KR102154996B1 - Sample loader - Google Patents

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KR102154996B1
KR102154996B1 KR1020190114909A KR20190114909A KR102154996B1 KR 102154996 B1 KR102154996 B1 KR 102154996B1 KR 1020190114909 A KR1020190114909 A KR 1020190114909A KR 20190114909 A KR20190114909 A KR 20190114909A KR 102154996 B1 KR102154996 B1 KR 102154996B1
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견병우
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Abstract

Disclosed is a sample holding apparatus capable of stably fixing samples having various shapes by fixing the samples in equal to or more than one direction. The sample holding apparatus comprises: a horizontal driving block (40) which is driven by a driving unit (26) and mounted on a frame (18) so as to move up and down; a horizontal link (50) having one end connected to the horizontal driving block (40) and rotating the other end by reciprocating movement of the horizontal driving block (40); a horizontal sample guide (60) connected to the other end of the horizontal link (50) to push a sample (5) and place the sample on a sample seat unit (64); a vertical driving block (70) supported by the horizontal driving block (40) and moving in the upward direction when the horizontal driving block (40) moves upward, and freely descending separately from the horizontal driving block (40) when the horizontal driving block (40) moves downward; a vertical link (80) having one end connected to the vertical driving block (70) and rotating the other end by reciprocating movement of the vertical driving block (70); and a vertical sample guide (90) connected to the other end of the vertical link (80) to push the sample (5) and place the sample on the sample seat unit (64).

Description

샘플 고정 장치{Sample loader}Sample loader {Sample loader}

본 발명은 샘플 고정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 하나 이상의 방향에서 샘플을 고정함으로써, 다양한 형태를 가지는 샘플을 안정적으로 고정할 수 있는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sample fixing device, and more particularly, to a device capable of stably fixing a sample having various shapes by fixing a sample in one or more directions.

스마트폰, 태블릿 컴퓨터, 모니터 등의 현대 전자 기기는 합성수지 필름, 유리 기판, 금속 성분, 안료 등의 각종 물질을 여러층으로 적층하여 제조한다. 최근 전자 기기의 고성능화에 따라, 이러한 다층 적층 제품의 구조도 초박막화, 초미세 패턴화, 칩-패키지 일체화 및 입체화되고 있다. 다층 적층 제품의 각 제조 단계에서, 외부 이물질의 유입, 파손 등, 제품의 불량 여부를 비파괴적으로 검사하기 위하여, 광 간섭 단층촬영(Optical coherence tomography; OCT)를 이용하여 샘플의 표면 및 내부를 검사하는 방법이 특허공개 10-2015-0056713호 등에 개시되어 있다. 광 간섭 단층촬영(OCT)은 검사 대상물로 근적외선광을 투과시키고, 검사 대상물의 내부 및 각 단층에서 반사되는 반사광(산란광)을 검출하여, 검사 대상물의 내부를 단층 촬영한다. 광 간섭 단층촬영(OCT)을 사용하면, 검사 대상물로 조사되는 광의 파장 정도의 고해상도로 검사 대상물의 표면 및 내부 영상을 얻을 수 있다. Modern electronic devices such as smartphones, tablet computers, and monitors are manufactured by laminating various materials such as synthetic resin films, glass substrates, metal components, and pigments in multiple layers. In recent years, with the high performance of electronic devices, the structure of such multilayered products is also becoming ultra-thin, ultra-fine patterned, chip-package integrated, and three-dimensional. In each manufacturing step of a multilayered product, in order to non-destructively inspect whether the product is defective, such as the introduction of foreign substances, damage, etc., inspect the surface and the inside of the sample using optical coherence tomography (OCT). How to do this is disclosed in Patent Publication No. 10-2015-0056713 and the like. Optical coherence tomography (OCT) transmits near-infrared light to an object to be inspected, detects reflected light (scattered light) reflected from the inside of the object to be inspected and each tomographic layer, and takes a tomography of the inside of the object to be inspected. Using optical coherence tomography (OCT), it is possible to obtain images of the surface and the interior of the inspection object with a high resolution of about the wavelength of light irradiated to the inspection object.

광 간섭 단층촬영(OCT) 장치와 같은 정밀 측정 장비를 이용하여 검사 대상물을 관찰하기 위해서는, 검사 대상물인 샘플을 정확한 위치에 고정시켜야, 샘플의 위치 오류, 흔들림 등으로 인한 측정 오차를 줄일 수 있다. 도 1은 통상적인 광 간섭 단층촬영(OCT)에 사용되는 샘플 고정 장치의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 통상적인 샘플 고정 장치는 샘플 안착부(12)가 형성되어 있는 샘플 고정대(10) 및 상기 샘플 안착부(12)에 형성된 다수의 공기 흡입구(14)를 통하여 공기를 빨아들이는 공압 흡입부(16)를 포함한다. 이러한 샘플 고정 장치에서, 샘플 안착부(12)에 측정하고자 하는 샘플(5)을 위치시킨 후, 공압 흡입부(16)에서 공기를 빨아들이면, 상기 공압 흡입부(16)에 연결된 공기 흡입구(14)의 압력이 낮아져 흡착력이 발생하므로, 샘플(5)이 샘플 안착부(12)에 흔들리지 않게 고정된다. 그러나, 이러한 방법은, 샘플(5)의 형상이 달라지면 샘플 안착부(12)의 형상도 그에 맞게 변경해야 하며, 샘플(5)을 샘플 안착부(12)의 중앙에 정확히 위치시키기 어려운 단점이 있다. 즉, 휘어진 유리판과 같이 양 측면이 휘어진 샘플(5)을 검사하는 경우에는, 샘플(5)을 평평한 샘플 안착부(12)의 원하는 위치에 정확히 위치시키기 어렵고, 샘플(5)이 광학계의 정 중앙에 위치하지 않으면, 측정 오차가 발생할 수 있다. In order to observe an object to be inspected using a precision measurement equipment such as an optical interference tomography (OCT) device, a sample, which is an object to be inspected, must be fixed in an accurate position, so that measurement errors due to position errors and shaking of the sample can be reduced. 1 is a diagram showing an example of a sample fixing device used for conventional optical coherence tomography (OCT). As shown in FIG. 1, a typical sample holding device passes air through a sample holder 10 having a sample receiving portion 12 formed thereon and a plurality of air intake ports 14 formed in the sample receiving portion 12. It includes a pneumatic suction unit 16 to suck in. In such a sample fixing device, after placing the sample 5 to be measured on the sample mounting part 12, when air is sucked in from the pneumatic suction unit 16, the air suction port 14 connected to the pneumatic suction unit 16 The pressure of) is lowered to generate an adsorption force, so that the sample 5 is fixed to the sample seating portion 12 without shaking. However, this method has a disadvantage that if the shape of the sample 5 is changed, the shape of the sample seating portion 12 must be changed accordingly, and it is difficult to accurately position the sample 5 in the center of the sample seating portion 12. . That is, in the case of inspecting the sample 5 with both sides bent, such as a curved glass plate, it is difficult to accurately position the sample 5 at the desired position of the flat sample seat 12, and the sample 5 is located in the center of the optical system. If it is not located at, measurement errors may occur.

이와 같은 문제를 해소하기 위하여, 모터 등에 의해 구동되는 샘플 가이드를 이용하여, 샘플의 측면을 밀어, 샘플을 샘플 고정대의 중앙에 위치시키는 방법도 일반적으로 사용되고 있다. 그러나, 샘플을 하나의 측면, 예를 들어, 가로 측면에서만 고정하면, 샘플의 다른 측면, 예를 들어, 세로 측면 방향의 위치를 고정하기 어렵다. 한편, 샘플을 둘 이상의 측면, 예를 들어, 가로 측면 및 세로 측면 모두에서 고정하는 경우에는, 각각의 측면에 샘플 가이드, 샘플 가이드 구동부 및 제어 시스템을 모두 설치하여야 하므로, 장비가 복잡해지는 단점이 있다. 또한, 통상적인 샘플 가이드는 샘플 고정대의 표면 위로 노출되어 있으므로, 샘플 고정대의 외관이 복잡할 뿐만 아니라, 샘플 위에 필터 등을 장착할 필요가 있을 때, 노출된 샘플 가이드 때문에 필터를 설치하지 못하는 경우도 있다.In order to solve such a problem, a method of placing the sample in the center of the sample holder by pushing the side of the sample using a sample guide driven by a motor or the like is also generally used. However, if the sample is fixed only on one side, eg, the horizontal side, it is difficult to fix the position of the other side of the sample, eg, in the vertical side direction. On the other hand, in the case of fixing the sample on two or more sides, for example, both the horizontal side and the vertical side, the sample guide, the sample guide driving unit, and the control system must all be installed on each side, so the equipment becomes complicated. . In addition, since a typical sample guide is exposed on the surface of the sample holder, the appearance of the sample holder is complicated, and when it is necessary to mount a filter, etc. on the sample, there are cases where the filter cannot be installed due to the exposed sample guide have.

특허공개 10-2015-0056713호Patent Publication 10-2015-0056713

본 발명의 목적은, 하나 이상의 방향에서 샘플을 고정함으로써, 샘플을 보다 안정적으로 고정시킬 수 있는 샘플 고정 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a sample holding device capable of more stably fixing a sample by fixing the sample in one or more directions.

본 발명의 다른 목적은, 입체적인 형상을 가지거나, 다양한 가로 세로 비율을 가지는 샘플을, 샘플의 형태와 무관하게, 샘플 고정대의 중앙에 위치시킬 수 있는 샘플 고정 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a sample holding device capable of placing a sample having a three-dimensional shape or having various aspect ratios in the center of a sample holder, regardless of the shape of the sample.

본 발명의 또 다른 목적은, 장치 및 구동 구조가 간단하고 효율적인 샘플 고정 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a sample holding device having a simple and efficient device and drive structure.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 구동부(26)에 의하여 구동되며, 상하 왕복 이동 가능하도록 프레임(18)에 장착되어 있는 가로 방향 구동 블록(40); 상기 가로 방향 구동 블록(40)에 일단이 연결되고, 상기 가로 방향 구동 블록(40)의 왕복 이동에 의해 다른 일단이 회전하는 가로 링크(50); 상기 가로 링크(50)의 다른 일단에 연결되어, 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키는 가로 샘플 가이드(60); 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되어 가로 방향 구동 블록(40)이 상부 방향으로 이동하면 함께 상부 방향으로 이동하며, 가로 방향 구동 블록(40)이 하부 방향으로 이동하면 가로 방향 구동 블록(40)과는 별개로 자유 하강하는 세로 방향 구동 블록(70); 상기 세로 방향 구동 블록(70)에 일단이 연결되고, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 왕복 이동에 의해 다른 일단이 회전하는 세로 링크(80); 및 상기 세로 링크(80)의 다른 일단에 연결되어, 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키는 세로 샘플 가이드(90)를 포함하는 샘플 고정 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is driven by the drive unit 26, the horizontal direction drive block 40 mounted on the frame 18 so as to be reciprocated up and down; A horizontal link 50 having one end connected to the horizontal driving block 40 and rotating the other end by reciprocating movement of the horizontal driving block 40; A horizontal sample guide 60 connected to the other end of the horizontal link 50 to push the sample 5 and place it on the sample seat 64; It is supported by the horizontal driving block 40 so that when the horizontal driving block 40 moves in the upper direction, it moves in the upper direction, and when the horizontal driving block 40 moves in the lower direction, the horizontal driving block 40 ) And freely descending vertical direction drive block 70; A vertical link 80 having one end connected to the vertical driving block 70 and rotating the other end by reciprocating movement of the vertical driving block 70; And a vertical sample guide 90 connected to the other end of the vertical link 80 to push the sample 5 and place it on the sample seat 64.

본 발명에 따른 샘플 고정 장치는, 하나 이상의 방향에서 샘플을 고정함으로써, 샘플을 보다 안정적으로 고정시킬 수 있으며, 입체적인 형상을 가지거나, 다양한 가로 세로 비율을 가지는 샘플을 샘플 고정대의 중앙에 위치시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 샘플 고정 장치는 장치 및 구동 구조가 간단하고 효율적인 장점이 있다. The sample fixing device according to the present invention can fix the sample more stably by fixing the sample in one or more directions, and can place a sample having a three-dimensional shape or a sample having various aspect ratios in the center of the sample holder. have. In addition, the sample holding device of the present invention has the advantage of having a simple and efficient device and drive structure.

도 1은 통상적인 광 간섭 단층촬영(OCT)에 사용되는 샘플 고정 장치의 일 예를 보여주는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 고정 장치의 구성을 보여주는 도면.
도 3 및 4는 각각 본 발명에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 가로 방향 고정 장치 및 세로 방향 고정 장치의 동작을 보여주는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 샘플의 가로 및 세로 측면을 고정한 상태를 보여주는 도면.
도 6는 샘플 고정 장치를 사용하여, 가로 및 세로 방향의 비율이 다른 샘플을 고정하는 경우를 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 있어서, 가로 방향 구동 블록을 구동시키는 동력 전달 방법으로서, 크랭크 로드를 사용하는 방법을 보여주는 도면.1 is a diagram showing an example of a sample fixing device used for conventional optical coherence tomography (OCT).
2 is a view showing the configuration of a sample fixing device according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are views showing operations of the horizontal direction fixing device and the vertical direction fixing device in the sample fixing device according to the present invention, respectively.
5 is a view showing a state in which horizontal and vertical sides of a sample are fixed in the sample fixing device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a diagram for explaining a case in which samples having different horizontal and vertical ratios are fixed using a sample holding device.
7 is a view showing a method of using a crank rod as a power transmission method for driving a horizontal drive block in an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명을 상세히 설명한다. 본 명세서에서, 용어 "가로" 및 "세로"는 샘플의 2개의 측면을 나타내기 위하여 사용된다. 직사각형 형태의 샘플인 경우, "가로 방향"은 샘플의 길이 방향을 나타내고, "세로 방향"은 샘플의 폭 방향을 나타낸다. 일반적으로 샘플은"가로 방향(길이 방향)"의 길이가 "세로 방향(폭 방향)"의 길이보다 길고, "가로 방향"과 "세로 방향"은 서로 수직으로 배치되지만, 샘플의 구체적인 형태에 따라 또는 본 발명의 구현에 있어서, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 필요에 따라 다양한 길이 및 각도로 변형될 수 있다. 이 경우, "가로 방향"은 "제1 방향", "세로 방향"은 "제2 방향"으로 표현될 수 있다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this specification, the terms “horizontal” and “vertical” are used to denote two sides of a sample. In the case of a rectangular sample, "horizontal direction" indicates the length direction of the sample, and "vertical direction" indicates the width direction of the sample. In general, the length of the "horizontal direction (length direction)" is longer than that of the "vertical direction (width direction)", and the "horizontal direction" and "vertical direction" are arranged perpendicular to each other, but depending on the specific shape of the sample Alternatively, in the implementation of the present invention, it is not necessarily limited thereto, and may be modified in various lengths and angles as necessary. In this case, “horizontal direction” may be expressed as “first direction” and “vertical direction” may be expressed as “second direction”.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 고정 장치의 구성을 보여주는 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 샘플 고정 장치는 가로 방향 구동 블록(40); 가로 링크(50, link); 가로 샘플 가이드(60); 세로 방향 구동 블록(70); 세로 링크(80); 세로 샘플 가이드(90) 및 샘플 안착부(64)를 포함한다. 여기서, 상기 가로 방향 구동 블록(40), 가로 링크(50, link) 및 가로 샘플 가이드(60)는 가로 방향 고정 장치를 구성하고, 상기 세로 방향 구동 블록(70), 세로 링크(80) 및 세로 샘플 가이드(90)는 세로 방향 고정 장치를 구성한다. 2 is a view showing the configuration of a sample fixing device according to an embodiment of the present invention. As shown in Fig. 2, the sample fixing device according to the present invention includes a horizontal driving block 40; Horizontal link (50, link); A horizontal sample guide 60; A vertical drive block 70; Vertical link 80; It includes a vertical sample guide (90) and a sample seat (64). Here, the horizontal driving block 40, the horizontal link 50, and the horizontal sample guide 60 constitute a horizontal direction fixing device, and the vertical driving block 70, the vertical link 80, and the vertical The sample guide 90 constitutes a longitudinal fixing device.

먼저, 본 발명의 샘플 고정 장치에 있어서, 가로 방향 고정 장치를 설명한다. 상기 가로 방향 구동 블록(40)은 상하 왕복 이동 가능하도록 샘플 고정 장치의 프레임(18)에 장착되어 있다. 예를 들면, 프레임(18)에 상하 방향으로 설치되어 있는 가이드 샤프트(46)에 상기 가로 방향 구동 블록(40)이 장착되어, 상기 가이드 샤프트(46)를 따라, 가로 방향 구동 블록(40)이 상하 방향으로 구동될 수 있다. 상기 가로 방향 구동 블록(40)은 구동부(26)에 의하여 구동된다. First, in the sample fixing device of the present invention, a horizontal fixing device will be described. The transverse drive block 40 is mounted on the frame 18 of the sample fixing device so as to be reciprocated up and down. For example, the horizontal drive block 40 is mounted on the guide shaft 46 installed in the vertical direction on the frame 18, and along the guide shaft 46, the horizontal drive block 40 It can be driven in the vertical direction. The horizontal driving block 40 is driven by a driving unit 26.

상기 구동부(26)는 모터 등의 통상의 구동 수단으로서, 상기 구동부(26)의 구동력은 기어, 벨트, 크랭크 로드(crank rod) 등의 다양한 동력 전달 수단에 의하여 전달되어, 가로 방향 구동 블록(40)을 구동시킬 수 있다. 도 7은 가로 방향 구동 블록(40)을 구동시키는 동력 전달 방법의 일 예로서, 크랭크 로드를 사용하는 방법을 보여주는 도면이다. 도 2 및 7에 도시된 바와 같이, 구동부(26)의 구동축(22)에는 편심휠(20)이 장착되고, 상기 편심휠(20)은 구동축(22)를 중심으로 회전한다. 상기 편심휠(20)의 일단에는 편심축(24)이 형성되어 있고, 상기 편심축(24)에는 크랭크 로드(30)는 일단이 회전 가능하게 연결되어, 상기 크랭크 로드(30)의 일단이 편심축(24)과 함께 구동축(22)를 중심으로 회전한다. 상기 크랭크 로드(30)의 다른 일단에는 크랭크 로드(30)의 길이 방향으로 장공(32, Oblong Hole)이 형성되어, 상기 장공(32)을 통하여 가로 방향 구동 블록(40)에 형성된 구동핀(42)에 연결된다. 상기 크랭크 로드(30)가 상승할 때, 상기 구동핀(42)은 장공(32)의 내측부, 즉, 하단부에 의해 밀어 올려져, 상기 가로 방향 구동 블록(40)을 상승시킨다. 따라서, 상기 편심휠(20)이 회전하여, 상기 편심휠(20)에 결합된 크랭크 로드(30)가 상부 방향으로 이동하면, 상기 가로 방향 구동 블록(40)도 상부 방향으로 이동한다. 한편, 상기 편심휠(20)이 다시 회전하여 크랭크 로드(30)가 하강하면, 상기 크랭크 로드(30)와 함께 장공(32)이 하강하더라도, 상기 구동핀(42)이 장공(32)의 외측부, 즉, 상부 방향으로 이동하면서, 상기 구동핀(42)에는 편심휠(20)의 하강 구동력이 전달되지 않는다. 따라서, 크랭크 로드(30)가 하강할 때에는, 상기 가로 방향 구동 블록(40)은 자체 무게, 즉, 자중에 의하여 자유 하강하거나, 탄성 부재(44)의 당기는 힘(탄성력)에 의하여, 편심휠(20) 방향, 즉, 하부 방향으로 이동한다. 상기 탄성 부재(44)는 일단이 상기 가로 방향 구동 블록(40)에 결합되고, 다른 일단이 프레임(18)에 결합되어, 상기 가로 방향 구동 블록(40)을 아래 방향으로 당김으로써, 상기 가로 방향 구동 블록(40)의 하강 구동력을 생성한다. 상기 탄성 부재(44)로는 예를 들면 인장 스프링을 사용할 수 있다. 따라서, 상기 가로 방향 구동 블록(40)의 무게 및/또는 상기 탄성 부재(44)의 인장력을 조절하여, 가로 방향 구동 블록(40)의 하강 구동력을 조절할 수 있다.The driving unit 26 is a normal driving means such as a motor, and the driving force of the driving unit 26 is transmitted by various power transmission means such as gears, belts, crank rods, etc., and the horizontal driving block 40 ) Can be driven. 7 is a diagram illustrating a method of using a crank rod as an example of a power transmission method for driving the horizontal drive block 40. As shown in FIGS. 2 and 7, an eccentric wheel 20 is mounted on the drive shaft 22 of the driving unit 26, and the eccentric wheel 20 rotates around the drive shaft 22. An eccentric shaft 24 is formed at one end of the eccentric wheel 20, and an end of the crank rod 30 is rotatably connected to the eccentric shaft 24, so that one end of the crank rod 30 is eccentric. It rotates about the drive shaft 22 together with the shaft 24. At the other end of the crank rod 30, an oblong hole 32 is formed in the length direction of the crank rod 30, and a driving pin 42 formed in the horizontal driving block 40 through the long hole 32 ). When the crank rod 30 is raised, the driving pin 42 is pushed up by the inner portion, that is, the lower end of the long hole 32, thereby raising the horizontal driving block 40. Accordingly, when the eccentric wheel 20 rotates and the crank rod 30 coupled to the eccentric wheel 20 moves upward, the horizontal driving block 40 also moves upward. On the other hand, when the eccentric wheel 20 rotates again and the crank rod 30 descends, even if the long hole 32 descends together with the crank rod 30, the driving pin 42 is the outer part of the long hole 32 That is, while moving in the upper direction, the downward driving force of the eccentric wheel 20 is not transmitted to the driving pin 42. Therefore, when the crank rod 30 descends, the transverse drive block 40 freely descends by its own weight, that is, its own weight, or by a pulling force (elastic force) of the elastic member 44, the eccentric wheel ( 20) It moves in a direction, that is, a downward direction. The elastic member 44 has one end coupled to the transverse direction driving block 40 and the other end coupled to the frame 18 to pull the transverse direction driving block 40 downward, so that the transverse direction It generates a downward driving force of the driving block 40. As the elastic member 44, for example, a tension spring may be used. Accordingly, by adjusting the weight of the horizontal driving block 40 and/or the tensile force of the elastic member 44, the downward driving force of the horizontal driving block 40 may be adjusted.

다시 도 2를 참조하면, 상기 가로 링크(50)는 상기 가로 방향 구동 블록(40)에 일단이 연결되고, 상기 가로 방향 구동 블록(40)의 왕복 이동에 의해 상기 가로 링크(50)의 다른 일단이 회전하여, 상기 다른 일단에 연결된 가로 샘플 가이드(60)가 샘플(5, 도 3 참조)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키고, 샘플(5)을 고정한다. 상기 가로 링크(50)는 가로 방향 구동 블록(40)에 일단이 고정되는 제1 가로 링크(50a), 및 프레임(18)에 레버(lever)의 형태로 장착되며, 일단은 상기 제1 가로 링크(50a)의 다른 일단에 연결되고, 다른 일단은 상기 가로 샘플 가이드(60)에 연결되는 제2 가로 링크(50b)를 포함할 수 있다. 상기 가로 방향 구동 블록(40)이 하강하면, 그에 따라 제1 가로 링크(50a)도 하강하고, 상기 제1 가로 링크(50a)의 다른 일단에 결합된 제2 가로 링크(50b)의 일단도 하강한다. 프레임(18)에 레버(lever)의 형태로 장착된 제2 가로 링크(50b)의 일단이 하강하면, 상기 제2 가로 링크(50b)의 다른 일단 및 그에 결합된 샘플 가이드(60)는 제2 가로 링크(50b)의 레버축을 중심으로 샘플(5) 방향으로 회전 이동하여, 샘플 가이드(60)가 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시킨다. 또한, 상기 가로 링크(50)는 상기 제2 가로 링크(50b)의 구동단과 평행하게 위치하며, 일단은 프레임(18)에 결합되고 다른 일단은 가로 샘플 가이드(60)에 결합되는 제3 가로 링크(50c)를 더욱 포함할 수 있다. 상기 제3 가로 링크(50c)는 제2 가로 링크(50b)의 구동단과 평행하게 위치하므로, 가로 샘플 가이드(60)가 제2 가로 링크(50b)에 대하여 자유롭게 회전하지 않고, 가로 샘플 가이드(60)의 일단에 형성된 샘플 접촉면이 일정한 각도로 샘플(5)에 접촉하도록 한다. 상기 샘플 접촉면은 고무 등의 쿠션재로 이루어져, 샘플(5)의 파손을 방지할 수 있다. Referring back to FIG. 2, the horizontal link 50 has one end connected to the horizontal driving block 40, and the other end of the horizontal link 50 by reciprocating movement of the horizontal driving block 40 By this rotation, the horizontal sample guide 60 connected to the other end pushes the sample 5 (refer to FIG. 3) to be positioned on the sample seating portion 64, and fixes the sample 5. The horizontal link 50 is mounted in the form of a lever on the frame 18 and a first horizontal link 50a having one end fixed to the horizontal driving block 40, and one end is the first horizontal link It is connected to the other end of (50a), the other end may include a second horizontal link (50b) connected to the horizontal sample guide 60. When the horizontal driving block 40 descends, the first horizontal link 50a also descends accordingly, and one end of the second horizontal link 50b coupled to the other end of the first horizontal link 50a also descends. do. When one end of the second horizontal link 50b mounted in the form of a lever on the frame 18 descends, the other end of the second horizontal link 50b and the sample guide 60 coupled thereto are second By rotating and moving in the direction of the sample 5 about the lever axis of the transverse link 50b, the sample guide 60 pushes the sample 5 and is positioned on the sample seating part 64. In addition, the horizontal link 50 is located parallel to the driving end of the second horizontal link 50b, one end is coupled to the frame 18, the other end is a third horizontal link coupled to the horizontal sample guide 60 (50c) may be further included. Since the third horizontal link 50c is positioned parallel to the driving end of the second horizontal link 50b, the horizontal sample guide 60 does not freely rotate with respect to the second horizontal link 50b, and the horizontal sample guide 60 The sample contact surface formed at one end of) contacts the sample 5 at a certain angle. The sample contact surface is made of a cushioning material such as rubber, so that damage to the sample 5 can be prevented.

다음으로, 세로 방향 고정 장치를 설명한다. 상기 세로 방향 구동 블록(70)은 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되어 가로 방향 구동 블록(40)이 상부 방향으로 이동하면 함께 상부 방향으로 이동하며, 가로 방향 구동 블록(40)이 하부 방향으로 이동하면 가로 방향 구동 블록(40)과는 별개로 자유 하강한다. 상기 세로 방향 구동 블록(70)도 왕복 이동 가능하도록 프레임(18)에 장착되어 있을 수 있다. 예를 들면, 상기 가로 방향 구동 블록(40)을 가이드하는 가이드 샤프트(46)에 상기 세로 방향 구동 블록(70)도 동일한 방식으로 장착되어, 상기 가이드 샤프트(46)를 따라, 세로 방향 구동 블록(70)이 상하 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부(26)의 구동력에 의하여 가로 방향 구동 블록(40)이 상부 방향으로 이동하면, 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되는 세로 방향 구동 블록(70)도 상부 방향으로 밀어 올라간다. 이 후, 상기 가로 방향 구동 블록(40)이 아래 방향으로 이동하면, 세로 방향 구동 블록(70)은 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되지 않고, 자유 하강할 수 있는 상태로 되어, 자중 및/또는 탄성 부재(74)의 당기는 힘에 의해 아래 방향으로 이동한다. 상기 탄성 부재(74)는 일단이 상기 세로 방향 구동 블록(70)에 결합되고, 다른 일단이 프레임(18)에 결합되어, 상기 세로 방향 구동 블록(70)을 아래 방향으로 당김으로써, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 하강 구동력을 생성한다. 상기 세로 방향 구동 블록(70)를 하강시키는 탄성 부재(74)는 상기 가로 방향 구동 블록(40)을 하강시키는 탄성 부재(44)와 동일한 기능을 하는 것으로서, 예를 들면 인장 스프링이다Next, the longitudinal fixing device will be described. The vertical driving block 70 is supported by the horizontal driving block 40 so that when the horizontal driving block 40 moves upward, the vertical driving block 70 moves upward together, and the horizontal driving block 40 moves downward. When moving to the horizontal direction, it descends freely independently of the driving block 40. The vertical driving block 70 may also be mounted on the frame 18 so as to reciprocate. For example, the longitudinal drive block 70 is also mounted on the guide shaft 46 guiding the transverse drive block 40 in the same manner, and along the guide shaft 46, the longitudinal drive block ( 70) can move up and down. When the horizontal driving block 40 moves upward by the driving force of the driving unit 26, the vertical driving block 70 supported by the horizontal driving block 40 is also pushed upward. Thereafter, when the horizontal driving block 40 moves downward, the vertical driving block 70 is not supported by the horizontal driving block 40 and is in a state in which it can freely descend, and its own weight and /Or it moves in the downward direction by the pulling force of the elastic member 74. The elastic member 74 has one end coupled to the longitudinal driving block 70 and the other end coupled to the frame 18 to pull the longitudinal driving block 70 downward, so that the longitudinal direction It generates a downward driving force of the driving block 70. The elastic member 74 for lowering the longitudinal drive block 70 has the same function as the elastic member 44 for lowering the transverse drive block 40, and is, for example, a tension spring.

상기 세로 링크(80)는, 가로 링크(50)와 다른 방향으로 위치하여, 도 2에 도시된 예에서는 90도 방향으로 위치하여, 세로 샘플 가이드(90)를 다른 방향에서 구동시키는 것을 제외하고는, 가로 링크(50)와 동일한 방식으로 세로 샘플 가이드(90)를 구동시킨다. 구체적으로, 상기 세로 링크(80)는 세로 방향 구동 블록(70)에 일단이 연결되고, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 왕복 이동에 의해 세로 링크(80)의 다른 일단이 회전한다. 상기 세로 링크(80)의 다른 일단에는 세로 샘플 가이드(90)가 연결되어, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 하강 이동에 의해, 상기 세로 샘플 가이드(90)가 샘플(5, 도 4 참조)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키고, 샘플(5)을 고정한다. 상기 세로 링크(80)는 세로 방향 구동 블록(70)에 일단이 고정되는 제1 세로 링크(80a), 및 프레임(18)에 레버의 형태로 장착되며, 일단은 상기 제1 세로 링크(80a)의 다른 일단에 연결되고, 다른 일단은 상기 세로 샘플 가이드(90)에 연결되는 제2 세로 링크(80b)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 세로 링크(80)는 상기 제2 세로 링크(80b)의 구동단과 평행하게 위치하며, 일단은 프레임(18)에 결합되고 다른 일단은 세로 샘플 가이드(90)에 결합되는 제3 세로 링크(80c)를 더욱 포함할 수 있다. 상기 제1, 제2 및 제3 세로 링크(80a, 80b, 80c)는 상기 제1, 제2 및 제3 가로 링크(50a, 50b, 50c)와 동일한 방식으로 구동될 수 있다. The vertical link 80 is positioned in a different direction from the horizontal link 50, and in the example shown in FIG. 2, it is positioned in a direction of 90 degrees, except that the vertical sample guide 90 is driven in a different direction. , The vertical sample guide 90 is driven in the same manner as the horizontal link 50. Specifically, one end of the vertical link 80 is connected to the vertical driving block 70, and the other end of the vertical link 80 is rotated by the reciprocating movement of the vertical driving block 70. A vertical sample guide 90 is connected to the other end of the vertical link 80, and by the downward movement of the vertical driving block 70, the vertical sample guide 90 becomes a sample (see 5, FIG. 4). Push to place it on the sample seating part 64, and fix the sample 5. The vertical link 80 is mounted in the form of a lever on the frame 18 and a first vertical link 80a having one end fixed to the vertical driving block 70, and one end of the first vertical link 80a The second vertical link 80b is connected to the other end of and the other end is connected to the vertical sample guide 90. In addition, the vertical link 80 is located in parallel with the driving end of the second vertical link 80b, one end is coupled to the frame 18, the other end is a third vertical link coupled to the vertical sample guide 90 (80c) may be further included. The first, second, and third vertical links 80a, 80b, and 80c may be driven in the same manner as the first, second, and third horizontal links 50a, 50b, and 50c.

상기 샘플 안착부(64)는 샘플(5)이 놓여지는 측정 위치로서, 상기 샘플 안착부(64)에는 샘플(5)을 흡착하여 고정하기 위한 통상의 공기 흡입구(66)가 설치될 수 있다. 상기 가로 샘플 가이드(60) 및 세로 샘플 가이드(90)를 돌출 이동시켜, 샘플(5)이 샘플 안착부(64)의 중앙에 놓여지면, 상기 공기 흡입구(66)를 통하여 공기를 흡입하여, 샘플(5)을 공기 흡입구(66)에 흡착시킬 수 있다. 이후, 상기 구동부(26)을 구동시켜, 상기 가로 샘플 가이드(60) 및 세로 샘플 가이드(90)를 원래의 위치로 복귀시킴으로써, 별도의 돌출되는 고정 수단 없이도, 샘플(5)을 샘플 안착부(64)의 중앙에 안정적으로 위치시킬 수 있다. The sample seating portion 64 is a measurement position in which the sample 5 is placed, and a conventional air inlet 66 for adsorbing and fixing the sample 5 may be installed in the sample seating portion 64. When the horizontal sample guide 60 and the vertical sample guide 90 are protruded and moved, and the sample 5 is placed in the center of the sample seating part 64, air is sucked through the air inlet 66 and the sample (5) can be adsorbed to the air inlet 66. Thereafter, by driving the driving unit 26 to return the horizontal sample guide 60 and the vertical sample guide 90 to their original positions, the sample 5 is placed in the sample seating unit ( 64) can be placed stably in the center of the.

다음으로, 도 3 및 4를 참조하여, 본 발명에 따른 샘플 고정 장치의 동작을 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 가로 방향 고정 장치의 동작을 보여주는 도면이다. 도 3의 A에 도시된 바와 같이, 구동부(26)의 회전에 따라, 편심휠(20)이 회전하여, 크랭크 로드(30)가 편심휠(20)의 구동축(22)으로부터 멀어지면, 즉, 크랭크 로드(30)가 상승하면, 크랭크 로드(30)에 연결된 가로 방향 구동 블록(40)이 밀어 올려져, 가로 샘플 가이드(60)가 열려진 상태, 즉, 샘플 안착부(64)에 놓여진 샘플(5)을 가로 샘플 가이드(60)로 고정하지 않은 상태가 된다. 이 상태에서, 도 3의 B에 도시된 바와 같이, 구동부(26)를 회전시켜 구동축(22)를 중심으로 편심휠(20)을 180도 회전시키면, 크랭크 로드(30)가 아래 방향으로 움직이고, 가로 방향 구동 블록(40)도 아래 방향으로 이동한다. 가로 방향 구동 블록(40)이 하강하면, 가로 링크(50)에 의해 가로 샘플 가이드(60)가 샘플(5) 방향으로 이동하면서 샘플(5)을 샘플 안착부(64) 방향으로 밀게 된다. 이때, 가로 방향 구동 블록(40)의 하강은 구동부(26)의 구동력에 의해 수행될 수도 있고, 크랭크 로드(30)의 하강과는 별개로, 가로 방향 구동 블록(40)의 자중 및/또는 탄성 부재(44)의 당기는 힘에 의해 수행될 수도 있다. Next, with reference to Figures 3 and 4, the operation of the sample fixing device according to the present invention will be described. 3 is a view showing the operation of the horizontal direction fixing device in the sample fixing device according to the present invention. As shown in Fig. 3A, when the eccentric wheel 20 rotates according to the rotation of the driving unit 26, the crank rod 30 is away from the drive shaft 22 of the eccentric wheel 20, that is, When the crank rod 30 is raised, the horizontal driving block 40 connected to the crank rod 30 is pushed up, so that the horizontal sample guide 60 is open, that is, the sample placed on the sample seat 64 ( 5) is not fixed with the horizontal sample guide 60. In this state, as shown in FIG. 3B, when the eccentric wheel 20 is rotated 180 degrees around the drive shaft 22 by rotating the drive unit 26, the crank rod 30 moves downward, The horizontal driving block 40 also moves downward. When the horizontal driving block 40 descends, the horizontal sample guide 60 moves in the direction of the sample 5 by the horizontal link 50 and pushes the sample 5 in the direction of the sample seat 64. In this case, the descending of the horizontal driving block 40 may be performed by the driving force of the driving unit 26, and independently of the descending of the crank rod 30, the self-weight and/or elasticity of the horizontal driving block 40 It may be performed by the pulling force of the member 44.

상기 가로 방향 구동 블록(40)의 상하 이동은 가로 링크(50)에 의해 가로 샘플 가이드(60)의 회전 운동으로 변환된다. 구체적으로, 가로 방향 구동 블록(40)이 하강하면, 그에 따라 제1 가로 링크(50a)도 하강하고, 상기 제1 가로 링크(50a)의 다른 일단에 결합된 제2 가로 링크(50b)의 일단도 하강한다. 프레임에 레버(lever)의 형태로 장착된 제2 가로 링크(50b)의 일단이 하강하면, 상기 제2 가로 링크(50b)의 다른 일단 및 그에 결합된 샘플 가이드(60)는 샘플(5) 방향으로 회전하여, 가로 샘플 가이드(60)가 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시킨다. 따라서, 샘플 안착부(64) 아래쪽에 위치하여 수납되어 있던 가로 샘플 가이드(60)가 샘플 안착부(64) 방향으로 회전하여, 돌출하며 이동한다. 또한, 제3 가로 링크(50c)는 상기 제2 링크(50b)의 구동단과 평행하게 위치하므로, 샘플 가이드(60)가 제2 가로 링크(50b)에 대하여 자유롭게 회전하지 않고, 가로 샘플 가이드(60)가 일정한 각도로 샘플(5)에 접촉하도록 하는 역할을 한다. 따라서, 가로 샘플 가이드(60)가 샘플(5)에 접촉하는 면은 항상 샘플 안착부(64)와 수직 방향으로 위치하므로, 가로 샘플 가이드(60)가 샘플(5)의 측면을 안정적으로 지지한다. 바람직하게는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 가로 링크(50) 및 가로 샘플 가이드(60)는 가로 방향 구동 블록(40)에 대칭으로 설치되어, 한 쌍의 가로 샘플 가이드(60)가 항상 대칭으로 구동된다. The vertical movement of the horizontal driving block 40 is converted into a rotational movement of the horizontal sample guide 60 by the horizontal link 50. Specifically, when the horizontal driving block 40 descends, the first horizontal link 50a also descends accordingly, and one end of the second horizontal link 50b coupled to the other end of the first horizontal link 50a It also descends. When one end of the second transverse link 50b mounted in the form of a lever on the frame descends, the other end of the second transverse link 50b and the sample guide 60 coupled thereto are directed toward the sample 5 By rotating, the horizontal sample guide 60 pushes the sample 5 and places it on the sample seating part 64. Accordingly, the horizontal sample guide 60, which is located under the sample seating portion 64 and accommodated, rotates in the direction of the sample seating portion 64, protrudes and moves. In addition, since the third horizontal link 50c is located parallel to the driving end of the second link 50b, the sample guide 60 does not freely rotate with respect to the second horizontal link 50b, and the horizontal sample guide 60 ) Serves to contact the sample 5 at a certain angle. Therefore, since the surface of the horizontal sample guide 60 in contact with the sample 5 is always positioned in the vertical direction with the sample seating portion 64, the horizontal sample guide 60 stably supports the side surface of the sample 5 . Preferably, as shown in Fig. 3, the horizontal link 50 and the horizontal sample guide 60 are symmetrically installed on the horizontal driving block 40, so that a pair of horizontal sample guides 60 are always It is driven symmetrically.

도 4는 본 발명에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 세로 방향 고정 장치의 동작을 보여주는 도면이다. 도 4의 A에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 세로 샘플 가이드(90)도 가로 샘플 가이드(60)와 동일한 방식으로 작동한다. 먼저, 가로 방향 구동 블록(40)이 상부 방향으로 이동하면, 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되는 세로 방향 구동 블록(70)도 밀어 올려져, 세로 샘플 가이드(90)가 열려진 상태, 즉, 샘플 안착부(64)에 놓여진 샘플(5)을 세로 샘플 가이드(90)로 고정하지 않은 상태가 된다. 이 상태에서, 도 4의 B에 도시된 바와 같이, 가로 방향 구동 블록(40)이 아래 방향으로 이동하면, 세로 방향 구동 블록(70)도 자중 및/또는 탄성 부재(74)의 당기는 힘에 의해 아래 방향으로 이동한다. 세로 방향 구동 블록(70)의 상하 이동은 세로 링크(80)에 의해 세로 샘플 가이드(90)의 회전 운동으로 변환된다. 상기 제1, 제2 및 제3 세로 링크(80a, 80b, 80c)는 상기 제1, 제2 및 제3 가로 링크(50a, 50b, 50c)와 동일한 방식으로 구동되어, 세로 샘플 가이드(90)가 샘플(5)을 샘플 안착부(64)에 위치시킨다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 세로 링크(80) 및 세로 샘플 가이드(90)도 세로 방향 구동 블록(70)에 대칭으로 설치되어, 한 쌍의 세로 샘플 가이드(90)가 대칭으로 구동되는 것이 바람직하다. 4 is a view showing the operation of the vertical direction fixing device in the sample fixing device according to the present invention. As shown in Fig. 4A, in the sample holding device according to the present invention, the vertical sample guide 90 also operates in the same manner as the horizontal sample guide 60. First, when the horizontal driving block 40 moves upward, the vertical driving block 70 supported by the horizontal driving block 40 is also pushed up, so that the vertical sample guide 90 is open, that is, , The sample 5 placed on the sample receiving part 64 is not fixed with the vertical sample guide 90. In this state, as shown in FIG. 4B, when the horizontal driving block 40 moves downward, the vertical driving block 70 is also driven by its own weight and/or the pulling force of the elastic member 74. Move in the downward direction. The vertical movement of the vertical driving block 70 is converted into a rotational movement of the vertical sample guide 90 by the vertical link 80. The first, second and third vertical links 80a, 80b, 80c are driven in the same manner as the first, second and third horizontal links 50a, 50b, 50c, and the vertical sample guide 90 The sample (5) is placed on the sample seat (64). In addition, as shown in FIG. 4, the vertical link 80 and the vertical sample guide 90 are also symmetrically installed on the vertical driving block 70, so that a pair of vertical sample guides 90 are symmetrically driven. It is desirable to be.

상기 세로 방향 구동 블록(70)의 하강 이동에 의해, 상기 한 쌍의 세로 샘플 가이드(90)가 좁혀져 샘플(5)의 세로 방향 양 측면을 고정하면, 상기 한 쌍의 세로 샘플 가이드(90)는 더 이상 움직이지 않고, 세로 방향 구동 블록(70)의 하강도 정지한다. 상기 세로 샘플 가이드(90)에 의해 샘플(5)에 가해지는 힘(stroke)은 세로 방향 구동 블록(70)의 자중 및/또는 탄성 부재(74)의 당기는 힘에 의하여 발생하므로, 샘플(5)에 가해지는 힘을 사용자가 필요에 의해 설정할 수 있다. 사용자는 세로 샘플 가이드(90)가 샘플(5)을 소정의 힘으로 밀어, 샘플(5)이 더 이상 이동하지 않으면, 세로 방향 구동 블록(70)의 하강이 멈추도록, 세로 방향 구동 블록(70)의 자중 및/또는 탄성 부재(74)의 당기는 힘을 조절하여, 샘플(5)에 과도한 힘이 가해지지 않도록 함으로써, 샘플(5)의 휘어짐이나 파손을 방지할 수 있다. When the pair of vertical sample guides 90 are narrowed and both sides of the sample 5 in the vertical direction are fixed by the downward movement of the vertical driving block 70, the pair of vertical sample guides 90 It does not move any more, and the descending of the vertical drive block 70 is also stopped. Since the force (stroke) applied to the sample 5 by the vertical sample guide 90 is generated by the self weight of the longitudinal drive block 70 and/or the pulling force of the elastic member 74, the sample 5 The user can set the force applied to it as needed. When the vertical sample guide 90 pushes the sample 5 with a predetermined force and the sample 5 no longer moves, the vertical sample guide 90 stops the vertical direction driving block 70 from falling. ) By adjusting the self-weight and/or the pulling force of the elastic member 74, so that excessive force is not applied to the sample 5, it is possible to prevent the sample 5 from being warped or damaged.

도 4의 B에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 세로 샘플 가이드(90)가 샘플(5)의 세로 방향 양 측면을 고정하여 세로 방향 구동 블록(70)이 멈춘 후에도, 가로 방향 구동 블록(40)은 계속 하강하므로, 세로 방향 구동 블록(70)은 가로 방향 구동 블록(40)과 이격되고, 세로 방향 구동 블록(70) 및 가로 방향 구동 블록(40)은 각기 다른 스트로크로 구동된다. 따라서, 샘플(5)의 가로 및 세로 비율이 달라도, 별도의 조종없이, 샘플(5)을 가로 및 세로 방향에서 각각 밀어, 샘플 안착부(64)의 중심으로 보낼 수 있고, 중심으로 이동한 샘플(5)은 샘플 안착부(64)에 연결되어 있는 통상의 공기 흡입 수단, 예를 들면, 공기 흡입구(66)를 이용하여 고정시킬 수 있다. As shown in FIG. 4B, even after the vertical direction driving block 70 is stopped by a pair of vertical sample guides 90 fixing both sides of the sample 5 in the vertical direction, the horizontal driving block 40 Since is continuously lowered, the vertical driving block 70 is spaced apart from the horizontal driving block 40, and the vertical driving block 70 and the horizontal driving block 40 are driven with different strokes. Therefore, even if the horizontal and vertical ratios of the sample 5 are different, the sample 5 can be pushed in the horizontal and vertical directions, respectively, without additional manipulation, and sent to the center of the sample seat 64, and the sample moved to the center (5) can be fixed by using a conventional air intake means connected to the sample seat 64, for example, an air intake 66.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 고정 장치에 있어서, 한 쌍의 가로 샘플 가이드(60) 및 두 쌍의 세로 샘플 가이드(90)가 샘플(도시하지 않음)의 가로 및 세로 측면을 고정한 상태를 보여주는 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 필요에 따라, 하나의 가로 샘플 가이드(60) 양단에 2개의 가로 링크(50)을 설치하여, 가로 샘플 가이드(60)를 보다 안정적으로 구동시킬 수 있다. 또한, 두 쌍의 가로 샘플 가이드(60) 및 세로 샘플 가이드(90)를 각각 병렬로 배치하고, 가로 방향 구동 블록(40) 및 세로 방향 구동 블록(70)을 상하 이동시켜, 가로 샘플 가이드(60) 및 세로 샘플 가이드(90)를 구동시켜, 샘플(5)을 가로 및 세로의 4방향(X, -X, Y, -Y, X는 가로 방향, Y는 세로 방향)에서 동시에 고정시킬 수 있다.5 is a sample fixing device according to an embodiment of the present invention, in which a pair of horizontal sample guides 60 and two pairs of vertical sample guides 90 fix the horizontal and vertical sides of a sample (not shown). It is a diagram showing the state. As shown in FIG. 5, if necessary, two horizontal links 50 are installed at both ends of one horizontal sample guide 60, so that the horizontal sample guide 60 can be more stably driven. In addition, two pairs of horizontal sample guides 60 and vertical sample guides 90 are arranged in parallel, and the horizontal direction driving block 40 and the vertical direction driving block 70 are moved up and down, so that the horizontal sample guide 60 ) And vertical sample guide 90, the sample 5 can be simultaneously fixed in four horizontal and vertical directions (X, -X, Y, -Y, X are horizontal and Y are vertical) .

도 6는 샘플 고정 장치를 사용하여, 가로 및 세로 방향의 비율이 다른 샘플을 고정하는 경우를 보여주는 도면이다. 만일 가로 샘플 가이드(60)와 세로 샘플 가이드(90)가 서로 독립적으로 구동되지 않아 스트로크가 같다면, 도 6의 A에 도시된 바와 같이, 특정 샘플(5)의 크기에 맞추어, 가로 샘플 가이드(60)와 세로 샘플 가이드(90)의 위치를 조절하여 사용할 수 있다. 그러나, 이 경우, 샘플(5)의 가로 및 세로 방향의 비율이 달라지면, 도 6의 B에 도시된 바와 같이, 샘플(5)의 세로 방향은 세로 샘플 가이드(90)에 의해 고정되지만, 샘플(5)의 가로 방향은 가로 샘플 가이드(60)에 의해 고정되지 못할 수 있다. 반면, 본 발명의 샘플 고정 장치를 사용하면, 도 6의 C에 도시된 바와 같이, 가로 샘플 가이드(60)와 세로 샘플 가이드(90)가 독립적으로 구동되고, 샘플(5)의 가로 및 세로 방향의 비율이 달라지더라도, 샘플(5)의 크기에 맞게 가로 샘플 가이드(60)와 세로 샘플 가이드(90)가 각각 다른 스트로크로 움직여, 샘플(5)을 가로 및 세로 방향(4방향) 모두에서 안정적으로 고정시킬 수 있다. 6 is a diagram illustrating a case in which samples having different horizontal and vertical ratios are fixed using a sample fixing device. If the horizontal sample guide 60 and the vertical sample guide 90 are not driven independently from each other and thus have the same stroke, as shown in FIG. 6A, according to the size of a specific sample 5, the horizontal sample guide ( 60) and the vertical sample guide 90 can be used by adjusting the positions. However, in this case, if the ratio of the horizontal and vertical directions of the sample 5 is different, as shown in FIG. 6B, the vertical direction of the sample 5 is fixed by the vertical sample guide 90, but the sample ( The horizontal direction of 5) may not be fixed by the horizontal sample guide 60. On the other hand, when the sample fixing device of the present invention is used, as shown in FIG. 6C, the horizontal sample guide 60 and the vertical sample guide 90 are independently driven, and the horizontal and vertical directions of the sample 5 Even if the ratio of is different, the horizontal sample guide 60 and the vertical sample guide 90 move with different strokes to fit the size of the sample 5, thereby moving the sample 5 in both the horizontal and vertical directions (4 directions). It can be fixed stably.

본 발명의 샘플 고정 장치에 의하면, 크기, 가장자리 형상, 가로 및 세로 비율 등이 다른 여러 종류의 샘플(5)을, 2가지 이상의 방향에서 밀어 원하는 위치에 고정시킬 수 있다. 본 발명에 의하면, 샘플(5) 고정 위치를 일정하게 유지시킬 수 있으므로, 사용자의 부주의 등으로 인해 샘플(5) 고정 위치에 오차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 샘플 고정 장치는 하나의 구동 수단 만으로 가로 방향 구동 블록(40) 및 세로 방향 구동 블록(70)을 모두 구동시킬 수 있으므로, 장치의 구동 구조가 간단하고, 샘플의 크기 및 종류에 따라 각기 다른 구동 조건을 설정할 필요가 없다. 또한, 본 발명의 샘플 고정 장치는 샘플 안착부(64)의 원하는 위치에 샘플(5)을 위치시킨 후(도 5 참조), 샘플의 측정 시에는, 샘플 가이드(60, 90)가 장치 내부로 삽입될 수 있으므로(도 2 참조), 샘플(5)의 측정 시, 샘플(5)의 상부 또는 측면에 필터 등의 부가 장치를 장착하기 쉬운 장점이 있다.According to the sample fixing device of the present invention, various kinds of samples 5 having different sizes, edge shapes, width and height ratios, etc. can be pushed in two or more directions to be fixed at a desired position. According to the present invention, since the fixed position of the sample 5 can be kept constant, it is possible to prevent an error in the fixed position of the sample 5 due to carelessness of the user. Since the sample fixing device of the present invention can drive both the horizontal driving block 40 and the vertical driving block 70 with only one driving means, the driving structure of the device is simple, and each is There is no need to set other driving conditions. In addition, in the sample fixing device of the present invention, after placing the sample 5 at a desired position of the sample receiving part 64 (see FIG. 5), when measuring the sample, the sample guides 60 and 90 are moved inside the device. Since it can be inserted (refer to FIG. 2), when measuring the sample 5, there is an advantage in that it is easy to mount an additional device such as a filter on the top or side of the sample 5.

이상 예시적인 실시예들을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시예들로 한정되지 않는다. 하기 청구항들의 범위는 예시적인 실시예의 변형들, 등가의 구성들 및 기능들을 모두 포괄하도록 해석되어야 한다.Although the present invention has been described with reference to exemplary embodiments above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. The scope of the following claims is to be construed to cover all variations, equivalent configurations and functions of the exemplary embodiments.

Claims (7)

구동부(26)에 의하여 구동되며, 상하 왕복 이동 가능하도록 프레임(18)에 장착되어 있는 가로 방향 구동 블록(40);
상기 가로 방향 구동 블록(40)에 일단이 연결되고, 상기 가로 방향 구동 블록(40)의 왕복 이동에 의해 다른 일단이 회전하는 가로 링크(50);
상기 가로 링크(50)의 다른 일단에 연결되어, 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키는 가로 샘플 가이드(60);
가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되어 가로 방향 구동 블록(40)이 상부 방향으로 이동하면 함께 상부 방향으로 이동하며, 가로 방향 구동 블록(40)이 하부 방향으로 이동하면 가로 방향 구동 블록(40)과는 별개로 자유 하강하는 세로 방향 구동 블록(70);
상기 세로 방향 구동 블록(70)에 일단이 연결되고, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 왕복 이동에 의해 다른 일단이 회전하는 세로 링크(80); 및
상기 세로 링크(80)의 다른 일단에 연결되어, 샘플(5)을 밀어 샘플 안착부(64)에 위치시키는 세로 샘플 가이드(90)를 포함하는 샘플 고정 장치.A horizontal driving block 40 that is driven by the driving unit 26 and mounted on the frame 18 so as to move up and down;
A horizontal link 50 having one end connected to the horizontal driving block 40 and rotating the other end by reciprocating movement of the horizontal driving block 40;
A horizontal sample guide 60 connected to the other end of the horizontal link 50 to push the sample 5 and place it on the sample seat 64;
It is supported by the horizontal driving block 40 so that when the horizontal driving block 40 moves in the upper direction, it moves upward together, and when the horizontal driving block 40 moves in the lower direction, the horizontal driving block 40 ) And freely descending vertical direction drive block 70;
A vertical link 80 having one end connected to the vertical driving block 70 and rotating the other end by reciprocating movement of the vertical driving block 70; And
A sample holding device comprising a vertical sample guide (90) connected to the other end of the vertical link (80), pushing the sample (5) and placing it on the sample receiving part (64). 제1항에 있어서, 상기 가로 방향 구동 블록(40)이 아래 방향으로 이동하면, 상기 세로 방향 구동 블록(70)은 가로 방향 구동 블록(40)에 의해 지지되지 않고, 자중에 의해 아래 방향으로 이동하는 것인, 샘플 고정 장치.The method of claim 1, wherein when the horizontal driving block 40 moves downward, the vertical driving block 70 is not supported by the horizontal driving block 40 and moves downward by its own weight. That is, the sample holding device. 제1항에 있어서, 일단이 상기 세로 방향 구동 블록(70)에 결합되고, 다른 일단이 프레임(18)에 결합되어, 상기 세로 방향 구동 블록(70)을 아래 방향으로 당김으로써, 상기 세로 방향 구동 블록(70)의 하강 구동력을 생성하는 탄성 부재(74)를 더욱 포함하는, 샘플 고정 장치.According to claim 1, One end is coupled to the vertical direction driving block (70), the other end is coupled to the frame (18), by pulling the vertical direction driving block (70) downward, the longitudinal driving The sample holding device further comprising an elastic member 74 for generating a downward driving force of the block 70. 제3항에 있어서, 상기 탄성 부재(74)는 인장 스프링인 것인, 샘플 고정 장치.4. The sample holding device according to claim 3, wherein the elastic member (74) is a tension spring. 제1항에 있어서, 상기 가로 방향 구동 블록(40) 및 상기 세로 방향 구동 블록(70)은 프레임(18)에 상하 방향으로 설치되어 있는 가이드 샤프트(46)에 장착되어, 상기 가이드 샤프트(46)를 따라, 상하 방향으로 구동되는 것인, 샘플 고정 장치.The method of claim 1, wherein the transverse drive block (40) and the longitudinal drive block (70) are mounted on a guide shaft (46) installed on a frame (18) in a vertical direction, and the guide shaft (46) Along, the sample holding device that is driven in the vertical direction. 제1항에 있어서, 상기 가로 링크(50)는 가로 방향 구동 블록(40)에 일단이 고정되는 제1 가로 링크(50a), 및 프레임(18)에 레버의 형태로 장착되며, 일단은 상기 제1 가로 링크(50a)의 다른 일단에 연결되고, 다른 일단은 상기 가로 샘플 가이드(60)에 연결되는 제2 가로 링크(50b)를 포함하는 것인, 샘플 고정 장치.According to claim 1, The horizontal link (50) is mounted in the form of a lever on the first horizontal link (50a) and the frame (18), one end is fixed to the horizontal driving block (40), one end of the first A sample holding device comprising a second horizontal link (50b) connected to the other end of the first horizontal link (50a), the other end connected to the horizontal sample guide (60). 제6항에 있어서, 상기 가로 링크(50)는 상기 제2 가로 링크(50b)의 구동단과 평행하게 위치하며, 일단은 프레임(18)에 결합되고 다른 일단은 가로 샘플 가이드(60)에 결합되는 제3 가로 링크(50c)를 더욱 포함하는 것인, 샘플 고정 장치.The method of claim 6, wherein the transverse link (50) is positioned parallel to the driving end of the second transverse link (50b), and one end is coupled to the frame (18) and the other end is coupled to the transverse sample guide (60). The sample holding device further comprising a third transverse link (50c).
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100002523A (en) * 2008-06-30 2010-01-07 세메스 주식회사 Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same
CN203045263U (en) * 2013-01-16 2013-07-10 常州信息职业技术学院 Hydraulic clamping mechanism
KR20140091453A (en) * 2013-01-11 2014-07-21 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 Substrate gripping apparatus
KR20150056713A (en) 2013-11-15 2015-05-27 삼성전자주식회사 Non-destructive inspection system for display panel and method, and non-destructive inspection apparatus therefor
KR20180005953A (en) * 2016-07-07 2018-01-17 (주)주강로보테크 The gripping device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100002523A (en) * 2008-06-30 2010-01-07 세메스 주식회사 Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same
KR20140091453A (en) * 2013-01-11 2014-07-21 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 Substrate gripping apparatus
CN203045263U (en) * 2013-01-16 2013-07-10 常州信息职业技术学院 Hydraulic clamping mechanism
KR20150056713A (en) 2013-11-15 2015-05-27 삼성전자주식회사 Non-destructive inspection system for display panel and method, and non-destructive inspection apparatus therefor
KR20180005953A (en) * 2016-07-07 2018-01-17 (주)주강로보테크 The gripping device

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