KR102130442B1 - 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법 - Google Patents

모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102130442B1
KR102130442B1 KR1020190113424A KR20190113424A KR102130442B1 KR 102130442 B1 KR102130442 B1 KR 102130442B1 KR 1020190113424 A KR1020190113424 A KR 1020190113424A KR 20190113424 A KR20190113424 A KR 20190113424A KR 102130442 B1 KR102130442 B1 KR 102130442B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mobile
mobile glass
chuck
coating
glass
Prior art date
Application number
KR1020190113424A
Other languages
English (en)
Inventor
심재은
정해원
최상우
Original Assignee
주식회사 제스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 제스코 filed Critical 주식회사 제스코
Priority to KR1020190113424A priority Critical patent/KR102130442B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102130442B1 publication Critical patent/KR102130442B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따르면, 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합할 때, 모바일 글래스를 고정하는데 사용되는 모바일 글래스 척의 제조 방법으로서, 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부를 준비하는 단계; 상기 바디부의 적어도 일부를 절연막으로 도포하는 단계; 상기 바디부 및 상기 절연막 상부에 폴리이미드로 필름층을 형성하되, 상기 필름층의 내부에 구리 전극을 포함하여 형성되는 단계; 상기 구리 전극과 외부의 척킹 전압을 전기적으로 연결하는 단계; 및 상기 폴리이미드 필름층 상부 그리고 상기 모바일 패널과 대면하는 면에, 표면오염을 줄이고 아킹(arching) 발생이 예방될 수 있도록 하는 절연코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는, 모바일 글래스 척의 제조 방법을 개시한다.
또한, 본 발명은 상술한 모바일 글래스 척의 제조 방법에 따라 제조된, 모바일 글래스 척을 개시한다.
또한, 본 발명은 모바일 패널 척에 모바일 패널을 고정하는 단계; 모바일 글래스를 모바일 글래스 척으로 고정하는 단계; 및 상기 모바일 패널과 상기 모바일 글래스를 접합하는 단계;를 포함하고, 상기 모바일 글래스 척은, 상기 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부; 상기 바디부 전체를 도포하는 절연막; 상기 바디부 및 절연막 상부에 형성된 폴리이미드 필름층; 상기 폴리이미드 필름층의 내부에 포함되며 척킹 전압이 인가되는 구리 전극; 상기 구리 전극에 척킹 전압을 인가하는 척킹 전압부; 및 상기 구리 전극의 상부에 형성된 절연코팅부;를 포함하는, 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법을 개시한다.

Description

모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법{METHOD OF MANUFACTURING MOBILE GLASS CHUCK, MOBILE GLASS CHUCK USING THE SAME AND METHOD OF ATTACHING MOBILE GLASS TO MOBILE PANEL OF SMARTPHONE}
본 발명은 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는, 모바일 글래스 척의 표면 오염을 줄일 수 있으며 하드니스(hardness) 개선효과를 가져서 필름 손상이 심해져서 발생할 수 있는 구리 전극에서의 아킹(arching) 발생을 예방할 수 있으며, 제품 수명을 5배 이상 향상시키는 것이 가능하며, 나아가 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 상온, 저진공에서 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 1 내지 500마이크로미터의 두께로 투명하게 코팅하는 것이 가능한, 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법에 관한 것이다.
종래 기술로서 대한민국 공개특허 제10-2010-0137679호 (2010.12.31 공개, 발명의 명칭 : 글라스 정전척 및 그 제조방법{GLASS ELECTROSTATIC CHUCK AND FABRICATION METHOD THEREOF})으로서, 해당 특허문헌에서는, "피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전척에 있어서, 글라스 재질로 이루어진 유전체 플레이트; 상기 유전체 플레이트의 내부 또는 일면에 마련된 전극; 및 겔 타입의 접합제에 의해 상기 유전체 플레이트에 접합된 금속 지지대;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정전척"이 개시되어 있다.
