KR102126942B1 - Methods for semi-automatic replacement of high-pressure gas cylinders - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a semi-automatic replacement method of a high-pressure gas cylinder. The semi-automatic replacement method of the high-pressure gas cylinder includes: a first step of supplying a gas of a first high-pressure gas cylinder (201) to a gas supply line, and waiting for gas supply to a second high-pressure gas cylinder (202); a second step of stopping the gas supply from the first high-pressure gas cylinder (201) and supplying the gas from the second high-pressure gas cylinder (202) to the gas supply line; a third step of automatically locking a valve handle (220) of the first high-pressure gas cylinder (201); a fourth step of locking a valve connector (230) with an end cap (240); a fifth step of separating a first auto coupler (301) from the first high-pressure gas cylinder (201); an eighth step of injecting a third high-pressure gas cylinder (203) into a cabinet (100); a ninth step of closing a door (110); a tenth step of connecting the valve connector (230) to a connector holder (311); and an eleventh step of waiting after opening the valve handle (220).

Description

고압가스통의 반자동 교체방법{Methods for semi-automatic replacement of high-pressure gas cylinders}Methods for semi-automatic replacement of high-pressure gas cylinders

본 발명은 반도체의 FAB 공정(Fabrication Process)설비에서 웨이퍼 생산라인으로 가스를 공급하도록 캐비닛(cabinet)에 고압가스통을 수작업으로 로딩(loading)하면 고압가스통의 교체 시점에서 커넥터 홀더로부터 사용하고 난 고압가스통을 분리한 다음 새로운 고압가스통을 커넥터 홀더에 연결하는 고압가스통의 반자동 교체방법에 관한 것이다.The present invention is a high-pressure gas cylinder used from a connector holder at the time of replacement of the high-pressure gas cylinder by manually loading a high-pressure gas cylinder into a cabinet to supply gas from the semiconductor FAB process (Fabrication Process) facility to the wafer production line. It relates to a semi-automatic replacement of the high pressure gas cylinder connecting the new high pressure gas cylinder to the connector holder after separating.

일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.In general, various types of gases are supplied and used in the manufacturing process for manufacturing semiconductors, but most of these gases cause great damages such as safety accidents and environmental pollution when inhaled or exposed to the atmosphere. It costs.

예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유동성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.For example, as the type of gas used in the ion implantation process, there are fluid gases such as arsenic hydride (AsH3: Arsine), hydrogen phosphine (PH 3: Phosphine), or boron trifluoride (BF3: Boron Fluoride). These gases are very toxic, so if the worker inhales with the respiratory system, they have fatal consequences and must be carefully managed to prevent leakage during the supply to the production line.

이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통(이하 "고압가스통"이라 함)에 고압으로 충전된 상태로 캐비닛에 장착되어 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 고압가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 고압가스통으로 교체함으로써, 계속해서 가스를 공급하게 된다.The gas used in the semiconductor manufacturing process is very important for management. These gases are installed in a cabinet with high pressure in a gas cylinder (hereinafter referred to as a "high pressure gas cylinder") and are supplied to the production line through a gas supply line. When the gas is exhausted by about 90%, the worker continues to supply gas by replacing it with a new high-pressure gas cylinder to prevent foreign substances remaining inside the high-pressure gas cylinder from being supplied to the wafer processing process.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 고압가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 고압가스통에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.1 is a perspective view schematically showing a gas supply device of a semiconductor equipment according to the prior art, SiH4, PH3, NF3, required by various equipment 8 in the FAB 7 in a predetermined place outside the FAB 7, A cabinet 1 is positioned to seat a plurality of high-pressure gas cylinders (not shown) filled with process gases, such as CF4, and gas supply lines connected to the high-pressure gas cylinders respectively at one side of the cabinet 1 The duct 4 is installed to guide 3).

상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 고압가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.On the other side of the duct 4, a regulator box 5 is installed in a number corresponding to a high-pressure gas cylinder so as to supply process gas introduced along the gas supply line 3, and an upper end of each regulator box 5 is provided. Is connected to the supply pipe 9 of the same number as the number of the equipment (8) so that it can be connected to each of the equipment (8) in the FAB (7).

따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 고압가스통으로부터 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.Therefore, when process gas is supplied from each high-pressure gas cylinder seated in the cabinet 1, each process gas is supplied to each regulator box 5 along the gas supply line 3 passing through the inside of the duct 4 Inflow.

이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내부로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(도시는 생략함)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.Subsequently, each process gas introduced into each regulator box 5 is purified through a filter (not shown) and then branched and connected to the number corresponding to the equipment 8 in the FAB 7. Since it flows along the supply pipe 9, it is possible to process the wafer.

상기한 바와 같이 가스를 가스 공급라인(3)으로 공급하다가 가스가 소진되어 고압가스통의 교체시기가 제어부(도시는 생략함)에 의해 검출되면 작업자가 사용하고 난 고압가스통의 밸브를 잠근 다음 외부의 가스라인으로부터 분리하게 된다.When the gas is exhausted while supplying gas to the gas supply line 3 as described above and the replacement time of the high-pressure gas cylinder is detected by the control unit (not shown), the valve of the high-pressure gas cylinder used by the worker is closed and then external It is separated from the gas line.

이후, 작업자가 가스라인으로부터 분리된 고압가스통을 캐비닛(1)에서 언로딩한 다음 새로운 고압가스통으로 교체한 후 상기 고압가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 고압가스통의 교체가 완료된다.Thereafter, the operator unloads the high-pressure gas cylinder separated from the gas line in the cabinet 1, replaces it with a new high-pressure gas cylinder, connects the high-pressure gas cylinder back to the external gas line, and then closes the valve handle closing the gas injection nozzle. When open, replacement of the high pressure gas cylinder is completed.

(선행기술문헌)(Advanced technical literature)

(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-0242982(1998.11.15.등록)(Patent Document 0001) Republic of Korea Registered Patent Publication 10-0242982 (November 15, 1998 registration)

(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0649112(2006.11.16.등록)(Patent Document 0002) Republic of Korea Registered Patent Publication 10-0649112 (Registered on November 16, 2006)

(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0985575(2010.09.29.등록)(Patent Document 0003) Republic of Korea Patent Registration No. 10-0985575 (September 29, 2010 registration)

