KR102169294B1 - Glass deposition apparatus - Google Patents

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KR102169294B1
KR102169294B1 KR1020190087675A KR20190087675A KR102169294B1 KR 102169294 B1 KR102169294 B1 KR 102169294B1 KR 1020190087675 A KR1020190087675 A KR 1020190087675A KR 20190087675 A KR20190087675 A KR 20190087675A KR 102169294 B1 KR102169294 B1 KR 102169294B1
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magnetic
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KR1020190087675A
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최교원
박민호
최병호
김두환
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주식회사 에스에프에이
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Abstract

Disclosed is a substrate deposition device which can reduce an amount of particles generated by friction between a carrier and a carrier transfer unit. According to the present invention, the substrate deposition device comprises: a vacuum chamber in which a deposition process is performed on a substrate; a source unit disposed inside the vacuum chamber and spraying a deposition material onto the substrate; a carrier transfer unit connected to the vacuum chamber and transferring a carrier on which the substrate is chucked inside the vacuum chamber; and a carrier load reduction unit connected to the vacuum chamber and reducing a load of the carrier applied to the carrier transfer unit by interaction with the carrier.

Description

기판 증착장치{Glass deposition apparatus}Substrate deposition apparatus {Glass deposition apparatus}

본 발명은, 기판 증착장치에 관한 것에 관한 것으로서, 진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 이송기구를 구비하는 기판 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate deposition apparatus, and to a substrate deposition apparatus having a transfer mechanism for transferring a substrate in a vacuum chamber.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.With the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, flat panel displays are in the spotlight as display devices.

이러한 평판표시소자에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이장치(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display ) 등이 있다.Such flat panel display devices include a liquid crystal display, a plasma display panel, and an organic light emitting diode display.

이 중에서 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는, 빠른 응답속도, 기존의 액정표시장치(LCD)보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.Among them, the OLED display has a fast response speed, lower power consumption than a conventional liquid crystal display (LCD), light weight, and can be made ultra-thin since it does not require a separate backlight device. It has very good advantages such as high luminance, so it is in the spotlight as a next-generation display device.

유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히 AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다. 또한 AMOLED는 기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.Organic light-emitting diode displays can be divided into passive PMOLED and active AMOLED depending on the driving method. In particular, AMOLED is a self-luminous display, which has the advantage of faster response speed than conventional displays, natural color sense and low power consumption. In addition, when AMOLED is applied to a film rather than a substrate, the technology of a flexible display can be implemented.

이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 에칭 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정 등을 통해 제품으로 생산될 수 있다.These OLED displays are made into products through a pattern formation process, an organic thin film deposition process, an etching process, an encapsulation process, and a bonding process in which the substrate on which the organic thin film is deposited and the substrate that has undergone the sealing process are attached. Can be produced.

이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)에 사용되는 유기전계발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다.The organic light-emitting device used in such an organic light-emitting diode display (OLED display) coats an anode film, an organic thin film, and a cathode film on a substrate in order, and applies a voltage between the anode and the cathode, so that an appropriate difference in energy is formed in the organic thin film. It is the principle of self-illumination.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.In other words, the injected electrons and holes recombine, and the remaining excitation energy is generated as light. At this time, since the wavelength of light generated according to the amount of the dopant of the organic material can be adjusted, full color can be implemented.

도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.1 is a structural diagram of an organic electroluminescent device.

이 도면에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 정공 방지층(hole blocking layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.As shown in this figure, the organic light emitting diode is an anode, a hole injection layer, a hole transfer layer, a light emitting layer, and a hole blocking layer on a substrate. layer), an electron transfer layer, an electron injection layer, and a cathode are sequentially stacked and formed.

이러한 구조에서 애노드로는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용된다. 그리고 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 정공 방지층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성된다. 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 있다. 캐소드로는 LiF-Al 금속막이 사용된다. 그리고 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.In this structure, ITO (Indium Tin Oxide) is mainly used as the anode, which has a small surface resistance and good permeability. And the organic thin film is composed of multiple layers of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole blocking layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in order to increase luminous efficiency. Organic materials used as the emission layer include Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, and TCTA. A LiF-Al metal film is used as the cathode. In addition, since the organic thin film is very vulnerable to moisture and oxygen in the air, a sealing film is formed on the top to increase the life time of the device.

도 1에 도시된 유기전계발광소자를 다시 간략하게 정리하면, 유기전계발광소자는 애노드, 캐소드, 그리고 애노드와 캐소드 사이에 개재된 발광층을 포함하며, 구동 시 정공은 애노드로부터 발광층 내로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층 내로 주입된다. 발광층 내로 주입된 정공과 전자는 발광층에서 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.When the organic light emitting device shown in FIG. 1 is briefly summarized again, the organic light emitting device includes an anode, a cathode, and a light emitting layer interposed between the anode and the cathode, and holes are injected from the anode into the light emitting layer during driving, and electrons Is injected from the cathode into the light emitting layer. Holes and electrons injected into the emission layer are combined in the emission layer to generate excitons, and these excitons transition from an excited state to a ground state to emit light.

이러한 유기전계발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계발광소자로 구분될 수 있는데, 풀 칼라 유기전계발광소자는 빛의 삼원색인 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 별로 패터닝된 발광층을 구비함으로써 풀 칼라를 구현한다.These organic electroluminescent devices can be classified into monochromatic or full color organic electroluminescent devices according to the colors to be implemented. The full-color organic electroluminescent devices are red (R), green (G), and the three primary colors of light. Full color is realized by providing a light emitting layer patterned for each blue color (B).

한편, 도 1에 도시된 유기전계발광소자를 만들기 위해, 즉 발광층(유기물) 및 전극층(무기물)을 증착하기 위해 증발 공정(evaporation process)이 요구된다.Meanwhile, an evaporation process is required to make the organic electroluminescent device shown in FIG. 1, that is, to deposit a light emitting layer (organic material) and an electrode layer (inorganic material).

증발 공정은, 증착물질(원료물질 혹은 증발물질이라고도 함)을 소스(evaporation source, 증발 소스라고도 함)에 채우는 피딩공정(feeding process)과, 소스(source)에 의해 증발된 증착물질을 기판 상에 증착하는 증착공정(deposition process)으로 크게 나뉠 수 있다.The evaporation process includes a feeding process in which a deposition material (also called a raw material or evaporation material) is filled into a source (also called an evaporation source), and a deposition material evaporated by a source is deposited on a substrate. It can be broadly divided into a deposition process.

한편, 종래기술에 따른 기판 증착장치는 증착공정이 이루어지는 진공 챔버의 내부에서 기판을 이송하는 이송기구를 구비한다. 이러한 이송기구는 기판이 척킹(chuking)된 캐리어에 접촉되어 캐리어를 이동시킨다.Meanwhile, a substrate deposition apparatus according to the prior art includes a transfer mechanism for transferring a substrate in a vacuum chamber in which a deposition process is performed. This transfer mechanism moves the carrier by contacting the carrier on which the substrate is chucked.

그런데, 이러한 종래기술에 따른 기판 증착장치에서 캐리어와 이송기구의 마찰에 의해 파티클(particle)이 발생되어 비산하는 문제점이 있다. 특히, 대면적의 기판을 이송하는 경우 기판이 척킹된 캐리어의 하중이 커지게 되고, 이송기구에 접촉되어 지지되는 캐리어의 하중이 증가할수록 캐리어와 이송기구의 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양의 많아진다.However, there is a problem in that particles are generated and scattered by friction between a carrier and a transfer mechanism in the substrate deposition apparatus according to the prior art. In particular, when transferring a large-area substrate, the load of the carrier on which the substrate is chucked increases, and as the load of the carrier contacted and supported by the transfer mechanism increases, the amount of particles generated by friction between the carrier and the transfer mechanism increases. Lose.

이러한 캐리어와 이송기구의 마찰에 의해 파티클이 발생되는 것을 방지하기 위해 최근 자기부상 방식의 비접촉(non-contact) 이송기구가 사용이 제안되고 있다. In order to prevent the generation of particles due to friction between the carrier and the transport mechanism, a magnetic levitation type non-contact transport mechanism has been recently proposed.

그러나, 이러한 비접촉 이송기구는 상술한 접촉방식의 이송기구에 비해 시스템 구성이 복잡하고, 제조비용이 상당히 증가하여 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.However, such a non-contact transfer mechanism has a problem in that the system configuration is complicated and the manufacturing cost is considerably increased compared to the above-described transfer mechanism of the contact method, thereby reducing productivity.

대한민국 공개특허공보 제10-2013-0088548호, (2013.08.08.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0088548, (2013.08.08.)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 이송과정에서 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬 수 있는 기판 증착장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a substrate deposition apparatus capable of reducing the amount of particles generated by friction during a substrate transfer process.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에서 기판에 대한 증착공정이 수행되는 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 내부에 배치되며, 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 소스유닛; 상기 진공 챔버에 연결되며, 상기 진공 챔버의 내부에서 상기 기판이 척킹(chucking)된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛; 및 상기 진공 챔버에 연결되며, 상기 캐리어와의 상호작용에 의해 상기 캐리어 이송유닛에 인가되는 상기 캐리어의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛을 포함하는 기판 증착장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber in which a deposition process is performed on a substrate; A source unit disposed inside the vacuum chamber and spraying a deposition material onto the substrate; A carrier transfer unit connected to the vacuum chamber and transferring a carrier on which the substrate is chucked in the vacuum chamber; And a carrier load reduction unit connected to the vacuum chamber and reducing the load of the carrier applied to the carrier transfer unit by interaction with the carrier.