하지만, 상술한 종래 특허문헌들에서는, 모바일 글래스 척의 표면 오염을 줄일 수 있으며 하드니스(hardness) 개선효과를 가져서 필름 손상이 심해져서 발생할 수 있는 구리 전극에서의 아킹(arching) 발생을 예방할 수 있으며, 제품 수명을 5배 이상 향상시키는 것이 가능하게 한 본 발명과 같은 구성이나 동기가 전혀 개시되어 있지 않다.
나아가 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 상온, 저진공에서 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 1 내지 500마이크로미터의 두께로 투명하게 코팅하는 기술에 대해서도 전혀 개시하지 않고 있다.
1. 대한민국 공개특허 제10-2010-0137679호 (2010.12.31 공개, 발명의 명칭 : 글라스 정전척 및 그 제조방법{GLASS ELECTROSTATIC CHUCK AND FABRICATION METHOD THEREOF})
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은, 모바일 글래스 척의 표면 오염을 줄일 수 있으며 하드니스(hardness) 개선효과를 가져서 필름 손상이 심해져서 발생할 수 있는 구리 전극에서의 아킹(arching) 발생을 예방할 수 있으며, 제품 수명을 5배 이상 향상시키는 것이 가능한, 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 상온, 저진공에서 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 1 내지 500마이크로미터의 두께로 투명하게 코팅한, 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 모바일 글래스 척의 제조 방법은, 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합할 때, 모바일 글래스를 고정하는데 사용되는 모바일 글래스 척의 제조 방법으로서, 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부를 준비하는 단계; 상기 바디부의 적어도 일부를 절연막으로 도포하는 단계; 상기 바디부 및 상기 절연막 상부에 폴리이미드로 필름층을 형성하되, 상기 필름층의 내부에 구리 전극을 포함하여 형성되는 단계; 상기 구리 전극과 외부의 척킹 전압을 전기적으로 연결하는 단계; 및 상기 폴리이미드 필름층 상부 그리고 상기 모바일 패널과 대면하는 면에, 표면오염을 줄이고 아킹(arching) 발생이 예방될 수 있도록 하는 절연코팅층을 형성하는 단계;를 포함한다.
또한, 상기 절연코팅층은, 1 내지 500마이크로미터의 두께를 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 절연코팅층은, Y2O3로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 투명한 색으로 코팅한다.
또한, 상기 Y2O3의 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기 플라즈마 용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 상온 및 10-6 Torr 이하의 진공도를 갖는 저진공 상태에서 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 모바일 글래스 척은, 상술한 모바일 글래스 척의 제조 방법에 따라 제조된다.
한편, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법은, 모바일 패널 척에 모바일 패널을 고정하는 단계; 모바일 글래스를 모바일 글래스 척으로 고정하는 단계; 및 상기 모바일 패널과 상기 모바일 글래스를 접합하는 단계;를 포함하고, 상기 모바일 글래스 척은, 상기 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부; 상기 바디부 전체를 도포하는 절연막; 상기 바디부 및 절연막 상부에 형성된 폴리이미드 필름층; 상기 폴리이미드 필름층의 내부에 포함되며 척킹 전압이 인가되는 구리 전극; 상기 구리 전극에 척킹 전압을 인가하는 척킹 전압부; 및 상기 구리 전극의 상부에 형성된 절연코팅부;를 포함한다.
마찬가지로, 상기 절연코팅층은, 1 내지 500마이크로미터의 두께를 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 절연코팅층은, Y2O3로 형성되되, 상기 Y2O3의 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 상온 및 10-6 Torr 이하의 진공도를 갖는 저진공 상태에서 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 척킹 전압부에 척킹 전압을 인가하여, 상기 모바일 글래스 척이 상기 모바일 글래스를 척킹한다.
본 발명에 따른 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법에 의하면,
첫째, 모바일 글래스 척의 표면 오염을 줄일 수 있다.
