KR102152253B1 - Ion beam Treatment device with structure of standing road - Google Patents

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KR102152253B1 KR1020200045180A KR20200045180A KR102152253B1 KR 102152253 B1 KR102152253 B1 KR 102152253B1 KR 1020200045180 A KR1020200045180 A KR 1020200045180A KR 20200045180 A KR20200045180 A KR 20200045180A KR 102152253 B1 KR102152253 B1 KR 102152253B1
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강철구
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(주)제이에스에스
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Abstract

The present invention relates to an ion beam treatment device for a mask frame with a vertical loading structure. Accordingly, the technical substance of the present invention is to irradiate an ion beam as a pretreatment part in a coating process for a mask frame. By cleaning or removing surface corrosion or adsorbed foreign matters on the mask frame, the coating performance is improved and the quality of a product is improved.

Description

수직형 로딩 구조를 갖는 마스크 프레임용 전처리(Ion beam Treatment) 장치{Ion beam Treatment device with structure of standing road}Ion beam treatment device with structure of standing road for mask frame with vertical loading structure

본 발명은 마스크 프레임에 대한 코팅 공정시 전처리 파트로서 이온 빔(Ion beam)을 조사하도록 하는 바, 이는 마스크 프레임의 표면 부식이나 흡착된 이물을 세정하거나 제거할 수 있도록 함으로서, 코팅 성능이 강화되도록 함은 물론 제품의 품질이 개선되도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 로딩 구조를 갖는 마스크 프레임용 전처리(Ion beam Treatment) 장치에 관한 것이다.The present invention makes it possible to irradiate an ion beam as a pretreatment part in the coating process for the mask frame, which allows the surface corrosion of the mask frame or the adsorbed foreign matter to be cleaned or removed, thereby enhancing the coating performance. Of course, it relates to an ion beam treatment apparatus for a mask frame having a vertical loading structure, characterized in that the product quality is improved.

일반적으로 마스크 프레임은 사각틀 형태로서, 각 변의 일자형 바를 인접한 것끼리 상호 용접하여 제작하도록 하되, 인바(INVAR) 또는 티타늄(Ti) 재질로 형성하여 스테인레스 재질 대비 적은 열팽창계수를 갖게 하면서서 긴 사용수명을 갖도록 형성된다.In general, the mask frame is in the form of a square frame, and the straight bars on each side are to be welded to each other, but formed of INVAR or titanium (Ti) material to provide a long service life while having a lower coefficient of thermal expansion than stainless materials. It is formed to have.

한편, 마스크 프레임은 실질적인 사용시 화학기상 증착공정에서 표면 손상이 방지되도록 해당 표면에 보호층이 필요한데, 이는 플라즈마 코팅공정을 통해 이루어진다.On the other hand, the mask frame needs a protective layer on its surface to prevent damage to the surface in the chemical vapor deposition process during practical use, which is achieved through a plasma coating process.

그러나, 종래의 코팅설비는 마스크 프레임의 표면에 기 흡착된 이물이나 아킹(Arcking), 부식, 파티클 등과 같은 손상을 전처리(크리닝)할 수 있는 수단이 전무한 실정으로 코팅 품질 개선에 대한 업계의 요구에 적극적으로 부응하지 못하고 있는 실정이다.However, the conventional coating equipment does not have a means to pre-treat (clean) damage such as foreign matter or arcing, corrosion, particles, etc. pre-adsorbed on the surface of the mask frame, thus meeting the demands of the industry for improving coating quality. They are not actively responding to.

또한, 종래의 코팅설비는 통상 수평식 구조로 이루어져 수회 또는 일정 시간 동안 지속적으로 왕복 운동하는 마스크 프레임에 대하여 처짐현상이 발생되는 바, 코팅 효과가 저하됨은 물론 사후적으로 코팅박의 손상이 발생되며 메탈 마스크(마스크 시트)와의 패터닝 시 얼라인이 틀어지는 문제가 발생되고 있는 실정이다.In addition, the conventional coating equipment is usually of a horizontal structure, and a sagging phenomenon occurs on the mask frame that continuously reciprocates several times or for a certain period of time, and the coating effect is degraded and damage to the coating foil occurs afterwards. When patterning with a metal mask (mask sheet), there is a problem of misalignment.