상기 캐리어 하중 감소유닛은, 상기 캐리어와 자기력에 의한 상호작용을 하여 상기 캐리어에 인력 또는 척력을 인가하는 하중 감소유닛용 자성체를 포함할 수 있다.The carrier load reduction unit may include a magnetic body for a load reduction unit that applies attractive force or repulsive force to the carrier by interacting with the carrier by magnetic force.

상기 하중 감소유닛용 자성체는 다수개로 마련되어 상기 캐리어이송유닛을 따라 상호 이격되어 배치될 수 있다.The magnetic body for the load reduction unit may be provided in plural and disposed to be spaced apart from each other along the carrier transfer unit.

상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어 이송유닛의 상부영역에 배치되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어에 인력을 인가할 수 있다.The magnetic body for the load reduction unit is disposed in an upper region of the carrier transfer unit, and the magnetic body for the load reduction unit may apply an attractive force to the carrier.

상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어 이송유닛의 하부영역에 배치되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어에 척력을 인가할 수 있다.The magnetic body for the load reduction unit is disposed in a lower region of the carrier transfer unit, and the magnetic body for the load reduction unit may apply a repulsive force to the carrier.

상기 하중 감소유닛용 자성체는 자기력의 세기가 조절 가능한 전자석으로 마련될 수 있다.The magnetic body for the load reduction unit may be provided as an electromagnet in which the strength of magnetic force is adjustable.

상기 하중 감소유닛용 자성체는 영구자석으로 마련되며, 상기 캐리어 하중 감소유닛은, 상기 하중 감소유닛용 자성체에 연결되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체를 상기 캐리어에 대해 상대이동 시켜 상기 캐리어에 인가되는 자기력의 세기를 조절하는 자기력 조절모듈을 더 포함할 수 있다.The magnetic body for the load reduction unit is provided as a permanent magnet, and the carrier load reduction unit is connected to the magnetic body for the load reduction unit, and the magnetic force applied to the carrier by moving the magnetic body for the load reduction unit relative to the carrier It may further include a magnetic force control module for adjusting the intensity of.

상기 자기력 조절모듈은, 상기 하중 감소유닛용 자성체가 장착되는 자성체 장착부; 및 상기 자성체 장착부에 연결되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체를 업/다운(up/down) 이동시키는 자성체용 업/다운(up/down) 이동부를 포함할 수 있다.The magnetic force control module may include a magnetic body mounting portion on which the magnetic body for the load reduction unit is mounted; And an up/down moving part for a magnetic body connected to the magnetic body mounting part and moving the magnetic body for the load reduction unit up/down.

상기 자성체 장착부는, 상기 하중 감소유닛용 자성체가 결합되는 마운팅 플레이트부; 및 상기 마운팅 플레이트부에 연결되며, 상기 진공 챔버의 외벽을 관통하여 상기 자성체용 업/다운(up/down) 이동부에 연결되는 연결 샤프트부를 포함할 수 있다.The magnetic body mounting portion, a mounting plate portion to which the magnetic body for the load reduction unit is coupled; And a connection shaft part connected to the mounting plate part and connected to an up/down moving part for the magnetic body through the outer wall of the vacuum chamber.

상기 자성체용 업/다운(up/down) 이동부는, 상기 자성체 장착부가 결합되며, 업/다운(up/down) 이동되는 자성체용 이동블록부; 상기 자성체용 이동블록부에 연결되며, 상기 자성체용 이동블록부의 이동을 안내하는 자성체용 이동 가이드부; 및 상기 자성체용 이동블록부에 연결되며, 상기 자성체용 이동블록부를 이동시키는 자성체용 이동 구동부를 포함할 수 있다.The magnetic material up / down (up / down) moving unit, the magnetic body mounting unit is coupled, the magnetic body moving block unit to be moved up / down (up / down); A moving guide part for a magnetic body connected to the moving block part for the magnetic body and guiding the movement of the moving block part for the magnetic body; And a moving driving unit for a magnetic material connected to the moving block unit for the magnetic material and moving the moving block unit for the magnetic material.

상기 캐리어는, 상기 캐리어 이송유닛에 지지되는 캐리어 본체; 및 상기 캐리어 본체에 부착되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체와 자기력에 의한 상호작용을 하는 캐리어용 자성체를 포함할 수 있다.The carrier, a carrier body supported by the carrier transfer unit; And a magnetic body for a carrier attached to the carrier body and interacting with the magnetic body for the load reduction unit by magnetic force.

상기 캐리어 이송유닛은, 상기 캐리어에 연결되어 회전에 의해 상기 캐리어를 이동시키며, 상호 이격되어 배치되는 다수개의 이송롤러부; 및 상기 이송롤러부에 연결되며, 상기 이송롤러부를 회전시키는 이송용 회전 구동부를 포함할 수 있다.The carrier transfer unit may include a plurality of transfer roller units connected to the carrier to move the carrier by rotation, and disposed spaced apart from each other; And it is connected to the transfer roller portion, it may include a transfer rotation driving unit for rotating the transfer roller unit.

상기 이송유닛은, 상기 진공 챔버에 회전 가능하게 결합되고 상기 이송롤러부에 이격되어 배치되며, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 가이드 롤러부를 더 포함할 수 있다.The transfer unit may further include a guide roller part rotatably coupled to the vacuum chamber and spaced apart from the transfer roller part, and guiding the movement of the carrier.

상기 진공 챔버에 마련되며, 상기 캐리어 이송유닛의 하부에 배치되어 상기 캐리어 이송유닛을 상기 소스유닛에 대해 차폐하는 실드부를 더 포함할 수 있다. It is provided in the vacuum chamber, it is disposed below the carrier transfer unit may further include a shield to shield the carrier transfer unit from the source unit.

상기 진공 챔버의 내부에 배치되며, 상기 소스유닛에서 분사되는 상기 증착물질의 분사량을 모니터링하는 증착물질용 모니터링 센서를 더 포함할 수 있다. A deposition material monitoring sensor disposed inside the vacuum chamber and monitoring an injection amount of the deposition material sprayed from the source unit may be further included.

본 발명의 실시예들은, 기판이 척킹(chucking)된 캐리어와의 상호작용에 의해 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛에 인가되는 캐리어의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛을 구비함으로써, 캐리어의 이송과정에서 캐리어와 캐리어 이송유닛의 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬 수 있다.Embodiments of the present invention include a carrier load reduction unit that reduces the load of the carrier applied to the carrier transfer unit that transfers the carrier by interaction with the carrier on which the substrate is chucked. It is possible to reduce the amount of particles generated by friction between the carrier and the carrier transfer unit.

도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이다.
도 3은 도 2의 캐리어용 자성체가 캐리어에 자기력을 인가하는 상태가 도시된 도면이다.
도 4는 도 2의 캐리어의 내부가 도시된 도면이다.
도 5는 도 2의 캐리어의 이송방향에서 캐리어를 바라본 도면이다.
도 6는 도 3의 롤러용 회전축부에 연결된 밀봉부가 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 증착장치의 캐리어가 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이다.
도 9는 도 8의 캐리어용 자성체가 캐리어에 자기력을 인가하는 상태가 도시된 도면이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이다.
도 11은 도 10의 자기력 조절모듈이 도시된 도면이다.
도 12는 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이다.1 is a structural diagram of an organic electroluminescent device.
2 is a view showing a substrate deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating a state in which the magnetic material for a carrier of FIG. 2 applies a magnetic force to the carrier.
4 is a view showing the inside of the carrier of FIG. 2.
5 is a view looking at the carrier in the transport direction of the carrier of FIG. 2.
6 is a view showing a sealing part connected to the rotating shaft for the roller of FIG. 3.
7 is a diagram illustrating a carrier of a substrate deposition apparatus according to a second embodiment of the present invention.
8 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a third embodiment of the present invention.
9 is a diagram illustrating a state in which the magnetic material for a carrier of FIG. 8 applies a magnetic force to the carrier.
10 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating the magnetic force control module of FIG. 10.
12 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the implementation of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, a description of a function or configuration that is already known will be omitted in order to clarify the gist of the present invention.

한편, 이하에서 기술되는 기판은 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)용 기판일 수 있다. Meanwhile, the substrate described below may be a substrate for an organic light emitting diode display (OLED display).

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이고, 도 3은 도 2의 캐리어용 자성체가 캐리어에 자기력을 인가하는 상태가 도시된 도면이며, 도 4는 도 2의 캐리어의 내부가 도시된 도면이고, 도 5는 도 2의 캐리어의 이송방향에서 캐리어를 바라본 도면이며, 도 6는 도 3의 롤러용 회전축부에 연결된 밀봉부가 도시된 도면이다.2 is a view showing a substrate deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing a state in which the magnetic material for a carrier of FIG. 2 applies a magnetic force to the carrier, and FIG. 4 is It is a view showing the inside of the carrier, Figure 5 is a view as viewed from the carrier in the transport direction of the carrier of Figure 2, Figure 6 is a view showing the sealing portion connected to the rotating shaft for the roller of Figure 3.

