(200)와 연결되어 배플 플레이트(200)를 챔버(100) 내부에 고정하는 배플 플레이트 고정부(600)를 더 포함할 수 있다. 배플 플레이트 고정부(600)에 의해 배플 플레이트(200)는 챔버(100) 내부에 고정될 수 있다.

한편, 도 3에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 감압건조장치가 도시되어 있으며, 도 3을 참조하면, 기판 지지부는 적어도 하나 이상의 지지면(530)을 포함할 수 있다. 지지면(530)은 피처리 기판(10)을 지지하는 역할을 수행할 수 있다. 지지면(530)은 상기에서와 같이, 기판 이동부(510) 상에 형성될 수 있고, 지지 돌기(520) 상에 별도로 형성될 수 있다. 지지면(530)에 의해 피처리 기판(10)은 보다 안정적으로 지지될 수 있다. 다만, 당업자가 필요에 따라 지지돌기(520)를 생략하여 사용할 수도 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 4 및 5에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치의 단면도가 도시되어 있다.

도 4를 참조하면 감압건조장치의 배플 플레이트(210)는 적어도 하나 이상의 곡면을 포함할 수 있다. 즉, 배플 플레이트(210)의 중심부에는 평탄한 면이 형성되고, 외각부에서 곡면이 형성될 수 있다. 곡면은 챔버(100)의 상단면을 향하여 볼록한 형상일 수 있다. 또한, 도 4와 달리 중심부에서 평탄한 면이 형성되지 않고, 배플 플레이트(210) 자체가 중심부에서 곡면이 시작되어 전체적으로 챔버(100)의 상단면을 향하는 볼록한 형상일 수 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 5를 참조하면, 배플 플레이트(220) 상의 곡면은 챔버(100)의 하단면을 향하여 볼록한 형상일수도 있다. 즉, 배플 플레이트(220)의 중심부를 기점으로 하여, 챔버(100)의 하단면을 향하여 볼록한 형상일 수 있으며, 배플 플레이트(220)의 중심부를 기점으로 하여, 좌측의 배플 플레이트(220A)에서는 우측 하단면을 향해 볼록하고, 우측의 배플 플레이트(220B)에서는 좌측 하단면을 향해 볼록한 형상일 수 있다. 별도로 도시하진 않았으나, 도 4와 같이, 배플 플레이트는 평탄한 면을 포함할 수도 있으며, 필요에 따라 다양한 곡률을 적용할 수도 있다. 또한, 여러 곡률을 혼용하여 사용할 수도 있으며, 이는 당업자가 필요에 따라 적절히 변형 가능하다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 6에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치의 단면도가 도시되어 있다.

도 6을 참조하면, 배플 플레이트(230)는 적어도 하나 이상의 부분이 절곡되어 있을 수 있다. 다시 말하면, 배플 플레이트(230)는 절곡된 부분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 6과 같이, 배플 플레이트(230)의 중심부와 외각부에서는 평탄한 면일 수 있고, 외각부에서 피처리 기판(10)과의 거리를 가깝게 하기 위해 중심부와 외각부의 중간 지점에 절곡되어 단차를 줄 수 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 7에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치의 단면도가 도시되어 있다.

도 7을 참조하면, 배플 플레이트(240)는 절곡된 면을 포함하면서, 동시에 경사면을 포함할 수 있다. 즉, 배플 플레이트(240)의 중심부와 외각부에서는 평평한 면을 포함하고, 피처리 기판(10)과의 거리를 외각부에 비해 중심부에서 상대적으로 더 멀게 하기 위해 배플 플레이트(240)의 외각부와 중심부 사이에 단차를 형성하도록 할 수 있으며, 단차는 절곡된 면과 경사면에 의해 형성될 수 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 8에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치의 단면도가 도시되어 있다.

도 8을 참조하면, 배플 플레이트 고정부(610)는 상하로 이동 가능할 수 있다. 따라서, 이를 위해 배플 플레이트 고정부(610)는 상하로 이동 가능한 수단을 포함할 수 있다. 이는 유압 방식에 의해 상하로 이동 가능할 수 있으며, 예를 들어, 컨트롤 박스(700)에서 명령을 입력하고 신호가 인가되면, 배플 플레이트(200)를 원하는 위치로 조절할 수 있다. 한편, 도 7에서는 상하로 이동 가능한 것만 도시했으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 당업자가 필요에 따라 배플 플레이트(200)를 상하좌우 방향으로 이동 가능하도록 할 수도 있다.

또한, 기판 지지부도 상하로 이동 가능할 수 있다. 따라서 기판 지지부의 지지 돌기(550)는 상하로 이동 가능한 수단을 포함할 수 있다. 상하로 이동 가능한 수단은 상기 배플 플레이트 고정부(610)에서 설명한 바와 동일한 방식을 이용할 수 있으며, 컨트롤 박스(700)에 의해 인가된 신호에 따라 지지 돌기(550)의 위치를 조절하여 결과적으로는 피처리 기판(10)의 위치를 조절할 수 있다.

