KR102136847B1 - 화학적 기계적 연마 장치 및 방법 - Google Patents

화학적 기계적 연마 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플래튼에서 연마패드의 교체가 용이한 화학적 기계적 연마 장치 및 연마패드의 교체 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치는 연마패드, 상기 연마패드가 부착되는 상부 플래튼, 상기 상부 플래튼과 결합하며 회전축을 갖는 하부 플래튼을 포함하며, 상기 교체 방법은 상부 플래튼을 교체를 위한 자동화 장치를 이용하여 교체하는 것이다. 본 발명에 따르면, 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 하부 플래튼과 탈부착시키며, 교체를 위한 자동화 장치에 의하여 연마패드의 교체를 수행함으로써 연마패드의 교체를 더욱 용이하게 할 수 있다.

Description

화학적 기계적 연마 장치 및 방법{Method and apparatus of Chemical Mechanical Polishing}
본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 화학적 기계적 연마 장치 및 연마패드 교체 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 원가를 절감할 수 있고 연마패드 교체가 더욱 용이한 화학적 기계적 연마 장치 및 연마패드의 교체 방법에 관한 것이다.
반도체 표면을 평탄화하기 위한 공정기술로서 화학적 기계적 연마(CMP: Chemical Mechanical Polishing) 방법이 널리 사용되고 있다. 화학적 기계적 연마는 연마패드에 의해서 가능하나, 공정시 연마패드를 주기적으로 교체해 주어야만 한다. 기존의 방법으로 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드를 교체할 때, 작업 미숙으로 인한 버블 생성, 슬러리(slurry) 잔유물 노출에 의한 환경안전, 또는 작업자 부상 등의 문제가 종종 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 첫번째 과제는, 반도체 제조 원가를 절감할 수 있고 연마패드 교체가 더욱 용이한 화학적 기계적 연마 장치이다.
본 발명이 해결하고자 하는 두번째 과제는, 반도체 제조 원가를 절감할 수 있고 연마패드 교체가 더욱 용이한 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법이다.
본 발명은 상기 첫번째 과제를 이루기 위하여, 연마패드가 부착된 상부 플래튼과, 회전축을 포함하는 하부 플래튼이 분리 및 결합 가능하도록 동작되고, 상기 상부 플래튼의 표면에 교체를 위한 자동화 장치와 결합 가능한 홈을 포함하는 화학적 기계적 연마 장치를 제공한다.
상기 상부 플래튼과 상기 하부 플래튼은 상호간의 결합을 위하여 스크류에 의한 결합, 진공에 의한 결합, 클립에 의한 결합, 또는 십자형 홈에 의한 결합 구조 등을 갖는다. 상기 하부 플래튼은 상하로 이동가능하며, 상기 상부 플래튼의 두께는 1~10cm일 수 있다.
상기 교체를 위한 자동화 장치는 암(arm), 본체부(body), 및 보관 유닛(unit)을 포함하고, 상기 보관 유닛은 로드(load) 유닛 및 언로드(unload) 유닛을 포함하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 장치이다.
본 발명은 상기 두번째 과제를 이루기 위하여, 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼과 교체를 위한 자동화 장치의 암이 결합하는 단계; 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼과 회전축을 포함하는 하부 플래튼이 상대적으로 이동함으로써 서로 분리되는 단계; 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 교체를 위한 자동화 장치가 보관 유닛으로 이송하는 단계; 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하여 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 보관 유닛에 수납시키는 단계; 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼에 상기 암을 결합하여 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛으로부터 인출하는 단계; 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 하부 플래튼과 결합하는 단계; 및 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법을 제공한다.
상기 연마패드 교체 방법은 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛 중 로드 유닛에 수납시키고 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 로드 유닛에서 인출하여 교체하는 방식을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법, 또는 상기 연마패드 교체 방법은 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛 중 언로드 유닛에 수납시키고 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛 중 로드 유닛에서 인출하여 교체하는 방법일 수 있다.
상기 사용된 연마패드를 상기 화학적 기계적 연마 장치의 외부에서 새로운 연마패드로 교환하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 하부 플래튼에 탈착 가능하게 형성함으로써 기존의 방법으로 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드를 교체할 때 발생하는 문제들, 예를 들어, 작업 미숙으로 인한 버블 생성, 슬러리 잔유물 노출에 의한 환경안전, 또는 작업자 부상 등의 문제를 개선할 수 있다. 또한, 연마패드의 교체를 자동화 장치에 의하여 실시함으로써, 연마패드 교체로 인한 화학적 기계적 연마 장치의 다운타임(downtime)을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 반도체 제조 원가를 절감할 수 있고, 연마패드 교체가 더욱 용이하게 이루어질 수 있다.
도1은 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도2는 본 발명에 따른 상부 플래튼과 하부 플래튼을 나타낸 도면들이다.
도3은 본 발명에 따른 상부 플래튼과 하부 플래튼을 분리, 교체, 및 결합하는 과정을 순서에 따라 나타낸 도면들이다.
도4는 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치 및 교체를 위한 자동화 장치를 나타낸 도면들이다.
도5는 본 발명에 따른 연마패드 교체 방법을 순서에 따라 나타낸 흐름도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명 개념의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명 개념의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명 개념의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명 개념의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명 개념을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 해석되는 것이 바람직하다. 동일한 부호는 시종 동일한 요소를 의미한다. 나아가, 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명 개념은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되어지지 않는다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명 개념을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함한다” 또는 “갖는다” 등의 표현은 명세서에 기재된 특징, 개수, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 개수, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
달리 정의되지 않는 한, 여기에 사용되는 모든 용어들은 기술 용어와 과학 용어를 포함하여 본 발명 개념이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 공통적으로 이해하고 있는 바와 동일한 의미를 지닌다. 또한, 통상적으로 사용되는, 사전에 정의된 바와 같은 용어들은 관련되는 기술의 맥락에서 이들이 의미하는 바와 일관되는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 여기에 명시적으로 정의하지 않는 한 과도하게 형식적인 의미로 해석되어서는 아니 될 것임은 이해될 것이다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 화학적 기계적 연마 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도1을 참조하면, 화학적 기계적 연마 장치는 웨이퍼를 고정하여 가압 및 회전 운동시키는 연마헤드(240), 연마패드(210)를 컨디셔닝시키는 컨디셔너(250), 연마패드(210), 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220), 회전축(300)을 포함하는 하부 플래튼(110)을 포함할 수 있다.
일반적으로 연마패드(210)는 기계적 연마요소를 가지는 연마포로서 표면에 미세 돌기가 형성되어 있는 우레탄 재질일 수 있으며, 연마할 박막의 종류에 따라 다른 연마패드(210)를 사용할 수 있다. 또한, 연마패드(210)는 지속적으로 컨디셔닝 공정을 수행해야 하며 정확한 공정 수행을 위하여 일정한 주기로 연마패드(210)를 교환해 주고 있다. 미세 공정의 정확도 요구때문에 연마패드(210)의 교환주기는 계속 짧아지는 추세이다.
본 발명은 일반적인 화학적 기계적 연마 장치와는 달리 플래튼이 상부 플래튼(220) 및 하부 플래튼(110)으로 분리 가능하며 상부 플래튼(220)의 표면에 홈(230)이 형성되어 있을 수 있다.
상기 홈(230)은 상부 플래튼(220)의 표면, 예를 들어, 상부 플래튼(220)의 측면에 위치할 수 있다. 상기 홈(230)은 적어도 한 개 이상이며, 상부 플래튼(220)의 크기와 무게에 따라 홈(230)의 개수와 깊이가 조절될 수 있다. 상기 홈(230)을 통하여 상부 플래튼(220)은 교체를 위한 자동화 장치의 암(arm)(400, 도3 참조)과 결합하거나 분리될 수 있다.
상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)을 고정시키는 체결부재를 포함할 수 있다. 상기 체결부재는 스크류(Screw)에 의한 결합, 진공에 의한 결합, 클립에 의한 결합, 또는 십자형 홈에 의한 결합의 방법을 가진 체결부재일 수 있다. 스크류에 의한 결합의 경우 상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)을 나사 등을 사용하여 결합하는 방법이고, 진공에 의한 결합의 경우 하부 플래튼(110)에 진공 결합 장치를 부착하여 상부 플래튼(220)과 결합하는 방법이고, 클립에 의한 결합의 경우 상부 플래튼(220) 및 하부 플래튼(110) 표면에 각각 클립이 상호 체결될 수 있는 구조물을 부착하여 결합하는 방법이고, 십자형 홈에 의한 결합의 경우 상부 플래튼(220) 및 하부 플래튼(110)에 각각 암수 형태의 요철인 십자형 홈을 적어도 한 개 이상 형성하여 결합하는 방법이다.
회전축(300)은 하부 플래튼(110)을 회전시키는 역할을 하고, 하부 플래튼(110)과 결합된 상부 플래튼(220)이 회전함으로써 상부 플래튼(220)에 부착된 연마패드(210)가 회전하여 화학적 기계적 연마 공정을 수행할 수 있도록 한다.
연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 하부 플래튼(110)에 탈착 가능하게 형성함으로써 기존의 연마패드를 교체시 발생하는 문제들, 예를 들어, 작업 미숙으로 인한 버블 생성, 슬러리 잔유물 노출에 의한 환경안전, 또는 작업자 부상 등의 문제를 개선할 수 있다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)의 도면들이다.
도2의 (a)를 참조하면, 상기 상부 플래튼(220)의 표면에는 교체를 위한 자동화 장치와 결합 가능한 홈(230)이 형성될 수 있다. 또한, 교체를 위한 자동화 장치의 원활한 작업 수행을 위하여 상부 플래튼(220)의 두께(h)는 1~10cm일 수 있다. 1cm보다 작은 경우 홈(230)이 형성될 공간의 부족과 상부 플래튼(220)의 강성 등이 문제될 수 있으며, 10cm보다 큰 경우 상부 플래튼(220)의 무게가 증가하여 이송에 어려움이 있을 수 있다.
도2의 (b) 및 도1을 참조하면, 상기 하부 플래튼(110)은 교체를 위한 자동화 장치가 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220) 교체 작업을 용이하게 수행하도록 상하 방향으로 이동할 수 있다. 화학적 기계적 연마 장치의 구조 및/또는 배치상 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 교체하기 위한 충분한 공간 확보가 안되는 경우가 발생할 수 있는바, 상기 하부 플래튼(110)을 상하로 이동시켜 교체를 위한 공간을 확보할 수 있다. 화학적 기계적 연마 장치에서는 연마패드(210) 위에 연마헤드(240)와 컨디셔너(250) 등이 존재하므로 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)의 교체 단계에서 상기 연마헤드(240)와 컨디셔너(250) 등으로 인한 상부 플래튼(220)을 하부 플래튼(110)으로부터 분리 또는 결합하는 공간상 부족을 해결하기 위하여 상기 하부 플래튼(110)이 상하로 이동하여 공간을 확보할 수 있다. 하부 플래튼(110)과 결합된 회전축(300) 또한 상하 방향으로 이동할 수 있다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)을 분리, 교체, 및 결합하는 과정을 순서에 따라 나타낸 도면들이다. 각 단계의 순서는 장비의 위치, 상태 또는 교체 순서에 따라 달라질 수 있다. 각 단계는 교체를 위한 자동화 장치에 부착된 센서 및 제어부에 의해서 자동으로 제어될 수 있다. 교체를 위한 자동화 장치는 적어도 한 개 이상이며, 두 개 이상의 장치가 각각 또는 동시에 작업을 진행할 수 있다.
도3의 (a)를 참조하면, 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 교체를 위한 자동화 장치의 암(400)이 홈(300)을 통하여 결합된 단계를 나타낸다.
도3의 (b)를 참조하면, 상기 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 회전축(300)을 포함하는 하부 플래튼(110)이 상대적인 방향으로 이동하여 서로 분리되는 단계를 나타낸다.
도3의 (c)를 참조하면, 상기 하부 플래튼(110)으로부터 상기 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 교체를 위한 자동화 장치가 이송하여 하부 플래튼(110)으로부터 상기 상부 플래튼(220)이 완전히 제거된 단계를 나타낸다.
도3의 (d)를 참조하면, 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)에 상기 암(400)을 결합하여 상기 하부 플래튼(110) 주위로 이송한 단계를 나타낸다.
도3의 (e)를 참조하면, 상기 새로운 연마패드(210)가 부착된 상기 상부 플래튼(220)을 상기 하부 플래튼(110)과 결합하는 단계를 나타낸다.
도3의 (f)를 참조하면, 상기 새로운 연마패드(210)가 부착된 상기 상부 플래튼(220)에서 상기 암(400)을 분리하는 단계를 나타낸다.
도4는 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치(500) 및 교체를 위한 자동화 장치(400A)를 나타낸 도면들이다. 상기 교체를 위한 자동화 장치(400A)는 암(arm)(400), 본체부(body)(410), 및 보관 유닛(unit)(420A)을 포함할 수 있고, 상기 교체를 위한 자동화 장치(400A)는 로봇일 수 있다.
도4 및 도3을 참조하면, 상기 암(400)은 상부 플래튼(220)의 표면에 형성된 홈(230)과 결합하여 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 교체 및 이동하는 기능을 수행할 수 있고, 상기 본체부(410)는 암(400)을 상하좌우로 움직일 수 있도록 하는 기능을 수행할 수 있고, 상기 보관 유닛(420A)은 로드 유닛(420) 및/또는 언로드 유닛(430)을 포함하며 상기 상부 플래튼(220)을 보관하는 기능을 수행할 수 있다.
도4의 (a)를 참조하면, 화학적 기계적 연마 장치(500)와 교체를 위한 자동화 장치(400A)의 상대적인 위치 관계를 나타낸다. 상기 화학적 기계적 연마 장치(500)의 주변부에 상기 교체를 위한 자동화 장치(400A)가 배열되어 있거나, 상기 교체를 위한 자동화 장치(400A)는 움직이는 로봇으로서 상기 화학적 기계적 연마 장치(500)의 주변부를 이동할 수 있다.
도4의 (b)및 도3을 참조하면, 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)의 보관 유닛(420A)을 나타낸다. 보관 유닛(420A) 중 로드 유닛(420)은 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 보관하는 기능을 수행하거나, 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 보관하고 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 보관하는 기능을 수행할 수 있다. 보관 유닛(420A) 중 언로드 유닛(430)은 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관하는 기능을 수행할 수 있다.
상기 보관 유닛(420A)이 로드 유닛(420)을 포함하는 경우 공간상의 이점이 있으나, 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 관리하는 측면에서는 어려움이 있을 수 있다. 이와 반대로, 상기 보관 유닛(420A)이 로드 유닛(420)과 언로드 유닛(420)을 포함하는 경우에는 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 관리하는 측면에서는 이점이 있으나, 공간을 많이 차지한다는 어려움이 있을 수 있다.
상기 보관 유닛(420A)은 상부 플래튼(220) 입출의 편리함을 위하여 카세트 타입의 형상일 수 있다.
도5는 본 발명에 따른 연마패드 교체 방법을 순서에 따라 나타낸 흐름도이다.
도5, 도3, 및 도4를 참조하면, 암(400)을 이용하여 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)을 분리하는 단계(S110)는 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)과 회전축(300)을 포함하는 하부 플래튼(110)이 상대적으로 이동함으로써 서로 분리시키는 것일 수 있다.
하부 플래튼(110)으로부터 분리되고 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 교체를 위한 자동화 장치(400A)에 의하여 보관 유닛(420A)으로 이송하는 단계(S120)는 암(400)이 본체부(410)에 설치된 레일을 따라 이동하거나 자동화 장치가 움직이는 로봇으로서 이동하는 것일 수 있다.
로드 유닛(420)으로부터 새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 교체를 위한 자동화 장치(400A)에 의하여 하부 플래튼(110)과 결합이 가능하도록 이송하는 단계(S130)는 암(400)이 본체부(410)에 설치된 레일을 따라 이동하거나 자동화 장치가 움직이는 로봇으로서 이동하는 것일 수 있다.
새로운 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)을 하부 플래튼(110)과 결합하는 단계(S140)는 상부 플래튼(220)과 하부 플래튼(110)이 결합 후 암(400)을 상부 플래튼(220)에서 분리하는 단계를 더 포함하는 것일 수 있다.
또한, 이미 사용된 연마패드(210)가 부착된 상부 플래튼(220)은 화학적 기계적 연마 장치(500)의 공정 수행과는 별도로 상부 플래튼(220)에서 상기 사용된 연마패드(210)를 제거한 후 새로운 연마패드(210)를 부착하여 사용함으로써, 연마패드(210)만을 교체하여 계속해서 상부 플래튼(220) 자체는 사용 가능하도록 함으로써 상부 플래튼(220) 전체를 교체하는 비용을 절감할 수 있다. 연마패드(210)의 교체가 화학적 기계적 연마 장치(500)상에서 이루어지지 않으므로 작업 미숙으로 인한 버블 생성, 슬러리 잔유물 노출에 의한 환경안전, 또는 작업자 부상 등의 문제를 개선하고, 장치의 다운타임을 줄일 수 있다.
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명은 다음과 같다.
110: 하부 플래튼
210: 연마패드
220: 상부 플래튼
230: 홈
400: 암(arm)
410: 본체부(body)
420A: 보관 유닛(unit)

Claims (10)

  1. 연마패드가 부착된 상부 플래튼과 회전축을 포함하는 하부 플래튼이 분리 및 결합 가능하고,
    상기 상부 플래튼의 표면에 교체를 위한 자동화 장치와 일방향으로 결합 가능한 홈을 포함하고,
    상기 홈은 상기 상부 플래튼의 측표면으로부터 중심 방향으로 장축을 가지는 기둥 형상인 화학적 기계적 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 플래튼과 상기 하부 플래튼은 상호간의 결합을 위하여 스크류에 의한 결합, 진공에 의한 결합, 클립에 의한 결합, 또는 십자형 홈에 의한 결합 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 플래튼이 상하로 이동가능한 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 플래튼의 두께는 1~10cm인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 교체를 위한 자동화 장치는 암, 본체부, 및 보관 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보관 유닛은 로드 유닛 및 언로드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
  7. 측표면으로부터 중심 방향으로 장축을 가지는 기둥 형상의 홈을 포함하는 상부 플래튼에서, 사용된 연마패드가 부착된 상기 상부 플래튼의 상기 홈과 교체를 위한 자동화 장치의 암이 일방향으로 결합하는 단계;
    상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼과 회전축을 포함하는 하부 플래튼이 상대적으로 이동함으로써 서로 분리되는 단계;
    상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 교체를 위한 자동화 장치가 보관 유닛으로 이송하는 단계;
    상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하여 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 보관 유닛에 수납시키는 단계;
    새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼에 상기 암을 결합하여 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛으로부터 인출하는 단계;
    상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 하부 플래튼과 결합하는 단계; 및
    상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 보관 유닛은 로드 유닛을 포함하고,
    상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하여 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 보관 유닛에 수납시키는 단계는 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 로드 유닛에 수납하는 단계를 포함하고,
    새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼에 상기 암을 결합하여 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛으로부터 인출하는 단계는 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 로드 유닛으로부터 인출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 보관 유닛은 로드 유닛 및 언로드 유닛을 포함하고,
    상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼으로부터 상기 암을 분리하여 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 보관 유닛에 수납시키는 단계는 상기 사용된 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 언로드 유닛에 수납하는 단계를 포함하고,
    새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼에 상기 암을 결합하여 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 보관 유닛으로부터 인출하는 단계는 상기 새로운 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 상기 로드 유닛으로부터 인출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 사용된 연마패드를 상기 화학적 기계적 연마 장치의 외부에서 새로운 연마패드로 교환하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 연마패드 교체 방법.
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