본 실시예에 따른 기판 증착장치는, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 내부에서 기판에 대한 증착공정이 수행되는 진공 챔버(CM)와, 진공 챔버(CM)의 내부에 배치되며 기판으로 증착물질을 분사하는 소스유닛(S)과, 진공 챔버(CM)에 연결되며 진공 챔버(CM)의 내부에서 기판이 척킹(chucking)된 캐리어(110)를 이송하는 캐리어 이송유닛(120)과, 진공 챔버(CM)에 연결되며 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 캐리어 이송유닛(120)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛(130)과, 기판 진공 챔버(CM)의 내부에 배치되며 캐리어(110)의 위치를 감지하는 위치 감지유닛(150)과, 소스유닛(S), 캐리어 이송유닛(120), 캐리어 하중 감소유닛(130) 및 위치 감지유닛(150)에 전기적으로 연결되어 소스유닛(S), 캐리어 이송유닛(120), 캐리어 하중 감소유닛(130) 및 위치 감지유닛(150)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함한다.The substrate deposition apparatus according to the present embodiment, as shown in FIGS. 2 to 6, is disposed in a vacuum chamber CM in which a deposition process is performed on a substrate, and is disposed inside the vacuum chamber CM, and is used as a substrate. A source unit (S) for spraying a deposition material, and a carrier transfer unit (120) connected to the vacuum chamber (CM) and transferring the carrier 110 on which the substrate is chucked inside the vacuum chamber (CM), A carrier load reduction unit 130 that is connected to the vacuum chamber CM and reduces the load of the carrier 110 applied to the carrier transfer unit 120 by interaction with the carrier 110, and the substrate vacuum chamber CM It is disposed inside of the position sensing unit 150 for sensing the position of the carrier 110, the source unit (S), the carrier transfer unit 120, the carrier load reduction unit 130 and the position sensing unit 150 And a control unit (not shown) that is electrically connected to control the source unit S, the carrier transfer unit 120, the carrier load reduction unit 130, and the position detection unit 150.

진공 챔버(CM)에 대해 먼저 살펴본다. 진공 챔버(CM)는 기판(미도시)에 대한 증착공정이 진행되는 장소를 이룬다. 본 실시예의 경우, 기판이 수평으로 배치된 후에 상방으로 향하는 증착물질에 의해 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 수평식 상향 증착 방식을 제시하고 있다. First look at the vacuum chamber (CM). The vacuum chamber CM forms a place where a deposition process for a substrate (not shown) is performed. In the case of the present embodiment, a horizontal upward deposition method is proposed in which a deposition process is performed on a substrate by an upwardly facing deposition material after the substrate is disposed horizontally.

진공 챔버(CM)의 내부는 기판에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다. 이를 위해, 진공 챔버(CM)의 하부에는 진공 챔버(CM)의 내부를 진공 분위기로 유지하기 위한 수단으로서 진공 펌프(미도시)가 연결된다. 진공 펌프(미도시)는 소위, 크라이오 펌프일 수 있다. 그리고, 진공 챔버(CM)의 측벽에는 기판이 출입되는 출입 게이트(T)가 마련될 수 있다. Inside the vacuum chamber CM, a vacuum atmosphere is formed so that the deposition process for the substrate can be reliably performed. To this end, a vacuum pump (not shown) is connected to a lower portion of the vacuum chamber CM as a means for maintaining the inside of the vacuum chamber CM in a vacuum atmosphere. The vacuum pump (not shown) may be a so-called cryo pump. In addition, an entrance gate T through which a substrate enters and exits may be provided on a sidewall of the vacuum chamber CM.

또한, 이러한 진공 챔버(CM)의 상부벽 외측에는 진공 챔버(CM)의 강성을 높이는 강성 보강용 리브(R)가 돌출되어 마련된다.Further, a rigid reinforcing rib R that increases the rigidity of the vacuum chamber CM is provided to protrude outside the upper wall of the vacuum chamber CM.

또한, 이러한 진공 챔버(CM)의 내부에는 캐리어 이송유닛(120)과 위치 감지유닛(150) 등이 소스유닛(S)에서 분사된 증착물질에 오염되는 것을 방지하기 위해 캐리어 이송유닛(120)과 위치 감지유닛(150)을 소스유닛(S)에 대해 차폐하는 실드부(SD)가 마련된다. 이러한 실드부(SD)는 캐리어 이송유닛(120)의 후술할 이송롤러부(121)와 롤러용 회전축부(122) 및 위치 감지유닛(150)의 하부에 배치되어 이송롤러부(121)와 롤러용 회전축부(122) 및 위치 감지유닛(150)에 증착물질이 증착되는 것을 방지한다. 본 실시예에서 소정의 증착공정 횟수가 넘은 실드부(SD)는 새로운 실드부(SD)로 교체한다.In addition, in order to prevent contamination of the deposition material sprayed from the source unit S, the carrier transfer unit 120 and the position detection unit 150 inside the vacuum chamber CM A shield part SD is provided to shield the position detection unit 150 from the source unit S. Such a shield unit (SD) is disposed under the transfer roller unit 121 and the roller rotation shaft unit 122 and the position detection unit 150, which will be described later, of the carrier transfer unit 120, and the transfer roller unit 121 and the roller The deposition material is prevented from being deposited on the rotating shaft part 122 and the position sensing unit 150. In this embodiment, the shield part SD that has exceeded the predetermined number of deposition processes is replaced with a new shield part SD.

또한, 이러한 진공 챔버(CM)의 내부에는 소스유닛(S)에서 분사되는 증착물질의 분사량을 모니터링하는 증착물질용 모니터링 센서(미도시)가 배치된다. 본 실시예에서 증착물질용 모니터링 센서(미도시)에는 수정진동자 센서(quartz crystal sensor)가 사용된다. In addition, a deposition material monitoring sensor (not shown) is disposed inside the vacuum chamber CM to monitor the amount of deposition material sprayed from the source unit S. In this embodiment, a quartz crystal sensor is used as a monitoring sensor (not shown) for a deposition material.

소스유닛(S)은 진공 챔버(CM)의 내부에 배치된다. 이러한 소스유닛(S)은 증착물질을 분사한다. 본 실시예에서 소스유닛(S)은 해당 위치에 고정된 상태로 증착물질을 분사하며, 기판이 진공 챔버(CM) 내에서 이동되는 인라인 방식으로 증착된다. 이러한 소스유닛(S)은 증발된 증착물질을 분사하는 분사노즐(미도시)이 마련된 다수개의 소스모듈(미도시)을 포함한다. The source unit S is disposed inside the vacuum chamber CM. This source unit (S) sprays the deposition material. In this embodiment, the source unit S sprays a deposition material while being fixed at a corresponding position, and the substrate is deposited in an in-line manner in which the substrate is moved in the vacuum chamber CM. The source unit S includes a plurality of source modules (not shown) provided with a spray nozzle (not shown) for spraying the evaporated deposition material.

캐리어(110)에는 기판이 척킹(chucking)된다. 이러한 캐리어(110)는, 도 2 내지 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 이송유닛(120)에 지지되는 캐리어 본체(111)와, 캐리어 본체(111)에 부착되며 캐리어 하중 감소유닛(130)에 마련된 후술할 하중 감소유닛용 자성체(131)와 자기력에 의한 상호작용을 하는 캐리어용 자성체(113)를 포함한다. The substrate is chucked on the carrier 110. These carriers 110, as shown in detail in Figures 2 to 5, the carrier body 111 supported by the carrier transfer unit 120, and the carrier body 111 is attached to the carrier load reduction unit 130 And a magnetic body 113 for a carrier that interacts with the magnetic body 131 for a load reduction unit, which will be described later, and the magnetic body 113 is provided.

캐리어 본체(111)는 진공 챔버(CM)의 내부로 로딩된 기판을 어태치(attach)하는 척킹모듈(미도시)을 구비한다. 이러한 척킹모듈(미도시)은 캐리어 본체(111)의 하단부 영역에 배치되어 기판의 상면부에 접촉된다.The carrier body 111 includes a chucking module (not shown) for attaching a substrate loaded into the vacuum chamber CM. Such a chucking module (not shown) is disposed in the lower end region of the carrier body 111 to contact the upper surface of the substrate.

본 실시예에서 척킹모듈(미도시)에는 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)이 사용되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 기판을 어태치할 수 있는 다양한 척킹기구가 본 실시예의 척킹모듈(미도시)로 사용될 수 있다. In this embodiment, an electrostatic chuck (ESC) is used for the chucking module (not shown), but the scope of the present invention is not limited, and various chucking mechanisms capable of attaching a substrate are used in the chucking module of this embodiment. It can be used as (not shown).

캐리어용 자성체(113)는 캐리어 본체(111)에 장착된다. 이러한 캐리어용 자성체(113)는 하중 감소유닛용 자성체(131)와 자기력에 의한 상호작용을 한다. 본 실시예에서 캐리어용 자성체(113)는, 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치되며, 도 4에 도시된 바와 같이 상부면이 외부로 노출되는 구조로 캐리어 본체(111)에 매립된다. 여기서, 도 4는 캐리어의 이송방향에 수직으로 교차하는 평면 상의 단면도이다.The magnetic body 113 for a carrier is mounted on the carrier body 111. The magnetic body 113 for a carrier interacts with the magnetic body 131 for a load reduction unit by magnetic force. In this embodiment, the magnetic body 113 for a carrier is provided in a plurality and disposed to be spaced apart from each other, and is buried in the carrier body 111 in a structure in which the upper surface is exposed to the outside as shown in FIG. 4. Here, FIG. 4 is a cross-sectional view on a plane perpendicular to the conveying direction of the carrier.

한편, 캐리어 이송유닛(120)은 진공 챔버(CM)에 연결된다. 이러한 캐리어 이송유닛(120)은 진공 챔버(CM)의 내부에서 기판이 척킹(chucking)된 캐리어(110)를 이송한다. On the other hand, the carrier transfer unit 120 is connected to the vacuum chamber (CM). The carrier transfer unit 120 transfers the carrier 110 on which the substrate is chucked in the vacuum chamber CM.