둘째, 모바일 글래스 척의 하드니스(hardness) 개선효과를 가져서 필름 손상이 심해져서 발생할 수 있는 구리 전극에서의 아킹(arching) 발생을 사전에 방지할 수 있다.
셋째, 이와 같은 하드니스 개선 등의 효과를 통해서, 모바일 글래스 척의 제품 수명을 5배 이상 향상시키는 것이 가능하다.
넷째, 기존에 문제점을 갖고 있던 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 없다는 점을 해결할 수 있다.
즉, 통상 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 상온, 저진공에서 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 1 내지 500마이크로미터의 두께로 투명하게 코팅하여, 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 투명한 절연코팅층을 통해서 육안 확인이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모바일 글래스 척의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 종래 기술을 도시한 도면이다.
도 3은 종래 기술의 문제점을 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
(모바일 글래스 척의 구성 및 제조 방법)
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모바일 글래스 척의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 1 에 도시된 바와 같이, 모바일 글래스 척은, 스마트폰의 모바일 패널(예를 들어, OLED 패널)을 모바일 글래스(커버 글래스)와 접합할 때, 모바일 글래스를 고정하는데 사용되는 구성이다. 모바일 글래스 척은, 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부를 포함한다.
또한, 바디부의 적어도 일부, 즉 도 1에 도시된 바와 같이, 하면을 제외한 상면과 측면에 절연막을 포함한다. 그리고 도 1에서 볼 수 있는 것처럼, 바디부 및 절연막 상부에 형성된 폴리이미드 필름층을 포함하되, 구리전극을 포함한다. 또한, 구리 전극에 척킹 전압을 인가하는 척킹 전압부를 포함한다. 해당 구리 전극은 척킹 전압부의 척킹 전압과 연결되어, 모바일 글래스를 척킹 전압으로 고정하게 된다.
또한, 폴리이미드 필름층 및 구리 전극 상부, 즉 모바일 글래스 또는 모바일 패널과 대면하는 면에 형성된 절연코팅층을 갖는다. 절연코팅층은 1 내지 500마이크로미터의 두께로 폴이이미드 필름층 위에 형성한다. 이와 같은 두께를 갖는 절연코팅층을 통해서, 다음과 같은 기술적인 문제를 해결할 수 있다.
즉, OLED 패널을 포함한 모바일 패널과 커버 글래스 등 모바일 글래스를 접합하는 과정에서 정전력을 활용하여 OLED 패널과 커버 글래스를 고정하는데, 이 때 모바일 척의 경우 쉽게 표면이 오염이 되고, 필름 손상이 심해서 아킹(arching)이 자주 발생하여 제품의 수명이 약 1개월 정도로 짧은 문제를 갖고 있었다.
본 출원인이 실험을 한 결과, 본 발명에서의 절연코팅층을 통해서, 상술한 표면 오염이 줄어드는 것은 물론이고 아킹(arching)의 발생을 예방할 수 있으며, 나아가 하드니스(hardness)의 개선 효과도 가지므로, 모바일 글래스 척의 수명이 5배 이상 개선되는 효과를 얻었다.
한편, 절연코팅층으로서 사용되는 소재는 Y2O3을 사용한다. 왜냐하면, 화학적 반응성이 강한 F, Cl 또는 Br 등의 할로겐 원소를 포함하는 반응가스를 이용하는 플라즈마 식각공정은 웨이퍼 표면의 다양한 증착재료를 식각시킴과 동시에 챔버 내부의 금속 또는 세라믹 부품들과의 화학적 및 물리적 반응을 통하여 부품 표면의 손상과 함께 비휘발성 오염입자의 발생을 초래한다. 플라즈마 식각공정 부품으로 주로 사용되고 있는 재료로는 양극산화 알루미늄 합금, 석영(SiO2) 그리고 Al2O3 등이 있으나, 이들 재료들은 할로겐 원소 라디칼에 대하여 매우 열악한 화학적 안정성을 나타낸다.