상기와 같이, 이동 가능한 배플 플레이트 고정부(610)와 기판 지지부의 지지 돌기(550)에 의해 배플 플레이트(200)와 피처리 기판(10)과의 거리를 사용자가 원하는 거리로 조절이 가능하다. 따라서, 처리하고자 하는 피처리 기판(10)의 크기, 용도, 유기층(20) 상에 포함되는 유기물과 용매 등의 종류에 따라 컨트롤 박스(700)에 명령을 입력하여 쉽게 감압건조장치의 작동이 가능할 수 있다.

한편, 상기한 내용 이외에도 감압건조장치는 피처리 기판(10)을 고정하기 위한 압착고정부재(570)를 포함할 수 있고, 이에 의해 피처리 기판(10)이 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 압착고정부재(570)는 필요에 따라 피처리 기판(10)을 압착 고정하거나, 분리하도록 할 수 있으며, 이에 의해 자동화 설비에서 다수개의 기판을 감압건조하는 경우, 고정과 분리를 동시에 수행할 수 있다. 압착고정부재(570)의 작동은 컨트롤 박스(700)에 의해 인가된 신호에 따라 작동될 수 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 9에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감압건조장치의 단면도가 도시되어 있다.

도 9를 참조하면 감압건조장치는 상단면과 하나 이상의 측단면을 포함하는 챔버(110), 챔버(110) 내부의 공기를 배기하고, 챔버 내부를 감압하는 감압부(400), 챔버(110) 내부에 위치하는 배플 플레이트(200)를 포함할 수 있고, 배플 플레이트(200)는 챔버(110)의 상단면과의 거리가 배플 플레이트(200) 중심부로 갈수록 가까워질 수 있다. 또한 챔버(110)는 이동 가능하게 설계될 수 있다. 예를 들어 챔버(110)는 좌우나 상하 방향으로 이동가능 할 수 있다.

상기 도 1에서 설명한 감압건조장치와 다른점은 챔버(110)의 하단면이 개방되어 있는 상태이고, 챔버(110) 자체가 이동가능하다는 점이다. 즉, 피처리 기판(10)이 기판 지지부에 지지되어 고정되어 있는 상태이고, 챔버(110) 자체가 이동되어 피처리 기판을 덮는 형태일 수 있다. 따라서, 챔버(110)를 구성하는 하나 이상의 측단면의 하부에는 챔버 내부를 밀폐하기 위한 패킹부(910, 920)를 더 포함할 수 있다. 패킹부(910, 920)에 의해 피처리 기판(10)을 챔버(110) 내부에 위치하게 하면서 챔버(110)의 내부를 밀폐하도록 할 수 있다.

한편, 이외의 다른 구성은 상기에서 이미 설명하였는바, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 발명은 상기한 감압건조장치를 이용한 감압건조방법을 제공한다.

다시 도 1 및 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 감압건조방법에 대해 설명하면,

감압건조방법은 상단면을 포함하는 챔버(100)와 챔버(100) 내부에 위치하고 상단면과의 거리가 중심부로 갈수록 가까워지는 형상의 배플 플레이트(200)를 포함하는 감압건조장치를 준비하는 단계, 상기 감압건조장치 내부에 용매를 포함하는 유기물 도포막, 즉 유기층(20)이 형성된 피처리 기판(10)을 투입하는 단계 및 챔버(100) 내부를 감압하여 상기 용매를 증발시킴으로써 건조하는 단계를 포함할 수 있다.

챔버(100)는 개폐부(800)를 포함할 수 있고, 상기 피처리 기판을 투입하는 단계는 개폐부(800)를 통해 피처리 기판(10)을 투입함으로써 수행될 수 있다. 다만, 이에 한정하는 것은 아니며, 도 9와 같은 감압건조장치를 사용하는 경우, 피처리 기판(10)이 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태에서 챔버(110) 자체가 피처리 기판(10)의 상부에서 하강함으로써, 피처리 기판을 투입하는 단계가 수행될 수 있다.

상기 건조하는 단계는 감압부(400)의 진공펌프에 의해 감압 흡입력을 발생시겨, 배관(300)을 통해 챔버(100) 내부로부터 외부로 공기나 유기물, 용매 등을 배출함으로써, 수행될 수 있다. 즉, 감압조건을 형성함으로써, 챔버(100) 내부를 감압하여 건조를 수행할 수 있다.

한편, 배플 플레이트(200)의 형상이나, 피처리 기판(10) 등과의 관계 등에 대해서는 상기 감압건조장치에서 설명한 바와 동일한 바 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

감압건조를 수행하기 위해 상기 피처리 기판(10)을 투입하는 단계 이후에 챔버(100) 내부를 밀폐하는 패킹 단계를 더 거칠 수 있다. 즉, 상기에서 설명한 패킹부(900, 910, 920)에 의해 외부로부터 챔버(100) 내부를 밀폐할 수 있다.

