KR20130009904A - Apparatus for transferring substrates - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transfer apparatus is provided to improve a transfer speed of a tray by installing an acceleration/deceleration unit to accelerate or decelerate the transfer speed of the tray with electromagnetic force in a tray. CONSTITUTION: A transfer unit(200) includes a tray bottom rail(210) combined with the lower side of a tray(100) and a plurality of driving rollers(220). The driving roller is rotatably installed in a transfer direction of a substrate. An acceleration/deceleration unit includes a rotary magnet(310), a rotation motor, and a rotation control unit. The rotation magnet rotates the tray in the transfer direction. A guide unit(400) includes a tray top rail(410) combined with the upper side of the tray and a magnetic guide unit(420).

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrates}Apparatus for transferring substrates

본 발명은, 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 이송 속도를 조절할 수 있는 가감속 유닛이 장착된 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus equipped with an acceleration / deceleration unit capable of adjusting a transfer speed of a substrate.

일반적으로, 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device:LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 제조 공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행된다.In general, as a flat panel display device (FPD), a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (Field Emission Display device: Most of the manufacturing processes of flat panel display panels such as FED) and electroluminescent display devices (ELDs) are directed to substrates.

이와 같은, 평판 디스플레이 패널의 제조과정에서 박막증착(deposition) 공정, 포토리소그라피(photolithography) 공정, 식각(etching) 공정이 수차례 반복되며, 그 밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.In the manufacturing process of such a flat panel display panel, a thin film deposition process, a photolithography process, and an etching process are repeated several times. In addition, many processes such as cleaning, bonding, and cutting are involved.

따라서 각 공정들을 수행하기 위하여 기판을 로딩 또는 언로딩하여야 하는데, 이러한 기판의 로딩 또는 언로딩을 위하여, 기판이 안착된 트레이(Tray)를 수직으로 챔버를 통해 이송시키는 인라인형 방법이 고려되고 있다.Therefore, in order to perform each process, a substrate must be loaded or unloaded. In order to load or unload such a substrate, an inline type method of vertically transferring a tray (Tray) on which the substrate is seated is considered.

도 1은 종래기술에 따른 기판 이송 장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 정면도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는, 챔버(10)와, 기판(S)이 안착되는 트레이(20)와, 트레이(20)의 하단부와 접촉되어 트레이(20)에 추력을 전달하는 구동롤러(30)를 포함한다. 구동롤러(30)는 모터(40)에 의해 회전함으로써 트레이(20)에 추력을 전달한다. 1 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to the prior art, Figure 2 is a front view of FIG. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the substrate transfer apparatus according to the related art is in contact with the chamber 10, the tray 20 on which the substrate S is seated, and the lower end of the tray 20. And a driving roller 30 for transmitting thrust to the 20. The drive roller 30 transmits thrust to the tray 20 by rotating by the motor 40.

한편, 수직으로 이동하는 트레이(20)가 쓰러지는 것을 방지하기 위해 자기력을 통해 트레이(20)를 가이드하는 가이드부(11,22)가 구비된다. 자세히 설명하면, 트레이(20)의 상단부에는 트레이 영구자석(22)이 마련되며, 트레이 영구자석(22)에 인접하는 챔버(10)의 내부에는 챔버 영구자석(11)이 마련된다. 이때, 트레이 영구자석(22)과 챔버 영구자석(11)에 서로 접촉되지 않은 상태이며, 상호 극성이 다른 경우 인력이 작용하므로 트레이(20)가 넘어지지 않으며 이동될 수 있다. 즉, 종래기술에 따른 기판 이송장치는 챔버(10)의 하측에 배치된 구동롤러(30)와 트레이(20)의 하부가 접촉되고, 구동롤러(30)의 회전력에 의해 트레이(20)를 이동시키는 방식이다. Meanwhile, in order to prevent the tray 20 moving vertically from falling down, guide parts 11 and 22 are provided to guide the tray 20 through a magnetic force. In detail, the tray permanent magnet 22 is provided at the upper end of the tray 20, and the chamber permanent magnet 11 is provided in the chamber 10 adjacent to the tray permanent magnet 22. In this case, the tray permanent magnet 22 and the chamber permanent magnet 11 are not in contact with each other, and when the polarities are different from each other, the attraction force acts so that the tray 20 does not fall and can be moved. That is, in the substrate transport apparatus according to the related art, the driving roller 30 disposed below the chamber 10 contacts the lower portion of the tray 20, and moves the tray 20 by the rotational force of the driving roller 30. This is how you do it.

그러나, 종래기술에 따른 기판 이송장치는, 택트 타임(Tact Time)을 줄이기 위해 트레이(20)를 빠르게 이송시키고자 할 때 트레이(20)의 가감속도를 높일수록 트레이(20)의 가감속시 구동롤러(30)와 트레이(20)의 하부에서 미끄러짐이 발생되고 원하는 위치를 벗어나게 되어 가감속 시간이 길어지는 문제가 있으며, 또한 구동롤러(30)와 트레이(20)의 하부에서 마찰력이 증가함에 따라 이물질이 발생하는 문제가 있다.However, the substrate transfer apparatus according to the related art drives when the tray 20 is accelerated and decelerated as the acceleration speed of the tray 20 is increased when the tray 20 is to be quickly transferred to reduce the tact time. There is a problem that the slip is generated in the lower portion of the roller 30 and the tray 20 and out of a desired position to increase the acceleration and deceleration time, and also as the friction force increases in the lower portion of the drive roller 30 and the tray 20. There is a problem that foreign matter occurs.

특허공개번호 제2003-0068292호Patent Publication No. 2003-0068292

본 발명의 실시예들은, 트레이의 이송속도를 전자기력에 의하여 가감속시키는 가감속 유닛을 트레이에 인접하게 마련함으로써 트레이의 이송속도를 향상시키고 이물질의 발생을 억제하고자 한다.Embodiments of the present invention provide an acceleration and deceleration unit for accelerating and decelerating a tray's conveying speed by electromagnetic force to improve the conveying speed of the tray and suppress the generation of foreign matter.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 장착하여 이송시키는 트레이; 상기 트레이의 하부에 마련되어 상기 트레이를 이송시키는 이송 유닛; 상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하게 마련되어 전자기력에 의하여 상기 트레이의 이송 속도를 가감시키는 가감속 유닛을 포함하는 기판 이송 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the tray for mounting and transporting the substrate; A transfer unit provided at a lower portion of the tray to transfer the tray; A substrate transfer apparatus may be provided adjacent to an upper end portion or a lower end portion of the tray, the substrate transfer apparatus including an acceleration / deceleration unit to increase or decrease a transfer speed of the tray by electromagnetic force.

상기 기판 이송 장치는, 상기 트레이의 상부에 마련되어 상기 트레이를 가이드하는 가이드 유닛을 더 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus may further include a guide unit provided on the tray to guide the tray.

상기 가감속 유닛은, 상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하되 상기 트레이의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련되는 적어도 하나의 회전자석; 상기 회전자석을 회전시키는 회전모터; 및 상기 회전모터의 회전방향 및 속도를 제어하는 회전제어부를 포함할 수 있다.The acceleration / deceleration unit may include at least one rotating magnet adjacent to an upper end or a lower end of the tray and rotatably provided in a conveying direction of the tray; A rotating motor for rotating the rotating magnet; And it may include a rotation control unit for controlling the rotation direction and speed of the rotary motor.

상기 회전자석은, 상기 트레이의 하단부 측면에 상기 트레이와 인접하게 마련되어 상기 트레이의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련될 수 있다.The rotating magnet may be provided adjacent to the tray on the side of the lower end of the tray to be rotatable in a transport direction of the tray.

상기 회전자석은, 상기 회전자석이 회전되는 둘레면을 따라 N극과 S극이 번갈아 접하도록 원형의 형상으로 마련될 수 있다.The rotating magnet may be provided in a circular shape such that the N pole and the S pole are alternately in contact with the circumferential surface of the rotating magnet.

상기 가감속 유닛은, 상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하되 상기 트레이에 접근 또는 이격 가능하게 마련되는 적어도 하나의 이동자석; 상기 이동자석을 상기 트레이에 접근 또는 이격시키는 구동부; 및 상기 구동부의 작동을 제어하는 구동제어부를 포함할 수 있다.The acceleration / deceleration unit may include at least one movable magnet adjacent to an upper end portion or a lower end portion of the tray and provided to be accessible or spaced apart from the tray; A driving unit which accesses or spaces the moving magnets from the tray; And it may include a drive control unit for controlling the operation of the drive unit.

상기 이동자석은 상기 트레이의 하단부 측면에 상기 트레이와 인접하게 마련되어 상기 트레이에 접근 또는 이격 가능하게 마련될 수 있다.The movable magnet may be provided adjacent to the tray at a lower side surface of the tray to be accessible or spaced apart from the tray.

상기 가감속 유닛은, 상기 트레이 하단부에 일정한 간격을 두고 마련되는 복수개의 고정자석; 상기 고정자석에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 상기 고정자석과의 상호 작용에 의해 상기 트레이의 이송 속도를 가감시키기 위한 자기력을 발생시키는 전자석 모듈; 및 상기 전자석 모듈의 N/S 극성이 선택적으로 가변될 수 있도록 상기 전자석 모듈에 인가되는 전류의 공급을 제어하는 모듈제어부를 포함할 수 있다.The acceleration / deceleration unit may include a plurality of stator magnets provided at regular intervals at the lower end of the tray; An electromagnet module spaced apart from each other at regular intervals adjacent to the stator magnets and generating a magnetic force to decrease or reduce the feed rate of the tray by interacting with the stator magnets; And it may include a module control unit for controlling the supply of the current applied to the electromagnet module so that the N / S polarity of the electromagnet module can be selectively changed.

상기 전자석 모듈은, 상기 고정자석에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 외면에는 코일(coil)이 감기는 다수의 철심; 및 상기 다수의 철심을 일체로 연결하는 연결판넬부를 포함할 수 있다.The electromagnet module includes a plurality of iron cores spaced at regular intervals adjacent to the stator magnet and having a coil wound on an outer surface thereof; And it may include a connecting panel portion for connecting the plurality of iron cores integrally.

상기 다수의 철심은 상기 고정자석의 배치 간격과 상이한 간격으로 배치될 수 있다.The plurality of iron cores may be arranged at different intervals from the arrangement interval of the stator magnet.

상기 이송 유닛은, 상기 트레이의 하단부에 결합되는 트레이 하부레일; 및 상기 트레이 하부레일의 하부에서 상기 트레이 하부레일과 접하면서 회전되도록 마련되는 다수의 구동롤러를 포함할 수 있다.The transfer unit, the tray lower rail coupled to the lower end of the tray; And a plurality of driving rollers provided to rotate while being in contact with the tray lower rail at a lower portion of the tray lower rail.

상기 트레이 하부레일 또는 상기 트레이의 하부에는 고전도성(High Conductive) 금속이 삽입될 수 잇다.High conductive metal may be inserted into the tray lower rail or the lower portion of the tray.

상기 가이드 유닛은, 강자성체로 마련되어 상기 트레이의 상단부에 결합되는 트레이 상부레일; 및 상기 트레이 상부레일이 개재되며 상기 트레이 상부레일의 양 측면에서 상기 트레이 상부레일을 밀어주는 자기력을 발생시키는 극성을 갖도록 마련되는 자기력가이드부를 포함할 수 있다.The guide unit may include a tray upper rail provided as a ferromagnetic material and coupled to an upper end of the tray; And a magnetic force guide part interposed between the upper rail and the magnetic force guide part having a polarity for generating a magnetic force pushing the upper rail of the tray on both sides of the upper rail of the tray.

본 발명의 실시예들은, 트레이의 이송속도를 전자기력에 의하여 가감속시키는 가감속 유닛을 트레이에 인접하게 마련함으로써 트레이의 이송속도를 향상시키고 이물질의 발생을 억제할 수 있다.Embodiments of the present invention, by providing the acceleration and deceleration unit for accelerating and decelerating the conveying speed of the tray by the electromagnetic force adjacent to the tray can improve the conveying speed of the tray and suppress the generation of foreign matter.

도 1은 종래의 기판 이송 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 4는 도 3의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 3의 기판 이송 장치의 트레이 하부레일과 구동롤러의 접촉부분을 확대한 측면도이다.
도 6은 도 3의 회전자석의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 도 6의 회전자석의 변형 실시예를 설명하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 9는 도 8의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이다.
도 10은 도 9의 측면도이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 12는 도 11의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 측면도이다.
도 14는 도 13의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이다.
도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 16은 도 15의 기판 이송 장치의 가감속 유닛의 작동을 설명하기 위한 도면이다.1 is a cross-sectional view of a conventional substrate transfer apparatus.
2 is a front view of FIG. 1.
3 is a schematic front view of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining the operation of the substrate transfer device of FIG.
FIG. 5 is an enlarged side view illustrating a contact portion between a tray lower rail and a driving roller of the substrate transport apparatus of FIG. 3.
FIG. 6 is a schematic diagram for describing an operation of the rotating magnet of FIG. 3.
7 is a view for explaining a modified embodiment of the rotating magnet of FIG.
8 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining the operation of the substrate transfer device of FIG.
10 is a side view of FIG. 9.
11 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention.
It is a figure explaining the operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus of FIG.
13 is a schematic side view of a substrate transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
It is a figure explaining the operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus of FIG.
15 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a view for explaining the operation of the acceleration / deceleration unit of the substrate transfer device of FIG. 15.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이고, 도 4는 도 3의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이며, 도 5는 도 3의 기판 이송 장치의 트레이 하부레일과 구동롤러의 접촉부분을 확대한 측면도이고, 도 6은 도 3의 회전자석의 동작을 설명하기 위한 개략도이며, 도 7은 도 6의 회전자석의 변형 실시예를 설명하는 도면이다.3 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 4 is a view illustrating the operation of the substrate transfer apparatus of FIG. 3, and FIG. 5 is a lower portion of the tray of the substrate transfer apparatus of FIG. 3. 6 is an enlarged side view illustrating a contact portion between the rail and the driving roller, and FIG. 6 is a schematic view for explaining the operation of the rotating magnet of FIG. 3, and FIG. 7 is a view for explaining a modified embodiment of the rotating magnet of FIG. 6.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치(1)는, 기판(S)을 장착하여 이송시키는 트레이(100)와, 트레이(100)의 하부에 마련되어 트레이(100)를 이송시키는 이송 유닛(200)와, 트레이(100)의 상단부 또는 하단부에 인접하게 마련되어 전자기력에 의하여 트레이(100)의 이송 속도를 가감시키는 가감속 유닛(300)과, 트레이(100)의 상부에 마련되어 트레이(100)를 가이드하는 가이드 유닛(400)을 포함한다.As shown in these figures, the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention is provided with a tray 100 for mounting and transferring the substrate S, and a tray provided below the tray 100. The transfer unit 200 for transferring the 100, the acceleration and deceleration unit 300 is provided adjacent to the upper end or lower end of the tray 100 by the electromagnetic force to increase and decrease the transfer speed of the tray 100, and the tray 100 It is provided in the upper guide unit 400 for guiding the tray 100.