Y2O3는 높은 용융점(2,450 °C), 비교적 높은 열전도도 (13 W/mK) 및 유전율(14-18), 넓은 밴드 갭(5.5 eV), 우수한 굴절율과 광투과율, 화학적 안정성 그리고 2,300 °C 까지의 결정학적 안정성 등의 특성으로 인하여 광전자 분야 또는 화학적 안정성이 요구되는 분야에 적용되고 있다.
특히 Y2O3는 높은 산소 친화력과 우수한 열역학적 안정성으로 인하여 고온의 용융 금속, 염 및 슬래그에 대한 저항성이 매우 우수한 것으로 알려져 있다. Y2O3 는 반도체 식각공정에서의 고밀도 CF4-O2 플라즈마 환경 하에서 Al2O3 대비 월등히 우수한 플라즈마 침식 저항성을 나타내는 것으로 알려져 있으며, 그 이유로는 Y2O3의 F 라디칼에 대한 우수한 화학적 안정성, 이트륨의 높은 원자질량에 따른 높은 이온 충돌 저항성 그리고 반응생성물인 YF3의 우수한 기계적 특성 등을 들 수 있다.
또한 기존에는 하얀색을 띄는 Y2O3 를 AND Coating을 진행할 경우 투명한 색으로 코팅이 되어 모바일 글래스 척 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있는 장점이 있다. 때문에 Y2O3 소재를 AND Coating하여 모바일 글래스 척의 성능과 수명을 증가시키는 것이 가능하다.
(모바일 패널 및 모바일 글래스 접합 방법)
한편, 본 발명에 따른 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법을 살펴보면, 모바일 패널 척에 모바일 패널을 고정하고, 모바일 글래스를 모바일 글래스 척으로 고정한 다음, 모바일 패널과 모바일 글래스를 접합한다.
여기서, 모바일 글래스 척은, 상술한 바와 같이, 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부; 바디부 전체를 도포하는 절연막; 바디부 및 절연막 상부에 형성된 폴리이미드 필름층; 폴리이미드 필름층의 내부에 포함되며 척킹 전압이 인가되는 구리 전극; 구리 전극에 척킹 전압을 인가하는 척킹 전압부 및 구리 전극의 상부에 형성된 절연코팅부;를 포함한다.
여기서, 절연코팅층은, Y2O3을 1 내지 500마이크로미터의 두께로 형성한다. 이 때, 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 통상 하얀색을 띄는 Y2O3을 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 투명하게 코팅한다.
즉, Al2O3, ZrO2, SiO2, TiO2 등의 산화물이나, SiC 등의 탄화물, AlN, TiN, BN, ZrN 등의 질화물, DLC(Diamond-Like Carbon) 등의 재질로 코팅하는 것도 가능하지만, 고온이 아닌 상태에서 상온, 저진공 상태에서도 코팅이 가능하다는 측면에서, Y2O3가 가장 적합하다.
여기서, 상온, 저진공 상태에서 투명한 재질을 갖는 재질로는 Y2O3이 가장 바람직하다. Y2O3 이외에도 Al2O3, SiO2. TiO2를 재질로 사용하는 것이 가능하다. Al2O3, SiO2. TiO2는 흰색 빛으로 증착이 되는 물질로서, 해당 물질의 안쪽이 비쳐보일 수 있는 정도로 증착 두께를 얇게 할 경우에 유사한 효과를 얻을 수는 있다. 다만, 코팅에 Y2O3가 가장 바람직한 이유는 플라즈마 공정의 경우 소재의 물리적인 식각을 유발하는데, Y2O3가 불소계 플라즈마에서 내플라즈마성이 다른 화합물에 비해 월등히 높기 때문에 더욱 바람직하다.