본 실시예에 따른 캐리어 이송유닛(120)은, 도 2 내지 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어(110)에 연결되어 회전에 의해 캐리어(110)를 이동시키며 상호 이격되어 배치되는 다수개의 이송롤러부(121)와, 이송롤러부(121) 각각에 연결되며 각각의 이송롤러부(121)를 회전시키는 롤러용 회전축부(122)와, 진공 챔버(CM)의 측벽에 지지되고 롤러용 회전축부(122)가 회전 가능하게 연결되며 외부의 공기가 진공 챔버(CM)의 내부로 유입되는 것을 방지하는 밀봉부(123)와, 롤러용 회전축부(122)에 연결되며 롤러용 회전축부(122)를 회전시키는 이송용 회전 구동부(미도시)와, 진공 챔버(CM)에 회전 가능하게 결합되고 이송롤러부(121)에 이격되어 배치되며 캐리어(110)의 이동을 안내하는 가이드 롤러부(127)를 포함한다. The carrier transfer unit 120 according to this embodiment, as shown in detail in FIGS. 2 to 5, is connected to the carrier 110 to move the carrier 110 by rotation, and a plurality of transfers that are spaced apart from each other The roller part 121 and the roller rotation shaft part 122 connected to each of the transfer roller parts 121 and rotates each of the transfer roller parts 121, and a roller rotation shaft supported on the side wall of the vacuum chamber CM The part 122 is rotatably connected and is connected to a sealing part 123 that prevents external air from flowing into the vacuum chamber CM, and a rotating shaft part 122 for rollers, and is connected to the rotating shaft part 122 for rollers. ) And a guide roller unit 127 that is rotatably coupled to the vacuum chamber (CM) and spaced apart from the transfer roller unit 121 and guides the movement of the carrier 110 ).

이송롤러부(121)는 다수개로 마련되어 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상호 이격되어 배치된다. 이러한 이송롤러부(121)는 외주면이 캐리어(110)에 접촉되어 회전에 의해 캐리어(110)를 이동시킨다. The transfer roller unit 121 is provided in plural and disposed to be spaced apart from each other as shown in FIGS. 2 and 3. The transfer roller unit 121 moves the carrier 110 by rotation with its outer peripheral surface in contact with the carrier 110.

롤러용 회전축부(122)는 이송롤러부(121)에 연결되어 이송롤러부(121)에 회전 구동력을 전달한다. The roller rotation shaft part 122 is connected to the transfer roller part 121 to transmit a rotational driving force to the transfer roller part 121.

밀봉부(123)는 진공 챔버(CM)의 측벽에 지지된다. 이러한 밀봉부(123)에는 롤러용 회전축부(122)가 회전 가능하게 연결된다. 본 실시예에서 밀봉부(123)는 외부의 공기가 진공 챔버(CM)의 내부로 유입되는 것을 방지한다. The sealing part 123 is supported on the sidewall of the vacuum chamber CM. A rotating shaft part 122 for a roller is rotatably connected to the sealing part 123. In this embodiment, the sealing part 123 prevents external air from flowing into the vacuum chamber CM.

이러한 밀봉부(123)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 진공 챔버(CM)의 외측벽에 결합되며 롤러용 회전축부(122)가 회전가능하게 연결되는 밀봉 몸체(123a)와, 롤러용 회전축부(122)의 외주면과 밀봉 몸체(123a)의 내주면 사이에 배치되는 자성유체(Magnetic Fluid, 미도시)를 포함한다. Such a sealing part 123, as shown in detail in FIG. 6, is coupled to the outer wall of the vacuum chamber CM, and the sealing body 123a to which the rotating shaft part 122 for the roller is rotatably connected, and the rotating shaft for the roller It includes a magnetic fluid (not shown) disposed between the outer peripheral surface of the portion 122 and the inner peripheral surface of the sealing body (123a).

여기서 자성유체(미도시)는 액체 속에 자성분말을 콜로이드 모양으로 안정 분산시킨 다음 침전이나 응집이 생기지 않도록 계면활성제를 첨가한 유체로써, 이러한 자성유체(미도시)가 밀봉 몸체(123a)와 롤러용 회전축부(122) 사이에 오링과 같은 막을 형성함으로써, 롤러용 회전축부(122)의 회전에 의해 진공 챔버(CM)의 외부 공기가 진공 분위기의 진공 챔버(CM) 내부로 유입되는 것을 방지한다.Here, the magnetic fluid (not shown) is a fluid in which the magnetic powder is stably dispersed in a colloidal shape in the liquid, and then a surfactant is added to prevent precipitation or agglomeration, and such a magnetic fluid (not shown) is used for the sealing body 123a and the roller. By forming an O-ring-like film between the rotary shaft portion 122, the outside air of the vacuum chamber CM is prevented from flowing into the vacuum chamber CM in a vacuum atmosphere by the rotation of the roller rotary shaft portion 122.

본 실시예에서는 상술한 바와 같이 자성유체 씰(Magnetic Fluid seal)을 이용한 밀봉기구가 사용되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 진공도를 유지시키는 다양한 밀봉기구가 본 실시예의 밀봉부(123)로 사용될 수 있다.In this embodiment, a sealing device using a magnetic fluid seal is used as described above, but the scope of the present invention is not limited, and various sealing devices for maintaining the degree of vacuum are used in the sealing part 123 of the present embodiment. ) Can be used.

이송용 회전 구동부(미도시)는 롤러용 회전축부(122)에 연결된다. 이러한 이송용 회전 구동부(미도시)는 롤러용 회전축부(122)를 통해 이송롤러부(121)에 회전 구동력 공급하여 이송롤러부(121)를 회전시킨다. 본 실시예에서 이송용 회전 구동부(미도시)는 롤러용 회전축부(122)에 연결되는 서보 모터(미도시)를 포함한다.The transport rotation drive unit (not shown) is connected to the roller rotation shaft unit 122. Such a rotation driving unit for transfer (not shown) rotates the transfer roller unit 121 by supplying a rotational driving force to the transfer roller unit 121 through the rotation shaft unit 122 for rollers. In the present embodiment, the rotation driving unit for transport (not shown) includes a servo motor (not shown) connected to the rotation shaft unit 122 for rollers.

가이드 롤러부(127)는 진공 챔버(CM)에 마련된 가이드용 중심축(K)에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 가이드 롤러부(127)는 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. The guide roller part 127 is rotatably coupled to a central axis K for a guide provided in the vacuum chamber CM. These guide rollers 127 are provided in a plurality and are disposed to be spaced apart from each other.

본 실시예에서 가이드 롤러부(127)는 이송롤러부(121)에 이격되어 위치된다. 이러한 가이드 롤러부(127)는 캐리어(110)의 측벽에 접촉되어 캐리어(110)의 이동을 안내한다. In this embodiment, the guide roller unit 127 is located spaced apart from the transfer roller unit 121. This guide roller part 127 is in contact with the sidewall of the carrier 110 to guide the movement of the carrier 110.

위치 감지유닛(150)은 기판 진공 챔버(CM)의 내부에 배치된다. 이러한 위치 감지유닛(150)은 캐리어(110)가 이동되는 이송라인의 하부 영역에 배치되어 이동되는 캐리어(110)의 위치를 감지한다. 본 실시예에 위치 감지유닛(150)에는 레이저를 이용한 근접센서가 사용되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 다양한 위치 감지용 센서들이 본 실시예의 위치 감지유닛(150)으로 사용될 수 있다.The position sensing unit 150 is disposed inside the substrate vacuum chamber CM. The position detection unit 150 is disposed in a lower area of the transfer line in which the carrier 110 is moved to detect the position of the carrier 110 to be moved. In the present embodiment, a proximity sensor using a laser is used for the position sensing unit 150, but the scope of the present invention is not limited thereto, and various position sensing sensors may be used as the position sensing unit 150 of the present exemplary embodiment. .

한편, 캐리어 하중 감소유닛(130)은 진공 챔버(CM)에 연결된다. 이러한 캐리어 하중 감소유닛(130)은 진공 챔버(CM)의 내부에 배치되어 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 캐리어 이송유닛(120)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시킨다. Meanwhile, the carrier load reduction unit 130 is connected to the vacuum chamber CM. The carrier load reduction unit 130 is disposed inside the vacuum chamber CM to reduce the load of the carrier 110 applied to the carrier transfer unit 120 by interaction with the carrier 110.

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 증착장치는 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 캐리어 이송유닛(120)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛(130)을 구비함으로써, 캐리어(110)의 이송과정에서 캐리어(110)와 캐리어 이송유닛(120)의 접촉에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬 수 있다.As described above, the substrate deposition apparatus according to the present embodiment includes a carrier load reduction unit 130 that reduces the load of the carrier 110 applied to the carrier transfer unit 120 by the interaction with the carrier 110, It is possible to reduce the amount of particles generated by the contact between the carrier 110 and the carrier transfer unit 120 in the transfer process of (110).

본 실시예에서 캐리어 하중 감소유닛(130)은, 캐리어(110)의 캐리어용 자성체(113)와 자기력에 의한 상호작용을 하여 캐리어(110)에 인력(引力)을 인가하는 하중 감소유닛용 자성체(131)를 포함한다.In this embodiment, the carrier load reduction unit 130 is a magnetic body for a load reduction unit that applies attractive force to the carrier 110 by interacting with the magnetic body 113 for a carrier 110 by magnetic force ( 131).

이러한 하중 감소유닛용 자성체(131)는 다수개로 마련되어 캐리어 이송유닛(120)의 이송롤러부(121)를 따라 상호 이격되어 배치된다.The magnetic body 131 for the load reduction unit is provided in plural and disposed to be spaced apart from each other along the transfer roller unit 121 of the carrier transfer unit 120.