트레이(100)는 사각 프레임으로 마련되어 중앙부에 기판(S)이 탈부착될 수 있도록 기판(S)을 클램핑하는 클램프 유닛(미도시)이 사각 프레임의 가장자리를 따라 배치된다. 기판(S)이 장착된 트레이(100)는 수직으로 세워진 상태로 이송된다.The tray 100 is provided as a rectangular frame and a clamp unit (not shown) for clamping the substrate S is disposed along the edge of the rectangular frame so that the substrate S can be attached to and detached from the center frame. The tray 100 on which the substrate S is mounted is transferred in a vertically standing state.

본 실시예에서 기판(S)은 액정 표시 장치뿐만 아니라 평판 표시 장치 등을 제작하기 위한 다양한 기판(S)일 수 있으며, 반도체의 웨이퍼도 가능하다.In the present exemplary embodiment, the substrate S may be various substrates S for manufacturing not only a liquid crystal display but also a flat panel display, and the like, and a wafer of a semiconductor may be used.

도 3 및 도 4를 참조하여 살펴보면, 이송 유닛(200)은, 트레이(100)의 하단부에 결합되는 트레이 하부레일(210)과, 트레이 하부레일(210)의 하부에서 트레이 하부레일(210)과 접하면서 회전되도록 마련되는 다수의 구동롤러(220)를 포함한다.Referring to FIGS. 3 and 4, the transfer unit 200 may include a tray lower rail 210 coupled to a lower end of the tray 100, and a tray lower rail 210 below the tray lower rail 210. It includes a plurality of drive rollers 220 are provided to rotate while contacting.

트레이 하부레일(210)은, 원형 막대 형상으로 마련되어 트레이(100)의 하단부에 결합되며, 구동롤러(220)와 접촉되어 트레이(100)가 구동롤러(220) 위에서 이송되도록 트레이(100)를 지지한다.The tray lower rail 210 is provided in a circular bar shape and coupled to the lower end of the tray 100, and is in contact with the driving roller 220 to support the tray 100 so that the tray 100 is transported on the driving roller 220. do.

한편, 트레이 하부레일(210) 또는 트레이(100)의 하부에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 고전도성(High Conductive) 금속(C)이 삽입되어 후술하는 가감속 유닛(300)의 회전자석(310)에 의하여 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류의 세기를 증가시킨다. 본 실시예에서, 트레이 하부레일(210)은 스테인리스 스틸(Stainless Steel)이 사용되고, 고전도성 금속(C)으로는 구리 또는 알루미늄이 사용된다.Meanwhile, as shown in FIG. 5, a high conductive metal C is inserted into the lower tray 210 of the tray lower portion or the lower portion of the tray 100 to rotate the magnets of the acceleration / deceleration unit 300 to be described later. The strength of the eddy current induced by the tray lower rail 210 by 310 is increased. In the present embodiment, the tray lower rail 210 is made of stainless steel, and copper or aluminum is used as the highly conductive metal (C).

구동롤러(220)는, 회전축을 가지고 기판(S)의 이송방향으로 회전 가능하도록 마련되며 트레이 하부레일(210)의 하면이 접하도록 둘레면에 일정 곡률반경을 갖는 홈부가 마련된다. 구동롤러(220)는 트레이(100)가 이송되는 방향으로 일정 간격을 두고 다수개가 배치되어 트레이(100)를 안정적으로 이송시킨다. 또한 구동롤러(220)의 회전축에는 구동롤러(220)를 회전시키는 롤러구동모터(230)가 마련될 수 있으며, 롤러구동모터(230)에 의하여 기판(S)을 이송시키는 추력을 발생시킬 수 있다.The driving roller 220 is provided to be rotatable in the conveying direction of the substrate S with a rotating shaft and is provided with a groove having a predetermined radius of curvature on the circumferential surface such that the lower surface of the tray lower rail 210 comes into contact with the lower surface of the tray roller. The driving roller 220 is plurally disposed at regular intervals in the direction in which the tray 100 is transferred to stably transport the tray 100. In addition, a roller driving motor 230 for rotating the driving roller 220 may be provided on the rotating shaft of the driving roller 220, and may generate a thrust for transferring the substrate S by the roller driving motor 230. .

다음으로, 가감속 유닛(300)은, 트레이(100)의 하단부에 인접하되 트레이(100)의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련되는 적어도 하나의 회전자석(310)과, 회전자석(310)을 회전시키는 회전모터(320)와, 회전모터(320)의 회전방향 및 속도를 제어하는 회전제어부(330)를 포함한다.Next, the acceleration / deceleration unit 300 is adjacent to the lower end of the tray 100, but at least one rotating magnet 310 and rotatably provided in the conveying direction of the tray 100, the rotating magnet 310 to rotate Rotation motor 320, and the rotation control unit 330 for controlling the rotation direction and speed of the rotation motor 320.

회전자석(310)은, 트레이(100)의 하단부에 인접하게 배치되어 트레이(100)를 이송시키고자 하는 방향으로 회전된다. 회전자석(310)이 회전되면 트레이 하부레일(210) 또는 트레이(100) 하부에 삽입된 고전도체(C)에 와전류가 유도되며, 이로 인해 트레이(100)가 이송되는 힘이 발생하게 된다. 도 4는 회전자석(310)이 도면상에서 시계방향으로 회전하는 경우, 이에 의해 트레이 하부레일(210)에 발생된 와전류에 의하여 트레이(100)가 도면상의 우측방향으로 이송되는 것을 나타낸다.The rotating magnet 310 is disposed adjacent to the lower end of the tray 100 and rotated in a direction to convey the tray 100. When the rotating magnet 310 is rotated, the eddy current is induced in the tray lower rail 210 or the high conductor C inserted into the tray 100, thereby generating a force for the tray 100 to be transferred. 4 shows that when the rotating magnet 310 rotates in the clockwise direction on the drawing, the tray 100 is transferred in the right direction on the drawing by the eddy current generated in the tray lower rail 210.

이와 달리, 트레이(100)를 감속시키고자 하는 경우에는 회전자석(310)의 회전방향을 반대로 하여 회전시키면 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류에 의하여 트레이(100)를 감속시킬 수 있다.On the contrary, when the tray 100 is to be decelerated, the tray 100 may be decelerated by an eddy current induced in the lower rail 210 of the tray by rotating the rotating magnet 310 in a reverse direction.

본 실시예에서는, 가감속 유닛(300)을 트레이(100)의 하단부에 인접하게 마련하여 트레이(100)를 가감속시켰으나, 이와 달리 가감속 유닛(300)을 트레이(100)의 상단부에 인접하게 마련하여 트레이(100)를 가감속시킬 수도 있다.In this embodiment, the acceleration and deceleration unit 300 is provided adjacent to the lower end of the tray 100 to accelerate and decelerate the tray 100. Alternatively, the acceleration and deceleration unit 300 is adjacent to the upper end of the tray 100. The tray 100 may be accelerated and decelerated by providing.