또한, 저진공이라 함은, 대기압에서 10-3 Torr의 범위를 나타내며, 코팅은 10-6 Torr 이하의 진공도를 갖는 초고진공에서 증착이 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, Y2O3를 1 마이크로미터 미만의 두께로 할 경우에는, 마모 등의 위험이 존재하며, 500마이크로미터를 초과한 두께를 가질 경우에는, 모바일 글래스 척의 본질적인 기능인 모바일 글래스 척킹에 문제가 발생할 우려가 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (10)

  1. 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합할 때, 모바일 글래스를 고정하는데 사용되는 모바일 글래스 척의 제조 방법으로서,
    모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부를 준비하는 단계;
    상기 바디부의 상부면 전체 및 적어도 측면 일부를 절연막으로 도포하는 단계;
    상기 바디부의 상부면 및 상기 절연막 상부에 폴리이미드로 필름층을 형성하되, 상기 필름층의 내부에 구리 전극을 포함하여 형성되는 단계;
    상기 구리 전극과 외부의 척킹 전압을 전기적으로 연결하는 단계; 및
    상기 폴리이미드 필름층 상부 그리고 상기 모바일 패널과 대면하는 면에, 표면오염을 줄이고 아킹(arching) 발생이 예방될 수 있도록 하는 절연코팅층을 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 절연코팅층은 상기 절연막이 상기 바디부의 상부면 상에 도포된 영역 상 전체에 형성되되, 상기 절연막이 상기 바디부 상부면에서 상기 측면쪽으로 굽어지기 시작한 부분까지 평평하게 Y2O3로 형성되며,
    상기 모바일 글래스 척의 내부의 기계적 결함을 육안으로 확인할 수 있도록, 하얀색을 띄는 상기 Y2O3을 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 진행하여 투명한 색으로 코팅하는 것을 특징으로 하는,
    모바일 글래스 척의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연코팅층은, 1 내지 500마이크로미터의 두께를 가지도록 형성되는,
    모바일 글래스 척의 제조 방법.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 Y2O3의 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 상온 및 10-6 Torr 이하의 진공도를 갖는 저진공 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는,
    모바일 글래스 척의 제조 방법.
  6. 제 1 항, 제2항 및 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 모바일 글래스 척의 제조 방법에 따라 제조된 모바일 글래스 척.
  7. 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법으로서,
    모바일 패널 척에 모바일 패널을 고정하는 단계;
    모바일 글래스를 모바일 글래스 척으로 고정하는 단계; 및
    상기 모바일 패널과 상기 모바일 글래스를 접합하는 단계;를 포함하고,
    상기 모바일 글래스 척은, 상기 모바일 글래스를 고정하는 기초가 되는 바디부; 상기 바디부의 상부면 전체 및 적어도 측면 일부를 도포하는 절연막; 상기 바디부 상부면 및 절연막 상부에 형성된 폴리이미드 필름층; 상기 폴리이미드 필름층의 내부에 포함되며 척킹 전압이 인가되는 구리 전극; 상기 구리 전극에 척킹 전압을 인가하는 척킹 전압부; 및 상기 구리 전극의 상부에 형성된 절연코팅부;를 포함하며,
    상기 절연코팅부는 상기 절연막이 상기 바디부의 상부면 상에 도포된 영역 상 전체에 형성되되, 상기 절연막이 상기 바디부 상부면에서 상기 측면쪽으로 굽어지기 시작한 부분까지 평평하게 Y2O3로 형성되며,
    상기 절연코팅부는, Y2O3로 형성되되, 상기 Y2O3의 AND 코팅(Coating) 또는 에어로졸 증착(Aerosol Deposition) 또는 대기플라즈마용사코팅(Atmospheric Plasma Spray Coating)을 상온 및 10-6 Torr 이하의 진공도를 갖는 저진공 상태에서 이루어진 것을 특징으로 하는,
    스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연코팅부는, 1 내지 500마이크로미터의 두께를 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는,
    스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법.
  9. 삭제
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 척킹 전압부에 척킹 전압을 인가하여, 상기 모바일 글래스 척이 상기 모바일 글래스를 척킹하는,
    스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법.