본 실시예에서 하중 감소유닛용 자성체(131)는 이송롤러부(121)의 상부영역에 배치되어 이송롤러부(121)에 의해 이송되는 캐리어(110)에 장착된 캐리어용 자성체(113)에 인력을 인가한다. 이를 위해 하중 감소유닛용 자성체(131)와 캐리어용 자성체(113)는 서로 반대 극이 마주보는 자세로 배치된다. In this embodiment, the magnetic body for the load reduction unit 131 is disposed in the upper area of the transfer roller unit 121 and is attracted to the magnetic body 113 for a carrier mounted on the carrier 110 that is transferred by the transfer roller unit 121 Is applied. To this end, the magnetic body 131 for the load reduction unit and the magnetic body 113 for the carrier are disposed in a position in which opposite poles face each other.

또한, 본 실시예에서 하중 감소유닛용 자성체(131)는 자기력의 세기가 조절 가능한 전자석으로 마련된다. 따라서, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 위치 감지유닛(150)에 의해 감지된 캐리어(110)의 상부영역에 배치된 하중 감소유닛용 자성체(131)들만이 제어유닛(미도시)의 제어신호에 의해 작동되어 자기력을 인가하고 다른 하중 감소유닛용 자성체(131)들은 작동하지 않는다. In addition, in this embodiment, the magnetic body 131 for the load reduction unit is provided as an electromagnet capable of adjusting the strength of the magnetic force. Therefore, as shown in detail in FIG. 3, only the magnetic bodies 131 for the load reduction unit disposed in the upper region of the carrier 110 sensed by the position sensing unit 150 are the control signals of the control unit (not shown). The magnetic body 131 for the other load reduction unit is operated by the magnetic force and does not operate.

캐리어(110)의 상부에 배치된 하중 감소유닛용 자성체(131)의 작동에 의해 하중 감소유닛용 자성체(131)가 캐리어(110)에 장착된 캐리어용 자성체(113)에 인력을 인가하게 되면, 캐리어(110)의 하중이 상술한 하중 감소유닛용 자성체(131)에 의해 부분적으로 상쇄되어 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아진다. When the magnetic body for the load reduction unit 131 is applied to the magnetic body for a carrier 113 mounted on the carrier 110 by the operation of the magnetic body 131 for the load reduction unit disposed on the upper portion of the carrier 110, The load of the carrier 110 is partially offset by the magnetic body 131 for the load reduction unit described above, so that the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 is reduced.

하중 감소유닛용 자성체(131)의 인력에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아지면 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 접촉면에서의 마찰력이 작아지게 되고, 그에 따라 마찰에 의한 파티클의 발생량이 줄어든다. When the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 by the attraction of the magnetic body 131 for the load reduction unit decreases, the frictional force on the contact surface between the carrier 110 and the transfer roller unit 121 decreases. , Accordingly, the amount of particles generated by friction is reduced.

한편, 제어유닛(미도시)은 소스유닛(S), 캐리어 이송유닛(120), 캐리어 하중 감소유닛(130) 및 위치 감지유닛(150)에 전기적으로 연결된다. 이러한 제어유닛(미도시)은 소스유닛(S), 캐리어 이송유닛(120), 캐리어 하중 감소유닛(130) 및 위치 감지유닛(150)을 제어한다. 본 실시예에서 제어유닛(미도시)는 위치 감지유닛(150)으로부터 캐리어 본체(111)의 위치에 대한 정보를 전달받아 캐리어 본체(111)의 상부 영역에 위치한 하중 감소유닛용 자성체(131)를 작동시켜 자기력을 발생시킨다. Meanwhile, the control unit (not shown) is electrically connected to the source unit (S), the carrier transfer unit 120, the carrier load reduction unit 130, and the position detection unit 150. This control unit (not shown) controls the source unit (S), the carrier transfer unit 120, the carrier load reduction unit 130, and the position detection unit 150. In this embodiment, the control unit (not shown) receives information on the position of the carrier body 111 from the position detection unit 150 and generates the magnetic body 131 for the load reduction unit located in the upper area of the carrier body 111. It is activated to generate magnetic force.

한편, 제어유닛(미도시)은 캐리어(110)의 이송방향으로 하중 감소유닛용 자성체(131)을 순차적으로 작동 및 비작동시켜 캐리어(110)가 이송방향으로 더욱 용이하게 이동될 수 있도록 한다.Meanwhile, the control unit (not shown) sequentially operates and deactivates the magnetic body 131 for the load reduction unit in the transport direction of the carrier 110 so that the carrier 110 can more easily move in the transport direction.

이하에서 본 실시예에 따른 기판 증착장치의 동작을 도 2 내지 도 6을 참고하여 설명한다. Hereinafter, the operation of the substrate deposition apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 to 6.

본 실시예에서 캐리어(110)는 이송롤러부(121)의 회전에 의해 진공 챔버(CM)의 내부에서 이송된다. 소스유닛(S)은 캐리어에 척킹된 기판으로 증착물질을 분사한다. In this embodiment, the carrier 110 is transferred inside the vacuum chamber CM by the rotation of the transfer roller unit 121. The source unit S sprays the deposition material onto the substrate chucked on the carrier.

이때, 진공 챔버(CM)의 내부에 배치된 증착물질용 모니터링 센서(미도시)가 소스유닛에서 분사되는 증착물질의 분사량을 감지하여 분사량에 대한 정보를 제어유닛(미도시)으로 전달한다.At this time, a monitoring sensor for deposition material (not shown) disposed inside the vacuum chamber CM detects the spray amount of the deposition material sprayed from the source unit and transmits information on the spray amount to the control unit (not shown).

또한, 진공 챔버(CM)의 내부에 배치된 실드부(SD)는, 이송롤러부(121)와 롤러용 회전축부(122) 및 위치 감지유닛(150)의 하부에 배치되어 이송롤러부(121)와 롤러용 회전축부(122) 및 위치 감지유닛(150)을 소스유닛(S)에 대해 차폐함으로써, 이송롤러부(121)와 롤러용 회전축부(122) 및 위치 감지유닛(150)이 증착물질에 증착되는 것을 방지한다.In addition, the shield part SD disposed inside the vacuum chamber CM is disposed under the transfer roller part 121 and the rotation shaft part 122 for rollers, and the position detection unit 150 to provide the transfer roller part 121 ) And the roller rotation shaft part 122 and the position detection unit 150 are shielded from the source unit S, so that the transfer roller part 121, the rotation shaft part 122 for the roller, and the position detection unit 150 are deposited. It prevents deposition on the material.

한편, 위치 감지유닛(150)은 이송되는 캐리어(110)를 감지하여 캐리어(110)의 위치에 대한 정보를 제어유닛(미도시)에 전달한다.On the other hand, the position detection unit 150 detects the transported carrier 110 and transmits information on the position of the carrier 110 to a control unit (not shown).

제어유닛(미도시)은 위치 감지유닛(150)으로부터 전달받은 캐리어(110)의 위치에 대한 정보에 따라 캐리어(110)의 상부 영역에 위치된 하중 감소유닛용 자성체(131)를 작동시킨다. 상술한 바와 같이 본 실시예에 따른 하중 감소유닛용 자성체(131)는 전자석으로 마련되어 제어유닛(미도시)의 제어신호에 의해 작동되어 캐리어용 자성체(113)와 자기력에 의한 상호작용을 하여 캐리어(110)에 인력을 인가한다.The control unit (not shown) operates the magnetic body 131 for the load reduction unit located in the upper area of the carrier 110 according to information on the position of the carrier 110 received from the position detection unit 150. As described above, the magnetic body 131 for the load reduction unit according to the present embodiment is provided as an electromagnet and is operated by a control signal from a control unit (not shown) to interact with the magnetic body 113 for a carrier by magnetic force, 110).

이러한 하중 감소유닛용 자성체(131)가 캐리어(110)에 인가하는 인력에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아지게 되고, 그에 따라 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 접촉면에서의 마찰력도 함께 작아져 마찰에 의한 파티클의 발생량이 줄어든다. The load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 is reduced by the force applied by the magnetic body 131 for the load reduction unit to the carrier 110, and accordingly, the carrier 110 and the transfer roller unit The friction force on the contact surface of 121 is also reduced, so that the amount of particles generated by the friction decreases.

이와 같이 본 실시예에 따른 본 발명의 실시예들은, 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛(130)을 구비함으로써, 캐리어(110)의 이송과정 중 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬할 수 있다.As described above, the embodiments of the present invention according to the present embodiment are provided with a carrier load reduction unit 130 that reduces the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 by interaction with the carrier 110 By doing so, it is possible to reduce the amount of particles generated by friction between the carrier 110 and the transfer roller unit 121 during the transfer process of the carrier 110.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 증착장치의 캐리어가 도시된 도면이다.7 is a diagram illustrating a carrier of a substrate deposition apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 제2 실시예를 설명한다. 본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 캐리어용 자성체(213)이 캐리어 본체(211)에서 돌출되어 마련되는 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 6의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 캐리어용 자성체(213)의 장착위치에 대해서만 설명한다.Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described. This embodiment differs from the first embodiment in that the magnetic body 213 for a carrier is provided to protrude from the carrier body 211, but in other configurations, the configuration of the first embodiment of FIGS. 2 to 6 Since it is the same as, hereinafter, only the mounting position of the magnetic carrier 213 of the present embodiment will be described.

본 실시예에서 캐리어용 자성체(213)는, 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 본체(211)의 상부면에서 돌출되어 캐리어 본체(211)에 결합된다. In this embodiment, the magnetic body 213 for a carrier, as shown in detail in FIG. 7, protrudes from the upper surface of the carrier body 211 and is coupled to the carrier body 211.

