KR102154936B1 - Adhesive Chuck Structure For Efficient Change - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 기존 점착척에 있어 수명이 다한 점착제를 효율적으로 교체하기위한 최적의 구조를 가지는 점착척을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적에 따라 본 발명은, 기존의 점착제를 일일이 제거하고 새로운 점착제를 도포 내지 부착하여 주는 작업의 생산성이 떨어지는 점을 개선하기 위해 점착제가 도포되어있어 모듈화된 척킹 모듈을 척 플레이트에 조립하여 사용하고 점착제가 소진되거나 점착력이 약화되어 점착제를 교체하여야 하는 시기가 되면 척킹 모듈 자체를 교환하여 주는 방식을 택하였다.
척킹 모듈 자체를 교체 조립하는 방식은 볼트 이용, 자석, 또는 기구적인 조립, 이 세 가지 방식을 제안하였다. It is an object of the present invention to provide an adhesive chuck having an optimum structure for efficiently replacing an adhesive that has reached the end of its life in the existing adhesive chuck.
In accordance with the above object, the present invention is used by assembling a modularized chucking module to a chuck plate because an adhesive is applied to improve productivity of the work of removing the existing adhesive one by one and applying or attaching a new adhesive. The chucking module itself was replaced when the pressure-sensitive adhesive was exhausted or the adhesive strength was weakened and the pressure-sensitive adhesive had to be replaced.
Three methods of replacing and assembling the chucking module itself are proposed: using bolts, magnets, or mechanical assembly.

Description

효율적인 점착제 교체를 위한 점착 척 구조{Adhesive Chuck Structure For Efficient Change}Adhesive Chuck Structure For Efficient Change {Adhesive Chuck Structure For Efficient Change}

본 발명은 대면적 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 점착척에 관한 것으로, 특히, 점착제를 효율적으로 교체하기 위한 방안에 대한 것이다.The present invention relates to an adhesive chuck used in a large-area display manufacturing process, and in particular, to a method for efficiently replacing an adhesive.

디스플레이 산업에서 기판을 운송하기 위해 다양한 방식이 사용되고 있다. 척 혹은 트레이 등이 있으며 이 중 척은 점착 척, 마그넷 척, 정전기 척 등으로 분류된다.Various methods are used to transport substrates in the display industry. There are chucks or trays, among which chucks are classified into adhesive chucks, magnet chucks, and electrostatic chucks.

대면적 유리 기판을 생산하기 위해 다양한 운송방식 중 현재 가장 양산화된 기술은 점착 척으로써, 점착 척의 경우 본 출원인(야스)에 의해 출원 등록되어 있다(대한민국 등록 특허 제 10-0541856호 참조).Among the various transportation methods to produce large-area glass substrates, the currently most mass-produced technology is an adhesive chuck, and in the case of an adhesive chuck, an application has been registered by the present applicant (YAS) (refer to Korean Patent Registration No. 10-0541856).

종래 출원된 특허인 기판 홀딩 장치의 경우, 기판에 진공 흡입력을 이용하여 기판과 점착 척 상면의 점착제와 결합하는 구조에 대해 설명하고 있다. 이렇게 기판과 점착제가 결합 되었다가 디척킹(De-chucking) 과정에서 분리되게 되는데, 반복적인 결합-분리 과정을 거쳐 점착제의 수명이 점차적으로 줄어들게 된다. 수명이 다한 점착제는 기판 이송 과정에서 점착척으로부터 기판이 Drop 되는 주요 원인으로 작용하게 되는데 이러한 기판 Drop은 Panel의 생산 line을 일시적으로 중단 시켜 많은 생산 loss를 발생 시킨다.In the case of a conventionally applied patent, a substrate holding device, a structure in which the substrate and the adhesive on the upper surface of the adhesion chuck are bonded by using a vacuum suction force on the substrate is described. In this way, the substrate and the adhesive are bonded and then separated in the de-chucking process, and the life of the adhesive is gradually reduced through repeated bonding-separating processes. The end-of-life adhesive acts as a major cause of the substrate being dropped from the adhesive chuck in the process of transferring the substrate. Such substrate drop causes a lot of production loss by temporarily stopping the production line of the panel.

이로 인하여 Panel 생산 과정에서 일정 횟수 이상 사용된 점착제를 주기적으로 교체해주게 되는데 Panel의 생산 과정에서 일부 점착척을 빼내어 점착제를 교체해야 하기 때문에 단시간 내에 많은 수량의 점착제 교체가 요구되고 있다. 단시간 내에 많은 수량의 점착제를 현장에서 제거하고 다시 붙이는 과정에서 작업자 실수 등으로 인해 점착제의 위치가 바뀌거나 보호필름을 제거하지 않는 등의 사고 사례가 발생하기 쉽다. 이에 따라 효율적으로 점착제를 교체할 수 있는 방법의 지속적인 요구가 있으며 이를 해결할 수 있는 방안 필요한 실정이다.For this reason, the adhesive that has been used more than a certain number of times during the panel production process is periodically replaced. Since the adhesive must be replaced by removing some adhesive chuck during the panel production process, a large amount of adhesive replacement is required within a short time. In the process of removing and re-applying a large amount of adhesive in a short time, accidents such as changing the position of the adhesive or not removing the protective film due to operator error are likely to occur. Accordingly, there is a continuous demand for a method that can efficiently replace the adhesive, and a solution to this problem is needed.

본 발명의 목적은 기존 점착척에 있어 수명이 다한 점착제를 효율적으로 교체하기위한 최적의 구조를 가지는 점착척을 제공하고자 하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an adhesive chuck having an optimum structure for efficiently replacing an adhesive that has reached the end of its life in the existing adhesive chuck.

상기 목적에 따라 본 발명은 효율적인 점착제 교체가 가능한 척을 구현하기 위해 다음과 같이 구성하였다.In accordance with the above object, the present invention was constructed as follows in order to implement a chuck capable of efficient adhesive replacement.

즉, 본 발명은,That is, the present invention,

기판을 척킹하는 척킹 부재로서 점착제를 이용하는 점착 척에 있어서,In the adhesive chuck using an adhesive as a chucking member for chucking a substrate,

기판이 척킹되는 척 플레이트; 및A chuck plate on which the substrate is chucked; And

상기 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리될 수 있으며, 점착제가 부착된 선형의 교체식 척킹 모듈;을 포함하고,Including; a linear replacement chucking module that can be assembled and separated on the chuck plate and attached with an adhesive,

상기 척 플레이트는 핀이 관통할 수 있는 핀홀을 구비하고,The chuck plate has a pin hole through which a pin can pass,

상기 교체식 척킹 모듈은 상기 척 플레이트와 볼트를 이용하여 조립되고 분리 및 교체될 수 있으며, 척 플레이트에 조립되었을 때 상기 핀이 관통할 수 있는 핀홀을 척 플레이트의 핀홀과 연통되는 자리에 구비하는 것을 특징으로 하는 교체식 점착 척을 제공한다.The replaceable chucking module may be assembled, separated, and replaced using the chuck plate and bolt, and when assembled to the chuck plate, the pin hole through which the pin can penetrate is provided at a position in communication with the pin hole of the chuck plate. It provides a replaceable adhesive chuck characterized by.

또한, Also,

기판을 척킹하는 척킹 부재로서 점착제를 이용하는 점착 척에 있어서,In the adhesive chuck using an adhesive as a chucking member for chucking a substrate,

기판이 척킹되는 척 플레이트; 및A chuck plate on which the substrate is chucked; And

상기 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리될 수 있으며, 점착제가 부착된 선형의 교체식 척킹 모듈;을 포함하고,Including; a linear replacement chucking module that can be assembled and separated on the chuck plate and attached with an adhesive,

상기 척 플레이트는,The chuck plate,

핀이 관통할 수 있는 핀홀; 및 교체식 척킹 모듈과 부착될 수 있는 자력을 제공할 자석을 구비하고,A pin hole through which a pin can pass; And a magnet to provide a magnetic force that can be attached to the replaceable chucking module,

상기 교체식 척킹 모듈은,The replaceable chucking module,

자석과 핀홀을 구비하되,Equipped with magnets and pinholes,

상기 자석은 점착제가 부착된 이면에 배치되고, 상기 척 플레이트에 구비된 자석과 반대 극성으로 배열되어 서로 인력을 제공하도록 구비하며, The magnet is disposed on the back surface to which the pressure-sensitive adhesive is attached, and is arranged in a polarity opposite to that of the magnet provided on the chuck plate to provide attraction to each other,

상기 핀홀은 척 플레이트에 조립되었을 때 상기 척 플레이트의 핀홀과 연통되는 자리에 구비하며,The pinhole is provided at a position in communication with the pinhole of the chuck plate when assembled to the chuck plate,

상기 자석의 자력에 의해 상기 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리 교체될 수 있는 것을 특징으로 하는 교체식 점착 척을 제공한다.It provides a replaceable adhesive chuck, characterized in that the assembly is assembled to the chuck plate by the magnetic force of the magnet and can be separated and replaced.

또한, Also,

기판을 척킹하는 척킹 부재로서 점착제를 이용하는 점착 척에 있어서,In the adhesive chuck using an adhesive as a chucking member for chucking a substrate,

기판이 척킹되는 척 플레이트; 및A chuck plate on which the substrate is chucked; And

상기 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리될 수 있으며, 점착제가 부착된 선형의 교체식 척킹 모듈;을 포함하고,Including; a linear replacement chucking module that can be assembled and separated on the chuck plate and attached with an adhesive,

상기 척 플레이트는,The chuck plate,

핀이 관통할 수 있는 핀홀; 및 교체식 척킹 모듈이 슬라이딩 되어 안착될 수 있는 홈을 구비하되, 상기 홈은 일정 폭으로 깊이를 갖고 형성되다가 하단에서 홈의 폭이 계단식으로 넓어져 가로방향의 제2의 홈을 형성하며,A pin hole through which a pin can pass; And a groove in which the replaceable chucking module is slid and seated, wherein the groove is formed to have a depth with a predetermined width, and the width of the groove is expanded stepwise at the bottom to form a second groove in the horizontal direction,

상기 선형의 교체식 척킹 모듈은,The linear interchangeable chucking module,

상기 척 플레이트에 형성된 홈에 슬리이딩식으로 조립 및 분리 교체될 수 있도록 일정 폭으로 내려가다 하단부에서 단턱부를 갖도록 형성된 막대형 몸체로 이루어지고, It is made of a rod-shaped body formed to have a stepped portion at the lower end of a predetermined width so as to be assembled and separated and replaced in a sliding manner in the groove formed in the chuck plate,

상기 척 플레이트에 조립되었을 때 상기 척 플레이트의 핀홀과 연통되는 자리에 핀홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 교체식 점착 척을 제공한다.When assembled to the chuck plate, it provides a replaceable adhesive chuck, characterized in that a pinhole is provided at a position in communication with the pinhole of the chuck plate.

본 발명에 따르면, 점착 척 사용에 있어서, 점착제를 교체해야 할 경우, 점착제를 일일이 제거하고 새로 부착하지 않고 모듈화된 처커를 척 플레이트에 조립하여 사용한 후, 분리 교체할 수 있어 작업의 효율을 크게 향상시킬 수 있다. According to the present invention, in the use of an adhesive chuck, when the adhesive needs to be replaced, the adhesive can be removed one by one and a modularized chucker can be assembled and used on the chuck plate without a new attachment, and then separated and replaced, greatly improving work efficiency I can make it.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 보여주는 단면도들로 볼트를 이용하여 점착제가 부착된 교체식 척킹 모듈을 교체하는 것을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주며, 자석을 이용하여 점착제가 부착된 교체식 척킹 모듈을 교체하는 것을 보여준다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주며, 점착제가 부착된 교체식 척킹 모듈이 척 플레이트에 슬라이딩 식으로 조립되고 암수 조립부에 의해 개개의 점착 척 부재가 안착되어 교체되는 것을 보여준다.1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention showing the replacement of the adhesive chucking module is attached using a bolt.
Figure 2 shows another embodiment of the present invention, shows that the replacement of the adhesive chucking module is attached using a magnet.
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention, and shows that the replaceable chucking module to which the adhesive is attached is slidably assembled to the chuck plate, and individual adhesive chuck members are seated and replaced by the male and female assembly units.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에서는 기존의 점착제를 일일이 제거하고 새로운 점착제를 도포 내지 부착하여 주는 작업의 생산성이 떨어지는 점을 개선하기 위해 점착제가 도포되어있어 모듈화된 교체식 척킹 모듈을 척 플레이트에 조립하여 사용하고 점착제가 소진되거나 점착력이 약화되어 점착제를 교체하여야 하는 시기가 되면 교체식 척킹 모듈 자체를 교환하여 주는 방식을 택하였다. In the present invention, in order to improve the productivity of the work of removing the existing adhesive one by one and applying or attaching a new adhesive, an adhesive is applied so that a modular replaceable chucking module is assembled to the chuck plate and the adhesive is exhausted. Or, when the time came to replace the adhesive due to weakened adhesive strength, the replacement chucking module itself was replaced.

교체식 척킹 모듈 자체를 교체 조립하는 방식은 다음과 같은 세 가지를 제안한다. We propose the following three ways to replace and assemble the replaceable chucking module itself.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 보여주는 단면도들로 볼트를 이용하여 점착제를 탑재한 교체식 척킹 모듈을 교체하는 것을 나타낸다.1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, showing replacement of an adhesive-mounted chucking module using a bolt.

본 실시예에서는 볼트(Bolt)를 이용하여 척킹 모듈을 조립한다. In this embodiment, the chucking module is assembled using bolts.

교체식 척킹 모듈은 막대와 같은 선형 부재 위에 점착제(200)가 소정 간격으로 도포되어 있으며, 이를 볼트 결합형 척커(300)로 부르기로 한다. 상기 볼트 결합형 척커(300)에 배열된 점착제(200)들은 척 플레이트(100)에 볼트(301)로 조립되며, 이와 같이 척 플레이트(100)에 조립이 완료되면, 척 플레이트(100) 상에 본래 배열되었던 점착제들과 같은 위치에 새로운 점착제(200)들이 배열되도록 점착제(200)들의 간격이 조절되어있다. 또한, 선형의 척커는 단지 한 줄로 배열된 점착제들을 구비할 필요는 없고 두 줄 이상 점착제들이 배열되어 있을 수 있다. In the replaceable chucking module, an adhesive 200 is applied at predetermined intervals on a linear member such as a rod, and this will be referred to as a bolt-coupled chucker 300. The adhesive 200 arranged on the bolt-coupled chucker 300 are assembled with bolts 301 on the chuck plate 100, and when the assembly is completed on the chuck plate 100, on the chuck plate 100 The spacing of the pressure-sensitive adhesives 200 is adjusted so that the new pressure-sensitive adhesives 200 are arranged at the same position as the originally arranged adhesives. In addition, the linear chucker does not have to have adhesives arranged in only one row, and two or more adhesives may be arranged.

볼트(301)로 상기 선형의 볼트 결합형 척커(300)를 척 플레이트(100)에 조립하기 쉽도록 핀홀(Pin hole)이 위치하고 있다. 상기 핀홀에는 기판 로딩 또는 척/디척을 위해 로딩 핀 또는 디척 핀이 관통할 수 있다. 척 플레이트(Chuck plate)에도 조립시 상기 볼트 결합형 척커(300)의 핀홀에 상응하는 핀홀이 형성되어 있다. A pin hole is positioned so that it is easy to assemble the linear bolt-coupled chucker 300 to the chuck plate 100 with the bolt 301. A loading pin or a dechuck pin may pass through the pinhole for loading a substrate or chuck/dechuck. When assembling the chuck plate, a pinhole corresponding to the pinhole of the bolt-coupled chucker 300 is formed.

또한, 척 플레이트에는 상기 선형의 척커가 조립될 수 있는 선형의 홈(103)이 형성되어 있다. 상기 홈(103)에 상기 볼트 결합형 척커(300)가 안착되고 볼트를 이용하여 상기 홈(103)의 배면부에서 척커를 척 플레이트에 고정한다. 그러나 척커(300)의 상부에서 볼트(Bolt)를 이용하여 척 플레이트에 고정할 수도 있다. 점착제보다 더 낮은 높이로 후퇴된 자리에 볼트가 고정될 수 있게 하면, 척커 상부에서 볼트를 체결할 수 있기 때문이다. In addition, a linear groove 103 into which the linear chucker can be assembled is formed in the chuck plate. The bolt-coupled chucker 300 is seated in the groove 103, and the chucker is fixed to the chuck plate at the rear portion of the groove 103 using a bolt. However, it may be fixed to the chuck plate by using a bolt at the top of the chucker 300. This is because if the bolt can be fixed in the retracted position to a lower height than the adhesive, the bolt can be fastened from the top of the chucker.

경우에 따라서는 척 플레이트 전면에 해당하는 하나의 척커가 마련되어 척 플레이트에 조립식으로 조립 및 분리 교체 될 수 있다. 이 경우 상기 홈(103)은 하나의 오목부이거나 없을 수도 있다. In some cases, one chucker corresponding to the front surface of the chuck plate may be provided to be assembled to the chuck plate, separated and replaced. In this case, the groove 103 may or may not have a single recess.

상기 볼트 결합형 척커에는 사전에 미리 점착제가 도포되어 있으므로 작업자는 점착제 제거 작업과 새로운 점착제 도포 작업 없이 준비된 볼트 결합형 척커만 교체하면 된다. Since the adhesive is previously applied to the bolted chucker, the operator only needs to replace the prepared bolted chucker without removing the adhesive and applying a new adhesive.

따라서 종래 방식에 비해 점착제 교체 작업의 생산성이 크게 향상된다. Therefore, the productivity of the pressure-sensitive adhesive replacement operation is greatly improved compared to the conventional method.

도 2는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주며, 자석을 이용하여 교체식 척킹 모듈을 교체하는 것을 보여준다.Figure 2 shows another embodiment of the present invention, showing the replacement of the replaceable chucking module using a magnet.

도 2에 나와있는 척커는 자석(Magnet) 부착형 척커(400) 이다. 상기 자석(Magnet) 부착형 척커(400) 역시 선형 부재이고 상면에는 점착제(200)가 소정 간격으로 배열되어 있고, 배면에는 척 플레이트(100)에의 조립을 위한 부재로서 자석(401)이 소정 간격으로 배열되어 있다. 점착제는 척커 상부 전면에 도포된 상태일 수도 있다. The chucker shown in Figure 2 is a magnet (Magnet) attached chucker 400. The magnet-attached chuck 400 is also a linear member, and the adhesive 200 is arranged at predetermined intervals on the upper surface, and the magnet 401 is a member for assembly to the chuck plate 100 at predetermined intervals on the rear surface. Are arranged. The adhesive may be in a state applied to the entire upper surface of the chucker.

또한, 척 플레이트(100)에도 자석이 배열되며, 상기 자석(Magnet) 부착형 척커(400)에 배열된 자석(401)과 서로 부착될 수 있도록 척커(400)의 자석(401)들이 유지하는 간격을 그대로 유지하며 배열된다. 이들은 서로 반대 극성을 가지고 마주하게 되어 조립시 자력으로 척커(400)가 척 플레이트(100)에 부착된다. 척 플레이트에는 선형의 자석(Magnet) 부착형 척커(400)가 조립될 수 있는 선형의 홈(103)이 형성되고 자석은 상기 홈(103)에 배치된다. 경우에 따라 척커(400)는 척 플레이트 전면을 덮는 크기일 수 있고, 이러한 경우 홈은 하나의 거대한 오목부이거나 없을 수도 있다. In addition, a magnet is also arranged in the chuck plate 100, and the distance maintained by the magnets 401 of the chucker 400 so that they can be attached to each other with the magnets 401 arranged in the magnet-attached chucker 400 It is arranged while maintaining the same. They face each other with opposite polarities so that the chucker 400 is attached to the chuck plate 100 by magnetic force upon assembly. A linear groove 103 into which a linear magnet-attached chuck 400 can be assembled is formed in the chuck plate, and the magnet is disposed in the groove 103. In some cases, the chucker 400 may have a size covering the entire surface of the chuck plate, and in this case, the groove may or may not be a single large recess.

또한, 기판 로딩과 디척킹에 이용될 로딩핀이나 디척 핀이 관통될 수 있는 핀홀이 상기 척 플레이트(100)와 척커(400)에 형성되며, 서로 조립되었을 때 상기 핀홀은 연통되는 위치에 형성된다. 핀홀은 도 2에 도시하지 않았지만 충분히 예측될 수 있다. In addition, a loading pin to be used for loading and dechucking a substrate or a pinhole through which the dechuck pin can be penetrated are formed in the chuck plate 100 and the chucker 400, and when assembled with each other, the pinhole is formed at a position where they communicate with each other. . The pinhole is not shown in FIG. 2 but can be sufficiently predicted.

척 플레이트와 척커의 조립의 안정성을 위해, 충분한 수량과 강도의 자석(401)이 배치되며, 기판 디척킹 과정에서 척 플레이트와 척커가 분리되지 않도록 결합을 견고히 해야 한다. For the stability of the assembly of the chuck plate and the chucker, magnets 401 of sufficient quantity and strength are disposed, and the chuck plate and the chucker must be firmly coupled so that they are not separated during the substrate dechucking process.

상기와 같은 경우에도 점착제의 제거, 도포와 같은 작업 없이 척커만을 교체하는 것으로 충분하며 자석의 자력에 의해 조립되므로 작업이 매우 수월하고 생산성이 매우 향상된다. Even in the above case, it is sufficient to replace only the chucker without removing and applying the adhesive. Since it is assembled by the magnetic force of the magnet, the operation is very easy and productivity is greatly improved.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주며, 점착제가 부착된 교체식 척킹 모듈이 척 플레이트에 슬라이딩 식으로 조립되고 암수 조립부에 의해 개개의 점착 척 부재가 안착되어 교체되는 것을 보여준다. FIG. 3 shows another embodiment of the present invention, and shows that the replaceable chucking module to which the adhesive is attached is slidably assembled on the chuck plate, and individual adhesive chuck members are seated and replaced by the male and female assembly units.

즉, 점착제(200)가 소정 간격으로 부착되어 있는 선형의 슬라이드 결합형 척커(500)를 척 플레이트(100)에 형성된 홈(150)을 통해 밀어넣으면 슬라이딩되어 척 플레이트(100)에 안착된다. 척 플레이트(100)에는 선형의 슬라이드 결합형 척커(500)가 조립될 수 있는 선형의 홈(150)이 형성되어 있으며, 상기 홈(150)은 일정 폭으로 깊이를 갖고 형성되다가 하단(점착제(200)가 있는 곳을 상단으로 봄)에서 홈의 폭이 계단식으로 넓어져 척 플레이트 안쪽으로 후퇴되어 제2의 홈(155)을 수평방향으로 형성하여 슬라이드 결합형 척커(500)가 슬라이딩으로 조립된 후 수직 방향으로 척커(500)를 고정되게 한다. 수평방향으로 형성된 제2의 홈은 슬라이드 결합형 척커(500)를 중력과 같은 수직력에 대해 지지하여 준다. That is, when the linear slide-coupled chucker 500 to which the adhesive 200 is attached at predetermined intervals is pushed through the groove 150 formed in the chuck plate 100, it slides and is seated on the chuck plate 100. The chuck plate 100 has a linear groove 150 in which a linear slide-coupled chucker 500 can be assembled, and the groove 150 is formed to have a depth with a predetermined width and then at the lower end (adhesive 200 ), the width of the groove widens in a stepwise manner and retreats to the inside of the chuck plate to form a second groove 155 in the horizontal direction, and the slide-coupled chucker 500 is assembled by sliding. The chucker 500 is fixed in the vertical direction. The second groove formed in the horizontal direction supports the slide-coupled chucker 500 against a vertical force such as gravity.

슬라이드 결합형 척커(500)의 몸체 형상은 홈(150)과 제2의 홈(150)에 조립될 수 있도록 일정 폭으로 내려가다 하단부에서 단턱부를 갖도록 형성된다. 이에 따라 척 플레이트(100)가 플립되어 점착제(200) 부분이 아래를 향하게 되어도 슬라이드 결합형 척커(500)는 상기 홈(150)의 하단에 형성된 제2의 홈(155)에 걸려 척 플레이트에서 떨어지지 않는다. 이때 척커(500)와 척 플레이트(100)는 서로 분리되지 않을 만큼의 충분한 면적을 맞대고 있어야 한다. The body shape of the slide-coupled chucker 500 is formed to have a stepped portion at the lower end of the body shape descending to a predetermined width so that it can be assembled into the groove 150 and the second groove 150. Accordingly, even if the chuck plate 100 is flipped so that the adhesive 200 is faced downward, the slide-coupled chucker 500 is caught in the second groove 155 formed at the lower end of the groove 150 and is not separated from the chuck plate. Does not. At this time, the chucker 500 and the chuck plate 100 must face a sufficient area not to be separated from each other.

상기 척커(500)를 적용함으로써 점착제(200)를 교체해야 할 시기가 되면 척커(500)를 슬라이딩 식으로 척 플레이트에서 분리제거한 후 새로운 점착제가 부착된 척커(500)를 슬라이딩식으로 척 플레이트에 넣어주는 것으로 교체가 완료되어 교체 공정이 매우 간소해진다. When it is time to replace the adhesive 200 by applying the chucker 500, the chucker 500 is separated and removed from the chuck plate in a sliding manner, and then the chucker 500 to which the new adhesive is attached is inserted into the chuck plate in a sliding manner. The replacement is completed by giving, making the replacement process very simple.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by what is described in the claims, and that a person having ordinary knowledge in the field of the present invention can make various modifications and adaptations within the scope of the rights described in the claims. It is self-evident.

100: 척 플레이트
150: 홈
155: 제2의 홈
200: 점착제
300: 볼트 결합형 척커
105, 301: 볼트
400: 자석 결합형 척커
401: 자석
500: 슬라이드 결합형 척커100: chuck plate
150: home
155: second groove
200: adhesive
300: bolt-on chucker
105, 301: bolt
400: magnetically coupled chucker
401: magnet
500: slide-coupled chucker

Claims (3)

기판이 척킹되는 척 플레이트에 볼트를 이용하여 조립되고 분리 및 교체될 수 있는 조립식의 척커로서,
막대형 선형 부재;
상기 막대형 선형 부재 상에 소정 간격으로 도포되어 한 줄 이상의 점착제 줄을 이루도록 배열된 점착제; 및
상기 막대형 선형 부재를 척 플레이트에 조립, 분리 및 교체를 위한 볼트;를 구비한 막대형의 볼트 결합형 척커.As an assembly type chucker that can be assembled, separated, and replaced using bolts on a chuck plate on which a substrate is chucked,
Rod-shaped linear member;
A pressure-sensitive adhesive applied on the rod-shaped linear member at predetermined intervals and arranged to form one or more rows of pressure-sensitive adhesives; And
A rod-shaped bolt-coupled chuck with a bolt for assembling, separating and replacing the rod-shaped linear member on a chuck plate. 기판이 척킹되는 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리될 수 있으며, 점착제가 한줄 이상 부착 배열된 막대형의 자석(Magnet) 부착형 척커로서,
상기 막대형의 자석(Magnet) 부착형 척커는,
막대형 선형 부재;
상기 막대형 선형 부재 상에 소정 간격으로 도포되어 한 줄 이상의 점착제 줄을 이루도록 배열된 점착제; 및
점착제가 부착된 이면에 배치된 자석;을 구비하되,
상기 자석은 점착제가 부착된 이면에 배치되고, 상기 척 플레이트에 구비된 자석과 반대 극성으로 배열되어 서로 인력을 제공하도록 구비하며,
상기 자석의 자력에 의해 상기 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리 교체될 수 있는 것을 특징으로 하는 자석(Magnet) 부착형 척커.As a rod-shaped magnet-attached chuck that can be assembled and separated on a chuck plate on which a substrate is chucked, and an adhesive is attached to one or more rows,
The rod-shaped magnet (Magnet) attachment type chucker,
Rod-shaped linear member;
A pressure-sensitive adhesive applied on the rod-shaped linear member at predetermined intervals and arranged to form one or more rows of pressure-sensitive adhesives; And
A magnet disposed on the back surface to which the adhesive is attached; but,
The magnet is disposed on the back surface to which the pressure-sensitive adhesive is attached, and is arranged in a polarity opposite to that of the magnet provided on the chuck plate to provide attraction to each other,
Magnet (Magnet) attachment type chucker, characterized in that it can be assembled to the chuck plate by the magnetic force of the magnet and separated and replaced. 척 플레이트에 조립식으로 조립되고 분리될 수 있으며, 점착제가 한줄 이상 부착 배열된 막대형의 슬라이드 결합형 척커로서,
막대형 선형 부재;
상기 막대형 선형 부재 상에 소정 간격으로 도포되어 한 줄 이상의 점착제 줄을 이루도록 배열된 점착제; 및
척 플레이트에 형성된 홈에 슬라이딩식으로 조립 및 분리 교체될 수 있고 안착될 수 있도록, 척 플레이트에 형성된 홈 형상에 맞추어 상기 막대형 선형 부재 몸체에 형성된 단턱부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 슬라이드 결합형 척커.




It is a rod-shaped slide-coupled chuck that can be assembled and separated in a prefabricated manner on the chuck plate, and one or more lines of adhesive are attached and arranged.
Rod-shaped linear member;
A pressure-sensitive adhesive applied on the rod-shaped linear member at predetermined intervals and arranged to form one or more rows of pressure-sensitive adhesives; And
A slide-coupled type comprising: a stepped portion formed in the rod-shaped linear member body in accordance with the shape of the groove formed in the chuck plate so that it can be assembled and separated and replaced in a sliding manner in the groove formed in the chuck plate. Chuckker.




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