KR1020190113424A 2019-09-16 2019-09-16 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법 KR102130442B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190113424A KR102130442B1 (ko) 2019-09-16 2019-09-16 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190113424A KR102130442B1 (ko) 2019-09-16 2019-09-16 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102130442B1 true KR102130442B1 (ko) 2020-07-06

Family

ID=71571193

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190113424A KR102130442B1 (ko) 2019-09-16 2019-09-16 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102130442B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100090559A (ko) * 2009-02-06 2010-08-16 이지스코 주식회사 에어로졸 코팅층을 갖는 정전척 및 그 제조방법
KR100997374B1 (ko) * 2009-08-21 2010-11-30 주식회사 코미코 정전척 및 이의 제조 방법
KR101714619B1 (ko) * 2016-06-08 2017-03-09 주식회사하나기업 절연 페이스트로부터 형성된 절연층을 포함하는 정전척과 그의 제조방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100090559A (ko) * 2009-02-06 2010-08-16 이지스코 주식회사 에어로졸 코팅층을 갖는 정전척 및 그 제조방법
KR100997374B1 (ko) * 2009-08-21 2010-11-30 주식회사 코미코 정전척 및 이의 제조 방법
KR101714619B1 (ko) * 2016-06-08 2017-03-09 주식회사하나기업 절연 페이스트로부터 형성된 절연층을 포함하는 정전척과 그의 제조방법

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. 대한민국 공개특허 제10-2010-0137679호 (2010.12.31 공개, 발명의 명칭 : 글라스 정전척 및 그 제조방법{GLASS ELECTROSTATIC CHUCK AND FABRICATION METHOD THEREOF})

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI734119B (zh) 稀土氧化物系抗電漿腐蝕薄膜塗層
KR102422725B1 (ko) 플라즈마 환경들 내의 챔버 컴포넌트들을 위한 Y2O3-ZrO2 부식 저항성 재료
US10304718B2 (en) Electrostatic chuck device
US9466518B2 (en) Electrostatic chuck device
US5280156A (en) Wafer heating apparatus and with ceramic substrate and dielectric layer having electrostatic chucking means
US7807509B2 (en) Anodically bonded ultra-high-vacuum cell
US20060008676A1 (en) Protective coating on a substrate and method of making thereof
KR20190064679A (ko) 금속 본딩된 보호 층을 갖는 기판 지지 조립체
US20100193491A1 (en) Unit for supporting a substrate and apparatus for processing a substrate having the same
US10612121B2 (en) Plasma resistant coating with tailorable coefficient of thermal expansion
JP2013063904A (ja) 制御された電気抵抗率を備えた耐プラズマ性セラミック
JP3699349B2 (ja) ウエハー吸着加熱装置
JP7240174B2 (ja) 高温半導体処理におけるクランピングのための静電チャック及びそれを製造する方法
US11328948B2 (en) Electrostatic chuck device and method of manufacturing electrostatic chuck device
WO2010095299A1 (ja) プラズマ処理装置の基板支持台
JP6572788B2 (ja) 静電チャック装置
KR102130442B1 (ko) 모바일 글래스 척의 제조 방법, 그에 따라 제조된 모바일 글래스 척 및 스마트폰의 모바일 패널을 모바일 글래스와 접합하는 방법
JPH0513558A (ja) ウエハー加熱装置及びその製造方法
KR20010107663A (ko) 실리콘웨이퍼 탑재용 실리콘-그라파이트 복합 링 및그것을 장착한 드라이 에칭 장치
JP2011100844A (ja) 静電吸着機能を有する装置及びその製造方法
JP2020512691A (ja) 高い腐食性又は浸食性の半導体処理用途に使用するためのセラミック材料アセンブリ
KR102519486B1 (ko) 정전척
JPH10261697A (ja) 静電チャック
JPH10144778A (ja) 静電チャック
KR102322926B1 (ko) 정전 척 어셈블리의 재생 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant