KR102161842B1 - 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 관한 것으로, 본 발명은 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있는 것이다.

Description

배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치{Heating apparatus for three way valve of exhaust depowder module}
본 발명은 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있도록 한 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 상에 특정 패턴의 회로를 형성하기 위해 화학증착법(CVD)이나 에칭(etching) 등의 공정이 수행되며 여기에는 다양한 반응가스가 사용된다.
이러한 반응가스는 활성화를 위해 고온인 상태로 사용되는데 저온 상태에서는 쉽게 응결되는 특성이 있다. 이로 인해 열손실이 용이한 이송 중에 쉽게 응결되고, 응결된 고형분이 밸브나 펌프에 고착되어 고장을 유발한다.
따라서, 반도체 제조 공정에 사용되는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에는 보온 커버를 씌우거나 특허문헌 1(대한민국 공개특허 제2016-0099064호 2016.08.19.공개.)에 개시된 바와 같이 삼방향 밸브에 열을 직접 공급하여 반응가스의 응결을 방지하고 있다.
도 1은 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브를 도시한 분해 사시도이며, 도 2는 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브를 도시한 요부 확대도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브는 밸브본체(1)와 플랜지(2)에 열선코일(3)을 감아 열선코일(3)에서 발생된 열이 밸브(1, 2)에 전도되도록 하여 밸브를 통과하는 반응가스가 저온으로 응결되는 것을 방지한다.
더욱이, 상기와 같은 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브는 도 2에 도시된 바와 같이, 밸브(1, 2)에 감겨진 열선코일(3)의 복수 지점을 고정수단(4)으로 단순 고정함으로써 밸브(1, 2)에 불완전하게 밀착되는 열선코일(3) 부위가 열전도가 불량해져 탄화되고 심한 경우 단선 되어 제 기능을 수행하지 못하는 현상이 발생하는 문제가 있었다.
다시 말하면, 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치로 적용되는 종래기술에 따른 열선을 포함하는 장치는 밸브에 열선코일을 감아 고정수단으로 단순 고정하는 구조로서, 열선코일을 통한 가열 구조에 따라 일정한 온도인 정온 가열의 구현이 어렵고, 아울러 열선코일 부위에 대한 열전도가 불량해져 탄화되는 문제가 있으며 단선이 발생하여 제 기능을 수행하지 못하는 등의 문제가 있었다.
아울러, 열선코일 구조가 적용됨에 따라 가열장치의 설치 및 분해가 복잡하여 유지보수가 용이하지 못하다는 문제가 있었다.
그러므로, 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있도록 한 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 대한 연구 및 개발이 요구되는 실정이다.
대한민국 공개특허 제2016-0099064호 2016.08.19.공개. 대한민국 등록특허 제0608400호 2005.07.26.등록. 대한민국 등록특허 제1828427호 2018.02.06.등록. 대한민국 등록특허 제1835394호 2018.02.28.등록. 대한민국 등록특허 제1888819호 2018.08.09.등록. 대한민국 공개특허 제2019-0009905호 2019.01.30.공개.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있도록 한 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있도록 함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치는 반도체 디스플레이 제조 장비의 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프 라인에 설치되는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대한 밸브몸체(310) 외부를 감싸도록 설치되어, 밸브 내부의 파우더의 증착을 억제하기 위한 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 있어서, 평면에서 봤을 때 전체적으로 'T'자 형상을 이루는 삼방향 밸브의 밸브몸체와 대응되어 전후 및 좌우 방향으로 상호 결합시 양측과 전방이 개방된 'T'자 형상을 이루되, 상기 밸브몸체의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측과 타 측 및 전방부분 일 측과 타 측을 각기 감싸며, 각기 외면 둘레부분을 따라 복수 개의 고정슬롯이 구비되고, 상호 고정수단을 통해 상기 밸브몸체의 외부를 전체적으로 감싸도록 고정설치되어, 상기 밸브몸체 측으로 열을 전도시켜 가열되도록 하는 가열하우징; 및 상기 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각의 고정슬롯에 삽입된 상태로 고정부재를 통해 고정설치되며, 외부로부터 전기적으로 연결되어 상기 가열하우징과 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출하면서 상기 밸브몸체 측으로 상기 가열하우징을 거쳐 열이 전도되면서 상기 밸브몸체가 가열되도록 하는 정온가열수단을 포함하는 구성으로 이루어진다.