그러나 이러한 종래의 고압가스통의 교체는 작업자가 캐비닛에 새로운 고압가스통을 로딩한 상태에서 고압가스통의 교체 시기가 검출되면 수작업으로 사용하고 난 고압가스통을 분리 제거한 다음 새로운 고압가스통을 가스배관의 커넥터 홀더에 연결하여야만 되었으므로 고압가스통의 신속한 교체가 불가능하였음은 물론이고 작업자의 숙련도에 따라 휴먼 에러(human error)가 발생되었을 뿐만 아니라 교체하는 작업 중에 부주의로 고압가스통으로부터 가스가 누출되면 가스가 폭발하거나, 작업자가 누출된 가스에 중독되는 치명적인 결함이 있었다.However, the replacement of the conventional high pressure gas cylinder is manually removed when the replacement time of the high pressure gas cylinder is detected while the operator loads the new high pressure gas cylinder into the cabinet, and then removes the high pressure gas cylinder manually used, and then attaches the new high pressure gas cylinder to the connector holder of the gas pipe. As it had to be connected, it was not possible to replace the high-pressure gas cylinder promptly, as well as a human error occurred depending on the skill of the operator, and if the gas leaked from the high-pressure gas cylinder during the replacement operation, the gas exploded or the worker could There was a fatal defect poisoning the leaked gas.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 캐비닛에 고압가스통을 수작업으로 로딩하기만 하면 고압가스통의 교체시점에서 커넥터 홀더에 연결되었던 고압가스통을 분리함과 동시에 새로운 고압가스통을 커넥터 홀더에 자동으로 연결할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the related art, and by simply loading the high-pressure gas cylinder into the cabinet manually, at the same time as removing the high-pressure gas cylinder connected to the connector holder at the time of replacement of the high-pressure gas cylinder, a new high-pressure gas cylinder is removed. The purpose is to enable automatic connection to the connector holder.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 캐비닛의 내부에 제1, 2 고압가스통을 투입하고 전, 후, 좌, 우로 유동 가능하게 설치된 제1, 2 오토 커플러를 각각 하강시켜 얼라인수단에 의해 제1, 2 고압가스통의 얼라인을 완료한 다음 제1, 2 고압가스통으로부터 엔드 캡을 분리한 후 밸브 연결구를 커넥터 홀더에 연결하여 제1 고압가스통의 가스를 가스 공급라인으로 공급하고, 제2 고압가스통은 가스의 공급을 대기하는 제1 단계와, 상기 제1 고압가스통으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통에서 가스를 공급하는 제2 단계와, 상기 제1 고압가스통의 밸브 핸들을 자동으로 잠그는 제3 단계와, 상기 커넥터 홀더로부터 제1 고압가스통의 연결상태를 해제한 후 엔드 캡으로 밸브 연결구를 잠그는 제 4 단계와, 제1 오토 커플러를 상사점까지 상승시켜 제1 고압가스통으로부터 제1 오토 커플러를 분리하는 제5 단계와, 상기 커넥터 홀더로부터 사용하고 난 가스켓을 제거하는 제6 단계와, 상기 커넥터 홀더에 새로운 가스켓을 삽입하는 제7 단계와, 상기 캐비닛의 도어를 열고 제1 고압가스통을 제거한 다음 캐비닛에 제3 고압가스통을 투입하는 제8 단계와, 상기 제1 오토 커플러를 하강시키면서 밸브 연결구의 중심과 커넥터 홀더의 중심을 얼라인시킨 다음 도어를 닫는 제9 단계와, 상기 제3 고압가스통으로부터 엔드 캡을 제거한 다음 밸브 연결구를 커넥터 홀더에 연결하는 제10 단계와, 상기 제3 고압가스통의 밸브 핸들을 열어 대기하는 제11 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법이 제공된다.According to the aspect of the present invention for achieving the above object, the first and second high-pressure gas cylinders are introduced into the interior of the cabinet, and the first and second auto couplers installed to be able to flow to the left, right, and front are lowered, respectively, to align the means. After completing the alignment of the first and second high pressure gas cylinders by separating the end caps from the first and second high pressure gas cylinders, connect the valve connector to the connector holder to supply the gas of the first high pressure gas cylinders to the gas supply line, The second high-pressure gas cylinder is a first step of waiting for the supply of gas, and when the replacement time of the first high-pressure gas cylinder is detected by the control unit while supplying gas from the first high-pressure gas cylinder, the flow path is switched to remove the gas from the first high-pressure gas cylinder. Stop the gas supply, the second step of supplying gas from the second high pressure gas cylinder, the third step of automatically locking the valve handle of the first high pressure gas cylinder, and releasing the connection state of the first high pressure gas cylinder from the connector holder After that, the fourth step of closing the valve connector with the end cap, and the fifth step of raising the first auto coupler to the top dead center to separate the first auto coupler from the first high pressure gas cylinder, and the used gasket from the connector holder. The sixth step of removing, the seventh step of inserting a new gasket into the connector holder, the eighth step of opening the door of the cabinet to remove the first high-pressure gas cylinder and then introducing a third high-pressure gas cylinder into the cabinet. 1 Step 9 of closing the door after aligning the center of the valve connector and the center of the connector holder while lowering the auto coupler, and removing the end cap from the third high-pressure gas cylinder and then connecting the valve connector to the connector holder And, a semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder is provided, characterized in that the eleventh step of opening and waiting the valve handle of the third high pressure gas cylinder is sequentially performed.

본 발명은 캐비닛에 전, 후, 좌, 우로 움직이는 오토 커플러를 승, 하강 가능하게 설치하여 어느 하나의 고압가스통으로부터 가스를 가스 공급라인으로 공급하다가 제어부에 의해 고압가스통의 교체 시기가 검출되면 대기하고 있던 다른 고압가스통의 가스가 공급되도록 유로를 전환한 다음 가스의 공급을 마친 고압가스통을 교체하고 나면 오토 커플러의 하강으로 내장된 고압가스통의 얼라인이 정확히 이루어지게 작업자의 의한 휴먼 에러를 미연에 방지하여 가스의 누출에 따른 작업자의 가스 중독은 물론이고 가스가 폭발하는 사고를 미연에 방지하게 된다.In the present invention, the auto coupler moving forward, backward, left and right in the cabinet is installed to be able to move up and down to supply gas from any one high-pressure gas cylinder to the gas supply line, and waits when the replacement time of the high-pressure gas cylinder is detected by the control unit. After switching the flow path so that the gas from other high-pressure gas cylinders is supplied, and replacing the high-pressure gas cylinders after the supply of gas is finished, the human error caused by the operator is prevented in advance so that the built-in high-pressure gas cylinders are aligned accurately by the descending of the auto coupler. This prevents gas poisoning by workers due to gas leakage as well as accidents of gas explosion.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 발명을 설명하기 위한 캐비닛의 정면도
도 3은 본 발명의 연결 유닛을 나타낸 사시도
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 고압가스통 얼라인 수단을 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 오토 커플러가 지지 축에 전, 후, 좌, 우로 움직이도록 설치된 상태의 종단면도
도 6은 본 발명 오토 커플러의 승, 하강수단을 나타낸 사시도
도 7a 및 도 7b는 본 발명 오토 커플러의 작동상태를 설명하기 위한 측면도
도 8a는 오토 커플러가 상사점에 위치된 상태도
도 8b는 오토 커플러가 하사점에 위치되어 고압가스통의 얼라인을 완료한 상태도
도 9a 및 도 9b는 본 발명을 설명하기 위한 플로우 챠트1 is a perspective view schematically showing a gas supply device of a semiconductor device according to the prior art
Figure 2 is a front view of the cabinet for explaining the present invention
Figure 3 is a perspective view showing a connection unit of the present invention
4a and 4b is a perspective view showing a high pressure gas cylinder alignment means of the present invention
Figure 5 is a longitudinal cross-sectional view of the state in which the auto coupler of the present invention is installed to move forward, backward, left and right on the support shaft
Figure 6 is a perspective view showing the lifting and lowering means of the auto coupler of the present invention
7A and 7B are side views for explaining the operating state of the auto coupler of the present invention.
Figure 8a is a state diagram of the auto coupler is located at the top dead center
8B is a state diagram in which the auto coupler is positioned at the bottom dead center to complete the alignment of the high pressure gas cylinder.
9A and 9B are flowcharts for explaining the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice. The present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. It should be noted that the drawings are schematic and not drawn to scale. The relative dimensions and proportions of the parts in the figures are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the drawings, and any dimensions are merely illustrative and not restrictive. And the same reference numerals are used to indicate similar features in the same structures, elements, or parts appearing in two or more drawings.

도 2는 본 발명을 설명하기 위한 캐비닛의 정면도이고 도 3은 본 발명의 연결 유닛을 나타낸 사시도이며 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 고압가스통 얼라인 수단을 나타낸 사시도로써, 본 발명은 캐비닛(100) 내부의 상부에 전, 후, 좌, 우로 움직이면서 승, 하강 가능하게 설치되어 고압가스통(200)을 얼라인하는 오토 커플러(300)에는 고압가스통(200)의 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 자동으로 연결하거나, 해제하는 연결 유닛(310) 및 고압가스통(200)으로부터 밸브 핸들(220)을 열기 전에 비상사태 시 밸브 핸들(220)을 자동으로 잠기도록 밸브 핸들 홀더(410)의 축에 태엽을 감는 밸브 핸들 유닛(400) 그리고 밸브 연결구(230)에서 사용하고 난 가스켓을 제거하거나, 새로운 가스켓을 자동으로 삽입하는 가스켓 자동교체수단(500)이 구비되어 있다.2 is a front view of a cabinet for explaining the present invention, FIG. 3 is a perspective view showing a connection unit of the present invention, and FIGS. 4A and 4B are perspective views showing a high pressure gas cylinder aligning means of the present invention. ) In the auto coupler 300 which is installed to be able to rise and fall while moving forward, backward, left and right on the upper part of the interior, the valve connector 230 of the high pressure gas cylinder 200 is connected to the connector holder ( 311) of the valve handle holder 410 to automatically lock the valve handle 220 in an emergency before opening the valve handle 220 from the connection unit 310 and the high pressure gas cylinder 200 that are automatically connected or released. It is equipped with a valve handle unit 400 to wind the axis, and an automatic gasket replacement means 500 for removing the gasket used in the valve connector 230 or automatically inserting a new gasket.

그리고 캐비닛(100)의 전면 일 측에는 상기한 구성을 제어하는 제어부(도시는 생략함)가 구비되어 있다.In addition, a control unit (not shown) for controlling the above-described configuration is provided on one front side of the cabinet 100.

본 발명은 캐비닛(100)에 2개의 고압가스통(200)이 내장됨에 따라 연결 유닛(310) 및 밸브 핸들 유닛(400) 그리고 가스켓 자동교체수단(600)이 각각 구비된 제1, 2 오토 커플러(301)(302)가 설치되어 있다.According to the present invention, as the two high-pressure gas cylinders 200 are built in the cabinet 100, the first and second auto couplers equipped with a connection unit 310, a valve handle unit 400, and an automatic gasket replacement means 600 are provided. 301) 302 is installed.