1. 대한민국 등록특허공보 제10-1570429호(2015.11.13.)1. Republic of Korea Patent Publication No. 10-1570429 (November 13, 2015)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 마스크 프레임에 대한 코팅 공정시 전처리 파트로서 이온 빔(Ion beam)을 조사하도록 하는 바, 이는 마스크 프레임 표면에 흡착된 이물이나 부식 부분을 정밀하게 세정하거나 제거할 수 있도록 함으로서, 코팅 성능이 강화되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-described problems, and the technical gist of the present invention is to irradiate an ion beam as a pretreatment part during the coating process for a mask frame, which prevents foreign matter or corrosion part adsorbed on the mask frame surface. It is an object of the present invention to provide that the coating performance is enhanced by allowing it to be precisely cleaned or removed.

이에, 본 발명은 전처리용 이온 빔 발진체가 측면 조사식 구조(기립형)로 형성되어 수평식 코팅장치 대비 균등한 표면처리가 가능하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an ion beam oscillator for pretreatment that is formed in a side-illuminated structure (standing type) to enable an even surface treatment compared to a horizontal coating device.

또한, 본 발명은 마스크 프레임이 창문형 트레이에 고정시 마스크 프레임의 두께측에 형성된 고정홀에 대하여 트레이측의 결합핀이 끼움 삽입되는 방식으로 고정되도록 하는 바, 이는 마스크 프레임의 코팅면에 대하여 손상이나 간섭없이 4면 테두리 전면(양면)에 균일한 전처리(이물질 제거)와 코팅이 이루어지도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.In addition, the present invention is to be fixed in such a way that the coupling pin on the tray side is inserted into the fixing hole formed on the thickness side of the mask frame when the mask frame is fixed to the window-type tray, which may damage the coated surface of the mask frame. Its purpose is to provide uniform pre-treatment (remove foreign substances) and coating on the front (both sides) of the four-sided border without interference.

상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 워크함(230)의 내부공간에서 상하 높이방향으로 연장된 이온 빔 발진체(211)가 구비되도록 하되, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)을 기준으로 양측부에 구비되어 설정된 주기 동안 왕복이송 중인 마스크 프레임(10)의 사각 표면 양면에 대하여 이온 빔이 조사되도록 형성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides an ion beam oscillator 211 extending in the vertical direction in the inner space of the work box 230, but the ion beam oscillator 211 is provided with a mask frame 10 ) Is provided on both sides of the reference and is formed so that ion beams are irradiated on both sides of the rectangular surface of the mask frame 10 being reciprocated during a set period.

이에, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)이 전후진하는 왕복 구간에 대하여 일정 간격을 두고 이격되면서 이온 빔을 조사하도록 하는 것이 바람직하다.Accordingly, it is preferable that the ion beam oscillator 211 irradiates the ion beam while being spaced apart at a predetermined interval with respect to the reciprocating section in which the mask frame 10 moves forward and backward.

또한, 상기 이온 빔 발진체(211)는 워크함(230) 외부로부터 탈장착되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the ion beam oscillator 211 is detachably mounted from the outside of the work box 230.

이와 같이, 본 발명은 마스크 프레임에 대한 코팅 공정시 전처리 파트로서 이온 빔(Ion beam)을 조사하도록 하는 바, 이는 마스크 프레임 표면에 흡착된 이물이나 부식 부분을 정밀하게 세정하거나 제거할 수 있도록 함으로서, 코팅 성능이 강화되도록 하는 효과가 있다.As described above, the present invention makes it possible to irradiate an ion beam as a pretreatment part in the coating process for a mask frame, which enables precise cleaning or removal of foreign matter or corrosion part adsorbed on the mask frame surface, There is an effect of enhancing the coating performance.

이에, 본 발명은 전처리용 이온 빔 발진체가 측면 조사식 구조(기립형)로 형성되어 수평식 코팅장치 대비 균등한 표면처리가 가능하도록 하는 효과가 있다.Accordingly, in the present invention, the ion beam oscillator for pretreatment is formed in a side-illuminated structure (standing type), so that an even surface treatment is possible compared to a horizontal coating device.

또한, 본 발명은 마스크 프레임이 창문형 트레이에 고정시 마스크 프레임의 두께측에 형성된 고정홀에 대하여 트레이측의 결합핀이 끼움 삽입되는 방식으로 고정되도록 하는 바, 이는 마스크 프레임의 코팅면에 대하여 손상이나 간섭없이 4면 테두리 전면(양면)에 균일한 전처리(이물질 제거)와 코팅이 이루어지도록 하는 효과가 있다.In addition, the present invention is to be fixed in such a way that the coupling pin on the tray side is inserted into the fixing hole formed on the thickness side of the mask frame when the mask frame is fixed to the window-type tray, which may damage the coated surface of the mask frame. It has the effect of uniform pretreatment (remove foreign substances) and coating on the front (both sides) of the four edges without interference.

도 1 내지 도 8은 본 발명에 따른 워크 챔버 내에서 전처리 파트를 나타낸 예시도,
도 9 내지 도 10은 본 발명에 따른 수직형 로딩 구조와 이온 빔 전처리 모듈이 구비된 마스크 프레임용 코팅 시스템을 나타낸 예시도.
도 11 내지 도 12는 본 발명에 따른 트레이와 마스크 프레임의 결합상태를 나타낸 예시도,
도 13 내지 도 18은 본 발명에 따른 로드락 챔버를 나타낸 예시도이다.1 to 8 are exemplary views showing a pretreatment part in a work chamber according to the present invention,
9 to 10 are exemplary views showing a coating system for a mask frame equipped with a vertical loading structure and an ion beam pretreatment module according to the present invention.
11 to 12 are exemplary views showing a combined state of a tray and a mask frame according to the present invention;
13 to 18 are exemplary views showing a load lock chamber according to the present invention.

다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명은 워크 챔버 내에서 본 코팅공정 전에 이온 빔을 조사하여 크리닝 전처리 공정을 수행할 수 있도록 함에 그 기술요지가 있다.First, as shown in FIGS. 1 to 18, the present invention has a technical gist of the present invention because it enables the pre-cleaning process to be performed by irradiating an ion beam in a work chamber before the coating process.

이를 보다 자세히 설명하면 로드락 챔버(100)의 인출함(130)으로부터 마스크 프레임(10)이 장착된 트레이(130)가 워크 챔버(200)의 워크함(230) 내에 수직으로 진입하면 워크함의 내부공간 길이방향 구간 내에서 트레이가 전후진 왕복할 수 있도록 형성된다.In more detail, when the tray 130 on which the mask frame 10 is mounted from the draw box 130 of the load lock chamber 100 enters the work box 230 of the work chamber 200 vertically, the inside of the work box It is formed so that the tray can be reciprocated back and forth in the longitudinal section of the space.

이때, 상기 워크함(230)의 내부공간 일측에는 전처리(Ion beam Treatment) 파트(210)가 구비되어 마스크 프레임(10)의 사각 표면에 대하여 이온 빔을 조사하여 전처리 크리닝이 이루어지도록 형성된다.At this time, an ion beam treatment part 210 is provided at one side of the inner space of the work box 230 to irradiate an ion beam to the rectangular surface of the mask frame 10 to perform pretreatment cleaning.

즉, 상기 전처리(Ion beam Treatment) 파트(210)는 워크함(230)의 내부공간에서 상하 높이방향으로 연장된 이온 빔 발진체(211)가 구비되어 트레이에 실려 전후진 설정시간 동안 왕복이동하고 있는 마스크 프레임의 사각 테두리 면상에 전치리 크리닝 처리가 수행되도록 형성된다.That is, the pretreatment (Ion beam Treatment) part 210 is provided with an ion beam oscillator 211 extending in the vertical direction in the inner space of the work box 230 and is loaded on a tray and moves back and forth for a set time. It is formed so that pre-cleaning treatment is performed on the rectangular edge of the mask frame.

이에, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)을 기준으로 양측부에 구비되어 설정된 주기 동안 왕복이송 중인 마스크 프레임(10)의 사각 표면 양면에 대하여 이온 빔이 조사되도록 형성된다.Accordingly, the ion beam oscillator 211 is provided on both sides of the mask frame 10 and is formed to irradiate the ion beam to both sides of the rectangular surface of the mask frame 10 being reciprocated during a set period.

이때, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)이 전후진하는 왕복 구간에 대하여 일정 간격을 두고 이격되면서 이온 빔을 조사하도록 하는 것이 바람직하다. 이는 마스크 프레임을 향해 서로 대칭되면 이온 빔 간 충돌이 생기므로 엇갈린 위치에 배치되도록 하기 위함이다.In this case, it is preferable that the ion beam oscillator 211 irradiates the ion beam while being spaced apart at a predetermined interval with respect to the reciprocating section in which the mask frame 10 moves forward and backward. This is to ensure that the ion beams collide with each other when they are symmetrical toward the mask frame, so that they are arranged at alternate positions.

또한, 상기 이온 빔 발진체(211)는 워크함 외부로부터 탈장착되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the ion beam oscillator 211 is detachably mounted from the outside of the work box.

이때, 상기 워크함(230)은 측면 기준 상하 높이가 높고, 평면 기준 진행방향에서 좌우 간격 폭이 좁은 직사각 형태를 이루어져 마스크 프레임이 수직으로 세워져 전처리 및 표면 코팅 처리되도록 형성된다.At this time, the workbox 230 has a high vertical height based on a side surface and a rectangular shape with a narrow left and right gap width in a plane-based traveling direction, so that the mask frame is vertically erected to be pre- and surface-coated.

이에, 상기 워크함(230)은 일측에 입출구(231)가 형성되고, 상기 워크함(230)의 내부공간 상하측에는 이송로울러(232)와 구동로울러(233)가 각각 형성된다.Accordingly, the work box 230 has an entry and exit port 231 formed on one side thereof, and a transfer roller 232 and a driving roller 233 are formed above and below the inner space of the work box 230, respectively.

즉, 상기 입출구는 로드락 챔버의 출구게이트(112)와 대응되도록 형성되고, 상기 이송로울러(232)와 구동로울러(233)는 마스크 프레임이 고정된 트레이가 전후진 왕복 이송되도록 조장하게 된다.That is, the entrance/exit is formed to correspond to the exit gate 112 of the load lock chamber, and the transfer roller 232 and the drive roller 233 promote the tray to which the mask frame is fixed to be transferred back and forth.

부연하건데, 전처리 파트에 의한 이온 빔 조사 과정은 통상(대략) 30~40분간 진행되는데 이때에는 코팅 파트의 구동은 동작하지 않고, 전처리 파트 구간에서 트레이가 계속 전후진(왔다 갔다) 하면서 마스크 프레임이 이온 빔에 노출(크리닝)되도록 형성된다.Incidentally, the ion beam irradiation process by the pre-treatment part usually proceeds (approximately) for 30 to 40 minutes.At this time, the driving of the coating part does not work, and the tray continues to move backwards and forwards (back and forth) in the pre-treatment part section and the mask frame It is formed to be exposed (cleaned) to the ion beam.

이후 코팅 파트는 전처리 파트의 구동이 OFF된 상태에서 전원 ON되어 12시간 정도 코팅을 수행하게 된다.(마스크 프레임을 갖는 트레이가 플라즈마 발진체의 구간을 계속 전후진 왕복하게 됨-코팅 두께가 높기 때문)After that, the coated part is powered on while the pretreatment part is turned off, and coating is performed for about 12 hours (the tray with the mask frame continues to move back and forth through the section of the plasma oscillator-because the coating thickness is high. )

이때, 트레이의 이동 구간은 전처리 과정 중에는 이온 빔 구간을 지날 정도로 왔다 갔다 하고, 전처리 과정 후에는 트레이의 이동 구간이 코팅 파트의 플라즈마 발진체 구간까지 왔다 갔다 하면서 코팅을 수행하게 된다.(워크 챔버 내부공간 전체 구간 중에서 해당 처리시 해당 구간만 이용하게 해 소모적인 시간이나 동력이 낭비되지 않도록 함)At this time, the moving section of the tray moves back and forth enough to pass the ion beam section during the pretreatment process, and after the pretreatment process, the moving section of the tray moves back and forth to the plasma oscillator section of the coated part to perform coating (inside the work chamber). Of the entire section of the space, only the section is used during the process, so that the time or power is not wasted)

다시 말해, 본 발명은 마스크 프레임이 세워진 형태로 로딩, 언로딩 되는 것으로 수직형태로 전처리되도록 하는 바, 이는 대형 크기에 대하여 현수 형태로 거치한 마스크 프레임의 처짐 현상이 방지되어 코팅성이 우수하고 플라즈마 코팅 방사 각이 측면에서 코팅성이 위아래 보다 양측에서 분사됨으로서 코팅 효율이 향상되는 특징이 있다.In other words, in the present invention, the mask frame is loaded and unloaded in an erect form, and is pretreated in a vertical form, which prevents sagging of the mask frame mounted in a suspended form for a large size, so that the coating property is excellent and plasma Coating efficiency is improved by spraying from both sides of the coating radiation angle from both sides rather than above and below.

또한, 설비의 설치 공간 장소도 소규모로 가능하고, 왕복 이동시 구동장치의 소형화가 가능함은 물론 현수식 이동으로 인해 마스크 프레임에 대한 손상 또는 간섭이 없는 특징이 있다.In addition, the installation space of the facility can be small, and the driving device can be miniaturized during reciprocating movement, and there is no damage or interference to the mask frame due to the suspended movement.

한편, 상기 워크 챔버(200)의 코팅(Processor) 파트(220)는 워크함(230)의 내부공간에서 전처리 파트(210) 후단부에 형성되도록 하되, 상하 높이방향으로 연장된 플라즈마 발진체(221)가 구비되도록 형성되어 전처리가 종료된 마스크 프레임(10)에 대하여 플라즈마 본 코팅을 수행하도록 형성된다.Meanwhile, the coating (Processor) part 220 of the work chamber 200 is formed at the rear end of the pretreatment part 210 in the inner space of the work box 230, but the plasma oscillator 221 extending in the vertical direction ) Is formed to perform plasma bone coating on the mask frame 10 on which the pretreatment is completed.

참고로, 상기 마스크 프레임은 트레이 내부 공간 홈에 장착시 마스크 프레임 두께측에 형성된 고정홀(11)에 결합핀(131)이 삽입 볼트되면 나사조임식 고정으로 하여금 고정되어 트레이의 개구된 측면상에서 볼 때 4면 테두리가 일정간격 떨어진 상태로 고정되도록 형성된다.For reference, when the mask frame is mounted in a groove in the inner space of the tray, when the coupling pin 131 is inserted into the fixing hole 11 formed on the thickness side of the mask frame, it is fixed by screw fastening and is visible from the opened side of the tray. When the four sides are formed to be fixed at a certain distance apart.

이에, 상기 트레이는 구동모터(125) 동작시 가이드로울러(123)와 인출로울러(124)의 회전에 의해 워크 챔버를 향해 인출되도록 형성된다.Accordingly, the tray is formed to be drawn out toward the work chamber by the rotation of the guide roller 123 and the take-out roller 124 when the driving motor 125 is operated.

참고로, 상기 로드락 챔버(100)는 도 13 내지 도 18에서 보는 바와 같이, 마스크 프레임(10)이 수직으로 수납될 수 있도록 측면 기준 상하 높이가 높고, 평면 기준 진행방향에서의 좌우 간격 폭이 좁은 직사각 형태의 인출함(110)이 구비된다.For reference, the load lock chamber 100 has a high vertical height relative to the side so that the mask frame 10 can be vertically accommodated as shown in FIGS. A drawer 110 of a narrow rectangular shape is provided.

이때, 상기 인출함(110)은 입구게이트(111)와 출구게이트(112)가 전후 개구부에 각각 형성된다.At this time, in the withdrawal box 110, an entrance gate 111 and an exit gate 112 are formed in front and rear openings, respectively.

이에, 상기 입구게이트와 출구게이트는 상대방 측이 열리면 닫힌 상태이고, 상대방 측이 닫히면 열리는 상태를 유지하도록 세팅된다.Accordingly, the entrance gate and the exit gate are set to be in a closed state when the other side is open, and to maintain an open state when the other side is closed.

이때, 상기 인출함(110)의 내부에는 사각골조의 지지프레임(120)이 구비되어 실린더(121) 구동시 상하부 가이드 레일(122)을 따라 측방향으로 전후진 무빙하도록 형성된다.In this case, a support frame 120 of a square frame is provided inside the withdrawal box 110 and is formed to move backward and forward along the upper and lower guide rails 122 when the cylinder 121 is driven.

이에, 상기 지지프레임(120)의 상하측 단부에는 각각 가이드로울러(123)와 인출로울러(124)가 구비되어 마스크 프레임(10)을 고정 상태로 픽업한 트레이(130)가 구동모터(125)에 의해 회전시 워크 챔버를 향해 로딩/언로딩되도록 형성된다.Accordingly, a guide roller 123 and a pull-out roller 124 are provided at the upper and lower ends of the support frame 120 so that the tray 130 picking up the mask frame 10 in a fixed state is attached to the drive motor 125. It is formed to be loaded/unloaded toward the work chamber during rotation.

이를 보다 자세히 설명하면, 상기 로드락 챔버는 마스크 프레임이 2개의 창틀과 같이 형성(진행되는 길이방향으로 2개가 연속됨)된 트레이에 장착되어 대기하는 일종의 매거진과 같은 것으로, 인출함의 입구게이트(이때, 출구 게이트는 닫혀있다.)를 통해 마스크 프레임을 고정한 트레이가 수납된다.To explain this in more detail, the load lock chamber is a kind of magazine that is mounted on a tray in which a mask frame is formed like two window frames (two are continuously in the progressing longitudinal direction), and is like a kind of magazine, and the entrance gate of the drawer (at this time , The exit gate is closed) to receive the tray in which the mask frame is fixed.

이때, 상기 트레이는 2열(줄) 구조로 2개 1조가 2량 열차와 같이 한 쌍을 이루면서 2개의 마스크 프레임을 장착하게 된다.At this time, the tray has a two-row (row) structure, and two mask frames are mounted while forming a pair like a two-car train.

즉, 2개의 트레이 중 먼저 한 쪽 트레이가 출구게이트(출발 후 닫힘)를 통해 출발하면 워크 챔버(입출구를 통해 트레이가 진입하면 전처리와 코팅 단계 중에서 입출구가 닫히게 됨) 내에서 전처리와 코팅이 완료된 후 복귀하게 된다.In other words, if one of the two trays first leaves through the exit gate (closed after departure), the pre-treatment and coating are completed in the work chamber (when the tray enters through the inlet and outlet, the inlet and outlet are closed during the pretreatment and coating steps). Will return.

이때, 코팅이 완료된 트레이가 지지프레임에 돌아오면 실린더의 동작을 기점으로 가이드 레일을 따라 지지프레임이 폭방향 어느 한 쪽으로 이동하면서 출구게이트 앞으로 대기 중인 다른 쪽의 트레이(코팅이 안된 나머지 마스크 프레임을 가진 트레이)가 준비되도록 형성된다.At this time, when the coated tray returns to the support frame, the support frame moves to either side in the width direction along the guide rail starting from the operation of the cylinder, and the other tray waiting in front of the exit gate (with the remaining uncoated mask frame). Tray) is formed to be prepared.

다시 말해, 한 쪽 트레이가 다 완료되면 로드락 챔버로 복귀한 뒤 프레임으로 하여금 한쪽 옆으로 이동하게 하고, 다른 쪽 트레이의 마스크 프레임이 투입되어 코팅되도록 형성된다.In other words, when one tray is completed, the frame is moved to one side after returning to the load lock chamber, and the mask frame of the other tray is input and coated.

부연하건데, 이러한 지지프레임에는 복수의 트레이가 구비되는데 한 개의 트레이 어셈블리에는 2개 1조의 코팅 대상 마스크 프레임이 장착되도록 형성된다.Incidentally, this support frame is provided with a plurality of trays, and one tray assembly is formed to mount two sets of mask frames to be coated.

이때, 마스크 프레임이 트레이 내부 공간 홈에 장착시에는 마스크 프레임 두께측에 형성된 고정홀(11)에 결합핀(131)이 삽입 볼트 나사조임식 고정으로 하여금 고정되어 트레이의 개구된 측면상에서 볼 때 4면 테두리가 일정간격 떨어진 상태로 고정되도록 형성된다.At this time, when the mask frame is mounted in the inner space groove of the tray, the coupling pin 131 is fixed to the fixing hole 11 formed on the thickness side of the mask frame by screwing the insertion bolt, and when viewed from the open side of the tray 4 It is formed so that the edge of the face is fixed at a certain interval.

이에, 상기 트레이는 구동모터 동작시 가이드로울러(123)와 인출로울러(124)의 회전에 의해 워크 챔버를 향해 인출되도록 형성된다.Accordingly, the tray is formed to be drawn out toward the work chamber by the rotation of the guide roller 123 and the take-out roller 124 during operation of the driving motor.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and any person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can implement various modifications Of course, such changes are within the scope of the claims.

200 ... 워크 챔버 210 ... 전처리 파트
211 ... 이온 빔 발진체 220 ... 코팅 파트
221 ... 플라즈마 발진체 230 ... 워크함
231 ... 입출구 232 ... 이송로울러
233 ... 구동로울러
100 ... 로드락 챔버 110 ... 인출함
111 ... 입구게이트 112 ... 출구게이트
120 ... 지지프레임 121 ... 실린더
122 ... 가이드 레일 123 ... 가이드로울러
124 ... 인출로울러 125 ... 구동모터
130 ... 트레이 131 ... 결합핀200 ... work chamber 210 ... pretreatment part
211 ... ion beam oscillator 220 ... coating part
221 ... plasma oscillator 230 ... work box
231 ... Entry and Exit 232 ... Transfer roller
233 ... Drive roller
100 ... load lock chamber 110 ... drawer
111 ... Entrance gate 112 ... Exit gate
120 ... support frame 121 ... cylinder
122 ... Guide rail 123 ... Guide roller
124 ... withdrawal roller 125 ... drive motor
130 ... tray 131 ... coupling pin

Claims (3)

워크함(230)의 내부공간에서 상하 높이방향으로 연장된 이온 빔 발진체(211)가 구비되도록 하되, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)을 기준으로 양측부에 구비되어 설정된 주기 동안 왕복이송 중인 마스크 프레임(10)의 사각 표면 양면에 대하여 이온 빔이 조사되도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 로딩 구조를 갖는 마스크 프레임용 전처리(Ion beam Treatment) 장치.The ion beam oscillator 211 extending in the vertical direction in the inner space of the work box 230 is provided, but the ion beam oscillator 211 is provided on both sides of the mask frame 10 to be set. Ion beam treatment apparatus for a mask frame having a vertical loading structure, characterized in that the ion beam is irradiated to both sides of the rectangular surface of the mask frame 10 being reciprocated during a period. 제 1항에 있어서, 상기 이온 빔 발진체(211)는 마스크 프레임(10)이 전후진하는 왕복 구간에 대하여 복수개가 일정 간격을 두고 이격되면서 이온 빔을 조사하도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 로딩 구조를 갖는 마스크 프레임용 전처리(Ion beam Treatment) 장치.The vertical loading structure according to claim 1, wherein the ion beam oscillator (211) irradiates an ion beam while a plurality of the ion beam oscillators (211) are spaced apart at a predetermined interval with respect to a reciprocating section in which the mask frame (10) moves forward and backward. Mask frame pre-treatment (Ion beam Treatment) device having a. 제 1항에 있어서, 상기 이온 빔 발진체(211)는 워크함(230) 외부로부터 탈장착되도록 하는 것을 특징으로 하는 수직형 로딩 구조를 갖는 마스크 프레임용 전처리(Ion beam Treatment) 장치.
[2] The apparatus of claim 1, wherein the ion beam oscillator (211) is detachable from the outside of the work box (230).
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