여기서, 상기 정온가열수단은 상기 가열하우징 측으로 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출할 수 있도록, PTC소자로 제공되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가열하우징은 상기 밸브몸체의 상하 및 좌우방향으로 분해 및 조립이 용이하게 이루어질 수 있도록, 상기 밸브몸체의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측에 배치되는 제1밸브플랜지부의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단이 삽입된 상태로 고정부재를 통해 고정설치되는 고정슬롯이 복수 개로 구비되는 제1가열하우징과, 상기 밸브몸체의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 타 측에 배치되는 제2밸브플랜지부의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단이 삽입된 상태로 고정부재를 통해 고정설치되는 고정슬롯이 복수 개로 구비되는 제2가열하우징과, 상기 밸브몸체의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부의 일 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단이 삽입된 상태로 고정부재를 통해 고정설치되는 고정슬롯이 복수 개로 구비되는 제3가열하우징 및 상기 밸브몸체의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부의 타 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단이 삽입된 상태로 고정부재를 통해 고정설치되는 고정슬롯이 복수 개로 구비되는 제4가열하우징을 포함하는 한편, 상기 제1가열하우징과, 제2가열하우징과, 제3가열하우징 및 제4가열하우징은 상호 마주하는 단부에 대하여 고정수단을 통해 고정설치되는 것이 양호하다.
이때, 상기 고정수단은 상기 제1가열하우징과, 제2가열하우징과, 제3가열하우징 및 제4가열하우징의 상호 마주하여 밀착되는 단부에 외향 돌출형성되는 고정플랜지와, 상기 고정플랜지에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태로 관통 조립되는 고정볼트 및 상기 고정플랜지에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태에서 관통 조립된 상기 고정볼트의 관통 단부에 체결고정되는 고정너트로 제공되는 것이 바람직하다.
더욱이, 상기 정온가열수단을 통한 방출되는 열에 의해 밸브몸체의 외면 전체에 걸쳐 고르제 정온의 열이 전도될 수 있도록, 상기 제1가열하우징의 고정슬롯은 상기 제1가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되고, 상기 제2가열하우징의 고정슬롯은 상기 제2가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되며, 상기 제3가열하우징의 고정슬롯은 상기 제3가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되고, 상기 제4가열하우징의 고정슬롯은 상기 제4가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되는 것이 양호하다.
본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있다.
둘째, 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브를 도시한 분해 사시도.
도 2는 종래기술에 따른 열선코일이 구비된 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브를 도시한 요부 확대도.
도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치를 나타낸 평면 결합 사시구성도 및 저면 결합 사시구성도.
도 4는 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치를 나타낸 분리 사시구성도.
도 5 및 6은 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치가 삼방향 밸브에 설치되는 구조 및 설치된 상태를 나타낸 사용상태예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치를 나타낸 평면 결합 사시구성도 및 저면 결합 사시구성도이며, 도 4는 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치를 나타낸 분리 사시구성도이다.
도 5 및 6은 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치가 삼방향 밸브에 설치되는 구조 및 설치된 상태를 나타낸 사용상태예시도이다.
도 3 내지 6에서 보는 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치는 반도체 디스플레이 제조 장비의 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프 라인에 설치되는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대한 밸브몸체(310) 외부를 감싸도록 설치되어, 밸브 내부의 파우더의 증착을 억제하기 위한 가열장치이다.
먼저, 본 발명이 적용되는 상기 삼방향 밸브에 대하여 설명하면, 삼방향 밸브는 밸브몸체(310)를 포함하며, 이때 밸브몸체(310)는 평면에서 봤을 때 전체적으로 'T'자 형상을 이루되, 제1밸브플랜지부(311), 제2밸브플랜지부(312) 및 제3밸브플랜지부(313)가 삼방향으로 연장되어 상호 연결되어 내부에 'T'자 형상의 유로를 형성하도록 구성된다.
이때, 상기 밸브몸체(310)는 본 발명이 적용되는 경우에 평면에서 봤을 때 전체적으로 'T'자 형상을 이루는 것을 기준으로 설명하였으나, 배기 파이프 라인에 설치시에는 일정각도 회전시켜 'ㅓ'자 형상 또는 'ㅏ'자 형상을 이루도록 설치될 수 있는 것이다.
상기와 같은 밸브몸체(310)를 포함하는 삼방향 밸브는 통상 밸브몸체(310)의 제1밸브플랜지부(311), 제2밸브플랜지부(312) 및 제3밸브플랜지부(313)가 상호 연이어지는 부분의 내부 유로 상에 개폐볼(미도시)이 내설되며, 이러한 밸브본체(310)의 외부에는 액추에이터(미도시)가 상기 개폐볼(미도시)과 연결설치되어 상기 액추에이터(미도시)의 작동을 통해 상기 개폐볼을 선택적으로 회전시켜 유로의 방향을 선택적으로 전환시키는 구성으로 이루어지는 것이다.
전술한 바와 같은 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브는 통상의 반도체 디스플레이 제조 장비의 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프 라인에 설치되는 배기 디파우더 모듈에 적용되는 삼방향 밸브와 유사한 것으로, 이하에서는 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치는 반도체 디스플레이 제조 장비의 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프 라인에 설치되는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대한 밸브몸체(310) 외부를 감싸도록 설치되어, 밸브 내부의 파우더의 증착을 억제하기 위한 것으로, 크게 분류하면 가열하우징(100) 및 정온가열수단(200)을 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 가열하우징(100)은 평면에서 봤을 때 전체적으로 'T'자 형상을 이루는 삼방향 밸브의 밸브몸체(310)와 대응되어 전후 및 좌우 방향으로 상호 결합시 양측과 전방이 개방된 'T'자 형상을 이루되, 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측과 타 측 및 전방부분 일 측과 타 측을 각기 감싸며, 각기 외면 둘레부분을 따라 복수 개의 고정슬롯이 구비되고, 상호 고정수단을 통해 상기 밸브몸체(310)의 외부를 전체적으로 감싸도록 고정설치되어, 상기 밸브몸체(310) 측으로 열을 전도시켜 가열되도록 하는 것이다.
또한, 상기 정온가열수단(200)은 상기 가열하우징(100)의 외면 둘레부분을 따라 각각의 고정슬롯에 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되며, 외부로부터 전기적으로 연결되어 상기 가열하우징(100)과 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출하면서 상기 밸브몸체(310) 측으로 상기 가열하우징(100)을 거쳐 열이 전도되면서 상기 밸브몸체(310)가 가열되도록 하는 것이다.
이때, 상기 고정부재(200a)는 육각홈이 함몰된 머리부와, 머리부의 육각홈과 대향되는 면으로부터 외면에 나선이 형성되어 일정길이 돌출형성되는 몸체부를 포함하는 볼트 타입으로 제공됨이 바람직하며, 물론 '-'자형 홈을 갖는 볼트나 '+'자형 홈을 갖는 볼트 등 다양한 볼트 타입으로 제공될 수 있는 것이다.
상기와 같은 정온가열수단(200)은 특히, 상기 가열하우징(100) 측으로 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출할 수 있도록 하는 것이 중요하며, 이에 따라 PTC(positive temperature coefficient)소자로 제공되는 것이 바람직하다.
즉, 상기와 같은 정온가열수단(200)이 PTC소자로 적용됨으로서 상기 가열하우징(100) 측으로 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출할 수 있게 되는 것이다.
한편, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에서의 상기 가열하우징(100)은 상기 밸브몸체(310)의 상하 및 좌우방향으로 분해 및 조립이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 것이 중요하다.
이에 따라, 상기 가열하우징(100)은 크게 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징(120)과, 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)을 포함한다.
여기서, 상기 제1가열하우징(110)은 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측에 배치되는 제1밸브플랜지부(311)의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(111)이 복수 개로 구비되는 것이다.
또한, 상기 제2가열하우징(120)은 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 타 측에 배치되는 제2밸브플랜지부(312)의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(121)이 복수 개로 구비되는 것이다.
그리고 상기 제3가열하우징(130)은 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부(313)의 일 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(131)이 복수 개로 구비되는 것이다.
또한, 상기 제4가열하우징(140)은 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부(313)의 타 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(141)이 복수 개로 구비되는 것이다.
더욱이, 앞서 설명한 바와 같은 4개로 분할되어 가열하우징(100)을 구성하는 상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징(120)과, 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)은 상호 마주하는 단부에 대하여 고정수단을 통해 고정설치된다.
이때, 상기 고정수단은 크게 고정플랜지(F)와, 고정볼트(B) 및 고정너트(N)로 제공된다.
상세히, 상기 고정플랜지(F)는 상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징과(120), 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)의 상호 마주하여 밀착되는 단부에 외향 돌출형성되는 것이다.
다시 말하면, 상기 고정플랜지(F)는 상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징과(120), 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)의 상호 마주하여 밀착된 상태에서의, 밸브몸체(310)의 제1밸브플랜지부(311), 제2밸브플랜지부(312), 제3밸브플랜지부(313)가 외부로 돌출되게 감싸지는 개방된 양측과 전방은 마주하여 상호 밀착되는 각 하우징의 단부 상, 하부에 외향 돌출형성되는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 고정플랜지(F)는 상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징(120), 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)의 상호 마주하여 밀착된 상태에서, 밸브몸체(310)의 제1밸브플랜지부(311), 제2밸브플랜지부(312), 제3밸브플랜지부(313)의 연이어진 부분의 후방을 폐쇄되게 감싸는 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징(120)에 대한 폐쇄되게 상호 밀착되는 후방 측인 후면 중앙부분에 외향 돌출형성되는 것이 바람직한 것이다.
또한, 상기 고정볼트(B)는 상기 고정플랜지(F)에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태로 관통 조립되는 것이다.
그리고 상기 고정너트(N)는 상기 고정플랜지(F)에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태에서 관통 조립된 상기 고정볼트(B)의 관통 단부에 체결고정되는 것이다.
물론, 앞서 설명한 바와 같은 고정플랜지(F)와, 고정볼트(B) 및 고정너트(N)로 제공되는 고정수단은 고정너트(N)가 없이 고정플랜지(F)와, 고정볼트(B)로 제공될 수 있으며, 이러한 경우에 고정수단은 고정너트(N)가 없이 상기 고정볼트(B)만으로 상기 고정플랜지(F)의 통공 내면에 나선이 형성되도록 하여 마주하는 한 쌍의 고정플랜지(F)를 상호 밀착고정되게 할 수 있는 것이다.
한편, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치는 상기 정온가열수단(200)을 통한 방출되는 열에 의해 밸브몸체(310)의 외면 전체에 걸쳐 고르제 정온의 열이 전도될 수 있도록 하는 것이 중요하다.
이를 위하여, 상기 제1가열하우징(110)의 고정슬롯(111)은 상기 제1가열하우징(110)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비된다.
또한, 상기 제2가열하우징(120)의 고정슬롯(121)은 상기 제2가열하우징(120)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비된다.
더욱이, 상기 제3가열하우징(130)의 고정슬롯(131)은 상기 제3가열하우징(130)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비된다.
아울러, 상기 제4가열하우징(140)의 고정슬롯(141)은 상기 제4가열하우징(140)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되는 것이 바람직한 것이다.
전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치에 의하면, 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대하여 전체적으로 균일하게 일정한 온도인 정온으로 가열시켜 전체적으로 고른 열전도가 구현될 수 있으며, 이를 통하여 밸브 내부의 파우더 증착에 대한 억제효율을 극대화시킬 수 있다.
더욱이, 제1가열하우징, 제2가열하우징, 제3가열하우징, 제4가열하우징의 4개로 분할 구비되어 삼방향 밸브의 밸브몸체 외부를 감싸도록 고정수단을 통해 고정설치되는 가열하우징 및 각 가열하우징의 외면 둘레부분을 따라 각각 복수 개로 정온 가열을 위해 고정설치되는 정온가열수단을 포함함으로써 삼방향 밸브의 외부에 조립설치 및 분해가 용이하도록 하여 가열장치에 대한 유지보수가 간편하게 이루어질 수 있는 것이다.
이상에서 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 범위에 포함된다.
100: 가열하우징 110: 제1가열하우징
111: 고정슬롯 120: 제2가열하우징
121: 고정슬롯 130: 제3가열하우징
131: 고정슬롯 140: 제4가열하우징
141: 고정슬롯 200: 정온가열수단
200a: 고정부재 310: 밸브몸체
311: 제1밸브플랜지부 312: 제2밸브플랜지부
313: 제3밸브플랜지부 F: 고정플랜지
B: 고정볼트 N: 고정너트

Claims (5)

  1. 반도체 디스플레이 제조 장비의 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프 라인에 설치되는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브에 대한 밸브몸체(310) 외부를 감싸도록 설치되어, 밸브 내부의 파우더의 증착을 억제하기 위한 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치로서, 평면에서 봤을 때 전체적으로 'T'자 형상을 이루는 삼방향 밸브의 밸브몸체(310)와 대응되어 전후 및 좌우 방향으로 상호 결합시 양측과 전방이 개방된 'T'자 형상을 이루되, 상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측과 타 측 및 전방부분 일 측과 타 측을 각기 감싸며, 각기 외면 둘레부분을 따라 복수 개의 고정슬롯이 구비되고, 상호 고정수단을 통해 상기 밸브몸체(310)의 외부를 전체적으로 감싸도록 고정설치되어, 상기 밸브몸체(310) 측으로 열을 전도시켜 가열되도록 하는 가열하우징(100); 및 상기 가열하우징(100)의 외면 둘레부분을 따라 각각의 고정슬롯에 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되며, 외부로부터 전기적으로 연결되어 상기 가열하우징(100)과 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출하면서 상기 밸브몸체(310) 측으로 상기 가열하우징(100)을 거쳐 열이 전도되면서 상기 밸브몸체(310)가 가열되도록 하는 정온가열수단(200)을 포함하되,
    상기 가열하우징(100)은 상기 밸브몸체(310)의 상하 및 좌우방향으로 분해 및 조립이 용이하게 이루어질 수 있도록,
    상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 일 측에 배치되는 제1밸브플랜지부(311)의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(111)이 복수 개로 구비되는 제1가열하우징(110)과,
    상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 후방부분 타 측에 배치되는 제2밸브플랜지부(312)의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(121)이 복수 개로 구비되는 제2가열하우징(120)과,
    상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부(313)의 일 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(131)이 복수 개로 구비되는 제3가열하우징(130) 및
    상기 밸브몸체(310)의 'T'자 형상을 이루는 전방부분에 배치되는 제3밸브플랜지부(313)의 타 측 절반 영역의 외부를 감싸며, 외면 둘레부분을 따라 상기 정온가열수단(200)이 삽입된 상태로 고정부재(200a)를 통해 고정설치되는 고정슬롯(141)이 복수 개로 구비되는 제4가열하우징(140)을 포함하는 한편,
    상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징(120)과, 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)은 상호 마주하는 단부에 대하여 고정수단을 통해 고정설치되는 것을 특징으로 하는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정온가열수단(200)은 상기 가열하우징(100) 측으로 밀착되는 측에 일정온도인 정온의 열을 방출할 수 있도록,
    PTC소자로 제공되는 것을 특징으로 하는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 고정수단은 상기 제1가열하우징(110)과, 제2가열하우징과(120), 제3가열하우징(130) 및 제4가열하우징(140)의 상호 마주하여 밀착되는 단부에 외향 돌출형성되는 고정플랜지(F)와,
    상기 고정플랜지(F)에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태로 관통 조립되는 고정볼트(B) 및
    상기 고정플랜지(F)에 대하여 한 쌍이 상호 마주하여 밀착된 상태에서 관통 조립된 상기 고정볼트(B)의 관통 단부에 체결고정되는 고정너트(N)로 제공되는 것을 특징으로 하는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 정온가열수단(200)을 통한 방출되는 열에 의해 밸브몸체(310)의 외면 전체에 걸쳐 고르제 정온의 열이 전도될 수 있도록,
    상기 제1가열하우징(110)의 고정슬롯(111)은 상기 제1가열하우징(110)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되고,
    상기 제2가열하우징(120)의 고정슬롯(121)은 상기 제2가열하우징(120)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되며,
    상기 제3가열하우징(130)의 고정슬롯(131)은 상기 제3가열하우징(130)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되고,
    상기 제4가열하우징(140)의 고정슬롯(141)은 상기 제4가열하우징(140)의 외면 둘레부분을 따라 복수 개로 구비되되, 상, 하측 외면에 대하여 상호 엇갈려 구비되는 것을 특징으로 하는 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브 가열장치.
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