상기 오토 커플러(301)(302)의 하부와 고압가스통(200)의 상부에는 캐비닛(100)에 수납된 고압가스통(200)을 얼라인수단(700)이 구비되어 있다.The lower portion of the auto coupler 301 and 302 and the upper portion of the high pressure gas cylinder 200 are provided with an alignment means 700 for the high pressure gas cylinder 200 accommodated in the cabinet 100.

상기 얼라인수단(700)은 오토 커플러(301)(302)의 하부에 도 4a에 나타낸 바와 같이 복수 개의 가이드 핀(711)이 하방으로 돌출된 가이드 블럭(710)이 각각 고정되어 있고 고압가스통(200)의 상부에 위치되는 밸브(210)에는 착탈 가능하며 복수 개의 얼라인 구멍(721)이 형성된 얼라인 블럭(720)이 설치되어 구성된 것으로, 상기 오토 커플러(300)가 승, 하강수단(800)에 의해 상사점까지 상승하여 고압가스통(200)으로부터 이탈되면 고압가스통(200)의 수동 교체가 가능해지고, 하사점까지 하강하여 가이드 블럭(710)의 가이드 핀(711)이 얼라인 블럭(720)의 얼라인 구멍(721)으로 삽입되면 고압가스통(200)의 얼라인이 이루어지도록 되어 있다.In the alignment means 700, guide blocks 710 with a plurality of guide pins 711 protruding downward are fixed to the lower portions of the auto couplers 301 and 302, respectively, and a high pressure gas cylinder ( The valve 210 located on the upper part of the 200 is detachable and is configured with an alignment block 720 in which a plurality of alignment holes 721 are formed, and the auto coupler 300 lifts and descends means 800 ) To rise to the top dead center and detach from the high pressure gas cylinder 200, it is possible to manually replace the high pressure gas cylinder 200, and then descend to the bottom dead center to guide pin 711 of the guide block 710 to align block 720 ) Is inserted into the alignment hole 721 so that the high pressure gas cylinder 200 is aligned.

상기 고압가스통(200)의 상부에 위치하는 밸브(210)에 착탈 가능하게 설치되는 얼라인 블럭(720)은 고압가스통(200)을 교체할 때마다 작업자가 사용하고 난 고압가스통에서 분리하여 캐비닛(100)에 투입되는 고압가스통(200)에 체결함으로써, 반복 사용이 가능하다.The alignment block 720 detachably installed on the valve 210 located on the upper portion of the high pressure gas cylinder 200 is separated from the high pressure gas cylinder used by the operator whenever the high pressure gas cylinder 200 is replaced, and the cabinet ( 100) by being fastened to the high pressure gas cylinder 200 input, it is possible to use repeatedly.

상기 오토 커플러(301)(302)를 작업자가 수동으로 승, 하강시켜도 되지만, 승, 하강수단(800)에 의해 승, 하강시키는 것이 보다 바람직하다.Although the operator may manually raise and lower the auto coupler 301 and 302, it is more preferable to raise and lower the vehicle by the lifting and descending means 800.

도 6은 본 발명 오토 커플러의 승, 하강수단을 나타낸 사시도이고 도 7a 및 도 7b는 본 발명 오토 커플러의 작동상태를 설명하기 위한 측면도로써, 오토 커플러(301)(302)의 상부에 브라켓(320)이 고정되어 있고 상기 브라켓(320)에는 상판(321)에 형성된 통공(321a)에 전, 후, 좌, 우로 유동 가능하게 축(322)이 결합되어 있어 통공(321a)의 유동범위 내에서 오토 커플러(301)(302)가 움직일 수 있게 된다.6 is a perspective view showing an up and down means of the auto coupler of the present invention, and FIGS. 7A and 7B are side views for explaining the operating state of the auto coupler of the present invention, and the bracket 320 on the top of the auto couplers 301 and 302 ) Is fixed and the bracket 320 is coupled to the through hole 321a formed in the upper plate 321 to allow the flow to the left, right, left, and right, so that the shaft 322 is auto within the flow range of the through hole 321a. The couplers 301 and 302 are movable.

이는, 얼라인수단(700)에 의해 고압가스통(200)을 얼라인시킬 수 있도록 하기 위한 것이다.This is to enable the high pressure gas cylinder 200 to be aligned by the aligning means 700.

상기 상판(321)에 고정된 슬라이더(331)는 측판(323)에 고정된 LM가이드(324)에 결합되어 승, 하강하도록 되어 있고 고정부재(325)에 고정된 액츄에이터(326)의 로드(326a)에는 가동 풀리(327)가 고정되어 있으며 상기 고정부재(325)에 고정된 아이볼트에 와이어 고정부재(328)로 와이어(329)의 일단이 고정되어 있고 상기 와이어(329)의 다른 일단은 가동 풀리(327) 및 측판(323)에 설치된 고정 풀리(330)를 거쳐 오토 커플러(300)에 고정되어 있다.The slider 331 fixed to the top plate 321 is coupled to the LM guide 324 fixed to the side plate 323 to be raised and lowered, and rod 326a of the actuator 326 fixed to the fixing member 325 ), the movable pulley 327 is fixed, one end of the wire 329 is fixed by the wire fixing member 328 to the eye bolt fixed to the fixing member 325, and the other end of the wire 329 is movable The pulley 327 and the fixed pulley 330 installed on the side plate 323 are fixed to the auto coupler 300.

이때, 상기 액츄에이터(326)에는 오토 커플러(300)가 상승시에는 제어부에 의해 고압(5.5kg/cm2)이 걸리고, 오토 커플러(300)가 하강시에는 저압(3 ∼ 4kg/cm2)이 걸려 액츄에이어(326)가 웨이트 발란스의 역할을 하게 된다.At this time, the actuator 326 is subjected to high pressure (5.5kg/cm 2 ) by the control unit when the auto coupler 300 is raised, and low pressure (3 ∼ 4kg/cm 2 ) is applied when the auto coupler 300 is lowered. Actuator 326 will act as a weight balance.

이는, 고압가스통(200)의 교체를 위해 오토 커플러(300)를 상승시킬 때에는 고압에 의해 자동으로 상승시키고, 하강시에는 웨이트 발란스의 역할을 하는 액츄에이터(326)에 의해 작업자가 적은 힘으로 고압가스통(200)의 상부에 조립된 얼라인 블럭(720)의 얼라인 구멍(721)을 육안으로 식별하면서 오토 커플러(300)에 고정된 가이드 블럭(710)의 가이드 핀(711)을 삽입시킬 수 있도록 하기 위한 것이다.This, when the auto coupler 300 is raised for the replacement of the high pressure gas cylinder 200, is automatically raised by high pressure, and when descending, the high pressure gas cylinder is operated by a small force by the operator 326, which acts as a weight balance. The alignment pin 711 of the guide block 710 fixed to the auto coupler 300 can be inserted while visually identifying the alignment hole 721 of the alignment block 720 assembled on the upper part of the 200. It is to do.

상기한 바와 같이 오토 커플러(300)를 하강시킬 때에는 액츄에이터(326)에 작용되는 저압에 의한 힘의 균형으로 오토 커플러(300)의 무게가 "0"가 되므로 적은 힘으로도 오토 커플러(300)를 하강시킬 수 있게 되고, 오토 커플러(300)가 하강된 상태에서는 오토 커플러(300)와 액츄에이터(326)에 걸리는 힘의 균형에 따라 정지된 상태를 유지하게 된다.When the auto coupler 300 is lowered as described above, the weight of the auto coupler 300 becomes “0” due to the balance of the force due to the low pressure applied to the actuator 326, so the auto coupler 300 is operated with less force. It can be lowered, and when the auto coupler 300 is lowered, the stationary state is maintained according to the balance of the force applied to the auto coupler 300 and the actuator 326.

상기 캐비닛(100)의 내부에는 2개의 고압가스통(200)이 내장됨에 따라 작업자가 캐비닛(100)의 도어(110)를 개방하거나, 고압가스통(200)의 정보를 입력하는 스크린(120)이 구비되어 있다.As the two high-pressure gas cylinders 200 are built in the interior of the cabinet 100, a worker 120 opens the door 110 of the cabinet 100 or a screen 120 for inputting the information of the high-pressure gas cylinders 200 is provided. It is done.

본 발명의 구성 중 고압가스통(200)에 구비된 밸브(210), 밸브 핸들(220), 밸브 연결구(230), 엔드 캡(240) 그리고 오토 커플러(300)에 구비된 연결 유닛(310), 커넥터 홀더(311), 엔드 캡 홀더(312)는 제1, 2, 3 고압가스통(201)(202)(203) 및 제1, 2 오토 커플러(301)(302)에 각각 설치되어 있더라도 동일부호를 부여하였음을 밝힌다.Among the components of the present invention, the valve 210 provided in the high pressure gas cylinder 200, the valve handle 220, the valve connector 230, the end cap 240, and the connection unit 310 provided in the auto coupler 300, The connector holder 311 and the end cap holder 312 are the same as the first, second and third high-pressure gas cylinders 201, 202, 203 and the first and second auto couplers 301 and 302, respectively. It is revealed that it has been granted.