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 증착장치는, 캐리어 본체(211)의 상부면에서 돌출되어 캐리어 본체(211)에 결합되는 캐리어용 자성체(213)을 구비함으로써, 하중 감소유닛용 자성체(131)와 캐리어용 자성체(213) 사이의 이격간격을 줄여 하중 감소유닛용 자성체(131)와 캐리어용 자성체(213) 사이의 인력의 크기를 높일 수 있다.As described above, the substrate deposition apparatus according to the present embodiment includes the magnetic body 213 for a carrier protruding from the upper surface of the carrier body 211 and coupled to the carrier body 211, thereby It is possible to increase the size of the attractive force between the magnetic body 131 for the load reduction unit and the magnetic body 213 for the carrier by reducing the space between the magnetic body 213 for the carrier.

도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이고, 도 9는 도 8의 캐리어용 자성체가 캐리어에 자기력을 인가하는 상태가 도시된 도면이다.8 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a diagram illustrating a state in which the magnetic material for a carrier of FIG. 8 applies a magnetic force to the carrier.

이하에서는 본 발명의 제3 실시예를 설명한다. 본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 하중 감소유닛용 자성체(331)의 위치와 하중 감소유닛용 자성체(331)이 캐리어(110)에 인가하는 힘의 방향에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 6의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 하중 감소유닛용 자성체(331)의 위치와 하중 감소유닛용 자성체(331)이 캐리어(110)에 인가하는 힘의 방향에 대해서만 설명한다.Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described. Compared with the first embodiment, the present embodiment differs only in the position of the magnetic body 331 for the load reduction unit and the direction of the force applied to the carrier 110 by the magnetic body 331 for the load reduction unit. Since the configuration of the first embodiment of FIGS. 2 to 6 is the same, hereinafter, the position of the magnetic body 331 for the load reduction unit and the force applied by the magnetic body 331 for the load reduction unit to the carrier 110 of the present embodiment Explain only the direction.

본 실시예에서 하중 감소유닛용 자성체(331)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 이송롤러부(121)의 하부영역에 배치된다. 이러한 하중 감소유닛용 자성체(331)은 캐리어(110)의 캐리어용 자성체(미도시)와 자기력에 의한 상호작용을 하여 캐리어(110)에 척력(斥力)을 인가한다. 이를 위해 하중 감소유닛용 자성체(331)과 캐리어용 자성체(미도시)는 서로 동일한 극이 마주보는 자세로 배치된다. In this embodiment, the magnetic body 331 for the load reduction unit is disposed in the lower region of the transfer roller unit 121 as shown in FIGS. 8 and 9. The magnetic body 331 for the load reduction unit applies a repulsive force to the carrier 110 by interacting with the magnetic body (not shown) for the carrier 110 by magnetic force. To this end, the magnetic body 331 for the load reduction unit and the magnetic body for the carrier (not shown) are disposed in a position in which the same poles face each other.

본 실시예에서 캐리어용 자성체(미도시)는 하부면이 외부로 노출되는 구조로 캐리어 본체(111)에 매립되는데, 제2 실시예와 같이 캐리어용 자성체(미도시)가 캐리어 본체(111)의 하부면에서 돌출되는 구조로 캐리어 본체(111)에 결합될 수도 있다.In this embodiment, a magnetic material for a carrier (not shown) is buried in the carrier body 111 with a structure in which the lower surface is exposed to the outside. As in the second embodiment, a magnetic material for a carrier (not shown) is It may be coupled to the carrier body 111 in a structure protruding from the lower surface.

상술한 하중 감소유닛용 자성체(331)이 캐리어(110)에 인가하는 척력에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아지게 되면, 그에 따라 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 접촉면에서의 마찰력도 함께 작아져 마찰에 의한 파티클의 발생량이 줄어든다. When the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 is reduced by the repulsive force applied to the carrier 110 by the magnetic body 331 for the load reduction unit described above, the carrier 110 and the transfer roller The friction force on the contact surface of the part 121 is also reduced, so that the amount of particles generated by the friction decreases.

이와 같이 본 실시예에 따른 본 발명의 실시예들은, 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛(130)을 구비함으로써, 캐리어(110)의 이송과정 중 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬 수 있다.As described above, the embodiments of the present invention according to the present embodiment are provided with a carrier load reduction unit 130 that reduces the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 by interaction with the carrier 110 By doing so, it is possible to reduce the amount of particles generated by friction between the carrier 110 and the transfer roller unit 121 during the transfer process of the carrier 110.

도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이고, 도 11은 도 10의 자기력 조절모듈이 도시된 도면이다.10 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a diagram illustrating a magnetic force control module of FIG. 10.

이하에서는 본 발명의 제4 실시예를 설명한다. 본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 하중 감소유닛용 자성체(431)이 영구자석으로 마련되고 캐리어 하중 감소유닛(130)이 자기력 조절모듈(432)을 더 구비하는 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 6의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 캐자기력 조절모듈(432)을 위주로 설명한다.Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be described. This embodiment differs from the first embodiment in that the magnetic body 431 for the load reduction unit is provided as a permanent magnet and the carrier load reduction unit 130 further includes a magnetic force control module 432, In other configurations, the configuration is the same as that of the first embodiment of FIGS. 2 to 6, and thus, the self-magnetic force control module 432 of the present embodiment will be mainly described below.

본 실시예에서 하중 감소유닛용 자성체(431)는 전자석으로 마련되는 제1 실시예와 달리 영구자석으로 마련된다. 이러한 하중 감소유닛용 자성체(431)는 이송롤러부(121)의 상부 영역에 배치된다.In this embodiment, the magnetic body 431 for the load reduction unit is provided with a permanent magnet unlike the first embodiment provided with an electromagnet. The magnetic body 431 for the load reduction unit is disposed in the upper region of the transfer roller unit 121.

본 실시예에 따른 캐리어 하중 감소유닛(430)은, 하중 감소유닛용 자성체(431)에 연결되며, 하중 감소유닛용 자성체(431)을 캐리어(110)에 대해 상대이동 시켜 캐리어(110)에 인가되는 자기력의 세기를 조절하는 자기력 조절모듈(432)을 더 포함한다.The carrier load reduction unit 430 according to this embodiment is connected to the magnetic body 431 for the load reduction unit, and applies the magnetic body 431 for the load reduction unit to the carrier 110 by moving relative to the carrier 110 It further includes a magnetic force control module 432 for adjusting the strength of the magnetic force.

이러한 자기력 조절모듈(432)은, 도 10 및 도 11에 자세히 도시된 바와 같이, 하중 감소유닛용 자성체(431)이 장착되는 자성체 장착부(433, 434)와, 자성체 장착부(433, 434)에 연결되며 하중 감소유닛용 자성체(431)을 업/다운(up/down) 이동시키는 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)를 포함한다.This magnetic force adjustment module 432 is connected to the magnetic body mounting portions 433 and 434 on which the magnetic body 431 for the load reduction unit is mounted, and the magnetic body mounting portions 433 and 434, as shown in detail in FIGS. 10 and 11 And it includes a magnetic body up / down (up / down) moving unit 436 for moving the magnetic body 431 for the load reduction unit up / down (up / down).

자성체 장착부(433, 434)에는 하중 감소유닛용 자성체(431)이 장착된다. 이러한 자성체 장착부(433, 434)는, 하중 감소유닛용 자성체(431)이 결합되는 마운팅 플레이트부(433)와, 마운팅 플레이트부(433)에 연결되며 진공 챔버(CM)의 외벽을 관통하여 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)에 연결되는 연결 샤프트부(434)와, 진공 챔버(CM)의 외부에 배치되며 진공 챔버(CM)의 외벽과 연결 샤프트부(434)에 연결되어 연결 샤프트부(434)가 진공 챔버(CM)를 관통하는 부위를 밀봉하는 벨로우즈(V)를 포함한다.The magnetic body for the load reduction unit 431 is mounted on the magnetic body mounting portions 433 and 434. These magnetic body mounting portions 433 and 434 are connected to the mounting plate portion 433 to which the magnetic body 431 for the load reduction unit is coupled, and to the mounting plate portion 433 and penetrate the outer wall of the vacuum chamber CM for magnetic materials. The connection shaft part 434 connected to the up/down moving part 436 and the connection shaft part 434 arranged outside the vacuum chamber CM and connected to the outer wall of the vacuum chamber CM and the connection shaft part 434 The connection shaft portion 434 includes a bellows V for sealing a portion passing through the vacuum chamber CM.

본 실시예에 따른 마운팅 플레이트부(433)는 플레이트 형상으로 마련되며, 이러한 마운팅 플레이트부(433)에는 하중 감소유닛용 자성체(431)이 결합된다. The mounting plate portion 433 according to the present embodiment is provided in a plate shape, and a magnetic body 431 for a load reduction unit is coupled to the mounting plate portion 433.

본 실시예에서 연결 샤프트부(434)는 진공 챔버(CM)의 외벽을 관통한다. 이러한 연결 샤프트부(434)의 일단부는 진공 챔버(CM)의 내부에 배치되어 마운팅 플레이트부(433)에 연결되고 타단부는 진공 챔버(CM)의 외부에 배치된다. In this embodiment, the connection shaft portion 434 passes through the outer wall of the vacuum chamber CM. One end of the connection shaft part 434 is disposed inside the vacuum chamber CM and connected to the mounting plate part 433, and the other end is disposed outside the vacuum chamber CM.

본 실시예에서 연결 샤프트부(434)는 진공 챔버(CM)의 외부에 배치된 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)에 연결된다. In this embodiment, the connection shaft portion 434 is connected to an up/down moving portion 436 for a magnetic material disposed outside the vacuum chamber CM.

