KR102132561B1 - 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법 - Google Patents

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장상현
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주식회사 테라온
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Abstract

본 발명은 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 최소화됨으로써 발열 효과가 극대화되고 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 온도 균일도가 우수한 동시에, 발열성능 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감되는, 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법{Curved type plate heater and method for preparing the same}
본 발명은 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 최소화됨으로써 발열 효과가 극대화되고 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 온도 균일도가 우수한 동시에, 발열성능 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감되는, 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
면상 발열 히터는 면상의 지지 플레이트에 전극, 발열체 등이 인쇄된 컴팩트한 형태의 히터로 소형화 및 경량화가 요구되는 전기 전자 제품, 예를 들어, 프린터, 복사기, 난방기, 오븐, 조리기 등의 다양한 용도에 적용될 수 있다.
도 1은 종래 면상 발열 히터의 하나의 예시를 개략적으로 도시한 것이고, 도 2는 도 1에서 A-A' 단면을 개략적으로 도시한 것이다.
도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 종래 면상 발열 히터는 절연 기판(10)의 일면에 서로 다른 극성을 갖고 서로 전기적으로 분리된 한 쌍의 전극 패턴(21,22)을 포함하는 전극(20), 양 말단이 상기 한 쌍의 전극 패턴(21,22) 각각에 전기적으로 연결된 복수개의 발열체(30)가 서로 병렬로 연결되어 있다.
이러한 종래 면상 발열 히터는 복수개의 발열체(30)가 서로 병렬로 연결되기 때문에 각각의 발열체(30) 양 말단 각각에 서로 다른 극성의 전극 패턴(21,22)이 각각 연결되어야 하고, 이로써 발열체(30)의 갯수가 증가함에 따라 전극 패턴(21,22)의 설계가 복잡할 수밖에 없으며, 이에 따라 면상 발열 히터에서 발열체가 배치되지 않아 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 증가하게 되고, 결과적으로 발열 효과가 저하되는 문제가 있다.
또한, 발열체(30)와 절연 기판(10)은 서로 접촉함으로써 이들 사이에 전도에 의한 열전달이 일어나고, 상기 발열체(30)는 전기가 흐를 수 있는 도체로 상대적으로 열전도도가 높은 소재로 이루어져 있는 반면 상기 절연 기판(10)은 전기가 흐르지 않는 부도체로 열전도도가 상대적으로 낮은 소재로 이루어져 있어, 이러한 상기 발열체(30)와 상기 절연 기판(10)의 열전도도 차이에 의해 면상 발열 히터의 발열면 전체에서 온도 불균일이 발생하고, 결과적으로 면상 발열 히터의 온도 조절이 어려운 문제가 있다.
그리고, 면상 발열 히터는 통상 서로 다른 한 쌍의 전극 사이의 거리 조절에 의해 발열성능을 조절하고, 따라서 발열성능이 상이한 면상 발열 히터들은 각각 별개로 전극 패턴(21,22)이 설계되어야 하고, 이로써 발열성능 조절을 위한 설계가 번잡하고, 결과적으로 제조비용이 증가하는 문제가 있다.
나아가, 면상 발열 히터는 적용되는 용도에 따라 다양한 형상으로 설계될 수 있고, 도 3 및 4에 도시된 바와 같이, 테두리 중 적어도 일부가 곡면으로 이루어진 곡면형 면상 발열 히터로 설계될 수 있다.
도 3 및 4에 도시된 곡면형 면상 발열 히터는 전체적으로 원형의 형상을 갖고 있기 때문에, 도 3에 도시된 바와 같이, 원형의 절연기판(10')에 사각형 형상의 복수개의 발열체(30')가 배치되는 경우 도 5에 도시된 열화상이미지에 나타난 바와 같이 곡면 테두리와 상기 곡면 테두리에 인접하여 배치되는 발열체(30') 사이에 데드존이 집중적으로 발생하는 문제가 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 곡면형 면상 발열 히터에서 데드존의 발생을 억제하기 위해 각각의 발열체(30")를 절연기판(10")의 테두리 곡면에 상응하는 곡면을 갖는 형상, 예를 들어, 윗면의 길이가 아랫면의 길이보다 큰 역사다리꼴 형상으로서 윗면과 아랫면이 절연기판(10")의 테두리 곡면에 상응하는 곡면으로 형성되는 곡면형 사다리꼴 형상으로 설계할 수 있고, 이러한 경우 도 6에 도시된 열화상이미지에 나타난 바와 같이 데드존의 발생을 어느 정도 억제할 수 있다.
다만, 상기 곡면형 사다리꼴 형상의 발열체(30")는 이의 좌측면 및 우측면에 서로 다른 극성의 전극이 연결됨으로써 상기 발열체(30")에 전류가 흐르게 되면 전류 흐름 방향에 따른 발열체(30")의 폭이 아랫면에서 윗면으로 갈수록 증가하게 되고 이에 따라 상기 발열체(30")의 저항도 아랫면에서 윗면으로 갈수록 증가하게 되어 하나의 발열체(30")에서의 온도는 아랫면에서 윗면으로 갈수록 감소하게 되는 등 하나의 발열체(30") 내에서조차 온도 불균일이 발생하는 문제가 발생한다.
따라서, 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 최소화됨으로써 발열 효과가 극대화되고 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 온도 균일도가 우수한 동시에, 발열성능 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감되는, 면상 발열 히터 및 이의 제조방법이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 최소화됨으로써 발열 효과가 극대화되고 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 온도 균일도가 우수한 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 발열성능 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감되는, 곡면형 면상 발열 히터 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은,
테두리 중 적어도 일부가 곡면으로 형성된 곡면형 면상 발열 히터로서, 베이스 기판, 서로 이격된 복수개의 전극을 포함하는 상부 전극플레이트, 상기 복수개의 전극 각각의 표면까지 도달하는 복수개의 타공홀을 포함하는 절연필름 및 서로 이격된 복수개의 발열체를 포함하는 발열층이 하부로부터 순차적으로 적층되고, 상기 복수개의 발열체 각각의 양 말단이 각각 상기 타공홀을 통해 인접한 한 쌍의 전극 각각에 접속하게 되어 상기 복수개의 발열체 전체가 서로 직렬로 연결되는 하나 이상의 직렬 연결구간이 포함되며, 상기 전극 및 발열체 중 상기 곡면형 면상 발열 히터의 곡면형 테두리에 인접하여 배치되는 전극 및 발열체 각각의 상기 곡면형 테두리에 인접하는 면은 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면을 보유하고, 상기 복수개의 타공홀은 인접한 2개의 타공홀에서 내측의 서로 대향하는 면이 평행한 형상으로 설계되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
여기서, 상기 2개의 타공홀을 통해 양 말단 각각이 인접한 한 쌍의 전극 각각에 접속하게 되는 발열체에 전류가 흐를 때 임의의 지점에서의 저항이 동일하도록 조절되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
또한, 상기 직렬 연결구간에 배치되는 복수개의 전극 및 하나 이상의 발열체는 윗면의 길이가 아랫면의 길이보다 크고 상기 윗면과 상기 아랫면은 각각 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면 형상을 갖고 서로 평행곡선인 곡면형 사다리꼴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
한편, 상기 베이스 기판 하부에 하부 전극플레이트가 적층되고, 상기 하부 전극플레이트 하부에 하단 보호필름이 적층되고, 상기 베이스 기판에는 도전성 물질이 충진된 비아홀이 형성되며, 상기 직렬 연결구간에 배치된 전극 중 전류의 흐름상 양 말단에 배치되는 한 쌍의 전극 각각이 상기 비아홀을 통해 상기 하부 전극플레이트의 한 쌍의 접속면 각각에 접속하고, 상기 하부 전극플레이트는 이격 라인을 통해 서로 전기적으로 분리되며 서로 인접하게 배치되는 한 쌍의 돌출 전극을 포함하며, 상기 한 쌍의 접속면 각각은 상기 한 쌍의 돌출 전극 각각에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
또한, 상기 직렬 연결구간에 배치되는 복수개의 전극은 적어도 부분적으로 복수개의 행 또는 열로 배치될 수 있고, 상기 복수개의 행 또는 열 중 인접한 행 또는 열에 배치되는 전극들이 서로 전기적으로 연결될 수 있도록 하나 이상의 전극이 인접한 행 또는 열 모두에 포함될 수 있는 형상을 보유하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
그리고, 상기 직렬 연결구간은 복수개의 직렬 연결구간을 포함하고, 상기 복수개의 직렬 연결구간 중 가장 내측에 배치되는 직렬 연결구간의 중심 영역으로서 상기 전극이 배치될 수 없는 영역에 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극이 배치되고, 상기 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극은 이들 위에 적층된 발열체에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
또한, 상기 발열층 위에 적층된 상단 보호필름을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
한편, 상기 전극의 비저항은 1.72×10-6 Ω·cm 이상, 내열성은 260℃ 이상, 열전도율이 12 W/m·K 이상인 금속으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
또한, 상기 절연필름은 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 액정고분자(LCP), 폴리에틸렌설파이드(PES), 폴리에틸렌이미드(PEI), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리아미드이미드(PAI) 및 폴리설폰(PSU)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 고분자 수지를 포함하는 절연 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
그리고, 상기 발열체는 혼합 바인더와 전도성 입자를 포함하는 발열체 조성물로부터 형성되고, 상기 전도성 입자는 금속 입자와 탄소 입자 중 적어도 하나 이상의 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터를 제공할 수 있다.
한편, 아래 단계 a) 내지 f)를 순차적으로 수행하는, 상기 직렬형 면상 발열 히터의 제조방법을 제공할 수 있다.
a) 하단 보호필름 위에 적층된 하부 전극플레이트에 대해 이격 라인을 형성함으로써 한 쌍의 돌출전극이 전기적으로 분리되도록 형성하는 단계,
b) 상기 하부 전극플레이트 위에 전도성 물질이 충진된 비아홀이 구비된 베이스 기판을 합지하는 단계,
c) 상부 전극플레이트에 대해 복수개의 간극을 형성함으로써 서로 이격된 복수개의 전극을 형성한 후 이를 상기 베이스 기판 위에 합지하는 단계,
d) 상기 상부 전극플레이트 위에 형성된 복수개의 타공홀을 갖는 절연필름을 합지하는 단계,
e) 상기 복수개의 타공홀 중 인접한 한 쌍의 전극 각각의 표면에 배치되는 한 쌍의 타공홀을 서로 연결하여 양 말단이 상기 한 쌍의 전극 각각에 접속하고 서로 이격된 복수개의 발열체를 인쇄하는 단계,
f) 상기 발열체를 포함하는 발열층 위에 상단 보호필름을 합지하는 단계.
본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 전체적인 곡면 형상에 따라 전극 플레이트, 절연필름 및 발열층의 형상이 설계됨으로써 발열하지 않는 영역인 데드존(dead zone)이 최소화됨으로써 발열 효과가 극대화되는 우수한 효과를 나타낸다.
또한, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 발열층을 형성하는 각각의 발열체에서 전류가 흐르는 폭의 길이가 일정하도록 절연필름의 타공부를 설계함으로써 하나의 발열체 내에서의 온도 균일도를 향상시켜, 결과적으로 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 온도 균일도가 우수한 효과를 나타낸다.
나아가, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 발열성능을 한 쌍의 전극 사이의 거리가 아니라 전극 위에 코팅되는 절연필름의 타공부의 위치에 의해 조절함으로서 발열선을 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감될 수 있는 우수한 효과를 나타낸다.
도 1은 종래 면상 발열 히터의 구조를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1에서 A-A' 단면구조를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 곡면형 면상 발열 히터의 하나의 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 곡면형 면상 발열 히터의 또 다른 실시예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 도 3에 도시된 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
도 6은 도 4에 도시된 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
도 7은 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터의 하나의 실시예에 대한 적층 구조를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다.
도 8은 도 7에서 하부 전극플레이트의 평면도이다.
도 9는 도 7에서 베이스 기판의 평면도이다.
도 10은 도 7에서 상부 전극플레이트의 평면도이다.
도 11은 도 7에서 상부 전극플레이트 위에 절연필름이 적층된 평면도이다.
도 12는 도 7에서 발열층의 평면도이다.
도 13은 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터에서의 일부 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 14는 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터에서의 부분 확대도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 15는 도 10에서 상부 전극플레이트에 전류가 흐르는 방향을 개략적으로 도시한 것이다.
도 16은 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
도 17은 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 7은 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터의 하나의 실시예에 대한 적층 구조를 개략적으로 도시한 분해 사시도이고, 도 8 내지 12는 도 7에서 하부 전극플레이트, 베이스 기판, 상부 전극플레이트, 절연필름 및 발열층의 평면도를 각각 도시한 것이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 하단 보호필름(100), 하부 전극플레이트(200), 베이스 기판(300), 상부 전극플레이트(400), 절연필름(500), 발열층(600) 및 상단 보호필름(700)이 하부로부터 순차적으로 적층됨으로써 형성될 수 있다.
상기 적층되는 각각의 구성들은 전체적으로 동일하거나 유사한 평면 형상을 보유할 수 있고, 특히 이들 각각의 테두리 중 적어도 일부는 곡면으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 테두리에 형성된 곡면의 곡률 반경은 약 1 m 이하이고, 상기 테두리 전체 길이를 기준으로 상기 곡면의 길이는 약 5% 이상일 수 있다.
여기서, 상기 하단 보호필름(100)은 상기 하부 전극플레이트(200)를 지지하고 절연시키는 기능을 수행하고, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터가 사용되는 응용분야나 사용온도에 따라 다양한 두께와 소재로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 두께는 약 5 내지 20 ㎛이고, 소재는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyelene terepthalate; PET), 폴리이미드(polyimide; PI), 폴리아크릴로니트릴(poly acrylonitrile; PAN), 폴리우레탄(polyurethane; PU), 실리콘, 폴리카보네이트(polycarbonate; PC), 테프론(tefron), 액정고분자(liquid crystal polymer; LCP), 폴리에테르에테르케톤(poly ether ether ketone; PEEK), 폴리에테르술폰(polyethersulphone; PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate: PAR), 폴리에테르이미드(polyetherimide; PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate; PEN), 폴리페닐렌설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 셀룰로오스 트리아세테이트(cellulose triacetate; CTA), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propinonate; CAP) 등으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 플라스틱 소재로 이루어질 수 있다.
상기 하부 전극플레이트(200)는 상기 하부 전극플레이트(200) 위에 적층되는 베이스 기판(300)에 형성되고 도전성 물질이 충진된 비아홀(310a,310b)을 통해 상기 베이스 기판(300) 위에 적층되는 상부 전극플레이트(400)에서 서로 이격되어 배치되나 하나 이상의 발열체(610)를 통해 서로 직렬 연결되는 복수개의 전극(410) 중 양 말단에 배치된 전극(410a,410b)에 각각 접속하게 되는 접속면(210a,210b)을 포함한다.
그리고, 상기 하부 전극플레이트(200)에는 상기 한 쌍의 접속면(210a,210b) 각각에 전기적으로 연결되어 있고 외부로 돌출된 한 쌍의 돌출 전극(220a,220b)이 구비되고, 상기 한 쌍의 접속면(210a,210b) 및 상기 한 쌍의 돌출 전극(220a,220b)은 각각 이격 라인(230)을 통해 서로 전기적으로 분리될 수 있다.
이로써, 외부의 전원 단자에 각각 연결되고 극성이 서로 상이한 한 쌍의 돌출 전극(220a,220b)이 서로 인접하여 배치될 수 있고, 상기 한 쌍의 돌출 전극(220a,220b)에 각각 연결되는 전원 단자의 배치 설계가 용이할 수 있다. 다만, 전원 단자의 배치 설계에 따라 상기 하단 보호필름(100) 및 하부 전극플레이트(200)는 생략될 수 있고, 이러한 경우 상기 베이스 기판(300)에는 비아홀이 구비될 필요 없으며, 상기 상부 전극플레이트에 구비된 한 쌍의 전극(410a,410b)은 직접 외부의 전원 단자에 연결될 수 있다.
상기 베이스 기판(300)은 상기 상부 전극플레이트(400)를 지지하고 상기 상부 전극플레이트(400)와 상기 하부 전극플레이트(200) 사이에 배치되어 상기 비아홀(310a,310b)을 제외하고 서로 절연시키는 기능을 수행하며, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터가 사용되는 응용분야나 사용온도에 따라 다양한 두께와 소재로 이루어 질 수 있고, 예를 들어, 상기 하단 보호필름(100)과 동일하거나 상이한 두께 및 소재로 이루어질 수 있다.
상기 상부 전극플레이트(400)는 포토리소그래피에 의한 에칭 등에 의해 폭이 약 0.5 내지 1 mm로 형성될 수 있는 간극(420)으로 서로 이격된 복수개의 전극(410)을 포함할 수 있고, 특히 서로 이격되어 전기적으로 연결되지 않은 복수개의 전극(410)이 상기 발열층(600)에 포함되는 하나 이상의 발열체(610)에 의해 서로 직렬로 연결되는 하나 이상의 직렬 연결구간을 포함할 수 있으며, 복수개의 직렬 연결구간을 포함하는 경우 각각의 직렬 연결구간은 전체적으로 원형 고리 형상으로 구비될 수 있다.
여기서, 각각의 직렬 연결구간에 배치되는 전극(410) 및 발열체(610), 특히 상기 전극(410) 및 상기 발열체(610) 각각에서 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터의 곡면형 테두리에 인접하는 면은 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면을 보유함으로써, 상기 전극(410) 및 상기 발열체(610)가 상기 곡면형 테두리에 인접하여 배치되는 경우에도 상기 곡면형 테두리에 인접하여 배치되는 전극(410) 및 상기 발열체(610)의 상기 곡면형 테두리에 인접하는 면과 상기 곡면형 테두리 사이의 데드존(dead zone), 즉 발열면에서 발열하지 않는 영역을 최소화할 수 있고, 인접하여 배치되는 전극(410) 및 발열체(610) 사이 사이의 데드존도 최소화할 수 있다.
특히, 상기 전극(410) 및 상기 발열체(610)는 예를 들어 윗면의 길이가 아랫면의 길이보다 큰 역사다리꼴 형상으로 상기 윗면과 상기 아랫면은 각각 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면 형상을 갖고 서로 평행곡선인 곡면형 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 다만, 하나 이상의 직렬 연결구간 중 가장 내측에 배치되는 직렬 연결구간의 중심 영역으로서 그 공간이 더 이상 곡면형 사다리꼴 형상의 전극(410)이 배치될 수 없는 영역에는 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극이 배치될 수 있고, 상기 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극은 이의 위에 적층된 사각형 형상의 발열체에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.
도 13은 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터에서의 일부 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
구체적으로, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 상부 전극플레이트(400) 위에 적층되는 절연필름(500)에는 레이저장치에 의한 식각 등에 의해 상기 전극 플레이트(400)의 전극(410) 표면까지 타공된 복수개의 타공홀(510)이 형성되고, 상기 절연필름(500) 위에 적층되는 발열층(600)에 포함되는 각각의 발열체(610)의 양 말단은 각각 상기 타공홀(510)을 통해 인접한 한 쌍의 전극(410) 각각에 접속하게 됨으로써 각각의 직렬 연결구간에 배치된 복수개의 전극(410)은 전체가 서로 전기적으로 연결된다.
도 14는 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터에서의 부분 확대도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 14에 도시된 바와 같이, 곡면형 사다리꼴 형상을 갖는 발열체(610)는 평행곡선으로 형성된 아랫면에서 윗면으로 갈수록 전류의 흐름 방향에 따른 폭이 증가하게 되고 이에 따라 상기 발열체(610)의 저항도 아랫면에서 윗면으로 갈수록 증가하게 되므로 상기 발열체(610)의 좌우측 말단이 전극에 접속하는 경우 하나의 발열체(610) 내에서 상이한 저항에 따른 온도 불균일이 유발될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 상기 절연필름(500)에 형성된 복수개의 타공홀(510)의 형상을 특정하게 설계함으로써 상기 하나의 발열체(610)에 전류가 흐를때 임의의 지점에서의 저항이 동일하도록 조절할 수 있다.
구체적으로, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 복수개의 타공홀(510)은 인접한 2개의 타공홀(510)에서 내측의 서로 대향하는 면, 즉 상기 2개의 타공홀 사이에 배치된 절연필름(510) 좌우에 각각 접하는 한 쌍의 면이 평행한 형상으로 설계될 수 있고, 이로써 상기 타공홀(510)을 통해 이의 하부에 위치한 전극(410)과 접속하게 되는 발열체(610)에서 전류의 흐름이 발생하는 영역의 폭이 아랫면에서 윗면으로 갈수록 증가하지 않고 일정하게 유지됨으로써 저항도 일정하게 유지될 수 있으며, 결과적으로 하나의 발열체(610) 내에서의 온도 균일도가 향상될 수 있다.
도 15는 도 10에서 상부 전극플레이트에 전류가 흐르는 방향을 개략적으로 도시한 것이다.
도 14에 도시된 바와 같이, 상기 상부 전극플레이트(410)에는 복수개의 직렬 연결구간이 포함되어 복수개의 직렬 전류흐름이 존재할 수 있고, 각각의 직렬 연결구간에 배치되는 복수개의 전극(410)은 적어도 부분적으로 복수개의 행 또는 열로 배치될 수 있으며, 이러한 경우 인접한 행 또는 열 각각에 배치되는 전극(410)들이 서로 전기적으로 연결될 수 있도록 일부 전극(411)이 인접한 행 또는 열 모두에 포함될 수 있는 형상을 보유할 수 있다.
이로써, 각각의 직렬 연결구간에서 전류의 흐름상 양 말단에 배치되는 한 쌍의 전극(410a,410b)은 상기 베이스 기판(300)의 비아홀(310a,310b)을 통해 상기 하부 전극플레이트(200)의 한 쌍의 접속면(210a,210b)에 각각 접속하고, 상기 한 쌍의 접속면(210a,210b) 각각에 전기적으로 연결되고 서로 다른 극성을 갖는 한 쌍의 돌출 전극(220a,220b)에 전압이 인가되는 경우 상기 직렬 연결구간마다 배치되고 서로 직렬 연결된 발열체(610)에 전류가 흐름으로써 상기 발열체(610)가 갖는 고유 저항에 의해 발열이 구현된다.
상기 하부 전극플레이트(200) 및 상기 상부 전극플레이트(400)는 알루미늄, 스틸, 구리 등의 금속으로 이루어질 수 있고, 상기 금속은 비중이 2.7 g/cm3 이상, 예를 들어, 2.7 내지 8.9 g/cm3, 비저항이 1.72×10-6 Ω·cm 이상, 예를 들어, 1.72×10-6 내지 72×10-6 Ω·cm, 내열성은 260℃ 이상, 예를 들어, 260 내지 500℃, 열전도율이 12 W/m·K 이상, 예를 들어, 12 내지 400 W/m·K 일 수 있다.
또한, 상기 전극플레이트(200,400)의 두께는 예를 들어 5 내지 75 ㎛일 수 있다. 상기 전극플레이트(200,400)의 두께가 5 ㎛ 미만인 경우, 구동전압에 따른 전압강하의 우려가 있고, 75 ㎛ 초과인 경우 전극부와 발열부 등의 높이 단차로 인한 불량의 우려가 높다.
상기 절연필름(500)은 앞서 기술한 바와 같이 복수개의 타공홀(510)을 포함할 수 있고, 상기 복수개의 타공홀(510) 중 서로 인접합 한 쌍의 전극(410) 각각의 표면과 연결되는 한 쌍의 타공라인(510) 사이의 길이에 따라 상기 한 쌍의 타공홀(510) 각각을 통해 각각의 말단이 상기 한 쌍의 전극(410) 각각에 접속하는 발열체(610)의 폭이 결정되므로, 상기 한 쌍의 타공홀(510) 사이의 길이 조절에 의해 발열성능을 조절할 수 있다.
상기 절연필름(500)은 절연 특성, 내열 특성이 우수한 고분자 수지 필름을 포함할 수 있고, 바람직하게는, 장기 열안정성 230℃ 이상, 단기 열안정성 400℃ 이상, 열변형온도(HDT/A) 470℃ 이상, 230℃ 이상의 온도에서도 고강도, 탄성 및 강성 유지, -40℃ 이하 온도에서의 내한 특성, 진공상태에서의 높은 순도 및 낮은 가스 배출, 우수한 가공성 및 자체 난연성을 보유한 고분자 수지, 예를 들어, 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 액정고분자(LCP), 폴리에틸렌설파이드(PES), 폴리에틸렌이미드(PEI), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리아미드이미드(PAI), 폴리설폰(PSU) 등의 고분자 수지를 포함하는 필름을 포함할 수 있다.
상기 발열층(600)은 서로 이격된 복수개의 발열체(610)를 포함할 수 있고, 상기 상부 전극플레이트(400)에 포함된 복수개의 전극(410)과 같이 복수개의 행 또는 열로 배치될 수 있으며, 앞서 기술한 바와 같이, 각각의 발열체(610)는 양 말단 각각이 상기 절연필름(500)의 타공홀(510)을 통해 상기 상부 전극플레이트(400)에서 이격된 한 쌍의 전극(410) 각각에 접속된다.
상기 발열체(610)는 혼합 바인더와 전도성 입자를 포함하는 발열체 조성물을 인쇄한 후 건조시켜 형성할 수 있고, 이렇게 형성된 발열체(610) 각각의 두께는 약 3 내지 20 ㎛일 수 있다.
상기 혼합 바인더는 300℃ 가량의 온도에서도 내열성을 가질 수 있도록, 페놀계 수지, 아세탈계 수지, 이소시아네이트계 수지, 에폭시계 수지 등으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 2종 이상을 포함할 수 있고, 상기 전도성 입자는 상기 발열체(610)의 내열성도 향상시킬 수 있는 탄소 입자를 포함하고, 추가로 금속 분말을 포함할 수 있다.
상기 탄소 입자로는 카본블랙, 탄소나노튜브, 그라파이트, 활성탄소 등, 바람직하게는 탄소나노튜브와 그라파이트를 포함할 수 있고, 상기 탄소 입자로서 탄소나노튜브는 종횡비가 크기 때문에 소량으로 충분한 전기적 네트워크 형성을 가능하게 할 뿐만 아니라 발열체 조성물의 유리전이온도 및 내열도를 증대시키는 효과가 있고, 그라파이트는 탄소나노튜브만으로 도달할 수 없는 저저항을 달성할 수 있도록 한다.
상기 발열층(600) 위에는 상기 발열층(600)을 외부로부터 보호하기 위한 상단 보호필름(700)이 추가로 적층될 수 있고, 상기 상단 보호필름(700)의 형상은 상기 발열층(600)의 전체 형상에 상응하는 형상일 수 있고, 이의 두께는 약 10 내지 100 ㎛일 수 있다. 또한, 상기 상단 보호필름(700)은 상기 하단 보호필름(100) 또는 상기 절연필름(500)과 동일하거나 상이한 소재로 이루어질 수 있고, 바람직하게는 동일한 소재로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 아래 단계 a) 내지 f)를 순차적으로 수행함으로써 제조될 수 있다.
a) 하단 보호필름(100) 위에 적층된 하부 전극플레이트(200)에 대해 포토리소그래피에 의한 에칭 등에 의해 이격 라인(230)을 형성함으로써 한 쌍의 돌출전극(220a,220b)이 전기적으로 분리되도록 형성하는 단계,
b) 상기 하부 전극플레이트(200) 위에 전도성 물질이 충진된 비아홀(310)이 구비된 베이스 기판(300)을 합지하는 단계,
c) 상부 전극플레이트(400)에 대해 포토리소그래피에 의한 에칭 등에 의해 복수개의 간극(420)을 형성함으로써 서로 이격된 복수개의 전극(410)을 형성한 후 이를 상기 베이스 기판(300) 위에 합지하는 단계,
d) 상기 상부 전극플레이트(400) 위에 레이저장치에 의한 식각 등에 의해 형성된 복수개의 타공홀(510)을 갖는 절연필름(500)을 합지하는 단계,
e) 상기 복수개의 타공홀(510) 중 인접한 한 쌍의 전극 각각의 표면에 배치되는 한 쌍의 타공홀(510)을 서로 연결하여 양 말단이 상기 한 쌍의 전극 각각에 접속하고 서로 이격된 복수개의 발열체(610)를 인쇄하는 단계,
f) 상기 발열체(610)를 포함하는 발열층(610) 위에 상단 보호필름(700)을 합지하는 단계.
본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 앞서 기술한 구조, 특히 서로 이격되어 있는 복수개의 전극(410)을 포함하는 상부 전극플레이트(400) 위에 절연필름(500)이 적층되고, 상기 절연필름(500)에 형성된 복수개의 타공홀(510)을 통해 인접한 한 쌍의 전극(410) 각각에 양 말단 각각이 접속하는 복수개의 발열체(610)를 통해 상기 복수개의 전극(410) 전체가 서로 전기적으로 연결되고, 이로써 상기 복수개의 발열체(610)가 직렬로 연결되도록 함으로써, 종래 복수개의 발열체(610)가 병렬로 연결됨에 따라 각각의 발열체 양 말단에 서로 다른 극성의 전극이 접속되도록 하기 위한 전극 패턴의 복잡한 설계로 인해 발열면에서 발열체가 배치되지 않아 발열하지 않는 데드존(dead zone)이 증가하는 문제를 해결하여 상기 데드존을 최소화할 수 있는 동시에, 열전도성이 우수한 금속으로 이루어진 전극이 면상 발열 히터의 발열면을 전체적으로 커버함으로써 면상 발열 히터의 전체 발열면에서의 신속한 열전달에 의한 우수한 온도 균일도를 구현할 수 있다.
도 16 및 17은 도 7에 도시된 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
구체적으로, 도 16은 저발열용 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이고, 도 17은 고발열용 곡면형 면상 발열 히터의 발열시 열화상이미지 사진이다.
도 16 및 17에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 곡면형 면상 발열 히터는 발열면을 전체적으로 커버하고 열전도도가 우수한 상부 전극플레이트(400)에 의한 신속한 열전도 및 데드존을 최소화하는 전극과 발열체의 형상 설계에 의해 전체적으로 우수한 온도 균일도를 구현할 수 있다.
나아가, 상기 곡면형 면상 발열 히터는 앞서 기술한 바와 같이 발열성능의 조절이 상기 상부 전극플레이트(400)의 설계에 의한 것이 아니라 상기 상부 전극플레이트(400) 위에 적층되는 절연필름(500)에 형성되는 타공홀(510)의 설계에 의해 가능하기 때문에 발열성능에 따라 전극 패턴의 설계를 변경해야 했던 종래 면상 발열 히터에 비해 발열성능 조절을 위한 설계가 용이하여 제조비용이 절감될 수 있다.
본 명세서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.
100 : 하단 보호필름 200 : 하부 전극플레이트
300 : 베이스 기판 400 : 상부 전극플레이트
500 : 절연필름 600 : 발열층
700 : 상단 보호필름

Claims (11)

  1. 테두리 중 적어도 일부가 곡면으로 형성된 곡면형 면상 발열 히터로서,
    베이스 기판, 서로 이격된 복수개의 전극을 포함하는 상부 전극플레이트, 상기 복수개의 전극 각각의 표면까지 도달하는 복수개의 타공홀을 포함하는 절연필름 및 서로 이격된 복수개의 발열체를 포함하는 발열층이 하부로부터 순차적으로 적층되고,
    상기 복수개의 발열체 각각의 양 말단이 각각 상기 타공홀을 통해 인접한 한 쌍의 전극 각각에 접속하게 되어 상기 복수개의 발열체 전체가 서로 직렬로 연결되는 하나 이상의 직렬 연결구간이 포함되며,
    상기 전극 및 발열체 중 상기 곡면형 면상 발열 히터의 곡면형 테두리에 인접하여 배치되는 전극 및 발열체 각각의 상기 곡면형 테두리에 인접하는 면은 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면을 보유하고,
    상기 복수개의 타공홀은 인접한 2개의 타공홀에서 내측의 서로 대향하는 면이 평행한 형상으로 설계되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2개의 타공홀을 통해 양 말단 각각이 인접한 한 쌍의 전극 각각에 접속하게 되는 발열체에 전류가 흐를 때 임의의 지점에서의 저항이 동일하도록 조절되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 직렬 연결구간에 배치되는 복수개의 전극 및 하나 이상의 발열체는 윗면의 길이가 아랫면의 길이보다 크고 상기 윗면과 상기 아랫면은 각각 상기 곡면형 테두리에 상응하는 곡면 형상을 갖고 서로 평행곡선인 곡면형 사다리꼴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 베이스 기판 하부에 하부 전극플레이트가 적층되고,
    상기 하부 전극플레이트 하부에 하단 보호필름이 적층되고,
    상기 베이스 기판에는 도전성 물질이 충진된 비아홀이 형성되며,
    상기 직렬 연결구간에 배치된 전극 중 전류의 흐름상 양 말단에 배치되는 한 쌍의 전극 각각이 상기 비아홀을 통해 상기 하부 전극플레이트의 한 쌍의 접속면 각각에 접속하고,
    상기 하부 전극플레이트는 이격 라인을 통해 서로 전기적으로 분리되며 서로 인접하게 배치되는 한 쌍의 돌출 전극을 포함하며,
    상기 한 쌍의 접속면 각각은 상기 한 쌍의 돌출 전극 각각에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 직렬 연결구간에 배치되는 복수개의 전극은 적어도 부분적으로 복수개의 행 또는 열로 배치될 수 있고, 상기 복수개의 행 또는 열 중 인접한 행 또는 열에 배치되는 전극들이 서로 전기적으로 연결될 수 있도록 하나 이상의 전극이 인접한 행 또는 열 모두에 포함될 수 있는 형상을 보유하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 직렬 연결구간은 복수개의 직렬 연결구간을 포함하고,
    상기 복수개의 직렬 연결구간 중 가장 내측에 배치되는 직렬 연결구간의 중심 영역으로서 상기 전극이 배치될 수 없는 영역에 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극이 배치되고,
    상기 서로 이격된 한 쌍의 반원형 전극은 이들 위에 적층된 발열체에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 발열층 위에 적층된 상단 보호필름을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 전극은 비저항이 1.72×10-6 Ω·cm 이상, 내열성은 260℃ 이상, 열전도율이 12 W/m·K 이상인 금속으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절연필름은 폴리이미드(PI), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 액정고분자(LCP), 폴리에틸렌설파이드(PES), 폴리에틸렌이미드(PEI), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리아미드이미드(PAI) 및 폴리설폰(PSU)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 고분자 수지를 포함하는 절연 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 발열체는 혼합 바인더와 전도성 입자를 포함하는 발열체 조성물로부터 형성되고,
    상기 전도성 입자는 금속 입자와 탄소 입자 중 적어도 하나 이상의 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 곡면형 면상 발열 히터.
  11. 아래 단계 a) 내지 f)를 순차적으로 수행하는, 제7항의 곡면형 면상 발열 히터의 제조방법.
    a) 하단 보호필름 위에 적층된 하부 전극플레이트에 대해 이격 라인을 형성함으로써 한 쌍의 돌출전극이 전기적으로 분리되도록 형성하는 단계,
    b) 상기 하부 전극플레이트 위에 전도성 물질이 충진된 비아홀이 구비된 베이스 기판을 합지하는 단계,
    c) 상부 전극플레이트에 대해 복수개의 간극을 형성함으로써 서로 이격된 복수개의 전극을 형성한 후 이를 상기 베이스 기판 위에 합지하는 단계,
    d) 상기 상부 전극플레이트 위에 형성된 복수개의 타공홀을 갖는 절연필름을 합지하는 단계,
    e) 상기 복수개의 타공홀 중 인접한 한 쌍의 전극 각각의 표면에 배치되는 한 쌍의 타공홀을 서로 연결하여 양 말단이 상기 한 쌍의 전극 각각에 접속하고 서로 이격된 복수개의 발열체를 인쇄하는 단계,
    f) 상기 발열체를 포함하는 발열층 위에 상단 보호필름을 합지하는 단계.
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000062492A (ko) * 1999-03-29 2000-10-25 토마스 더블유. 버크맨 피티시 요소와 버스 시스템을 구비하는 히터
KR20160124668A (ko) * 2015-04-20 2016-10-28 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 세라믹 히터 및 정전척

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