도 9a 및 도 9b는 본 발명을 설명하기 위한 플로우 챠트로써, 편의상 캐비닛(100)에 제1, 2 오토 커플러(301)(302)를 설치하여 제1, 2 고압가스통(201)(202)을 내장하는 경우를 가정하여 설명한다.9A and 9B are flow charts for explaining the present invention, for convenience, the first and second auto couplers 301 and 302 are installed in the cabinet 100 to install the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202. It will be described on the assumption that it is embedded.

상기 캐비닛(100)의 내부에 승, 하강 가능하게 설치된 제1, 2 오토 커플러(301)(302)가 상사점에 위치된 상태에서 캐비닛(100)의 내부에 제1, 2 고압가스통(201)(202)을 투입하고 상기 제1, 2 오토 커플러(301)(302)를 각각 하강시켜 얼라인수단(700)에 의해 도 2와 같이 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 얼라인(align)을 완료한 다음 제1, 2 고압가스통(201)(202)으로부터 엔드 캡(240)을 각각 분리한 후 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 연결하여 상기 제1 고압가스통(201)의 가스를 가스 공급라인으로 공급하고, 제2 고압가스통(202)은 커넥터 홀더(311)에 연결하여 대기하는 제1 단계에서부터 설명하기로 한다.First and second high pressure gas cylinders 201 inside the cabinet 100 in the state where the first and second auto couplers 301 and 302 installed so as to be able to rise and fall inside the cabinet 100 are located at the top dead center. 202 is input and the first and second auto couplers 301 and 302 are lowered to align the first and second high-pressure gas cylinders 201 and 202 as shown in FIG. 2 by the aligning means 700. After completing the (align), separate the end caps 240 from the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202, respectively, and then connect the valve connector 230 to the connector holder 311 to obtain the first high pressure gas cylinder ( The gas of 201) is supplied to the gas supply line, and the second high-pressure gas cylinder 202 will be described from the first step of waiting by connecting to the connector holder 311.

상기한 바와 같이 상기 제1 고압가스통(201)으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통(201)의 교체 시기가 검출되면 제2 고압가스통(202)의 교체 준비가 완료되었는지를 제어부가 판단하여 교체 준비가 완료되었으면 가스 배관의 유로를 절환하여 제1 고압가스통(201)으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통(202)에서 가스를 가스 공급라인으로 공급하는 제2 단계를 실시하게 된다.As described above, if the replacement time of the first high pressure gas cylinder 201 is detected by the control unit while supplying gas from the first high pressure gas cylinder 201, the control unit determines whether the replacement of the second high pressure gas cylinder 202 is completed. When it is judged that the preparation for replacement is completed, the flow of the gas pipe is switched to stop supply of gas from the first high-pressure gas cylinder 201, and a second step of supplying gas from the second high-pressure gas cylinder 202 to the gas supply line is performed. Is done.

상기 제2 고압가스통(202)의 교체 전에 제어부가 이를 판단하는 이유는 제2 고압가스통(202)이 있는지, 아니면 제2 고압가스통(202)의 밸브 연결구(230)가 커넥터 홀더(311)에 정확히 연결되었는지를 판단하여 정상으로 판단하면 유로를 절환하고, 비정상으로 판단하면 에러를 발생함과 동시에 제1 고압가스통(201)으로부터 가스 공급을 계속 진행하면서 작업자가 이를 조치하여야 된다.The reason why the control unit determines this before replacing the second high-pressure gas cylinder 202 is whether there is a second high-pressure gas cylinder 202, or the valve connector 230 of the second high-pressure gas cylinder 202 is accurately connected to the connector holder 311. If it is determined to be connected and judged to be normal, the flow path is switched, and if it is judged to be abnormal, an error is generated and the worker must take action while continuously supplying gas from the first high-pressure gas cylinder 201.

이는, 고압가스통(200)의 교체시점은 이물질이 라인으로 공급되는 현상을 방지할 목적으로 잔류하는 가스의 양이 약 5% 될 때, 제어부가 이를 판단함에 따라 교체하고자 하는 고압가스통에 가스가 남아 있어 남은 가스를 가스 공급라인을 통해 가스를 계속적으로 공급하여 공정을 진행하는 웨이퍼(wafer)에 불량이 발생되지 않도록 하기 위한 조치이다.This is, when the replacement time of the high pressure gas cylinder 200 is about 5% of the remaining gas for the purpose of preventing the phenomenon that foreign matter is supplied to the line, the gas remains in the high pressure gas cylinder to be replaced as the control unit judges this. This is a measure to prevent defects from occurring in wafers that process by continuously supplying gas through the gas supply line.

상기 제1 고압가스통(201)의 교체 시기는, 가공 공정에 따라 공급되는 가스의 종류가 다르므로 제어부가 제1 고압가스통(201)의 무게 또는 압력을 검출하여 설정치 이하인 경우에 판단함에 따라 이루어지게 된다.When the first high pressure gas cylinder 201 is replaced, the type of gas supplied is different according to the processing process, so that the control unit detects the weight or pressure of the first high pressure gas cylinder 201 and determines when it is below a set value. do.

상기한 바와 같이 가스 공급라인의 유로를 절환하여 제1 고압가스통(201)으로부터 가스의 공급을 중단하고 나면 상기 제1 고압가스통(201)의 밸브 핸들(220)을 자동으로 잠그는 제3 단계를 실시하게 된다.A third step of automatically closing the valve handle 220 of the first high-pressure gas cylinder 201 after stopping supply of gas from the first high-pressure gas cylinder 201 by switching the flow path of the gas supply line as described above Is done.

상기 제1 고압가스통(201)의 밸브 핸들(220)을 자동으로 잠그거나, 여는 동작은 밸브 핸들 유닛(400)의 밸브 핸들 홀더(410)에 의해 이루어지나, 그 구성은 당해 분야의 전문가에 의해 다양한 형태로 적용 가능하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The operation of automatically closing or opening the valve handle 220 of the first high-pressure gas cylinder 201 is performed by the valve handle holder 410 of the valve handle unit 400, but its configuration is made by an expert in the field. Since it can be applied in various forms, detailed descriptions thereof will be omitted.

상기 제1 고압가스통(201)의 밸브 핸들(220)을 잠그고 나면 제1 고압가스통(201)이 연결되었던 가스 공급라인의 배관 내 잔존가스를 제거한 다음 배관의 내부를 청소한 후 감압시험 및 가압시험을 실시하여 정상으로 판단되면 상기 커넥터 홀더(311)로부터 제1 고압가스통(201)의 연결상태를 해제한 후 엔드 캡(240)으로 밸브 연결구(230)를 자동으로 잠그는 제 4 단계를 거치고 비정상으로 판단되면 에러를 발생하여 작업자가 이를 조치하도록 한다.After locking the valve handle 220 of the first high-pressure gas cylinder 201, the residual gas in the pipe of the gas supply line to which the first high-pressure gas cylinder 201 was connected is removed, and then the inside of the pipe is cleaned, followed by a decompression test and a pressurization test. If it is determined to be normal by releasing the connection state of the first high-pressure gas cylinder 201 from the connector holder 311, the fourth step of automatically closing the valve connection port 230 with the end cap 240 is abnormally performed. If it is judged, an error is generated and the operator takes action.

상기 고압가스통(200)의 밸브 연결구(230)에 엔드 캡(240)을 자동으로 잠그거나, 분리하는 작업이 연결 유닛(310)의 엔드 캡 홀더(312)에 의해 이루어지나, 이 또한 당해 분야의 전문가에 의해 다양한 형태로 적용 가능할 수 있음은 이해 가능한 것이다.Although the operation of automatically locking or disconnecting the end cap 240 in the valve connection port 230 of the high pressure gas cylinder 200 is performed by the end cap holder 312 of the connection unit 310, this also It is understandable that it can be applied in various forms by experts.

상기 제1 고압가스통(201)의 엔드 캡(240)을 잠그고 나면 상기 제1 고압가스통(201)을 새로운 제3 고압가스통(203)으로 교체하기 위해 하사점에 위치되었던 제1 오토 커플러(301)를 상사점까지 상승시켜 제1 고압가스통(201)으로부터 제1 오토 커플러(301)를 분리시키는 제5 단계를 실시하게 된다.After locking the end cap 240 of the first high pressure gas cylinder 201, the first auto coupler 301 was positioned at a bottom dead center to replace the first high pressure gas cylinder 201 with a new third high pressure gas cylinder 203. Is raised to the top dead center to perform a fifth step of separating the first auto coupler 301 from the first high pressure gas cylinder 201.

본 발명의 일 실시예에서는 제1 오토 커플러(301)를 승, 하강수단(800)에 의해 자동으로 상승시키게 된다.In an embodiment of the present invention, the first auto coupler 301 is automatically raised by the raising and lowering means 800.

도 7a와 같이 제1 오토 커플러(301)가 하사점에 위치된 상태에서 고정부재(325)에 설치된 액츄에이터(326)에 고압의 압축공기를 공급하면 로드(326a)가 하강하게 되고, 이에 따라 와이어(329)의 일단이 고정된 제1 오토 커플러(301)가 상사점까지 상승하는데, 상기 제1 오토 커플러(301)는 브라켓(320) 및 상판(321) 그리고 슬라이더(331)를 통해 연결되어 있어 상기 슬라이더(331)가 LM가이드(324)에 안내되어 안정적으로 상사점까지 상승하게 된다.7A, when the first auto coupler 301 is placed at the bottom dead center and the high pressure compressed air is supplied to the actuator 326 installed in the fixing member 325, the rod 326a descends, and accordingly the wire The first auto coupler 301 having one end of 329 is raised to the top dead center, and the first auto coupler 301 is connected through the bracket 320 and the top plate 321 and the slider 331. The slider 331 is guided to the LM guide 324 to stably rise to the top dead center.

상기한 바와 같이 제1 오토 커플러(301)가 상사점까지 상승하면 제1 오토 커플러(301)의 하부에 고정되었던 가이드 블럭(710)의 가이드 핀(711)이 얼라인 블럭(720)의 얼라인 구멍(721)에서 빠져나오게 되므로 제1 고압가스통(201)의 교체가 가능해지게 된다.As described above, when the first auto coupler 301 rises to the top dead center, the guide pin 711 of the guide block 710 fixed to the lower portion of the first auto coupler 301 aligns the alignment block 720. Since it comes out of the hole 721, it is possible to replace the first high-pressure gas cylinder 201.

그러나 필요에 따라 제1 오토 커플러(301)를 작업자에 의해 수동으로 상사점까지 상승시켜 실시할 수도 있음은 이해 가능한 것이다However, it is understood that the first auto coupler 301 may be manually raised to the top dead center by an operator, if necessary.

상기 제1 오토 커플러(301)가 상사점까지 상승하고 나면 제1 고압가스통(201)의 커넥터 홀더(311)에 가스켓을 삽입하여 기밀을 유지하는 경우에는 상기 커넥터 홀더(311)로부터 사용하고 난 가스켓을 제거하는 제6 단계를 실시하게 된다.When the first auto coupler 301 rises to the top dead center, when the gasket is inserted into the connector holder 311 of the first high-pressure gas cylinder 201 to maintain airtightness, the gasket used from the connector holder 311 is used. The sixth step of removing is performed.

상기 커넥터 홀더(311)로부터 사용하고 난 가스켓을 제거하고 나면 커넥터 홀더(311)에 가스켓이 잔류하는지를 센서(도시는 생략함)를 이용하여 확인한 다음 가스켓이 잔류하고 있으면 에러를 발생시켜 작업자가 이를 조치하도록 하지만, 잔류하는 가스켓이 없으면 사용하고 난 가스켓이 제거된 커넥터 홀더(311)에 새로운 가스켓을 삽입하는 제7 단계를 실시하게 된다.After removing the used gasket from the connector holder 311, it is checked whether the gasket remains in the connector holder 311 using a sensor (not shown), and if the gasket remains, an error is generated and an operator takes action. However, if there is no remaining gasket, the seventh step of inserting a new gasket into the connector holder 311 from which the used gasket is removed is performed.

상기 커넥터 홀더(311)에 새로운 가스켓을 삽입하고 나면 커넥터 홀더(311)에 가스켓이 정확히 삽입되었는지를 센서(도시는 생략함)를 이용하여 확인하여 새로운 가스켓이 없으면 에러를 발생시켜 작업자가 이를 조치하도록 한다.After inserting a new gasket into the connector holder 311, it is checked whether a gasket is correctly inserted into the connector holder 311 using a sensor (not shown), and if there is no new gasket, an error is generated so that an operator can take action. do.

상기 커넥터 홀더(311)로부터 사용하고 난 가스켓을 제거하거나, 삽입하는 동작을 가스켓 자동교체수단(500)에 의해 자동으로 실시하여도 되지만, 작업자가 수동으로 실시할 수도 있음은 이해 가능한 것이다.The operation of removing or inserting the used gasket from the connector holder 311 may be automatically performed by the gasket automatic replacement means 500, but it is understood that the operator may manually perform the operation.

그러나 가스켓을 사용하지 않고 기밀을 유지하는 타입에서는 가스켓을 교체할 필요가 없으므로 가스켓을 교체하는 작업을 실시하지 않는다.However, the gasket is not required to be replaced in a gastight type that does not use a gasket, so the gasket is not replaced.

따라서 가스켓을 사용하여 기밀을 유지하는 타입에서 상기 커넥터 홀더(311)에 가스켓을 교체하고 나면 작업자가 캐비닛(100)의 도어(110)를 열고 제1 고압가스통(201)을 꺼낸 다음 제1 고압가스통(201)의 상부에 조립되었던 얼라인 블럭(720)을 분리하여 보관하였다가 캐비닛(100)의 내부에 새로운 고압가스통인 제3 고압가스통(203)을 투입한 후 분리하였던 얼라인 블럭(720)을 제3 고압가스통(203)의 밸브(210)에 조립하는 제8 단계를 실시하게 된다.Therefore, after replacing the gasket in the connector holder 311 in a type that maintains airtightness using a gasket, an operator opens the door 110 of the cabinet 100 and takes out the first high pressure gas cylinder 201, and then the first high pressure gas cylinder. The alignment block 720, which was assembled on the upper portion of the 201, was stored separately, and then the new high pressure gas cylinder, the third high pressure gas cylinder 203, was inserted into the interior of the cabinet 100, followed by separation. To the eighth step of assembling the valve 210 of the third high pressure gas cylinder 203.

상기 캐비닛(100)의 내부에 투입된 제3 고압가스통(203)은 도 2와 같이 캐비닛(100)의 배면에 고정된 가이드(130)에 의해 가 정렬되고, 밴드(140)에 의해 고정되어 넘어지지 않도록 지지되는데, 이때 상기 제3 고압가스통(203)은 움직이지 않도록 고정되는 것이 아니라 약간의 유동은 가능한 상태로 지지된다.The third high-pressure gas cylinder 203 introduced into the interior of the cabinet 100 is aligned by a guide 130 fixed to the rear surface of the cabinet 100, as shown in FIG. 2, and fixed by a band 140 so as not to fall over. In this case, the third high pressure gas cylinder 203 is not fixed so as not to move, and a slight flow is supported as possible.

이는, 후공정에서 제1 오토 커플러(301)를 하강시켜 얼라인수단(700)에 의해 얼라인을 하기 위해 제3 고압가스통(203)의 상부를 미세 조절할 수 있도록 하기 위한 것이다.This is to allow the upper portion of the third high pressure gas cylinder 203 to be finely adjusted to align by the aligning means 700 by lowering the first auto coupler 301 in a post process.

상기 제3 고압가스통(203)에 얼라인 블럭(720)을 조립한 다음 작업자가 상사점에 위치되어 있던 제1 오토 커플러(301)를 하강시키면 액츄에이터(326)에 저압의 압축공기가 작용하고 있어 상기 제1 오토 커플러(301)와 힘의 균형을 유지하게 되므로 제1 오토 커플러(301)을 적은 힘으로도 하강시킬 수 있게 된다.After assembling the alignment block 720 to the third high pressure gas cylinder 203, when the operator descends the first auto coupler 301 located at the top dead center, low pressure compressed air is acting on the actuator 326. Since the first auto coupler 301 maintains a balance of force, the first auto coupler 301 can be lowered even with a small force.

상기 제1 오토 커플러(301)가 하강할 때 작업자가 가이드 핀(711)의 위치를 육안으로 식별하면서 제3 고압가스통(203)의 상부에 조립된 얼라인 블럭(720)의 얼라인 구멍(711)으로 가이드 핀(711)이 삽입되도록 제3 고압가스통(203)의 위치를 미세 조절하면 상기 제1 오토 커플러(301)가 제3 고압가스통(203)을 얼라인시킬 때, 상기 제1 오토 커플러(301)에 고정된 중심 축(322)이 상판(321)의 통공(321a)에 전, 후, 좌, 우로 유동 가능하게 결합되어 있어 가이드 핀(711)이 얼라인 구멍(721)으로 정확하게 삽입되어 제3 고압가스통(203)의 얼라인이 이루어지고, 제3 고압가스통(203)의 얼라인이 완료되고 나면 도어(110)를 닫는 제9 단계를 실시하게 된다.When the first auto coupler 301 descends, the operator identifies the position of the guide pin 711 with the naked eye while aligning the hole 711 of the alignment block 720 assembled to the upper portion of the third high pressure gas cylinder 203. ) When the position of the third high pressure gas cylinder 203 is finely adjusted so that the guide pin 711 is inserted, when the first auto coupler 301 aligns the third high pressure gas cylinder 203, the first auto coupler The central shaft 322 fixed to the 301 is coupled to be able to flow forward, backward, left, and right into the through hole 321a of the upper plate 321, so that the guide pin 711 is accurately inserted into the alignment hole 721. The alignment of the third high pressure gas cylinder 203 is performed, and after the alignment of the third high pressure gas cylinder 203 is completed, a ninth step of closing the door 110 is performed.

상기 제3 고압가스통(203)의 얼라인이 완료된 상태에서는 엔드 캡 홀더(312) 및 커넥터 홀더(311)와 밸브 연결구(230)가 수평선상에 위치된다.When the alignment of the third high pressure gas cylinder 203 is completed, the end cap holder 312 and the connector holder 311 and the valve connector 230 are positioned on the horizontal line.

상기 캐비닛(100)의 내부에 제3 고압가스통(203)을 투입하여 고압가스통의 교체가 완료되면 작업자가 스크린(120)을 터치하여 새로운 제3 고압가스통(203)의 정보인 가스의 종류, 바코드, 무게 등을 입력한 다음 캐비닛(100)의 도어(110)를 닫고 고압가스통의 교체가 완료되었음을 확인하는 버튼을 터치하게 된다.When the replacement of the high-pressure gas cylinder is completed by inserting the third high-pressure gas cylinder 203 into the interior of the cabinet 100, the operator touches the screen 120 to display the new third high-pressure gas cylinder 203, the type of gas, barcode After entering the weight, etc., the door 110 of the cabinet 100 is closed and the button confirming that the replacement of the high-pressure gas cylinder is completed is touched.

상기한 바와 같은 동작으로 캐비닛(100)에 투입된 제3 고압가스통(203)의 얼라인을 완료하고 나면 제1 오토 커플러(301)의 도킹이 정확히 이루어졌는지를 근접센서(도시는 생략함)가 확인하여 정상이면 다음 단계를 수행하고 얼라인 위치가 어긋나 비정상이면 에러를 발생시켜 작업자가 닫았던 도어(110)를 열고 제3 고압가스통(203)을 꺼낸 다음 재투입한 후 도어(110)를 닫는 작업을 수행하게 된다.After completing the alignment of the third high-pressure gas cylinder 203 input to the cabinet 100 in the above-described operation, the proximity sensor (not shown) checks whether the docking of the first auto coupler 301 is performed correctly. Then, if it is normal, the next step is performed, and if the alignment is misaligned or abnormal, an error is generated to open the door 110 closed by the operator, take out the third high-pressure gas cylinder 203, and then re-enter the door 110 to close it. Will perform.

상기 제1 오토 커플러(301)의 도킹이 정확히 이루어졌으면 연결 유닛(310)의 앤드 캡 홀더(312)를 이용하여 제3 고압가스통(203)으로부터 앤드 캡(240)을 분리한 다음 별도의 센서(도시는 생략함)가 밸브 연결구(230)에서 엔드 캡(240)이 분리되었는지를 판단하여 앤드 캡(240)의 분리가 되었으면 제3 고압가스통(203)의 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 연결하고 엔드 캡(240)이 분리되지 않았으면 에러를 발생시켜 작업자가 이를 조치하는 제10 단계를 실시하게 된다.When the first auto coupler 301 is correctly docked, the end cap 240 is separated from the third high pressure gas cylinder 203 using the end cap holder 312 of the connection unit 310, and then a separate sensor ( If not shown) is determined that the end cap 240 is separated from the valve connector 230, and the end cap 240 is separated, the valve connector 230 of the third high-pressure gas cylinder 203 is connected to the connector holder 311 ) And the end cap 240 is not separated, an error is generated and the operator performs the tenth step to take action.

상기 제3 고압가스통(203)에서 엔드 캡(240)을 제거한 다음 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 연결한 후 상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열기 전에 비상사태 시 밸브 핸들(220)이 자동으로 잠기도록 밸브 핸들 유닛(400)의 축(도시는 생략함)에 태엽을 감는 동작을 더 실시하는 것이 보다 바람직하다.After removing the end cap 240 from the third high pressure gas cylinder 203, connect the valve connector 230 to the connector holder 311, and before opening the valve handle 220 of the third high pressure gas cylinder 203, It is more preferable to further perform an operation of winding the winding on the axis (not shown) of the valve handle unit 400 so that the valve handle 220 is automatically locked during an emergency.

이는, 제3 고압가스통(203)의 가스를 가스배관을 통해 가스 공급라인으로 공급하는 과정에서 갑작스런 진동이나 지진 등으로 인해 가스가 누출되거나, 정전시 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 자동으로 잠가 가스의 누출로 인한 안전사고가 발생되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있도록 하기 위한 것이다.This is, in the process of supplying the gas of the third high pressure gas cylinder 203 to the gas supply line through the gas pipe, the gas leaks due to sudden vibration or earthquake, or the valve handle 220 of the third high pressure gas cylinder 203 during a power failure ) To automatically lock it to fundamentally solve the phenomenon of safety accidents caused by gas leakage.

상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)이 잠기도록 밸브 핸들 유닛(400)의 축에 태엽(도시는 생략함)을 감고 나면 밸브 핸들 유닛(400)의 밸브 핸들 홀더(410)를 회전시켜 상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열어 대기하는 제11 단계를 실시하게 된다.After winding the mainspring (not shown) on the axis of the valve handle unit 400 so that the valve handle 220 of the third high pressure gas cylinder 203 is locked, the valve handle holder 410 of the valve handle unit 400 is closed. By rotating, the valve handle 220 of the third high-pressure gas cylinder 203 is opened to perform the eleventh step of waiting.

상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열고 나면 배관 내의 감압시험 및 가압시험을 더 실시하는 것이 보다 바람직하다.After opening the valve handle 220 of the third high-pressure gas cylinder 203, it is more preferable to further perform a decompression test and a pressurization test in the pipe.

지금까지 설명한 것은, 제1 오토 커플러(301)를 이용하여 사용하고 난 제1 고압가스통(201)을 제거한 다음 제3 고압가스통(203)을 투입하는 과정을 설명하였으나, 제2 오토 커플러(302)를 이용하여 제2 고압가스통(202)을 교체하는 과정도 동일하게 이루어진다.What has been described so far has been a process of removing the first high pressure gas cylinder 201 used by using the first auto coupler 301 and then introducing the third high pressure gas cylinder 203, but the second auto coupler 302 The process of replacing the second high-pressure gas cylinder 202 using the same is also performed.

본 발명의 일 실시 예에서는 캐비닛(100)에 2개의 고압가스통(200)을 내장하여 고압가스통(200) 내의 가스가 설정치 이하인 경우에 가스를 공급하고 난 고압가스통을 자동으로 교체하도록 설명하고 있으나, 캐비닛(100)에 고압가스통(200)을 3 ∼ 4개 또는 그 이상 내장하고, 내장되는 고압가스통과 동일한 개수의 오토 커플러(300)를 설치하여 제어부로부터 고압가스통(200)의 교체 시기가 검출될 때마다 고압가스통(200)을 순차적으로 교체할 수도 있음은 이해 가능한 것이다.In one embodiment of the present invention, it is described that two high pressure gas cylinders 200 are built in the cabinet 100 to automatically replace the high pressure gas cylinders after supplying gas when the gas in the high pressure gas cylinders 200 is below a set value. 3 to 4 or more high pressure gas cylinders 200 are built in the cabinet 100, and the same number of auto couplers 300 as the high pressure gas cylinders are installed to detect the replacement timing of the high pressure gas cylinders 200 from the control unit. It is understandable that the high pressure gas cylinder 200 may be sequentially replaced each time.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but those skilled in the art to which the present invention pertains may understand that the present invention may be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. will be.

그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the embodiments described above are illustrative in all respects and should be understood as non-limiting, and the scope of the present invention described in the detailed description is indicated by the following claims, the meaning of the claims and It should be construed that all changes or modified forms derived from the scope and equivalent concept are included in the scope of the present invention.

100 : 캐비닛 110 : 도어
120 : 스크린 200 : 고압가스통
210 : 밸브 220 : 밸브 핸들
230 : 밸브 연결구 240 : 핸드 캡
300 : 오토 커플러 310 : 연결유닛
311 : 커넥터 홀더 312 : 엔드 캡 홀더
321a : 통공 322 : 축
326 : 액츄에이터 400 : 밸브 핸들 유닛
410 : 밸브 핸들 홀더 500 : 가스켓 자동교체수단
700 : 얼라인수단 710 : 가이드 블럭
711 : 가이드 핀 720 : 얼라인 블록
721 : 얼라인 구멍 800 : 승, 하강수단100: cabinet 110: door
120: screen 200: high pressure gas cylinder
210: valve 220: valve handle
230: valve connector 240: hand cap
300: auto coupler 310: connecting unit
311: connector holder 312: end cap holder
321a: through 322: shaft
326: actuator 400: valve handle unit
410: valve handle holder 500: gasket automatic replacement means
700: Alignment means 710: Guide block
711: Guide pin 720: Alignment block
721: Alignment hole 800: Win, descend means

Claims (20)

캐비닛(100)의 내부에 제1, 2 고압가스통(201)(202)을 투입하고 전, 후, 좌, 우로 유동 가능하게 설치된 제1, 2 오토 커플러(301)(302)를 각각 하강시켜 얼라인수단(700)에 의해 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 얼라인을 완료한 다음 제1, 2 고압가스통(201)(202)으로부터 각각 엔드 캡(240)을 분리한 후 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 연결하여 제1 고압가스통(201)의 가스를 가스 공급라인으로 공급하고, 제2 고압가스통(202)은 가스의 공급을 대기하는 제1 단계와, 상기 제1 고압가스통(201)으로부터 가스를 공급하는 도중 제어부에 의해 제1 고압가스통(201)의 교체 시기가 검출되면 유로를 절환하여 제1 고압가스통(201)으로부터의 가스 공급을 중단하고, 제2 고압가스통(202)에서 가스 공급라인으로 가스를 공급하는 제2 단계와, 상기 제1 고압가스통(201)의 밸브 핸들(220)을 자동으로 잠그는 제3 단계와, 상기 커넥터 홀더(311)로부터 제1 고압가스통(201)의 연결상태를 해제한 후 엔드 캡(240)으로 밸브 연결구(230)를 잠그는 제 4 단계와, 제1 오토 커플러(301)를 상사점까지 상승시켜 제1 고압가스통(201)으로부터 제1 오토 커플러(301)를 분리하는 제5 단계와, 상기 캐비닛(100)의 도어(110)를 열고 제1 고압가스통(201)을 제거한 다음 캐비닛(100)에 제3 고압가스통(203)을 투입하는 제8 단계와, 상기 제1 오토 커플러(301)를 하강시키면서 밸브 연결구(230)의 중심과 커넥터 홀더(311)의 중심을 얼라인시킨 다음 도어(110)를 닫는 제9 단계와, 상기 제3 고압가스통(203)으로부터 엔드 캡(240)을 제거한 다음 밸브 연결구(230)를 커넥터 홀더(311)에 연결하는 제10 단계와, 상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열어 대기하는 제11 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The first and second high-pressure gas cylinders 201 and 202 are introduced into the interior of the cabinet 100, and the first and second auto couplers 301 and 302 installed to be able to flow to the left, right, and front are lowered and frozen, respectively. After completing the alignment of the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202 by the take-off stage 700, the end caps 240 are separated from the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202, respectively, and then the valve A first step of connecting the connector 230 to the connector holder 311 to supply the gas of the first high-pressure gas cylinder 201 to the gas supply line, and the second high-pressure gas cylinder 202 waiting for the supply of gas. When the replacement time of the first high-pressure gas cylinder 201 is detected by the control unit while supplying gas from the first high-pressure gas cylinder 201, the flow passage is switched to stop supply of gas from the first high-pressure gas cylinder 201, and the second The second step of supplying gas from the high pressure gas cylinder 202 to the gas supply line, and the third step of automatically locking the valve handle 220 of the first high pressure gas cylinder 201, and the connector holder 311 1 After releasing the connection state of the high pressure gas cylinder 201, the fourth step of locking the valve connection port 230 with the end cap 240, and raising the first auto coupler 301 to the top dead center to increase the first high pressure gas cylinder 201 ), a fifth step of separating the first auto coupler 301, and opening the door 110 of the cabinet 100 to remove the first high pressure gas cylinder 201 and then the third high pressure gas cylinder 203 to the cabinet 100. ) And the ninth step of aligning the center of the valve connector 230 and the center of the connector holder 311 while lowering the first auto coupler 301 and closing the door 110. , The tenth step of removing the end cap 240 from the third high pressure gas cylinder 203 and then connecting the valve connector 230 to the connector holder 311, and the valve handle 220 of the third high pressure gas cylinder 203 Semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that the eleventh step of opening and waiting is made sequentially.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 고압가스통(201)으로부터 제1 오토 커플러(301)를 분리하는 제5 단계를 실시 후 상기 커넥터 홀더(311)로부터 사용하고 난 가스켓을 제거하는 제6 단계와, 상기 커넥터 홀더(311)에 새로운 가스켓을 삽입하는 제7 단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
A sixth step of removing the gasket used from the connector holder 311 after performing a fifth step of separating the first auto coupler 301 from the first high pressure gas cylinder 201, and the connector holder 311 Semi-automatic replacement of the high pressure gas cylinder, characterized in that further performing a seventh step of inserting a new gasket.
청구항 1에 있어서,
상기 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 교체 시기는, 제어부가 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 무게 또는 압력을 검출하여 설정치 이하인 경우에 판단하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
The replacement time of the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202 is determined when the control unit detects the weight or pressure of the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202 and determines when the values are below a set value. Semi-automatic replacement of gas cylinders.
청구항 1에 있어서,
상기 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 밸브 핸들(220)의 개폐는 밸브 핸들 유닛(400)을 구성하는 밸브 핸들 홀더(410)의 회전에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
The opening and closing of the valve handle 220 of the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202 is performed by rotation of the valve handle holder 410 constituting the valve handle unit 400, so that the high pressure gas cylinder is semi-automatic. How to replace.
청구항 1에 있어서,
상기 제1, 2 고압가스통(201)(202)의 밸브 연결구(230)에 엔드 캡(240)을 잠그거나, 분리하는 작업이 연결 유닛(310)의 엔드 캡 홀더(312)에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
The operation of locking or separating the end cap 240 in the valve connection port 230 of the first and second high pressure gas cylinders 201 and 202 is performed by the end cap holder 312 of the connection unit 310. Semi-automatic replacement method of high pressure gas cylinder.
청구항 2에 있어서,
상기 제6 단계에서 커넥터 홀더(311)로부터 가스켓을 제거하는 시점은, 제1 오토 커플러(301)가 상사점에 도달하였을 때 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 2,
In the sixth step, when removing the gasket from the connector holder 311, the semi-automatic replacement of the high pressure gas cylinder is performed when the first auto coupler 301 reaches the top dead center.
청구항 6에 있어서,
상기 커넥터 홀더(311)로부터 사용하고 난 가스켓을 제거한 다음 가스켓의 잔류 유무를 확인하는 단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 6,
Semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that further comprising the step of checking the presence or absence of the gasket after removing the used gasket from the connector holder 311.
청구항 2에 있어서,
상기 커넥터 홀더(311)에서 사용하고 난 가스켓을 제거하거나, 새로운 가스켓을 삽입하는 동작이 가스켓 자동교체수단(500)에 의해 자동으로 이루어지거나, 작업자에 의해 수동으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 2,
Semi-automatic operation of the high-pressure gas cylinder, characterized in that the operation of removing the gasket used in the connector holder 311 or inserting a new gasket is automatically performed by the gasket automatic replacement means 500 or manually by an operator. How to replace.
청구항 1에 있어서,
상기 제1, 2 오토 커플러(301)(302)를 액츄에이터(326)에 의해 자동으로 승, 하강하거나, 작업자에 의해 수동으로 승, 하강 가능하게 설치하여 제1, 2 오토 커플러(301)(302)가 하강할 때 제3 고압가스통(203)의 얼라인이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
The first and second auto couplers 301 and 302 are automatically installed by the actuator 326, and the first and second auto couplers 301 and 302 are installed to be manually raised and lowered by an operator. ) Is a semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that the alignment of the third high pressure gas cylinder 203 is made.
청구항 1에 있어서,
상기 얼라인수단(700)으로 제3 고압가스통(203)에 복수 개의 얼라인 구멍(721)이 형성된 얼라인 블럭(720)을 착탈 가능하게 설치하고 제1, 2 오토 커플러(301)(302)에는 가이드 핀(711)이 형성된 가이드 블럭(710)을 고정하여 제1 오토 커플러(301)의 하강으로 가이드 핀(711)이 가이드 구멍(721)에 끼워짐에 따라 제3 고압가스통(203)의 얼라인이 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
The alignment means 700 is installed in the third high-pressure gas cylinder 203 to align and detach the alignment block 720 in which a plurality of alignment holes 721 are formed, and the first and second auto couplers 301 and 302 The guide pin 711 is fixed to the guide block 710, the guide pin 711 is inserted into the guide hole 721 by the descending of the first auto coupler 301 of the third high-pressure gas cylinder 203 Semi-automatic replacement of the high pressure gas cylinder, characterized in that the alignment is made.
청구항 1 또는 청구항 10에 있어서,
상기 제9 단계에서 제1 오토 커플러(301)가 하강한 상태에서 제3 고압가스통(203)에 정확하게 도킹되었는지를 확인하는 단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1 or claim 10,
Semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that further performing the step of checking whether the first auto coupler 301 is docked to the third high pressure gas cylinder 203 in a descending state in the ninth step.
삭제delete 청구항 2에 있어서,
상기 커넥터 홀더(311)에 새로운 가스켓을 삽입하기 전에 사용하고 난 가스켓이 잔류하는 지를 확인하는 단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 2,
Semi-automatic replacement method of a high pressure gas cylinder, characterized in that further performing the step of confirming whether the gasket used after inserting a new gasket into the connector holder 311 remains.
청구항 13에 있어서,
상기 커넥터 홀더(311)에 사용하고 난 가스켓의 잔류 여부를 확인하기 전에 커넥터 홀더(311)에서 가스켓을 제거하는 단계를 1번 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 13,
Semi-automatic replacement method for a high pressure gas cylinder, characterized in that one more step of removing the gasket from the connector holder 311 before using the connector holder 311 to check whether the gasket remains.
청구항 2에 있어서,
상기 제7 단계 이후, 커넥터 홀더(311)에 새로운 가스켓이 삽입되었는지를 확인하는 단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 2,
After the seventh step, the method of semi-automatic replacement of the high-pressure gas cylinder, characterized in that further performing the step of confirming whether a new gasket is inserted into the connector holder (311).
청구항 1에 있어서,
상기 제1 고압가스통(201)의 밸브 핸들(220)을 잠그고 나면 배관 내의 잔존가스를 제거한 다음 청소를 하고 감압시험 및 가압시험을 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
After locking the valve handle 220 of the first high-pressure gas cylinder 201, the residual gas in the pipe is removed, cleaned, and a semi-automatic replacement method of the high-pressure gas cylinder characterized in that a pressure reduction test and a pressure test are performed.
청구항 1에 있어서,
상기 캐비닛(100)에 제3 고압가스통(203)을 투입하고 나면 작업자가 제3 고압가스통(203)의 정보를 스크린(120)을 통해 제어부에 입력한 다음 도어(110)를 닫는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
After inputting the third high pressure gas cylinder 203 into the cabinet 100, an operator inputs information of the third high pressure gas cylinder 203 into the control unit through the screen 120 and then closes the door 110. Semi-automatic replacement of high pressure gas cylinder.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열고 나면 배관 내의 감압시험 및 가압시험을 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.
The method according to claim 1,
After opening the valve handle 220 of the third high pressure gas cylinder 203, a semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that further performing a pressure reduction test and a pressure test in the pipe.
청구항 19에 있어서,
상기 제3 고압가스통(203)의 밸브 핸들(220)을 열기 전에 비상사태 시 밸브 핸들(220)이 자동으로 잠기도록 밸브 핸들 유닛(400)을 구성하는 밸브 핸들 홀더(410)의 축에 태엽을 감는 동작을 더 실시하는 것을 특징으로 하는 고압가스통의 반자동 교체방법.The method according to claim 19,
Before opening the valve handle 220 of the third high-pressure gas cylinder 203, a hand is wound on the axis of the valve handle holder 410 constituting the valve handle unit 400 so that the valve handle 220 is automatically locked in an emergency. Semi-automatic replacement method of the high pressure gas cylinder, characterized in that further performing the winding operation.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343760B1 (en) * 2020-08-07 2021-12-29 주식회사 씨케이피 gas auto supply apparatus of high presure gas cylinder and its method
KR102353833B1 (en) * 2020-08-18 2022-01-21 주식회사 씨케이피 Clamping and removal method for high pressure gas cylinder in Cabinet
US11322346B2 (en) 2020-09-18 2022-05-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Cleaning substrate method and method of processing substrate using the same
KR102393805B1 (en) * 2020-11-23 2022-05-04 주식회사 씨케이피 Gasket Supplying and collecting Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220070748A (en) * 2020-11-23 2022-05-31 주식회사 씨케이피 Control Method For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220070749A (en) * 2020-11-23 2022-05-31 주식회사 씨케이피 Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220099032A (en) * 2021-01-05 2022-07-12 주식회사 씨케이피 Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus
CN115560238A (en) * 2022-11-18 2023-01-03 安徽壹月科技有限公司 Gas supply cabinet with explosion-proof function for semiconductor manufacturing
KR20240006110A (en) 2022-07-05 2024-01-15 주식회사 씨케이피 Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus
KR20240006108A (en) 2022-07-05 2024-01-15 주식회사 씨케이피 Valve Shutter Module For Gas Supply Apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172300A (en) * 1991-12-18 1993-07-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Filling method for high pressure gas
JPH08219396A (en) * 1995-02-14 1996-08-30 Kubota Corp Positioning method in high pressure gas charging device
KR980004058U (en) * 1996-06-10 1998-03-30 Gas supply
KR20090124690A (en) * 2008-05-30 2009-12-03 한밭대학교 산학협력단 Valve change system for gas case preventing poisonous gas leakage
KR20190115983A (en) * 2018-04-04 2019-10-14 에이엠티 주식회사 Holder with Gas Cap Outlete Prevention

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0791598A (en) * 1993-09-25 1995-04-04 Hatsusei Kogyo Kk Gas filling device
JPH09152097A (en) * 1995-11-30 1997-06-10 Meiko Sangyo Kk Gas charging device
CN103328876B (en) * 2012-01-18 2017-06-09 丹尼尔·卡米洛蒂 Automatic compact systems and method for filling gas
KR102035697B1 (en) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 Automatic gas valve switching device and method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172300A (en) * 1991-12-18 1993-07-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Filling method for high pressure gas
JPH08219396A (en) * 1995-02-14 1996-08-30 Kubota Corp Positioning method in high pressure gas charging device
KR980004058U (en) * 1996-06-10 1998-03-30 Gas supply
KR20090124690A (en) * 2008-05-30 2009-12-03 한밭대학교 산학협력단 Valve change system for gas case preventing poisonous gas leakage
KR20190115983A (en) * 2018-04-04 2019-10-14 에이엠티 주식회사 Holder with Gas Cap Outlete Prevention

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343760B1 (en) * 2020-08-07 2021-12-29 주식회사 씨케이피 gas auto supply apparatus of high presure gas cylinder and its method
KR102353833B1 (en) * 2020-08-18 2022-01-21 주식회사 씨케이피 Clamping and removal method for high pressure gas cylinder in Cabinet
US11322346B2 (en) 2020-09-18 2022-05-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Cleaning substrate method and method of processing substrate using the same
KR102410000B1 (en) * 2020-11-23 2022-06-16 주식회사 씨케이피 Control Method For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220070748A (en) * 2020-11-23 2022-05-31 주식회사 씨케이피 Control Method For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220070749A (en) * 2020-11-23 2022-05-31 주식회사 씨케이피 Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR102393805B1 (en) * 2020-11-23 2022-05-04 주식회사 씨케이피 Gasket Supplying and collecting Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR102421553B1 (en) * 2020-11-23 2022-07-15 주식회사 씨케이피 Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20220099032A (en) * 2021-01-05 2022-07-12 주식회사 씨케이피 Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus
KR102452190B1 (en) 2021-01-05 2022-10-11 주식회사 씨케이피 Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus
KR20240006110A (en) 2022-07-05 2024-01-15 주식회사 씨케이피 Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus
KR20240006108A (en) 2022-07-05 2024-01-15 주식회사 씨케이피 Valve Shutter Module For Gas Supply Apparatus
CN115560238A (en) * 2022-11-18 2023-01-03 安徽壹月科技有限公司 Gas supply cabinet with explosion-proof function for semiconductor manufacturing
CN115560238B (en) * 2022-11-18 2023-03-10 安徽壹月科技有限公司 Gas supply cabinet with explosion-proof function for semiconductor manufacturing

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