벨로우즈(V)는 진공 챔버(CM)의 외부에 배치되어 진공 챔버(CM)의 외벽과 연결 샤프트부(434)에 연결된다. 본 실시예에서 벨로우즈(V)의 하단부는 진공 챔버(CM)의 외벽에 결합되고 진공 챔버(CM)의 상단부는 연결 샤프트부(434)에 결합된다. The bellows V is disposed outside the vacuum chamber CM and is connected to the outer wall of the vacuum chamber CM and the connection shaft portion 434. In this embodiment, the lower end of the bellows V is coupled to the outer wall of the vacuum chamber CM, and the upper end of the vacuum chamber CM is coupled to the connection shaft portion 434.

이러한 벨로우즈(V)의 내부에는 연결 샤프트부(434)가 배치되어 연결 샤프트부(434)가 진공 챔버(CM)를 관통하는 부위를 밀봉한다. 본 실시예에서 연결 샤프트부(434)가 신축 가능하게 마련됨으로써, 연결 샤프트부(434)가 진공 챔버(CM)에 대해 상대이동 시 연결 샤프트부(434)의 이동에 따라 길이가 신축되어 연결 샤프트부(434)가 진공 챔버(CM)를 관통하는 부위를 외부 공기에 대해 차폐한다.A connection shaft portion 434 is disposed inside the bellows V to seal a portion through which the connection shaft portion 434 passes through the vacuum chamber CM. In this embodiment, the connection shaft portion 434 is provided to be expandable and contractible, so that when the connection shaft portion 434 moves relative to the vacuum chamber CM, the length of the connection shaft portion 434 is expanded and contracted according to the movement of the connection shaft portion 434. The portion 434 passing through the vacuum chamber CM is shielded from outside air.

자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)는 연결 샤프트부(434)에 연결되어 하중 감소유닛용 자성체(431)을 업/다운(up/down) 이동시킨다.The up/down moving part 436 for the magnetic body is connected to the connection shaft part 434 to move the magnetic body 431 for the load reduction unit up/down.

자성체 장착부(433, 434)가 결합되며, 업/다운(up/down) 이동되는 자성체용 이동블록부(437)와, 자성체용 이동블록부(437)에 연결되며 자성체용 이동블록부(437)의 이동을 안내하는 자성체용 이동 가이드부(미도시)와, 자성체용 이동블록부(437)에 연결되며 자성체용 이동블록부(437)를 이동시키는 자성체용 이동 구동부(438)를 포함한다.The magnetic body mounting parts 433 and 434 are coupled, and the moving block part 437 for a magnetic body that is moved up/down and connected to the moving block part 437 for a magnetic body and a moving block part 437 for a magnetic body And a movement guide part (not shown) for a magnetic body to guide the movement of the magnetic body, and a movement driving part 438 for a magnetic body connected to the movement block part 437 for a magnetic body and moving the movable block part 437 for the magnetic body.

자성체용 이동블록부(437)에는 연결 샤프트부(434)가 결합된다. 이러한 자성체용 이동블록부(437)는 상하방향으로 업/다운(up/down) 이동되어 하중 감소유닛용 자성체(431)을 케리어에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시킨다. A connection shaft part 434 is coupled to the magnetic moving block part 437. The moving block part 437 for the magnetic body is moved up/down in the vertical direction to move the magnetic body 431 for the load reduction unit in a direction approaching and spaced apart from the carrier.

자성체용 이동 구동부(438)는 자성체용 이동블록부(437)에 연결되어 자성체용 이동블록부(437)를 이동시킨다. 이러한 자성체용 이동 구동부(438)는, 자성체용 이동블록부(437)에 결합되는 이동너트(미도시)와, 이동너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)에 연결되어 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(438a)를 포함한다.The magnetic movement driving unit 438 is connected to the magnetic movement block unit 437 to move the magnetic movement block unit 437. The moving drive unit 438 for a magnetic material includes a moving nut (not shown) coupled to the moving block unit 437 for a magnetic material, a ball screw (not shown) engaged with the moving nut (not shown), and a ball screw (not shown). It includes a servo motor (438a) connected to the ball screw (not shown) to rotate.

이러한 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)는 하중 감소유닛용 자성체(431)을 캐리어(110)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시켜 하중 감소유닛용 자성체(431)이 캐리어(110)에 인가하는 인력의 크기를 조절한다. The up/down moving part 436 for the magnetic body moves the magnetic body 431 for the load reduction unit in a direction approaching and spaced apart from the carrier 110 so that the magnetic body 431 for the load reduction unit is a carrier. Adjust the size of the manpower applied to (110).

즉, 제어유닛(미도시)의 제어신호에 의해 캐리어(110)의 상부영역에 위치한 하중 감소유닛용 자성체(431)에 연결된 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)가 작동하여 하중 감소유닛용 자성체(431)을 캐리어(110)에 근접하는 방향으로 이동시키면, 하중 감소유닛용 자성체(431)가 캐리어(110)에 인가하는 인력에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아지게 되고, 그에 따라 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 접촉면에서의 마찰력도 함께 작아져 마찰에 의한 파티클의 발생량이 줄어든다. That is, the up/down moving part 436 for the magnetic body connected to the magnetic body 431 for the load reduction unit located in the upper region of the carrier 110 is operated by a control signal from the control unit (not shown). When the magnetic body 431 for the load reduction unit is moved in a direction close to the carrier 110, the magnetic body 431 for the load reduction unit is applied to the transfer roller unit 121 by the attractive force applied to the carrier 110. The load of (110) is reduced, and accordingly, the frictional force on the contact surface between the carrier 110 and the transfer roller unit 121 is also reduced, so that the amount of particles generated by friction is reduced.

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 증착장치는, 영구자석으로 마련되는 하중 감소유닛용 자성체(431)를 캐리어(110)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 업/다운(up/down)이동시키는 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(436)를 구비함으로써, 영국자석을 사용하면서도 전자석을 사용하는 경우와 유사하게 하중 감소유닛용 자성체(431)가 캐리어(110)에 인가하는 자기력의 크기를 조절할 수 있다.As described above, the substrate deposition apparatus according to the present embodiment is for a magnetic material that moves up/down the magnetic body 431 for the load reduction unit provided as a permanent magnet in a direction approaching and spaced apart from the carrier 110. By providing an up/down moving part 436, the magnetic body 431 for the load reduction unit applies the magnetic force to the carrier 110, similar to the case of using an electromagnet while using an English magnet. Can be adjusted.

도 12는 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 증착장치가 도시된 도면이다.12 is a diagram illustrating a substrate deposition apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 제5 실시예를 설명한다. 본 실시예는 제4 실시예와 비교할 때에 하중 감소유닛용 자성체(531)의 위치와 하중 감소유닛용 자성체(531)이 캐리어(110)에 인가하는 힘의 방향에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 10 내지 도 11의 제4 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 하중 감소유닛용 자성체(531)의 위치와 하중 감소유닛용 자성체(531)이 캐리어(110)에 인가하는 힘의 방향에 대해서만 설명한다.Hereinafter, a fifth embodiment of the present invention will be described. Compared with the fourth embodiment, the present embodiment differs only in the position of the magnetic body 531 for the load reduction unit and the direction of the force applied to the carrier 110 by the magnetic body 531 for the load reduction unit. Since the configuration of the fourth embodiment of FIGS. 10 to 11 is the same, hereinafter, the position of the magnetic body 531 for the load reduction unit and the force applied by the magnetic body 531 for the load reduction unit to the carrier 110 of the present embodiment Explain only the direction.

본 실시예에서 하중 감소유닛용 자성체(531)은 영구자석으로 마련되어, 도 12에 도시된 바와 같이, 이송롤러부(121)의 하부영역에 배치된다. 이러한 하중 감소유닛용 자성체(531)은 캐리어(110)의 캐리어용 자성체(113)와 자기력에 의한 상호작용을 하여 캐리어(110)에 척력(斥力)을 인가한다. 이를 위해 하중 감소유닛용 자성체(531)과 캐리어용 자성체(113)는 서로 동일한 극이 마주보는 자세로 배치된다. In this embodiment, the magnetic body 531 for the load reduction unit is provided as a permanent magnet, and is disposed in the lower region of the transfer roller unit 121 as shown in FIG. 12. The magnetic body 531 for the load reduction unit applies a repulsive force to the carrier 110 by interacting with the magnetic body 113 for a carrier 110 by magnetic force. To this end, the magnetic body 531 for the load reduction unit and the magnetic body 113 for the carrier are disposed in a position in which the same poles face each other.

상술한 하중 감소유닛용 자성체(531)이 캐리어(110)에 인가하는 척력에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중이 작아지게 되면, 그에 따라 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 접촉면에서의 마찰력도 함께 작아져 마찰에 의한 파티클의 발생량이 줄어든다. When the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 is reduced by the repulsive force applied to the carrier 110 by the magnetic body 531 for the load reduction unit described above, the carrier 110 and the transfer roller The friction force on the contact surface of the part 121 is also reduced, so that the amount of particles generated by the friction decreases.

상술한 바와 같이 본 실시예의 하중 감소유닛용 자성체(531)이 이송롤러부(121)의 하부 영역에 배치됨으로써, 하중 감소유닛용 자성체(531)을 업/다운(up/down) 이동시키는 자성체용 업/다운(up/down) 이동부(536)도 진공 챔버(CM)의 하부 영역에 배치된다. As described above, the magnetic body 531 for the load reduction unit of this embodiment is disposed in the lower region of the transfer roller unit 121, so that the magnetic body 531 for the load reduction unit is moved up/down. The up/down moving part 536 is also disposed in the lower area of the vacuum chamber CM.

따라서, 제4 실시예와 달리 진공 챔버(CM)의 상부 영역에 배치되는 구조물을 줄여 진공 챔버(CM)의 상부벽에 설치되는 챔버 보강용 리브의 설치면적을 높일 수 있다. Accordingly, unlike the fourth embodiment, the installation area of the chamber reinforcing rib installed on the upper wall of the vacuum chamber CM can be increased by reducing the structure disposed in the upper region of the vacuum chamber CM.

이와 같이 본 실시예에 따른 기판 증착장치는, 캐리어(110)와의 상호작용에 의해 이송롤러부(121)에 인가되는 캐리어(110)의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛(130)을 구비함으로써, 캐리어(110)의 이송과정 중 캐리어(110)와 이송롤러부(121)의 마찰에 의해 발생되는 파티클의 양을 감소시킬 수 있다.As described above, the substrate deposition apparatus according to the present embodiment includes a carrier load reduction unit 130 that reduces the load of the carrier 110 applied to the transfer roller unit 121 by interaction with the carrier 110, The amount of particles generated by friction between the carrier 110 and the transfer roller unit 121 during the transfer process of the carrier 110 may be reduced.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present embodiment has been described in detail with reference to the drawings above, the scope of the present embodiment is not limited to the above-described drawings and description.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those of ordinary skill in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to belong to the scope of the claims of the present invention.

110: 캐리어 111, 211: 캐리어 본체
113, 213: 캐리어용 자성체 120: 캐리어 이송유닛
121: 이송롤러부 122: 롤러용 회전축부
123: 밀봉부 123a: 밀봉 몸체
127: 가이드 롤러부 130, 430: 캐리어 하중 감소유닛
131, 231, 331, 431, 531: 하중 감소유닛용 자성체
150: 위치 감지유닛 432: 자기력 조절모듈
433: 마운팅 플레이트부 434: 연결 샤프트부
436, 536: 자성체용 업/다운(up/down) 이동부
437: 자성체용 이동블록부 438: 자성체용 이동 구동부
R: 강성 보강용 리브 CM: 진공 챔버
S: 소스유닛 V: 벨로우즈110: carrier 111, 211: carrier body
113, 213: magnetic material for carrier 120: carrier transfer unit
121: conveying roller part 122: rotating shaft part for roller
123: sealing part 123a: sealing body
127: guide roller unit 130, 430: carrier load reduction unit
131, 231, 331, 431, 531: magnetic body for load reduction unit
150: position detection unit 432: magnetic force control module
433: mounting plate portion 434: connecting shaft portion
436, 536: up/down moving part for magnetic body
437: moving block unit for magnetic material 438: moving driving unit for magnetic material
R: Rib for rigidity reinforcement CM: Vacuum chamber
S: Source unit V: Bellows

Claims (15)

내부에서 기판에 대한 증착공정이 수행되는 진공 챔버;
상기 진공 챔버의 내부에 배치되며, 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 소스유닛;
상기 진공 챔버에 연결되며, 상기 진공 챔버의 내부에서 상기 기판이 척킹(chucking)된 캐리어를 이송하는 캐리어 이송유닛; 및
상기 진공 챔버에 연결되며, 상기 캐리어와의 상호작용에 의해 상기 캐리어 이송유닛에 인가되는 상기 캐리어의 하중을 감소시키는 캐리어 하중 감소유닛을 포함하고,
상기 캐리어 하중 감소유닛은,
상기 캐리어와 자기력에 의한 상호작용을 하여 상기 캐리어에 인력 또는 척력을 인가하는 하중 감소유닛용 자성체; 및
상기 하중 감소유닛용 자성체에 연결되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체를 상기 캐리어에 대해 상대이동 시켜 상기 캐리어에 인가되는 자기력의 세기를 조절하는 자기력 조절모듈을 포함하며,
상기 하중 감소유닛용 자성체는 영구자석으로 마련되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어 이송유닛의 상부영역에 배치되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체는 상기 캐리어에 인력을 인가하고,
상기 자기력 조절모듈은,
상기 하중 감소유닛용 자성체가 장착되는 자성체 장착부; 및
상기 자성체 장착부에 연결되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체를 업/다운(up/down) 이동시키는 자성체용 업/다운(up/down) 이동부를 포함하며,
상기 자성체 장착부는,
상기 하중 감소유닛용 자성체가 결합되는 마운팅 플레이트부; 및
상기 마운팅 플레이트부에 연결되며, 상기 진공 챔버의 외벽을 관통하여 상기 자성체용 업/다운(up/down) 이동부에 연결되는 연결 샤프트부를 포함하며,
상기 자성체용 업/다운(up/down) 이동부는,
상기 자성체 장착부가 결합되며, 업/다운(up/down) 이동되는 자성체용 이동블록부;
상기 자성체용 이동블록부에 연결되며, 상기 자성체용 이동블록부의 이동을 안내하는 자성체용 이동 가이드부; 및
상기 자성체용 이동블록부에 연결되며, 상기 자성체용 이동블록부를 이동시키는 자성체용 이동 구동부를 포함하고,
상기 캐리어 이송유닛은,
상기 캐리어에 연결되어 회전에 의해 상기 캐리어를 이동시키며, 상호 이격되어 배치되는 다수개의 이송롤러부;
상기 이송롤러부에 연결되며, 상기 이송롤러부를 회전시키는 이송용 회전 구동부; 및
상기 진공 챔버에 회전 가능하게 결합되고 상기 이송롤러부에 이격되어 배치되며, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 가이드 롤러부를 포함하는 기판 증착장치.A vacuum chamber in which a deposition process is performed on the substrate;
A source unit disposed inside the vacuum chamber and spraying a deposition material onto the substrate;
A carrier transfer unit connected to the vacuum chamber and transferring a carrier on which the substrate is chucked in the vacuum chamber; And
A carrier load reduction unit connected to the vacuum chamber and reducing a load of the carrier applied to the carrier transfer unit by interaction with the carrier,
The carrier load reduction unit,
A magnetic body for a load reduction unit for applying an attractive force or repulsive force to the carrier by interacting with the carrier by magnetic force; And
A magnetic force adjustment module connected to the magnetic body for the load reduction unit and adjusting the strength of the magnetic force applied to the carrier by moving the magnetic body for the load reduction unit relative to the carrier,
The magnetic body for the load reduction unit is provided as a permanent magnet, the magnetic body for the load reduction unit is disposed in the upper region of the carrier transfer unit, and the magnetic body for the load reduction unit applies an attractive force to the carrier,
The magnetic force adjustment module,
A magnetic body mounting portion on which the magnetic body for the load reduction unit is mounted; And
It is connected to the magnetic body mounting portion, and includes an up / down (up / down) moving part for a magnetic body for moving up / down (up / down) the magnetic body for the load reduction unit,
The magnetic body mounting portion,
A mounting plate portion to which the magnetic body for the load reduction unit is coupled; And
It is connected to the mounting plate portion, and includes a connection shaft portion which is connected to the up / down (up / down) moving part for the magnetic body through the outer wall of the vacuum chamber,
The magnetic material up / down (up / down) moving part,
A moving block unit for a magnetic material to which the magnetic material mounting unit is coupled and is moved up/down;
A moving guide part for a magnetic body connected to the moving block part for the magnetic body and guiding the movement of the moving block part for the magnetic body; And
It is connected to the movable block unit for the magnetic body, and includes a movement driving unit for a magnetic body to move the movable block unit for the magnetic body,
The carrier transfer unit,
A plurality of transfer rollers connected to the carrier to move the carrier by rotation, and disposed to be spaced apart from each other;
A transfer rotation driving unit connected to the transfer roller unit and rotating the transfer roller unit; And
A substrate deposition apparatus including a guide roller portion rotatably coupled to the vacuum chamber and spaced apart from the transfer roller portion, and guiding the movement of the carrier. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 하중 감소유닛용 자성체는 다수개로 마련되어 상기 캐리어 이송유닛을 따라 상호 이격되어 배치되는 기판 증착장치.The method of claim 1,
The substrate deposition apparatus is provided in a plurality of magnetic materials for the load reduction unit and are spaced apart from each other along the carrier transfer unit. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 캐리어는,
상기 캐리어 이송유닛에 지지되는 캐리어 본체; 및
상기 캐리어 본체에 부착되며, 상기 하중 감소유닛용 자성체와 자기력에 의한 상호작용을 하는 캐리어용 자성체를 포함하는 기판 증착장치.The method of claim 1,
The carrier,
A carrier body supported by the carrier transfer unit; And
A substrate deposition apparatus comprising a magnetic material for a carrier attached to the carrier body and interacting with the magnetic material for a load reduction unit by a magnetic force. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 진공 챔버에 마련되며, 상기 캐리어 이송유닛의 하부에 배치되어 상기 캐리어 이송유닛을 상기 소스유닛에 대해 차폐하는 실드부를 더 포함하는 기판 증착장치.The method of claim 1,
The substrate deposition apparatus further comprising a shield provided in the vacuum chamber and disposed under the carrier transfer unit to shield the carrier transfer unit from the source unit. 제1항에 있어서,
상기 진공 챔버의 내부에 배치되며, 상기 소스유닛에서 분사되는 상기 증착물질의 분사량을 모니터링하는 증착물질용 모니터링 센서를 더 포함하는 기판 증착장치.The method of claim 1,
The substrate deposition apparatus further comprising a deposition material monitoring sensor disposed inside the vacuum chamber and monitoring an injection amount of the deposition material sprayed from the source unit.
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