한편, 본 실시예에서 사용되는 회전자석(310)은 일반 영구자석을 사용하여 이의 중심에 회전축을 마련하고 이를 회전시킴으로써 트레이(100)의 하부레일에 와전류를 발생시키고 있으나, 이와 같은 일반적인 영구자석은 자석의 회전시에 유도되는 와전류의 증감량이 편차가 커져서 트레이(100)에 진동을 줄 수 있는 문제가 있다.On the other hand, the rotating magnet 310 used in the present embodiment is to generate an eddy current in the lower rail of the tray 100 by providing a rotating shaft in the center thereof using a general permanent magnet and rotating it, such a general permanent magnet There is a problem that the amount of increase and decrease of the eddy current induced at the time of rotation of the magnet may cause vibration to the tray 100 due to a large deviation.

도 6을 참조하여 상세히 살펴보면, 도 6에서 회전자석(310)이 회전 중 (b),(d)와 같은 위치가 될 경우에 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류가 급감하고 (a),(c)와 같은 위치가 될 경우에 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류가 급증하여 일반적인 형태의 자석으로는 회전자석(310)을 사용하여 트레이(100) 가감속시에 트레이(100)에 진동을 발생시킬 수 있다.Looking at in detail with reference to Figure 6, in Figure 6, when the rotating magnet 310 is in the same position as (b), (d) during the rotation eddy current induced in the tray lower rail 210 is sharply reduced (a), When the position as shown in (c) increases, the eddy current induced in the tray lower rail 210 rapidly increases, and the magnet 100 of the general type is used to rotate the tray 100 to the tray 100 during acceleration and deceleration. It can generate vibrations.

따라서, 도 7에서와 같이 회전자석(310)이 회전되는 둘레면을 따라 N극과 S극이 번갈아 접하도록 원형의 형상으로 마련되는 개량회전자석(310´)을 사용하면 트레이 하부레일(210)에 발생되는 와전류의 편차가 감소됨으로써 트레이(100)에 발생되는 진동을 감소시킬 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 7, when the improved rotating magnet 310 ′ is provided in a circular shape so that the N pole and the S pole alternately contact with the circumferential surface on which the rotating magnet 310 is rotated, the tray lower rail 210 is used. The vibration generated in the tray 100 may be reduced by the deviation of the eddy current generated in the tray 100.

회전모터(320)는, 이러한 회전자석(310)의 회전축에 연결되어 회전자석(310)을 회전시키는 동력을 제공한다.The rotating motor 320 is connected to the rotating shaft of the rotating magnet 310 to provide power for rotating the rotating magnet 310.

회전제어부(330)는, 회전모터(320)의 회전방향 및 속도를 제어하여 회전자석(310)에 의하여 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류의 크기와 방향을 조절함으로써 트레이(100)를 가속시키거나 감속시키는 힘을 조절한다.The rotation controller 330 accelerates the tray 100 by controlling the rotation direction and speed of the rotation motor 320 to adjust the magnitude and direction of the eddy current induced by the rotary magnet 310 to the tray lower rail 210. Adjust the force to slow down or slow down.

한편, 도 3 및 도 10을 참조하면, 가이드 유닛(400)은, 강자성체로 마련되어 트레이(100)의 상단부에 결합되는 트레이 상부레일(410)과, 트레이 상부레일(410)이 개재되며 트레이 상부레일(410)의 양 측면에서 트레이 상부레일(410)을 밀어주는 자기력을 발생시키는 극성을 갖도록 마련되는 자기력가이드부(420)를 포함한다.Meanwhile, referring to FIGS. 3 and 10, the guide unit 400 includes a tray upper rail 410 and a tray upper rail 410 interposed between the upper rail 410 and the upper rail 410 provided as a ferromagnetic material. The magnetic force guide part 420 is provided to have a polarity for generating a magnetic force for pushing the tray upper rail 410 on both sides of the 410.

트레이 상부레일(410)은, 원형 막대 형상으로 마련되어 트레이(100)의 상단부에 결합되는 강자성체이다.The tray upper rail 410 is a ferromagnetic material provided in a circular bar shape and coupled to an upper end of the tray 100.

자기력가이드부(420)는, 트레이 상부레일(410)을 양 측면에서 가이드할 수 있도록 'ㄷ' 형상으로 절곡된 단면을 가지며 트레이 상부레일(410)과 인접된 자기력가이드부(420)의 단부에는 트레이 상부레일(410)의 극성과 같은 극성을 갖는 강자성체가 마련된다. 이로 인해서, 트레이(100)의 상단부는 트레이 상부레일(410)의 양 측면에서 트레이 상부레일(410)을 밀어주는 힘이 작용하게 되므로 트레이(100)가 이송되면서 쓰러지지 않도록 가이드된다.The magnetic force guide part 420 has a cross section bent in a 'c' shape to guide the tray upper rail 410 on both sides thereof, and has an end portion of the magnetic force guide part 420 adjacent to the tray upper rail 410. A ferromagnetic material having the same polarity as that of the tray upper rail 410 is provided. As a result, the upper end of the tray 100 is guided so that the tray 100 is not collapsed while the tray 100 is transported because a force for pushing the tray upper rail 410 acts on both sides of the tray upper rail 410.

이러한 구성을 갖는 기판 이송 장치(1)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.The operation of the substrate transfer apparatus 1 having such a configuration will be described below.

기판(S)이 장착된 트레이(100)를 공정 챔버 내부에서 이송시키고자 할 때 기판(S) 중앙부의 처짐현상을 방지하기 위하여 트레이(100)를 수직으로 세워서 이송하게 된다.When the tray 100 on which the substrate S is mounted is to be transferred in the process chamber, the tray 100 is vertically transferred to prevent sagging of the central portion of the substrate S.

트레이(100)를 이송시키는 기판 이송 장치(1)는, 트레이(100)의 상부에는 가이드 유닛(400)이 마련되어 트레이(100)가 이송되면서 쓰러지지 않도록 가이드하고, 트레이(100)의 하부에는 이송 유닛(200)이 마련되어 트레이(100)를 지지하면서 이송시킨다.In the substrate transfer apparatus 1 for transferring the tray 100, a guide unit 400 is provided at an upper portion of the tray 100 so as to guide the tray 100 so as not to fall while the tray 100 is transferred, and a transfer unit below the tray 100. 200 is provided and transported while supporting the tray 100.

트레이(100)를 정지상태에서 출발시키거나 트레이(100)를 이송중에 정지시키는 경우에는 트레이(100)의 가속도가 크게 증감하게 되어 트레이(100)가 구동롤러(220) 상에서 미끄러지거나, 이때 발생되는 마찰력에 의하여 파티클이 발생될 수 있다.When starting the tray 100 in a stopped state or stopping the tray 100 during transfer, the acceleration of the tray 100 is greatly increased and decreased, or the tray 100 slides on the driving roller 220 or is generated at this time. Particles may be generated by the frictional force.

가감속 유닛(300)은 트레이(100)의 하부에 회전자석(310)을 회전시킴으로써 트레이 하부레일(210)에 와전류를 발생시키고, 발생된 와전류에 의하여 트레이(100)가 가속 또는 감속된다. 즉, 회전자석(310)의 회전방향 및 속도를 제어하는 회전제어부(330)에 의하여 트레이 하부레일(210)에 발생되는 와전류의 크기 및 방향이 제어되고, 이에 의해 트레이(100)의 가속 또는 감속되는 힘이 제어된다.The acceleration / deceleration unit 300 generates an eddy current in the tray lower rail 210 by rotating the rotating magnet 310 under the tray 100, and the tray 100 is accelerated or decelerated by the generated eddy current. That is, the magnitude and direction of the eddy current generated in the tray lower rail 210 are controlled by the rotation controller 330 for controlling the rotation direction and speed of the rotating magnet 310, thereby accelerating or decelerating the tray 100. The force to be controlled is controlled.

이와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치(1)에 의하면, 트레이(100)의 이송속도를 전자기력에 의하여 가감속시키는 가감속 유닛(300)을 트레이(100)에 인접하게 마련함으로써 트레이(100)의 이송속도를 보다 정밀하게 제어하여 트레이(100)의 이송 및 정렬을 신속하게 수행할 수 있고, 전자기력에 의하여 트레이(100)의 이송속도를 가감시킴으로써 이물질의 발생을 억제할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the substrate transfer apparatus 1 of the present invention, an acceleration / deceleration unit 300 for accelerating and decelerating the transfer speed of the tray 100 by electromagnetic force is provided adjacent to the tray 100 to provide By controlling the feed rate more precisely, the transfer and alignment of the tray 100 can be performed quickly, and the generation of foreign matters can be suppressed by reducing the feed rate of the tray 100 by electromagnetic force.

한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치(2)를 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치(1)에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, the substrate transfer apparatus 2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the same description as that described in the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be omitted.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이고, 도 9는 도 8의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이며, 도 10은 도 9의 측면도이다. 도 1 내지 도 7과 동일한 부재번호는 동일한 부재를 나타내며, 동일한 부재에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.8 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention, FIG. 9 is a view illustrating the operation of the substrate transfer apparatus of FIG. 8, and FIG. 10 is a side view of FIG. 9. The same reference numerals as in FIGS. 1 to 7 denote the same members, and duplicate descriptions of the same members will be omitted.

이들 도면을 참조하여 살펴보면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치(2)는, 가감속 유닛(300)이, 트레이(100)의 하단부에 인접하되 트레이(100)의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련되는 적어도 하나의 회전자석(310)과, 회전자석(310)을 회전시키는 회전모터(320)와, 회전모터(320)의 회전방향 및 속도를 제어하는 회전제어부(330)를 포함하되, 회전자석(310)이 트레이(100)의 하단부 측면에 트레이(100)와 인접하게 마련되어 트레이(100)의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련된다.Referring to these drawings, in the substrate transfer apparatus 2 according to the second embodiment of the present invention, the acceleration / deceleration unit 300 is adjacent to the lower end of the tray 100 but rotates in the conveying direction of the tray 100. At least one rotatable magnet 310, possibly provided with a rotary motor 320 for rotating the rotary magnet 310, and a rotation control unit 330 for controlling the rotation direction and speed of the rotary motor 320, The rotor magnet 310 is provided adjacent to the tray 100 at the lower end side of the tray 100 so as to be rotatable in the transport direction of the tray 100.

즉, 제1 실시예에서와 같이 트레이(100) 하부에 가감속 장치의 배치가 어려울 경우에는 본 실시예에와 같이 트레이(100)의 측면에 인접하게 가감속 장치를 배치하여 측면에서 회전자석(310)을 회전시켜도 제1 실시예에서와 동일하게 가감속 효과를 얻을 수 있다. 이에 의해서 효율적으로 배치공간을 활용하고 장치 설계의 편의성을 도모할 수 있다.That is, when it is difficult to arrange the acceleration / deceleration device in the lower portion of the tray 100 as in the first embodiment, the acceleration / deceleration device is disposed adjacent to the side of the tray 100 as in the present embodiment so that the rotating magnet ( Even if 310 is rotated, the acceleration / deceleration effect can be obtained in the same manner as in the first embodiment. This makes it possible to efficiently utilize the layout space and to facilitate the design of the device.

한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송 장치(3)를 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 기판 이송 장치(1,2)에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, the substrate transfer apparatus 3 according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the same description as that described in the substrate transfer apparatuses 1 and 2 according to the first and second embodiments of the present invention will be omitted.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이고, 도 12는 도 11의 기판 이송 장치의 작동을 설명하는 도면이다. 여기서, 도 1 내지 도 10과 동일한 부재번호는 동일한 부재를 나타내며, 동일한 부재에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.FIG. 11 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a view for explaining the operation of the substrate transfer apparatus of FIG. Here, the same reference numerals as in FIGS. 1 to 10 denote the same members, and duplicate descriptions of the same members will be omitted.

본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 이송 장치(3)는, 기판(S)을 장착하여 이송시키는 트레이(100)와, 트레이(100)의 하부에 마련되어 트레이(100)를 이송시키는 이송 유닛(200)와, 트레이(100)의 상단부 또는 하단부에 인접하게 마련되어 전자기력에 의하여 트레이(100)의 이송 속도를 가감시키는 가감속 유닛(300)과, 트레이(100)의 상부에 마련되어 트레이(100)를 가이드하는 가이드 유닛(400)을 포함한다.The substrate transport apparatus 3 according to the third embodiment of the present invention includes a tray 100 for mounting and transporting the substrate S, and a transport unit provided below the tray 100 to transport the tray 100 ( 200, an acceleration / deceleration unit 300 provided adjacent to the upper end or the lower end of the tray 100 to increase or decrease the conveying speed of the tray 100 by an electromagnetic force, and the tray 100 provided at an upper portion of the tray 100. It includes a guide unit 400 for guiding.

제3 실시예에서, 가감속 유닛(500)은, 트레이(100)의 하단부에 인접하되 트레이(100)에 접근 또는 이격 가능하게 마련되는 적어도 하나의 이동자석(510)과, 이동자석(510)을 트레이(100)에 접근 또는 이격시키는 구동부(520)와, 구동부(520)의 작동을 제어하는 구동제어부를 포함한다.In the third embodiment, the acceleration / deceleration unit 500 includes at least one moving magnet 510 and a moving magnet 510 which are adjacent to the lower end of the tray 100 and provided to be accessible or spaced apart from the tray 100. A driving unit 520 for approaching or spaced apart from the tray 100, and a driving control unit for controlling the operation of the driving unit 520.

이동자석(510)은, 트레이(100)의 하단부에 인접하게 마련되어 구동부(520)에 의하여 트레이 하부레일(210)을 향하여 접근 또는 이격되는 방향으로 이동된다.The moving magnet 510 is provided adjacent to the lower end of the tray 100 and moved in a direction approaching or spaced apart by the driving unit 520 toward the lower rail 210 of the tray.

이동자석(510)이 트레이 하부레일(210)을 향하여 이동되는 경우에는 트레이 하부레일(210)에 와전류가 발생하게 되고, 이에 의해서 제동력이 발생한다. 반대로, 이동자석(510)이 트레이 하부레일(210)에서 멀어지는 방향으로 이동되는 경우에는 트레이(100)는 제동력의 제한 없이 이송될 수 있다.When the moving magnet 510 is moved toward the tray lower rail 210, an eddy current is generated in the tray lower rail 210, thereby generating a braking force. On the contrary, when the moving magnet 510 is moved away from the tray lower rail 210, the tray 100 may be transferred without limiting the braking force.

트레이(100)를 마찰력에 의해 정지시키지 않고 와전류를 이용하여 제동함으로써 트레이(100)의 제동 시 미끄러짐을 방지하고, 이물질의 발생을 억제시킬 수 있는 효과가 있다.By braking using the eddy current without stopping the tray 100 by the frictional force, the tray 100 can be prevented from slipping when the tray 100 is braked and the generation of foreign substances can be suppressed.

트레이 하부레일(210)에는 제1 실시예와 마찬가지로 고전도성 금속(C)이 삽입되어 트레이 하부레일(210)에 유도되는 와전류의 크기를 증가시킬 수 있다.Like the first embodiment, the highly conductive metal C may be inserted into the tray lower rail 210 to increase the magnitude of the eddy current induced in the tray lower rail 210.

구동부(520)는, 이동자석(510)을 트레이 하부레일(210)을 향하는 방향으로 접근 또는 이격시키는 동력을 제공하며, 구동제어부는 구동부(520)를 제어하여 이동자석(510)이 트레이(100)에 접근 또는 이격되는 동작을 조절한다. 구동부(520)는 유압 실린더 또는 리니어 모터 등을 사용하여 구성할 수 있다.The driving unit 520 provides power to approach or space the moving magnet 510 in the direction toward the tray lower rail 210, and the driving control unit controls the driving unit 520 to move the moving magnet 510 to the tray 100. To control the approach or separation of the. The drive unit 520 may be configured using a hydraulic cylinder or a linear motor.

또한, 본 실시예에서는 이동자석(510)을 트레이(100)의 하단부에 인접하게 마련하였으나, 필요에 따라 이동자석(510)을 트레이(100)의 상단부에 인접하게 마련하여 트레이(100)에 이동자석(510)을 접근 또는 이격시킴으로써 동일한 효과를 발생시킬 수 있다.In addition, in this embodiment, the movable magnet 510 is provided adjacent to the lower end of the tray 100, but if necessary, the movable magnet 510 is provided adjacent to the upper end of the tray 100 and moved to the tray 100. The same effect can be generated by approaching or spacing the magnet 510.

한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 이송 장치(4)를 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에 따른 기판 이송 장치(1,2,3)에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.On the other hand, in the following, with reference to the accompanying drawings will be described a substrate transfer apparatus 4 according to a fourth embodiment of the present invention. However, the same description as that described in the substrate transfer apparatuses 1, 2, 3 according to the first to third embodiments of the present invention will be omitted.

도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 이송 장치(1)의 개략적인 측면도이고, 도 14는 도 13의 기판 이송 장치(1)의 작동을 설명하는 도면이다. 여기서, 도 1 내지 도 12와 동일한 부재번호는 동일한 부재를 나타내며, 동일한 부재에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.FIG. 13 is a schematic side view of the substrate transfer apparatus 1 according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a view for explaining the operation of the substrate transfer apparatus 1 of FIG. Here, the same reference numerals as in FIGS. 1 to 12 denote the same members, and duplicate descriptions of the same members will be omitted.

도 13 및 도 14를 참조하여 살펴보면, 제4 실시예에 따른 기판 이송 장치(4)는, 가감속 유닛(500)이, 트레이(100)의 하단부에 인접하되 트레이(100)에 접근 또는 이격 가능하게 마련되는 적어도 하나의 이동자석(510)과, 이동자석(510)을 트레이(100)에 접근 또는 이격시키는 구동부(520)와, 구동부(520)의 작동을 제어하는 구동제어부를 포함하되, 이동자석(510)은 트레이(100)의 하단부 측면에 트레이(100)와 인접하게 마련되어 트레이(100)에 접근 또는 이격 가능하게 마련된다.Referring to FIGS. 13 and 14, in the substrate transport apparatus 4 according to the fourth embodiment, the acceleration / deceleration unit 500 may be adjacent to the lower end of the tray 100, but may be approached or spaced apart from the tray 100. At least one movable magnet 510, a driving unit 520 for approaching or spaced apart from the moving magnet 510 is provided, and a drive control unit for controlling the operation of the driving unit 520, the movement The magnet 510 is provided adjacent to the tray 100 on the side of the lower end of the tray 100 so as to be accessible or spaced apart from the tray 100.

즉, 제3 실시예에서와 같이 트레이(100) 하부에 가감속 장치의 배치가 어려울 경우에는 본 실시예에와 같이 트레이(100)의 측면에 인접하게 가감속 장치를 배치하여 측면에서 이동자석(510)을 트레이(100)에 접근 또는 이격시킴으로써 제3 실시예에서와 동일하게 가감속 효과를 얻을 수 있다. 이에 의해서 효율적으로 배치공간을 활용하고 장치 설계의 편의성을 도모할 수 있다.That is, when it is difficult to arrange the acceleration / deceleration device in the lower portion of the tray 100 as in the third embodiment, the acceleration / deceleration device is disposed adjacent to the side of the tray 100 as in this embodiment to move the moving magnet ( Acceleration and deceleration effects can be obtained in the same manner as in the third embodiment by approaching or separating the 510 from the tray 100. This makes it possible to efficiently utilize the layout space and to facilitate the design of the device.

한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 이송 장치(5)를 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 제1 내지 제4 실시예에 따른 기판 이송 장치(1,2,3,4)에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, the substrate transfer apparatus 5 according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the same description as that described in the substrate transfer apparatuses 1, 2, 3, and 4 according to the first to fourth embodiments of the present invention will be omitted.

도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 정면도이고, 도 16은 도 15의 기판 이송 장치의 가감속 유닛의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 여기서, 도 1 내지 도 12와 동일한 부재번호는 동일한 부재를 나타내며, 동일한 부재에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.FIG. 15 is a schematic front view of a substrate transfer apparatus according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a view for explaining an operation of the acceleration / deceleration unit of the substrate transfer apparatus of FIG. 15. Here, the same reference numerals as in FIGS. 1 to 12 denote the same members, and duplicate descriptions of the same members will be omitted.

도 15 및 도 16을 참조하여 살펴보면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 이송 장치(5)는, 기판(S)을 장착하여 이송시키는 트레이(100)와, 트레이(100)의 하부에 마련되어 트레이(100)를 이송시키는 이송 유닛(200)와, 트레이(100)의 상단부 또는 하단부에 인접하게 마련되어 전자기력에 의하여 트레이(100)의 이송 속도를 가감시키는 가감속 유닛(600)과, 트레이(100)의 상부에 마련되어 트레이(100)를 가이드하는 가이드 유닛(400)을 포함한다.Referring to FIGS. 15 and 16, the substrate transfer apparatus 5 according to the fifth embodiment of the present invention includes a tray 100 for mounting and transferring the substrate S and a lower portion of the tray 100. A transfer unit 200 for transferring the tray 100, an acceleration / deceleration unit 600 provided adjacent to an upper end or a lower end of the tray 100 to increase or decrease a transfer speed of the tray 100 by electromagnetic force, and a tray 100. It is provided on the top of the guide to include a guide unit 400 for guiding the tray 100.

제5 실시예의 가감속 유닛(600)은, 트레이(100) 하단부에 일정한 간격을 두고 마련되는 복수개의 고정자석(610)과, 고정자석(610)에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 고정자석(610)과의 상호 작용에 의해 트레이(100)의 이송 속도를 가감시키기 위한 자기력을 발생시키는 전자석 모듈(620)과, 전자석 모듈(620)의 N/S 극성이 선택적으로 가변될 수 있도록 전자석 모듈(620)에 인가되는 전류의 공급을 제어하는 모듈제어부를 포함한다.The acceleration / deceleration unit 600 of the fifth embodiment includes a plurality of stator magnets 610 provided at regular intervals at the lower end of the tray 100, and spaced apart at regular intervals adjacent to the stator magnets 610 and stator magnets ( Electromagnet module 620 for generating a magnetic force to reduce the feed rate of the tray 100 by interaction with the 610, and the N / S polarity of the electromagnet module 620 can be selectively changed (electromagnet module ( A module control unit for controlling the supply of the current applied to the 620.

고정자석(610)은, 트레이 하부레일(210)에 일정한 간격을 두고 N극과 S극이 번갈아 배치된다. 고정자석(610)은, 따로 부착될 필요는 없으며 트레이 하부레일(210)에 일체로 마련되거나 트레이(100) 하단부에 일체로 마련될 수도 있다.The stator magnet 610 is alternately arranged with the north pole and the south pole at regular intervals on the tray lower rail 210. The stator magnet 610 does not need to be separately attached and may be provided integrally with the tray lower rail 210 or integrally with the lower end of the tray 100.

전자석 모듈(620)은, 고정자석(610)에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 외면에는 코일(coil)이 감기는 다수의 철심(621)과, 다수의 철심(621)을 일체로 연결하는 연결판넬부(622)를 포함한다.Electromagnet module 620 is spaced apart at regular intervals adjacent to the stationary magnet 610, the outer surface is a coil (coil) wound around a plurality of iron cores 621, and a plurality of iron cores 621 to connect integrally The panel unit 622 is included.

철심(621)은 코일에 전류가 흐르면 자화되어 극성을 갖게 되며, 연결판넬부(622)는 다수의 철심(621)을 일체로 연결하여 고정 지지한다.The iron core 621 is magnetized when the current flows in the coil to have polarity, and the connection panel part 622 connects and supports a plurality of iron cores 621 integrally.

코일에 흐르는 전류의 방향이 바뀌면 철심(621)의 극성도 바뀌게 되며, 코일에 흐르는 전류의 양과 방향은 모듈제어부에 의하여 제어된다. 즉, 모듈제어부는 코일에 흐르는 전류의 양과 방향을 제어함으로써, 철심(621)의 극성과 자기력의 세기를 선택적으로 변화시킬 수 있다.When the direction of the current flowing in the coil is changed, the polarity of the iron core 621 is also changed, and the amount and direction of the current flowing in the coil are controlled by the module controller. That is, the module controller may selectively change the polarity and the strength of the magnetic force of the iron core 621 by controlling the amount and direction of the current flowing through the coil.

도 16을 참조하여 상세히 살펴보면, 트레이(100) 하단부에는 고정자석(610)이 일정한 간격으로 N극과 S극이 번갈아 배치되고, 그 하부에는 전자석 모듈(620)이 고정자석(610)과 일정 간격으로 이격되어 배치된다. 전자석 모듈(620)의 철심(621)은 고정자석(610)의 배치 간격과 상이한 간격으로 배치되며, 4개의 고정자석(610)이 배치되는 간격에 3개의 철심(621)이 배치되도록 마련된다. 또는 이와 다르게, 홀수개의 고정자석(610)이 배치되는 간격에 짝수개의 철심(621)을 배치하여 사용할 수도 있다.Referring to FIG. 16, the N pole and the S pole are alternately arranged at the bottom of the tray 100 at fixed intervals, and an electromagnet module 620 is at a predetermined interval therebetween. Spaced apart. The iron cores 621 of the electromagnet module 620 are arranged at different intervals from the arrangement intervals of the stator magnets 610, and three iron cores 621 are arranged at intervals at which four stator magnets 610 are disposed. Alternatively, an even number of iron cores 621 may be disposed and used at intervals in which odd number of stator magnets 610 are disposed.

전자석 모듈(620)은 철심(621)이 순차적으로 여자되며 트레이(100)를 가감속시키는데, 이하 도 16을 참조하여 상세히 설명한다.The electromagnet module 620 sequentially excites the iron core 621 and decelerates the tray 100, which will be described in detail with reference to FIG. 16.

도 16의 ①번 도면에서 (a)가 N극, (c)가 S극으로 여자되면 고정자석(610)과 서로 인력이 발생되어 트레이(100)는 정지상태에 있게 된다. 다음으로, ②번 도면과 같이 (b)가 N극 (d)가 S극으로 여자되면 고정자석(610)과 극성이 같은 방향으로는 척력이 발생되고, 극성이 다른 방향으로는 인력이 발생되어 ③번 도면처럼 트레이(100)가 오른쪽으로 전진을 하게 된다.In FIG. 16 of FIG. 16, when (a) is excited to the N pole and (c) to the S pole, attraction force is generated between the stationary magnet 610 and the tray 100 is in a stopped state. Next, as shown in ②, when (b) the N pole (d) is excited to the S pole, repulsive force is generated in the same polarity as the stationary magnet 610, and attraction is generated in the different polarity direction. As shown in Figure 3, the tray 100 is advanced to the right.

계속해서 ④번 도면처럼 (a)를 S극, (c)를 N극으로 여자시키면 상기와 같이 같은 극성은 밀고, 다른 극성은 당기게 되어 ⑤번 도면처럼 트레이(100)가 계속 전진하게 된다.Subsequently, excitation of (a) to S pole and (c) to N pole as shown in ④ shows that the same polarity is pushed as described above, and the other polarity is pulled, and the tray 100 continues to move as shown in ⑤.

위와 같이 계속해서 전자석 모듈(620)의 철심(621)의 극성을 일정 시간 간격으로 바꾸게 되면 트레이(100)가 전진하게 되며, 철심(621)의 극성을 상기와 같은 과정의 반대로 여자 시키면 트레이(100)가 후진된다. 즉, 전진중인 트레이(100)에 대해서는 전자석 모듈(620)의 철심(621)을 상기 과정의 반대로 여자시키면 트레이(100)를 감속시킬 수 있다.As described above, if the polarity of the iron core 621 of the electromagnet module 620 is changed at a predetermined time interval, the tray 100 is advanced, and if the polarity of the iron core 621 is reversed in the above process, the tray 100 is excited. ) Is reversed. That is, the tray 100 may be decelerated when the iron core 621 of the electromagnet module 620 is reversed in the above process with respect to the advancing tray 100.

이와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치(1)에 의하면, 트레이(100)의 가감속을 비접촉 방식으로 할 수 있어, 이물질의 발생을 억제시킬 수 있으며, 구동롤러(220)와 트레이 하부레일(210)의 미끄러짐을 방지하여 보다 빠른 가감속을 수행하여 트레이(100)의 이송 및 정렬을 수월하게 할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the substrate transfer apparatus 1 of the present invention, the acceleration and deceleration of the tray 100 can be performed in a non-contact manner, and the generation of foreign matter can be suppressed, and the driving roller 220 and the tray lower rail 210 can be suppressed. There is an effect that can facilitate the transfer and alignment of the tray 100 by performing a faster acceleration and deceleration by preventing the slip of).

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

1~5 : 기판 이송 장치
S : 기판 C : 고전도성 금속
100 : 트레이 200 : 이송 유닛
210 : 트레이 하부레일 220 : 구동롤러
230 : 롤러구동모터 300 : 가감속 유닛
310 : 회전자석 320 : 회전모터
330 : 회전제어부 400 : 가이드 유닛
410 : 트레이 상부레일 420 : 자기력가이드부
500 : 가감속 유닛 510 : 이동자석
520 : 구동부 600 : 가감속 유닛
610 : 고정자석 620 : 전자석 모듈
621 : 철심 622 : 연결판넬부1 ~ 5: substrate transfer device
S: Substrate C: High Conductivity Metal
100 tray 200 transfer unit
210: tray lower rail 220: drive roller
230: roller drive motor 300: acceleration / deceleration unit
310: rotating magnet 320: rotating motor
330: rotation control unit 400: guide unit
410: upper rail of the tray 420: magnetic force guide portion
500: acceleration / deceleration unit 510: moving magnet
520: driving unit 600: acceleration / deceleration unit
610: stator magnet 620: electromagnet module
621: iron core 622: connecting panel portion

Claims (13)

기판을 장착하여 이송시키는 트레이;
상기 트레이의 하부에 마련되어 상기 트레이를 이송시키는 이송 유닛;
상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하게 마련되어 전자기력에 의하여 상기 트레이의 이송 속도를 가감시키는 가감속 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.A tray for mounting and transferring the substrate;
A transfer unit provided at a lower portion of the tray to transfer the tray;
And an acceleration / deceleration unit provided adjacent to an upper end portion or a lower end portion of the tray to increase or decrease a conveying speed of the tray by an electromagnetic force. 제1항에 있어서,
상기 트레이의 상부에 마련되어 상기 트레이를 가이드하는 가이드 유닛을 더 포함하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
And a guide unit provided at an upper portion of the tray to guide the tray. 제1항에 있어서,
상기 가감속 유닛은,
상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하되 상기 트레이의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련되는 적어도 하나의 회전자석;
상기 회전자석을 회전시키는 회전모터; 및
상기 회전모터의 회전방향 및 속도를 제어하는 회전제어부를 포함하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The acceleration and deceleration unit,
At least one rotating magnet adjacent to an upper end or a lower end of the tray and rotatably provided in a conveying direction of the tray;
A rotating motor for rotating the rotating magnet; And
Substrate transfer apparatus including a rotation control unit for controlling the rotational direction and speed of the rotary motor. 제3항에 있어서,
상기 회전자석은 상기 트레이의 하단부 측면에 상기 트레이와 인접하게 마련되어 상기 트레이의 이송 방향으로 회전 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3,
The rotating magnet is provided on the lower end side of the tray adjacent to the tray is provided to be rotatable in the conveying direction of the tray. 제3항에 있어서,
상기 회전자석은,
상기 회전자석이 회전되는 둘레면을 따라 N극과 S극이 번갈아 접하도록 원형의 형상으로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3,
The rotating magnet,
Substrate transfer apparatus characterized in that it is provided in a circular shape so that the N pole and the S pole alternately along the circumferential surface of the rotating magnet is rotated. 제1항에 있어서,
상기 가감속 유닛은,
상기 트레이의 상단부 또는 하단부에 인접하되 상기 트레이에 접근 또는 이격 가능하게 마련되는 적어도 하나의 이동자석;
상기 이동자석을 상기 트레이에 접근 또는 이격시키는 구동부; 및
상기 구동부의 작동을 제어하는 구동제어부를 포함하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The acceleration and deceleration unit,
At least one movable magnet adjacent to an upper end or a lower end of the tray, the at least one movable magnet being provided to be accessible or spaced apart from the tray;
A driving unit which accesses or spaces the moving magnets from the tray; And
And a driving control unit for controlling the operation of the driving unit. 제6항에 있어서,
상기 이동자석은 상기 트레이의 하단부 측면에 상기 트레이와 인접하게 마련되어 상기 트레이에 접근 또는 이격 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 6,
The movable magnet is provided adjacent to the tray on the lower end side of the tray characterized in that the substrate is provided to be accessible or spaced apart from the tray. 제1항에 있어서,
상기 가감속 유닛은,
상기 트레이 하단부에 일정한 간격을 두고 마련되는 복수개의 고정자석;
상기 고정자석에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 상기 고정자석과의 상호 작용에 의해 상기 트레이의 이송 속도를 가감시키기 위한 자기력을 발생시키는 전자석 모듈; 및
상기 전자석 모듈의 N/S 극성이 선택적으로 가변될 수 있도록 상기 전자석 모듈에 인가되는 전류의 공급을 제어하는 모듈제어부를 포함하는 기판 이송 장치. The method of claim 1,
The acceleration and deceleration unit,
A plurality of stator magnets provided at regular intervals on the lower end of the tray;
An electromagnet module spaced apart from each other at regular intervals adjacent to the stator magnets and generating a magnetic force to decrease or reduce the feed rate of the tray by interaction with the stator magnets; And
And a module controller for controlling supply of current applied to the electromagnet module so that the N / S polarity of the electromagnet module can be selectively varied. 제8항에 있어서,
상기 전자석 모듈은,
상기 고정자석에 인접하게 일정한 간격으로 이격 배치되며 외면에는 코일(coil)이 감기는 다수의 철심; 및
상기 다수의 철심을 일체로 연결하는 연결판넬부를 포함하는 기판 이송 장치.9. The method of claim 8,
The electromagnet module,
A plurality of iron cores disposed at regular intervals adjacent to the stator magnet and having a coil wound on an outer surface thereof; And
Substrate transfer apparatus comprising a connecting panel portion for connecting the plurality of iron cores integrally. 제9항에 있어서,
다수의 철심은 고정자석의 배치 간격과 상이한 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.10. The method of claim 9,
And a plurality of iron cores are arranged at different intervals from the arrangement interval of the stator magnets. 제1항에 있어서,
상기 이송 유닛은,
상기 트레이의 하단부에 결합되는 트레이 하부레일; 및
상기 트레이 하부레일의 하부에서 상기 트레이 하부레일과 접하면서 회전되도록 마련되는 다수의 구동롤러를 포함하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The transfer unit
A tray lower rail coupled to the lower end of the tray; And
And a plurality of driving rollers provided to rotate while being in contact with the tray lower rail under the tray lower rail. 제11항에 있어서,
상기 트레이 하부레일 또는 상기 트레이의 하부에는 고전도성(High Conductive) 금속이 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 11,
And a high conductive metal is inserted into the tray lower rail or the lower portion of the tray. 제1항에 있어서,
상기 가이드 유닛은,
강자성체로 마련되어 상기 트레이의 상단부에 결합되는 트레이 상부레일; 및
상기 트레이 상부레일이 개재되며 상기 트레이 상부레일의 양 측면에서 상기 트레이 상부레일을 밀어주는 자기력을 발생시키는 극성을 갖도록 마련되는 자기력가이드부를 포함하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The guide unit includes:
A tray upper rail provided as a ferromagnetic material and coupled to an upper end of the tray; And
And a magnetic force guide part interposed between the upper rail and the magnetic force guide part having a polarity for generating a magnetic force pushing the upper rail of the tray on both sides of the upper rail of the tray.
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