한편, 감압건조방법을 수행하는 과정에서는 컨트롤 박스(700)에서 사용자가 원하는 압력, 작동시간, 배플 플레이트와 피처리 기판과의 간격 등을 입력하고 이에 의해 전기적 신호가 감압건조장치의 각각의 구성들에 전달되어 수행될 수 있다.

본 발명의 감압건조장치 및 감압건조방법을 이용하는 경우, 균일하면서 우수한 평탄도를 가지는 표시패널을 구현할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

10: 피처리 기판
20: 유기층
100, 110: 챔버
200, 210, 220, 230, 240: 배플 플레이트
300: 배관
400: 감압부
510: 피처리 기판 이동부
520, 550: 지지 돌기
530: 지지면
570: 압착고정부재
600, 610: 배플 플레이트 고정부
700: 컨트롤 박스
800: 개폐부
810: 힌지
900: 패킹부
1000: 계측기

Claims (19)

1. 평행하게 배치되는 상단면과 하단면을 포함하는 챔버;
   상기 챔버 내부의 공기를 배기하고, 상기 챔버 내부를 감압하는 감압부; 및
   상기 챔버 내부에 위치하는 배플 플레이트를 포함하되,
   상기 배플 플레이트는 상기 챔버의 상단면과의 거리가 상기 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 가까워지는 것을 특징으로 하는 감압건조장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 부분이 절곡된 감압건조장치.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 곡면을 포함하는 감압건조장치.
4. 제 2항에 있어서,
   상기 배플 플레이트는 적어도 하나 이상의 경사면을 포함하는 감압건조장치.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 챔버 내부에서 상기 배플 플레이트와 상기 챔버의 하단면 사이에 위치하고 피처리 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하는 감압건조장치.
6. 제 5항에 있어서,
   상기 기판 지지부는 서로 이격되어 상기 배플 플레이트를 향해 돌출된 2개 이상의 지지 돌기를 포함하고,
   상기 지지 돌기의 상단면의 높이는 서로 동일하며,
   상기 지지 돌기의 상단면을 연장한 가상의 면과 상기 배플 플레이트의 거리는 상기 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 멀어지는 것을 특징으로 하는 감압건조장치.
7. 제 5항에 있어서,
   상기 기판 지지부는 적어도 하나 이상의 지지면을 포함하고,
   상기 지지면과 상기 배플 플레이트의 거리는 상기 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 멀어지는 것을 특징으로 하는 감압건조장치.
8. 제 5항에 있어서,
   상기 기판 지지부는 상하로 이동 가능한 감압건조장치.
9. 제 1항에 있어서,
   상기 챔버의 측단면에 형성되는 개폐부를 더 포함하는 감압건조장치.
10. 제 1항에 있어서,
    상기 개폐부와 상기 하단면 사이에 위치하여 상기 챔버 내부를 밀폐하는 패킹부를 더 포함하는 감압건조장치.
11. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버의 상단면에서 연장되어 상기 배플 플레이트를 고정하는 배플 플레이트 고정부를 더 포함하는 감압건조장치.
12. 제 11항에 있어서,
    상기 배플 플레이트 고정부는 상하 방향으로 이동 가능한 감압건조장치.
13. 상단면과 하나 이상의 측단면을 포함하는 챔버;
    상기 챔버 내부의 공기를 배기하고, 상기 챔버 내부를 감압하는 감압부; 및
    상기 챔버 내부에 위치하는 배플 플레이트를 포함하되,
    상기 배플 플레이트는 상기 챔버의 상단면과의 거리가 상기 배플 플레이트의 중심부로 갈수록 가까워지는 것을 특징으로 하는 감압건조장치.
14. 제 13항에 있어서,
    상기 챔버의 상기 하나 이상의 측단면의 하부에 위치하여 상기 챔버 내부를 밀폐하는 패킹부를 더 포함하는 감압건조장치.
15. 상단면을 포함하는 챔버와 상기 챔버 내부에 위치하고 상기 상단면과의 거리가 중심부로 갈수록 가까워지는 형상의 배플 플레이트를 포함하는 감압건조장치를 준비하는 단계;
    상기 감압건조장치 내부에 용매를 포함하는 유기물 도포막이 형성된 피처리 기판을 투입하는 단계; 및
    상기 챔버 내부를 감압하여 상기 용매를 증발시킴으로써 건조하는 단계를 포함하는 감압건조방법.
16. 제 15항에 있어서,
    상기 피처리 기판과 상기 배플 플레이트 간의 거리는 상기 피처리 기판의 중심부로 갈수록 거리가 멀어지는 것을 특징으로 하는 감압건조방법.
17. 제 15항에 있어서,
    상기 피처리 기판을 투입하는 단계 이후에 상기 챔버 내부를 밀폐하는 패킹 단계를 더 포함하는 감압건조방법
18. 제 15항에 있어서,
    상기 챔버는 개폐부를 더 포함하고,
    상기 피처리 기판을 투입하는 단계는 상기 개폐부를 통해 투입되는 감압건조방법
19. 제 15항에 있어서,
    상기 배플 플레이트는 상기 피처리 기판의 모든 면적을 커버하는 감압건조방법.

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